JP6848151B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Description
本発明は、離間装置および離間方法に関する。
従来、接着シートに貼付された複数の被着体の相互間隔を広げる離間装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の離間装置では、ウエハＷ（被着体）が貼付されたダイシングテープＳ（接着シート）は、フレームＦのような枠状部材に貼付されて引張手段２６（離間用保持手段）への受け渡しが行われているため、そのような枠状部材がなくなると、接着シートの端部が垂れ下がったり、揺れ動いたりして、当該接着シートの端部を確実に離間用保持手段に受け渡すことができなくなるという不都合を生じる。
本発明の目的は、接着シートの端部を確実に離間用保持手段に保持させることができる離間装置および離間方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、離間用保持手段が保持する端部を含む接着シートの外縁部に所定の張力を付与し、一体物を離間用保持手段に受け渡すので、接着シートの端部が垂れ下がったり、揺れ動いたりすることがなく、当該接着シートの端部を確実に離間用保持手段に保持させることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の離間装置１０は、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１に、複数の被着体ＣＰが貼付された一体物ＷＫにおける当該接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持する複数の離間用保持手段２０と、接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持した離間用保持手段２０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０と、一体物ＷＫを保持して当該一体物ＷＫを複数の離間用保持手段２０に受け渡す受渡手段４０と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の検知手段５０とを備えている。なお、本実施形態の一体物ＷＫは、平面視正方形の接着シートＡＳの中央部に複数の被着体ＣＰが貼付されている。
離間用保持手段２０は、離間手段３０に支持された下保持部材２１と、下保持部材２１に支持された駆動機器としての回動モータ２２と、その出力軸２２Ａに支持された上保持部材２３とを備えている。
離間手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、そのスライダ３１Ａに支持され、上面側で下保持部材２１を支持する保持アーム３２とを備えている。
受渡手段４０は、一体物ＷＫにおける接着シートＡＳの別の端部ＡＥ２を保持する複数の受渡用保持手段４１と、接着シートＡＳの別の端部ＡＥ２を保持した受渡用保持手段４１を相対移動させ、離間用保持手段２０が保持する端部ＡＥ１を含む接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与する張力付与手段４２と、受渡用保持手段４１で保持した一体物ＷＫを搬送する搬送手段４３とを備えている。
受渡用保持手段４１は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な４体の吸着パッド４１Ａと、各吸着パッド４１Ａを支持する支持アーム４１Ｂとを備えている。
張力付与手段４２は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の２軸方向に移動可能なスライダ４２Ｂを備えた駆動機器としての４体のＸＹテーブル４２Ａを備え、各スライダ４２Ｂそれぞれに支持アーム４１Ｂが支持されている。
搬送手段４３は、複数のアームによって構成された駆動機器としての多関節ロボット４３Ａと、その作業部である先端アーム４３Ｂに支持され、４体のＸＹテーブル４２Ａを支持するベースフレーム４３Ｃとを備えている。なお、多関節ロボット４３Ａは、その作業範囲内において、先端アーム４３Ｂで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボット等でよく、例えば、特開２０１６−８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。
受渡用保持手段４１は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な４体の吸着パッド４１Ａと、各吸着パッド４１Ａを支持する支持アーム４１Ｂとを備えている。
張力付与手段４２は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の２軸方向に移動可能なスライダ４２Ｂを備えた駆動機器としての４体のＸＹテーブル４２Ａを備え、各スライダ４２Ｂそれぞれに支持アーム４１Ｂが支持されている。
搬送手段４３は、複数のアームによって構成された駆動機器としての多関節ロボット４３Ａと、その作業部である先端アーム４３Ｂに支持され、４体のＸＹテーブル４２Ａを支持するベースフレーム４３Ｃとを備えている。なお、多関節ロボット４３Ａは、その作業範囲内において、先端アーム４３Ｂで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボット等でよく、例えば、特開２０１６−８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。
以上の離間装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置で待機している離間装置１０に対し、当該離間装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａを駆動し、図示しない所定の一体物供給位置に供給された一体物ＷＫの接着シートＡＳの別の端部ＡＥ２に吸着パッド４１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該接着シートＡＳの吸着保持を開始する。次いで、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａを駆動し、図１（Ｂ）中実線で示すように、吸着パッド４１Ａで吸着保持した一体物ＷＫを各離間用保持手段２０の上方に搬送した後、ＸＹテーブル４２Ａを駆動し、所定のトルクで吸着パッド４１Ａを接着シートＡＳの対角線方向に移動させ、離間用保持手段２０が保持する端部ＡＥ１を含む接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与する。
先ず、各部材が図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置で待機している離間装置１０に対し、当該離間装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａを駆動し、図示しない所定の一体物供給位置に供給された一体物ＷＫの接着シートＡＳの別の端部ＡＥ２に吸着パッド４１Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該接着シートＡＳの吸着保持を開始する。次いで、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａを駆動し、図１（Ｂ）中実線で示すように、吸着パッド４１Ａで吸着保持した一体物ＷＫを各離間用保持手段２０の上方に搬送した後、ＸＹテーブル４２Ａを駆動し、所定のトルクで吸着パッド４１Ａを接着シートＡＳの対角線方向に移動させ、離間用保持手段２０が保持する端部ＡＥ１を含む接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与する。
このとき、検知手段５０がカメラ等を駆動し、被着体ＣＰの検知を行うとともに、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａを駆動し、当該検知手段５０の検知結果を基にして、被着体ＣＰの位置決めを行いつつ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、外縁部に所定の張力を付与した状態の接着シートＡＳの端部ＡＥ１を下保持部材２１上に載置する。受渡手段４０は、例えば、被着体ＣＰ全体の中心位置が当該離間装置１０の所定の位置（例えば当該離間装置１０のセンターの位置）から位置ずれしないように、または、被着体ＣＰ全体の外郭辺や各被着体ＣＰの外郭辺がそれぞれＸ軸とＹ軸と平行になるように被着体ＣＰの位置決めを行う。
その後、離間用保持手段２０が各回動モータ２２を駆動し、下保持部材２１と上保持部材２３とで接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持すると、受渡手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、接着シートＡＳの吸着保持を解除した後、多関節ロボット４３Ａを駆動し、吸着パッド４１Ａを初期位置に復帰させる。次に、離間手段３０が各リニアモータ３１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、離間用保持手段２０を相互に離間させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる。このとき、各被着体ＣＰは、接着シートＡＳのひずみ等によって、相互間隔が所定の間隔に広がらないことがある。そこで、検知手段５０の検知結果を基にして、離間手段３０が各リニアモータ３１を駆動し、各被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、各離間用保持手段２０を個別に移動させる。
そして、ピックアップ装置や搬送装置等の図示しない被着体取出し手段によって、全ての被着体ＣＰまたは所定量の被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されると、離間手段３０が各リニアモータ３１を駆動し、それぞれのスライダ３１Ａを初期位置に復帰させた後、離間用保持手段２０が回動モータ２２を駆動し、上保持部材２３を初期位置に復帰させる。次いで、作業者または、図示しない搬送手段が、下保持部材２１上に残された接着シートＡＳを取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような離間装置１０によれば、離間用保持手段２０が保持する端部ＡＥ１を含む接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与し、一体物ＷＫを離間用保持手段２０に受け渡すので、接着シートＡＳの端部ＡＥ１が垂れ下がったり、揺れ動いたりすることがなく、当該接着シートＡＳの端部ＡＥ１を確実に離間用保持手段２０に保持させることができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、離間用保持手段は、複数または単数で構成され、接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物における当該接着シートの端部を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
本発明の離間装置は、図２（Ａ）に示すように、離間用保持手段２０と、接着シートＡＳにおける複数の被着体ＣＰが貼付された被着体接着領域ＣＥよりも外側であって、離間用保持手段２０が保持した被保持領域ＨＥの内側で当該接着シートＡＳに当接する当接手段６０と、接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持した離間用保持手段２０および当接手段６０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０Ａと、受渡手段４０とを備えた離間装置１０Ａとしてもよい。
なお、離間装置１０Ａにおいて、離間装置１０と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該離間装置１０と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。
なお、離間装置１０Ａにおいて、離間装置１０と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該離間装置１０と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。
離間手段３０Ａは、ベースプレートＢＰ上に支持された駆動機器としての直動モータ３３を備え、その出力軸３３Ａで下保持部材２１を支持している。
当接手段６０は、ベースプレートＢＰ上に支持された円筒状の当接部材６１を備えている。
当接手段６０は、ベースプレートＢＰ上に支持された円筒状の当接部材６１を備えている。
このような離間装置１０Ａは、離間装置１０と同様にして、受渡手段４０が多関節ロボット４３Ａ、図示しない減圧手段およびＸＹテーブル４２Ａを駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド４１Ａで吸着保持した接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与しつつ、接着シートＡＳの端部ＡＥ１を下保持部材２１上に載置する。その後、離間用保持手段２０が各回動モータ２２を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、下保持部材２１と上保持部材２３とで接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持した後、離間手段３０Ａが各直動モータ３３を駆動し、離間用保持手段２０を下降させて離間用保持手段２０および当接手段６０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げる。その後、図示しない被着体取出し手段によって、被着体ＣＰが接着シートＡＳから取り外されると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、下保持部材２１上に残された接着シートＡＳを取り外し、以降上記同様の動作が繰り返される。
このような離間装置１０Ａによっても、離間装置１０と同様の効果を得ることができる。
離間用保持手段２０は、他方の面ＡＳ２や、一方の面ＡＳ１および他方の面ＡＳ２の両方の面に複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持する構成でもよい。
離間用保持手段２０は、離間装置１０の場合、例えば、右方へ移動する当該離間用保持手段２０を１体とし、左方へ移動する当該離間用保持手段２０を１体とした２体で構成してもよいし、例えば、右方、左方およびその他の方向へ移動する３体以上で構成してもよい。
離間用保持手段２０は、離間装置１０Ａの場合、１体でもよいし２体以上でもよい。
離間用保持手段２０は、離間装置１０の場合、例えば、右方へ移動する当該離間用保持手段２０を１体とし、左方へ移動する当該離間用保持手段２０を１体とした２体で構成してもよいし、例えば、右方、左方およびその他の方向へ移動する３体以上で構成してもよい。
離間用保持手段２０は、離間装置１０Ａの場合、１体でもよいし２体以上でもよい。
離間手段３０、３０Ａは、複数でなく単数でもよく、この場合、例えば、離間装置１０は、１体のリニアモータの２つのスライダで、離間用保持手段２０をそれぞれ１体ずつ支持し、被着体ＣＰの相互間隔を広げる構成とし、被着体ＣＰの相互間隔を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向等）のみに広げる構成としてもよい。
離間手段３０は、相互間隔を３軸以上の方向（例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の軸方向）に広げる構成でもよいし、例えば、Ｘ軸方向に移動させた複数の離間用保持手段２０をそれぞれＹ軸方向に移動させる構成（Ｙ軸方向に移動させた複数の離間用保持手段２０をそれぞれＸ軸方向に移動させる構成）とし、被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよいし、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように作動できない構成でもよい。
離間手段３０Ａは、離間用保持手段２０を停止または移動させつつ、当接手段６０を移動させることで、離間用保持手段２０および当接手段６０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよい。
離間手段３０、３０Ａは、作業者がボタンやレバー等を操作して、リニアモータ３１、直動モータ３３を駆動してもよく、この場合、例えば、検知手段５０による検知結果をモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される検知結果によって被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、作業者がリニアモータ３１、直動モータ３３を駆動させてもよい。
離間手段３０は、相互間隔を３軸以上の方向（例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の軸方向）に広げる構成でもよいし、例えば、Ｘ軸方向に移動させた複数の離間用保持手段２０をそれぞれＹ軸方向に移動させる構成（Ｙ軸方向に移動させた複数の離間用保持手段２０をそれぞれＸ軸方向に移動させる構成）とし、被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよいし、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように作動できない構成でもよい。
離間手段３０Ａは、離間用保持手段２０を停止または移動させつつ、当接手段６０を移動させることで、離間用保持手段２０および当接手段６０を相対移動させ、接着シートＡＳに張力を付与して被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよい。
離間手段３０、３０Ａは、作業者がボタンやレバー等を操作して、リニアモータ３１、直動モータ３３を駆動してもよく、この場合、例えば、検知手段５０による検知結果をモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される検知結果によって被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、作業者がリニアモータ３１、直動モータ３３を駆動させてもよい。
受渡手段４０は、被着体ＣＰの位置決めを行うことなく、外縁部に所定の張力を付与した状態の接着シートＡＳの端部ＡＥ１を下保持部材２１上に載置するようにしてもよい。
張力付与手段４２は、接着シートＡＳの外縁部に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはその他の方向のみに所定の張力を付与してもよいし、所定のトルクではなく、吸着パッド４１Ａを所定距離移動させて接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与してもよいし、接着シートＡＳの対角方向からずれた方向に吸着パッド４１Ａを移動させてもよいし、複数でなく単数でもよく、この場合、例えば、１体のリニアモータの２つのスライダで受渡用保持手段４１をそれぞれ１組ずつ支持し、接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与する構成とし、被着体ＣＰの相互間隔を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向等）のみに広げる構成としてもよい。
受渡用保持手段４１は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの他の端部ＡＥ２を保持する構成でもよい。
張力付与手段４２は、作業者がボタンやレバー等を操作して、ＸＹテーブル４２Ａを駆動してもよく、この場合、例えば、ＸＹテーブル４２Ａが出力するトルクをモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示されるトルク値が所定値となるように、または、ＸＹテーブル４２Ａのスライダ４２Ｂの移動量を表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される移動量が所定の移動量となるように、作業者がＸＹテーブル４２Ａを駆動させてもよい。
受渡手段４０が接着シートＡＳの外縁部に付与する所定の張力は、当該接着シートＡＳの外縁部が弛まない程度以上の張力であれば、その値は使用者が任意に決定することができる。
張力付与手段４２は、接着シートＡＳの外縁部に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはその他の方向のみに所定の張力を付与してもよいし、所定のトルクではなく、吸着パッド４１Ａを所定距離移動させて接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与してもよいし、接着シートＡＳの対角方向からずれた方向に吸着パッド４１Ａを移動させてもよいし、複数でなく単数でもよく、この場合、例えば、１体のリニアモータの２つのスライダで受渡用保持手段４１をそれぞれ１組ずつ支持し、接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与する構成とし、被着体ＣＰの相互間隔を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向等）のみに広げる構成としてもよい。
受渡用保持手段４１は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの他の端部ＡＥ２を保持する構成でもよい。
張力付与手段４２は、作業者がボタンやレバー等を操作して、ＸＹテーブル４２Ａを駆動してもよく、この場合、例えば、ＸＹテーブル４２Ａが出力するトルクをモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示されるトルク値が所定値となるように、または、ＸＹテーブル４２Ａのスライダ４２Ｂの移動量を表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される移動量が所定の移動量となるように、作業者がＸＹテーブル４２Ａを駆動させてもよい。
受渡手段４０が接着シートＡＳの外縁部に付与する所定の張力は、当該接着シートＡＳの外縁部が弛まない程度以上の張力であれば、その値は使用者が任意に決定することができる。
検知手段５０は、例えば、作業者の目視でもよく、この場合、作業者の目視で接着シートＡＳの外縁部に所定の張力を付与したり、被着体ＣＰの位置と当該離間装置１０との位置合わせを行ったり、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるようにしたりするために、ボタンやレバー等を操作して、ＸＹテーブル４２Ａ、リニアモータ３１、直動モータ３３を駆動するように構成してもよいし、本発明の離間装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。
当接手段６０は、角筒状や楕円筒状等の他、円柱、角柱、楕円柱等の他の形状の当接部材６１を採用してもよい。
離間装置１０は、先ず、受渡手段４０がＸＹテーブル４２Ａを駆動し、接着シートＡＳの外縁部に対してＸ軸方向のみに所定の張力を付与した後、離間用保持手段２０が回動モータ２２を駆動し、Ｘ軸方向に並んだ離間用保持手段２０のみで接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持し、その後、同様にして、接着シートＡＳの外縁部に対してＹ軸方向のみに所定の張力を付与した後、Ｙ軸方向に並んだ離間用保持手段２０のみで接着シートＡＳの端部ＡＥ１を保持するように構成してもよい（この場合、ＸとＹは逆でもよい）。
接着シートＡＳが所定のエネルギーによって、その接着力が低下するものの場合、図示しない被着体取出し手段で接着シートＡＳから被着体ＣＰ取り外す前に、所定のエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段で接着シートＡＳの接着力を低下させてもよい。なお、このようなエネルギー付与手段は、あらゆる波長の電磁波（例えばＸ線や赤外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等をエネルギーとして接着シートＡＳに付与するものでもよく、接着シートＡＳの構成に応じて当該接着シートＡＳの接着力を低下できるエネルギーを付与可能なものであれば何でもよい。
接着シートＡＳが所定のエネルギーによって、その接着力が低下するものの場合、図示しない被着体取出し手段で接着シートＡＳから被着体ＣＰ取り外す前に、所定のエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段で接着シートＡＳの接着力を低下させてもよい。なお、このようなエネルギー付与手段は、あらゆる波長の電磁波（例えばＸ線や赤外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等をエネルギーとして接着シートＡＳに付与するものでもよく、接着シートＡＳの構成に応じて当該接着シートＡＳの接着力を低下できるエネルギーを付与可能なものであれば何でもよい。
本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＣＰの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳや被着体ＣＰは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＣＰとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
被着体ＣＰは、予め接着シートＡＳ上に複数存在しているものでもよいし、離間手段３０、３０Ａ、その他の機構または人手等で外力を付与した時点で複数に分割され、接着シートＡＳ上に複数存在するような分割されて複数になるものでもよい。このような分割されて複数になる被着体ＣＰとしては、例えば、半導体ウエハや基板等にレーザを照射し、当該半導体ウエハや基盤等に線状や格子状等の脆弱な脆弱層を形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与したり、半導体ウエハや基盤等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるものや、例えば、樹脂や硝子板等にカッター刃で切り込み、当該樹脂や硝子板等に線状や格子状等の表裏に貫通することのない切込やミシン目等の切断予定ラインを形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与したり、樹脂や硝子板等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるもの等、何ら限定されるものではない。
被着体ＣＰは、予め接着シートＡＳ上に複数存在しているものでもよいし、離間手段３０、３０Ａ、その他の機構または人手等で外力を付与した時点で複数に分割され、接着シートＡＳ上に複数存在するような分割されて複数になるものでもよい。このような分割されて複数になる被着体ＣＰとしては、例えば、半導体ウエハや基板等にレーザを照射し、当該半導体ウエハや基盤等に線状や格子状等の脆弱な脆弱層を形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与したり、半導体ウエハや基盤等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるものや、例えば、樹脂や硝子板等にカッター刃で切り込み、当該樹脂や硝子板等に線状や格子状等の表裏に貫通することのない切込やミシン目等の切断予定ラインを形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与したり、樹脂や硝子板等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるもの等、何ら限定されるものではない。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
１０、１０Ａ…離間装置
２０…離間用保持手段
３０、３０Ａ…離間手段
４０…受渡手段
４１…受渡用保持手段
４２…張力付与手段
４３…搬送手段
６０…当接手段
ＡＥ１…端部
ＡＥ２…別の端部
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＡＳ２…他方の面
ＣＥ…被着体接着領域
ＣＰ…被着体
ＨＥ…保持領域
ＷＫ…一体物
２０…離間用保持手段
３０、３０Ａ…離間手段
４０…受渡手段
４１…受渡用保持手段
４２…張力付与手段
４３…搬送手段
６０…当接手段
ＡＥ１…端部
ＡＥ２…別の端部
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＡＳ２…他方の面
ＣＥ…被着体接着領域
ＣＰ…被着体
ＨＥ…保持領域
ＷＫ…一体物
Claims (4)
- 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物における当該接着シートの端部を保持する複数の離間用保持手段と、
前記接着シートの端部を保持した前記離間用保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段とを備え、
前記一体物を保持して当該一体物を前記複数の離間用保持手段に受け渡す受渡手段を有し、
前記受渡手段は、前記一体物における接着シートの別の端部を保持する複数の受渡用保持手段と、前記接着シートの別の端部を保持した前記受渡用保持手段を相対移動させ、前記離間用保持手段が保持する端部を含む前記接着シートの外縁部に所定の張力を付与する張力付与手段と、前記受渡用保持手段で保持した前記一体物を搬送する搬送手段とを備えていることを特徴とする離間装置。 - 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物における当該接着シートの端部を保持する離間用保持手段と、
前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記離間用保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段と、
前記接着シートの端部を保持した前記離間用保持手段および前記当接手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段とを備え、
前記一体物を保持して当該一体物を前記離間用保持手段に受け渡す受渡手段を有し、
前記受渡手段は、前記一体物における接着シートの別の端部を保持する複数の受渡用保持手段と、前記接着シートの別の端部を保持した前記受渡用保持手段を相対移動させ、前記離間用保持手段が保持する端部を含む前記接着シートの外縁部に所定の張力を付与する張力付与手段と、前記受渡用保持手段で保持した前記一体物を搬送する搬送手段とを備えていることを特徴とする離間装置。 - 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物における当該接着シートの端部を複数の離間用保持手段で保持する離間用保持工程と、
前記接着シートの端部を保持した前記離間用保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを有し、
前記一体物を保持して当該一体物を前記複数の離間用保持手段に受け渡す受渡工程をさらに有し、
前記受渡工程は、前記一体物における接着シートの別の端部を複数の受渡用保持手段で保持する受渡用保持工程と、前記接着シートの別の端部を保持した前記受渡用保持手段を相対移動させ、前記離間用保持手段が保持する端部を含む前記接着シートの外縁部に所定の張力を付与する張力付与工程と、前記受渡用保持手段で保持した前記一体物を搬送する搬送工程とを有することを特徴とする離間方法。 - 接着シートの一方の面と他方の面との少なくとも一方に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物における当該接着シートの端部を離間用保持手段で保持する離間用保持工程と、
前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記離間用保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段および、前記接着シートの端部を保持した前記離間用保持手段を相対移動させ、前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを有し、
前記一体物を保持して当該一体物を前記離間用保持手段に受け渡す受渡工程をさらに有し、
前記受渡工程は、前記一体物における接着シートの別の端部を複数の受渡用保持手段で保持する受渡用保持工程と、前記接着シートの別の端部を保持した前記受渡用保持手段を相対移動させ、前記離間用保持手段が保持する端部を含む前記接着シートの外縁部に所定の張力を付与する張力付与工程と、前記受渡用保持手段で保持した前記一体物を搬送する搬送工程とを有することを特徴とする離間方法。
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