JP5980600B2 - テープ拡張装置 - Google Patents
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Description
テープの第1辺を挟持する第1の挟持手段と、該第1辺と対向するテープの第2辺を挟持する第2の挟持手段と、該第1辺および該第2辺と直交するテープの第3辺を挟持する第3の挟持手段と、該第3辺と対向するテープの第4辺を挟持する第4の挟持手段と、該第1の挟持手段と該第2の挟持手段と該第3の挟持手段と該第4の挟持手段をそれぞれ挟持する各辺に対して直交する方向に移動せしめる拡張手段と、を具備し、
該第1の挟持手段と該第2の挟持手段と該第3の挟持手段と該第4の挟持手段は、それぞれ下側挟持部材と上側挟持部材とを備え、該下側挟持部材の上面には挟持した辺に沿った方向に回転する複数のコロが配設されており、該上側挟持部材の下面には挟持した辺に沿った方向に回転する複数のコロが配設されている、
ことを特徴とするテープ拡張装置が提供される。
図1には、本発明に従って構成されたテープ拡張装置の一実施形態の斜視図が示されている。
図1に示す実施形態におけるテープ拡張装置2は、固定基台20と、該固定基台20の中央部上面に配設され上記粘着テープ1を載置する円形状の保持テーブル3と、該保持テーブル3に載置された上記粘着テープ1を挟持する第1の挟持手段4aと第2の挟持手段4bと第3の挟持手段4cと第4の挟持手段4dと、該第1の挟持手段4aと該第2の挟持手段4bと該第3の挟持手段4cと該第4の挟持手段4dをそれぞれ円形状の保持テーブル3の径方向に移動せしめる第1のテープ拡張手段5aと第2のテープ拡張手段5bと第3のテープ拡張手段5cと第4のテープ拡張手段5dを具備している。
上記図9に示す表面中央部にウエーハ10(個々のデバイス102に分割されている)が貼着されている粘着テープ1は、図示しない搬送装置によって保持テーブル3上に載置される。このとき粘着テープ1は、第1辺1aを第1の挟持手段4aに向け、第2辺1bを第2の挟持手段4bに向け、第3辺1cを第3の挟持手段4cに向け、第4辺1dを第4の挟持手段4dに向けて載置される。なお、このとき保持テーブル3は、上面が上記第1の挟持手段4a、第2の挟持手段4b、第3の挟持手段4c、第4の挟持手段4dを構成する下側挟持機構42の下側挟持部材422と上側挟持機構43の上側挟持部材432との中間位置の高さに位置付けられている。
なお、上述した実施形態においては、粘着テープ1の第1辺1aおよび第2辺1bと第3辺1cおよび第4辺1dを挟持した状態で、粘着テープ1の第3辺1cおよび第4辺1dを拡張する第1のテープ拡張工程と粘着テープ1の第1辺1aおよび第2辺1bを拡張する第2のテープ拡張工程を分けて実施する例を示したが、第1のテープ拡張工程と第2のテープ拡張工程を同時に実施してもよい。
なお、デバイスの縦および横の寸法が異なり、ウエーハに配設されたデバイスの縦列と横列の数が異なる場合でも、配設されたデバイスの数に対応して粘着テープ1の第1辺1aおよび第2辺1bの拡張量と第3辺1cおよび第4辺1d拡張量を調整することにより、個々に分割されているデバイス間の隙間Sを一定にできるとともに、隙間を一直線上に形成することができる。
2:テープ拡張装置
20:固定基台
3:円形状の保持テーブル
4a:第1の挟持手段
4b:第2の挟持手段
4c:第3の挟持手段
4d:第4の挟持手段
41:可動基台
42:下側挟持機構
422:下側挟持部材
423:コロ
43:上側挟持機構
432:上側挟持部材
433:コロ
44:第1の移動機構
45:第2の移動機構
5a:第1のテープ拡張手段
5b:第2のテープ拡張手段
5c:第3のテープ拡張手段
5d:第4のテープ拡張手段
7:環状フレーム
10:ウエーハ
Claims (1)
- 矩形状のテープを拡張するテープ拡張装置において、
テープの第1辺を挟持する第1の挟持手段と、該第1辺と対向するテープの第2辺を挟持する第2の挟持手段と、該第1辺および該第2辺と直交するテープの第3辺を挟持する第3の挟持手段と、該第3辺と対向するテープの第4辺を挟持する第4の挟持手段と、該第1の挟持手段と該第2の挟持手段と該第3の挟持手段と該第4の挟持手段をそれぞれ挟持する各辺に対して直交する方向に移動せしめる拡張手段と、を具備し、
該第1の挟持手段と該第2の挟持手段と該第3の挟持手段と該第4の挟持手段は、それぞれ下側挟持部材と上側挟持部材とを備え、該下側挟持部材の上面には挟持した辺に沿った方向に回転する複数のコロが配設されており、該上側挟持部材の下面には挟持した辺に沿った方向に回転する複数のコロが配設されている、
ことを特徴とするテープ拡張装置。
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