JP2016035965A - 板状部材の分割装置および板状部材の分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状部材の分割装置10は、板状部材としてのウエハWFの一方の面を支持する第1支持手段20と、ウエハWFの一方の面または他方の面に沿って当該ウエハWFが脆弱になる改質層11を形成する改質層形成手段30と、ウエハWFの他方の面を支持する第2支持手段40と、第1支持手段20および第2支持手段40を相対移動させて改質層11に沿ってウエハWFを複数に分割する分割手段50とを備えている。また、板状部材の分割方法は、板状部材の一方の面または他方の面に沿って当該板状部材が脆弱になる改質層11を形成する改質層形成工程と、改質層11に沿って前記板状部材を複数に分割する分割工程とを有している。
【選択図】図1
Description
造形物形成工程を有することで、分割後または分割前の板状部材に対し、所望の造形物を任意に形成することができる。
改質ライン形成工程を有することで、板状部材を任意に個片化することができる。
個片化工程を有することで、板状部材を任意に個片化することができる。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態の板状部材の分割装置10に対し、作業者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が第1支持プレート22の上面22AにウエハWFを載置する(板状部材用意工程)。次いで、第1支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、上面22AでウエハWFを吸着保持した後、リニアモータ21を駆動し、第1支持プレート22を右方へ移動させる。なお、ウエハWFは、図3(a)、(b)に示すように、一方の面に多数のICやLSI等の造形物としての回路CAが形成され、各回路CA間にストリートSTが格子状に形成されている。本実施形態の場合、ウエハWFは、回路CAが形成された一方の面に接着シートや樹脂等の図示しない表面保護部材が積層され、当該表面保護部材が上面22Aに当接するように第1支持プレート22に載置される。
また、本発明によれば、従来の切断部材よりも速くウエハWFを分割することができる。
さらに、本発明によれば、従来の切断部材によって形成される切込よりも上下方向の幅が狭い改質層11を形成することができるので、従来の切断部材に比べて1のウエハWFを沢山の分割後のウエハに分割することができる。
造形物は、回路CA以外に、所定の図柄、絵、模様、文字、数字、立体図、凹凸模様またはそれらを組み合わせたもの等、何ら限定されることはなく、造形物形成手段も、それらを形成できるものであれば何ら限定されることはない。
上述のように改質ライン形成手段70によって改質ライン12を形成した後、切断手段BLによって改質ライン12に沿って下半、上半ウエハWF1、WF2を切断してもよい。
第1支持手段20は、移動することなく改質層形成手段30が移動して改質層11を形成してもよいし、それら両方が移動して改質層11を形成してもよい。
第1支持手段20は、回路CAが形成されていない面からウエハWFを支持してもよい。
レーザ照射装置31は、ウエハWFとの相対移動によってレーザ照射位置におけるウエハWFのY軸方向の幅が変化する場合、当該幅の変化に応じて帯状レーザ光31AのY軸方向の幅を変更させるY軸方向照射領域変更手段を有してもよい。
改質層形成手段30の代わりに、図8に示すように、駆動機器としてのリニアモータ101と、リニアモータ101のスライダ101Aに支持され、X軸方向に延びた帯状レーザ光102Aを照射するレーザ照射装置102を備えた改質層形成手段100を採用してもよい。レーザ照射装置102も、ウエハWFの内部における所定の位置に焦点を合わせ、当該焦点とされた位置を脆弱にすることができる。この場合、第1支持手段20がリニアモータ21を駆動し、第1支持プレート22を間欠送りする。そして、第1支持プレート22が停止中に、改質層形成手段100がリニアモータ101を駆動し、レーザ照射装置102をY軸方向に移動させてX軸方向に所定の幅を有する改質層11を形成する。その後、第1支持手段20がリニアモータ21を駆動し、帯状レーザ光102AのX軸方向の幅分第1支持プレート22を右方に移動させて停止する。次いで、改質層形成手段100がリニアモータ101を駆動し、レーザ照射装置102をY軸方向に移動させてX軸方向に所定の幅を有する改質層11を形成し、以降同様の動作が繰り返される。なお、レーザ照射装置102における帯状レーザ光102AのX軸方向の幅をウエハWFの直径よりも大きくし、当該レーザ照射装置102をY軸方向に1回または2回以上移動させて改質層11を形成するようにしてもよい。このとき、レーザ照射装置102は、ウエハWFとの相対移動によってレーザ照射位置におけるウエハWFのX軸方向の幅が変化する場合、当該幅の変化に応じて帯状レーザ光102AのX軸方向の幅を変更させるX軸方向照射領域変更手段を有してもよい。
改質層形成手段30は、回路CAが形成された面側から改質層11を形成してもよいし、ウエハWFの両面側から改質層11を形成してもよい。
分割手段50は、第2支持プレート42を回転させることなく、第1支持プレート22を左方に移動させるか、第2支持プレート42を右方に移動させるか、それら両方を離れる方向に移動させるかしてウエハWFを分割してもよい。
分割手段50は、第2支持プレート42を回転させることなく、第1支持プレート22を回転させてウエハWFを分割してもよいし、それら両方を反対方向に回転させたり、それら両方を同じ方向であっても回転量を異ならせたりしてウエハWFを分割してもよい。
分割手段50は、第2支持プレート42を回転させることなく、振動付与手段52を駆動してウエハWFを分割してもよい。
分割手段50は、ウエハWFを分割できる限りにおいて、リニアモータ51、振動付与手段52および直動回動モータ41における回動部の内、少なくとも1つが設けられていればよい。
ウエハWFは、円盤状のシリコン半導体ウエハ、SiC(シリコンカーバイド)ウエハ、サファイアウエハ、化合物半導体ウエハなどが例示できる。化合物半導体ウエハは、例えばGaP(リン化ガリウム)ウエハ、GaA(ヒ化ガリウム)ウエハ、InP(リン化インジウムガリウム)ウエハ、GaN(窒化ガリウム)ウエハ等が挙げられる。
回路CAはどのようなものでもよく、例えば回路CAが、貫通電極を有する(あるいは貫通電極のみを有する)ものでもよい。この場合、貫通電極を埋め込む工程を設け、上記分割工程において当該貫通電極を埋め込んだウエハWFを厚み内で2分割して貫通電極付きの複数のウエハを形成することができる。
ウエハWFは、725μm、625μm等どんな厚みでもよいし、300mm、450mm等どんな直径でもよい。
ウエハWFの形状は、円形、D型、楕円形、四角形、その他の多角形等どんな形でもよい。
ウエハWFは、少なくとも一方の面に予め回路CAが形成させていてもよいし、両面とも街路CAが形成されていなくてもよい。
ウエハWFに形成される回路は、一方の面と他方の面とで大きさやパターンが異なっていてもよい。
ウエハWF少なくとも一方の面に表面保護部材が積層されていてもよいし、両面とも表面保護部材が積層されていなくてもよい。
板状部材の分割装置10は、2分割されたウエハWFに、さらに改質層11を形成して当該ウエハWFを3分割以上に分割してもよい。
11 改質層
12 改質ライン
20 第1支持手段
30、100 改質層形成手段
40 第2支持手段
50 分割手段
WF 半導体ウエハ(板状部材)
CA 回路(造形物)
CP 半導体チップ(個片体)
Claims (5)
- 板状部材の一方の面を支持する第1支持手段と、
前記板状部材の一方の面または他方の面に沿って当該板状部材が脆弱になる改質層を形成する改質層形成手段と、
前記板状部材の他方の面を支持する第2支持手段と、
前記第1支持手段および前記第2支持手段を相対移動させて前記改質層に沿って前記板状部材を複数に分割する分割手段とを備えていることを特徴とする板状部材の分割装置。 - 板状部材の一方の面または他方の面に沿って当該板状部材が脆弱になる改質層を形成する改質層形成工程と、
前記改質層に沿って前記板状部材を複数に分割する分割工程とを有していることを特徴とする板状部材の分割方法。 - 前記板状部材の少なくとも一方の面に造形物を形成する造形物形成工程を有していることを特徴とする請求項2に板状部材の分割方法。
- 前記造形物の周囲に沿って前記板状部材が脆弱になる改質ラインを形成する改質ライン形成工程を有していることを特徴とする請求項3に板状部材の分割方法。
- 前記造形物の周囲に沿って前記板状部材を切断し、複数の個片体を形成する個片化工程を有していることを特徴とする請求項3または4に記載の板状部材の分割方法。
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