JP2007115785A - 薄板用支持容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】底板14と、底板に平行な上板16と、底板及び上板に対し直角に、かつ互いに平行に設けられた側面板20とを備えている。第1側面板20aに、底板及び上板間の上下方向に、等しい配列ピッチで互いに間隙を空けて、及び、互いに平行に設けられた複数の第1鍔部22aを備えている。第2側面板20bに、第1鍔部のそれぞれに一対一の関係で対向して設けられた複数の第2鍔部22bを備えている。鍔部は、上板に平行な上面23及び下面24をそれぞれ有する平行平板状体であり、第1鍔部の上面および第1鍔部に対向する第2鍔部の上面は、同一平面内にあって、薄板を支持する支持面を構成している。第1及び第2側面板には、隣接する鍔部間の間隙に対応する位置に間隙と連通する開口部36が形成されている。
【選択図】図1
Description
14、114 底板
16、116 上板
20、120 側面板
22、122 鍔部
23 上面
24 下面
26 本体部
28 案内部
30、130 ストッパ
34、134 スロット
36、136 スリット
50 ウェハ
Claims (8)
- 底板と、
該底板に平行な上板と、
該底板及び上板に対しそれぞれ直角に、かつ互いに平行に設けられた第1及び第2側面板とを備える、薄板を支持するための容器であって、
該第1側面板に、前記底板及び上板間の上下方向に等しい配列ピッチで、互いに間隙を空けて、及び、互いに平行に設けられた複数の第1鍔部と、
前記第2側面板に、該第1鍔部のそれぞれに一対一の関係で対向して設けられた複数の第2鍔部とを備え、
前記第1及び第2鍔部は、前記上板に平行な上面および下面をそれぞれ有する平行平板状体であり、
前記第1鍔部の上面および該第1鍔部に対向する第2鍔部の上面は、同一平面内にあって、前記薄板を支持する支持面を構成しており、
さらに、前記第1側面板は、隣接する第1鍔部間の間隙に対応する位置に該間隙と連通する第1開口部が形成されており、及び、
前記第2側面板は、隣接する第2鍔部間の間隙に対応する位置に該間隙と連通する第2開口部が形成されている
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項1に記載の薄板用支持容器において、
前記配列ピッチを6.35mmとし、
前記鍔部の厚みを2mm以上3.45mm以下としてある
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項1に記載の薄板用支持容器において、
前記配列ピッチを6.35mmとし、
前記鍔部の厚みを3mmとしてある
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項1に記載の薄板用支持容器において、
前記第1及び第2鍔部は、それぞれ、平行平板状の本体部と、該本体部と一体的に連続して設けられていて、前記支持容器に挿入された前記薄板を前記本体部へと案内するための案内部とによって構成してあり、
該案内部は、前記本体部側から先端へと先細となる案内部として形成されている
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項4に記載の薄板用支持容器において、
前記配列ピッチを6.35mmとし、
前記鍔部の本体部の厚みを2mm以上3.45mm以下としてある
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項4に記載の薄板用支持容器において、
前記配列ピッチを6.35mmとし、
前記鍔部の本体部の厚みを3mmとしてある
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項4〜6のいずれか一項に記載の薄板用支持容器において、
前記案内部の前記本体部の上面及び下面に対するテーパ角度をそれぞれ9.5度としてある
ことを特徴とする薄板用支持容器。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の薄板用支持容器であって、
前記薄板を半導体ウェハとする
ことを特徴とする薄板用支持容器。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005303675A JP2007115785A (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 薄板用支持容器 |
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JP2005303675A JP2007115785A (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 薄板用支持容器 |
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JP2005303675A Pending JP2007115785A (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 薄板用支持容器 |
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2005
- 2005-10-18 JP JP2005303675A patent/JP2007115785A/ja active Pending
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