JP6216584B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウエハに対向させて粘着テープ(接着シート)を供給するテープ供給部と、ウエハに粘着テープを貼付する貼付けユニットと、ウエハの外形に沿って粘着テープを切り抜くテープ切断機構とを備え、切抜孔が形成された粘着テープ(不要シート)を巻き取って当該粘着テープの未使用部分をウエハに供給し、当該ウエハに粘着テープを貼付するように構成されている。
なお、「不要シートの面状態を維持する」とは、上述のように、不要シートの一部が所定の面から垂れ下がったり、折れ曲がったりすることのない状態を維持することであり、この所定の面とは、平面に限らず凹面や凸面、凹凸面が複合した面であってもよく、要は不要シートが折り重なったり、皺になったりして回収手段で回収されないように、当該不要シートの面状態を所定の状態に保つことである。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
誘導手段39は、左端部が回収側フレーム3Bに回転可能に支持され、ばねや駆動機器等の図示しない付勢手段により時計回転方向に付勢された回転アーム39Aと(図3参照)、回転アーム39Aの左端部に支持された基部ローラ39Bと、回転アーム39Aの右端部に支持され、図示しない駆動機器としての回動モータが内蔵されたモータローラ39Cと、基部ローラ39Bおよびモータローラ39Cに掛け渡された無端かつ多孔質のサクションベルト39Dと、回転アーム39Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段が接続された吸引チャンバ39Eとを備え、不要シートUSを基材シートBS側から吸引可能に設けられ、回収ローラ38で回収された不要シートUSの増大とともに基部ローラ39Bを中心として回転可能に設けられている。
先ず、図2(A)に示すように、回収側フレーム3Bおよび押圧ローラ42が左方に位置する初期状態において、作業者が接着シートASを同図の実線で示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段3がリニアモータ35を駆動し、剥離ローラ37と押圧ローラ42とで接着シートASを押圧して挟み込み、誘導手段39が図示しない減圧手段を駆動し、サクションベルト39Dを介して吸引チャンバ39Eで不要シートUSを吸引保持し、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。
さらに、誘導手段39は、基部ローラ39B、モータローラ39Cおよびサクションベルト39Dを採用せずに、吸引チャンバ39Eのみで不要シートUSを吸引保持する構成としたり、基部ローラ39B、モータローラ39C、およびサクションベルト39Dの代わりに、駆動機器や吸引機能のない第1部材または、駆動機器および吸引機能の少なくとも一方を有する第2部材を不要シートUSの基材シートBS側に位置させ、当該不要シートUSの接着剤AD層側から第1、第2部材側に気体を噴出する構成としたりしてもよい。
さらに、不要シートUSは、切抜孔CUが離れた状態で回収手段で回収される構成でもよい。
また、接着シートASは、枚葉のものでもよい。
押圧手段4は、押圧ローラ42にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
3…供給手段
4…押圧手段
5…切断手段
38…回収ローラ(回収手段)
39…誘導手段
AS…接着シート
CU…切抜孔
US…不要シート
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
Claims (2)
- 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く切断手段とを備え、
前記供給手段は、前記接着シートに切抜孔が形成された不要シートを回収する回収手段と、前記不要シートの面状態を前記押圧手段から前記回収手段にわたって維持して当該不要シートを前記回収手段に導く誘導手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
前記被着面に前記接着シートを押圧手段で押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く工程と、
前記接着シートに切抜孔が形成された不要シートの面状態を前記押圧手段から回収手段にわたって維持して当該不要シートを前記回収手段で回収する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013190770A JP6216584B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | シート貼付装置および貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013190770A JP6216584B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | シート貼付装置および貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015056613A JP2015056613A (ja) | 2015-03-23 |
JP6216584B2 true JP6216584B2 (ja) | 2017-10-18 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013190770A Active JP6216584B2 (ja) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | シート貼付装置および貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6216584B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6527817B2 (ja) * | 2015-12-11 | 2019-06-05 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP6833542B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2021-02-24 | 日東電工株式会社 | テープ回収方法およびテープ回収装置 |
JP6965036B2 (ja) * | 2017-06-20 | 2021-11-10 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP7049822B2 (ja) * | 2017-12-18 | 2022-04-07 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
JP7364327B2 (ja) * | 2018-09-21 | 2023-10-18 | リンテック株式会社 | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 |
JP7296222B2 (ja) * | 2019-03-11 | 2023-06-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007043057A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-02-15 | Lintec Corp | シート貼付用テーブル |
JP5112984B2 (ja) * | 2008-08-06 | 2013-01-09 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP5465944B2 (ja) * | 2009-07-30 | 2014-04-09 | 日東電工株式会社 | 保護テープ貼付け方法 |
JP2012044117A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Sumco Corp | 貼り合せウェーハの検査装置 |
JP5695466B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-04-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP5943573B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-07-05 | リンテック株式会社 | シート製造装置及び製造方法 |
JP6078233B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2017-02-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置 |
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2013
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015056613A (ja) | 2015-03-23 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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