JPH0648857Y2 - 薄板処理用バスケツト - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエハ、ガラス
製マスク、レティクル、コンパクトディスク等に使用す
る薄板を多数並列状に収納し、この収納された薄板に対
して洗浄やエッチングおよび乾燥等の処理を行う薄板処
理用バスケツトに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種バスケツトに関しては各種
の構造が提案されているが、そのうちで最も一般的な構
造のものを図７乃至図９で説明する。バスケツト１は、
耐熱性や耐薬品性等に優れたプラスチック、例えば弗素
樹脂材で一体成形されている。このバスケツト１は、平
行状に対向する各側壁２，３と、各側壁２，３の両側端
部間を各々連結する端壁４，５とで囲まれた方形状をし
ている。上記側壁２，３の下側には、並列状に収容され
た多数の各薄板６が脱落しないように内側へ屈曲して縮
径状態にした台部７，８が各々形成され、該台部７，８
の傾斜面に薄板６の円弧面が係止して支持される。また
側壁２，３と台部７，８の内面には、多数の薄板６を所
定間隔で並列状に整合させて隔置するための間隔保持部
材として連続するリブ状をした多数の隔壁１１，１２が
並列状に内側へ突設され、この隔壁１１，１２の間には
薄板６を収容する挿入溝９，１０が形成される。更に側
壁２，３及び台部７，８には、長手方向に沿った方形状
の窓穴１３，１４，１５，１６が各々穿設され、該窓穴
１３，１４，１５，１６によって壁面が切り欠かれて上
記挿入溝９，１０の一部には各々スリット１７，１８，
１９，２０が形成される。これらの各スリット１７，１
８，１９，２０は、上記側壁２，３及び台部７，８の内
外を連通させて収容した薄板６に対する処理液や空気の
流動を良好にするための連通孔として機能する。尚、符
号２１は小径突起、符号２２は小径孔であり、薄板が収
容された一方のバスケットから空の他方のバスケットへ
薄板を移し替えする際に使用され、二個のバスケットを
突き合わせすると小径突起２１と小径孔２２が相互に嵌
合して位置決めされる。符号２３，２４は、薄板が収容
されたバスケットを処理液に浸漬したり引き上げる際
に、掴持用工具が係合される掴持用切欠き部である。ま
た符号２５，２６はコンベア等でバスケットを次工程に
搬送する際に、当該コンベアの送り機構が係合する係合
用切欠き部である。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】上記バスケット１に収
容された多数の薄板６は、スプレイ法や浸漬法による処
理液中に浸されてエッチングや洗浄処理が行われたり、
遠心乾燥機中で乾燥処理が行われるが、その際に処理液
や乾燥空気が薄板６の表面全体に均一に接触すると共
に、通過する流速が均一であることが望ましい。然しな
がら、上記した従来技術のように薄板６を整合させるた
めに、側壁２，３から台部７，８に亘って連続する隔壁
１１，１２で形成された挿入溝９，１０内に収容する間
隔保持構造では、次のような問題点があった。すなわ
ち、上記隔壁１１，１２は、処理液や空気の流動を妨げ
て澱み現象や気泡が発生しやすいと共に、薄板６と広い
面で接触して処理後の液切れを悪くして均一な処理が得
られず且つ乾燥ムラを生じてミスト状の微粒子が薄板６
に付着し易い構造である。

【０００４】また、上記の課題を解決するための提案の
一つとして例えば特開昭６１−６７２４２号公報に開示
されたウエーハ収納治具がある。このウエーハ収納治具
は、両側板の相対向する面にそれぞれ互いに対応して複
数の収容溝が形成され、上記両側板の上記各対応する収
容溝にウエーハの周縁部を挿入して上記ウエーハを収容
するものにおいて、相隣接する上記収容溝相互間の上記
側板の凸状部及び上記収容溝の形成部の両側の上記側板
の凸状部を切り欠き形状としたものである。すなわち、
このウエーハ収納治具では両側板から相対向する面に向
けて突設された縦長に連続するリブ状の各側板凸条部の
一部を、両側板が延在する長手方向に沿って任意な幅で
切り欠いて、ウエーハの挿入方向に沿って凸条部と切り
欠き凹部とが交互に形成された矩形波状の切り欠き形状
凸条部とし、これを間隔保持部材として隣接する切り欠
き形状凸条部相互間に形成された収容溝にウエーハの周
縁部を挿入した際に当該ウエーハとの接触面積を小さく
したものである。

【０００５】然しながら、この提案のウエーハ収納治具
でも更に改善を必要とする幾つかの課題が残されてい
る。上記切り欠き形状凸条部は平板状に形成されてお
り、この平板状の各切り欠き形状凸条部が収容溝に挿入
されたウエーハの両側面を広い幅の面接触状態でそれぞ
れ係合されるので、その個所における処理液の澱みや気
泡の発生を生ずる。また上記切り欠き形状凸条部は全て
同一の配列で形成されているので、収容溝に挿入された
ウエーハは同じ側板側で隣接する各切り欠き形状凸条部
によって表裏両面の同一個所が係合拘束を受けることに
なり、その個所における処理液の澱みや気泡の発生を生
ずる。また同一の配列で対向する両側板の各切り欠き形
状凸条部によって、ウエーハの周縁部両端は同じ高さの
対称位置が係合拘束を受けることになり、このために揺
動する遊びが少なくなって処理液の流動性が悪くなって
均一な処理が得られなくなる。更に、上記切り欠き形状
凸条部は高さとウエーハの挿入方向に沿った幅に付いて
は一体成型した後の切削加工等によって可能であるが、
側板の長手方向に沿った凸条部の幅およびピッチ（収納
溝の幅）は成型の都合で挿入側入口から底部側まで一定
であり、このために揺動する遊びが少なくなって処理液
の流動性が悪くなって均一な処理が得られなくなる。そ
こで本考案は、上記した従来技術の課題を解決して均一
で良好な処理を可能にした薄板処理用バスケットの提供
を目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本考案の請求項１による
薄板処理用バスケツトは、多数の薄板を収容する上下に
開口した方形状の容器であって、この容器の長手方向に
沿って平行する両側壁には容器の内外を連通させる上下
に縦長な多数のスリットが所定間隔毎に穿設され、この
各スリット間に形成された縦長な各側壁の内面には、上
記薄板の挿入を案内し且つ挿入された薄板の両側端部に
係合して当該薄板を並列な整合状態に隔置させる間隔保
持部材が、対面する他方の側壁側へ向けて対向状に突設
され、上記両側壁の下側には上記間隔保持部材間に挿入
された薄板が載架される台部が設けられ、上記間隔保持
部材は、上記スリットの両側に沿って各々間隔をおいた
点在状態で配列された多数の各棒状突起による棒状突起
群で形成され、この棒状突起は薄板と接触する外形面を
円弧状に形成させた。

【０００７】本考案の請求項２による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１における棒状突起を、断面が円形
または縦長の楕円形で先端側が次第に縮径する円柱状に
形成させた。

【０００８】本考案の請求項３による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１または請求項２における上記棒状
突起群は高さが異なる各棒状突起によって構成され、上
記薄板の挿入側入口に位置する棒状突起は高さが最も高
く形成されると共に、底部側に移行するに従って順次高
さを低くするように形成させた。

【０００９】本考案の請求項４による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１〜３における上記棒状突起群は径
が異なる各棒状突起によって構成され、上記薄板の挿入
側入口に位置する棒状突起は基部側の径が最も小さく形
成されると共に、底部側に移行するに従って順次基部側
の径を大きくするように形成させた。

【００１０】本考案の請求項５による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１〜４における上記棒状突起群は、
対面する両側壁間で互いに対向する各棒状突起の突設位
置を互い違いに配列させた。

【００１１】本考案の請求項６による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１〜５における上記棒状突起群は、
対面する両側壁間で互いに対向する各棒状突起の突設位
置を互い違いに配列させた。

【００１２】本考案の請求項７による薄板処理用バスケ
ツトは、上記請求項１〜６における上記薄板の挿入側入
口には、上記棒状突起群で形成した挿入空間へ各薄板を
案内させる案内部材が設けられ、この案内部材は上記ス
リット間に上記棒状突起群と同一ピッチで並設した棒状
突起または隔壁板によって形成させた。

【００１３】

【実施例】以下に本考案を図１乃至図６で図示の実施例
に基づいて説明する。バスケツト３１は、従来例と同様
に耐熱性や耐薬品性等に優れたプラスチック、例えば弗
素樹脂材で一体成形され、平行状に対向する各側壁３
２，３３の両側端部間を各端壁３４，３５で各々連結し
た方形状をしている。側壁３２，３３の下側には、処理
液や空気の流動を良くするための連通孔としてバスケツ
ト３１の長手方向に沿って方形状の窓孔３６，３７が各
々穿設されており、更にその下側には収容される薄板３
８が脱落しないように内側へ屈曲して縮径状態にした台
部３９，４０が各々形成されている。また上記各側壁３
２，３３には、処理液や空気の流動を良くするための連
通孔として縦長形状をした多数の並列するスリット４
１，４２が、バスケツト３１の長手方向に沿って所定間
隔で穿設されていると共に、各スリット４１，４２間の
側壁面には薄板３８を並列に一定のピッチで整合させて
隔置するための間隔保持部材として、多数の棒状突起４
３，４４が内向き対向状に突設されている。

【００１４】上記棒状突起４３，４４は、薄板３８の挿
入方向に沿って複数個が間隔をおいて点在状態に配列さ
れて一組の棒状突起群を構成し、該棒状突起群はバスケ
ツト３１の長手方向に一定のピッチで隣接する他の棒状
突起群と協動して薄板３８の挿入空間４５，４６が形成
される。上記の棒状突起４３，４４は各種の形状と配列
を採り得るものである。例えば基端部と先端部の径を一
定にした円柱状で、断面は薄板３８面と接触する挿入空
間４５，４６に沿った外面を円弧状に形成させ、薄板３
８との係合が点接触状態になるように接触面積を少なく
し、これによりて処理液や空気の流動を良くするもので
ある。また、これを更に改善するためには棒状突起４
３，４４の断面を円形または縦長の楕円形にし、先端側
が次第に縮径する円柱状に形成させる方がより望まし
い。また上記棒状突起群を、基部側の径が一定で且つ高
さを等しくした同形の各棒状突起によって構成しても良
いが、更に処理液や空気の流動を良くし且つ薄板の挿入
や位置決めの精度を向上するために、上記棒状突起群を
構成する各棒状突起の形状と配列を任意に設定すること
ができる。例えば図５のように、上記薄板の挿入側入口
に位置する棒状突起４３ａ，４４ａの高さを最も高く形
成して底部側に移行するに従って各棒状突起４３ｂ，４
３ｃ，４３ｄと各棒状突起４４ｂ，４４ｃ，４４ｄの高
さを順次低くするよう形成するのが望ましい。他の例と
しては図６のように、上記薄板の挿入側入口に位置する
棒状突起４３ａ，４４ａは基部側の径Ｓ１が最も小さく
且つ高さＨ１が最も高く形成すると共に、底部側に移行
するに従って各棒状突起４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ及び各
棒状突起４４ｂ，４４ｃ，４４ｄの各々の基部側の径Ｓ
２，Ｓ３，Ｓ４を順次大きくし且つ高さＨ２，Ｈ３，Ｈ
４を順次低くするように形成するのが最も望ましい。こ
の場合のように高さＨと径Ｓが異なる各棒状突起によっ
て構成すると、薄板の挿入側入口では一定のピッチＰの
間隔を有する隣接した各棒状突起の基部側の間隔Ｗ１は
広く且つ開口角度Ａ１は緩やかでしかも高さＨ１が高い
ので薄板３８の挿入が容易であり、底部側では間隔Ｗは
狭くなり且つ開口角度Ａは急になってしかも高さＨが低
くなっているで収納された薄板３８は安定保持され且つ
接触面積が少なくて処理液や空気の流動性が一段と改善
され極めて効果的である。尚、図示を省略するが上記薄
板の挿入側入口に位置する棒状突起の基部側の径を最も
小さく形成して底部側に移行するに従って順次基部側の
径を大きく形成するようにした高さが一定の各棒状突起
で構成することもできる。

【００１５】更に、隣接する各棒状突起群の棒状突起４
３又は棒状突起４４の配列を互い違いにずらせた位置に
して千鳥状に配設するのが望ましい。これにより、同じ
配列にして挿入された薄板３８の表裏から同じ位置を挾
持する従来の配列の場合に比べて、棒状突起群を構成す
る棒状突起の数を半分に減らしても薄板３８の挿入性や
挿入後の整合性は低下しないと共に、薄板３８との接触
面積が少なくなって処理液の流動や液切れあるいは乾燥
空気の流通をより良好にすることができる。また、薄板
３８の挿入性と挿入後の整合性を良好にするためには、
側壁３２側の棒状突起群に対する側壁３３側の棒状突起
群の配列も図４のように交互にずらせた位置で千鳥状に
対向するように配設すると良い。これにより、同じ配列
にして挿入された薄板３８の両端部を同じ高さ位置で挾
持する従来の配列の場合に比べて、薄板３８に対する間
隔保持部材による拘束力が軽減されて僅かな揺動が可能
となって処理液の流動や液切れあるいは乾燥空気の流通
をより良好にすることができる。

【００１６】上記した薄板３８が挿入される入口側の各
側壁３２，３３には、上記棒状突起４３，４４と同様の
棒状突起４７，４８を並設して案内空間４９，５０を各
々形成し、この案内空間４９，５０を介して挿入された
各薄板３８を上記棒状突起群が形成する各挿入空間４
５，４６へ案内させるようにしている。尚、上記棒状突
起４７，４８の代わりに短かい隔壁を並設して各案内空
間を形成するようにしたり、上記したように千鳥状に配
設した棒状突起４３，４４による棒状突起群を、薄板３
８が挿入される各側壁３２，３３の入口側まで延長させ
て配列する態様もある。上記したように各挿入空間４
５，４６に挿入された各薄板３８は、上記台部３９，４
０の傾斜面に円弧面が係止状態で載置されるが、該台部
３９，４０には傾斜面から三角状の係止突片５１，５２
が突設されている。この係止突片５１，５２は、上記棒
状突起４３，４４と同じ間隔でバスケツト３１の長手方
向に沿って並設され、隣接する係止突片間には各薄板３
８を挿入する挿入溝５３，５４が形成される。尚、上記
の係止突片５１，５２に代えて上記棒状突起４３，４４
と同様の棒状突起を台部３９，４０の傾斜面から並列状
に突設させて各薄板３８を挿入する挿入空間を形成する
態様もある。更に、上記バスケット３１には必要に応じ
て上記した従来例の場合と同様に、薄板移し替え時の位
置決め用の小径突起５５と小径孔５６、掴持用工具が係
合される掴持用切欠き部５７，５８、コンベアの送り機
構が係合する係合用切欠き部５９，６０が設けられる。

【００１７】以上の構成によるバスケット３１には、多
数の薄板３８が上記案内空間４９，５０を介して挿入空
間４５，４６及び挿入溝５３，５４に挿入されて整合状
態で収容され、その際には挿入空間４５，４６側に円弧
状面を備えた上記各棒状突起４３，４４による間隔保持
部材が、当該各薄板３８の安定保持を行い且つ均一な洗
浄やエッチングあるいは遠心乾燥等の処理を行うのに寄
与する。

【００１８】

【考案の効果】本考案の請求項１による薄板処理用バス
ケットでは、外形面が円弧状で点在状態で配列させた各
棒状突起による棒状突起群が、挿入された薄板の両面を
点接触状態で支えて間隔の保持がされるので、連続また
は断続する平板状リブを設けて面接触による間隔保持が
行われた従来技術に比べ、処理液の澱み現象や気泡の発
生が少なくなって処理液の流動を良好にすることができ
ると共に、処理後の液切れも良くて均一な処理が得られ
る構造である。また棒状突起を用いると、収納した薄板
のエッチングや洗浄及び乾燥に最も適合する所望な挿入
空間が得られるように形状や配列を任意に構成すること
が、上記平板状リブを用いた従来技術に比べてきわめて
容易になり、しかもこの棒状突起による間隔保持部材は
バスケットの成型時に一体成型することが可能である。

【００１９】本考案の請求項２による薄板処理用バスケ
ットでは、上記棒状突起を断面が円形または縦長の楕円
形で先端側が次第に縮径する円柱状に形成したので、挿
入された薄板に対して必要な間隔保持機能を確保した上
で当該薄板との接触面積が更に少くなるので、処理液の
澱み現象や気泡の発生が一段と少なくなって処理液の流
動を良好にすることができると共に、処理後の液切れも
良くて均一な処理が得られる。

【００２０】本考案の請求項３による薄板処理用バスケ
ットでは、上記薄板の挿入側入口に位置する棒状突起は
高さが最も高く底部側に移行するに従って順次高さを低
くするように形成したので、挿入側入口では薄板の挿入
が容易であり、処理液の澱み現象や気泡が発生しやすい
底部側では処理液の流動やを液切れを一段と良好にする
ことができる。

【００２１】本考案の請求項４による薄板処理用バスケ
ットでは、上記薄板の挿入側入口に位置する棒状突起は
基部側の径が最も小さく底部側に移行するに従って順次
基部側の径を大きくするように形成したので、薄板との
接触面積が更に少くなって処理液の流動性が良好にな
り、薄板に対して一段と均一な処理性能が得られる。

【００２２】本考案の請求項５による薄板処理用バスケ
ットでは、上記棒状突起群は同じ側壁側で上記スリット
を隔てて隣接する各棒状突起の突設位置を互い違いに配
列したので、挿入された薄板が隣接した平板状リブによ
って表裏双方から同時に接触を受けて拘束される従来技
術のようなことがなく、拘束が緩和されて当該薄板が揺
動する遊びを持たせることができ、処理液の流動性が更
に良好になって一段と均一な処理性能が得られる。

【００２３】本考案の請求項６による薄板処理用バスケ
ットでは、上記棒状突起群は対面する両側壁間で互いに
対向する各棒状突起の突設位置を互い違いに配列したの
で、挿入された薄板が対向した平板状リブによって対称
位置が同時に接触を受けて拘束される従来技術のような
ことがなく、拘束が緩和されて当該薄板が揺動する遊び
を持たせることができ、処理液の流動性が更に良好にな
って一段と均一な処理性能が得られる。

【００２４】本考案の請求項７による薄板処理用バスケ
ットでは、上記薄板の挿入側入口に棒状突起または隔壁
板を並設した案内部材を設け、上記棒状突起群が形成す
る挿入空間へ各薄板を案内させる案内空間を形成したの
で、上記薄板の挿入側入口では厳格な拘束係止を行って
底部側では薄板が揺動する遊びを持たせるように緩やか
な拘束係止を行うように各棒状突起群の収納溝の幅ピッ
チを設定することができるので、この案内部材によって
薄板の挿入を容易にし且つ整合性を良く必要な間隔保持
機能を持たせた状態で、然も処理液の流動性を良好にし
て薄板に対しては一段と均一な処理性能が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例による薄板処理用バスケットの
全体斜視図。

【図２】同バスケットの一部を省略して示す図１のＩＩ
−ＩＩ線に沿った縦断面図。

【図３】同バスケットの図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿っ
た縦断面図。

【図４】同バスケットの部分横断面図。

【図５】他の実施例によるバスケットの縦断面図。

【図６】同バスケットの棒状突起を更に改善した図５の
部分断面図。

【図７】従来例による薄板処理用バスケットの全体斜視
図。

【図８】同バスケットの一部を省略して示す図７のＶＩ
ＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図。

【図９】同バスケットの図７のＩＸ−ＩＸ線に沿った縦
断面図。

【図１０】同バスケットの部分横断面図。

【符号の説明】

３１ バスケツト ３２，３３ 側壁 ３４，３５ 端壁 ３６，３７ 窓孔 ３８ 薄板 ３９，４０ 台部 ４１，４２ スリット ４３，４４，４７，４８ 棒状突起 ４５，４６ 挿入空間 ４９，５０ 案内空間 ５１，５２ 係止突片 ５３，５４ 挿入溝

Claims (7)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】多数の薄板を収容する上下に開口した方形
   状の容器であって、この容器の長手方向に沿って平行す
   る両側壁には容器の内外を連通させる上下に縦長な多数
   のスリットが所定間隔毎に穿設され、この各スリット間
   に形成された縦長な各側壁の内面には、上記薄板の挿入
   を案内し且つ挿入された薄板の両側端部に係合して当該
   薄板を並列な整合状態に隔置させる間隔保持部材が、対
   面する他方の側壁側へ向けて対向状に突設され、上記両
   側壁の下側には上記間隔保持部材間に挿入された薄板が
   載架される台部が設けられ、上記間隔保持部材は、上記
   スリットの両側に沿って各々間隔をおいた点在状態で配
   列された多数の各棒状突起による棒状突起群で形成さ
   れ、この棒状突起は薄板と接触する外形面を円弧状に形
   成させたことを特徴とする薄板処理用バスケツト。
2. 【請求項２】上記棒状突起は、断面が円形または縦長の
   楕円形で先端側が次第に縮径する円柱状に形成させた請
   求項（１）に記載の薄板処理用バスケツト。
3. 【請求項３】上記棒状突起群は高さが異なる各棒状突起
   によって構成され、上記薄板の挿入側入口に位置する棒
   状突起は高さが最も高く形成されると共に、底部側に移
   行するに従って順次高さを低くするように形成させた請
   求項（１）または請求項（２）に記載の薄板処理用バス
   ケツト。
4. 【請求項４】上記棒状突起群は径が異なる各棒状突起に
   よって構成され、上記薄板の挿入側入口に位置する棒状
   突起は基部側の径が最も小さく形成されると共に、底部
   側に移行するに従って順次基部側の径を大きくするよう
   に形成させた請求項（１）〜（３）のいずれかに記載の
   薄板処理用バスケツト。
5. 【請求項５】上記棒状突起群は、同じ側壁側で上記スリ
   ットを隔てて隣接する各棒状突起の突設位置を互い違い
   に配列させた請求項（１）〜（４）のいずれかに記載の
   薄板処理用バスケツト。
6. 【請求項６】上記棒状突起群は、対面する両側壁間で互
   いに対向する各棒状突起の突設位置を互い違いに配列さ
   せた請求項（１）〜（５）のいずれかに記載の薄板処理
   用バスケツト。
7. 【請求項７】上記薄板の挿入側入口には、上記棒状突起
   群で形成した挿入空間へ各薄板を案内させる案内部材が
   設けられ、この案内部材は上記スリット間に上記棒状突
   起群と同一ピッチで並設した棒状突起または隔壁板によ
   って形成させた請求項（１）〜請求項（６）のいずれか
   に記載の薄板処理用バスケツト。