JP2014027171A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置は、フレーム部材RFを複数収容可能なフレーム収容手段を複数配置可能なフレームストッカと、フレーム部材RFおよび被着体WFを支持する支持手段4と、フレームストッカに配置された複数のフレーム収容手段の内いずれかで収容されたフレーム部材RFを取り出して支持手段4に移載する移載手段と、第1接着シートASが仮着された原反RSを支持する複数の原反支持部材61を有するシート供給手段6と、複数の原反支持部材61の内いずれかで支持された原反RSの終端領域に他で支持された原反の先端領域を繋ぎ合わせる原反繋ぎ手段7と、支持手段4に支持されたフレーム部材RFおよび被着体WFに第1接着シートASを当接させて貼付する貼付手段8とを備えている。
【選択図】図2
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、複数のウェハを多段に収納するカセットが装填されるウェハ供給部と、リングフレームが多段に収納されたリングフレーム供給部と、ダイシングテープを供給するテープ供給部とを備え、テープ供給部から供給されたダイシングテープをリングフレームとウェハの裏面にわたって貼付し、ダイシングテープを裁断することで、ダイシングテープでリングフレームとウェハとを一体化するように構成されている。
ここで、テープ供給部を複数備えたとしても、供給資材であるリングフレームを供給するリングフレーム供給部も1体しか配置されていないため、上記不都合を完全に解消することはできない。また、テープ供給部やリングフレーム供給部を単に複数備えただけで、他の部材がそれに対応していなければ、装置全体として成り立たないこととなる。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離した前記第2接着シートを収容する回収手段を複数配置可能な回収手段ストッカを備え、前記移載手段は、前記回収手段ストッカに配置された複数の回収手段の内いずれか1の回収手段を選択し、当該いずれか1の回収手段に前記剥離手段で剥離した第2接着シートを破棄可能に設けられている、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記被着体を複数収容可能な被着体収容手段を複数配置可能な被着体ストッカを備え、前記移載手段は、前記被着体ストッカに配置された複数の被着体収容手段の内いずれか1の被着体収容手段を選択し、当該いずれか1の被着体収容手段に収容された前記被着体を取り出して前記支持手段に移載可能に設けられている、ことが好ましい。
さらに、回収手段を複数配置可能な回収手段ストッカを設けたり、被着体収容手段を複数配置可能な被着体ストッカを設けたりして、移載手段がそれらに対応できる構成とすれば、上記と同じ効果を得ることができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
引出手段97は、剥離用テープPTを一対の把持爪971で把持する駆動機器としてのチャックシリンダ972と、チャックシリンダ972をスライダ973で支持する駆動機器であるリニアモータ974とを備えている。
剥離用テープ貼付手段98は、駆動機器である直動モータ981の出力軸982の下端部に設けられた押圧ヘッド983と、この押圧ヘッド983下端の押圧面部984を加熱するコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段985とを備えている。
切断手段99は、カッター刃991と、カッター刃991を出力軸992で支持する駆動機器であるエアシリンダ993とを備えている。
なお、第3切欠部133の左方には、第1および第2回収手段12A、12Bに収容された保護シートPSの量を検出可能な光学センサや撮像装置等で構成された第4および第5検出手段144、145が設けられている。
先ず、図2に示すように、第1および第2支持ローラ61A、61Bにそれぞれ第1および第2原反RS1、RS2をセットして上側吸着手段72の保持面721で第2原反RS2の先端領域を吸着保持させる。また、図4に示すように、第1および第2支持ローラ91A、91Bにそれぞれ第1および第2剥離用テープPT1、PT2をセットして上側吸着手段102の保持面1021で第2剥離用テープPT2の先端領域を吸着保持させる。さらに図3に示すように、原反RS用と剥離用テープPT用とでそれぞれ2体ずつ設けられた繋ぎ用シート供給手段73(103)の各支持ローラ731、1031に繋ぎ用シート原反RTをそれぞれセットし、各繋ぎ用シート原反RTの先端をそれぞれ回収ローラ737、1037に固定する。
また、図1に示すように、ウェハWFが収容された第1および第2被着体収容手段2A、2Bを被着体ストッカ2にセットし、リングフレームRFが収容された第1および第2フレーム収容手段3A、3Bをフレームストッカ3にセットし、空の状態の第1および第2回収手段12A、12Bを回収手段ストッカ12にセットする。
次に、ウェハ支持体WKが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、剥離用テープ供給手段9が把持爪971を離間させた状態でリニアモータ974を駆動し、下方に位置する把持爪971がテープ受け板964をブッシュ961方向に押し込み、第1剥離用テープPT1の先端領域を上下の把持爪971間に受け入れる。次いで、剥離用テープ供給手段9がチャックシリンダ976を駆動し、把持爪971を閉じて第1剥離用テープPT1の先端領域を把持爪971で把持する。次いで、剥離用テープ供給手段9がリニアモータ974を駆動し、第1剥離用テープPT1を所定長さ引き出して停止し、直動モータ981を駆動し、押圧ヘッド983を押し下げ、押圧面部984で第1剥離用テープPT1を保護シートPSに押圧する。この際、剥離用テープ貼付手段98が加熱手段985を駆動し、押圧面部984を加熱して第1剥離用テープPT1を保護シートPSに貼付する。その後、剥離用テープ供給手段9がエアシリンダ993を駆動し、カッター刃991を下降させた後上昇させて第1剥離用テープPT1を切断する。
そして、移載手段5が選択動作を行ったタイミングで、図示しない制御手段が図示しない警告音発生手段や点灯手段等の警告手段を駆動し、いずれかのウェハカセット(21A、21B)やフレームカセット(31A、31B)が空になったことや、いずれかの回収箱(121A、121B)が満杯になったことをオペレータに知らせる。これにより、オペレータは、空になった被着体収容手段(2A、2B)やフレーム収容手段(3A、3B)、満杯になった回収手段(12A、12B)をそれぞれ被着体ストッカ2、フレームストッカ3、回収手段ストッカ12から切り離し、ウェハWFが収容された被着体収容手段(2A、2B)、リングフレームRFが収容されたフレーム収容手段(3A、3B)、空の回収手段(12A、12B)をそれぞれ被着体ストッカ2、フレームストッカ3、回収手段ストッカ12にセットする。
これにより、ウェハWFやリングフレームRFの補充時にシート貼付装置1の操業を停止する必要がない。
そして、図5(D)に示すように、原反繋ぎ手段7が直動モータ744を駆動し、保持テーブル741を上昇させて第1原反後端部RS11と第2原反先端部RS21とに繋ぎ用シートCSを貼付し、第1原反RS1と第2原反RS2とを繋ぎ合わせる。
なお、第1および第2原反不要部分RS12、RS22は、図示しない回収手段で回収される。また、オペレータが第1支持ローラ61Aに残った第1原反RS1の紙管などの巻芯を取り除き、新たな第1原反RS1を第1支持ローラ61Aに支持させ、当該第1原反RS1の先端領域を上側吸着手段72の保持面721で吸着保持させておく。
このような構成により、原反RSの補充時にシート貼付装置1の操業を停止する必要がなくなる。
さらに、繋ぎ用シート供給手段73(103)の繋ぎ用シートCSが残り少なくなったことが図示しない検知手段で検知されると、原反繋ぎ手段7(10)が図示しないリニアモータ等の駆動機器を駆動し、繋ぎ用シート供給手段73(103)をX軸方向に移動させ、新しい繋ぎ用シート原反RTが保持テーブル741(1041)上に位置させる。このような構成により、繋ぎ用シートCSの補充時にシート貼付装置1の操業を停止する必要がなくなる。
すなわち、供給資材であるウェハWF、リングフレームRF、原反RS、剥離用テープPT、原反がなくなったとき(なくなりそうになったとき)および、回収手段が満杯になったときのいずれにおいても、シート貼付装置1を停止させることなくそれらの交換が行えるので、当該シート貼付装置1の単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。さらには、シート貼付装置1の処理能力が低下することを危惧して、オペレータが急いでリングフレームRFや接着シートASを当該シート貼付装置1に供給しなければならなくなるといった煩雑性を低減することができる。
また、押圧ローラ81に替えて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
さらに、剥離板66にかえて、ローラ等による剥離部材を採用してもよいし、剥離ローラ733(1033)にかえて、剥離板を採用してもよい。
また、被着体収容手段2A、2B、フレーム収容手段3A、3B、回収手段12A、12Bの内すくなくともいずれか1つをフレーム13から切り離し不可能としてもよい。
また、第1剥離用テープPT1と第2剥離用テープPT2とを熱によって繋ぎ合わせてもよい。
2…被着体ストッカ
2A、2B…第1、第2被着体収容手段(被着体収容手段)
3…フレームストッカ
3A、3B…第1、第2フレーム収容手段(フレーム収容手段)
4…支持手段
5…移載手段
6…シート供給手段
7…原反繋ぎ手段
8…貼付手段
9…剥離用テープ供給手段
10…剥離用テープ繋ぎ手段
11…剥離手段
12…回収手段ストッカ
12A、12B…第1、第2回収手段
61…支持ローラ(原反支持部材)
91…支持ローラ(テープ支持部材)
AS…接着シート(第1接着シート)
PS…保護シート(第2接着シート)
PT…剥離用テープ
RF…リングフレーム(フレーム部材)
RS…原反
WF…ウェハ(被着体)
Claims (5)
- 第1接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を複数配置可能なフレームストッカと、
前記フレーム部材および前記被着体の内少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、
前記フレームストッカに配置された複数のフレーム収容手段の内いずれか1のフレーム収容手段を選択し、当該いずれか1のフレーム収容手段に収容された前記フレーム部材を取り出して前記支持手段に移載する移載手段と、
前記第1接着シートが仮着された原反を支持する複数の原反支持部材を有するシート供給手段と、
前記複数の原反支持部材の内いずれかで支持された原反の終端領域に他で支持された原反の先端領域を繋ぎ合わせる原反繋ぎ手段と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記第1接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体の一方の面には、第2接着シートが貼付され、
剥離用テープを支持する複数のテープ支持部材を有する剥離用テープ供給手段と、
複数のテープ支持部材の内いずれかで支持された剥離用テープの終端領域に他で支持された剥離用テープの先端領域を繋ぎ合わせる剥離用テープ繋ぎ手段と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付して当該剥離用テープに張力を付与することにより、前記被着体から前記第2接着シートを剥離する剥離手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 前記被着体から剥離した前記第2接着シートを収容する回収手段を複数配置可能な回収手段ストッカを備え、
前記移載手段は、前記回収手段ストッカに配置された複数の回収手段の内いずれか1の回収手段を選択し、当該いずれか1の回収手段に前記剥離手段で剥離した第2接着シートを破棄可能に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。 - 前記被着体を複数収容可能な被着体収容手段を複数配置可能な被着体ストッカを備え、
前記移載手段は、前記被着体ストッカに配置された複数の被着体収容手段の内いずれか1の被着体収容手段を選択し、当該いずれか1の被着体収容手段に収容された前記被着体を取り出して前記支持手段に移載可能に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート貼付装置。 - 第1接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を複数配置する工程と、
前記フレーム部材および前記被着体の内少なくともフレーム部材を支持する工程と、
前記複数のフレーム収容手段の内いずれか1のフレーム収容手段を選択し、当該いずれか1のフレーム収容手段に収容された前記フレーム部材を取り出して支持手段に移載する工程と、
前記第1接着シートが仮着された原反を複数の原反支持部材で支持する工程と、
前記複数の原反支持部材の内いずれかで支持された原反の終端領域に他で支持された原反の先端領域を繋ぎ合わせる工程と、
前記第1接着シートを前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に当接させて貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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