JP5750632B2 - 基板へのシート貼付装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 35
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 115
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 115
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 48
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 18
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 10
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 88
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 36
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
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Description
前記原シート供給手段は、基板上への原シートの繰り出し途上に配置され前記セパレータに基板形状の閉ループ状切り込みを形成する刃物と、該刃物で切り込まれたセパレータ部分を原シートから剥離し、前記閉ループ状切り込みの内側部分の接着面を露出させる剥離手段とを備え、
前記内周テーブルは、前記基板を加熱する加熱手段を有し、
前記貼付手段は、前記原シート供給手段で基板上に原シートを供給する際に、前記接着面を基板と対向させるとともに、前記接着面の外側のセパレータ面が前記外周テーブル面と対向するように位置させて前記基板上に前記接着シートを押圧する貼付ローラを有し、
前記基板上に前記貼付ローラで接着シートを押圧する際に前記接着面の外側のセパレータ面が貼り付け予定部分以外を被覆するようにした構成を採用したシート貼付装置である。
前記貼付手段で剥離テープと前記切り込まれたセパレータとを貼り付け後、前記セパレータを引っ張ることにより、前記セパレータを引っ張り方向に折り返すように剥離させることで剥離されたセパレータが、自重で下方に垂れ下がるように剥離される構成を採用した請求項1または2記載のシート貼付装置である。
B セパレータ
C 基材シート
D セパレータ
R 剥離テープ
S 接着シート
1 シート貼付装置
2 機台
3 ウエハ
4 ウエハ供給部
5 搬送ロボット
6 吸着ハンド
7 アライメント部
8 アライメントテーブル
9 機枠
10 供給リール
11 ガイドローラ
12 ダンサローラ
13 ニップローラ
15 切り込み形成手段
16 刃物
17 ダイカットローラ
18 支持ローラ
20 シート片形成手段
21 シリンダ
22 上チャック
23 カッタ刃
24 下チャック
25A レール
25B レール
26 スライダ
30 シート搬送手段
31 吸着テーブル
32 シリンダ
33 モータ
35 テーブル支持板
36 支持板
37 回転軸
40 剥離手段
41 供給リール
42 ガイドローラ
43 ガイドローラ
44 貼付ローラ
45 回収リール
46 シート押え
47 切り込み
48 スライダ
49 レール
50 シート貼付部
51 上チャンバ
52 下チャンバ
53 昇降シリンダ
54 スライダ
55 真空アダプタ
56 貼付ローラ
57 内周テーブル
58 外周テーブル
60 ヒータ
61 シート保持機構
62 シート保持機構
63 シリンダ
64 シリンダ
65 カッタ機構
66 モータ
67 カッタ刃
69 シート貼付装置
70 シート廃棄機構
71 吸着体
72 廃棄ボックス
73 余剰シート
74 3次元構造体
75 チャック兼剥しローラ
76 貼付テーブル
77 回収リール
78 支持台
80 ウエハ
81 3次元構造体
82 内周テーブル
83 ヒータ
84 外周テーブル
85 貼付ローラ
86 セパレータ
87 DFR(ドライフィルムレジスト)
88 セパレータ
89 剥離ローラ
90 ガイドローラ
91 原シート
Claims (3)
- 接着シートの一方の面に基材シートが設けられると共に該接着シートの他方の面にセパレータが設けられた原シートを基板上に繰り出す原シート供給手段と、前記基板をその上面に保持する内周テーブルと該内周テーブルを取り囲むようにその外側に設けられた外周テーブルとを備える貼付テーブルと、前記原シートを基板に押圧して前記接着シートを該基板に貼り付ける貼付手段と、前記基板に貼り付けられた原シートを基板の外形に沿って切断する切断手段とを備えるシート貼付装置において、
前記原シート供給手段は、基板上への原シートの繰り出し途上に配置され前記セパレータに基板形状の閉ループ状切り込みを形成する刃物と、該刃物で切り込まれたセパレータ部分を原シートから剥離し、前記閉ループ状切り込みの内側部分の接着面を露出させる剥離手段とを備え、
前記内周テーブルは、前記基板を加熱する加熱手段を有し、
前記貼付手段は、前記原シート供給手段で基板上に原シートを供給する際に、前記接着面を基板と対向させるとともに、前記接着面の外側のセパレータ面が前記外周テーブル面と対向するように位置させて前記基板上に前記接着シートを押圧する貼付ローラを有し、
前記基板上に前記貼付ローラで接着シートを押圧する際に前記接着面の外側のセパレータ面が貼り付け予定部分以外を被覆するようにしたことを特徴とするシート貼付装置。
- 前記原シート供給手段は、前記刃物でセパレータに切り込みを形成後、その切り込みの外側部分で前記原シートを短冊状に切断するシート片形成手段を更に備え、
基板上に前記原シートをシート片として供給するようにしたことを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。 - 前記剥離手段は、前記セパレータ面が下となるように原シートを保持する保持手段と、剥離テープの供給手段と、前記切り込まれたセパレータの剥離始端部に下方から前記剥離テープを貼り付ける貼付手段と、剥離された前記セパレータを剥離テープと共に巻き取る巻取手段とから構成され、
前記貼付手段で剥離テープと前記切り込まれたセパレータとを貼り付け後、前記セパレータを引っ張ることにより、前記セパレータを引っ張り方向に折り返すように剥離させることで剥離されたセパレータが、自重で下方に垂れ下がるように剥離されることを特徴とする請求項1または2記載のシート貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166499A JP5750632B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 基板へのシート貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166499A JP5750632B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 基板へのシート貼付装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012028591A JP2012028591A (ja) | 2012-02-09 |
JP2012028591A5 JP2012028591A5 (ja) | 2013-12-19 |
JP5750632B2 true JP5750632B2 (ja) | 2015-07-22 |
Family
ID=45781165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010166499A Active JP5750632B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 基板へのシート貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5750632B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6027324B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-11-16 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP5937404B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2016-06-22 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 |
JP6006048B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-10-12 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP6672099B2 (ja) * | 2016-07-25 | 2020-03-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
TWI685905B (zh) * | 2017-07-12 | 2020-02-21 | 日商新川股份有限公司 | 接合裝置和接合方法 |
JP7157527B2 (ja) * | 2017-12-18 | 2022-10-20 | 株式会社ディスコ | 拡張装置 |
JP7292889B2 (ja) * | 2019-02-01 | 2023-06-19 | 株式会社エム・シー・ケー | 剥離装置及び剥離方法 |
CN113548511B (zh) * | 2021-06-05 | 2023-06-06 | 山东华滋自动化技术股份有限公司 | 一种微针眼贴加工设备及其加工方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3714813B2 (ja) * | 1999-01-21 | 2005-11-09 | 株式会社 日立インダストリイズ | フィルム貼付方法 |
JP2009194064A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Takatori Corp | 基板への接着フィルム貼付け装置及び貼付け方法 |
-
2010
- 2010-07-23 JP JP2010166499A patent/JP5750632B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012028591A (ja) | 2012-02-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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