JPH0212944A - 半導体装置製造用シート拡大装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置製造用シート拡大装置に関し、特に
複数の切込み線で分離された複数のペレット相互間に所
定の隙間を与える半導体装置製造用シート拡大装置に関
する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体装置製造用シート拡大装置は、第
３図に示すように、台ＩＡの上にセットされたリング２
Ａ上に、縦方向及び横方向のそれぞれ複数本の切込み線
で分離された複数のペレット１１Ａが貼付けられた粘着
シート１０を載せ、この粘着シート１０の周辺端部を拡
大治具７で挟んでこの拡大治具７を下に押し下げること
により、又は台ＩＡを上に押し上げることにより、粘着
シート１０を全方向に拡大し、各ペレット１１Ａの相互
間隔を拡げる構造となっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体装置製造用シート拡大装置は、粘
着シート１０の周辺端部を挟んでリング２Ａの上面より
押し下げることによって粘着シート１０を全方向に拡大
する構造となっているので、粘着シート１０の材質によ
ってはリング２Ａとの摩擦が大きく、拡大治具７とリン
グ２Ａとの間の粘着シート１０だけが伸び易い一方、リ
ング２＾上の粘着シートは伸びに＜＜、ベレット１１＾
の相互間隔が十分に得られないという欠点があった。

また、リング２Ａとの摩擦が小さい粘着シート１０を使
用した場合においても、ベレット寸法が幅１關前後、長
さ１０〜１００ｍｍの長尺である場合には、短辺間に最
低限度のベレット相互間隔（０，４〜０．５關）を得る
為には全体の拡大率を大きくしなければならず、長辺方
向の引っばりに耐えられず、第４図に示すように、亀裂
１４が生じ、次工程のマウント装置では使用できないと
いう欠点があった。

本発明の目的は、粘着シートの材質に関係なく必要なベ
レット相互間隔を得るとこができ、かつ短辺、長辺の寸
法が極端に異る場合でもそれぞれ必要なベレット相互間
隔を得ることができる半導体装置製造用シート拡大装置
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体装置製造用シート拡大装置は、互いに交
差する少なくとも２方向のそれぞれ複数本の切込み線で
分離された複数のベレットが貼付けられた粘着シートの
前記各切込み線に対する垂直方向の両端を両面から挟ん
で回転し、前記粘着シートを前記各切込み線に対する垂
直方向にそれぞれ引伸して前記各ベレット相互間に所定
の寸法の隙間を与える複数のローラーと、これらローラ
ーの回転を前記粘着シートの引伸し方向ごとに独立して
駆動制御する複数のローラー駆動部とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を示
す平面図及び断面図である。

粘着シート１０の上面側の粘着面には、複数本の縦方向
及び横方向の切込み線１２により分離された複数のベレ
ット１１が貼付けられている。

ベレット１１が貼付けられた粘着シート〕０は、台１上
にセットされたリング２上に載せられる。

ローラー３ＸＡ〜３ＸＤ１３ＹＡ〜３ＹＤは、リング２
上に載せられた粘着シート１０の横方向及び縦方向の両
端を両面から挟んで回転し、粘着シー１〜１０を横方向
及び縦方向にそれぞれ引伸して各ベレット１１相互間に
所定の寸法の隙間１３を与える。

ローラー駆動部４ｘ　、４Ｙは、回転伝達部５ｘ。

５Ｙを介してローラー３ＸＡ〜３ＸＤ１３ＹＡ〜３ｙｏ
の回転を、粘着シート１０の引伸し方向ごと、即ち横方
向、縦方向ごとに独立して駆動制御する。

シートクランプ治具６は、粘着シート１０を引伸した後
、周辺を粘着シート１０に押し付けて接着し、ローラー
３ＸＡ〜３ＸＤ１３ＹＡ〜３Ｙｔ）から粘着シート１０
が開放されても粘着、シート１０が縮んで元に戻らない
ようにして次工程へ渡す。

粘着シート１０に貼付けられたベレット１１が第１図に
示すようにほぼ正方形で縦方向、横方向同一本数の切込
み線１２で分離されているような場合には、ローラー駆
動部４ｘ　、４ｖにより、粘着シート１０が横方向、縦
方向共同−比率で拡大されるように制御する。

また、第２図（ａ）に示すように、短辺、長辺の寸法が
大幅に異なり、異なる本数の縦方向、横方向の切込み線
１２で分離されているベレット１１、、　Ａに対しては
、ローラー駆動部４ｘ　、４ｙにより、粘着シー）１０
の横方向、縦方向の拡大率を変え、第２図（ｂ）に示す
ように、ベレット１１Ａ相互間の横方向、縦方向の隙間
１３がそれぞれ所定の寸法になるように制御する。

短辺、長辺の寸法が大幅に異なるベレットの例としては
リニアセンサがあり、このリニアセンサはホトダイオー
ドが一列に１００〜１０，０００個配利きれているため
、その寸法は１ｍｍＸ（５〜１００）朋程度とかなりの
長尺となる。このようなベレットに対しては横方向、縦
方向の拡大率は大幅に変える必要がある。

このように、本実施例によると、粘着シート１０をリン
グ２の上面に対して平行方向に引伸すので粘着シート１
０とリング２との摩擦が軽減れ、粘着シート１０の材質
に関係なく必要なペレット相互間の隙間１３を得ること
ができる。

また、横方向、縦方向の拡大率が独立して制御できるの
で、短辺、長辺の寸法が極端に異なるペレットに対して
も亀裂を生じることなく横方向。

縦方向共必要な隙間１３を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、粘着シートのペレットの
各切込み線に対する垂直方向の両端を両面からローラー
で挟み、これらローラーの回転を各方向ごとに独立して
駆動制御し粘着シートを拡大する構成とすることにより
、粘着シートとリングとの摩擦が軽減されるので粘着シ
ートの材質に関係なく必要なペレット相互間の隙間を得
ることができ、また、各方向の拡大率が独立して制御で
きるので、短辺、長辺の寸法が極端に異なるペレットの
場合でも亀裂を生じることなくそれぞれ必要な隙間を得
ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を示
す平面図及び断面図、第２図（ａ）。 （ｂ）はそれぞれ第１図に示された実施例を短辺、長辺
の寸法が極端に異なるペレットに対して適用したときの
粘着テープ拡大前、拡大後の平面図、第３図は従来の半
導体装置製造用シート拡大装置の一例を示す断面図、第
４図は従来の半導体装置製造用シート拡大装置の課題を
説明するための平面図である。 １．１＾・・・台、２２＾・・・リング、３ＸＡ〜３×
Ｄ。 ３ＹＡ〜３ＹＤ・・・ローラー、４ｘ、４ｙ−ローラー
駆動部、５Ｘ、５Ｙ・・・回転伝達部、６・・・シート
クランプ治具、７・・・拡大治具、１０・・・粘着シー
ト、１１．１１Ａ・・・ペレット、１２・・・切込み線
、１３・・・隙間、１４・・・亀裂。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 互いに交差する少なくとも２方向のそれぞれ複数本の切
   込み線で分離された複数のペレットが貼付けられた粘着
   シートの前記各切込み線に対する垂直方向の両端を両面
   から挟んで回転し、前記粘着シートを前記各切込み線に
   対する垂直方向にそれぞれ引伸して前記各ペレット相互
   間に所定の寸法の隙間を与える複数のローラーと、これ
   らローラーの回転を前記粘着シートの引伸し方向ごとに
   独立して駆動制御する複数のローラー駆動部とを有する
   ことを特徴とする半導体装置製造用シート拡大装置。