KR20070026274A - 기판 위치 맞춤 장치 및 기판 수용 유닛 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 용기의 측벽에 설치된 개구로부터 수평 방향으로 반송되고, 상기 용기내에서 기판 탑재부에 탑재된 직사각형 형상의 기판을 상기 기판 탑재부상에서 위치 맞춤하는 기판 위치 맞춤 장치에 있어서,기판의 반송 방향에 직교하는 한쌍의 제 1 단면을 가압하는 한쌍의 제 1 가압 기구와,기판의 반송 방향에 따른 한쌍의 제 2 단면을 가압하는 한쌍의 제 2 가압 기구를 구비하고,상기 제 1 가압 기구 및 제 2 가압 기구는 각각 구동 기구 및 상기 구동 기구의 구동에 의해 상기 제 1 단면 및 제 2 단면을 가압하는 가압자를 구비하고,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구의 구동에 의해, 상기 가압자를 기판의 반송 경로외로 퇴피시키는 퇴피 위치와 기판을 가압 가능한 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 또한 상기 가압 가능 위치에서 가압 방향으로 이동시키는 구동력 변환 기구부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 구동 기구는 상기 용기 외부에 설치되는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 구동력 변환 기구부는 기판의 반송 경로의 상방 또는 하방에 설치되고, 상기 구동 기구의 구동에 의해, 상기 가압자를, 기판의 반송 경로의 상방 또는 하방으로 상기 반송 경로와 평행한 상태에서 퇴피시키는 퇴피 위치와 기판을 가압 가능한 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 또한 상기 가압 가능 위치에서 가압 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구를, 수평으로, 또한 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 구동하는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구를, 수평으로, 또한 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 진퇴하는 피스톤을 갖는 실린더 기구이며,상기 구동력 변환 기구부는, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 소정 스트로크 진출하면, 상기 퇴피 위치의 상기 가압자를 상기 가압 가능 위치로 이동시키고, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 더욱 소정 스트로크 진출하면, 상기 가압 가능 위치의 상기 가압자를 가압 방향으로 이동시켜서 상기 제 1 단면이 가압되도록 하고, 그 상태에서 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 소정 스트로크 퇴피하면, 상기 제 1 단면을 가압 상태의 상기 가압자를 상기 가압 가능 위치로 이동시키고, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 더욱 소정 스트로크 퇴피하면, 상기 가압 가능 위치의 상기 가압자를 상기 퇴피 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 구동력 변환 기구부는,상기 용기내에 고정된 가이드 부재와,상기 실린더 기구의 상기 피스톤의 진퇴와 동시에, 상기 가이드 부재에 따라 상기 피스톤의 진퇴 방향으로 슬라이드 이동하는 주동 슬라이드 부재와,상기 주동 슬라이드 부재의 소정 스트로크의 슬라이드 이동에 따라, 상기 가이드 부재에 따라서, 수평으로, 또한 주동 슬라이드 부재의 이동 방향과 직교하는 방향으로 슬라이드 이동하는 종동 슬라이드 부재와,일 단부가 상기 종동 슬라이드 부재에 회동 가능하게 설치되는 동시에, 타 단부에 상기 가압자가 회동 가능하게 설치되고, 상기 주동 슬라이드 부재의 소정 스트로크의 슬라이드 이동에 따라, 상기 일 단부를 중심으로 해서 넘어짐 및 기립하도록 회동하는 링크 부재를 구비하며,상기 링크 부재가 넘어짐 및 기립하도록 회동하는 것에 의해, 상기 가압자를 상기 퇴피 위치와 상기 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 상기 종동 슬라이드 부재가 슬라이드 이동함으로써, 상기 가압자를, 상기 가압 가능 위치를 시점 및 종점으로 해서 가압 방향 및 가압 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 가압 기구 및 제 2 가압 기구는 각각 상기 가압자가 상기 제 1 단면 및 제 2 단면을 가압했을 때의 충격을 완화하는 완충 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는기판 위치 맞춤 장치.
- 측벽에 개구가 설치되고, 상기 개구로부터 수평 방향으로 반송된 직사각형 형상의 기판을 수용하는 기판 수용부를 갖는 용기와,상기 기판 수용부에 설치되고, 상기 기판 수용부에 수용된 기판을 탑재하는 기판 탑재부와,상기 기판 탑재부에 탑재된 기판을 상기 기판 탑재부상에서 위치 맞춤하는 기판 위치 맞춤 장치를 구비한 기판 수용 유닛에 있어서,상기 기판 위치 맞춤 장치는,기판의 반송 방향에 직교하는 한쌍의 제 1 단면을 가압하는 한쌍의 제 1 가압 기구와,기판의 반송 방향에 따른 한쌍의 제 2 단면을 가압하는 한쌍의 제 2 가압 기구를 구비하고,상기 제 1 가압 기구 및 제 2 가압 기구는 각각 구동 기구, 및 상기 구동 기구의 구동에 의해 상기 제 1 단면 및 제 2 단면을 가압하는 가압자를 구비하고,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구의 구동에 의해, 상기 가압자를, 기판의 반송 경로외로 퇴피시키는 퇴피 위치와 기판을 가압 가능한 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 또한 상기 가압 가능 위치에서 가압 방향으로 이동시키는 구동력 변환 기구부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항에 있어서,상기 구동 기구는 상기 용기의 상기 기판 수용부 외부에 설치되는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 구동력 변환 기구부는 기판의 반송 경로의 상방 또는 하방에 설치되고, 상기 구동 기구의 구동에 의해, 상기 가압자를, 기판의 반송 경로의 상방 또는 하 방으로 상기 반송 경로와 평행한 상태에서 퇴피시키는 퇴피 위치와 기판을 가압 가능한 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 또한 상기 가압 가능 위치에서 가압 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구를, 수평으로, 또한 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 구동하는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 11 항에 있어서,상기 한쌍의 제 1 가압 기구중 적어도 한쪽은, 상기 구동 기구를, 수평으로, 또한 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 진퇴하는 피스톤을 갖는 실린더 기구이며,상기 구동력 변환 기구부는, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 소정 스트로크 진출하면, 상기 퇴피 위치의 상기 가압자를 상기 가압 가능 위치로 이동시키고, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 더욱 소정 스트로크 진출하면, 상기 가압 가능 위치의 상기 가압자를 가압 방향으로 이동시켜서 상기 제 1 단면이 가압되도록 하고, 그 상태에서 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 소정 스트로크 퇴피하면, 상기 제 1 단면을 가압 상태의 상기 가압자를 상기 가압 가능 위치로 이동시키고, 상기 실린더 기구의 상기 피스톤이 더욱 소정 스트로크 퇴피하면, 상기 가압 가능 위치의 상기 가압자를 상기 퇴피 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 12 항에 있어서,상기 구동력 변환 기구부는,상기 용기 수용부내에 고정된 가이드 부재와,상기 실린더 기구의 상기 피스톤의 진퇴와 동시에, 상기 가이드 부재에 따라 상기 피스톤의 진퇴 방향으로 슬라이드 이동하는 주동 슬라이드 부재와,상기 주동 슬라이드 부재의 소정 스트로크의 슬라이드 이동에 따라, 상기 가이드 부재에 따라서, 수평으로, 또한 주동 슬라이드 부재의 이동 방향과 직교하는 방향으로 슬라이드 이동하는 종동 슬라이드 부재와,일 단부가 상기 종동 슬라이드 부재에 회동 가능하게 설치되는 동시에, 타 단부에 상기 가압자가 회동 가능하게 설치되고, 상기 주동 슬라이드 부재의 소정 스트로크의 슬라이드 이동에 따라, 상기 일 단부를 중심으로 해서 넘어짐 및 기립하도록 회동하는 링크 부재를 구비하며,상기 링크 부재가 넘어짐 및 기립하도록 회동하는 것에 의해, 상기 가압자를 상기 퇴피 위치와 상기 가압 가능 위치와의 사이에서 이동시키고, 상기 종동 슬라이드 부재가 슬라이드 이동함으로써, 상기 가압자를, 상기 가압 가능 위치를 시점 및 종점으로 해서 가압 방향 및 가압 방향과 반대 방향으로 이동시키는 것을 특징 으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 제 1 가압 기구 및 제 2 가압 기구는 각각 상기 가압자가 상기 제 1 단면 및 제 2 단면을 가압했을 때의 충격을 완화하는 완충 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 기판 탑재부는 반송된 기판의 이면에 접촉하는 회전 가능한 구형상 회전자를 갖는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 용기는 상기 기판 수용부를 상하에 2단 이상 갖고 있는 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 용기는 상기 개구가 서로 대향하는 측벽에 각각 개폐 가능하게 설치되고, 각각의 상기 개구를 거쳐서, 진공 상태에서 기판에 소정의 처리를 실시하는 진공 처리 챔버내와 대기측에 내부가 연통 가능하며, 대기측과의 기판의 주고 받음 시에는 내부가 대기압 근방에 유지되는 동시에, 상기 진공 처리 챔버와의 기판의 주고 받음 시에는 내부가 진공 상태로 유지되는 로드록 챔버인 것을 특징으로 하는기판 수용 유닛.
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