JP6170681B2 - 拡張装置および拡張方法 - Google Patents
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Description
[1]被加工物
図1は、一実施形態の被加工物10がシート1上に貼着されている状態を示している。被加工物10は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。被加工物10の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン101が格子状に設定され、本発明に係る被加工物10は、それら分割予定ライン101に沿って分割起点が形成され未分割のものか、または、その分割起点が形成された分割予定ライン101に沿って分割予定ライン101で区画された矩形状の領域が個々のチップ102に予め分割されたものとされる。
次に、被加工物10が貼着されたシート1を拡張するための図2に示す一実施形態に係る拡張装置を説明する。この拡張装置2は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台20と、固定基台20上に配設され、被加工物10が貼着されたシート1が水平に載置される円板状の保持テーブル3と、保持テーブル3に載置されたシート1を挟持する第一挟持手段4A、第二挟持手段4B、第三挟持手段4C、第四挟持手段4Dと、これら挟持手段4A〜4Dごとに設けられ、第一および第二挟持手段4A〜4Bを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段5A、第二移動手段5B、および第三および第四挟持手段4C〜4Dをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段5C、第四移動手段5Dと、を具備している。
次いで、上記拡張装置2を用いて、分割予定ライン101に沿って個々のチップ102に分割された被加工物10が貼着されたシート1を拡張して、隣接するチップ102間に間隔を形成する一実施形態の拡張方法を説明する。
上記一実施形態の拡張方法では、第一拡張ステップと第二拡張ステップを同時進行させているが、第一拡張ステップを実施した後、第二拡張ステップを実施してもよいし、その逆でもよい。いずれの場合も拡張ステップを行っている過程では検出ステップを同時に行い、拡張している方向の被加工物10の外周縁105の移動量を検出しながらシート1を拡張する。
10…被加工物
101…分割予定ライン
102…チップ
103A,103C…チップ間距離
105…被加工物の外周縁
2…拡張装置
4A…第一挟持手段
4B…第二挟持手段
4C…第三挟持手段
4D…第四挟持手段
5A…第一移動手段
5B…第二移動手段
5C…第三移動手段
5D…第四移動手段
6A…第一検出手段
6D…第二検出手段
7…制御手段
L1…第一方向における被加工物の外周縁の移動量
L2…第二方向における被加工物の外周縁の移動量
Claims (2)
- 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持手段と、第二挟持手段と、
前記第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ前記シートを挟持する第三挟持手段と、第四挟持手段と、
前記第一挟持手段と前記第二挟持手段を前記第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とを前記第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段と、
前記第一方向における被加工物の外周縁の移動量を検出する第一検出手段と、
前記第二方向における被加工物の外周縁の移動量を検出する第二検出手段と、
前記第一検出手段と前記第二検出手段で検出された移動量に基づいて前記移動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記第二検出手段は前記第一検出手段で兼用されることを特徴とする拡張装置。 - 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張方法であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持手段と第二挟持手段とでシートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持手段と第四挟持手段とでシートを挟持する挟持ステップと、
前記第一挟持手段と前記第二挟持手段とが前記シートを挟持した状態で該第一挟持手段と該第二挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを前記第一方向に拡張させる第一拡張ステップと、
前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とが前記シートを挟持した状態で該第三挟持手段と該第四挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを前記第二方向に拡張させる第二拡張ステップと、
前記第一方向における被加工物の外周縁の移動量を検出する第一検出ステップと、
前記第二方向における被加工物の外周縁の移動量を検出する第二検出ステップと、を備え、
前記第一拡張ステップでは、該第一検出ステップで検出された前記第一方向における被加工物の外周縁の移動量に基づいて前記第一挟持手段と前記第二挟持手段とが移動させられ、
前記第二拡張ステップでは、該第二検出ステップで検出された前記第二方向における被加工物の外周縁の移動量に基づいて前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とが移動させられ、
前記第一検出ステップと前記第二検出ステップを1つの同じ検出手段によって順次行うことを特徴とする拡張方法。
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