JP2002522904A - 高電圧モジュール用の基板 - Google Patents

高電圧モジュール用の基板

Info

Publication number
JP2002522904A
JP2002522904A JP2000564234A JP2000564234A JP2002522904A JP 2002522904 A JP2002522904 A JP 2002522904A JP 2000564234 A JP2000564234 A JP 2000564234A JP 2000564234 A JP2000564234 A JP 2000564234A JP 2002522904 A JP2002522904 A JP 2002522904A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal layer
layer
substrate
main side
dielectric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000564234A
Other languages
English (en)
Inventor
ルフラン ギュイ
Original Assignee
インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト filed Critical インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト
Publication of JP2002522904A publication Critical patent/JP2002522904A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3735Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/14Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
    • H01L23/15Ceramic or glass substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31Surface property or characteristic of web, sheet or block

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Insulating Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 本発明は、高電圧モジュール用の基板であって、第1のメインサイドと該第1のメインサイドに向かい合って位置する、第1の誘電率を有する第2のメインサイドとを備えたセラミック層を有している。第1のメインサイドには上側の金属層が設けられているのに対して、第2のメインサイドには下側の金属層が設けられている。電界ピークを減少するために、上側の金属層に隣接してセラミック層の第1のメインサイドに配置された、第2の誘電率を有する誘電層を設けることが提案されている。電圧を案内する素子の縁部における電気力線の密度が、セラミック層と誘電層との誘電率を互いに適合することによって減少される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、電界の強さを減少する高電圧モジュール用の基板に関する。
【0002】 電子及び電気工学においてはしばしば、プレートに又は両面を金属被覆された
絶縁材料に回路が構築される。従って、例えばパワーエレクトロニクスにおいて
は両面をCu・コーティングされたセラミックプレートが使用され、この場合、
セラミックプレートは、所定の誘電率を有する絶縁体を成す。構造化された金属
層には構成素子が取り付けられる。この場合特に上側の金属層の側縁に、コンタ
クト面の間にかけられる高い電圧に基づき極めて高い電界強さが生ずる。例えば
電界強さは、5000Vの電圧の場合50kV/mmにまでなる。前記電界強さ
の場合、セラミックへの移行部、つまり絶縁体への移行部におけるブレークダウ
ン電圧の超過に基づきパワーモジュールに課させられている絶縁要求を最早満た
せなくなるか又は少なくとも最早確実に堅守できなくなる。
【0003】 従って、本発明の課題は、絶縁体及び金属被覆の幾何学形状が同じである場合
にブレークダウン電圧がより高い値にシフトされるような、高電圧モジュール用
の基板を提供することにある。
【0004】 前記課題は本発明によれば、請求の範囲第1項の特徴部分に記載の基板によっ
て解決された。
【0005】 本発明は、金属被覆の縁部において電界強さを低下させることを解決基本にし
ている。このために、セラミック層に配置された、第2の誘電率を有する誘電層
が設けられていて、該誘電層は上側の金属被覆に隣接している。これによって、
基板(セラミック及び金属被覆)から基板周辺への移行部における最大の電界強
さを著しく低下させることができる。
【0006】 本発明の利点は、現在使用されている構成素子の基本構造を著しく修正する必
要がなく、しかも本発明によって、電子回路を破壊するピーク放電に対する簡単
な防護手段が得られるということにある。
【0007】 本発明の別の有利な構成は、その他の請求項に記載されている。
【0008】 有利な構成では、上側の金属層は少なくとも部分的にセラミック層内に埋め込
まれている。更に有利には、上側の金属層は誘電層を介して下側の金属層に結合
されている。これによって、高作動電圧の場合に軟質封止用コンパウンドにおい
て破壊を生ぜしめる、金属被覆縁部における表面放電が抑制される。
【0009】 有利には、第2の誘電率の値は10より大きいか又は10に等しい。電界ピー
クの消滅は誘電層の厚さに関連しているので、誘電層の厚さがほぼ上側の金属層
又は下側の金属層の厚さをとることができると、有利である。高い誘電率は電界
ピークを消滅せしめる。
【0010】 本発明の別の利点及び特徴は以下の実施例の説明から明らかである。
【0011】 以下に図示の実施例につき本発明を説明する。
【0012】 第2図では横断面図では、従来技術による封止された回路素子の一般的な構成
を示している。
【0013】 回路が構築されるAlN・DCB・基板1は、高品質の絶縁体、一般に、ほぼ
ε =10の誘電率を有するセラミックプレートとして形成されている。絶縁
体1は、Cu・底板に2に固定され、該底板は、回路を機械的に安定させるため
に並びに回路を外部に対して熱的に接続するために用いられる。換言すれば、C
u・底板2は、回路の構成素子を保持しかつ構成素子から熱を冷却体(図示せず
)に導出するのに用いられる。この場合、AlN・基板1はろう接結合手段3を
介してCu・底板2に結合される。
【0014】 電子回路は図示の形式で、例えば1600Vの電圧を考慮して設計されている
ダイオード5及びIGBT4を有している。前記構成素子4,5は、例えばAl
・太線ボンディング・ワイヤ6によって及び/又は絶縁体1上の金属被覆12を
介して互いに接続されている。Al・ワイヤ6は、太線ボンディングの場合有利
にはほぼ200μm−500μmの太さを有する。
【0015】 回路構造全体は、例えばシリコーン・ゲルから成る軟質封止用コンパウンド8
内に封止されかつ次いでプラスチック9から成るケーシング内に組み込まれる。
前記ケーシングは、有利には直接Cu・底板2に固定されていてかつ硬質封止用
コンパウンド7によって充填されている。プラスチックから成るケーシング9か
らは、負荷電流コンタクト10を有する供給導体のみが導出されている。負荷電
流コンタクト10も、ろう接結合手段3を介してケーシング9内の回路に接続さ
れている。
【0016】 従来技術によるケーシングの場合には、小さな曲率半径を有する電圧を案内す
る素子の縁部、先端及び構造のところで高い電界強さが生ぜしめられる。しかも
また、特に基板縁部、即ち、金属被覆縁部のところでは一面では幾何学的な配置
形式に基づきかつ他面では材料特性に基づき、局部的な電圧強度を越える電界強
さが生ずる。この結果、モジュールの局部的な損傷ひいては絶縁損失を生ぜしめ
る電気的なフラッシオーバが生ぜしめられる。本発明は、高密度の電気力線を生
ぜしめる媒体間の“シャープ”な移行部が誘電率の適合によって減少することを
提案する。従って本発明によれば、第1図で図示のように、高電圧を案内する上
側の金属被覆とセラミック縁部との間の領域が誘電体内に、金属被覆層が少なく
とも部分的に絶縁材料内に突入するように、埋め込まれている。
【0017】 従来技術によるこのような構造における電界経過は、第2図の部分拡大図であ
る第3図で図示されている。AlN・セラミック層1の上側の表面20及び下側
の表面21には、上側の金属層15及び下側の金属層16が設けられているので
、“サンドイッチ”状の構造が得られる。第3図で図示の構造の下側の金属層1
6は、ろう接結合手段を介してCu・底板2にひいては冷却体に伝熱接続される
。第3図の等電位線13の密度から明らかなように、従来技術による前記構造の
場合には縁部14において高い電界強さが支配するので、材料に関連したブレー
クダウン電界強さを越えた場合には制御不能な放電が生じ、該放電によって、回
路の敏感な構成素子が破壊される虞れがある。
【0018】 本発明によれば、上側の金属層15に隣接してセラミックプレート1の上側の
表面20に設けられる誘電層11によって、電界強さの電界経過に次のような影
響が及ぼされる、つまり、構造の金属性の素子からの電界の流出が突発的に行わ
れるのではなく、むしろ電気力線が比較的小さな変位のみを受けるように、影響
が及ぼされる。これによって、電気力線の密度は所定の値以下に維持されかつフ
ラッシオーバは殆ど生じない。
【0019】 第1A図では第3図に類似した図で、縁部14における等電位線13の経過を
図示している。縁部14は、本発明によれば第3図で図示のように、電気的な層
11内に埋め込まれている。従って、図面から明らかなように等電位線は第3図
に比していわば互いに拡散している。これによって、縁部14及び別の構造にお
ける電界強さが減少され、これによりブレークダウン又はフラッシオーバが減少
される。この場合、縁部14自体を絶縁材料11、即ち、誘電体によって覆うこ
とのみが重要である。
【0020】 比較のために第1B図では、第1図又は第2の構造が部分的にのみ誘電層11
に結合されている状態を図示している。等電位線13は第1A図の状態に比して
互いに密接している。しかしながら、構造ユニット内で電圧が制限されて維持さ
れるとしても、小さな曲率半径を有する構造ユニットの縁部及び構造を部分的に
覆うだけで十分である。
【0021】 第4図では、本発明の有利な実施例が図示されている。セラミック層1は、下
側の金属層16及びろう接結合手段3を介して底板2に結合されている。上側の
金属層15の縁部は、下側の金属層16の縁部に対してセラミック層1の縁部か
ら著しく間隔を置いて配置されている(この構成は、電界ピークを減少させるた
めの従来技術から公知の措置に対応する)。上側の金属層15は誘電層11を介
して下側の金属層16に結合されている。誘電層11は、セラミック層1の表面
に沿って延びている。セラミック層はほぼ金属層15,16の厚さを有している
。従来技術から公知のように、本発明による基板は軟質封止用コンパウンド8に
よって取り囲まれている。
【0022】 金属層の縁部における電界ピークの消滅は、誘電層の誘電率及び厚さに関連し
ている。実験により、誘電層の層厚さがほぼ200μmである場合には、電界ピ
ークを消滅するために、ε≧10の誘電率が必要であることが明らかとなった。
ε=100の誘電率の場合には、ファクタ2だけの電界ピークの減少が得られる
。電界ピークの消滅は有利には定常運転でも過渡運転状態でも行われる。
【0023】 実地においては、高電圧モジュール用の本発明による基板は次の固有値をとる
ことができる。即ち、セラミック層は代表的にはAlNから形成される。厚さd
は例えば0.63mmである。セラミック層1の誘電率は例えばε=8.9であ
る。上側の金属層15及び下側の金属層16の厚さは300μmに選択される。
この場合、軟質封止用コンパウンドの誘電率は例えばε=2.95である。電界
ピークを十分消滅するために、誘電層11の層厚さは200μmに選択される。
有利には、誘電層の誘電率の値εは≧100である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1図a及び第1図bはそれぞれ、本発明による構成における電界経過を示す
図。
【図2】 従来技術による封止された回路素子の一般的な構成を示す図。
【図3】 従来技術による構成における電界経過を示す図。
【図4】 本発明による基板の有利な配置形式を示す部分断面図。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のメインサイド(20)と該第1のメインサイドに向か
    い合って位置する、第1の誘電率ε を有する第2のメインサイド(21)と
    を備えたセラミック層(1)と、第1のメインサイド(20)に設けられた上側
    の金属層(15)と、第2のメインサイド(21)に設けられた下側の金属層(
    16)とを有する、高電圧モジュール用の基板において、上側の金属層(15)
    に隣接してセラミック層(1)の第1のメインサイド(20)に配置された、第
    2の誘電率ε を有する誘電層(11)が設けられていることを特徴とする、
    高電圧モジュール用の基板。
  2. 【請求項2】 上側の金属層(15)が、少なくとも部分的にセラミック層
    (1)内に埋め込まれている、請求項1記載の高電圧モジュール用の基板。
  3. 【請求項3】 上側の金属層(15)が、誘電層を介して下側の金属層(1
    6)に結合されている、請求項1又は2記載の高電圧モジュール用の基板。
  4. 【請求項4】 第2の誘電率が、ε≧10である、請求項3記載の高電圧モ
    ジュール用の基板。
  5. 【請求項5】 誘電層(11)の厚さが、上側の金属層(15)又は下側の
    金属層(16)の厚さにほぼ等しい、請求項1記載の高電圧モジュール用の基板
JP2000564234A 1998-08-05 1999-08-03 高電圧モジュール用の基板 Pending JP2002522904A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19835396.0 1998-08-05
DE19835396 1998-08-05
PCT/DE1999/002384 WO2000008686A2 (de) 1998-08-05 1999-08-03 Substrat für hochspannungsmodule

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002522904A true JP2002522904A (ja) 2002-07-23

Family

ID=7876568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000564234A Pending JP2002522904A (ja) 1998-08-05 1999-08-03 高電圧モジュール用の基板

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6440574B2 (ja)
EP (1) EP1101248A2 (ja)
JP (1) JP2002522904A (ja)
WO (1) WO2000008686A2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013140663A1 (ja) * 2012-03-19 2013-09-26 三菱電機株式会社 半導体モジュール及びその製造方法
JP2014007407A (ja) * 2012-06-25 2014-01-16 Alstom Transport Sa 高電圧に直接接続されうる電気回路
JP2017028132A (ja) * 2015-07-23 2017-02-02 富士電機株式会社 半導体モジュール及び半導体モジュールの製造方法
WO2024095813A1 (ja) * 2022-10-31 2024-05-10 日本発條株式会社 部品実装基板、部品実装基板の製造方法、電子モジュール、及び電子モジュールの製造方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE0003360D0 (sv) * 2000-09-21 2000-09-21 Abb Ab A semiconductor device
DE10158185B4 (de) * 2000-12-20 2005-08-11 Semikron Elektronik Gmbh Leistungshalbleitermodul mit hoher Isolationsfestigkeit
DE10130517C2 (de) 2001-06-25 2003-07-24 Eupec Gmbh & Co Kg Hochspannungsmodul und Verfahren zu dessen Herstellung
JP5477681B2 (ja) * 2008-07-29 2014-04-23 三菱電機株式会社 半導体装置
EP2337070A1 (en) 2009-12-17 2011-06-22 ABB Technology AG Electronic device with non-linear resistive field grading and method for its manufacturing
FR3052295B1 (fr) * 2016-06-06 2018-11-09 Universite Toulouse Iii - Paul Sabatier Procede de traitement d'un materiau electriquement isolant lui conferant des proprietes de gradation de champ electrique auto-adaptatives pour composants electriques
EP3279935B1 (en) 2016-08-02 2019-01-02 ABB Schweiz AG Power semiconductor module

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3039440C2 (de) 1980-10-18 1984-02-16 ANT Nachrichtentechnik GmbH, 7150 Backnang Anordnung zur Aufnahme von elektrischen und/oder elektronischen Bauelementen
JPH03283586A (ja) * 1990-03-30 1991-12-13 Toshiba Lighting & Technol Corp 樹脂基板
EP0714127B1 (en) * 1991-11-28 2003-01-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor package
JPH06152146A (ja) 1992-10-30 1994-05-31 Toshiba Corp 電源装置の配線基板
JP2510473B2 (ja) * 1993-12-01 1996-06-26 株式会社三ツ葉電機製作所 基板の形成パタ―ン保護構造
EP0717586A1 (en) * 1994-12-12 1996-06-19 ALCATEL BELL Naamloze Vennootschap Process to decrease the strength of an electric field produced by a high voltage conductive path on a printed circuit board
JPH08172248A (ja) * 1994-12-20 1996-07-02 Nikon Corp プリント基板
JPH09129989A (ja) * 1995-10-30 1997-05-16 Sanyo Electric Works Ltd プリント配線板
JP3491414B2 (ja) * 1995-11-08 2004-01-26 三菱電機株式会社 回路基板

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013140663A1 (ja) * 2012-03-19 2013-09-26 三菱電機株式会社 半導体モジュール及びその製造方法
JP2014007407A (ja) * 2012-06-25 2014-01-16 Alstom Transport Sa 高電圧に直接接続されうる電気回路
JP2017028132A (ja) * 2015-07-23 2017-02-02 富士電機株式会社 半導体モジュール及び半導体モジュールの製造方法
WO2024095813A1 (ja) * 2022-10-31 2024-05-10 日本発條株式会社 部品実装基板、部品実装基板の製造方法、電子モジュール、及び電子モジュールの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2000008686A2 (de) 2000-02-17
EP1101248A2 (de) 2001-05-23
US6440574B2 (en) 2002-08-27
WO2000008686A3 (de) 2000-05-11
US20010014413A1 (en) 2001-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7407836B2 (en) High-voltage module and method for producing same
US6867484B2 (en) Semiconductor device
KR20030032816A (ko) 반도체장치
US10959333B2 (en) Semiconductor device
JP2002522904A (ja) 高電圧モジュール用の基板
JP2007012831A (ja) パワー半導体装置
JP2913247B2 (ja) パワー半導体モジュール及び車両用インバータ装置
CN113206048B (zh) 半导体装置及其制造方法
JPH10173098A (ja) パワー半導体装置およびその製法
US20230170286A1 (en) Terminal Element or Bus Bar, and Power Semiconductor Module Arrangement Comprising a Terminal Element or Bus Bar
CN112530915A (zh) 半导体装置
JPH1187567A (ja) 半導体装置
WO2021200166A1 (ja) 半導体装置
JP2000091472A (ja) 半導体装置
CN111033723B (zh) 功率半导体模块
JPH07131125A (ja) 半導体素子実装構造
WO2019163941A1 (ja) パワーモジュール用基板およびパワーモジュール
JPH05315467A (ja) 混成集積回路装置
US20240030080A1 (en) Semiconductor device
JPS5840848A (ja) 絶縁型半導体装置
WO2023157604A1 (ja) 半導体装置および半導体装置の実装構造体
JPH06302405A (ja) 正特性サーミスタ装置
JP2001057409A (ja) 半導体装置
JP2003086764A (ja) 半導体装置
JPH0582922A (ja) 電力用半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040116

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20040415

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20040422

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040714

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041022