JP6833542B2 - テープ回収方法およびテープ回収装置 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明に係るテープ回収方法は、長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け過程と、前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き過程と、長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、テープ保持機構によって平坦な状態で保持する保持過程と、平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断する切断過程と、枚葉に切断された前記テープが平坦となっている状態を維持しつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともにテープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送過程と、前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収過程と、を備えていることを特徴とするものである。
すなわち、本発明に係るテープ回収装置は、長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け機構と、前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き機構と、長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、平坦な状態で保持するテープ保持機構と、平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断するテープ切断機構と、前記枚葉に切断された前記テープを収納するテープ回収ボックスと、前記枚葉に切断された前記テープを、平坦な状態を維持させつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともに前記テープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送機構と、前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態でテープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収機構と、を備えることを特徴とするものである。
実施例に係る粘着テープ貼付け装置1は図1に示すように、テープ接合装置3、保持テーブル5、テープ貼付けユニット7、テープ切断ユニット9、テープ分離ユニット11、テープ回収部13、およびセパレータ回収部15を備えている。テープ接合装置3は、先行しているテープTSの後端に別のテープTSの先端を接合する。テープ接合装置3の具体的な構成については後述する。
ここで、テープ接合装置3の構成について説明する。テープ接合装置3は図1に示すように、テープ供給部17と、掴み代形成ユニット19と、テープ接合ユニット21とを備えている。テープ供給部17の構成については図2の各図を用いて説明する。図2(a)はテープ供給部17の斜視図であり、図2(b)はテープ供給部17の正面図である。
次に、テープ回収部13の構成について説明する。テープ回収部13は図5に示すように、テープ保持部材51と、テープ押圧部材53と、カッタユニット55と、テープ回収ユニット57とを備えている。
セパレータ回収部15の構成は、テープ回収部13の構成と共通する。すなわち図6に示すように、セパレータ回収部15はセパレータ保持部材61と、セパレータ押圧部材63と、カッタユニット65と、セパレータ回収ユニット67とを備えている。
ここで、粘着テープ貼付け装置1を用いて回路面保護用の粘着テープTをウエハWに貼付けるための一連の基本動作を説明する。図7(a)は、保護用の粘着テープTをウエハWに貼付ける工程を説明するフローチャートである。
ここで、ステップS7に係る、テープTSを自動で交換する工程について説明する。供給用テープの装填量が規定量以下となった場合、ステップS7に係るテープの交換工程は、図7(b)のフローチャートで示す、ステップS7−1からステップ7−8までの工程に従って行われる。図7(b)に示す工程により、テープ供給部17の供給位置に配置されている原反ロール28は、新たな原反ロール28に交換されるとともに、新たな原反ロール28から繰り出される後行の(上流側の)テープTSの先端と、先行の(下流側の)テープTSの後端とが自動的に接合される。
テープの交換を実行するにあたり、掴み代形成ユニット19によって粘着テープTに掴み代を形成させる工程が実行される。掴み代形成ユニット19の各構成について、初期位置は図3に示す通りである。すなわち、テープTSは剥離ユニット31によってセパレータSが剥離され、粘着テープTの粘着面が露出する。押出部材33は粘着テープTの粘着面側に配置され、圧着ローラ35は粘着テープTの非粘着面側に配置されている。
掴み代が形成された後、セパレータの再添接を行う。すなわち図16に示すように、セパレータSを巻回している送りローラ39を、粘着テープTの繰り出し方向Lにおける前方(図16の左方向)に転動させる。このとき、送りローラ39は、粘着テープTにおいて掴み代Hが形成される所定位置Tfを越えて転動するように構成される。
セパレータの再添接が終了した後、掴み代の送り出しを行う。すなわち、テープTSを繰り出すことにより、掴み代Hをテープ接合ユニット21までへ送り出す。実施例では原反ロール28により近い位置でテープTSの切断および接合を行うため、テープ接合ユニット21の位置は掴み代形成位置Tfより上流の位置となるように構成されている(図1)。そこで図17に示すように、テープTSの繰り出し方向を方向Lから方向Lrに逆流させることによって、掴み代Hを形成位置Tfから上流へ送り出してテープ接合ユニット21まで移動させる。
掴み代形成ユニット19からテープ接合ユニット21へ送り出された掴み代Hは、図18(a)に示すように、把持ユニット45に形成されている間隙部46の位置まで移動する。掴み代Hがテープ接合ユニット21へ送り出された後、掴み代の保持を行う。すなわち図18(b)に示すように、保持ユニット43および把持ユニット45を方向Rへ移動させることにより、テープTSを保持ユニット43および把持ユニット45によって挟持する。各ユニットによって挟持することにより、繰り出し方向LにおけるテープTSのずれが防止されるこのとき、保持ユニット43はセパレータSを吸着保持する。
掴み代を保持した後、先行テープの切断を行う。先行テープとは、供給位置に配置されている原反ロール28(実施例では原反ロール28A)から繰り出されているテープTSを意味する。すなわち図19に示すように、カッタユニット41の可動台41aを方向Rに駆動させ、カッタ刃41bをテープTSに突き刺させる。
先行テープの切断を行った後、先行テープ後端の剥離を行う。すなわち図20に示すように、セパレータSを吸着保持している保持ユニット43と、粘着テープTの吸着保持および掴み代Hの保持を行っている把持ユニット45とを、それぞれ方向Rにおいて逆方向に離反させる。保持状態を維持しつつ両ユニットを離反させることによって、先行しているテープTSの後端Baにおいて粘着テープTとセパレータSとを剥離させる。
先行テープの後端を剥離した後、原反ロールの切り換えを行う。すなわち図21の各図に示すように、テープ供給部17の回転プレート23を適宜回転させ、供給位置に配置される原反ロール28を切り換える。回転プレート23の回転により、供給位置に配置される原反ロール28は、装填量が減少している原反ロール28Aから(図21(a))、装填量が十分に多い原反ロール28Bへと切り換えられる(図21(b))。
原反ロールの切り換えが完了した後、後行テープの繰り出しを行う。供給位置にある原反ロールを原反ロール28Bに切り換えた時点では、後行テープTSbの先端はテープ保持部材27Bに挟持されている(図22(a))。そこで先行テープTSaと後行テープTSbを接合させるべく、原反ロール28Bからテープ保持部材27Bを経由して、後行テープTSbを繰り出させる(図22(b))。その結果、後行テープTSbの先端Fwは、先行テープTSaの後端Baと接合が可能な位置まで繰り出される。
後行テープが十分に繰り出された後、テープの接合を行う。すなわち図23(a)に示すように、セパレータSaを吸着保持している保持ユニット43と、粘着テープTaを吸着保持している把持ユニット45とを方向Rへ移動させ、後行テープTSbの先端Fwを先行している粘着テープTaおよびセパレータSaで挟み込む。挟み込みが行われた後、粘着テープTaの後端と粘着テープTbの先端、およびセパレータSaの後端とセパレータSbの先端との間で接合を行わせることによって、先行テープTSaと後行テープTSbとの接合が完了する。
次に、ステップS5などにおいて、テープ回収部13が不要テープTnを回収する具体的な動作について説明する。図7(c)はテープ回収部13が不要テープTnを回収するテープ回収工程の各動作を説明するフローチャートである。なお、テープ回収部13が備えている各構成の初期位置は、図5に示す通りであるものとする。また、テープ回収ユニット57において、回収ボックスF1が回収位置Fcに配置され、回収ボックスF2が待機位置Fsに配置されているものとする。
実施例に係るテープ回収工程では、まずテープの引き出しを行う。すなわちガイドローラ50によってテープ回収部13へ案内されている不要テープTnを、所定の長さだけ引き出させる。具体的には図24(a)に示すように、テープ保持部材51は点線で示す初期位置から、実線で示す終端位置へと移動する。終端位置は、不要テープTnが繰り出されている位置であれば適宜設定してよい。
所定長さの分、不要テープTnが引き出された後、引き出された不要テープTnを平坦な状態で保持させる。すなわち図25に示すように、テープ押圧部材53は点線で示す初期位置から実線で示す吸着位置へと移動する。
不要テープTnを平坦状態で保持した後、テープを枚葉に切断する。すなわち図26(a)に示すように、カッタユニット55は点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へ、不要テープTnの厚み方向に移動する。そして切断位置においてカッタ刃55bは不要テープTnに突き刺される。その後、可動台55aが不要テープTnの幅方向(図ではz方向)へ移動することによって、カッタ刃55bは不要テープTnを枚葉に切断する。なお、カッタ刃55bをR方向に移動させて不要テープTnに突き刺させてから幅方向に移動させる構成に限ることはない。一例として図26(b)に示すように、不要テープTnの側面に待機させているカッタ刃55bを不要テープTnの幅方向に移動させることにより、カッタ刃55bの刃先が不要テープTnを枚葉に切断する構成でもよい。この場合、可動台55aは方向Rへ移動する構成を省略できる。
不要テープTnを引き出し、当該引き出された部分が枚葉に切断された後、枚葉テープの収納を行う。まず、カッタユニット55を初期位置へ復帰させるとともに、テープ保持部材51による不要テープTnの保持を解除させる。そして図27に示すように、枚葉に切断された不要テープTnを吸着保持した状態で、テープ押圧部材53をさらに下降させる。
回収ボックスFの切り換えを行う場合、図28に示すように、回収ボックスFの各々を載置している回転テーブル58を中心軸Vの軸周りに回転させる。回転テーブル58の回転によって、規定量以上の不要テープTnを収納している回収ボックスF1は、回収位置Fcから待機位置Fsへと移動する。その一方で、空になっている回収ボックスF2は待機位置Fsから回収位置Fcへと移動する。
ここで、セパレータ回収部15の動作について説明する。図6に示すセパレータ回収部15の構成は図5に示すテープ回収部13と共通しており、セパレータ回収部15の動作もテープ回収部13の動作と共通している。
実施例では先行する粘着テープの一部を、当該粘着テープの繰り出し方向に対して略垂直な方向に突出させて掴み代を形成させ、当該掴み代より後端側の部分を切断する。そして掴み代を保持した状態で、先行テープの後部において粘着テープとセパレータとを離反する方向に移動させて両者を剥離する。最後に、後行テープの前部を、剥離された先行の粘着テープおよびセパレータの間に移動させ、先行の粘着テープおよびセパレータで後行テープの前部を挟み込んで接合する。
3 … テープ接合装置
5 … 保持テーブル
7 … テープ貼付けユニット
9 … テープ切断ユニット
11 … テープ分離ユニット
13 … テープ回収部
15 … セパレータ回収部
17 … テープ供給部
19 … 掴み代形成ユニット
21 … テープ接合ユニット
31 … 剥離ユニット
33 … 押出部材
35 … 圧着ローラ
41 … カッタユニット
43 … 保持ユニット
45 … 把持ユニット
51 … テープ保持部材
53 … テープ押圧部材
55 … カッタユニット
57 … テープ回収ユニット
T … 粘着テープ
TSa… 先行テープ
TSb… 後行テープ
S … セパレータ
F … 回収ボックス
G … 回収ボックス
H … 掴み代
Claims (5)
- 長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け過程と、
前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き過程と、
長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、テープ保持機構によって平坦な状態で保持する保持過程と、
平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断する切断過程と、
枚葉に切断された前記テープが平坦となっている状態を維持しつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともにテープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送過程と、
前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収過程と、
を備えていることを特徴とするテープ回収方法。 - 請求項1に記載のテープ回収方法において、
前記テープ保持機構は前記テープを吸着することによって前記テープを平坦な状態で保持する
ことを特徴とするテープ回収方法。 - 長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け機構と、
前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き機構と、
長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、平坦な状態で保持するテープ保持機構と、
平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断するテープ切断機構と、
前記枚葉に切断された前記テープを収納するテープ回収ボックスと、
前記枚葉に切断された前記テープを、平坦な状態を維持させつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともに前記テープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送機構と、
前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収機構と、
を備えることを特徴とするテープ回収装置。 - 請求項3に記載のテープ回収装置において、
前記テープ回収ボックスは複数設けられ、
前記不要テープ搬送機構が枚葉に切断された前記テープを移動させる対象となる前記テープ回収ボックスを別の前記テープ回収ボックスに切り替える切り替え機構を備える
ことを特徴とするテープ回収装置。 - 請求項3または請求項4に記載のテープ回収装置において、
前記テープ保持機構は、
前記テープに当接する扁平面と、
当該扁平面を介して前記テープを吸着保持する吸着孔とを備える
ことを特徴とするテープ回収装置。
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