JP7483561B2

JP7483561B2 - エキスパンド方法及びエキスパンド装置

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Publication number: JP7483561B2
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Inventors: 曄陳
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Description

本発明は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法及びエキスパンド装置に関する。

ワークへのレーザービーム照射により改質層を形成した後、シートをエキスパンドすることでワークを分割する方法が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に示されたエキスパンド装置は、シートの４辺を挟持してエキスパンドすることで、例えば縦横でサイズの異なるチップでも縦横でエキスパンド量を変えられるため、十分な拡張が可能となる。特許文献１に示されたエキスパンド装置は、更にエキスパンドした後にフレームで固定することでシートの弛みが生じることを防止できる。

特開２００６－２２９０２１号公報

しかし、特許文献１に示されたエキスパンド装置は、第１方向にエキスパンドした状態で第２方向をエキスパンドしようとしても、シートが第１方向に張っているため、第２方向に十分エキスパンドできず、チップが分割されないという問題がある。

特に分割対象がウェーハの裏面に貼着されたＤＡＦや、金属等からなる膜が成膜されたウェーハの場合、未分割領域が発生しやすく問題となっていた。

本発明の目的は、未分割領域の発生を抑制することができるエキスパンド方法及びエキスパンド装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド方法は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第１挟持部材と第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドする第１エキスパンドステップと、該第１エキスパンドステップを実施した後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させ該シートの張力を緩和させる第１戻しステップと、該第１戻しステップを実施した後、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第３挟持部材と第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップと、を備えたことを特徴とする。

本発明のエキスパンド装置は、ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第１挟持部材と、第２挟持部材と、該第１挟持部材と該第２挟持部材を該第１方向で近接離反可能に移動させる第１移動ユニットと、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第３挟持部材と、第４挟持部材と、該第３挟持部材と該第４挟持部材を該第２方向で近接離反可能に移動させる第２移動ユニットと、少なくとも該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドした後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させた状態で、該第３挟持部材と該第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドするよう該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御することを特徴とする。

本発明は、未分割領域の発生を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示されたエキスパンド装置の挟持ユニットの上方挟持部材を下方からみた斜視図である。図５は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。図６は、図５に示されたエキスパンド方法の挟持ステップを模式的に示す平面図である。図７は、図５に示されたエキスパンド方法の第１エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図８は、図５に示されたエキスパンド方法の第１戻しステップを模式的に示す平面図である。図９は、図５に示されたエキスパンド方法の第２エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図１０は、図５に示されたエキスパンド方法の第２戻しステップを模式的に示す平面図である。図１１は、図５に示されたエキスパンド方法の間隔調整ステップを模式的に示す平面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るエキスパンド装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るエキスパンド装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示されたエキスパンド装置の加工対象のワークを示す斜視図である。図３は、図２に示されたワークとエキスパンドシート等を示す斜視図である。図４は、図１に示されたエキスパンド装置の挟持ユニットの上方挟持部材を下方からみた斜視図である。

実施形態１に係る図１に示すエキスパンド装置１は、図２に示すワーク２００が貼着されたシートであるエキスパンドシート２０１（図３に示す）をエキスパンド（拡張ともいう）する装置である。実施形態１に係るエキスパンド装置１の加工対象であるワーク２００は、図２に示すように、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板２０３とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハ２２０と、ウェーハ２２０に貼着されたＤＡＦ（Die Attach Film）２２１とを備える。

ウェーハ２２０は、図２に示すように、基板２０３の表面２０４の互いに交差（実施形態１では、直交）する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成されている。また、ウェーハ２２０は、基板２０３の結晶包囲を示す異形状部であるノッチ２０８が形成されている。実施形態１では、ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に沿って基板２０３を分割する分割線２０６が形成されて、個々のチップ２２２に分割されている。

チップ２２２は、基板２０３の一部分と、基板２０３の表面２０４に形成されたデバイス２０２とを備える。なお、実施形態１では、チップ２２２は、平面形状が０．１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下×０．１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下程度の矩形状である。即ち、実施形態１では、チップ２２２は、小チップである。ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に切削ブレードにより切削される切削加工、レーザービームが照射されるレーザー加工又はプラズマエッチンによるプラズマダイシングが施されて、分割予定ライン２０５に基板２０３を分割する分割線２０６が形成されて、個々のチップ２２２に分割されている。

ＤＡＦ２２１は、実施形態１において、ウェーハ２２０と同径の円板状に形成され、個々のチップ２２２の分割されたウェーハ２２０の表面２０４の裏側の裏面２０７に貼着されている。実施形態１では、ＤＡＦ２２１は、個々のチップ２２２毎に分割されていない。なお、ＤＡＦ２２１は、チップ２２２を他のチップ又は基板等に固定するためのダイボンディング用の接着フィルムである。

また、実施形態１において、ワーク２００は、図３に示すように、基板２０３の裏面２０７側のＤＡＦ２２１にエキスパンドシート２０１が貼着され、エキスパンド装置１によりＤＡＦ２２１が個々のチップ２２２毎に分割される。

エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有し、例えば、加熱された合成樹脂が第１方向２１１に沿って伸長されながら、第１方向２１１に対して直交する第２方向２１２に延伸されて成形される。エキスパンドシート２０１は、伸縮性を有する合成樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ伸縮性と粘着性とを有する合成樹脂により構成された粘着層とを備える。実施形態１では、第１方向２１１は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第２方向２１２は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。なお、粘着層の表面を、以下、粘着面２０１－１と記し、基材層の表面を、以下、基材面２０１－２と記す。

実施形態１に係るエキスパンド装置１は、ワーク２００に貼着したエキスパンドシート２０１を第１方向２１１と、第２方向２１２とにエキスパンドして、ワーク２００のＤＡＦ２２１を個々のチップ２２２毎に分割するとともに、互いに隣接するチップ２２２間に間隔を形成する装置である。また、エキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１をエキスパンドして、互いに隣接するチップ２２２間に間隔を形成した後、エキスパンドシート２０１に内径がワーク２００よりも大径な環状フレーム２０９を貼着して、環状フレーム２０９の開口２１０内にワーク２００を支持する装置でもある。

また、実施形態１において、エキスパンドシート２０１は、第１方向２１１に伸長されながら整形されるため、第１方向２１１にテンションが付与されており、第１方向２１１の方が、第２方向２１２よりもエキスパンドされにくい。即ち、実施形態１では、エキスパンドシート２０１は、第２方向２１２の方が第１方向２１１よりもエキスパンドされ易い。なお、本発明では、エキスパンドシート２０１のエキスパンドされにくい方向及びエキスパンドされ易い方向は、実施形態１に記載された方向に限定されない。

エキスパンド装置１は、図１に示すように、平板状の固定基台２と、固定基台２の中央に設けられた保持テーブル１０と、図示しないワーク搬送ユニットと、挟持機構３０と、移動機構４０と、図示しないフレーム搬送ユニットと、シート切断ユニット６０と、撮像ユニット７０と、コントローラである制御ユニット１００とを備える。

保持テーブル１０は、円板状に形成され、エキスパンドシート２０１が保持面１１に載置される。保持テーブル１０は、移動機構によって鉛直方向に移動自在に設けられている。保持面１１は、水平方向に沿って平坦に形成され、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００が載置可能な直径を有している。保持面１１は、エキスパンドシート２０１を介して、ワーク２００が載置される。

また、実施形態１では、保持テーブル１０は、保持面１１に載置されたエキスパンドシート２０１及びワーク２００を冷却するペルチェ素子を備えている。

ワーク搬送ユニットは、挟持機構３０の上方に配置され、かつ下面にワーク２００を保持する。ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。ワーク搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持したワーク２００が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、保持テーブル１０と鉛直方向に対面する位置にワーク２００を位置付ける。また、ワーク搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、挟持機構３０に保持されたエキスパンドシート２０１にワーク２００を貼着する。

挟持機構３０は、エキスパンドシート２０１を保持するものである。挟持機構３０は、第１挟持ユニット３１－１と、第２挟持ユニット３１－２と、第３挟持ユニット３１－３と、第４挟持ユニット３１－４とを備える。第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１をワーク２００の外周で挟持する挟持ユニットである。

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、それぞれエキスパンドシート２０１のワーク２００よりも外周側の位置を挟持する。第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４は、固定基台２上に設けられた柱状の移動基台３２と、移動基台３２に鉛直方向に移動自在に設けられた上方挟持部材３３と、下方挟持部材３４と、上方挟持部材３３と下方挟持部材３４とを互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動する部材移動ユニット３５とを備える。上方挟持部材３３と、下方挟持部材３４とは、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、部材移動ユニット３５により互いに近づけられて互いの間にエキスパンドシート２０１を挟んで保持する。

第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とは、第１方向２１１に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。即ち、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とは、第１方向２１１で保持テーブル１０に保持されたワーク２００を挟んで対向して配設されている。

第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とは、第２方向２１２に沿って互いに対向し、互いの間に保持テーブル１０を位置付けている。即ち、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とは、第２方向２１２で保持テーブル１０に保持されたワーク２００を挟んで対向して配設されている。

第１挟持ユニット３１－１、第２挟持ユニット３１－２、第３挟持ユニット３１－３及び第４挟持ユニット３１－４の構成は、等しいので、以下、第１挟持ユニット３１－１を代表して説明する。上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、第２方向２１２と平行な直線状に形成されている。上方挟持部材３３は、移動基台３２の上端部から水平方向に伸びた支持アーム３９の先端に支持され、下方挟持部材３４は、移動基台３２の中央部から水平方向に伸びた支持アーム３９の先端に支持されている。

上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、それぞれ、支持アーム３９の先端に固定された挟持部本体部材５１と、挟持ブロック５２とを備える。挟持部本体部材５１は、第２方向２１２と平行な直線状の柱状に形成されている。

挟持ブロック５２は、上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４それぞれの挟持部本体部材５１の長手方向に沿って複数並べられて配置されている。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、鉛直方向に対向して配置されている。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の互いに対向する表面５３（図４に示す）は、水平方向に沿って平坦に形成されている。

また、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２では、図４に示すように、二つの挟持ブロック５２が挟持部本体部材５１に回動支持部材５４を介して取り付けられている。回動支持部材５４は、二つの挟持ブロック５２を第１方向２１１と平行な回転軸５５を中心として回転自在に支持している。実施形態１では、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２は、全ての互いに固定されているとともに、挟持部本体部材５１に直接固定されている。

また、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、部材移動ユニット３５により挟持部材３３，３４が互いに近づけられると、互いに近づいて互いの挟持ブロック５２の間にエキスパンドシート２０１を挟持する。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２と、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２とは、部材移動ユニット３５により挟持部材３３，３４が互いに離れると、互いに離れる。上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の挟持ブロック５２が回動支持部材５４より回転軸５５を中心として回転自在に支持されているので、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２との間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２がエキスパンドシート２０１の向きに応じて回転して、挟持ブロック５２は、挟持ブロック５２間にエキスパンドシート２０１を挟持することができる。

挟持ブロック５２は、挟持ブロック５２間にエキスパンドシート２０１を挟持する際に、上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の表面５３にエキスパンドシート２０１の粘着面２０１－１が接触し、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の表面５３にエキスパンドシート２０１の基材面２０１－２が接触する。

また、挟持ブロック５２の各挟持ブロック５２は、図４に示すように、表面５３に第２方向２１２と平行な溝５６を複数設け、表面５３の保持テーブル１０寄りの外縁部に冷却されたエアーを噴出可能な噴出口５７を第２方向２１２と平行に複数並べて配置している。なお、実施形態１では、上方挟持部材３３と下方挟持部材３４との双方の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を複数設けたが、本発明では、下方挟持部材３４の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を設けなくても良い。本発明では、挟持ブロック５２の少なくとも上方挟持部材３３の挟持ブロック５２の表面５３に溝５６を設けるので、挟持ブロック５２の粘着面２０１－１との接触面積を抑制して、挟持ブロック５２が粘着面２０１－１に貼り付いてしまうことを抑制することができる。

第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４が、第１方向２１１と平行な直線状に形成されているとともに、挟持部本体部材５１が、第１方向２１１と平行な直線状の柱状に形成されている。第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、回動支持部材５４が、二つの挟持ブロック５２を第２方向２１２と平行な回転軸５５を中心として回転自在に支持している。第３挟持ユニット３１－３、及び第４挟持ユニット３１－４では、溝５６が第２方向２１２と平行であるとともに、噴出口５７が第２方向２１２と平行に複数並べられている。

なお、第１挟持ユニット３１－１の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第１挟持部材であり、第２挟持ユニット３１－２の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第２挟持部材である。第３挟持ユニット３１－３の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第３挟持部材であり、第４挟持ユニット３１－４の上方挟持部材３３及び下方挟持部材３４は、特許請求の範囲に記載された第４挟持部材である。

部材移動ユニット３５は、移動基台３２に設けられている。部材移動ユニット３５は、挟持部材３３，３４を鉛直方向に移動自在とするモータ３６と、モータ３６により軸心回りに回転されるボールねじ３７と、ボールねじ３７に螺合しかつ挟持部材３３，３４と支持アーム３９を介して連結したナット３８とを備える。部材移動ユニット３５は、モータ３６がボールねじ３７を軸心回りに回転させることで、ナット３８、支持アーム３９及び挟持部材３３，３４を鉛直方向に移動させる。

部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を互いに近づく方向に移動させて、挟持部材３３，３４間にエキスパンドシート２０１を挟持する。部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を互いに離れる方向に移動させて、挟持部材３３，３４間のエキスパンドシート２０１の挟持を解除する。また、部材移動ユニット３５は、モータ３６によりボールねじ３７を軸心回りに回転することで、挟持部材３３，３４を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。

移動機構４０は、第１移動ユニット４１と、第２移動ユニット４２とを備える。

第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に沿って移動させることで、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１で互いに離反する方向である図７に示す矢印３００に移動させるものである。第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２と第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に沿って移動させることで、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と、第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを第１方向２１１で近接離反可能に移動させるものでもある。第１移動ユニット４１は、第１挟持ユニット３１－１の移動基台３２を第１方向２１１に移動させる第１移動機構４３－１と、第２挟持ユニット３１－２の移動基台３２を第１方向２１１に移動させる第２移動機構４３－２とを備える。

第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に沿って移動させることで、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２で互いに離反する方向である図９に示す矢印３０２に移動させるものである。第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２と第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に沿って移動させることで、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と、第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを第２方向２１２で近接離反可能に移動させるものでもある。第２移動ユニット４２は、第３挟持ユニット３１－３の移動基台３２を第２方向２１２に移動させる第３移動機構４３－３と、第４挟持ユニット３１－４の移動基台３２を第２方向２１２に移動させる第４移動機構４３－４とを備える。

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、互いに構成が略等しいので、同一部分に同一符号を付して説明する。

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の移動基台３２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動可能とするモータ４４と、モータ４４により軸心回りに回転されて移動基台３２を第１方向２１１又は第２方向２１２に移動させるボールねじ４５とを有する。

第１移動機構４３－１、第２移動機構４３－２、第３移動機構４３－３及び第４移動機構４３－４は、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４を互いに離反する方向である矢印３００，３０２に移動させることで、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４が挟持したエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。

フレーム搬送ユニットは、挟持機構３０の上方に配置され、下面に環状フレーム２０９を保持する。フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、図示しない水平方向移動ユニットにより水平方向に移動自在に設けられる。フレーム搬送ユニットは、水平方向移動ユニットにより、下面に保持した環状フレーム２０９の開口２１０が保持テーブル１０と同軸となる位置に配置されて、環状フレーム２０９の開口２１０と保持テーブル１０に載置されたエキスパンドシート２０１に貼着したワーク２００とが鉛直方向に対面する位置に環状フレーム２０９を位置付ける。また、フレーム搬送ユニットは、昇降ユニットにより下降されることで、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着する。

シート切断ユニット６０は、環状フレーム２０９に貼着されたエキスパンドシート２０１を環状フレーム２０９に沿って切断するものである。シート切断ユニット６０は、図１に示すように、エキスパンドシート２０１を切断するカッター６１を備える。シート切断ユニット６０は、エキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９が貼着された後に、カッター６１を裏面２０７側からエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間に切り込ませて、カッター６１を環状フレーム２０９に沿って回転させて、エキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を切断する。

撮像ユニット７０は、保持テーブル１０の上方に配置され、保持テーブル１０にエキスパンドシート２０１を介して保持されたワーク２００を撮像するものである。撮像ユニット７０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００の表面２０４全体を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット７０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影して、画像を取得し、取得した画像を制御ユニット１００に出力する。

制御ユニット１００は、エキスパンド装置１の各構成要素を制御して、エキスパンド装置１にエキスパンドシート２０１に対するワーク２００の貼着動作、エキスパンドシートのエキスパンド動作及びエキスパンドシート２０１に対する環状フレーム２０９の貼着動作等を実施させるものである。即ち、制御ユニット１００は、少なくとも、第１移動ユニット４１と第２移動ユニット４２とを制御する。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、エキスパンド装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してエキスパンド装置１の各構成要素に出力する。

また、制御ユニット１００は、各種の情報や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

なお、本発明では、エキスパンド装置１は、上述した構成に加え、ロールに巻かれたエキスパンドシート２０１を保持するシート保持ユニットと、粘着面２０１－１を上向きにしてシート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４に送り出す送り出しユニットと、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を所定の長さで切断する切断ユニットとを備える。

次に、本明細書は、実施形態１に係るエキスパンド方法を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１に係るエキスパンド方法の流れを示すフローチャートである。図６は、図５に示されたエキスパンド方法の挟持ステップを模式的に示す平面図である。図７は、図５に示されたエキスパンド方法の第１エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図８は、図５に示されたエキスパンド方法の第１戻しステップを模式的に示す平面図である。図９は、図５に示されたエキスパンド方法の第２エキスパンドステップを模式的に示す平面図である。図１０は、図５に示されたエキスパンド方法の第２戻しステップを模式的に示す平面図である。図１１は、図５に示されたエキスパンド方法の間隔調整ステップを模式的に示す平面図である。なお、図６から図１１は、ワーク２００のノッチ２０８、分割線２０６、デバイス２０２を省略している。

実施形態１に係るエキスパンド方法は、ワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１をエキスパンドする方法であって、前述したエキスパンド装置１のエキスパンドシート２０１のエキスパンド動作でもある。エキスパンド装置１は、オペレータが入力ユニットを操作するなどして入力した加工内容情報を受け付け、オペレータが入力ユニットを操作する等して入力した加工動作の開始指示を受け付けると、エキスパンド動作を開始する。エキスパンド方法は、制御ユニット１００がエキスパンド装置１の各構成要素に動作を制御することで実施され、図６に示すように、挟持ステップ１００１と、第１エキスパンドステップ１００２と、第１戻しステップ１００３と、第２エキスパンドステップ１００４と、第２戻しステップ１００５と、間隔調整ステップ１００６とを備える。

（挟持ステップ）
挟持ステップ１００１は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向する第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とでエキスパンドシート２０１を挟持し、且つ、第２方向２１２でワークを挟んで互いに対向する第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とでエキスパンドシート２０１を挟持するステップである。

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、粘着面２０１－１を上向きにしてシート保持ユニットからエキスパンドシート２０１を送り出しユニットにより挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４に送り出し、送り出しユニットにより送り出されたエキスパンドシート２０１を切断ユニットにより所定の長さで切断する。挟持ステップ１００１では、図６に示すように、エキスパンドシート２０１を第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４間に挟持し、第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４間に挟持し、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４間に挟持し、第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４間に挟持し、エキスパンドシート２０１の基材面２０１－２を保持テーブル１０の保持面１１に保持する。

挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、ワーク搬送ユニットに保持した分割線２０６が形成されたワーク２００の裏面２０７側のＤＡＦ２２１をエキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で囲まれた領域に対向させた後、ワーク搬送ユニットを下降させて、図６に示すように、エキスパンドシート２０１にワーク２００の裏面２０７側のＤＡＦ２２１を貼着する。挟持ステップ１００１では、エキスパンド装置１は、互いに交差する分割予定ライン２０５のうち一方が第１方向２１１と平行となり、他方が第２方向２１２と平行となる向きで、エキスパンドシート２０１にワーク２００の裏面２０７のＤＡＦ２２１を貼着する。挟持ステップ１００１では、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００の裏面２０７側を保持テーブル１０の保持面１１で保持し、ペルチェ素子を動作させて、エキスパンドシート２０１を介してワーク２００の特にＤＡＦ２２１を冷却する。

（第１エキスパンドステップ）
第１エキスパンドステップ１００２は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３００に移動させることでエキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドするステップである。また、第１エキスパンドステップ１００２は、第２方向２１２でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持することでエキスパンドシート２０１の第２方向２１２のエキスパンドを規制するステップでもある。

第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、図７に示すように、移動機構４３－１，４３－２に第１挟持ユニット３１－１と第２挟持ユニット３１－２とを第１方向２１１に沿って互いに離反する方向である矢印３００に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－１，３１－２の移動基台３２の移動とともに、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３とを第１方向２１１に沿って互いに離反する方向である矢印３００に移動させて、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１のみにエキスパンドする。

また、実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図７に示す矢印３００に沿って所定距離移動させると、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを停止する。

実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７からエキスパンドシート２０１に向かって冷却エアーを噴出するので、各挟持ユニット３１－１，３１－２の挟持部材３３，３４で挟持された領域を冷却する。エキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－１，３１－２の挟持部材３３，３４で挟持された領域が硬化する。エキスパンドシート２０１のエキスパンドの結果、エキスパンドシート２０１に第１方向２１１に沿った引張力が作用する。

このようにワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第１方向２１１に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されて個々のチップ２２２に分割されているので、主に、第２方向２１２と平行な分割予定ライン２０５に沿ってＤＡＦ２２１が分割されて、第１方向２１１のチップ２２２間の間隔が広がる。このために、第１エキスパンドステップ１００２では、ワーク２００の第１方向２１１に沿って並ぶチップ２２２間でＤＡＦ２２１を分割することとなる。

なお、実施形態１において、第１エキスパンドステップ１００２では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつ第１方向２１１に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出することなく、第１方向２１１に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドしても良い。

（第１戻しステップ）
第１戻しステップ１００３は、第１エキスパンドステップ１００２を実施した後、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である図８に示す矢印３０１に移動させエキスパンドシート２０１の張力を緩和させるステップである。また、第１戻しステップ１００３は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持するステップでもある。

第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、図８に示すように、移動機構４３－１，４３－２に第１挟持ユニット３１－１と第２挟持ユニット３１－２とを第１方向２１１に沿って互いに近接する方向である矢印３０１（矢印３００と逆向きの方向）に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－１，３１－２の移動基台３２の移動とともに、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３とを第１方向２１１に沿って互いに近接する方向である矢印３０１に移動させて、エキスパンドシート２０１の張力を緩和する。

また、実施形態１において、第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図８に示す矢印３０１に沿って第１エキスパンドステップ１００２と同距離である所定距離移動させると、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを停止する。

なお、実施形態１において、第１戻しステップ１００３では、エキスパンド装置１は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第１エキスパンドステップ１００２と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、例えば、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第１エキスパンドステップ１００２よりも短い距離移動させても良い。本発明では、第１戻しステップ１００３において、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とをそれぞれ第１エキスパンドステップ１００２よりも短い距離移動させた場合、第１方向２１１に沿って並ぶチップ２２２同士が接触することを抑制することができる。

（第２エキスパンドステップ）
第２エキスパンドステップ１００４は、第１戻しステップ１００３を実施した後、第２方向２１２でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３０２に移動させることでエキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドするステップである。また、第２エキスパンドステップ１００４は、第１方向２１１でワーク２００を挟んで互いに対向し、それぞれエキスパンドシート２０１を挟持した第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持することでエキスパンドシート２０１の第１方向２１１のエキスパンドを規制するステップでもある。

第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、図９に示すように、移動機構４３－３，４３－４に第３挟持ユニット３１－３と第４挟持ユニット３１－４とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向である矢印３０２に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－３，３１－４の移動基台３２の移動とともに、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３とを第２方向２１２に沿って互いに離反する方向である矢印３０２に移動させて、エキスパンドシート２０１を第２方向２１２のみにエキスパンドする。

また、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図９に示す矢印３０２に沿って第１エキスパンドステップ１００２と同距離である所定距離移動させると、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを停止する。

なお、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、第１エキスパンドステップ１００２と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、第１エキスパンドステップ１００２と異なる距離、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを移動させても良い。

実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７からエキスパンドシート２０１に向かって冷却エアーを噴出するので、各挟持ユニット３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で挟持された領域を冷却する。エキスパンドシート２０１の各挟持ユニット３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４で挟持された領域が硬化する。エキスパンドシート２０１のエキスパンドの結果、エキスパンドシート２０１に第２方向２１２に沿った引張力が作用する。

このようにワーク２００が貼着されたエキスパンドシート２０１に第２方向２１２に沿った引張力が作用すると、ワーク２００は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されて個々のチップ２２２に分割されているので、主に、第１方向２１１と平行な分割予定ライン２０５に沿ってＤＡＦ２２１が分割されて、第２方向２１２のチップ２２２間の間隔が広がる。このために、第２エキスパンドステップ１００４では、ワーク２００の第２方向２１２に沿って並ぶチップ２２２間でＤＡＦ２２１を分割し、ＤＡＦ２２１を個々のチップ２２２毎に分割することとなる。

なお、実施形態１において、第２エキスパンドステップ１００４では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４それぞれの噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出しつつ第２方向２１２に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドする。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出することなく、第２方向２１２に沿ってエキスパンドシート２０１をエキスパンドしても良い。

こうして、実施形態１に係るエキスパンド方法では、第１エキスパンドステップ１００２、第１戻しステップ１００３及び第２エキスパンドステップ１００４を順に実施することで、制御ユニット１００は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３００に移動させることでエキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドした後、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である矢印３０１に移動させた状態で、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを互いに離反する方向である矢印３０２に移動させることでエキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドするよう第１移動ユニット４１と第２移動ユニット４２とを制御する。

（第２戻しステップ）
第２戻しステップ１００５は、第２エキスパンドステップ１００４を実施した後、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、互いに近接する方向である図１０に示す矢印３０３に移動させエキスパンドシート２０１の張力を緩和させるステップである。また、第２戻しステップ１００５は、第１挟持ユニット３１－１の挟持部材３３，３４と第２挟持ユニット３１－２の挟持部材３３，３４とのそれぞれの位置を維持するステップでもある。

第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、図１０に示すように、移動機構４３－３，４３－４に第３挟持ユニット３１－３と第４挟持ユニット３１－４とを第２方向２１２に沿って互いに近接する方向である矢印３０３（矢印３０２と逆向きの方向）に同時に移動させる。すると、エキスパンド装置１は、挟持ユニット３１－３，３１－４の移動基台３２の移動とともに、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３とを第２方向２１２に沿って互いに近接する方向である矢印３０３に移動させて、エキスパンドシート２０１の張力を緩和する。

また、実施形態１において、第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ図１０に示す矢印３０３に沿って第２エキスパンドステップ１００４と同距離である所定距離移動させると、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを停止する。

なお、実施形態１において、第２戻しステップ１００５では、エキスパンド装置１は、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第２エキスパンドステップ１００４と同距離移動させた。しかしながら、本発明では、これに限定されることなく、例えば、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とを、それぞれ第２エキスパンドステップ１００４よりも短い距離移動させても良い。

本発明では、第２戻しステップ１００５において、第３挟持ユニット３１－３の挟持部材３３，３４と第４挟持ユニット３１－４の挟持部材３３，３４とをそれぞれ第２エキスパンドステップ１００４よりも短い距離移動させた場合、チップ２２２同士が接触することを抑制することができる。

（間隔調整ステップ）
間隔調整ステップ１００６はチップ２２２間の距離が所定距離となるように、エキスパンドシート２０１を少なくとも第１方向２１１にエキスパンドし、エキスパンドされたエキスパンドシート２０１に環状フレーム２０９を貼着するステップである。実施形態１において、間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、撮像ユニット７０でワーク２００を撮像しながら、図１１中の矢印３００，３０２で示すように、移動機構４３－１，４３－２，４３－３，４３－４に挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４のエキスパンドシート２０１を挟持した挟持部材３３，３４を互いに第１方向２１１又は第２方向２１２に離反する方向である矢印３００，３０２に同時に移動させる。

間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、撮像ユニット７０が撮像して取得した画像に基づいて、互いに隣接するチップ２２２間の距離を算出し、全てのチップ２２２間の間隔が所定距離以上となると、移動機構４３－１，４３－２，４３－３，４３－４による挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４の移動を停止する。間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、開口２１０とエキスパンドシート２０１に貼着されたワーク２００とが対面する位置にフレーム搬送ユニットに保持した環状フレーム２０９を位置付ける。また、本発明では、あらかじめ、チップ２２２間に所望の間隔を形成するために必要な拡張距離を実験的に求めておき、求めた拡張距離分だけ、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の挟持部材３３，３４を移動させてもよい。

間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、フレーム搬送ユニットを下降させて、フレーム搬送ユニットが保持した環状フレーム２０９をエキスパンドシート２０１に貼着する。間隔調整ステップ１００６では、エキスパンド装置１は、シート切断ユニット６０のカッター６１にエキスパンドシート２０１の環状フレーム２０９の内縁と外縁との間を環状フレーム２０９に沿って切断させ、エキスパンド装置１のエキスパンド動作即ち実施形態１に係るエキスパンド方法を終了する。

以上説明した実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、第１エキスパンドステップ１００２を実施した後、第１戻しステップ１００３を実施する。その後、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、第２エキスパンドステップ１００４を実施する。

このために、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１にエキスパンドする際には、エキスパンドシート２０１が第２方向２１２にエキスパンドされていないために、エキスパンドシート２０１に第２方向２１２の張力が付与されていない。また、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第２方向２１２にエキスパンドする際には、エキスパンドシート２０１の第１方向２１１の張力が緩和されている。その結果、実施形態１に係るエキスパンド方法及びエキスパンド装置１は、エキスパンドシート２０１を第１方向２１１と第２方向２１２とのそれぞれに沿って十分にエキスパンドすることができ、ワーク２００に未分割領域の発生を抑制することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１では、第２戻しステップ１００５を実施した後、間隔調整ステップ１００６を実施したが、本発明では、第２戻しステップ１００５を実施せずに、第２エキスパンドステップ１００４を実施した後、間隔調整ステップ１００６を実施しても良い。

また、実施形態１では、ＤＡＦ２２１がウェーハ２２０の裏面２０７に貼着されて、エキスパンドシート２０１に貼着されたが、本発明では、ＤＡＦ２２１が予めエキスパンドシート２０１に貼着されており、挟持ステップ１００１において、エキスパンドシート２０１に予め貼着されたＤＡＦ２２１にウェーハ２２０の裏面２０７を貼着しても良い。この場合、ウェーハ２２０は、分割予定ライン２０５に沿って分割線２０６が形成されることなく、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った分割起点である改質層が形成されて、エキスパンドステップ１００２，１００４において改質層を起点にＤＡＦ２２１とともに分割されて、個々のチップ２２２に分割されても良い。

また、本発明では、ワーク２００は、基板２０３の内部に分割予定ライン２０５に沿った分割起点である改質層が形成され、裏面２０７上に金属膜が形成されたウェーハ２２０であっても良い。なお、改質層は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。改質層は、基板２０３の他の部分よりも機械的な強度が低い。

また、本発明では、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の各挟持部材３３，３４に噴出口５７を設けて、エキスパンドステップ１００２，１００４において、噴出口５７から冷却エアーをエキスパンドシート２０１に噴出してエキスパンドシート２０１をエキスパンドした。しかしながら、本発明では、各挟持部材３３，３４に噴出口５７を設けなくても良い。また、本発明では、挟持ユニット３１－１，３１－２，３１－３，３１－４の各挟持部材３３，３４の構成は、実施形態１に示された構成に限定されない。

１エキスパンド装置
３３上方挟持部材（第１挟持部材、第２挟持部材、第３挟持部材、第４挟持部材）
３４下方挟持部材（第１挟持部材、第２挟持部材、第３挟持部材、第４挟持部材）
４１第１移動ユニット
４２第２移動ユニット
１００制御ユニット（コントローラ）
２００ワーク
２０１エキスパンドシート（シート）
２１１第１方向
２１２第２方向
３００，３０２離反する方向
３０１，３０３近接する方向
１００２第１エキスパンドステップ
１００３第１戻しステップ
１００４第２エキスパンドステップ

Claims

ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第１挟持部材と第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドする第１エキスパンドステップと、
該第１エキスパンドステップを実施した後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させ該シートの張力を緩和させる第１戻しステップと、
該第１戻しステップを実施した後、第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持した第３挟持部材と第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドする第２エキスパンドステップと、を備えた、エキスパンド方法。
ワークが貼着されたシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、
第１方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第１挟持部材と、第２挟持部材と、
該第１挟持部材と該第２挟持部材を該第１方向で近接離反可能に移動させる第１移動ユニットと、
第２方向でワークを挟んで互いに対向し、それぞれ該シートを挟持する第３挟持部材と、第４挟持部材と、
該第３挟持部材と該第４挟持部材を該第２方向で近接離反可能に移動させる第２移動ユニットと、
少なくとも該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第１方向にエキスパンドした後、該第１挟持部材と該第２挟持部材とを、互いに近接する方向に移動させた状態で、該第３挟持部材と該第４挟持部材とを互いに離反する方向に移動させることで該シートを第２方向にエキスパンドするよう該第１移動ユニットと該第２移動ユニットとを制御する、エキスパンド装置。