DE2702464C2 - Verpackung von Halbleiterscheiben - Google Patents
Verpackung von HalbleiterscheibenInfo
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Description
Gegenstand der Erfindung ist eine Hordenverpakkung in der Art des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Bei der Verpackung von Halbleiterscheiben sollte die Beibehaltung der hohen Reinheit der Scheiben sowie
die Unversehrtheit der Scheibenoberfläche absolut gewährleistet sein. Die spröden Scheiben sind nämlich
nicht nur äußerst empfindlich gegen mechanische Beanspruchung jeglicher Art, sondern auch gegen
Verschmutzung durch das Verpackungsmaterial. Außerdem müssen die Halbleiterscheiben gegen äußere
Einflüsse, wie Staub oder Luftfeuchtigkeit, geschützt werden. Die Verpackung sollte zudem raumsparend und
leicht sein, um ihre Herstellungskosten sowie die Transportkosten der Scheiben zu minimieren.
Bei den bekannten Hordenverpackungen, wie sie beispielsweise in der US-Patentschrift 34 67 242 beschrieben
werden, stehen die Halbleiterscheiben in gestreckten Dosen, in deren Boden und Seilenwänden
Führungsrippen eingearbeitet sind, in die die Scheiben von oben eingeschoben werden. In diesen, im Spritzgußverfahren
hergestellten, starren Verpackungen kann es durch äußere Erschütterungen zu Randausbrüchen der
Scheiben kommen, wobei die ausgebrochenen Partikel zusätzlich zu Kratzern in den Scheibenoberflächen der
gesamten Charge führen können.
Verpackungen aus tiefgezogenem Kunststoff, die nach dem Spritzgußverfahren herstellbar sind, sind aus
der US-Patentschrift 33 22 267 für die Verpackung von Lebensmitteln, insbesondere Plätzchen und Oblaten
bekannt, derartige Verpackungen sind aber, allein schon wegen der dort gewählten Formgebung, nicht als
Hordenverpackungen für Halbleiterscheiben verwendbar.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine Halbleiterverpackung, wie sie vom Prinzip her in der
vorstehend diskutierten US-Patentschrift 34 67 242 beschriebe.ι ist, derart zu verbessern, daß bei einwandfreier
Wahrung der Reinhaltefunktion der Schutz gegen mechanische Beanspruchung wesentlich verbessert
wird und gleichzeitig der Herstellungsaufwand für die Verpackung und das Materialgewicht so gesenkt
werden, daß die Verpackung als Wegwerfverpackung tragbar wird.
Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Verpackung in der Art des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1.
Als Kunststoffe für die Herstellung der Verpackung eignen sich allgemein Thermoplaste, also feste, nicht homogen vernetzte, überwiegend lineare Hochpolymere, die bei höheren Temperaturen reversibel weich und formbar werden und die keine Zusatzstoffe enthalten, die aus dem Material migrieren und zu einer Qualitätsminderung der verpackten Scheiben führen.
Als Kunststoffe für die Herstellung der Verpackung eignen sich allgemein Thermoplaste, also feste, nicht homogen vernetzte, überwiegend lineare Hochpolymere, die bei höheren Temperaturen reversibel weich und formbar werden und die keine Zusatzstoffe enthalten, die aus dem Material migrieren und zu einer Qualitätsminderung der verpackten Scheiben führen.
Geeignet sind beispielsweise Polyolefine, Polyamide, lineare Polyester und Polyurethane, Polystyrol und
insbesondere Polyvinylchlorid.
Zweckmäßig wird die Horde aus einer etwa 0,6 bis
so 1,2 mm dicken, vorzugsweise transparenten Folie gefertigt, um die erforderliche Stabilität gegen äußere
Krafteinwirkung zu gewährleisten, während für den Deckel eine demgegenüber dünnere, vorzugsweise
ebenfalls transparente Folie von etwa 0,15 bis 0,3 mm
Stärke geeignet ist, damit sich die Folie in den Auflagepunkten an die Konturen der Scheiben unter
dem äußeren Druck anlegen kann und die eingelegten Scheiben durch diese äußere Krafteinwirkung festgehalten
werden.
Der Anpreßdruck der Verpackung an die Halbleiterscheiben kann dabei der auf den evakuierten Folienschutzsack
wirkende äußere Luftdruck und/oder die Spannung einer die Hordenverpackung umhüllenden
Schrumpffolie sein.
Schutz wird nur für einen Gegenstand begehrt, der zumindest sämtliche in Anspruch 1 aufgeführten
Merkmale aufweist.
Anhand der Abbildungen wird die Erfindung näher
Anhand der Abbildungen wird die Erfindung näher
erläutert
F i g. 1 zeigt die Horde mit Deckel von der Längsseite.
Fig.2 zeigt die Horde mit Deckel von der Schmalseite (rechts) und im Querschnitt (links).
F i g. 3 zeigt schematisch die Anordnung der Auflagepunkte der verpackten Halbleiterscheibe.
F i g. 4 bis F i g. 10 zeigen Auflagepunkfe, Führungsund
Stabilisierungsrippen im Detail.
In Fig.! ist eine erfindungsgemäße Horde mit
Deckel für 25 Halbleiterscheiben von der Seite dargestellt Die Verpackung kann allgemein natürlich so
gestaltet werden, daß auch 50 oder 100 Scheiben oder
jede andere realistische Anzahl in einer Horde ausgeliefert werden können. In den beiden senkrecht
abfallenden Längsseiten des Unterteils 1 sind seitlich Führungsrippen 2 ausgebildet an die sich die Auflagenoppen
3 im abgewinkelten oder gekrümmten Übergangsteil zwischen senkrecht abfallenden Seitenflächen
und Boden anschließen. Die Auflagenoppen 3 sind aus Platzgründen dabei gegeneinander versetzt angeordnet
Die seitlichen Führungsrippen 2 haben die Aufgabe, die Siliciumscheiben beim Befüllen der Verpackung so in
diese einzuführen, daß sie Ghne Schwierigkeiten eingelegt werden können und auf den vorgesehenen
Auflagenoppen 3 zu liegen kommen. Dies wird auch bei gegebenen engen Toleranzen in den Führungsrippen 2
insbesondere durch die im Boden, in der Verbindungslinie zweier gegenüberliegender Führungsrippen 2
angebrachten Stabilisierungsrippen 4 gewährleistet, die die eingeführten Scheiben kurz vor dem Aufsetzen
soweit in Richtung der Auflagepunkte auf den Noppen 3 stabilisieren, daß ein Verrutschen der Scheiben in der
Mitte der vorzugsweise eingekerbten Auflagenoppen 3 nicht mehr erforderlich ist. Die Auflagepunkte auf den
beiden Noppen 3, auf denen eine Halbleiterscheibe 5 in der Horde aufsteht, bilden dabei mit dem Scheibenmittelpunkt
einen Winkel von etwa 75 bis 115°, während die zusätzlichen zwei Auflagepunkte im Deckel der
Verpackung mit dem Scheibenmittelpunkt einen Winkel von 30 bis 50° ausbilden, wie aus F i g. 3 ersichtlich.
Die an den Oberkanten zweckmäßig abgerundeten Stabilisierungsrippen 4 im Boden der Verpackung sind
im Längsschnitt vorzugsweise halbkreisförmig ausgebildet, während die sich im Querschnitt keilförmig unter
einem öffnungswinkel von vorzugsweise 10 bis 20° nach unten verbreitern, um die angestrebte Führung der
Halbleiterscheibe auf die Auflagepunkte zu ermöglichen. Die Stabilisierungsrippen 4 sind dabei deshalb so
steil ausgelegt, damit die Scheiben 5 ohne Kraftanwendung und somit ohne zu schaben an der Rippe geführt
werden können. Ohne Stabilisierung würde ein Schabevorgang in den Auflagepunkten unter Krafteinwirkung
zu Stande kommen.
Sobald die Scheibe in der richtigen Position auf den Auflagenoppen 3 aufsteht, berührt sie die Führungsrippen
2 und die Stabilisierungsrippen 4 nicht mehr, wie der F i g. 4 entnommen werden kann.
Fig.5 und 6 zeigen schließlich die Halterung der Halbleiterscheibe in den gekerbten Auflagenoppen 3.
Die Noppen 3 sind keilförmig mit einem öffnungswinkel
von 45 bis 75° eingekerbt Nachdem die Noppen 3 aufgrund des Herstellungsverfahrens nicht massiv sind,
sondern durch das Tiefziehen die Folie in diesen Stellen gereckt und dadurch etwas dünner sind, wird hierdurch
zusätzlich eine ausgezeichnete federnde Wirkung in den Auflagenoppen 3 erzielt. Dieser federnde Effekt wird
durch die versetzte Anordnung der Noppen 3 noch verstärkt, so daß Toleranzen der .Scheibendurchmesser
aufgefangen werden können. Die Auilagepunkte sind
hierbei natürlich nicht Punkte im mathematischen Sinn, sondern kurze Wegstrecken von etwa 1 bis 2 mm
entlang dem äußeren Scheibenumfang.
Die seitlichen Führungsrippen 2 sind im Querschnitt in F i g. 7 dargestellt und haben die Form eines
Kegelstumpfes mit einem Öffnungswinkel von etwa 15 bis 20°, bei einer Höhe von etwa 1,5 bis 3 mm. Der
ebenfalls kegelstumpfförmige Zwischenraum, der von
jeweils zwei benachbarten Führungsrippen 2 begrenzt wird, ist an der schmälsten Stelle vorzugsweise etwa 10
bis 20% breiter als die aufzunehmende Halbleiterscheibe.
In der Teilungsebene der Verpackung, d. h. am Oberrand des Untergestells ist die Form durch einen
überstehenden Rand 6 verbreitert, damit der Schnappverschluß 7 des Deckels 8 leicht einrasten und ohne
Schwierigkeiten wieder gelöst werden kann und andererseits aber auch eine notv/endige Zuhaltung
durch eine Vorspannung gegeben ist
An den beiden Schmalseiten des Untergestells 1 sind die vier Standbeine 9 angesetzt Die beiden Standbeine
9 jeder Schmalseite können aber auch beispielsweise zu jeweils einem verbreiterten Bein zusammengezogen
oder entsprechend an den Längsseiten angebracht werden.
Die Standbeine 9 ragen dabei etwas über den Boden des Unterteils 1 hinaus, um hierdurch eine Stapelbarkeit
der Verpackung zu erreichen. Das Gegenstück zu diesen Füßen ist in den Deckel 8 in Form einer
Vertiefung 10 eingearbeitet. Die Standbeine 9 einer zweiten Verpackung können beim Aufeinanderstapeln
somit in die passende Vertiefung 10 im Deckel 8 der unterstehenden Verpackung einrasten, wodurch dem
ganzen Stapel ein entsprechender Zusammenhalt gegeben wird. Durch die breite Ausführung der
Standbeine 9, deren beide äußerste Auflagepunkte mindestens der lichten Weite der Verpackung entsprechen,
wird eine ausgezeichnete Standsicherheit gegen Kippen erreicht, zumal die Horde selbst aufgrund der zu
haltenden runden Scheiben naturgemäß nur einen relativ schmalen Boden aufweist. Die Standbeine 9
werden zweckmäßig an den Schmalseiten bis zur Teilungsebene hochgezogen, wodurch eine Versteifung
der Seitenflächen erzielt wird und somit seitlich einwirkende Kräfte leichter abgefangen werden können.
Der Deckel 8 ist im Querschnitt polygonförmig an den Scheibenumfang angepaßt Auf zwei Polygonflächen
sind zwei parallele Längsreihen in das Innere der Verpackung ausgerichtet, an der Basisfläche aneinander
anstoßender Haltekegel 11 — entsprechend Fig. 8 — ausgeführt, wobei der Durchmesser der Basisfläche
dieser Kegel 11 dem Scheibenabstand in der Verpakkung entspricht. Der Spitzenwinkel dieser Kegel 11
beträgt zweckmäßig 60 bis 90°. Die Sciieiben werden am äußeren Umfang von je zwei benachbarten
Haltekegeln 11 beider Reihen gehalten, wie es in Fi g. 8
und 9 dargestellt ist, wobei die Haltepunkte der einen Kegelreihe und die Haltepunkte der parallel liegenden
Kegelreihe mit dem Mittelpunkt der jeweils gehaltenen Halbleiterscheibe 5 einen Winkel von 30 bis 50°
ausbilden entsprechend F i g. 3. Bei diesen Haltepunkten handelt es sich im strengen Sinn wieder natürlich um
eine kurre Linienberührung von etwa 0,5 bis 1,5 mm Länge.
Durch die höhere Federwirkung in diesem Bereich wird eine gute Anpassung des Deckels 8 an die
Toleranzen der Scheibendurchmesser gewährleistet.
In der Teilungsebene ist der Deckel 8 entsprechend dem Unterteil 1 ausgebildet, mit einem überstehenden
Rand 12 und einem in den beiden Längsseiten des überstehenden Randes 12 ausgebildeten Schnappverschluß
7 in Form eines nach innen gewölbten Wulstes. Die Schnappverschlüsse 7 erzeugen Zuhaltekräfte, die
beim innerbetrieblichen Transport ohne Folienschutzbeutel bereits ausreichend sind.
Durch die Geometrie der Verpackung, sowohl im Unterteil 1 als auch im Deckel 8, wird eine definierte
Vierpunktauflage der Scheiben 5 erreicht. Werden die Halbleiterscheiben 5 zur Kennzeichnung ihrer kristallographischen
Orientierung am äußeren Umfang an einer Seite angeschliffen, so steht die Scheibe 5 auch dann
noch, wenn dieser sogenannte Örientierungsflat 13 über einem Auflagepunkt zu liegen kommt, auf mindestens
drei Haltepunkten auf. Bei Verwindung der Packung können wegen der jederzeit gegebenen Punkthalterung
keine Relativbewegungen zwischen Scheibe und umhüllendem Material auftreten.
Die Verpackung wird nach dem Befüllen mit Halbleiterscheiben in einen Schutzfolienbeutel mit
möglichst geringer Gas-, Luft- bzw. Wasserdampfpermeationsmöglichkeit
gegeben und nach dem Evakuieren auf beispielsweise etwa 20 bis 200 Torr hermetisch
versiegelt. Auf die evakuierten Foliensäcke wirkt somit als Anpreßdruck die Druckdifferenz zwischen dem
Druck innerhalb und außerhalb der Schutzfolie. Hierdurch wird nicht nur ein Schutz gegen äußere
Einwirkungen, wie beispielsweise Staub und Feuchtigkeit, erzielt, sondern zusätzlich die für den Zusammenhalt
der zweiteiligen Verpackung erforderlichen Haltekräfte. Außerdem wird hierdurch das Aufblähen bzw.
die Zerstörung des Schutzfoliensackes bei Lufttransporten in Flugzeugen mit nur teilweisem Druckausgleich
der Frachtkabinen vermieden.
Der bei vermindertem äußeren Luftdruck kleinere Anpreßdruck der Verpackung auf die Halbleiterscheiben
in den Auflagepunkten kann durch die gleichzeitige Anwendung der Spannung einer Schrumpffolie ausgeglichen
werden. Weist der Schutzfolienbeutel bereits selbst Eigenschaften einer Schrumpffolie auf, so wird
nach dem Evakuieren vor dem endgültigen Versiegeln des Schutzfoliensackes die Folie geschrumpft, während
im anderen Fall der versiegelte und evakuierte Schutzfolienbeutel durch eine weitere Schrumpffolie in
seiner Erscheinungsform fixiert wird.
Die erfindungsgemäße Verpackung zeichnet sich gegenüber bekannten Verpackungen durch die bis zu
zehnfach geringeren Herstellungskosten aufgrund des einfachen Tiefziehverfahrens aus. Aufgrund des geringen
Preises kann die Verpackung als Einwegverpakkung eingesetzt werden, so daß das Problem der
Leergutrücknahme beim Versand entfällt. Durch die exakte und kraftmäßig eindeutige Lagerung der
Scheiben tritt ein Abrieb der Verpackung bei mechanischer Beanspruchung nicht auf. Beim Herabfallen der
Verpackung trifft sie aufgrund der Konstruktion nie auf einen Scheibenauflagepunkl auf. Aufgrund der hierdurch
gewährleisteten Stoßunempfindlichkeit treten Qualitätseinbußen oder Bruch der Scheiben nicht auf.
Durch entsprechende Normierung der Horde gelingt es, alle Scheiben beim Verarbeiten gleichzeitig, ohne Berührung der Oberfläche, in Prozeßhorden umzufüllen. Auch bei diesem Umhüllen ist die exakte Führung der Scheiben von Vorteil. Die Horde kann aber auch direkt im Prozeß der Weiterverarbeitung eingesetzt werden.
Durch entsprechende Normierung der Horde gelingt es, alle Scheiben beim Verarbeiten gleichzeitig, ohne Berührung der Oberfläche, in Prozeßhorden umzufüllen. Auch bei diesem Umhüllen ist die exakte Führung der Scheiben von Vorteil. Die Horde kann aber auch direkt im Prozeß der Weiterverarbeitung eingesetzt werden.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Stapelbare Hordenverpackung für Halbleiterscheiben mit einem die Scheiben aufnehmenden
Unterteil und einem passenden Deckel, wobei auf den beiden Längsseiten des Unterteils aus gegenüber
den zu verpackenden Scheiben inertem Kunststoff, dessen lichte Höhe nur einen Teil des
Scheibendurchmessers beträgt, einander gegenüberliegende Führungsrippen mit abgerundeten Oberkanten
ausgebildet sind und wobei die unteren Bereiche der beiden Längsseiten gekrümmt sind, und
wobei der die Horde mit einem Verschluß schließende Deckel aus den gegenüber den zu
verpackenden Scheiben inertem Kunststoff Halteelemente aufweist, und wobei am Unterteil des
Bodens der Horde Vorsprunge ausgearbeitet sind, die mit der Form des Deckels formangepaßt
zusammenwirken können, dadurch gekennzeichnet, daß auf den beiden senkrecht abfallenden
Längsseiten des Unterteils aus tiefgezogenem, gegenüber den zu verpackenden Halbleiterscheiben
inertem Kunststoff, dessen lichte Höhe 70 bis 80% des Scheibendurchmessers beträgt, einander gegenüberliegende
Führungsrippen sowie auf der Verbindungslinie zweier gegenüberliegender Führungsrippen
im Boden des Unterteils Stabilisierungsrippen mit abgci undeten Oberkanten ausgebildet sind, und
daß die unteren 20 bis 40% der beiden Längsseiten gegenüber dem senkrecht abfallenden oberen Teil
um einen Winkel von 30 bis 60° nach innen geknickt oder gekrümmt sind, und daß in diesen Übergangsflächen in der Mitte eingekerbte Noppen als
Auflagepunkte für die Halbleiterscheiben in einer solchen Zahl ausgeführt sind, daß jede Halbleiterscheibe
auf gerade zwei gegenüberliegenden Noppen aufsteht, wobei die beiden Auflagepunkte in den
Noppen mit dem Scheibenmittelpunkt einen Winkel von 75 bis 115° einschließen, und daß der die Horde
mit einem Schnappverschiuß schließende polygonförmig
an den Scheibenumfang angepaßte Deckel aus tiefgezogenem, gegenüber den zu verpackenden
Halbleiterscheiben inertem Kunststoff zwei parallele Längsreihen in das Innere der Verpackung
ausgerichteter, an der Basisfläche aneinander anstoßender Haltekegel aufweist, zwischen deren je zwei
jeder Reihe die Halbleiterscheibe am äußeren Umfang gehalten wird, wobei die Haltepunkte der
einen Kegelreihe und die Haltepunkte der parallel liegenden Kegelreihe mit dem Mittelpunkt der
jeweils gehaltenen Halbleiterscheibe einen Winkel von 30 bis 50° ausbilden.
2. Hordenverpackung für Halbleiterscheiben nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am
Unterteil über den Boden hinausragende Standbeine ausgearbeitet sind und im Deckel der Form der
Standbeine angepaßte Vertiefungen.
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