JP4479881B2 - 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法 - Google Patents
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Description
2 処理ステージ
3 スピンドル
4 ステージ内搬送手段
5 スピンカップ
10 回転軸
11 基板支持部材
14 支持ピン
15 位置決めピン
23 昇降駆動手段
30 搬入側搬送路
31 主搬送路
34,38,41 ローラ
39 可変速回転駆動部材
45 ガイドローラ
47 減速センサ
48 停止センサ
49 カップ本体
50 カップ昇降手段
53 液供給手段
54 アーム
55 回動軸
Claims (8)
- 搬送コンベアからなり、基板を水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板をスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うための基板スピン処理装置において、
前記スピンドルの先端に連結して設けられ、前記基板の裏面を複数箇所で支持する支持ピンと、基板の周囲の端面を位置決めする位置決めピンとを装着した複数の支持アームとを有する基板支持部材と、
前記基板を前記スピン処理ステージ内で前記基板支持部材の配設位置に搬送するために、少なくとも前記基板の搬送方向における全長より基板停止位置と基板減速開始位置との間の搬送長さ分だけ長い搬送路を有するステージ内搬送手段と、
前記ステージ内搬送手段により搬送される前記基板が減速開始位置に到達したことを検出して、この基板の搬送速度を減速させる第1の検出手段と、
前記基板が停止位置に到達したことを検出して、前記ステージ内搬送手段を停止させる第2の検出手段と、
前記ステージ内搬送手段は回転軸部材に複数のローラを装着したローラコンベアから構成し、
前記回転軸部材は、前記基板支持部材に対して、高さ方向に位置を違えて部分的に交差するように配設されており、
前記基板支持部材を昇降手段に装着して、この昇降手段により前記基板支持部材を昇降駆動して、前記基板支持部材を前記ローラコンベアによる基板の搬送面より下降した位置と、前記搬送面より上昇した位置とに昇降駆動するとともに、前記基板支持部材の下降時には、この基板支持部材を前記ローラコンベアによる搬送面と前記回転軸部材との間に挟まれた位置に配置する構成としたことを特徴とする基板スピン処理装置。 - 前記スピン処理ステージには、前記基板の回転中に、この基板表面に所定の液体を供給する液供給手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記基板に付着している液が前記スピンドルによる回転駆動時に飛散するのを規制するためのスピンカップと、このスピンカップにより前記基板が囲繞される作動位置と、前記ステージ内搬送手段により前記基板の搬送を可能にする開放位置となるように昇降させるカップ昇降手段とを備える構成としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板スピン処理装置。
- 前記ステージ内搬送手段の前記ローラコンベアを構成する前記回転軸部材は可変速モータで駆動する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記ステージ内搬送手段には、前記基板の搬送方向上流側に位置させて、この基板の搬送方向の左右両側部に接離可能な位置決め部材を設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記液供給手段は、前記基板の上部位置と、この基板の上部位置から離間した位置との間で往復移動可能な構成としたことを特徴とする請求項2記載の基板スピン処理装置。
- 搬送コンベアからなり、基板を水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板を回転軸部材に複数のローラを装着したローラコンベアからなるステージ内搬送手段を有するスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うスピン処理方法であって、
前記基板の裏面を複数箇所で支持する支持ピンと、基板の周囲の端面を位置決めする位置決めピンとを装着した複数の支持アームをスピンドルに連結して設けた基板支持部材を、前記ステージ内搬送手段における前記ローラコンベアの搬送面より下方で、前記回転軸部材より上方位置であり、かつこの回転軸部材と高さ方向に位置を違えて部分的に交差するように配置して、
前記搬送コンベアにより所定の搬送速度で搬送される基板を前記スピン処理ステージの前記ステージ内搬送手段に移行させ、
前記基板がこのステージ内搬送手段に完全に移行した後に、この基板の搬送速度を減速するようになし、
前記基板が前記スピン処理ステージ内の所定の位置に到達したときに、この基板の搬送を停止させ、
前記基板支持部材を上昇させることにより、前記ステージ内搬送手段による搬送面から前記基板を離間させて、前記基板の周囲の端面を前記位置決めピンと当接させた状態で、前記スピンドルにより水平回転させる
ことを特徴とする基板スピン処理方法。 - 搬送コンベアからなり、基板を水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板を回転軸部材に複数のローラを装着したローラコンベアからなるステージ内搬送手段を有するスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うスピン処理方法であって、
前記基板の裏面を複数箇所で支持する支持ピンと、基板の周囲の端面を位置決めする位置決めピンとを装着した複数の支持アームをスピンドルに連結して設けた基板支持部材を、前記ステージ内搬送手段における前記ローラコンベアの搬送面より下方で、前記回転軸部材より上方位置であり、かつこの回転軸部材と高さ方向に位置を違えて部分的に交差するように配置して、
前記搬送コンベアにより所定の搬送速度で搬送される基板を前記スピン処理ステージの前記ステージ内搬送手段に移行させ、
このステージ内搬送手段により前記基板が搬送される間に、この基板の左右両側部を位置決めガイドし、
前記基板がこのステージ内搬送手段に完全に移行した後に、この基板の搬送速度を減速するようになし、
前記基板が前記スピン処理ステージ内の所定の位置に到達したときに、この基板の搬送を停止させ、
前記基板支持部材を上昇させることにより、前記ステージ内搬送手段による搬送面から前記基板を離間させて、前記基板の周囲の端面を前記位置決めピンと当接させた状態で、前記スピンドルにより水平回転させ、
この回転中に前記基板に対して所定の処理液を供給する
ことを特徴とする基板スピン処理方法。
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