KR102455405B1 - 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 조출되는 긴 테이프의 회수 공정을 보다 고도로 자동화할 수 있는 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치를 제공한다.
[해결 수단] 긴 불필요 테이프(Tn)를 평탄하게 확장한 상태에서 매엽으로 절단한 후, 당해 평탄한 상태를 유지하면서 매엽 형상의 불필요 테이프(Tn)를 적층시켜서 회수 박스에 수납한다. 이 경우, 불필요 테이프(Tn)의 각각은 정연하고 또한 낭비없이 적층되므로, 불필요 테이프(Tn)의 수납량에 대하여 불필요 테이프(Tn)가 차지하는 체적은 최소한으로 억제된다. 회수 박스의 교환 빈도를 저하시킬 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 불필요 테이프(Tn)가 쌓이는 속도는 일정해지므로, 계획적인 작업을 실행하는 것이 용이하게 된다.

Description

테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치{METHOD AND APPARATUS FOR COLLECTING TAPE}

본 발명은 반도체 웨이퍼, LED(Light emitting diode), 전자 회로 등의 각종 기판에 부착하는 점착 테이프의 공급 과정 등에 있어서, 불필요하게 된 긴 형상의 테이프를 회수하기 위한 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 적절히 「웨이퍼」라고 한다)는, 그 표면에 다수의 소자의 회로 패턴이 형성되어 있다. 예를 들어, 범프나 미세 회로가 웨이퍼 표면에 형성되어 있다. 그래서, 이면 연삭 시 및 반송 시에 당해 회로면의 오염 및 손상을 방지하기 위해서, 보호용 점착 테이프가 부착된다.

여기서 웨이퍼의 표면에 점착 테이프를 부착하기 위해서 사용하는, 테이프 부착 장치의 종래 구성에 대해서 설명한다. 종래의 테이프 부착 장치(101)는 도 33에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(103), 세퍼레이터 박리부(105), 보유 지지 테이블(107), 테이프 부착부(109), 테이프 절단 기구(111), 테이프 회수부(113) 및 세퍼레이터 회수부(115) 등을 구비하고 있다.

테이프 공급부(103)는 회로 보호용 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(TS)가 권회된 원단 롤이 장전된 공급 보빈으로부터, 당해 점착 테이프(TS)를 조출하여 안내한다. 세퍼레이터 박리부(105)는 조출된 점착 테이프(TS)로부터 세퍼레이터(S)를 박리한다. 보유 지지 테이블(107)은 회로 형성면이 상향인 상태로 되어 있는 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지한다. 테이프 부착부(109)는 일례로서 부착 롤러이며, 도 33에 있어서 좌측 방향으로 수평 이동한다. 당해 수평 이동에 의해, 테이프 부착부(109)는 세퍼레이터(S)가 박리된 점착 테이프(T)를, 보유 지지 테이블(107) 상의 웨이퍼(W)에 부착한다.

테이프 절단 기구(111)는 커터(111a)를 구비하고 있고, 부호 P로 나타내는 연직축 둘레로 테이프 절단 기구(111)가 회전함으로써, 점착 테이프(T)는 웨이퍼(W)의 외형을 따라 오려내진다. 오려내진 후의 불필요한 불필요 테이프(Tn)는, 테이프 회수부(113)를 구성하는 권취축에 있어서 롤 형상으로 권취되어 회수된다. 또한 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(S)는, 세퍼레이터 회수부(115)를 구성하는 권취축에 있어서 롤 형상으로 권취되어 회수된다.

이러한 테이프 부착 장치에 있어서, 테이프 공급부(103)에 있어서의 점착 테이프(T)의 장전량이 일정량을 하회한 경우, 또는 테이프 회수부(113)에 회수되는 불필요 테이프(Tn)의 양 등이 일정량을 상회한 경우에는 롤을 교환할 필요가 있다. 종래의 테이프 부착 장치(101)에서는 롤의 교환을 행하는 경우, 오퍼레이터는 번잡한 작업을 수동으로 행할 필요가 있다.

즉 테이프 공급부(103)에 있어서는, 원단 롤로부터 조출되는 점착 테이프(T)의 절단, 원단 롤의 교환, 절단된 점착 테이프(T)의 접합 및 점착 테이프(T)의 조출 재개와 같은 일련의 작업을 요한다. 그리고 테이프 회수부(113) 등에 있어서 는, 불필요한 테이프(Tn)의 절단, 롤 형상으로 회수된 불필요 테이프(Tn)의 제거, 권취축에 대한 불필요 테이프(Tn)의 접합 및 불필요 테이프(Tn)의 권취 재개와 같은 일련의 작업을 요한다. 종래의 장치에서는 이들 일련의 작업을 행하는 동안, 테이프 부착 장치의 운전을 중단시킬 필요가 있다.

최근에는 테이프 부착 장치의 운전 중단에 의한 부착 효율의 저하를 회피하기 위해, 롤의 교환 작업, 특히 절단된 점착 테이프(T)의 말단끼리를 접합시키는 작업을 자동으로 행하기 위한 시도가 행해지고 있다. 그 일례로서, 이하와 같은 테이프 접합 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1을 참조). 즉, 선행하고 있는 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(T)의 말단에 점착 부재를 부착하고, 점착 테이프(T)의 조출 방향에 대하여 당해 점착 부재를 이반 이동시킴으로써, 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)를 소정 길이에 걸쳐서 박리시킨다. 그리고 세퍼레이터가 박리된 점착 테이프(T)의 당해 말단을, 새로운 원단 롤로부터 공급되는 후속의 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(T)의 선단 부분에 부착함으로써, 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(T)의 말단끼리를 자동으로 접합할 수 있다.

일본특허공개 제2014-133616호 공보

그러나, 상기 종래 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 종래의 자동 접합 방법은, 테이프 공급부에 있어서 적용하는 것을 전제로 하고 있어, 테이프 회수부나 세퍼레이터 회수부에 적용하는 것이 곤란하다. 종래의 장치에서는, 예를 들어 테이프 회수부에 있어서, 긴 불필요 테이프를 축에 권취해서 회수한다. 이러한 종래의 회수 방법에서는, 불필요 테이프를 절단한 후, 롤 형상으로 권취 회수된 불필요 테이프를 축마다 취출해서 새로운 축으로 교환할 필요가 있다.

새로운 축에는 테이프 등이 권회되지 않고 있으므로, 종래의 자동 접합 방법을 적용하는 것은 곤란하다. 그 때문에, 불필요 테이프의 회수량이 규정량 이상으로 될 때마다, 롤 형상으로 회수된 불필요 테이프의 제거를 비롯한, 일련의 번잡한 조작을 수동으로 행할 필요가 있다. 그 결과, 오퍼레이터의 부담이 증대한다. 또한, 장치를 정지시킨 후에 불필요 테이프의 제거 등 일련의 조작을 행하여, 당해 조작의 완료 후에 장치를 재개하므로 장치의 작동 효율이 저하된다. 또한, 권취 회수하는 구성으로는 대형의 권취축을 설치할 필요가 있으므로, 점착 테이프 부착 장치가 대형화한다고 하는 문제도 우려된다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 조출되는 긴 테이프의 회수 공정을 보다 고도로 자동화할 수 있는 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 본 발명에 따른 테이프 회수 방법은, 긴 형상으로 조출되는 테이프의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을, 평탄한 상태에서 보유 지지하는 보유 지지 과정과, 평탄한 상태에서 보유 지지되어 있는 상기 테이프를 매엽으로 절단하는 절단 과정과, 매엽으로 절단된 상기 테이프가 평탄해져 있는 상태를 유지하면서, 매엽으로 절단된 상기 테이프를 테이프 회수 박스에 적층 수납하는 수납 과정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

(작용·효과) 이 방법에 따르면, 긴 형상의 테이프에 있어서의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을 평탄한 상태에서 보유 지지하고, 당해 평탄 상태의 테이프를 매엽으로 절단한다. 그리고 당해 평탄한 상태를 유지하면서 매엽 형상의 테이프를 테이프 회수 박스에 적층 수납시킨다. 이 경우, 테이프를 회수하는 동작에 있어서, 회수 박스의 수납량이 규정량을 초과한 경우에 당해 회수 박스를 교환하는 조작을 제외한 대부분 과정을 자동화할 수 있으므로, 장치의 작동 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 테이프 회수 박스에 수납되어 있는 매엽 형상의 테이프의 각각은 정연하고 또한 낭비없이 적층되므로, 테이프의 수납량에 대하여 테이프가 차지하는 체적을 최소한으로 억제할 수 있다. 그 결과, 테이프 회수 박스의 교환 빈도를 저하시킬 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 테이프 회수 박스에 있어서 매엽 형상의 테이프가 쌓이는 속도는 일정해지므로, 계획적인 교환 작업을 실행하는 것이 용이하게 된다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 보유 지지 과정에서는, 보유 지지 기구가 상기 테이프의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을 평탄한 상태에서 보유 지지하고, 상기 절단 과정에서는, 상기 보유 지지 기구가 평탄해져 있는 상기 테이프를 보유 지지하고 있는 상태에서 상기 테이프를 매엽으로 절단하고, 상기 수납 과정에 있어서, 매엽으로 절단된 상기 테이프를 보유 지지하고 있는 상기 보유 지지 기구는 상기 테이프와 함께 상기 테이프 회수 박스로 유도되는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 따르면, 보유 지지 기구가 테이프를 평탄하게 보유 지지한 상태에서 테이프는 매엽으로 절단되고, 또한 절단된 당해 테이프는 보유 지지 기구와 함께 평탄한 상태를 유지하면서 적층 수납된다. 이 경우, 긴 형상의 테이프는 보유 지지 기구에 보유 지지된 상태에서 적층 수납까지의 일련의 과정에 제공된다. 따라서, 테이프를 확실하게 평탄 상태에서 적층 수납시킬 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서 상기 보유 지지 기구는 상기 테이프를 흡착함으로써 상기 테이프를 평탄한 상태에서 보유 지지하는 것이 바람직하다. 이 구성에 따르면, 보유 지지 기구는 테이프를 흡착하므로, 보다 용이하고 또한 확실하게 테이프를 평탄한 상태에서 보유 지지할 수 있다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취해도 된다.

즉, 본 발명에 따른 테이프 회수 장치는, 긴 형상으로 조출되는 테이프의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을, 평탄한 상태에서 보유 지지하는 테이프 보유 지지 기구와, 평탄한 상태에서 보유 지지되어 있는 상기 테이프를 매엽으로 절단하는 테이프 절단 기구와, 상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를 수납하는 테이프 회수 박스와, 상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를, 평탄한 상태를 유지시키면서 상기 테이프 회수 박스로 유도하고, 상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를 상기 테이프 회수 박스에 적층 수납시키는 테이프 유도 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

(작용·효과) 이 구성에 따르면, 긴 형상의 테이프에 있어서의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을 평탄한 상태에서 보유 지지하고, 당해 평탄 상태의 테이프를 매엽으로 절단한다. 그리고 당해 평탄한 상태를 유지하면서 매엽 형상의 테이프를 테이프 회수 박스에 적층 수납시킨다. 이 경우, 테이프 회수 박스를 교환하는 조작을 제외한 대부분의 과정을 자동화할 수 있으므로, 장치의 작동 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 테이프 회수 박스에 수납되어 있는 매엽 형상의 테이프의 각각은 정연하고 또한 낭비없이 적층되므로, 테이프의 수납량에 대하여 테이프가 차지하는 체적을 최소한으로 억제할 수 있다. 그 결과, 테이프 회수 박스의 교환 빈도를 저하시킬 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 테이프 회수 박스에 있어서 매엽 형상의 테이프가 쌓이는 속도는 일정해지므로, 계획적인 교환 작업을 실행하는 것이 용이하게 된다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 테이프 절단 기구는, 상기 테이프 보유 지지 기구가 보유 지지하고 있는 상기 테이프를 매엽으로 절단하고, 상기 테이프 유도 기구는, 매엽으로 절단된 상기 테이프를 보유 지지하고 있는 상기 테이프 보유 지지 기구를 상기 테이프와 함께 상기 테이프 회수 박스로 유도하는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 따르면, 보유 지지 기구가 테이프를 평탄하게 보유 지지한 상태에서 테이프는 매엽으로 절단되고, 또한 절단된 당해 테이프는 보유 지지 기구와 함께 평탄한 상태를 유지하면서 적층 수납된다. 이 경우, 긴 형상의 테이프는 보유 지지 기구에 보유 지지된 상태에서 적층 수납까지의 일련의 과정에 제공된다. 따라서, 테이프를 확실하게 평탄 상태에서 적층 수납시킬 수 있다.

또한, 상기 테이프 회수 박스는 복수 설치되고, 상기 테이프 유도 기구가 매엽으로 절단된 상기 테이프를 유도하는 대상으로 되는 상기 테이프 회수 박스를 다른 상기 테이프 회수 박스로 전환하는 전환 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 따르면, 테이프 유도 기구가 매엽으로 절단된 테이프를 유도하는 대상으로 되는 테이프 회수 박스를 다른 테이프 회수 박스로 전환할 수 있다. 즉 테이프 회수 박스에 수납되는 테이프의 양이 규정량 이상으로 된 경우에도 테이프 회수 박스를 전환하여, 테이프의 회수 작업을 속행시키면서, 규정량으로 된 테이프 회수 박스를 교환할 수 있다. 그 때문에, 장치의 운전을 중단하는 시간을 대폭으로 저감할 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 테이프 보유 지지 기구는, 상기 테이프에 맞닿는 편평면과, 당해 편평면을 통하여 상기 테이프를 흡착 보유 지지하는 흡착 구멍을 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 따르면, 보유 지지 기구는 편평면을 통하여 테이프에 맞닿으면서, 당해 테이프를 흡착하므로, 보다 용이하고 또한 확실하게 테이프를 평탄한 상태에서 보유 지지할 수 있다.

본 발명의 테이프 회수 방법 및 테이프 회수 장치에 따르면, 테이프를 회수하는 과정의 대부분을 자동화할 수 있으므로, 오퍼레이터의 부담을 저감할 수 있다. 또한, 테이프 회수 박스의 교환 빈도를 저감할 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 테이프 회수 박스에 있어서 매엽 형상의 테이프가 쌓이는 속도는 일정해지므로, 계획적인 교환 작업을 실행하는 것이 용이하게 된다.

도 1은 실시예에 따른 점착 테이프 부착 장치의 기본 구성을 도시하는 정면도이다.
도 2는 실시예에 따른 테이프 공급부의 구성을 도시하는 도면으로, (a)는 테이프 공급부의 사시도이고, (b)는 테이프 공급부의 정면도이다.
도 3은 실시예에 따른 파지 부분 형성 유닛의 구성을 도시하는 도면이다.
도 4는 실시예에 따른 테이프 접합 유닛의 구성을 도시하는 도면이다.
도 5는 실시예에 따른 테이프 회수부의 구성을 도시하는 도면이다.
도 6은 실시예에 따른 세퍼레이터 회수부의 구성을 도시하는 도면이다.
도 7은 실시예에 따른 점착 테이프 부착 장치의 동작을 나타내는 흐름도로, (a)는 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 동작의 개요를 나타내는 흐름도이고, (b)는 스텝 S7의 동작의 상세를 설명하는 흐름도이고, (c)는 불필요 테이프를 회수하는 동작의 상세를 설명하는 흐름도이다.
도 8은 실시예에 따른 스텝 S2의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 부착 롤러가 초기 위치에 있는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 부착 롤러가 종단부 위치로 이동한 상태를 도시하는 도면이다.
도 9는 실시예에 따른 스텝 S3의 동작을 도시하는 도면이다.
도 10은 실시예에 따른 스텝 S4의 동작을 도시하는 도면이다.
도 11은 실시예에 따른 스텝 S7-1의 동작을 도시하는 도면이다.
도 12는 실시예에 따른 스텝 S7-1의 동작을 도시하는 도면이다.
도 13은 실시예에 따른 스텝 S7-1의 동작을 도시하는 도면이다.
도 14는 실시예에 따른 스텝 S7-1의 동작을 도시하는 도면이다.
도 15는 실시예에 따른 스텝 S7-1의 동작을 도시하는 도면이다.
도 16은 실시예에 따른 스텝 S7-2의 동작을 도시하는 도면이다.
도 17은 실시예에 따른 스텝 S7-3의 동작을 도시하는 도면이다.
도 18은 실시예에 따른 스텝 S7-4의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 선행 테이프를 협지하기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 선행 테이프를 협지한 후의 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 파지 부분을 파지한 상태를 도시하는 도면이다.
도 19는 실시예에 따른 스텝 S7-5의 동작을 도시하는 도면이다.
도 20은 실시예에 따른 스텝 S7-6의 동작을 도시하는 도면이다.
도 21은 실시예에 따른 스텝 S7-7의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 원단 롤을 전환하기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 원단 롤을 전환한 후의 상태를 도시하는 도면이다.
도 22는 실시예에 따른 스텝 S7-8의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 후행 테이프를 조출하기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 후행 테이프를 조출한 후의 상태를 도시하는 도면이다.
도 23은 실시예에 따른 스텝 S7-9의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 후행 테이프의 선단을 선행 테이프의 후단부에서 끼워서 접합하는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 접합 후의 테이프를 조출하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 24는 실시예에 따른 스텝 S5-1의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 테이프 보유 지지 부재가 종단부 위치로 이동하는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 테이프 보유 지지 부재가 불필요 테이프를 보유 지지하는 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 테이프 보유 지지 부재가 불필요 테이프를 인출하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 25는 실시예에 따른 스텝 S5-2의 동작을 도시하는 도면이다.
도 26은 실시예에 따른 스텝 S5-3의 동작을 도시하는 도면으로, (a)는 실시예에 따른 커터날의 동작을 도시하는 도면이고, (b)는 커터날의 동작에 대해서, 변형예의 일례를 도시하는 도면이다.
도 27은 실시예에 따른 스텝 S5-4의 동작을 도시하는 도면이다.
도 28은 실시예에 따른 스텝 S5-5의 동작을 도시하는 도면이다.
도 29는 실시예에 따른 회수 박스를 교환하는 동작을 도시하는 도면이다.
도 30은 실시예에 따른 점착 테이프 접합 방법에 대해서, 종래예와 비교하는 도면으로, (a)는 종래예에 있어서 흡착 부재를 테이프에 흡착시키는 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 종래예에 있어서 흡착 부재를 이반시키는 상태를 도시하는 도면이고, (c)는 점착력이 높은 테이프를 사용하는 경우에 있어서의 종래예의 문제점을 도시하는 도면이고, (d)는 실시예의 구성을 도시하는 도면이다.
도 31은 실시예에 따른 점착 테이프 회수 방법에 대해서, 종래예와 비교하는 도면으로, (a)는 종래예의 문제점을 도시하는 도면이고, (b)는 실시예의 구성을 도시하는 도면이다.
도 32는 변형예에 따른 점착 테이프 접합 장치의 구성을 도시하는 도면으로, (a)는 점착 테이프의 선단부에 있어서의 테이프 보유 지지 부재의 구성을 도시하는 도면이고, (b)는 변형예에 있어서의 스텝 S7-9의 구성을 도시하는 도면이다.
도 33은 종래예에 따른 점착 테이프 접합 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1은 실시예에 따른 테이프 접합 장치를 구비하는, 점착 테이프 부착 장치(1)의 기본 구성을 도시하는 정면도이다. 또한 점착 테이프 부착 장치(1)를 도시하는 도면에 있어서, 각종 구성을 지지하는 지지 수단 및 각종 구성을 구동시키는 구동 수단 등에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

본 실시예에서는, 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 약칭한다) 등의 각종 기판에 부착하는 표면 보호용 점착 테이프(T)를 세퍼레이터(S)가 첨접(添接)된 길이로 공급하고, 하류측에서 소정 형상으로 절단하는 경우를 예로 들어 설명한다. 즉, 본 실시예에서는 긴 점착 테이프끼리를 접합한다.

또한, 본 실시예에 있어서 「상류」 및 「하류」는 점착 테이프의 조출 방향을 따르는 것으로서 정의된다. 즉 「상류」란 점착 테이프의 조출 방향에 있어서, 후술하는 테이프 공급부에 가까운 측을 의미하기로 한다. 또한, 세퍼레이터(S)가 첨접된 상태의 점착 테이프(T)를, 테이프(TS)라 한다.

<전체 구성의 설명>

실시예에 따른 점착 테이프 부착 장치(1)는 도 1에 도시한 바와 같이, 테이프 접합 장치(3), 보유 지지 테이블(5), 테이프 부착 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9), 테이프 분리 유닛(11), 테이프 회수부(13) 및 세퍼레이터 회수부(15)를 구비하고 있다. 테이프 접합 장치(3)는 선행하고 있는 테이프(TS)의 후단부에 다른 테이프(TS)의 선단을 접합한다. 테이프 접합 장치(3)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.

보유 지지 테이블(5)은 회로 형성면이 상향으로 되어 있는 웨이퍼(W)를 적재해서 보유 지지한다. 실시예에서는 보유 지지 테이블(5)로서, 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지하는 척 테이블을 사용하지만, 보유 지지 테이블(5)의 구성으로서는 이것에 한정되지 않는다. 또한, 이 보유 지지 테이블(5)의 상면에는, 후술하는 테이프 절단 유닛(9)에 구비한 커터날(9c)을 웨이퍼(W)의 외형을 따라 선회 이동시켜서 점착 테이프(T)를 절단하기 위해서, 커터 주행 홈(5a)이 형성되어 있다.

테이프 부착 유닛(7)은 보유 지지 테이블(5)에 적재되어 흡착 보유 지지된 웨이퍼(W)의 회로면에 점착 테이프(T)를 부착한다. 테이프 부착 유닛(7)은 도 1에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 레일을 따라 좌우 수평하게 왕복 이동하는 가동대(7a)와, 가동대(7a)에 접속된 브래킷에 축 지지된 부착 롤러(7b)를 구비하고 있다.

테이프 절단 유닛(9)은 구동 승강 가능한 가동대(9a)의 하부에, 보유 지지 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종 축심(P) 둘레로 구동 선회 가능하게 지지 아암(9b)이 장비된다. 또한, 이 지지 아암(9b)의 자유 단부측에, 날끝을 하향으로 한 커터(9c)가 장착되어 있다. 즉, 지지 아암(9b)이 종 축심(P)을 선회 중심으로 해서 선회함으로써, 커터(9c)가 웨이퍼(W)의 외주를 따라서 이동해서 점착 테이프(T)를 오려내도록 구성되어 있다.

테이프 분리 유닛(11)은 커터(9c)에 의해 오려내져서 웨이퍼(W)의 표면에 부착된 점착 테이프(Tw)와, 오려내진 후의 불필요한 불필요 테이프(Tn)를 분리시킨다. 테이프 분리 유닛(11)은, 불필요한 불필요 테이프(Tn)의 텐션을 유지하는 가이드 롤러(11a)와, 닙 롤러(12)를 구비하고 있다. 닙 롤러(12)는 승강 이동을 가능하게 하는 핀치 롤러(12a)와, 모터에 의해 구동하는 이송 롤러(12b)에 의해 구성된다. 테이프 분리 유닛(11)은 도시하지 않은 레일을 따라 좌우 수평하게 왕복 이동이 가능해지도록 구성되어 있다.

<테이프 접합 장치의 구성>

여기서, 테이프 접합 장치(3)의 구성에 대해서 설명한다. 테이프 접합 장치(3)는 도 1에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(17)와, 파지 부분 형성 유닛(19)과, 테이프 접합 유닛(21)을 구비하고 있다. 테이프 공급부(17)의 구성에 대해서는 도 2의 각 도면을 사용해서 설명한다. 도 2의 (a)는 테이프 공급부(17)의 사시도이고, 도 2의 (b)는 테이프 공급부(17)의 정면도이다.

테이프 공급부(17)는 도 2의 (a)에 도시한 바와 같이, 회전 플레이트(23)에 복수의 보빈(25)이 세워 설치되어, 테이프(TS)의 원단 롤(28)을, 각각의 보빈(25)에 장전하도록 구성되어 있다. 실시예에서는 2개의 보빈(25A 및 25B)이 회전 플레이트(23)에 세워 설치되어 있는 것으로 한다. 보빈(25A)에 장전되어 있는 원단 롤에는 부호 28A를 붙이고, 보빈(25B)에 장전되는 원단 롤에는 부호 28B를 붙여서 양자를 구별한다.

회전 플레이트(23)는 구동 기구(24)에 의해 중심축(26)의 축 둘레로 회전하도록 구성되어 있다. 회전 플레이트(23)의 회전에 의해, 각각의 보빈(25)은 공급 위치와 대기 위치를 서로 이동 가능하게 되어 있다. 도 2의 각 도면에서는, 보빈(25A)이 공급 위치에 배치되어 있고, 또한 보빈(25B)이 대기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다.

또한, 대기 위치에 배치되어 있는 원단 롤(28)은, 도시하지 않은 개폐 도어를 통해서 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 취출할 수 있도록 구성된다. 오퍼레이터는 당해 원단 롤(28)을 취출함과 함께, 새로운 원단 롤(28)을 대기 위치에 세트할 수 있다. 또한, 테이프 공급부(17)에 있어서, 대기 위치는 공급 위치와 비교해서 점착 테이프 부착 장치(1)의 중앙부로부터 이격된 위치가 되도록 구성된다. 일반적으로, 고온으로 되어 있는 구성, 커터 및 가동부 등은 점착 테이프 부착 장치(1)의 중앙부에 많이 설치된다. 그 때문에, 대기 위치로 전환된 원단 롤(28)을 교환할 때, 오퍼레이터는 고온부나 가동부 등으로 접근하는 것을 피할 수 있다.

각각의 보빈(25)에는, 테이프 보유 지지 부재(27)와 가이드 롤러(29)가 배치되어 있다. 보빈(25)에 장전된 원단 롤(28)로부터 인출된 테이프(TS)의 선단은, 가이드 롤러(29)에 의해 텐션이 유지되면서, 테이프 보유 지지 부재(27)로 유도된다. 테이프 보유 지지 부재(27)는 일례로서 2매의 판상 부재에 의해 구성되어 있고, 판상 부재의 각각에 의해 테이프(TS)가 협지된다.

파지 부분 형성 유닛(19)은 도 3에 도시한 바와 같이, 박리 유닛(31)과, 압출 부재(33)와, 압착 롤러(35)를 구비하고 있다. 박리 유닛(31)은 테이프(TS)를 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)로 박리시킨다. 박리 유닛(31)은 가이드 롤러(37)와 이송 롤러(39)에 의해 구성된다.

가이드 롤러(37)는 테이프(TS) 및 박리 후의 점착 테이프(T)의 텐션을 유지한다. 이송 롤러(39)는 좌우 수평하게 왕복 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 박리 후의 세퍼레이터(S)는, 이송 롤러(39)로 권회되어 세퍼레이터 회수부(15)로 안내된다.

압출 부재(33)는 점착 테이프(T)의 조출 방향 L에 대하여 대략 수직인 방향 R(도 3에 있어서는 y 방향)로 구동 가능해지도록 구성되어 있고, 외장부(33a)와, 돌기부(33b)를 구비하고 있다. 돌기부(33b)는 내판(33c)의 상면에 배치되어 있고, 내판(33c)은 탄성 부재(33d)를 통하여 외장부(33a)의 저면과 접속되어 있다. 외장부(33a) 및 내판(33c)은 각각 독립하여 방향 R로 밀어올려지도록 구성되어 있다. 그리고 내판(33c)이 밀어올려짐으로써, 돌기부(33b)는 외장부(33a)의 외측으로 돌출되도록 구성되어 있다.

압출 부재(33)가 방향 R로 구동함으로써, 점착 테이프(T)의 일부는 돌기부(33b)의 맞닿음에 의해 방향 R로 돌출된다. 압착 롤러(35)는 방향 R로 돌출된 점착 테이프(T)에 압접함으로써 돌출된 점착 테이프(T)끼리를 압착시켜서, 파지 부분(H)을 형성시킨다. 압출 부재(33) 및 압착 롤러(35)의 구체적인 동작, 및 파지 부분(H)의 형성 과정에 대해서는 후술한다.

테이프 접합 유닛(21)은 도 4에 도시한 바와 같이, 커터 유닛(41)과, 보유 지지 유닛(43)과, 파지 유닛(45)을 구비하고 있다. 커터 유닛(41)은, 가동대(41a)와 커터날(41b)을 구비하고 있다.

가동대(41a)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 방향 R로 구동 가능하게 되어 있다. 또한 가동대(41a)는, 테이프(TS)의 폭 방향(도 4에서는 z 방향)으로 구동 가능하게 구성되어 있다. 가동대(41a)의 선단부에는 커터날(41b)이 구비되어 있다. 커터날(41b)은 부호 C로 나타내는 소정의 위치에 있어서, 테이프(TS)를 폭 방향에 걸쳐서 절단한다. 커터날(41c)이 선행의 테이프(TS)를 절단함으로써, 후속의 테이프(TS)와 접합하기 위한 말단 부분이 선행의 테이프(TS)에 형성된다.

보유 지지 유닛(43)은 일례로서 방향 R로 구동 가능하게 되어 있고, 당해 구동에 의해 세퍼레이터(S)의 측으로부터 테이프(TS)에 맞닿도록 구성된다. 보유 지지 유닛(43)은 간극부(44)를 갖고 있고, 커터 유닛(41)은 간극부(44)를 통하여 테이프(TS)에 가까워지고, 소정의 위치 C에 있어서 테이프(TS)를 절단할 수 있도록 구성된다.

파지 유닛(45)은 방향 R로 구동 가능하게 되어 있다. 파지 유닛(45)은 방향 R로 구동함으로써 점착 테이프(T) 측으로부터 테이프(TS)에 맞닿도록 구성된다. 즉 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)은, 각각 테이프(TS)를 끼워넣도록 구동함으로써 테이프(TS)를 안정적으로 보유 지지한다. 또한, 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)의 각각은, 진공 흡착 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 테이프(TS)에 맞닿은 후에 진공 흡착을 행함으로써, 테이프(TS)를 보다 안정적으로 보유 지지할 수 있다.

파지 유닛(45)은 조출 방향 L로 병렬되는 복수의 부재에 의해 구성되고, 당해 복수의 부재 사이에 적어도 하나의 간극부(46)를 갖고 있다. 실시예에 있어서, 파지 유닛(45)은 2개의 부재(45a) 및 부재(45b)를 갖고 있고, 부재(45a 및 45b) 사이에 간극부(46)가 형성되어 있는 것으로 한다.

부재(45a) 및 부재(45b)는 방향 R로 서로 동일한 방향으로 동기적으로 구동 할 수 있음과 함께, 조출 방향 L에 있어서 서로 반대 방향으로 구동하도록 구성되어 있다. 당해 부재가 반대 방향으로 구동함으로써, 파지 부분 형성 유닛(19)에 의해 형성된 파지 부분(H)을 파지 유닛(45)은 안정적으로 파지한다. 점착 테이프(T)에 파지 부분(H)을 형성시켜서 당해 파지 부분(H)을 파지 유닛(45)이 파지하는 구성에 의해, 점착 테이프(T)의 점착력이 강한 경우에도, 테이프(TS)의 후단부에 있어서 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)를 확실하게 박리할 수 있다.

<테이프 회수부의 구성>

이어서, 테이프 회수부(13)의 구성에 대해서 설명한다. 테이프 회수부(13)는 도 5에 도시한 바와 같이, 테이프 보유 지지 부재(51)와, 테이프 가압 부재(53)와, 커터 유닛(55)과, 테이프 회수 유닛(57)을 구비하고 있다.

테이프 보유 지지 부재(51)는 가동대(51a)와 보유 지지 부재(51b)를 구비하고 있다. 가동대(51a)는 좌우 수평 방향으로 왕복 이동 가능해지도록 구성되어 있다. 보유 지지 부재(51b)는, 가동대(51a)에 접속되어 있다. 보유 지지 부재(51b)는, 불필요한 불필요 테이프(Tn)의 두께 방향으로 가동함으로써, 불필요 테이프(Tn)를 표리면의 양측으로부터 끼워서 보유 지지한다. 보유 지지 부재(51b)는 불필요 테이프(Tn)를 협지하는 구성에 한정되지 않고, 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지하는 구성 등을 사용해도 된다. 보유 지지 부재(51b)가 불필요 테이프(Tn)를 보유 지지한 상태에서 가동대(51a)가 도 5에서 나타내는 우측 방향으로 이동함으로써, 가이드 롤러(50)에 의해 테이프 회수부(13)로 안내되고 있는 불필요 테이프(Tn)는, 수평 방향으로 인출된 상태에서 안정적으로 보유 지지된다.

테이프 가압 부재(53)는 가동대(53a)와 가압판(53b)을 구비하고 있다. 가동대(53a)는, 도 5에 도시되는 대기 위치와, 후술하는 회수 박스(F)의 회수 위치 사이에 걸쳐서 상하 방향으로 왕복 이동 가능해지도록 구성되어 있다. 가압판(53b)은 가동대(53a)에 접속되어 있고, 이면(도면의 하측)은 편평해져 있다. 그리고 편평해져 있는 이면 중, 적어도 테이프 흡착 부분에는 흡착 구멍이 설치되어 있다. 즉, 테이프 보유 지지 부재(51)에 의해 인출된 불필요 테이프(Tn)는, 가압판(53b)의 편평면에 의해, 수평 방향으로 펴져 있는 평탄한 상태에서 안정적으로 흡착 보유 지지된다.

그리고 후술하는 커터 유닛(55)에 의해 불필요 테이프(Tn)가 절단된 후, 가동대(53a)가 회수 위치에 배치되어 있는 회수 박스(F)로 이동함으로써, 매엽으로 절단된 불필요 테이프(Tn)는, 수평하게 펴져 있는 평탄한 상태에서 회수 박스에 수납된다.

커터 유닛(55)은 가동대(55a)와 커터날(55b)을 구비하고 있다. 가동대(55a)는, 불필요 테이프(Tn)의 폭 방향 및 두께 방향의 각각으로 구동할 수 있도록 구성되어 있다. 커터날(55b)은 가동대(55a)의 선단에 접속되어 있고, 날끝이 불필요 테이프(Tn)를 향하도록 구성되어 있다. 즉, 가동대(55a)의 구동에 따라서 커터날(55b)은 불필요 테이프(Tn)를 폭 방향으로 절단한다. 즉, 보유 지지 부재(51b) 및 가압판(53b)에 의해 불필요 테이프(Tn)는 수평 방향으로 펴져 있는 상태에서 안정 보유 지지되고, 당해 상태를 유지하면서 커터날(55b)에 의해 매엽으로 절단된다.

테이프 회수 유닛(57)은 회전 테이블(58)과, 복수의 회수 박스(F)를 구비하고 있다. 실시예에서는 2개의 회수 박스(F1 및 F2)를 구비하고 있는 것으로 한다. 회전 테이블(58)은 중심축(V)의 축 둘레로 회전하도록 구성되어 있다. 회전 테이블(58)의 회전에 의해, 회수 박스(F)의 각각은 회수 위치와 대기 위치를 서로 이동한다. 도 5에 있어서, 회수 박스(F1)가 회수 위치에 배치되고, 회수 박스(F2)가 대기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다.

회수 위치는 테이프 가압 부재(53)의 바로 아래에 위치하고 있고, 매엽으로 절단된 불필요 테이프(Tn)는, 회수 위치에 배치되어 있는 회수 박스(F)에 수납된다. 또한 대기 위치는 회수 위치와 비교해서 테이프 부착 장치(1)의 중심부로부터 보다 먼 위치가 되도록 구성되고, 대기 위치에 배치되는 회수 박스(F)는, 도 1에 도시하는 개폐 도어(59)를 통해서 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 취출 가능하게 되어 있다.

<세퍼레이터 회수부의 구성>

세퍼레이터 회수부(15)의 구성은, 테이프 회수부(13)의 구성과 공통된다. 즉 도 6에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터 회수부(15)는 세퍼레이터 보유 지지 부재(61)와, 세퍼레이터 가압 부재(63)와, 커터 유닛(65)과, 세퍼레이터 회수 유닛(67)을 구비하고 있다.

세퍼레이터 보유 지지 부재(61)는 가동대(61a)와 보유 지지 부재(61b)를 구비하고 있다. 보유 지지 부재(61b)가 세퍼레이터(S)를 보유 지지한 상태에서 가동대(61a)가 도 6에서 나타내는 좌측 방향으로 이동함으로써, 가이드 롤러(60)에 의해 세퍼레이터 회수부(15)로 안내되고 있는 세퍼레이터(S)는, 수평 방향으로 인출된 상태에서 안정적으로 보유 지지된다.

세퍼레이터 가압 부재(63)는 가동대(63a)와 가압판(63b)을 구비하고 있다. 가동대(63a)는 상하 방향으로 왕복 이동 가능해지도록 구성되어 있다. 가압판(63b)은 편평해져 있는 이면 중, 적어도 세퍼레이터 흡착 부분에 흡착 구멍이 설치되어 있고, 세퍼레이터 보유 지지 부재(61)에 의해 인출된 세퍼레이터(S)는, 가압판(63b)에 의해, 수평 방향으로 펴져 있는 평탄한 상태에서 흡착 보유 지지된다.

커터 유닛(65)은 가동대(65a)와 커터날(65b)을 구비하고 있다. 가동대(65a)는, 세퍼레이터(S)의 폭 방향 및 두께 방향의 각각으로 구동할 수 있도록 구성되어 있다. 커터날(55b)은 가동대(55a)의 선단에 접속되어 있고, 세퍼레이터(S)를 폭 방향에 걸쳐서 매엽으로 절단한다.

세퍼레이터 회수 유닛(67)은 회전 테이블(68)과, 복수의 회수 박스(G)를 구비하고 있다. 실시예에서는 2개의 회수 박스(G1 및 G2)를 구비하고 있는 것으로 한다. 회전 테이블(68)은 중심축(W)의 축 둘레로 회전하도록 구성되어 있다. 회전 테이블(68)의 회전에 의해, 회수 박스(G)의 각각은 회수 위치(Gc)와 대기 위치(Gs)를 서로 이동한다.

도 6에 있어서, 회수 박스(G1)가 회수 위치(Gc)에 배치되고, 회수 박스(G2)가 대기 위치(Gs)에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 매엽으로 절단된 세퍼레이터(S)는, 회수 위치에 배치되어 있는 회수 박스(G)에 수납된다. 대기 위치(Gs)에 배치되는 회수 박스(G)는, 도 1에 도시하는 개폐 도어(69)를 통해서 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 취출 가능하게 되어 있다.

<부착 동작의 개요>

여기서, 점착 테이프 부착 장치(1)를 사용해서 회로면 보호용 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 부착하기 위한 일련의 기본 동작을 설명한다. 도 7의 (a)는, 보호용 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 부착하는 공정을 설명하는 흐름도이다.

부착 지령이 내려지면, 소정의 수납부에 수납되어 있는 웨이퍼(W)는, 얼라인먼트 스테이지에서 위치 정렬된 후, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 기구에 의해 보유 지지 테이블(5)에 적재된다. 보유 지지 테이블(5)에 적재된 웨이퍼(W)는 선회되어, 웨이퍼(W)의 중심이 보유 지지 테이블(5)의 중심 위에 있도록 위치 정렬된 상태에서 흡착 보유 지지된다(스텝 S1).

이때, 테이프 부착 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9) 및 테이프 박리 유닛(11)의 각각은 도 8의 (a)에 나타내는 초기 위치로 이동하고 있다. 즉, 테이프 부착 유닛(9)은 보유 지지 테이블(5)의 우측으로 이동하고 있고, 테이프 박리 유닛(11)은 보유 지지 테이블(5)의 좌측으로 이동하고 있다. 또한, 테이프 절단 유닛(9)은 보유 지지 테이블(5)의 상방에서 대기하고 있다.

또한, 테이프 공급부(17)의 공급 위치에 장전되어 있는 원단 롤(28A)로부터 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(TS)가 하류로 조출하여 공급되고, 테이프(TS)는 박리 유닛(31)에 의해 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)에 박리된다. 그리고 점착 테이프(T)는 테이프 부착 유닛(7) 및 테이프 박리 유닛(11)으로 안내되고 있다.

이어서, 도 8의 (b)에 도시한 바와 같이, 테이프 부착 유닛(7)의 부착 롤러(7b)는 점착 테이프(T)를 하방으로 가압하면서 웨이퍼(W) 상을 전방(도 8에서는 좌측 방향)으로 전동하고, 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 종단부 위치로 이동한다. 이에 의해, 점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)의 표면 전체에 부착된다(스텝 S2).

점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)에 부착된 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 상방에 대기하고 있던 테이프 절단 유닛(9)이 하강되고, 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 절단 위치로 이동한다. 그리고 테이프 절단 유닛(9)이 절단 위치로 하강함으로써, 보유 지지 테이블(5)의 커터 주행 홈(5a)에 있어서 커터(9c)가 점착 테이프(T)에 찔러진다.

커터(9c)가 점착 테이프(T)에 찔러지면, 지지 아암(9b)이 종 축심(P)을 선회 중심으로 해서 선회한다. 이에 수반해서 커터(9c)가 웨이퍼 외주연에 미끄럼 접촉하면서 선회 이동하여, 점착 테이프(T)가 웨이퍼의 외형을 따라 절단된다(스텝 S3).

웨이퍼의 외형을 따른 점착 테이프(T)의 절단이 종료되면, 테이프 절단 유닛(9)은 원래의 대기 위치까지 상승된다. 그리고, 테이프 부착 유닛(7)은 종단부 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 부착 유닛(17)이 초기 위치로 복귀함과 함께, 도 10에 도시한 바와 같이, 테이프 박리 유닛(11)이 전방(도 10에서는 우측 방향)으로 이동한다. 즉 테이프 박리 유닛(11)은, 도 10에 있어서 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 종단부 위치로 우측 방향으로 이동한다.

테이프 박리 유닛(11)은 종단부 위치로 이동하면서, 점착 테이프(T) 중, 웨이퍼(W) 상에서 오려내어 절단되고 남은 불필요 테이프(Tn)를 감아 올려서 박리한다(스텝 S4). 또한, 점착 테이프(T) 중, 웨이퍼(W)의 표면에 부착되어 있는 부분에 대해서는 부호 Tw를 붙여서 불필요 테이프(Tn)와 구별한다.

박리 유닛(21)이 박리 작업의 종료 위치에 달하면, 테이프 박리 유닛(11)은 종료 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 이때, 불필요 테이프(Tn)가 권취되어 테이프 회수부(13)로 안내되어 회수됨과 함께, 일정량의 테이프(TS)가 테이프 공급부(17)로부터 조출된다(스텝 S5).

스텝 S5까지의 각 처리가 종료되면, 보유 지지 테이블(5)에 있어서의 흡착이 해제된다. 흡착 해제 후, 점착 테이프(Tw)가 부착된 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구에 의해 반송되어 도시하지 않은 웨이퍼 회수부로 회수된다(스텝 S6). 이상으로 1회의 점착 테이프 부착 처리가 완료된다.

또한, 점착 테이프 부착 처리의 완료 후, 테이프 공급부(13)의 공급 위치에 배치되어 있는 테이프(TS)의 원단 롤(28)(공급용 테이프)의 장전량에 따라서 이하의 공정을 분기한다. 공급용 테이프의 장전량이 미리 정해진 규정량 이하로 된 경우, 테이프(TS)의 자동 교환이 행해진다(스텝 S7). 공급용 테이프의 장전량이 규정량 이상인 것이 각종 센서 등을 사용해서 확인됨으로써, 이후, 상기 동작을 순차 반복해 간다.

<테이프의 교환 공정의 설명>

여기서, 스텝 S7에 따른, 테이프(TS)를 자동으로 교환하는 공정에 대해서 설명한다. 공급용 테이프의 장전량이 규정량 이하로 된 경우, 스텝 S7에 따른 테이프의 교환 공정은, 도 7의 (b)의 흐름도에서 나타내는, 스텝 S7-1 내지 스텝 S7-8까지의 공정에 따라서 행해진다. 도 7의 (b)에 나타내는 공정에 의해, 테이프 공급부(17)의 공급 위치에 배치되어 있는 원단 롤(28)은, 새로운 원단 롤(28)로 교환됨과 함께, 새로운 원단 롤(28)로부터 조출되는 후행의 (상류측의) 테이프(TS)의 선단과, 선행의 (하류측의) 테이프(TS)의 후단부가 자동적으로 접합된다.

또한, 테이프 공급부(17)의 실시예에서는 공급 위치에는 보빈(25A) 및 원단 롤(28A)이 당초 배치되어 있고, 장전량이 규정값 이하가 된 원단 롤(28A)을, 새로운 원단 롤(28B)로 교환하는 경우를 예로 들어 설명한다.

스텝 S7-1(파지 부분의 형성)

테이프의 교환을 실행함에 있어서, 파지 부분 형성 유닛(19)에 의해 점착 테이프(T)에 파지 부분을 형성시키는 공정이 실행된다. 파지 부분 형성 유닛(19)의 각 구성에 대해서, 초기 위치는 도 3에 도시한 바와 같다. 즉, 테이프(TS)는 박리 유닛(31)에 의해 세퍼레이터(S)가 박리되고, 점착 테이프(T)의 점착면이 노출된다. 압출 부재(33)는 점착 테이프(T)의 점착면측에 배치되고, 압착 롤러(35)는 점착 테이프(T)의 비점착면측에 배치되어 있다.

스텝 S7-1에 있어서, 먼저 도 11에 도시한 바와 같이, 내판(33c)은 외장부(33a)와 독립하여 방향 R로 이동하여, 돌기부(33b)를 밀어올린다. 내판(33c)이 돌기부(33b)를 밀어올림으로써, 돌기부(33b)의 선단부는 외장부(33a)보다 외부로 압출된다.

이어서, 돌기부(33b)의 선단부가 외장부(33a)보다 외부로 압출된 상태에서, 압출 부재(33)가 방향 R로 이동한다. 그 결과, 도 12에 도시한 바와 같이, 돌기부(33b)에 의해 점착 테이프(T)의 일부(점착 테이프(Tp))가, 조출 방향 L과 대략 수직인 방향인 방향 R로 압출된다.

돌기부(33b)가 점착 테이프(Tp)를 방향 R로 압출한 상태에 있어서, 외장부(33a)는 방향 L로 연장되는 점착 테이프(T)에 맞닿고 있다. 그 때문에, 돌기부(33b)가 밀어올려지는 위치가 방향 R에 어긋나는 것을 피할 수 있다. 또한, 돌기부(33b)가 점착 테이프(Tp)를 방향 R로 압출된 상태에 있어서, 방향 L로 조출되어 있는 점착 테이프(T)는, 외장부(33a) 및 압착 롤러(35) 사이로 끼워 넣어지도록 보유 지지되어 있는 것이 바람직하다.

이 경우, 돌기부(33b)가 점착 테이프(Tp)를 방향 R로 압출할 때, 점착 테이프(Tp)를 제외한 점착 테이프(T)가 연장되는 방향이 방향 L로부터 어긋나는 것을 피할 수 있다. 따라서, 후술하는 파지 부분(H)의 형성 에러의 발생이나, 파지 부분(H)의 형상 및 크기가 당초 상정된 형상 등과 다르다고 하는 사태의 발생을 피할 수 있다.

압출 부재(33)에 의해 점착 테이프(Tp)가 방향 R로 압출된 후, 압출된 점착 테이프(Tp)가 압착 롤러(35)에 의해 압착되어 파지 부분(H)이 형성된다. 구체적으로는, 먼저 도 13에 도시한 바와 같이, 압착 롤러(35)의 각각은, 서로 가까워지도록, 조출 방향 L에 있어서 각각 반대 방향으로 이동한다. 그 결과, 방향 R로 압출된 점착 테이프(Tp)의 비점착면이 압착 롤러(35)에 의해 양측으로부터 끼워 넣어진다.

점착 테이프(Tp)가 압착 롤러(35)에 끼워지면, 도 14에 도시한 바와 같이, 내판(33c)에 의한 돌기부(33b)의 밀어올림이 해제되고, 신장되어 있던 탄성 부재(33d)가 원래대로 돌아감으로써 돌기부(33b)는 외장부(33a)의 내부에 수납된다.

돌기부(33b)의 수납에 의해 돌기부(33b)는 점착 테이프(T)로부터 이반하므로, 점착 테이프(Tp)의 압착이 가능하게 된다. 즉, 압착 롤러(35)는 도 15에 도시한 바와 같이, 점착 테이프(Tp)의 양측으로부터 더 압접해 간다. 또한, 점착 테이프(Tp)를 압접함과 함께, 압출 부재(33)를 점착 테이프(T)로부터 이반시킨다. 그 결과, 점착 테이프(Tp)의 점착면끼리가 압착되어 파지 부분(H)이 형성된다.

이와 같이, 소정의 파지 부분 형성 위치(Tf)에 있어서 점착 테이프(Tp)를 방향 R로 돌출시키고, 또한 당해 점착 테이프(Tp)를 조출 방향 L에 있어서 서로 반대 방향으로부터 끼워 넣어서 압접함으로써 파지 부분이 형성된다. 그 결과, 파지 부분(H)의 형상은, 방향 L로 조출되어 있는 점착 테이프(T)에 있어서의 길이(Pa)의 영역에 있어서, 방향 R로 길이(Pb)만큼 돌출된 형상으로 된다. 그리고, 조출 방향 L에 있어서의 길이(Pa)에 대해서는 점착 테이프(T)의 두께 정도가 짧은 길이가 되는 한편, 방향 L에 대략 수직인 방향 R에 있어서의 길이(Pb)에 대해서는 돌기부(33b)의 형상에 따라서 임의의 길이로 할 수 있다.

스텝 S7-2(세퍼레이터의 재첨접)

파지 부분이 형성된 후, 세퍼레이터의 재첨접을 행한다. 즉 도 16에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터(S)를 권회하고 있는 이송 롤러(39)를, 점착 테이프(T)의 조출 방향 L에 있어서의 전방(도 16의 좌측 방향)으로 전동시킨다. 이때, 이송 롤러(39)는, 점착 테이프(T)에 있어서 파지 부분(H)이 형성되는 소정 위치(Tf)를 초과하여 전동하도록 구성된다.

이송 롤러(39)가 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 종단부 위치까지 전동함으로써, 파지 부분(H)의 기단부를 포함하는 점착 테이프(T)의 소정 길이에 걸쳐서 세퍼레이터(S)가 재첨접된다. 파지 부분(H)의 기단부에 세퍼레이터(S)가 첨접됨으로써, 파지 부분(H)을 형성하는 점착 테이프(T)의 점착면끼리가 박리하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 점착 테이프(T)의 점착면끼리의 박리에 의한 파지 부분(H)의 붕괴를 방지할 수 있으므로, 파지 부분(H)을 보다 안정적으로 유지할 수 있다.

스텝 S7-3(파지 부분의 송출)

세퍼레이터의 재첨접이 종료된 후, 파지 부분의 송출을 행한다. 즉, 테이프(TS)를 조출함으로써, 파지 부분(H)을 테이프 접합 유닛(21)까지로 송출한다. 실시예에서는 원단 롤(28)에 의해 가까운 위치에서 테이프(TS)의 절단 및 접합을 행하기 때문에, 테이프 접합 유닛(21)의 위치는 파지 부분 형성 위치(Tf)보다 상류의 위치가 되도록 구성되어 있다(도 1). 그래서 도 17에 도시한 바와 같이, 테이프(TS)의 조출 방향을 방향 L로부터 방향 Lr로 역류시킴으로써 파지 부분(H)을 형성 위치(Tf)로부터 상류로 송출해서 테이프 접합 유닛(21)까지 이동시킨다.

스텝 S7-4(파지 부분의 보유 지지)

파지 부분 형성 유닛(19)으로부터 테이프 접합 유닛(21)으로 송출된 파지 부분(H)은, 도 18의 (a)에 도시한 바와 같이, 파지 유닛(45)에 형성되어 있는 간극부(46)의 위치까지 이동한다. 파지 부분(H)이 테이프 접합 유닛(21)으로 송출된 후, 파지 부분의 보유 지지를 행한다. 즉 도 18의 (b)에 도시한 바와 같이, 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)을 방향 R로 이동시킴으로써, 테이프(TS)를 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)에 의해 협지한다. 각 유닛에 의해 협지함으로써, 조출 방향 L에 있어서의 테이프(TS)의 어긋남이 방지되는 이때, 보유 지지 유닛(43)은 세퍼레이터(S)를 흡착 보유 지지한다.

또한, 파지 유닛(45)은 점착 테이프(T)를 흡착 보유 지지한다. 당해 흡착 보유 지지에 의해, 테이프(TS)는 보다 안정적으로 보유 지지된다. 그리고, 테이프(TS)의 협지와 함께, 파지 유닛(45)에 의한 파지 부분(H)의 보유 지지가 행해진다. 즉 도 18의 (c)에 도시한 바와 같이, 부재(45a) 및 부재(45b)를 조출 방향 L에 있어서 서로 반대 방향으로 이동시키고, 간극부(46)에 있어서 파지 부분(H)을 끼워 넣도록 파지한다. 파지 부분(H)은 조출 방향 L에 대략 수직인 방향으로 소정의 길이 돌출되어 있으므로, 파지 부분의 파지에 의해, 파지 유닛(45)은 점착 테이프(T)를 보다 안정적으로 보유 지지할 수 있다.

스텝 S7-5(선행 테이프의 절단)

파지 부분을 보유 지지한 후, 선행 테이프의 절단을 행한다. 선행 테이프란, 공급 위치에 배치되어 있는 원단 롤(28)(실시예에서는 원단 롤(28A))로부터 조출되어 있는 테이프(TS)를 의미한다. 즉 도 19에 도시한 바와 같이, 커터 유닛(41)의 가동대(41a)를 방향 R로 구동시켜서, 커터날(41b)을 테이프(TS)에 찌르게 한다.

그리고 가동대(41a)를 테이프(TS)의 폭 방향으로 구동시킴으로써, 커터날(41b)은 부호 C로 나타내는 소정의 위치에 있어서, 선행하는 테이프(TS)를 폭 방향에 걸쳐서 절단한다. 선행 테이프가 커터날(41b)에 의해 절단됨으로써, 선행하는 테이프(TS)는 원단 롤(28A)로부터 분리된다. 그리고, 새로운 원단 롤(28)로부터 조출되는 테이프와 접합하기 위한 말단 부분이, 선행하는 테이프(TS)의 후단부에 형성된다.

스텝 S7-6(선행 테이프 후단부의 박리)

선행 테이프의 절단을 행한 후, 선행 테이프 후단부의 박리를 행한다. 즉 도 20에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터(S)를 흡착 보유 지지하고 있는 보유 지지 유닛(43)과, 점착 테이프(T)의 흡착 보유 지지 및 파지 부분(H)의 보유 지지를 행하고 있는 파지 유닛(45)을, 각각 방향 R에 있어서 반대 방향으로 이반시킨다. 보유 지지 상태를 유지하면서 양 유닛을 이반시킴으로써 선행하고 있는 테이프(TS)의 후단부(Ba)에 있어서 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)를 박리시킨다.

테이프(TS)의 한쪽 면을 흡착해서 박리를 행하는 종래 구성과 달리, 실시예에서는 테이프(TS)의 면에 대하여 대략 수직인 방향으로 돌출하는 파지 부분(H)을 형성하고, 당해 파지 부분을 파지 유닛(45)이 보유 지지하는 구성으로 되어 있다. 한쪽 면을 흡착 보유 지지하는 구성과 비교하여, 대략 수직인 방향으로 돌출하는 파지 부분(H)을 파지해서 보유 지지하는 구성 쪽이, 테이프(TS)를 보다 안정되게 보유 지지할 수 있다. 그 때문에 실시예의 구성에서는, 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S) 사이의 점착력이 강한 경우에도, 선행 테이프의 후단부에 있어서 확실하게 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)를 박리할 수 있다.

스텝 S7-7(원단 롤의 전환)

선행 테이프의 후단부를 박리한 후, 원단 롤의 전환을 행한다. 즉 도 21의 각 도면에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(17)의 회전 플레이트(23)를 적절히 회전시켜서, 공급 위치에 배치되는 원단 롤(28)을 전환한다. 회전 플레이트(23)의 회전에 의해, 공급 위치에 배치되는 원단 롤(28)은, 장전량이 감소하고 있는 원단 롤(28A)로부터(도 21의 (a)), 장전량이 충분히 많은 원단 롤(28B)로 전환된다(도 21의 (b)).

또한, 도 21 이후에 있어서, 보빈(25A)에 배치되어 있는 테이프 보유 지지 부재(27)에는 부호 27A를 붙이고, 보빈(25B)에 배치되어 있는 테이프 보유 지지 부재(27)에는 부호 27B를 붙여서 양자를 구별한다. 또한, 도 22 및 도 23에 있어서, 선행 테이프에 관한 테이프(TS), 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)에는 부호 a를 각각 뒤에 붙이고, 후행 테이프에 관한 테이프(TS), 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)에는 부호 b를 각각 뒤에 붙여서 양자를 구별한다.

스텝 S7-8(후행 테이프의 조출)

원단 롤의 전환이 완료된 후, 후행 테이프의 조출을 행한다. 공급 위치에 있는 원단 롤을 원단 롤(28B)로 전환한 시점에서는, 후행 테이프(TSb)의 선단은 테이프 보유 지지 부재(27B)에 협지되어 있다(도 22의 (a)). 그래서 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)를 접합시키기 위해, 원단 롤(28B)로부터 테이프 보유 지지 부재(27B)를 경유하여, 후행 테이프(TSb)를 조출시킨다(도 22의 (b)). 그 결과, 후행 테이프(TSb)의 선단(Fw)은, 선행 테이프(TSa)의 후단부(Ba)와 접합이 가능한 위치까지 조출된다.

스텝 S7-9(테이프의 접합)

후행 테이프가 충분히 조출된 후, 테이프의 접합을 행한다. 즉 도 23의 (a)에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터(Sa)를 흡착 보유 지지하고 있는 보유 지지 유닛(43)과, 점착 테이프(Ta)를 흡착 보유 지지하고 있는 파지 유닛(45)을 방향 R로 이동시키고, 후행 테이프(TSb)의 선단(Fw)을 선행하고 있는 점착 테이프(Ta) 및 세퍼레이터(Sa) 사이로 끼워 넣는다. 끼워넣기가 행해진 후, 점착 테이프(Ta)의 후단부와 점착 테이프(Tb)의 선단 및 세퍼레이터(Sa)의 후단부와 세퍼레이터(Sb)의 선단 사이에서 접합을 행하게 함으로써, 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)의 접합이 완료된다.

실시예에서는 도 22의 각 도면에 도시한 바와 같이, 테이프(TS)의 선단에 있어서, 양면 테이프를 예로 하는 점착재(g)가 미리 부착되어 있는 구성을 구비하고 있다. 그 때문에, 점착 테이프(Ta)의 후단부와 점착 테이프(Tb)의 선단 및 세퍼레이터(Sa)의 후단부와 세퍼레이터(Sb)의 선단은, 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)에 의해 가압됨으로써, 점착재(g)를 통하여 접합된다.

선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)의 접합이 완료된 후, 도 23의 (b)에 도시한 바와 같이, 보유 지지 유닛(43) 및 파지 유닛(45)을, 실선으로 나타내는 초기 위치로 복귀시킨다. 그리고, 접합된 양 테이프를 방향 L로 조출시킨다. 이상으로 스텝 S7에 관한 일련의 동작이 완료된다. 즉, 원단 롤(28A)로부터 원단 롤(28B)의 교환 및 원단 롤(28A)로부터 조출되는 테이프(TSa)와 원단 롤(28B)로부터 조출되는 테이프(TSb)의 단부끼리의 접합이, 자동으로 실행된다.

또한, 스텝 S7-7에 있어서 공급 위치로부터 대기 위치로 전환된 원단 롤(28A)은, 도시하지 않은 개폐 도어를 통해서 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 제거할 수 있다. 그리고 오퍼레이터는 원단 롤(28A)을 제거함과 함께, 새로운 원단 롤(28C)을 대기 위치에 세트한다. 원단 롤(28B)의 장전량이 감소한 경우, 다시 스텝 S7의 각 공정을 행함으로써, 원단 롤(28B)의 테이프(TS)로부터 원단 롤(28C)의 테이프(TS)로의 전환을 자동으로 실행할 수 있다. 그 결과, 오퍼레이터에 의한 작업을 대폭으로 저감할 수 있다.

<테이프 회수 공정의 설명>

이어서, 스텝 S5 등에 있어서, 테이프 회수부(13)가 불필요 테이프(Tn)를 회수하는 구체적인 동작에 대해서 설명한다. 도 7의 (c)는 테이프 회수부(13)가 불필요 테이프(Tn)를 회수하는 테이프 회수 공정의 각 동작을 설명하는 흐름도이다. 또한, 테이프 회수부(13)가 구비하고 있는 각 구성의 초기 위치는, 도 5에 도시한 바와 같은 것으로 한다. 또한, 테이프 회수 유닛(57)에 있어서, 회수 박스(F1)가 회수 위치(Fc)에 배치되고, 회수 박스(F2)가 대기 위치(Fs)에 배치되어 있는 것으로 한다.

스텝 S5-1(테이프의 인출)

실시예에 따른 테이프 회수 공정에서는, 먼저 테이프의 인출을 행한다. 즉 가이드 롤러(50)에 의해 테이프 회수부(13)로 안내되고 있는 불필요 테이프(Tn)를, 소정의 길이만큼 인출시킨다. 구체적으로는 도 24의 (a)에 도시한 바와 같이, 테이프 보유 지지 부재(51)는 점선으로 나타내는 초기 위치로부터, 실선으로 나타내는 종단부 위치로 이동한다. 종단부 위치는, 불필요 테이프(Tn)가 조출되어 있는 위치이면 적절히 설정해도 된다.

종단부 위치로 이동한 테이프 보유 지지 부재(51)는, 테이프 회수부(13)로 안내되고 있는 불필요 테이프(Tn)를 보유 지지한다. 실시예에서는 도 24의 (b)에 도시한 바와 같이, 보유 지지 부재(51b)가 불필요 테이프(Tn)의 두께 방향으로 가동함으로써, 불필요 테이프(Tn)를 표리면의 양측으로부터 끼워서 보유 지지하는 구성으로 되어 있다. 테이프 보유 지지 부재(51)가 불필요 테이프(Tn)를 안정적으로 보유 지지하는 구성이면, 보유 지지 부재(51b)에 의해 파지하는 구성에 한정하지 않고, 테이프 보유 지지 부재(51)는 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지하는 구성 등이어도 된다.

그리고, 테이프 보유 지지 부재(51)는 도 24의 (c)에 도시한 바와 같이, 불필요 테이프(Tn)를 보유 지지한 상태에서 종단부 위치로부터 초기 위치로 복귀한다. 테이프 보유 지지 부재(51)가 초기 위치로 복귀함으로써, 불필요 테이프(Tn)는 종단부 위치로부터 초기 위치까지의 소정 길이 K 만큼, 부호 M으로 나타내는 방향으로 인출된다. 실시예에서는 방향 M은 수평 방향이 되도록 구성되어 있지만, 방향 M은 적절히 변경해도 된다.

스텝 S5-2(테이프를 평탄 상태에서 보유 지지)

소정 길이만큼, 불필요 테이프(Tn)가 인출된 후, 인출된 불필요 테이프(Tn)를 평탄한 상태에서 보유 지지시킨다. 즉 도 25에 도시한 바와 같이, 테이프 가압 부재(53)는 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 흡착 위치로 이동한다.

그리고 테이프 가압 부재(53)는, 가압판(53b)이 갖는 편평한 이면 전체를 통하여, 인출된 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지한다. 이때, 불필요 테이프(Tn)는 조출 방향 및 폭 방향에 대해서 평탄한 상태가 되도록 보유 지지된다. 또한, 불필요 테이프(Tn)를 평탄하게 보유 지지하는 구성은 적절히 변경해도 되고, 일례로서, 가압판(53b)이 갖는 편평한 이면의 외주 부분에 있어서 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지하는 구성을 적용해도 된다.

스텝 S5-3(테이프를 매엽으로 절단)

불필요 테이프(Tn)를 평탄 상태에서 보유 지지한 후, 테이프를 매엽으로 절단한다. 즉 도 26의 (a)에 도시한 바와 같이, 커터 유닛(55)은 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 절단 위치로, 불필요 테이프(Tn)의 두께 방향으로 이동한다. 그리고 절단 위치에 있어서 커터날(55b)은 불필요 테이프(Tn)에 찔러진다. 그 후, 가동대(55a)가 불필요 테이프(Tn)의 폭 방향(도면에서는 z 방향)으로 이동함으로써, 커터날(55b)은 불필요 테이프(Tn)를 매엽으로 절단한다. 또한, 커터날(55b)을 R 방향으로 이동시켜서 불필요 테이프(Tn)에 찌르게 하고 나서 폭 방향으로 이동시키는 구성에 한정하지는 않는다. 일례로서 도 26의 (b)에 도시한 바와 같이, 불필요 테이프(Tn)의 측면에 대기시키고 있는 커터날(55b)을 불필요 테이프(Tn)의 폭 방향으로 이동시킴으로써, 커터날(55b)의 날끝이 불필요 테이프(Tn)를 매엽으로 절단하는 구성이어도 된다. 이 경우, 가동대(55a)는 방향 R로 이동하는 구성을 생략할 수 있다.

스텝 S5-4(매엽 테이프의 수납)

불필요 테이프(Tn)를 인출하고, 당해 인출된 부분이 매엽으로 절단된 후, 매엽 테이프의 수납을 행한다. 먼저, 커터 유닛(55)을 초기 위치로 복귀시킴과 함께, 테이프 보유 지지 부재(51)에 의한 불필요 테이프(Tn)의 보유 지지를 해제시킨다. 그리고 도 27에 도시한 바와 같이, 매엽으로 절단된 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지한 상태에서, 테이프 가압 부재(53)을 더욱더 하강시킨다.

하강한 테이프 가압 부재(53)는, 점선으로 나타내지고 있는 흡착 위치로부터, 실선으로 나타내지고 있는, 회수 박스(F1)의 저면 근방까지 이동한다. 그리고 회수 박스(F1)의 저면 근방에 있어서 불필요 테이프(Tn)의 흡착 보유 지지를 해제한다. 흡착 보유 지지가 해제된 불필요 테이프(Tn)는, 회수 박스(F1)의 저면 또는 이미 회수 박스(F1)에 수납되어 있는 불필요 테이프(Tna) 상에 평탄한 상태에서 수납된다.

회수 박스(F1)의 저면 근방 또는 이미 수납이 끝난 불필요 테이프(Tna)의 상면 근방에 있어서 평탄한 불필요 테이프(Tn)의 흡착 보유 지지가 해제되므로, 매엽으로 절단된 불필요 테이프(Tn)의 각각을, 평탄한 상태에서 적층시켜서 수납할 수 있다. 즉, 흡착 보유 지지 해제로부터 적층 수납까지의 사이에, 매엽의 불필요 테이프(Tn)가 만곡 등 변형되는 것을 피할 수 있다.

또한, 불필요 테이프(Tn)의 각각을 평탄한 상태에서 적층할 수 있으면, 회수 박스(F1)의 저면 근방 등에 있어서 흡착 보유 지지를 해제하는 구성에 한정하지는 않는다. 즉, 하강한 테이프 가압 부재(53)는 흡착 보유 지지되어 있는 불필요 테이프(Tn)를, 회수 박스(F1)의 저면 또는 수납이 끝난 불필요 테이프(Tna)의 표면에 가압시킨 상태에서 흡착 보유 지지를 해제하는 것이 보다 바람직하다. 매엽으로 절단된 불필요 테이프(Tn)를 회수 박스에 적층 수납시킨 후, 테이프 가압 부재(53)을 상승시켜서 초기 위치로 복귀시킨다.

이후, 회수 위치(Fc)에 배치되어 있는 회수 박스(F1)에 있어서, 수납되어 있는 불필요 테이프(Tn)의 양이 미리 정해진 규정량 이상인지 여부에 따라서 공정을 분기한다. 규정량을 하회하는 경우에는 스텝 S5-1로 되돌아가서 스텝 S5-1부터 스텝 S5-4의 일련 동작을 반복해서 불필요 테이프(Tn)의 회수를 속행한다. 규정량 이상인 경우에는 스텝 S5-5로 진행하여, 회수 박스(F)의 전환을 행한다.

스텝 S5-5(회수 박스의 전환)

회수 박스(F)의 전환을 행하는 경우, 도 28에 도시한 바와 같이, 회수 박스(F)의 각각을 적재하고 있는 회전 테이블(58)을 중심축(V)의 축 둘레로 회전시킨다. 회전 테이블(58)의 회전에 의해, 규정량 이상의 불필요 테이프(Tn)를 수납하고 있는 회수 박스(F1)는, 회수 위치(Fc)로부터 대기 위치(Fs)로 이동한다. 한편, 비어 있는 회수 박스(F2)는 대기 위치(Fs)로부터 회수 위치(Fc)로 이동한다.

회수 위치(Fc)에 배치되어 있는 회수 박스(F)를 회수 박스(F1)로부터 회수 박스(F2)로 전환함으로써, 매엽의 불필요 테이프(Tn)를 회수 박스(F2)에 수납 가능하게 된다. 즉, 회수 위치(Fc)에 배치되어 있는 회수 박스(F)를 비어 있는 회수 박스(F2)로 전환한 시점에서, 스텝 S5-1로 되돌아가서 불필요 테이프(Tn)의 회수 공정을 재개할 수 있다.

그리고 실시예에서는, 불필요 테이프(Tn)의 회수 공정을 재개하면서, 허용량을 초과한 회수 박스(F)의 교환을 행할 수 있다. 즉 도 29에 도시한 바와 같이, 오퍼레이터는 개폐 도어(59)를 개방함으로써, 대기 위치로 이동한 회수 박스(F1)를 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 취출한다. 그리고, 오퍼레이터는 회수 박스(F1) 대신에, 비어 있는 새로운 회수 박스(F3)를 회전 테이블(58)에 있어서의 대기 위치(Fs)에 적재한다.

대기 위치(Fs)는 회수 위치(Fc)와 비교해서 테이프 부착 장치(1)의 중심부로부터 보다먼 위치가 되도록 구성된다. 그 때문에, 대기 위치(Fs)로 이동한 회수 박스(F)의 취출 및 교환을 행할 때, 오퍼레이터가 고온부나 가동부 등에 근접하는 것을 피할 수 있다.

또한, 회수 박스(F2)를 회수 위치(Fc)로 이동시키고, 불필요 테이프(Tn)의 회수를 재개한 상태에서 회수 박스(F1)로부터 회수 박스(F3)에 대한 교환을 할 수 있다. 즉, 회전 테이블(58)을 회전시키는 공정을 제외해서 테이프 회수부(13)의 동작을 정지시킬 필요가 없으므로, 테이프 회수부(13)의 가동 효율을 향상시킬 수 있다.

<세퍼레이터 회수부의 동작의 설명>

여기서, 세퍼레이터 회수부(15)의 동작에 대해서 설명한다. 도 6에 나타내는 세퍼레이터 회수부(15)의 구성은 도 5에 도시하는 테이프 회수부(13)와 공통되어 있고, 세퍼레이터 회수부(15)의 동작도 테이프 회수부(13)의 동작과 공통되어 있다.

즉 박리 유닛(31)에 의해 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(S)는, 가이드 롤러(60)에 의해 세퍼레이터 회수부(15)로 안내된다. 세퍼레이터 보유 지지 부재(61)는, 안내된 세퍼레이터(S)의 말단을 파지하고, 당해 세퍼레이터(S)의 말단을 미리 정해진 방향으로 (실시예에서는 도 6의 좌측 방향) 소정의 길이만큼 인출한다.

세퍼레이터(S)를 인출한 후, 세퍼레이터 가압 부재(63)가 하강한다. 그리고 가압판(63b)의 편평면 전체를 통하여, 인출된 세퍼레이터(S)를 평탄한 상태에서 흡착 보유 지지한다. 커터 유닛(65)의 커터날(65b)은, 평탄한 상태에서 보유 지지되어 있는 세퍼레이터(S)를 매엽으로 절단한다.

세퍼레이터 가압 부재(63)는 매엽으로 절단된 세퍼레이터(S)를 흡착한 상태에서 더욱더 하강하고, 회수 위치(Gc)에 배치되어 있는 회수 박스(G1)의 저면 근방까지 이동한다. 그리고 세퍼레이터 가압 부재(63)는, 회수 박스(F1)의 저면 근방에 있어서 세퍼레이터(S)의 흡착 보유 지지를 해제한다. 흡착 보유 지지가 해제된 세퍼레이터(S)는, 평탄한 세퍼레이터(S)끼리가 다수 적층한 상태에서, 회수 박스(G1)에 수납된다.

세퍼레이터(S)를 평탄한 상태에서 회수 박스(G1)에 수납시킨 후, 커터 유닛(65) 및 세퍼레이터 가압 부재(63)를 초기 위치로 복귀시키고, 이후는 세퍼레이터(S)를 매엽으로 절단해서 평탄한 상태에서 적층 수납시키는 공정을 반복한다. 회수 위치(Gc)에 배치되어 있는 회수 박스(G)의 세퍼레이터 수납량이 규정값 이상이 된 경우, 회전 테이블(68)을 중심축(W)의 축 둘레로 회전시켜서 회수 박스(G2)를 회수 위치(Gc)로 이동시킨 후에 세퍼레이터(S)의 회수 공정을 재개시킨다.

오퍼레이터는 회수 위치(Gc)로부터 대기 위치(Gs)로 이동한 회수 박스(G1)를, 개폐 도어(69)를 열어서 취출하고, 새로운 회수 박스(G)를 대기 위치(Gs)에 배치한다. 이러한 실시예에 따른 회수 공정에서는, 회전 테이블(68)을 회전시키는 공정을 제외하여 세퍼레이터 회수부(15)의 동작을 정지시킬 필요가 없다. 즉, 수납량이 규정값을 초과한 회수 박스를 교환하는 경우에도 세퍼레이터 회수부(15)의 동작을 속행할 수 있으므로, 세퍼레이터 회수부(15)의 가동 효율을 향상시킬 수 있다.

<실시예의 구성에 의한 효과>

실시예에서는 선행하는 점착 테이프의 일부를, 당해 점착 테이프의 조출 방향에 대하여 대략 수직인 방향으로 돌출시켜서 파지 부분을 형성시키고, 당해 파지 부분보다 후단부측의 부분을 절단한다. 그리고 파지 부분을 보유 지지한 상태에서, 선행 테이프의 후방부에 있어서 점착 테이프와 세퍼레이터를 이반하는 방향으로 이동시켜서 양자를 박리한다. 마지막으로, 후행 테이프의 전방부를, 박리된 선행의 점착 테이프 및 세퍼레이터 사이로 이동시키고, 선행의 점착 테이프 및 세퍼레이터에서 후행 테이프의 전방부를 끼워 넣고 접합한다.

다른 테이프끼리를 자동으로 접합시키는 종래 방법으로서는 다음과 같은 것을 들 수 있다. 즉 도 30의 (a)에 도시한 바와 같이, 먼저 흡착 부재(J)로 선행의 점착 테이프(Ta)를 흡착시킨다. 그리고, 도 30의 (b)에 도시하는 바와 같이 선행의 세퍼레이터(Sa)와 흡착 부재(J)를 이반 이동시킴으로써 세퍼레이터(Sa)와 점착 테이프(Ta)를 박리시킨다. 마지막으로, 박리된 점착 테이프(Ta)의 후방부와 세퍼레이터(Sa)의 후방부에서, 후행 테이프(TSb)의 전방부를 끼워 넣어서 접합한다.

그러나, 이러한 종래의 자동 접합 방법에서는 점착 테이프(Ta)의 점착력이 강하여, 점착 테이프(Ta)와 세퍼레이터(Sa)의 접착력이 흡착 부재(J)의 흡착력을 상회하는 경우가 있다. 이 경우, 도 30의 (c)에 도시한 바와 같이, 흡착 부재(J)를 이반 이동시켜도 점착 테이프(Ta)의 후방부와 세퍼레이터(Sa)의 후방부를 박리할 수 없으므로, 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)의 접합이 곤란해진다.

이러한 종래의 방법에 대하여, 실시예에서는 도 30의 (d)에 도시한 바와 같이, 보유 지지 부재(N)가 파지 부분(H)을 보유 지지하면서 이반 이동시킨다. 파지 부분(H)은 점착 테이프(Ta)의 일부이므로, 보유 지지 부재(N)를 이반 이동시켜도 파지 부분(H)이 점착 테이프(Ta)로부터 단열되는 것을 피할 수 있다.

또한, 파지 부분(H)의 형상은, 방향 L로 조출되어 있는 점착 테이프(T)에 있어서의 길이(Pa)의 영역에 있어서, 방향 R로 길이(Pb)만큼 돌출된 형상으로 된다. 길이(Pa)에 대해서는 점착 테이프(T)의 두께 정도가 짧은 길이가 된다. 그 때문에, 보유 지지 부재(N)가 파지 부분(H)을 보유 지지해서 방향 R로 이반 이동시킴으로써, 조출 방향 L에 있어서의 비교적 좁은 범위(Pa)에 대하여 강한 견인력을 작용시킬 수 있다. 그 결과, 점착 테이프(Ta)와 세퍼레이터(Sa)의 경계면에 있어서, 단위 면적당 작용하는 힘의 크기를 비약적으로 높일 수 있다. 따라서, 선행 테이프(TSa)의 후단부(Ba)에 있어서 확실하게 점착 테이프(Ta)와 세퍼레이터(Sa)를 박리할 수 있다.

한편, 방향 R에 있어서의 길이(Pb)에 대해서는, 점착 테이프(T)를 압출하는 돌기부(33b)의 형상에 따라서 임의의 길이로 할 수 있다. 즉, 길이(Pb)를 충분히 길게 설정할 수 있으므로, 보유 지지 부재(N)는 파지 부분(H)을 확실 또한 견고하게 보유 지지할 수 있다. 그 결과, 도 30의 (c)에 도시한 바와 같은, 선행 테이프의 후단부(Ba)에 있어서의 박리 에러의 발생을 보다 확실하게 피할 수 있다.

또한, 파지 부분(H)은 방향 R로 충분한 길이로 돌출된 형상이므로, 보유 지지 부재(N)로서 다양한 구성을 적용할 수 있다. 그 일례로서, 매니퓰레이터 등의 구성을 적용할 수 있다. 그 때문에, 보유 지지 부재(N)는 파지 부분(H)을 보다 안정적으로 보유 지지할 수 있음과 함께, 파지 부분(H)을 보유 지지하면서, 복잡하고 또한 정밀한 조작을 점착 테이프(T)에 실행할 수 있다.

또한 소정의 위치(Tf)에 있어서 점착 테이프(T)의 일부를 방향 R로 압출하고, 압출된 점착 테이프(T)의 일부를 조출 방향 L에 있어서 서로 반대 방향으로부터 압착시킨다고 하는 단순한 조작에 의해, 당해 소정의 위치에 파지 부분(H)을 형성할 수 있다. 따라서, 파지 부분의 형성 위치(Tf)의 위치 정밀도를 향상할 수 있다.

또한, 실시예에서는 불필요한 점착 테이프나 세퍼레이터를 회수하는 경우, 긴 점착 테이프 등을 소정의 길이로 매엽으로 절단한다. 그리고 절단된 매엽의 점착 테이프 등을, 펴져 있는 평탄한 상태에서 적층시켜서 수납한다.

도 33에 도시한 바와 같은 종래의 회수 방법에서는, 테이프 회수부에 있어서, 긴 불필요 테이프 등을 축에 권취해서 회수한다. 이러한 종래의 구성에서는, 권취 회수되는 불필요 테이프의 양이 일정량을 상회한 경우, 먼저 장치의 운전을 정지시키고 나서 불필요 테이프를 절단하고, 롤 형상으로 권취해 회수된 불필요 테이프를 축마다 취출해서 새로운 축으로 교환한다. 그리고 상류의 불필요 테이프를 새로운 축에 감아서 접속시킨 후, 운전을 재개한다.

종래의 구성에서는 이들 일련의 번잡한 조작을 수동으로 행할 필요가 있어서, 오퍼레이터의 부담이 증대한다. 또한 장치의 운전을 장시간 정지시킬 필요가 있어서 작업 효율의 향상이 곤란해진다. 또한, 권취 회수하는 구성에서는 대형의 권취축을 설치할 필요가 있으므로, 점착 테이프 부착 장치가 대형화한다고 하는 문제도 우려된다.

권취축을 사용하지 않고, 긴 불필요 테이프 등을 회수하는 구성으로서, 긴 테이프를 매엽으로 절단해서 매엽 형상의 테이프를 회수 박스에 투하시켜서 수납하는 방법이 생각된다. 그러나 이러한 비교예의 구성에서는, 회수 빈도가 상승하므로 작업 효율이 저하한다는 문제가 우려된다.

이러한 문제에 대해서 검토를 거듭한 결과, 매엽 형상으로 절단된 테이프의 변형이 원인인 것이 판명되었다. 즉, 긴 테이프는 다수의 가이드 롤러 등에 권회 안내되므로, 당해 긴 테이프를 매엽으로 절단하면 매엽 형상의 테이프편은 만곡된 형상으로 변형되기 쉽다. 그 때문에, 도 31의 (a)에 도시한 바와 같이, 매엽 형상의 불필요 테이프(Tn)를 회수 박스(F)에 투하해서 회수시키면, 회수 박스(F)의 내부에 있어서 불필요 테이프(Tn)는 컬 형상 등 다양한 형상으로 변형되므로, 복수매의 불필요 테이프(Tn)가 난잡한 상태로 수납된다.

이 경우, 회수 박스(F)에 수납되는 불필요 테이프(Tn)가 쌓이는 높이(Hn)는, 비교적 빠르게 상승한다. 즉, 불필요 테이프(Tn)의 수납량에 대하여, 불필요 테이프(Tn)가 차지하는 체적이 크므로 회수 박스(F)의 교환 빈도가 상승하고, 결과로서 장치의 가동 효율이 저하된다. 또한, 각각의 불필요 테이프(Tn)의 형상은 일정하지 않으므로, 쌓이는 높이(Hn)가 상승하는 속도는 일정하지 않게 된다. 그 때문에, 회수 박스(F)를 취출해서 교환하는 타이밍의 예측이 곤란해지므로, 계획적인 작업을 실행하는 것이 매우 곤란해진다.

한편, 본원 발명에서는 도 31의 (b)에 도시한 바와 같이, 긴 불필요 테이프(Tn)를 평탄하게 편 상태에서 매엽으로 절단한 후, 당해 평탄한 상태를 유지하면서 매엽 형상의 불필요 테이프(Tn)를 적층시켜서 회수 박스에 수납한다. 이러한 본원 발명에 이러한 구성에서는 불필요 테이프(Tn)는 정연하고 또한 낭비없이 적층되므로, 불필요 테이프(Tn)의 수납량에 대하여 불필요 테이프(Tn)가 차지하는 체적은 최소한으로 억제된다. 회수 박스(F)의 교환 빈도를 저하시킬 수 있으므로, 장치의 가동 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 불필요 테이프(Tn)가 쌓이는 높이(Hn)의 상승 속도는 일정해지므로, 계획적인 작업을 실행하는 것이 용이하게 된다.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 실시예에 있어서, 파지 부분이 형성된 점착 테이프(T)를 파지해서 적합하게 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)를 후단부에 있어서 박리하고, 테이프(TS)의 말단끼리를 접합시키는 공정을 예로 들어 설명했다. 그러나, 파지 부분이 형성된 점착 테이프(T)를 이용하는 방법은, 점착 테이프 접합 방법에 한정되지 않는다. 즉, 조출되어 있는 긴 점착 테이프를 소정의 위치로 반송하는 방법을 예로 하는, 다양한 점착 테이프의 핸들링 방법에 대하여 점착 테이프(T)에 파지 부분(H)을 형성시키는 공정을 적용할 수 있다. 여기서 「반송」이란, 점착 테이프 전체를 반송하는 동작에 한하지 않고, 파지 부분을 포함하는 점착 테이프의 일부를 소정의 위치로 이동시키는 동작도 포함하는 것으로 한다.

파지 부분을 통하여 점착 테이프를 소정 위치로 반송하는 과정은, 이하와 같다. 먼저, 조출 방향 L로 조출되어 있는 점착 테이프의 일부(Tp)를, 방향 L에 대하여 대략 수직인 방향 R로 돌출시킨다(도 12 참조). 이어서, 방향 R로 돌출된 점착 테이프의 일부(Tp)를, 방향 L 및 방향 L과 반대 방향으로부터 압착 롤러(53)에 의해 압착시킨다(도 13 및 도 14를 참조). 당해 압착의 결과, 점착 테이프(T)의 일부가 방향 R로 돌출된 형상을 갖는 파지 부분(H)이 형성된다(도 15를 참조). 그리고 파지 부분(H)을 파지함으로써(도 18의 (c)를 참조), 점착 테이프(T)를 소정의 위치로 반송한다(도 20을 참조).

파지 부분(H)은, 도 15 및 도 30의 (c)에 도시한 바와 같이, 소정의 파지 부분 형성 위치(Tf)에 있어서, 점착 테이프(T)의 조출 방향과 대략 수직인 방향 R로 돌출된 형상을 구비한다. 방향 R로의 돌출 길이(Pb)는 임의이고 또한 충분한 길이로 미리 설정할 수 있으므로, 파지 부분(H)을 용이하고 또한 견고하게 보유 지지할 수 있다. 또한, 방향 L로 연장되는 긴 점착 테이프(T)에 있어서, 방향 R로 돌출되어 있는 파지 부분(H)은 핸들링 대상 영역의 목표로서 용이하고 또한 확실하게 확인할 수 있다. 따라서, 긴 점착 테이프(T)에 있어서 실제로 핸들링을 행하는 위치가 예정된 위치로부터 어긋나는 것을 확실하게 피할 수 있다.

한편, 조출 방향 L에 있어서의 파지 부분(H)의 길이(Pa)는, 점착 테이프(T)의 두께 정도로 짧다. 또한, 압출 부재(33)의 위치를 적절히 설정함으로써, 파지 부분 형성 위치(Tf)의 위치 정밀도를 보다 향상할 수 있다. 그 때문에, 파지 부분(H)을 보유 지지해서 점착 테이프(T)에 각종 핸들링을 행함으로써, 폭이 넓은 부재를 맞닿게 해서 점착 테이프(T)를 흡착시키는 구성이나 방향 L로 연장되는 긴 점착 테이프(T)를 직접 픽킹하는 구성 등과 비교하여, 긴 점착 테이프(T)에 있어서 핸들링 조작을 미치는 영역을 정밀하게 설정할 수 있다.

특히 본 실시예에 따른 파지 부분을 형성시키는 구성은, 편면에 점착층을 갖는 편면 테이프에 대하여 각종 핸들링을 행하는 경우에 있어서 특히 유리한 효과를 발휘한다. 즉, 도 12에 도시한 바와 같이, 가압 부재(33) 등을 사용함으로써, 조출 방향 L로 조출되는 긴 형상의 점착 테이프(T)의 비점착면측(도 12에서는 상측)을 방향 R로 돌출시킨다. 그리고 압착 롤러(53)에 의해, 돌출된 점착 테이프의 일부(Tp)를, 비점착면측으로부터 끼워서 압착시켜서 파지 부분(H)을 형성시킨다.

이때, 압착 롤러(53)는 점착 테이프(T)의 비점착면에 압접하므로, 압착 롤러(53)에 비점착 처리를 행하지 않고, 압착 롤러(53)가 점착 테이프(T)에 점착하는 것을 피할 수 있다. 또한 압착 롤러(53)는, 조출 방향 L과, 당해 방향 L과 반대 방향으로부터 압착하므로 파지 부분(H)은 적합하게 방향 L과 대략 수직인 방향 R로 돌출된 형상으로 된다.

그리고 파지 부분(H)을 형성시킨 후, 파지 유닛(45) 등을 사용해서 파지 부분(H)을 파지함으로써, 점착 테이프(T)에 대하여 반송, 절단 및 박리 등의 각종 핸들링을 실행한다(도 19 및 도 20). 파지 부분(H)은 점착 테이프(T)의 비점착면이 외측이 되도록 방향 R로 돌출되어 있으므로, 파지 유닛(45)은 모두 점착 테이프의 비점착면을 파지한다. 그 때문에, 비점착 처리를 행하지 않고, 파지 유닛(45)이 점착 테이프(T)에 점착하는 것을 피할 수 있다.

또한, 파지 부분(H)을 형성시켜서 당해 파지 부분(H)을 파지함으로써, 파지 유닛(45)을, 점착 테이프(T)의 한쪽 면에만 설치하는 구성으로 할 수 있다. 일반적으로 점착 테이프를 반송 등을 위해서 파지하는 경우, 점착 테이프의 표면측 및 이면측의 양쪽에 파지 기구를 설치해서 점착 테이프를 표면과 이면으로부터 협지할 필요가 있다. 그 결과, 점유 부분의 넓이 등의 관점에서, 파지 기구의 구성이나 목적에 제한이 걸린다.

한편, 본 발명에서는 파지 부분이 돌출되어 있는 만큼의 면에만 파지 유닛을 설치할 수 있으므로, 파지 유닛(45)이 차지하는 부분을 보다 작게 할 수 있음과 함께, 파지 유닛(45)의 구성을 단순화할 수 있다. 또한, 점착 테이프(T)의 한쪽 면으로부터 당해 점착 테이프를 견고하게 보유 지지하여, 점착 테이프(T)에 대하여 소정의 일방향으로 강한 힘을 작용시킬 수 있다.

따라서, 웨이퍼에 부착된 점착 테이프를 박리하는 공정이나 긴 테이프가 조출되어 있는 라인의 형상을 변경시키는 공정 등에 본원 구성을 적합하게 적용할 수 있다. 이 경우, 파지 부분을 형성시킨 테이프에 대하여 당해 테이프의 편면으로부터 파지 유닛을 가까이 대서 당해 파지 부분을 파지하고, 테이프 중 적어도 파지 부분을 포함하는 부분을 임의의 위치로 이동시킴으로써 상기 각 공정을 적합하게 수행할 수 있다.

(2) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 점착 테이프 부착 장치를 사용해서 본 발명에 따른 테이프 접합 장치 및 테이프 회수 장치를 설명했지만, 본 발명에 따른 테이프 접합 장치 및 테이프 회수 장치는, 테이프 부착 장치 외에도 다양한 테이프 처리 장치에 적용할 수 있다. 테이프 처리 장치의 예로서는, 웨이퍼에 부착되어 있는 각종 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치 또는 웨이퍼를 링 프레임에 마운트하기 위해서 사용하는 마운트 장치(마운터) 등을 들 수 있다.

(3) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 파지 부분(H)을 형성시키는 공정에 있어서, 점착 테이프(T)를 돌기부(33b)로 압출함으로써 점착 테이프(T)의 일부를 방향 R로 돌출시켰지만, 파지 부분(H)을 형성시키는 구성은 이것에 한정되지 않는다. 즉, 점착 테이프(T)의 일부를 외부로 인출함으로써, 점착 테이프(T)의 일부를 방향 R로 돌출시켜도 된다. 인출하는 구성의 예로서는, 매직 핸드 형상의 부품으로 점착 테이프(T)의 일부를 파지해서 인출하는 구성이나, 진공 장치 등을 사용해서 점착 테이프(T)의 일부를 흡착해서 인출하는 구성을 들 수 있다.

(4) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 테이프 공급부(17)에 배치되는 원단 롤(28)은 2개로 한정하지 않고, 3개 이상 배치해도 된다. 또한 테이프 회수부(13)의 회수 박스(F) 및 세퍼레이터 공급부(15)의 회수 박스(G)에 대해서도 3개 이상 배치하는 구성이어도 된다.

(5) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 파지 부분(H)은 박리 후의 점착 테이프(T)를 돌출시켰지만, 파지 부분(H)을 형성시키는 장소는 테이프(TS)의 점착 테이프(T)측에 한정되지 않는다. 즉 박리 후의 세퍼레이터(S)를 돌출시키고, 세퍼레이터(S)의 측에 파지 부분(H)을 형성시켜도 된다.

세퍼레이터(S) 측으로 파지 부분(H)을 형성시키는 구성으로서는, 방향 R로 돌출시킨 세퍼레이터(S)를 반대 방향으로부터 압접하고, 열이나 초음파를 가해서 돌출된 세퍼레이터(S)끼리를 접합시키는 방법을 들 수 있다(도 12의 (b)를 참조). 그 외의 방법으로서는, 방향 R로 돌출시킨 세퍼레이터(S)끼리를, 스테이플러의 요령으로 스테이플러 바늘을 예로 하는 접합재를 타입해서 접합시키는 방법을 들 수 있다. 또한, 테이프(TS)에 있어서, 점착 테이프(T) 측과 세퍼레이터(S) 측의 양쪽에서 파지 부분(H)을 각각 형성시켜도 된다.

(6) 실시예 및 각 변형예에서는, 테이프 회수 공정에 관한 스텝 S5-2 내지 스텝 S5-4의 각 공정에 있어서, 불필요 테이프(Tn)를 가압판(53b)의 편평면의 전체에서 흡착한다. 그러나, 불필요 테이프(Tn)를 평탄하게 펴진 상태에서 보유 지지할 수 있으면 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 그 외의 예로서는, 가압판(53b)의 편평면의 네 코너에 흡착 구멍을 배치하고, 당해 네 코너에서 불필요 테이프(Tn)를 흡착 보유 지지하는 구성을 들 수 있다. 또한, 흡착 보유 지지하는 구성에 한정하지는 않고, 기계적인 구성을 사용해서 불필요 테이프(Tn)를 클램프함으로써, 불필요 테이프(Tn)를 평탄한 상태에서 보유 지지하는 구성 등을 적용해도 된다.

(7) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S7-9에 따른 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)를 접합시키는 공정은, 도 22의 (b)에 도시한 바와 같은, 테이프 보유 지지 부재(27)의 위치를 고정한 상태에서 후행 테이프(TSb)의 선단(Fw)을 조출시키는 구성에 한정되지 않는다. 즉, 후행 테이프(TSb)의 선단(Fw)을 테이프 보유 지지 부재(27)가 보유 지지한 상태를 유지하면서, 후행 테이프(TSb)를 조출해도 된다.

(8) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 새로운 원단 롤(28)에 있어서의 테이프(TS)의 선단은, 도 22의 (a)에 도시한 바와 같이, 2개의 테이프 보유 지지 부재(27)에 의해 협지되는 구성이었지만 이것에 한정되지 않는다. 즉 도 32의 (a)에 도시한 바와 같이, 미리 테이프(TS)의 선단의 일부가 세퍼레이터(S)와 점착 테이프(T)에 박리되고, 박리된 점착 테이프(T)가 한쪽의 테이프 보유 지지 부재(27)에 권회되고, 박리된 세퍼레이터(S)가 다른 쪽의 테이프 보유 지지 부재(27)에 권회되는 구성인 것이 보다 바람직하다.

이러한 변형예에 있어서 선행 테이프(TSa)의 후방부와 후행 테이프(TSb)의 전방부를 접합시키는 경우, 도 32의 (b)에 도시한 바와 같이, 후행 테이프(TSb)의 선단(Fw)을 협지하고 있는 테이프 보유 지지 부재(27)가 선단(Fw)과 함께 조출 방향으로 이동한다. 그리고 선행의 점착 테이프(Ta)의 후방부와 후행의 점착 테이프(Tb)의 전방부가 접합되고, 또한 선행의 세퍼레이터(Sa)의 후방부와 후행의 세퍼레이터(Sb)의 전방부가 접합된다.

이러한 변형예에 따른 접합 공정에서는 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)가 접촉하는 면적을 보다 넓게 할 수 있으므로, 양 테이프를 견고하게 접합할 수 있다. 또한 후행 테이프(TSb)에 있어서의 점착면이 외측으로 노출되므로, 후행 테이프(TSb)의 선단을 선행 테이프(TSa) 사이에 끼워 넣음으로써, 노출된 후행 테이프(TSb)의 점착면은 선행 테이프(TSa)의 점착면과 적합하게 접촉한다. 그 결과, 양 테이프가 접합하는 힘을 보다 높일 수 있다.

(9) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S7-9에 따른 선행 테이프(TSa)와 후행 테이프(TSb)를 접합시키는 공정은, 도 23의 (a)에 도시한 바와 같은, 점착재(g)를 사용해서 양측으로부터 가압 접합시키는 방법에 한정되지 않는다. 다른 방법의 예로서는, 보유 지지 유닛(43) 또는 그 외의 구성에 히터를 배치함으로써, 양자를 가열해서 접합시키는 구성이나, 초음파 발생 장치를 사용해서 양자를 초음파 접합시키는 구성 등을 들 수 있다.

1 : 점착 테이프 부착 장치
3 : 테이프 접합 장치
5 : 보유 지지 테이블
7 : 테이프 부착 유닛
9 : 테이프 절단 유닛
11 : 테이프 분리 유닛
13 : 테이프 회수부
15 : 세퍼레이터 회수부
17 : 테이프 공급부
19 : 파지 부분 형성 유닛
21 : 테이프 접합 유닛
31 : 박리 유닛
33 : 압출 부재
35 : 압착 롤러
41 : 커터 유닛
43 : 보유 지지 유닛
45 : 파지 유닛
51 : 테이프 보유 지지 부재
53 : 테이프 가압 부재
55 : 커터 유닛
57 : 테이프 회수 유닛
T : 점착 테이프
TSa : 선행 테이프
TSb : 후행 테이프
S : 세퍼레이터
F : 회수 박스
G : 회수 박스
H : 파지 부분

Claims (7)

1. 긴 형상으로 조출되는 테이프를 반도체 웨이퍼에 부착하는 부착 과정과,
   상기 테이프를 상기 반도체 웨이퍼의 형상을 따라 오려내는 오려내기 과정과,
   긴 형상으로 조출되는, 상기 웨이퍼의 형상을 따라 오려내진 후의 불필요해진 부분의 상기 테이프의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을, 테이프 보유 지지 기구에 의해 평탄한 상태에서 보유 지지하는 보유 지지 과정과,
   평탄한 상태에서 보유 지지되어 있는 상기 테이프를 매엽으로 절단하는 절단 과정과,
   매엽으로 절단된 상기 테이프가 평탄해져 있는 상태를 유지하면서, 상기 테이프 보유 지지 기구를 상기 테이프와 함께 테이프 회수 박스의 상방으로부터 상기 테이프 회수 박스의 저부 근방으로 이동시키는 불필요 테이프 반송 과정과,
   상기 테이프 보유 지지 기구가 상기 테이프 회수 박스의 저부 근방으로 이동한 상태에서, 상기 테이프 보유 지지 기구에 의해 상기 테이프의 보유 지지를 해제하는 것에 의해, 매엽으로 절단된 상기 테이프를 평탄한 상태로 상기 테이프 회수 박스에 적층 수납시키는 불필요 테이프 회수 과정
   을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 테이프 회수 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 테이프 보유 지지 기구는 상기 테이프를 흡착함으로써 상기 테이프를 평탄한 상태에서 보유 지지하는 것을 특징으로 하는 테이프 회수 방법.
3. 긴 형상으로 조출되는 테이프를 반도체 웨이퍼에 부착하는 부착 기구와,
   상기 테이프를 상기 반도체 웨이퍼의 형상을 따라 오려내는 오려내기 기구와,
   긴 형상으로 조출되는, 상기 웨이퍼의 형상을 따라 오려내진 후의 불필요해진 부분의 상기 테이프의 선단으로부터 소정의 길이의 영역을, 평탄한 상태에서 보유 지지하는 테이프 보유 지지 기구와,
   평탄한 상태에서 보유 지지되어 있는 상기 테이프를 매엽으로 절단하는 테이프 절단 기구와,
   상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를 수납하는 테이프 회수 박스와,
   상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를, 평탄한 상태를 유지시키면서, 상기 테이프 보유 지지 기구를 상기 테이프와 함께 상기 테이프 회수 박스의 상방으로부터 상기 테이프 회수 박스의 저부 근방으로 이동시키는 불필요 테이프 반송 기구와,
   상기 테이프 보유 지지 기구가 상기 테이프 회수 박스의 저부 근방으로 이동한 상태에서, 상기 테이프 보유 지지 기구에 의해 상기 테이프의 보유 지지를 해제하는 것에 의해, 상기 매엽으로 절단된 상기 테이프를 평탄한 상태로 상기 테이프 회수 박스에 적층 수납시키는 불필요 테이프 회수 기구
   를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 회수 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 테이프 회수 박스는 복수 설치되고,
   상기 불필요 테이프 반송 기구가 매엽으로 절단된 상기 테이프를 이동시키는 대상으로 되는 상기 테이프 회수 박스를 다른 상기 테이프 회수 박스로 전환하는 전환 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 회수 장치.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
   상기 테이프 보유 지지 기구는,
   상기 테이프에 맞닿는 편평면과,
   당해 편평면을 통하여 상기 테이프를 흡착 보유 지지하는 흡착 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 회수 장치.
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