JP7252819B2 - 剥離装置 - Google Patents

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Description

本発明は、板状ワークの保護部材を剥離する剥離装置に関する。
テープ剥離を行うことができるテープマウンター（例えば、特許文献１参照）は、例えば、研削された板状ワークの裏面とリングフレームの一方の面とに板状ワークよりも大径のダイシングテープを貼着して両者を一体化させ、次いで、板状ワークの表面から保護部材を剥離している。
特開２０１６－２０１４８８号公報
剥離された保護部材は、上部側に開口を備える回収ボックス内に該開口から落下して回収ボックス内に貯められていき、回収ボックスが満杯になる前に、貯められた保護部材は作業者によって回収ボックスから取り出されて廃棄されている。
この回収ボックスに貯まった保護部材の廃棄作業を作業者が行うときに、下記の理由により装置を停止させる必要がある。
理由の１つ目は、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄するために回収ボックスを装置から取り出すことにより、回収ボックスが設置されていた場所にスペースができる。そのスペースには作業者が誤って手を入れることができるため、保護部材を回収ボックスに搬送する搬送機構などが動作して干渉し作業者がけがをするおそれがある。そのため装置を停止させる必要がある。
理由の２つ目は、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄するために回収ボックスを装置から取り出して回収ボックスが無くなったスペースに、次の板状ワークから剥離された保護部材が搬送されて投下されてくるので、回収ボックスが再度設置されるまで装置を停止させる必要がある。
よって、剥離装置において板状ワークから保護部材を剥離し廃棄する場合には、剥離された保護部材を搬送する搬送機構によって作業者がけがをすることなく、かつ、板状ワークに対するダイシングテープ等の貼着と板状ワークからの保護部材の剥離及び廃棄とを装置を停止させることなく継続的に実施できるようにするという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、上面をシート状の保護部材で覆われた板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークから該保護部材を剥離する剥離手段と、を少なくとも備える剥離装置であって、該剥離装置内に配設され、該剥離手段が剥離した該保護部材を投下させる開口を有し該保護部材を回収する回収ボックスと、該保護部材を投入する該剥離装置内の投入位置と該保護部材を取り出す該剥離装置外の取り出し位置とに該回収ボックスを移動可能とする移動手段と、該回収ボックスに回収された該保護部材を取り出すため該回収ボックスを該取り出し位置に位置づけた際に、該剥離手段が剥離し投下した該保護部材が該回収ボックスに入るように形成されるスロープと、を備え、該回収ボックスが、該投入位置または該取り出し位置のどちらに位置づけられていても該回収ボックスに該保護部材を回収可能にする剥離装置である。
前記スロープは、上板と下板との少なくとも２つの板で形成され、該下板に形成される長手方向に延びる複数の貫通孔と、該上板の下端に形成され該貫通孔に挿入される串刃と、該上板と該下板とをスライド移動可能に案内する案内部と、を備え、前記回収ボックスが前記取り出し位置に位置づけられた際には、該上板の下端と該下板の上端とを連結させ該上板に続くように該下板を延在させて該スロープを形成させ、該回収ボックスが前記投入位置に位置づけられた際には、該上板と該下板とが重ね合わされ該回収ボックスの側壁になると好ましい。
本発明に係る剥離装置は、剥離装置内に配設され、剥離手段が剥離した保護部材を投下させる開口を有し保護部材を回収する回収ボックスと、保護部材を投入する剥離装置内の投入位置と保護部材を取り出す剥離装置外の取り出し位置とに回収ボックスを移動可能とする移動手段と、回収ボックスに回収された保護部材を取り出すため回収ボックスを取り出し位置に位置づけた際に、剥離手段が剥離し投下した保護部材が回収ボックスに入るように形成されるスロープと、を備えているため、回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄している最中においても、板状ワークから保護部材を剥離して剥離した保護部材をスロープにより回収ボックスに投入することが可能であるため、剥離装置の連続運転が可能になる。また、剥離装置が、環状フレームと板状ワークとにダイシングテープを貼着した後、板状ワークに貼着されている保護部材を剥離するテープマウンターとしての役割を果す場合に、保護部材の剥離動作中に回収ボックスに貯まった保護部材を廃棄することが可能になったので、剥離装置はテープマウンターとしても連続的に運転可能となる。
本発明に係る剥離装置において、スロープは、上板と下板との少なくとも２つの板で形成され、下板に形成される長手方向に延びる複数の貫通孔と、上板の下端に形成され貫通孔に挿入される串刃と、上板と下板とをスライド移動可能に案内する案内部と、を備え、回収ボックスが取り出し位置に位置づけられた際には、上板の下端と下板の上端とを連結させ上板に続くように下板を延在させてスロープを形成させ、回収ボックスが投入位置に位置づけられた際には、上板と下板とが重ね合わされ回収ボックスの側壁になることで、剥離手段が剥離し投下した保護部材を回収ボックスに導くスロープを効率よく形成又は収納することが可能となる。また、保護部材を取り出す剥離装置外の取り出し位置から保護部材を投入する剥離装置内の投入位置に回収ボックスを移動させた際に、貫通孔と貫通孔に挿入される串刃とによって、下板の上面に保護部材が残っていた場合に、串刃を保護部材に接触させて該保護部材を回収ボックスの底に追いやることができ、上板と下板との間に保護部材が巻き込まれて挟まれた状態になってしまうことを防ぐことが可能となる。
剥離装置の一例を示す斜視図である。 板状ワークの保護部材に剥離用テープを貼着し、さらに、剥離用テープを切断する状態を説明する断面図である。 保護部材に貼着された剥離用テープを挟持した挟持手段と保持テーブルとを相対的に移動させ、保護部材を板状ワークから剥離している状態を示す断面図である。 投入位置に位置づけられた回収ボックスの内部構造を説明するための斜視図である。 取り出し位置に位置づけられた回収ボックス及び移動手段の構造を説明するための斜視図である。 取り出し位置に位置づけられた回収ボックス及び案内部の構造を説明するための斜視図である。 取り出し位置に位置づけられた回収ボックス及び形成されたスロープの構造を説明するための斜視図である。
図１に示す本発明に係る剥離装置１は、帯状の剥離用テープＴ３を用いて、板状ワークＷの上面Ｗａに貼着されている保護部材Ｔ２を剥離する剥離装置の一例であり、上面Ｗａをシート状の保護部材Ｔ２で覆われた板状ワークＷの下面Ｗｂを保持する保持テーブル３０と、保持テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する剥離手段４と、を少なくとも備えている。
図１に示す板状ワークＷは、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、その上面Ｗａは、直交差する複数の分割予定ラインＳで格子状に区画されており、格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスＤがそれぞれ形成されている。
板状ワークＷの上面Ｗａ全面を覆うように貼着されている保護部材Ｔ２は、例えば、図示しない保護部材形成装置において、円形シート上に供給された液状樹脂に板状ワークＷの上面Ｗａを押し付けて、板状ワークＷの中心から外周側に向けて液状樹脂を押し広げて上面Ｗａ全面に液状樹脂をいきわたらせた後、この液状樹脂に例えば紫外線を照射することにより液状樹脂を硬化させて形成した樹脂膜と該円形シートとからなる保護部材である。
なお、板状ワークＷはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、セラミックス、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、保護部材も上記樹脂膜と円形シートとからなる例に限定されるものではない。
例えば、板状ワークＷは下面Ｗｂに板状ワークＷよりも大径のダイシングテープＴ１が貼着されている。そして、ダイシングテープＴ１の糊層の外周部が環状フレームＦにも貼着されていることで、板状ワークＷは、ダイシングテープＴ１を介して環状フレームＦに支持され、環状フレームＦによるハンドリングが可能である。
剥離装置１は、Ｘ軸方向に延在する直方体状の基台１０を有している。また、剥離装置１の基台１０、保持テーブル３０、及び剥離手段４等の各装置構成は、図１に破線で示す直方体状の筐体１１内部に収容されている。本実施形態においては、筐体１１内部を剥離装置１内とし、筐体１１外部を剥離装置１外とする。
基台１０の上には、保持テーブル３０をＸ軸方向に往復移動させるテーブル移動手段１３が配設されている。テーブル移動手段１３は、基台１０に配設されたボールネジ１３０と、ボールネジ１３０の一端に接続されたモータ１３２と、ボールネジ１３０と平行に延在する一対のガイドレール１３１と、Ｘ軸方向に移動可能な可動部材１３３とを備えている。可動部材１３３の上面には、保持テーブル３０が支持台３１を介して配設されている。可動部材１３３の下面には、一対のガイドレール１３１が摺接し、可動部材１３３の下面中央に配設された図示しないナットにはボールネジ１３０が螺合している。モータ１３２によって駆動されてボールネジ１３０が回動することにより、可動部材１３３とともに保持テーブル３０がガイドレール１３１に沿ってＸ軸方向に移動する。
保持テーブル３０は、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３００の露出面である平坦な保持面３００ａに伝達されることで、保持テーブル３０は保持面３００ａ上で板状ワークＷを吸引保持できる。
例えば、保持テーブル３０は、環状フレームＦを固定するフレーム固定手段３２によって周囲を囲繞されている。平面視環状の外形を備え環状フレームＦが載置されるフレーム固定手段３２は、図示しない吸引源が生み出す吸引力により環状フレームＦを吸引固定する構成となっており、周方向に均等に配設されたピストン機構３３によってＺ軸方向に上下動可能となっている。なお、フレーム固定手段３２の代わりに、クランプがバネ等によって開閉するメカニカルクランプが保持テーブル３０の周囲に複数配設されていてもよい。
保持テーブル３０の移動経路上方には、保持テーブル３０に保持される板状ワークＷの保護部材Ｔ２を剥離する剥離手段４が配設されており、剥離手段４は、例えば、所定の長さで剥離用テープＴ３を切断するテープ切断手段４０と、剥離用テープＴ３がロール状に巻回されたテープロールＲから剥離用テープＴ３を引き出し板状ワークＷの上面Ｗａに貼着された保護部材Ｔ２に供給する剥離用テープ供給手段４２と、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３の一端を挟持する挟持手段４１と、剥離用テープＴ３を保護部材Ｔ２の外周側の領域に押し付けて貼着するテープ押付手段４４と、テープ押付手段４４及び挟持手段４１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段４６とを備えている。
Ｘ軸方向移動手段４６は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ４６０と、ボールネジ４６０と平行に配設された一対のガイドレール４６１と、ボールネジ４６０に連結しボールネジ４６０を回動させるモータ４６２と、内部のナットがボールネジ４６０に螺合し側部がガイドレール４６１に摺接する可動板４６３とを備え、モータ４６２がボールネジ４６０を回動させると、これに伴い可動板４６３がガイドレール４６１にガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動板４６３に取り付けられたテープ押付手段４４及び挟持手段４１もＸ軸方向に往復移動する。
剥離用テープ供給手段４２は、テープロールＲが装着された巻筒４２０と、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３を下方にガイドするガイドローラ４２１ａ、４２１ｂと、ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂの下方側に配置された送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂとを備えている。巻筒４２０には、図示しない制御機構によってバックテンションがかけられており、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３に弛みが生じないように張り具合が調整されている。ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂは、剥離用テープＴ３を挟みながら折り返してテンションをかけつつ送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂに向けてガイドすることができる。送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂは、ガイドローラ４２１ａ、４２１ｂによりガイドされた剥離用テープＴ３を挟持手段４１に向けて送り出すことができる。
剥離用テープＴ３は、例えば、保護部材Ｔ２の外周部分に熱を加えて接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなる。接着剤層は、例えば熱硬化性樹脂で構成されていることが好ましく、例えばエポキシ樹脂からなる。剥離用テープＴ３の保護部材Ｔ２に対する粘着力は、保護部材Ｔ２の板状ワークＷに対する粘着力よりも強く設定されている。かかる剥離用テープＴ３は、内側（伸ばされた状態における下面側）に接着剤層が位置する状態で巻回されてテープロールＲとして形成されている。なお、剥離用テープＴ３は、ヒートシールに限定されるものではない。
挟持手段４１は、Ｘ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４１０と、支持台４１０によって支持されたシリンダー機構４１１と、シリンダー機構４１１によって上下動可能となっている挟持爪部４１２とを備えている。挟持爪部４１２は、例えば、側面視略Ｌ字状の固定爪４１２ｂと、固定爪４１２ｂとＺ軸方向において対向して配設され固定爪４１２ｂに対して接近又は離間可能な可動爪４１２ａとを備えている。挟持手段４１では、固定爪４１２ｂに対して可動爪４１２ａを接近させることにより剥離用テープＴ３の一端を挟持することができる。そして、剥離用テープＴ３を挟持した挟持爪部４１２を、シリンダー機構４１１により保持テーブル３０に保持された板状ワークＷの保護部材Ｔ２上のテープ貼着に適切な高さ位置に位置づけることができる。一方、固定爪４１２ｂから可動爪４１２ａを離間させることにより挟持手段４１における剥離用テープＴ３の一端の挟持状態を解除することができる。
テープ押付手段４４は、送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂと挟持手段４１との間に配設されている。テープ押付手段４４は、Ｘ軸方向移動手段４６の可動板４６３の側面に固定された支持台４４０と、エアシリンダー等からなり支持台４４０によって支持された押付板昇降機構４４１と、押付板昇降機構４４１によって上下動可能となっている押付板４４２とを備えている。
押付板４４２には電流を流すことで発熱する図示しないヒータが取り付けられており、押付板昇降機構４４１によって押付板４４２を下降させて保護部材Ｔ２の外周部分に剥離用テープＴ３を押し付けて貼着する際には、図示しないヒータが押付板４４２を加熱することで、保護部材Ｔ２に対して押し付けた剥離用テープＴ３を部分的に熱溶着させることができる。これにより、剥離用テープＴ３を保護部材Ｔ２に対して良好に貼着することができる。
テープ切断手段４０は、例えば、送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂとテープ押付手段４４との間に配設されている。テープ切断手段４０は、図１に示すように、剥離用テープＴ３の接着剤層側（下側）が載置される載置面４００ａ及び載置面４００ａを剥離用テープＴ３の幅方向（Ｙ軸方向）に横断する溝４００ｂを備える載置台４００と、溝４００ｂの延在方向に沿って溝４００ｂ内を進行させるカッター４０１と、カッター４０１をカッター昇降手段４０３を介して支持しカッター４０１を溝４００ｂの延在方向（Ｙ軸方向）に移動させるボールネジ機構であるカッター移動手段４０２と、エアシリンダー等からなりカッター４０１を載置面４００ａに対してＺ軸方向に昇降させるカッター昇降手段４０３とを備えている。
なお、剥離装置１は、板状ワークＷの下面Ｗｂに板状ワークＷよりも大径のダイシングテープＴ１を貼着することができるテープマウンターとしての役割を果すことが可能な構成となっていてもよい。この場合には、例えば、基台１０の－Ｘ方向側の端横に貼り付けローラや帯状のダイシングテープを円形のダイシングテープＴ１に周回しながらカットするカッター等が配設されている。
次に、剥離装置１において、剥離用テープＴ３を切断する動作例及び板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離用テープＴ３を用いて剥離する動作例について説明する。
まず、環状フレームＦと一体となった板状ワークＷが、保持テーブル３０の保持面３００ａに保護部材Ｔ２を上側に向けた状態で載置されると共に、保持テーブル３０の外周側に配設されたフレーム固定手段３２に環状フレームＦが載置される。続いて、図示しない吸引源が作動して、保持面３００ａで板状ワークＷが吸引保持されると共に、フレーム固定手段３２によって環状フレームＦが吸引固定される。
図１に示した送り出しローラ４２３ａ、４２３ｂによって、テープロールＲから剥離用テープＴ３が挟持手段４１に向けて送り出される。剥離用テープＴ３の接着剤層側（内側）がテープ切断手段４０の載置台４００の載置面４００ａに載置され、さらに、剥離用テープＴ３の一端が挟持手段４１の固定爪４１２ｂの上面に位置づけられたら、可動爪４１２ａが固定爪４１２ｂに対して接近する方向に移動して挟持手段４１が剥離用テープＴ３の一端を挟持する。次いで、Ｘ軸方向移動手段４６によって挟持手段４１が－Ｘ方向に移動して挟持された剥離用テープＴ３が同方向に引っ張られる。この段階では、剥離用テープＴ３の上方側にテープ押付手段４４の押付板４４２及びテープ切断手段４０のカッター４０１が待機した状態となっている。
例えば保持テーブル３０が＋Ｘ方向に移動して、テープ押付手段４４の真下に保護部材Ｔ２の外周部分を位置づける。続いて、内部に備える図示しないヒータにより加熱された図２に示す押付板４４２が－Ｚ方向に下降して、押付板４４２の下端で剥離用テープＴ３を上方から保護部材Ｔ２の外周部分に押し付け、剥離用テープＴ３の接着剤層を保護部材Ｔ２に熱溶着させる。
この状態で、カッター４０１がカッター移動手段４０２によって、－Ｙ方向側（紙面手前側）開始位置に位置づけられる。つまり、カッター４０１を剥離用テープＴ３の一方の側辺側から露出した載置台４００の溝４００ｂの一端の位置に位置づける。さらに、カッター昇降手段４０３によって、カッター４０１の最下端が溝４００ｂ内に至るまでカッター４０１が下降する。さらに、カッター４０１が溝４００ｂの延在方向に沿って＋Ｙ方向に進行し、カッター４０１によって剥離用テープＴ３が切断される。カッター４０１が剥離用テープＴ３を切断した後、カッター４０１及び押付板４４２は、＋Ｚ方向に上昇して剥離用テープＴ３から退避する。
その後、剥離用テープＴ３を挟持する挟持手段４１が上昇して、板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２の一部が剥離される。次いで、図３に示すように、Ｘ軸方向移動手段４６により挟持手段４１を－Ｘ方向に移動させ、テーブル移動手段１３（図１参照）によって保持テーブル３０を＋Ｘ方向に移動させて、挟持手段４１を相対的に板状ワークＷの外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離する。なお、保持テーブル３０の移動経路上方に図示しない回転ローラを配設し、該回転ローラに保護部材Ｔ２に当接させつつ剥離を行っていくことで、保護部材Ｔ２の剥離の際に起き得る保護部材Ｔ２の折れの発生を抑制させるものとしてもよい。
なお、例えば、挟持手段４１を相対的に板状ワークＷの外周縁から中心に向かって径方向に移動させ板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離できればよいため、例えば、保持テーブル３０は＋Ｘ方向には移動せず、挟持手段４１のみが－Ｘ方向に移動することにより保護部材Ｔ２が剥離されるものとしてもよい。
保護部材Ｔ２が板状ワークＷの上面Ｗａから完全に剥離されると、保護部材Ｔ２に貼着された剥離用テープＴ３を挟持する挟持手段４１が、図１に示す剥離装置１内における基台１０の＋Ｘ方向側の端横で剥離用テープ供給手段４２の下方となる領域（図１において一点鎖線で示す直方体状の領域）の上方まで移動する。そして、挟持手段４１は、剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を以下に説明する回収ボックス２に落下させる。
例えば、剥離装置１内における基台１０の＋Ｘ方向側の端横で剥離用テープ供給手段４２の下方となる領域（図１において一点鎖線で示す直方体状の領域）には、剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を投下させる図４に示す開口２０を有し保護部材Ｔ２を回収する回収ボックス２と、保護部材Ｔ２を投入する剥離装置１内の投入位置Ｐ２と保護部材Ｔ２を取り出す剥離装置１外の取り出し位置Ｐ１とに回収ボックス２を移動可能とする移動手段５（図５参照）と、回収ボックス２に回収された保護部材Ｔ２を取り出すため回収ボックス２を取り出し位置Ｐ１に位置づけた際に、剥離手段４が剥離し投下した保護部材Ｔ２が回収ボックス２に入るように形成されるスロープ６（図７参照）と、が配設されている。
図４、５に示す回収ボックス２は、例えば、平面視矩形の底板２１と、底板２１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる３枚の側壁とからなる外形が略直方体状のボックスである。そして、底板２１と各側壁とで囲まれた空間に保護部材Ｔ２を貯めることができ、上方に保護部材Ｔ２を投入する矩形の開口２０を有している。例えば、回収ボックス２の３枚の側壁の内、前方（＋Ｘ方向側）の側壁を側壁２２とし、Ｙ軸方向側の２枚の側壁を側壁２３とする。なお、図４において回収ボックス２は、剥離装置１内の投入位置Ｐ２に位置づけられた状態を示しており、図５～７において回収ボックス２は、図１に示す剥離装置１外の取り出し位置Ｐ１に位置づけられた状態を示している。
図５～７に示すように、回収ボックス２は、例えば、剥離装置１内に固定されているハウジング９内にＸ軸方向に移動可能に収容されている。ハウジング９は、例えば、回収ボックス２よりも大きい平面視略矩形の箱状の外形を備えており、回収ボックス２の底板２１がその上面を摺動する底板９１と、底板９１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がりＹ軸方向において対向する２枚の側板９４と、該２枚の側板９４の上部を連結する連結板９３とを備えている。
図５、６に示す保護部材Ｔ２を投入する剥離装置１内の投入位置Ｐ２と保護部材Ｔ２を取り出す剥離装置１外の取り出し位置Ｐ１とに回収ボックス２を移動可能とする移動手段５は、例えば、Ｘ軸方向と平行に延在するようにハウジング９の２枚の側板９４内面下部にそれぞれ配設されるガイドレール５０と、回収ボックス２のＹ軸方向側の２枚の側壁２３外面下部にそれぞれ配設されガイドレール５０に緩嵌合しガイドレール５０を摺接するスライド部５１と、を備えている。移動手段５が回収ボックス２を移動させる際に必要となる駆動力は、作業者によって生み出されてもよいし、スライド部５１を移動させる図示しないモータ等を備えるボールネジ機構によって生み出されてもよい。
回収ボックス２の側壁２２の上部には、例えば、引き手口２２０が形成されており、作業者が引き手口２２０に手をかけて側壁２２を＋Ｘ方向側へ引くことで、移動手段５を介して回収ボックス２を図１に示す剥離装置１の筐体１１から＋Ｘ方向側の装置外側、即ち、図５に示す取り出し位置Ｐ１へ引き出す（スライド移動させる）ことができる。
図４、７に示すように、本実施形態において、スロープ６は、例えば、上板６０と下板６１との少なくとも２つの板で形成されている。上板６０は、例えば平面視矩形状の外形を備えており、図７に示す支持板６３の下端に図示しない丁番等によって連結されており、該丁番により所定角度回動可能となっている。なお、例えば、スロープ６は、一枚の可撓性を有する金属板や樹脂板等から構成されていてもよく、この場合には、回収ボックス２の投入位置Ｐ２と取り出し位置Ｐ１との間の移動によって、スロープが適宜湾曲する。
ハウジング９の連結板９３には、Ｚ軸方向に延在する該支持板６３が取り付けられている。支持板６３は、Ｙ軸方向に等間隔を空けて例えば４つの貫通孔６３０がそれぞれ形成されている。
図７に示すように、下板６１は、例えば平面視矩形状の外形を備えており、その下端側が回収ボックス２の底板２１の一端側（－Ｘ方向側）に丁番２１９によって連結されており、その上端側が上板６０の下面下方の位置に所定長さだけ潜り込んだ状態となっている。
スロープ６は、例えば、下板６１に形成される下板６１の長手方向に延びる複数の貫通孔６４と、上板６０の下端に形成され貫通孔６４に挿入される串刃６５と、上板６０と下板６１とをスライド移動可能に案内する案内部６６（図５、６参照）と、を備えている。
図７に示すように、貫通孔６４は、例えば、下板６１の長手方向に串刃６５の外形に合わせて計４本矩形溝状に延在している。
串刃６５は、例えば、貫通孔６４の幅よりも小さい矩形板状の外形を備えており、貫通孔６４に挿入されると共にその下端側が下板６１の下面から所定長さだけ突出している。なお、串刃６５の長さは下板６１に取り付けられた図７に示す骨組み６６０に接触しない長さとなっている。
図５～７に示す案内部６６は、例えば、下板６１の下面に下板６１の幅方向（Ｙ軸方向）に延在するように取り付けられた骨組み６６０と、骨組み６６０の両端にそれぞれ取り付けられた案内板６６１と、ハウジング９の側板９４に形成されたガイド溝６６２と、案内板６６１を内側面側から支持する規制板６６３とを備えている。
図７に示す棒状の骨組み６６０は、例えば、下板６１の幅よりも長く形成されており、下板６１の下面に例えば２本取り付けられている。骨組み６６０は、下板６１の下面と間に所定幅の隙間が形成されるようにして下板６１の下面に張り出して取り付けられている。そのため、貫通孔６４を下板６１の長手方向に沿って移動する串刃６５と骨組み６６０とは互いに衝突しないようになっている。
図５、６に示す案内板６６１は、図示の例においては上部が弧状である板状に形成されており、その上端部分にハウジング９の側板９４側に向けて突き出てガイド溝６６２内に挿入される係合ピン６６１ａを備えている。
例えば、図６に示す移動手段５のガイドレール５０の上面には案内板６６１の厚みよりも僅かに太幅のＸ軸方向に延びる直線溝が形成されており、案内板６６１の下端側は該直線溝内を摺動する。
係合ピン６６１ａの移動経路となるガイド溝６６２は、例えば、ハウジング９の側板９４の中腹から上部に向かって曲線状に上昇していくように形成されている。
図５、６に示す規制板６６３は、例えば、回収ボックス２の側壁２３の外側に配設されており、その外側面で案内板６６１を内側から支えている。規制板６６３の－Ｘ方向端は、支持板６３の内側面に固定されている。そして、位置関係を整理すると、回収ボックス２の側壁２３が最も内側に位置し、外側に向けて規制板６６３、案内板６６１、ハウジング９の側板９４という並びになっている。
図６に示すように、規制板６６３は、その下端面が傾斜面に形成されており、図７に示す骨組み６６０は該傾斜する下端面の下方を通り、その各端が案内板６６１の内側面に連結されている。規制板６６３には、Ｘ軸方向に等間隔を空けて例えば５つの貫通孔６６３ａが形成されている。案内板６６１が例えばその上部側が弧状に形成されている理由は、案内板６６１の係合ピン６６１ａがガイド溝６６２に沿って移動した際に、案内板６６１によって規制板６６３の貫通孔６６３ａが塞がれてしまうことが無いようにするためである。
規制板６６３より内側の上方の位置には、傾斜板６６４が配設されており、傾斜板６６４は、回収ボックス２の開口２０に向かって投入された保護部材Ｔ２が確実に回収ボックス２内に入るようにガイドする。
図５に示すように、ハウジング９の側板９４には、例えば５つの第１の光センサ７４を構成する発光部がそれぞれ配設されている。
回収ボックス２のＹ軸方向側の側壁２３の上部領域には、例えば一本連続的に延びる矩形のスリット２３０が形成されており、例えば回収ボックス２が投入位置Ｐ２にある場合に、該スリット２３０は第１の光センサ７４の発光部から出射され規制板６６３の貫通孔６６３ａを通過した検知光を、さらに－Ｙ方向側に通過させ、ハウジング９の－Ｙ方向側の側板９４の外側面に配設された図示しない受光部に受光させる。検知光が、該受光部に到達する前に回収ボックス２内に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、第１の光センサ７４は回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
図７に示すように回収ボックス２内の上方には、＋Ｙ方向側に張り出す光センサ収容ボックス７６が設けられており、光センサ収容ボックス７６内にはＹ軸方向に等間隔を空けて例えば４つの第２の光センサ７７を構成する受光部７７０がそれぞれ配設されている。第２の光センサ７７は、該受光部７７０にＸ軸方向において同一直線上に対向する発光部７７１を備える透過型の光センサである。発光部７７１は、例えば、ハウジング９の連結板９３の内側面に取り付けられている。図４に示すように、第２の光センサ７７の発光部７７１から出射され支持板６３の貫通孔６３０を通過した検知光が受光部７７０に到達する前に、回収ボックス２内に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、第２の光センサ７７は、投入位置Ｐ２に位置している状態の回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
なお、第１の光センサ７４又は第２の光センサ７７のいずれか一方が配設されていればよい。
先に説明したように、図１に示す剥離装置１において剥離用テープＴ３を用いて板状ワークＷの上面Ｗａから保護部材Ｔ２が剥離手段４によって剥離され、剥離された保護部材Ｔ２が回収ボックス２に投入されている最中に、回収ボックス２から保護部材Ｔ２が取り出し可能であること、即ち、回収ボックス２が、図４に示す投入位置Ｐ２または取り出し位置Ｐ１のどちらに位置づけられていても回収ボックス２に保護部材Ｔ２を回収可能であることについて、以下に説明していく。
図１に示す挟持手段４１が、剥離した剥離用テープＴ３の挟持を解除し、保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を落下させ、図４に示す投入位置Ｐ２に位置づけられた回収ボックス２の開口２０から回収ボックス２内に保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３を投入する。保護部材Ｔ２及び剥離用テープＴ３は、回収ボックス２の底板２１上に積み重なっていく。なお、回収ボックス２が投入位置Ｐ２に位置づけられた際には、上板６０が下板６１の上面に重ね合わされ回収ボックス２の－Ｘ方向側の側壁となっている。
図４に示すように、回収ボックス２が投入位置Ｐ２に位置づけられている状態において、板状ワークＷからそれぞれ剥離された保護部材Ｔ２が回収ボックス２内に所定の高さまで複数枚積み上がり、第１の光センサ７４又は第２の光センサ７７の検知光がそれぞれの受光部に到達する前に積み上がった保護部材Ｔ２により遮られることで、第１の光センサ７４又は第２の光センサ７７は、回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことを検出する。
なお、剥離された保護部材Ｔ２は湾曲したりロール状に丸まったりして積み重なることがある。そのため、少ない枚数の保護部材Ｔ２で上記検知光が遮られることがある。
第１の光センサ７４又は第２の光センサ７７により回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、図１に示す剥離装置１は、例えば、図示しないモニターに回収ボックス２から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告文を表示する、又は、図示しないスピーカーから回収ボックス２から保護部材Ｔ２を取り出すべきとの警告音を発報する。
例えば、該警告が伝わった作業者が、図４に示す回収ボックス２の引き手口２２０に手をかけて側壁２２を＋Ｘ方向側へ引き、図５に示す移動手段５によって回収ボックス２を剥離装置１外側の取り出し位置Ｐ１に位置づけることで、開口２０の隣に光センサ収容ボックス７６を挟んで、矩形の保護部材取り出し口２７が形成される。なお、第１の光センサ７４又は第２の光センサ７７によって回収ボックス２内が保護部材Ｔ２で満たされたことが検出されると、移動手段５によって自動的に回収ボックス２の側壁２２が＋Ｘ方向に移動されて、回収ボックス２を剥離装置１外側の取り出し位置Ｐ１に位置づけて保護部材取り出し口２７が形成されるものとしてもよい。
作業者が、例えば図６、７に示す保護部材取り出し口２７から回収ボックス２内に手を入れて、回収ボックス２内の底板２１上に積み重なって貯められている保護部材Ｔ２を掴む。その後、保護部材取り出し口２７から手を引き抜いて保護部材Ｔ２を回収ボックス２内から取り出す。個々で、保護部材取り出し口２７の上方までは図１に示す剥離手段４の挟持手段４１が移動してこないので、回収ボックス２の開口２０の上方に位置し保護部材Ｔ２を投下している挟持手段４１に作業者の手が当たってしまうといった事態が生じない。
図４に示す投入位置Ｐ２に位置づけられた回収ボックス２が、図５に示す移動手段５によって剥離装置１外側の取り出し位置Ｐ１に位置づけられると、図７に示すようにスロープ６が形成される。即ち、回収ボックス２の底板２１に丁番２１９を介して連結されている下板６１が、上板６０と共に略鉛直方向に立っていた状態（回収ボックス２の－Ｘ方向側の側壁を形成していた状態）から、＋Ｘ方向側に引き出されつつ斜めに傾けられていく。
また、図７に示す骨組み６６０を介して下板６１と連結されている図５、６に示す案内板６６１の係合ピン６６１ａが、ガイド溝６６２に沿って下降していく。それに連動して、規制板６６３とハウジング９の側板９４とにＹ軸方向両側から挟まれた状態の案内板６６１も立った状態から下方に傾いていく。そのため、下板６１は、骨組み６６０と共に徐々に斜めに傾けられていく。
このように下板６１が斜めに傾けられていくのと並行して、串刃６５が下板６１の貫通孔６４に挿入された状態の図７に示す上板６０が、下板６１と共に略鉛直方向に立っていた状態（回収ボックス２の－Ｘ方向側の側壁を形成していた状態）から、下板６１の上面をその下端が摺るようにして斜めに傾いていく。また、串刃６５が貫通孔６４に沿って下降していく。
そして、回収ボックス２を剥離装置１外側の取り出し位置Ｐ１に位置づけることで、図７に示すように、上板６０の下端と下板６１の上端とを連結させ上板６０に続くように下板６１を延在させてなるスロープ６が形成される。
作業者が取り出し位置Ｐ１に位置づけられた図５に示す回収ボックス２内の保護部材Ｔ２を回収している最中においても、図１に示す剥離手段４で板状ワークＷから剥離された保護部材Ｔ２は、開口２０から図７に示すスロープ６上に投下される。該保護部材Ｔ２は、スロープ６の上面を滑り落ちていき、回収ボックス２の底板２１に積み重なっていく。
例えば、作業者は、回収ボックス２内から保護部材取り出し口２７を介して保護部材Ｔ２を回収し終えると、回収ボックス２を－Ｘ方向側へ押して図４に示す投入位置Ｐ２まで戻す。
上記のように本発明に係る剥離装置１は、剥離装置１内に配設され、剥離手段４が剥離した保護部材Ｔ２を投下させる開口２０を有し保護部材Ｔ２を回収する回収ボックス２と、保護部材Ｔ２を投入する剥離装置１内の投入位置Ｐ２と保護部材Ｔ２を取り出す剥離装置１外の取り出し位置Ｐ１とに回収ボックス２を移動可能とする移動手段５と、回収ボックス２に回収された保護部材Ｔ２を取り出すため回収ボックス２を取り出し位置Ｐ１に位置づけた際に、剥離手段４が剥離し投下した保護部材Ｔ２が回収ボックス２に入るように形成されるスロープ６と、を備えているため、回収ボックス２に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄している最中においても、板状ワークＷから保護部材Ｔ２を剥離して剥離した保護部材Ｔ２をスロープ６により回収ボックス２に投入することが可能であるため、剥離装置１の連続運転が可能になる。また、剥離装置１が、環状フレームＦと板状ワークＷとにダイシングテープＴ１を貼着した後、板状ワークＷに貼着されている保護部材Ｔ２を剥離するテープマウンターとしての役割を果す場合に、保護部材Ｔ２の剥離動作中に回収ボックス２に貯まった保護部材Ｔ２を廃棄することが可能になったので、剥離装置１はテープマウンターとしても連続的に運転可能となる。
本発明に係る剥離装置１において、スロープ６は、上板６０と下板６１との少なくとも２つの板で形成され、下板６１に形成される長手方向に延びる複数の貫通孔６４と、上板６０の下端に形成され貫通孔６４に挿入される串刃６５と、上板６０と下板６１とをスライド移動可能に案内する案内部６６と、を備え、回収ボックス２が取り出し位置Ｐ１に位置づけられた際には、上板６０の下端と下板６１の上端とを連結させ上板６０に続くように下板６１を延在させてスロープ６を形成させ、回収ボックス２が投入位置Ｐ２に位置づけられた際には、上板６０と下板６１とが重ね合わされ回収ボックス２の側壁になることで、剥離手段４が剥離し投下した保護部材Ｔ２を回収ボックス２に導くスロープ６を効率よく形成又は収納する（折畳んだ状態にする）ことが可能となる。また、保護部材Ｔ２を取り出す剥離装置１外の取り出し位置Ｐ１から保護部材Ｔ２を投入する剥離装置１内の投入位置Ｐ２に回収ボックス２を移動させた際に、貫通孔６４と貫通孔６４に挿入される串刃６５とによって、下板６１の上面に保護部材Ｔ２が残っていた場合に、串刃６５を保護部材Ｔ２に接触させて保護部材Ｔ２を回収ボックス２の底板２１に追いやることができ、上板６０と下板６１との間に保護部材Ｔ２が巻き込まれて挟まれた状態になってしまうことを防ぐことが可能となる。
本発明に係る剥離装置１は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている剥離装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
Ｗ：板状ワーク Ｗａ：上面 Ｗｂ：下面 Ｓ：分割予定ライン Ｄ：デバイス
Ｔ１：ダイシングテープ Ｆ：環状フレーム Ｔ２：保護部材
１：剥離装置 １０：基台
１３：テーブル移動手段 １３０：ボールネジ １３１：ガイドレール １３２：モータ
１３３：可動部材
３０：保持テーブル ３００：吸着部 ３００ａ：保持面 ３０１：枠体 ３１：支持台 ３２：フレーム固定手段 ３３：ピストン機構
Ｔ３：剥離用テープ Ｒ：テープロール
４：剥離手段
４０：テープ切断手段 ４００：載置台 ４０１：カッター ４０２：カッター移動手段 ４０３：カッター昇降手段
４１：挟持手段 ４１０：支持台 ４１１：シリンダー機構 ４１２：挟持爪部
４１２ｂ：固定爪 ４１２ａ：可動爪
４２：剥離用テープ供給手段 ４２０：巻筒 ４２１ａ、４２１ｂ：ガイドローラ
４２３ａ、４２３ｂ：送り出しローラ
４４：テープ押付手段 ４４０：支持台 ４４１：押付板昇降機構 ４４２：押付板
４６：Ｘ軸方向移動手段 ボールネジ４６０ モータ４６２
Ｐ１：取り出し位置 Ｐ２：投入位置
２：回収ボックス ２０：開口 ２１：底板 ２１９：丁番 ２２：側壁 ２２０：引き手口 ２３：側壁
５：移動手段 ５０：ガイドレール ５１：スライド部
６：スロープ ６０：上板 ６１：下板 ６４：貫通孔 ６５：串刃
６３：支持板 ６３０：貫通孔
６６：案内部 ６６０：骨組み ６６１：案内板 ６６１ａ：係合ピン ６６２：ガイド溝 ６６３：規制板
９：ハウジング ９１：底板 ９４：側板 ９３：連結板
７４：第１の光センサ
７７：第２の光センサ ７６：光センサ収容ボックス

Claims (2)

  1. 上面をシート状の保護部材で覆われた板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークから該保護部材を剥離する剥離手段と、を少なくとも備える剥離装置であって、
    該剥離装置内に配設され、該剥離手段が剥離した該保護部材を投下させる開口を有し該保護部材を回収する回収ボックスと、該保護部材を投入する該剥離装置内の投入位置と該保護部材を取り出す該剥離装置外の取り出し位置とに該回収ボックスを移動可能とする移動手段と、該回収ボックスに回収された該保護部材を取り出すため該回収ボックスを該取り出し位置に位置づけた際に、該剥離手段が剥離し投下した該保護部材が該回収ボックスに入るように形成されるスロープと、を備え、
    該回収ボックスが、該投入位置または該取り出し位置のどちらに位置づけられていても該回収ボックスに該保護部材を回収可能にする剥離装置。
  2. 前記スロープは、上板と下板との少なくとも２つの板で形成され、該下板に形成される長手方向に延びる複数の貫通孔と、該上板の下端に形成され該貫通孔に挿入される串刃と、該上板と該下板とをスライド移動可能に案内する案内部と、を備え、
    前記回収ボックスが前記取り出し位置に位置づけられた際には、該上板の下端と該下板の上端とを連結させ該上板に続くように該下板を延在させて該スロープを形成させ、
    該回収ボックスが前記投入位置に位置づけられた際には、該上板と該下板とが重ね合わされ該回収ボックスの側壁になる、請求項１記載の剥離装置。
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