JP7377671B2 - シートの拡張方法 - Google Patents

Description

本発明は、ワークが貼着されたシートを拡張する方法に関する。

従来、レーザビーム照射によりワークに改質層を形成した後、シート拡張装置によりワークが貼着されたシートを拡張（エキスパンド）することでワークを分割する方法が知られている。シート拡張装置の具体的な構成は、例えば特許文献１に開示されるものが知られている。

特許文献１には、ワークが貼着されたシートの四辺をそれぞれ挟持機構で挟持しつつ拡張することで、チップの縦横サイズが異なるワークにおいてもチップ間の間隔が適切な距離となるようにシートを拡張することができる拡張装置が開示されている。

特開２０１４－１４３２９７号公報

特許文献１に開示されるように、シートを上下の挟持ユニットで挟持する形態では、シートの種類によっては、拡張する際に挟持ユニットとシートの間に滑りが生じ、十分にシートが拡張できず、分割不良が生じることが懸念される。

特に、特許文献１に開示されるように、上下のローラーによりシートを挟持する構成では、ローラーとシートの接触する面積が限られるものとなるため、滑りやすいものとなるため、ローラーで挟持する形態に適した構成とすることが特別な課題となる。

本発明は、以上の問題に鑑み、シートを拡張する際にシートが滑る現象を抑えるための新規な技術を提案するものである。

本発明の一態様によれば、
ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
該拡張装置の該ローラーと、該シートのうち該挟持機構の該ローラーで挟持される被挟持部と、の少なくとも一方に滑り止め加工が施されている、こととする。

本発明の構成によれば、各ローラーとの間での滑りの発生が抑制され、十分に拡張できずにチップに分割されない領域を形成したり、チップの間に十分な間隔が形成できずに後のハンドリング中にチップ同士が接触してチップを破損させてしまう恐れを低減できる。

被加工物としてのワークと、ワークが貼着されるシートについて示す図である。 拡張装置の構成例について示す図である。 ローラーに滑り止め加工を施す例について説明する図である。 シートの裏面に滑り止め加工を施す例について説明する図である。 （Ａ）は挟持ステップについて示す平面図である。（Ｂ）は挟持ステップについて示す側面図である。 （Ａ）は拡張ステップについて示す平面図である。（Ｂ）は拡張ステップについて示す側面図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
＜ワーク及びシート＞
図１は、被加工物としてのワーク１０と、ワーク１０が貼着されるシート１について示す図である。
ワーク１０は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。ワーク１０の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン１０１が格子状に設定されるものである。

ワーク１０は、例えばシート１に貼着される前、または後に、分割予定ライン１０１に沿って分割起点が形成される。そして分割起点が形成されたワーク１０をシート１に貼着した状態において、シート１を拡張することで分割起点に沿ってチップに分割する。

分割予定ライン１０１に沿って形成される分割起点は、レーザ光照射でワーク１０内に形成する改質層の他、ワーク１０の表面に分割予定ライン１０１に沿って溝を形成し、この溝を分割起点とすることもできる。溝は、例えばレーザ照射によるアブレーション加工、切削ブレードを切り込ませる切削加工、あるいはけがき等の溝加工を行うことで形成することができる。

シート１は、例えばポリ塩化ビニルやポリオレフィン等の拡張性を有する合成樹脂シート等からなる基材１１の片面にワーク１０が貼着される粘着層１２が形成されたもので、例えば、ワーク１０よりも大きな矩形（四角形）のものが用いられる。

なお、被加工物となるワーク１０は、半導体ウェーハ等のウェーハの他、ＤＢＧ（Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ブレードで分割予定ラインに沿ってワーク表面にハーフカット溝を形成した後裏面研削でワークを分割するプロセス）やＳＤＢＧ（Ｓｔｅａｌｔｈ Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ＳＤ加工（ＳＴＥＡＬＴＨ ＤＩＣＩＮＧ：登録商標）を施した後ワークの裏面を研削して分割するプロセス）によりチップに分割されたウェーハに貼着されたチップ実装用のＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈ Ｆｉｌｍ）等の接着シートや、ガラス、セラミックス、樹脂等の各種板状物が対象となり得る。

＜拡張装置＞
次に、図２に示すように、ワークが貼着されたシートを拡張するための拡張装置の一実施形態について説明する。この拡張装置２は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台２０と、固定基台２０上に配設され、ワークが貼着されたシートが水平に載置される円板状の保持テーブル３と、保持テーブル３に載置される図示せぬシートを挟持する第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂ、第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄと、これら挟持手段４Ａ～４Ｄごとに設けられ、第一および第二挟持手段４Ａ～４Ｂを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段５Ａ、第二移動手段５Ｂ、および第三および第四挟持手段４Ｃ～４Ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段５Ｃ、第四移動手段５Ｄと、を具備している。

保持テーブル３は、固定基台２０の中央部上面に円筒台３０を介して支持されている。保持テーブル３は図示されない回転機構によって円筒台３０上に回転可能に、かつ、図示されない上下動機構によって円筒台３０上に上下動可能に支持されている。保持テーブル３の上面はワークが載置可能な直径を有しており、ワークが貼着されたシートは、ワークを上側に配し、かつ、同心状に配した状態で保持テーブル３の上面に載置される。

固定基台２０の四辺の各端縁２００ａ，２００ｂ，２００ｃ，２００ｄの中央部には、外側に突出する矩形状の凸部２０１がそれぞれ形成されている。固定基台２０の、各凸部２０１から凸部２０１の内側（保持テーブル３側）にわたる部分には、対応する凸部２０１の延びる方向に沿って延びる矩形状の第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂ、第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄがそれぞれ形成されている。

図２に示すように、この場合、固定基台２０の互いに平行な一対の端縁２００ｃ・２００ｄの延びる方向を第一方向、該第一方向に直交し、端縁２００ａ・２００ｂの延びる方向を第二方向としており、固定基台２０の、第一方向の両端に第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂがそれぞれ配設され、第二方向側の両端に第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄがそれぞれ配設されている。

第一移動手段５Ａおよび第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａおよび第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向に沿って往復移動させ、第三移動手段５Ｃおよび第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃおよび第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向に沿って往復移動させるものである。

第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂは、第一方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂに対し第一方向に移動可能に配設されている。また、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄは、第二方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄに対し第二方向に移動可能に配設されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄは同一構成であり、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ移動可能に組み込まれたＬ字状の可動基台４１と、可動基台４１の内側に上下動可能に取り付けられた下側挟持機構４２および上側挟持機構４３と、これら挟持機構４２，４３をそれぞれ上下方向に移動させる下側移動機構４４および上側移動機構４５を具備している。

可動基台４１は、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄにそれぞれ摺動自在に嵌合するスライド部４１１と、スライド部４１１の外側の端部に立設された支持部４１２とからなっている。

支持部４１２の内側の面には上下方向に延びるガイドレール４１２ａが形成されている。また、支持部４１２の外側の面には上下方向に延びるガイド溝４１２ｂが形成されている。さらに支持部４１２には、ガイドレール４１２ａの内側の面からガイド溝４１２ｂに貫通する上下方向に延びるガイド孔４１２ｃが形成されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄをそれぞれガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って移動させる第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄは同一構成であり、スライド部４１１に螺合し、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ延びるねじロッド５１と、凸部２０１に配設され、ねじロッド５１を正逆回転駆動するパルスモータ５２とを有している。ねじロッド５１の先端は、固定基台２０上のガイド溝２０１ａ～２０１ｄの内側にそれぞれ固定された軸受５３に回転可能に支持されている。

ねじロッド５１が螺合する可動基台４１のスライド部４１１が、パルスモータ５２で回転駆動されるねじロッド５１の回転方向に応じてガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って外側から内側、または内側から外側に送られ、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂは第一方向に往復移動させられ、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄは第二方向に往復移動させられる。したがって第一移動手段５Ａと第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向において互いに離反する向きに移動可能としており、また、第三移動手段５Ｃと第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向において互いに離反する向きに移動可能としている。

下側挟持機構４２は、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４２１と、アーム部４２１の先端にアーム部４２１に直交して固定された下側挟持部４２２とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４２１の基端部４２１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの下側挟持部４２２は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの下側挟持部４２２は第一方向と平行に延びている。下側挟持部４２２は直方体状に形成されており、その上面には、複数の下側ローラー４２３が互いに近接して配列されている。第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの下側ローラー４２３は第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２２に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの下側ローラー４２３は第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２２に支持されている。下側ローラー４２３は下側挟持部４２２の上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

下側挟持機構４２の上方に配設された上側挟持機構４３は、下側挟持機構４２と概ね上下対称の構成であり、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４３１と、アーム部４３１の先端にアーム部４３１に直交して固定され、下側挟持部４２２に対向して配設された上側挟持部４３２とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４３１の基端部４３１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側挟持部４３２は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側挟持部４３２は第一方向と平行に延びている。上側挟持部４３２は直方体状に形成されており、その下面には、後述する複数の上側ローラー（不図示）が互いに近接して配列されている。これら上側ローラーは、下側挟持部４２２の各下側ローラー４２３と対になるように対向配置され、第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側ローラーは第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３２に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側ローラーは第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３２に支持されている。上側ローラーは上側挟持部４３２の下面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

上記下側挟持機構４２および上側挟持機構４３は、それぞれ下側移動機構４４および上側移動機構４５によりガイドレール４１２ａに沿って支持部４１２に対し上下方向に往復移動させられる。

下側移動機構４４は、アーム部４２１の基端部４２１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４４１と、ガイド溝４１２ｂの下端部に配設され、ねじロッド４４１を正逆回転駆動するパルスモータ４４２とを有している。ねじロッド４４１の上端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４４３に回転可能に支持されている。ねじロッド４４１が螺合する基端部４２１ｃが、パルスモータ４４２で回転駆動されるねじロッド４４１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより下側挟持機構４２は上下動させられる。

下側移動機構４４の上方に配設された上側移動機構４５は下側移動機構４４と概ね上下対称の構成を有しており、アーム部４３１の基端部４３１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４５１と、支持部４１２の上端部に配設され、ねじロッド４５１を正逆回転駆動するパルスモータ４５２とを有している。ねじロッド４５１の下端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４５３に回転可能に支持されている。ねじロッド４５１が螺合する基端部４３１ｃが、パルスモータ４５２で回転駆動されるねじロッド４５１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより上側挟持機構４３は上下動させられる。

制御手段７は、第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄの各パルスモータ５２に動作制御信号を送る。制御手段７は、規定のプログラムにより各パルスモータ５２の動作を制御し、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの第一方向への移動、ならびに第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの第二方向への移動を制御する。

次に、シートの滑り止めに関する構成について説明する。
図３は、上側挟持部４３２の上側ローラー４３３と、下側挟持部４２２の下側ローラー４２３にてシート１を挟んだ状態について示す図である。

上側ローラー４３３と下側ローラー４２３は、それぞれ回転可能な状態で上下方向からシート１を挟持するものであり、図３において紙面の左右方向のシート１の伸びを許容するとともに、図３において紙面と垂直方向、つまりは、各ローラーの軸方向に上側挟持部４３２、下側挟持部４２２を移動させることで、シート１が紙面奥行き方向に伸ばされるものである。

そして、各ローラーの表面には、上側ローラー４３３の拡大部分の例に示されるように、滑り止め加工４６０が施されている。滑り止め加工４６０は、上下のローラーで挟持してシート１を伸ばした際にテンションにより、シート１と各ローラーの接触点において滑りが生じないようにすることを目的として、各ローラー表面の摩擦係数を高くするものである。

本実施例では、各ローラーが金属にて構成する場合において、ローラーの表面にローレット（小突起）４６２を形成するローレット加工により、滑り止め加工４６０を施すこととしている。これにより、ローラーの表面の摩擦係数が高められ、シート１の滑りの発生を抑制することができる。

また、各ローラーをセラミクス等の無機材を混入させた樹脂のローラー（例：セラミクス混入ゴムローラー等）にて構成し、ローラーの表面がザラつくようにして高い摩擦係数を確保することで、滑り止め加工とすることとしてもよい。

なお、以上の滑り止め加工４６０は、各ローラーの一部、又は全部に施されることとする他、上側ローラー４３３のみ、あるいは、下側ローラー４２３のみに施されることとしてもよい。特に、シートの粘着層１２（図１）のローラーへの付着が問題になる場合には、下側ローラー４２３のみ滑り止め加工４６０を施すことが好適である。

図４は、下側ローラー４２３（図３）と接触するシート１の裏面１ｂの接触領域に、滑り止め加工４７０を施す例を示すものである。
このように、シート１とローラーの接触領域において、シート１側に滑り止め加工４７０を施すことによれば、シート１の裏面１ｂの摩擦係数が高められ、シート１の滑りの発生を抑制することができる。

図４に示されるシート１は、基材１１の上面１１ａに粘着層１２が形成されており、基材１１の下面１１ｂに凹凸１１ｃが形成される。この凹凸１１ｃによって、基材１１の下面１１ｂ（シート１の裏面１ｂ）の摩擦係数を高める滑り止め加工４７０が実現されている。凹凸１１ｃは、例えば、ブラスト加工（研磨材の打ち付けによる凹凸加工）などが考えられるが、特に限定されるものではない。

図４に示されるシート１の例では、裏面１ｂの滑り止め加工４７０は、挟持される四辺の縁に沿う領域に施されることで、四角辺状の被挟持部４８０が形成されることとしているが、シート１の裏面１ｂの全面に滑り止め加工４７０が施されることとしてもよい。

以上に述べた、ローラーの滑り止め加工や、シートの滑り止め加工は、同時に実施されるものでもよく、あるいは、いずれか一方を実施することとしてもよい。

次に、以上に述べた構成を採用したシートの拡張について説明する。
＜挟持ステップ＞
図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、第一方向で互いに対向する一対の第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂと、第二方向で互いに対向する一対の第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄと、により、シート１の第一方向の両端、及び、第二方向の両端が挟持される。シート１には、分割予定ライン１０１に沿って改質層が形成されたワーク１０が貼着された状態となっている。

＜拡張ステップ＞
次いで、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、一対の第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂを第一方向で互いに離反する方向に移動させるとともに、一対の第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄを第二方向で互いに離反する方向に移動させる。

シート１は拡張（エキスパンド）され、ワーク１０は分割予定ラインに沿って破断し、チップ１０ａに個片化される。

この際、シート１の四辺は、それぞれ第一挟持手段４Ａ～第四挟持手段４Ｄにおいて確実に挟持され、滑り止め加工４６０（図３）、４７０（図４）によって、各ローラーとの間での滑りの発生が抑制されるため、十分に拡張できずにチップ１０ａに分割されない領域を形成したり、チップ１０ａ，１０ａの間に十分な間隔が形成できずに後のハンドリング中にチップ同士が接触してチップを破損させてしまう恐れを低減できる。

また、本発明を実施するために使用する拡張装置の具体的な構成は、図２に示す拡張装置２の構成に限定されるものではなく、本発明のシートの拡張方法は、様々な拡張装置の形態において適用することができる。

以上のようにして本発明を実現することができる。
即ち、図１乃至図６に示すように、
ワーク１０が貼着されたシート１の拡張方法であって、
第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）と、第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段（第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄ）と、を含む挟持機構を備え、
一対の第一方向挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）はそれぞれ上側挟持部４３２と、下側挟持部４２２と、を有し、上側挟持部４３２の下部には第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー４３３が配設され、下側挟持部４２２の上部には第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー４２３が配設され、
一対の第二方向挟持手段（第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄ）はそれぞれ上側挟持部４３２と、下側挟持部４２２と、を有し、上側挟持部４３２の下部には第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー４３３が配設され、下側挟持部４２２の上部には第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー４２３が配設された拡張装置２を準備する準備ステップと、
挟持機構の複数のローラー４２３，４３２でシート１のワーク１０の外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
一対の第一方向挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の第二方向挟持手段（第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄ）を互いに離反する方向へ移動させることでシート１を拡張する拡張ステップと、を備え、
拡張装置２のローラー４２３，４３２と、シート１のうち挟持機構のローラー４２３，４３２で挟持される被挟持部４８０と、の少なくとも一方に滑り止め加工が施されている、シート１の拡張方法とするものである。

以上の拡張方法によれば、各ローラーとの間での滑りの発生が抑制され、十分に拡張できずにチップに分割されない領域を形成したり、チップの間に十分な間隔が形成できずに後のハンドリング中にチップ同士が接触してチップを破損させてしまう恐れを低減できる。

１ シート
１ｂ 裏面
２ シート拡張装置
３ 保持テーブル
４Ａ 第一挟持手段
４Ｂ 第二挟持手段
４Ｃ 第三挟持手段
４Ｄ 第四挟持手段
１０ ワーク
１０ａ チップ
１１ 基材
１１ａ 上面
１１ｂ 下面
１１ｃ 凹凸
１２ 粘着層
４２ 下側挟持機構
４３ 上側挟持機構
１０１ 分割予定ライン
４１２ｃ ガイド孔
４２１ アーム部
４２１ｃ 基端部
４２２ 下側挟持部
４２３ 下側ローラー
４３２ 上側挟持部
４３３ 上側ローラー
４６０ 加工
４７０ 加工
４８０ 被挟持部

Claims (3)

1. ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
   第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
   一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、
   該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
   該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
   一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
   該拡張装置の該ローラーに滑り止め加工が施されている、
   ことを特徴とする、シートの拡張方法。
2. ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
   第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
   一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、
   該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
   該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
   一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
   該シートのうち該挟持機構の該ローラーで挟持される被挟持部に滑り止め加工が施されている、
   ことを特徴とする、シートの拡張方法。
3. ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
   第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
   一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、
   該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転可能な複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
   該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
   一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
   該拡張装置の該ローラーと、該シートのうち該挟持機構の該ローラーで挟持される被挟持部に滑り止め加工が施されている、
   ことを特徴とする、シートの拡張方法。