KR101631142B1 - 더미 글라스 제거장치 - Google Patents

Abstract

더미 글라스 제거장치가 개시된다. 본 발명에 따른 더미 글라스 제거장치는, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈과, 안착 스테이지모듈들을 틸팅시켜 스크라이브 라인을 따라 원기판을 복수의 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈을 구비하는 스테이지유닛과, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격하는 타격유닛을 포함하며, 스테이지유닛은, 틸팅 구동모듈의 처짐이 방지되도록 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치한다.

Description

더미 글라스 제거장치{Dummy glass remover}

본 발명은, 더미 글라스 제거장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 최종적으로 제작되는 단위기판에 불필요하게 붙어 있는 더미 글라스(dummy glass)를 보다 효과적으로 제거함으로써 수작업에 의한 불편함 및 번거로움을 해소할 수 있고, 또한 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상에 기여할 수 있는 더미 글라스 제거장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이러한 평면디스플레이(FPD) 중 OLED는, 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.

OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.

또한 AMOLED는 유리기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.

이러한 OLED의 제조 공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.

합착 공정에서는 봉지 공정을 거친 기판과 증착 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 과정이 진행되는데, 주로 봉지 공정을 거친 기판이 하판이 되고, 증착 공정을 거친 기판이 상판이 된다.

상판 및 하판이 합착된 상태로 형성된 대면적 원기판을 다시 수 내지 수십 등분으로 절단하여 단위기판으로 만들어진 후, 모듈(module) 공정에서 단위기판의 패드 부분에 IC 드라이버 등을 실장함으로써 하나의 완제품으로 출시된다.

따라서 기판을 제조하는 공정 중에는, 대면적 원기판을 수 내지 수십 개의 단위기판들로 절단(혹은 스크라이브)하기 위한 절단 공정이 포함된다.

원기판에 대한 절단 공정은 별도의 시스템을 통해 행해지는데, 보통, 스크라이버(scriber) 혹은 스크라이브 장치(scribe apparatus)라고도 불리는 절단시스템을 통해 수행된다.

이러한 절단시스템은, 일반적으로 원기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛과, 원기판을 스크라이브 라인을 따라 절단하는 브레이크 유닛을 구비한다.

브레이크 유닛은, 스크라이브 라인이 형성된 원기판을 전달받아 원기판을 다수의 단위기판으로 절단한다. 이때 절단된 단위기판들에는 불필요한 더미 글라스(dummy glass)가 붙어 있는데, 이러한 더미 글라스의 제거를 통해 절단 공정이 완료된다.

한편, 브레이크 유닛은 샤프트와 같은 동력전달부를 통해 동력을 전달받아 작동하는데, 대면적의 원기판을 절단하는 대면적 기판용 브레이크 유닛의 경우 동력전달부의 길이가 길어진다.

그런데 동력전달부의 길이가 길어지면 동력전달부의 처짐에 의해 동력전달부가 변형되고, 이러한 동력전달부의 변형에 의해 원기판이 원활하게 절단되지 않는다. 예를 들어 원기판의 절단 시 원기판이 깨지거나, 부분적으로 절단되지 않거나, 과도한 크기의 칩(chip)이 발생되는 문제점이 있다.

한국특허공개공보 제10-2000-0027155호 (주식회사 현대전자) 2000.05.15

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 원기판의 절단을 위해 동력을 전달하는 동력전달부의 변형을 방지함으로써, 원기판의 절단을 원활하게 수행하며 절단된 단위기판의 품질을 향상시킬 수 있는 더미 글라스 제거장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈과, 상기 안착 스테이지모듈들을 틸팅시켜 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 복수의 상기 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈을 구비하는 스테이지유닛; 및 상기 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 상기 더미 글라스를 타격하는 타격유닛을 포함하며, 상기 스테이지유닛은, 상기 틸팅 구동모듈의 처짐이 방지되도록 상기 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치가 제공될 수 있다.

상기 처짐 방지부는, 상기 틸팅 구동모듈에 연결되며, 상기 스테이지유닛에 마련되는 스테이지 프레임에 지지될 수 있다.

상기 틸팅 구동모듈은, 상기 안착 스테이지모듈의 틸팅 중심에서 이격된 위치에서 상기 안착 스테이지모듈을 각각 지지하며, 회전 동작에 기초하여 상기 안착 스테이지모듈을 선택적으로 틸팅하는 복수의 틸팅 조작부; 및 상기 틸팅 조작부가 결합되며, 상기 틸팅 조작부를 회전시키는 틸팅 조작부용 구동부를 포함할 수 있다.

상기 틸팅 조작부는, 외주면에서 중심을 향하여 함몰되어 형성되는 요입부가 마련되는 회전캠을 포함할 수 있다.

상기 안착 스테이지모듈들을 지지하는 회전캠들은, 상기 안착 스테이지모듈들이 순차적으로 틸팅되도록, 상기 틸팅 조작부용 구동부에 결합 시 서로 다른 요입부의 배치각도를 가질 수 있다.

상기 틸팅 조작부용 구동부는, 상기 회전캠이 결합되는 볼 스플라인 너트(ball spline nut); 및 상기 볼 스플라인 너트를 회전시키는 볼 스플라인 샤프트(ball spline shaft)를 포함할 수 있다.

상기 처짐 방지부는, 상기 스테이지 프레임에 지지되는 지지 플레이트; 및

상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 볼 스플라인 너트에 결합되는 지지 베어링을 포함할 수 있다.

상기 지지 베어링은, 한 쌍으로 마련되며, 상기 회전캠의 양측에 배치될 수 있다.

상기 안착 스테이지모듈은, 상기 처짐 방지부에 연결되는 하부 몸체부; 상기 하부 몸체부에 틸팅 가능하게 결합되며, 상기 회전캠에 지지되는 상부 몸체부; 및 상기 상부 몸체부 및 상기 하부 몸체부에 연결되며, 상기 상부 몸체부를 상기 하부 몸체부 방향으로 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체를 포함할 수 있다.

상기 상부 몸체부는, 상면부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 상기 원기판 및 상기 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부를 포함하할 수 있다.

상기 돌출부에는, 상기 원기판 및 상기 단위기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀과, 상기 돌출부의 표면에서 함몰되어 형성되며 상기 진공홀과 연통되는 그루브가 마련될 수 있다.

상기 스테이지유닛은, 상기 처짐 방지부를 차폐하는 차폐부를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지유닛은, 상기 안착 스테이지모듈들 사이의 이격거리를 조절하는 스테이지유닛용 간격 조절부를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지유닛용 간격 조절부는, 상기 처짐 방지부가 결합되는 스테이지유닛용 엘엠 블록; 상기 스테이지 프레임에 결합되며, 상기 스테이지유닛용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 스테이지유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 처짐 방지부에 결합되며, 상기 처짐 방지부를 이동시키는 스테이지유닛용 리니어 모터를 포함할 수 있다.

상기 스테이지유닛용 리니어 모터는, 상기 스테이지 프레임에 결합되는 스테이지유닛용 고정자; 및 상기 스테이지유닛용 고정자에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며. 상기 처짐 방지부에 결합되는 스테이지유닛용 가동자를 포함할 수 있다.

상기 타격유닛은, 상기 더미 글라스를 타격하는 상기 복수의 타격핸드를 구비하는 타격부; 및 상기 타격부에 마련되며, 상기 타격핸드들 사이의 이격거리를 조절하는 타격유닛용 간격 조절부를 포함할 수 있다.

상기 타격유닛용 간격 조절부는, 상기 타격핸드가 결합되는 타격유닛용 엘엠 블록; 상기 타격유닛용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 타격유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 타격핸드에 결합되며, 상기 타격핸드를 이동시키는 타격유닛용 리니어 모터를 포함할 수 있다.

상기 타격유닛용 리니어 모터는, 상기 타격부에 마련되는 타격부 프레임에 결합되는 타격유닛용 고정자; 및 상기 타격유닛용 고정자에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며, 상기 타격핸드에 결합되는 타격유닛용 가동자를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 구비함으로써, 틸팅 구동모듈의 처짐에 의해 변형을 되는 것을 방지할 수 있으며, 그에 따라 안착 스테이지모듈의 비정상적으로 틸팅되는 것을 방지하며 절단된 단위기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이다.
도 3은 도 2의 'A'의 확대도이다.
도 4는 도 2의 안착 스테이지모듈이 도시된 도면이다.
도 5는 도 4의 'B'의 확대도이다.
도 6은 도 2의 차폐부재가 도시된 도면이다.
도 7 및 도 8의 도 2의 틸팅 구동모듈에 의한 원기판의 절단과정이 도시된 동작상태도이다.
도 9는 도 7의 회전캠이 도시된 도면이다.
도 10은 도 1의 타격유닛이 도시된 평면도이다.
도 11은 도 1의 타격핸드가 도시된 도면이다.
도 12는 도 11의 정면도이다.
도 13은 도 11의 측면도이다.
도 14는 도 13의 C-C선에 따른 단면도이다.
도 15 및 도 16는 도 1의 피치각도 조절부가 도시된 도면이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 원기판이란, OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 말한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이며, 도 3은 도 2의 'A'의 확대도이고, 도 4는 도 2의 안착 스테이지모듈이 도시된 도면이며, 도 5는 도 4의 'B'의 확대도이고, 도 6은 도 2의 차폐부재가 도시된 도면이며, 도 7 및 도 8의 도 2의 틸팅 구동모듈에 의한 원기판의 절단과정이 도시된 동작상태도이고, 도 9는 도 7의 회전캠이 도시된 도면이며, 도 10은 도 1의 타격유닛이 도시된 평면도이고, 도 11은 도 1의 타격핸드가 도시된 도면이며, 도 12는 도 11의 정면도이고, 도 13은 도 11의 측면도이며, 도 14는 도 13의 C-C선에 따른 단면도이고, 도 15 및 도 16는 도 1의 피치각도 조절부가 도시된 도면이다.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 더미 글라스 제거장치는, 대면적 원기판(도 7 참조)을 스크라이브 라인(scribe line, 도 7 참조)을 따라 절단하여 다수의 단위기판(도 8 참조)으로 만들고, 이후에 단위기판에 불필요하게 붙어 있는 더미 글라스(dummy glass, 도 8 참조)를 타격하여 제거하기 위한 장치이다.

설명의 편의를 위해, 원기판, 스크라이브 라인, 단위기판 및 더미 글라스에 대한 도면 참조부호는 생략하는 대신, 도 7, 도 8, 도 15 또는 도 16에 이들의 용어를 기재하였다.

도 1 내지 16에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈(110)과, 안착 스테이지모듈(110)들을 틸팅시켜 스크라이브 라인을 따라 원기판을 복수의 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈(200)을 구비하는 스테이지유닛(100)과, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격하는 타격유닛(300)을 포함한다.

또한 스테이지유닛(100)은, 틸팅 구동모듈(200)의 처짐이 방지되도록 틸팅 구동모듈(200)을 지지하는 처짐 방지부(120)를 더 포함한다.

본 실시예에서 처짐 방지부(120)는, 틸팅 구동모듈(200)에 연결되며, 스테이지유닛(100)에 마련되는 스테이지 프레임(140)에 지지된다. 설명의 편의를 위해 처짐 방지부(120)에 대해서는 후술한다.

스테이지유닛(100)은, 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈(110)과, 안착 스테이지모듈(110)들을 틸팅시켜 스크라이브 라인을 따라 원기판을 복수의 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈(200)을 포함하다.

본 실시예에서 안착 스테이지모듈(110)은, 다수개로 마련되어 상호간 이격되어 배치된다.

안착 스테이지모듈(110)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 처짐 방지부(120)에 연결되는 하부 몸체부(111)와, 하부 몸체부(111)에 틸팅 가능하게 결합되며 틸팅 구동모듈(200)에 지지되는 상부 몸체부(112)와, 상부 몸체부(112) 및 하부 몸체부(111)에 연결되며 상부 몸체부(112)를 하부 몸체부(111) 방향으로 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체(113)를 포함한다.

상부 몸체부(112)는, 상면부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 원기판 및 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부(114)를 포함한다. 이러한 돌출부(114)는 상부 몸체부(112)와 원기판의 접촉 면적을 최소화하여 원기판의 절단 시 절단 불량을 낮추는 역할을 하는데, 설명의 편의를 위해 자세한 설명은 후술한다.

또한 돌출부(114)에는, 원기판 및 단위기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀(115)과, 돌출부(114)의 표면에서 함몰되어 형성되며 진공홀(115)과 연통되는 그루브(116)가 마련된다.

이러한 진공홀(115)과 진공홀(115)에 연통되는 그루브(116)를 이용한 기판 또는 단위 기판의 진공 흡착을 통해, 안착 스테이지모듈(110)에 이송된 원기판 및 원기판에서 절단된 단위기판은 안착 스테이지모듈(110)에 안정적으로 지지된다.

또한 상부 몸체부(112)는, 하부면에서 돌출되며 마련되며 틸팅 구동모듈(200)에 지지되는 지지대(117)를 포함한다.

한편, 하부 몸체부(111)에는 상부 몸체부(112)가 회동가능하게 결합되는 틸팅 중심축(118)이 마련된다. 또한 하부 몸체부(111)는 처짐 방지부(120)에 결합되어 지지된다.

틸팅용 탄성체(113)는, 상부 몸체부(112) 및 하부 몸체부(111)에 연결되며, 상부 몸체부(112)가 틸팅되도록 상부 몸체부(112)를 하부 몸체부(111) 방향으로 탄성바이어스한다. 본 실시예에서 틸팅용 탄성체(113)에는 스프링 등 다양한 종류의 탄성체가 사용될 수 있다.

이러한 틸팅용 탄성체(113)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 틸팅 중심축(118)의 축방향에서 이격된 위치에 배치되므로, 상부 몸체부(112)는 별도의 지지수단이 없으면 수평을 유지할 수 없는데, 이러한 지지수단의 역할을 틸팅 구동모듈(200)이 수행한다.

틸팅 구동모듈(200)은, 안착 스테이지모듈(110)의 틸팅 중심에서 이격된 위치에서 안착 스테이지모듈(110)을 각각 지지하며 회전 동작에 기초하여 안착 스테이지모듈(110)을 선택적으로 틸팅하는 복수의 틸팅 조작부(210)와, 틸팅 조작부(210)가 결합되며 틸팅 조작부(210)를 회전시키는 틸팅 조작부용 구동부(220)를 포함한다.

틸팅 조작부(210)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 외주면에서 중심을 향하여 함몰되어 형성되는 요입부(Y)가 마련되는 회전캠(211)을 포함한다.

이러한 회전캠(211)은, 외주면이 상부 몸체부(112)의 지지대(117)에 연결되어 상부 몸체부(112)를 지지한다. 또한 회전캠(211)은, 틸팅 조작부용 구동부(220)에 의해 회전되며, 요입부(Y)를 통해 상부 몸체부(112)를 선택적으로 틸팅시킨다.

따라서 상부 몸체부(112)는, 회전캠(211)의 외주면에 지지대(117)가 지지되는 동안에는 수평을 유지하지만, 지지대(117)의 아래쪽에 요입부(Y)가 위치되면 틸팅용 탄성체(113)의 탄성력에 의해 틸팅된다.

또한 회전캠(211)들은, 안착 스테이지모듈(110)들이 순차적으로 틸팅되도록, 틸팅 조작부용 구동부(220)에 결합 시 서로 다른 요입부(Y)의 배치각도를 갖는다.

한편, 틸팅 조작부용 구동부(220)는, 처짐 방지부(120)에 지지되며, 회전캠(211)에 연결되어 회전캠(211)을 회전시킨다.

이러한 틸팅 조작부용 구동부(220)는, 회전캠(211)이 결합되는 볼 스플라인 너트(ball spline nut, 221)와, 볼 스플라인 너트(221)를 회전시키는 볼 스플라인 샤프트(ball spline shaft, 222)를 포함한다.

볼 스플라인 너트(221)는, 볼 스플라인 샤프트(222)의 회전에 연동되어 회전하며, 볼 스플라인 샤프트(222)의 축방향으로 슬라이딩 이동가능하게 볼 스플라인 샤프트(222)에 결합된다.

또한 틸팅 조작부용 구동부(220)는, 볼 스플라인 샤프트(222)에 연결되며, 볼 스플라인 샤프트(222)를 회전시키는 서보모터(223)를 더 포함한다.

한편, 상술한 틸팅 구동모듈(200)을 지지하는 처짐 방지부(120)는, 스테이지 프레임(140)에 지지되는 지지 플레이트(122)와, 지지 플레이트(122)에 지지되며 볼 스플라인 너트(221)에 결합되는 지지 베어링(123)을 포함한다.

지지 플레이트(122)는 스테이지 프레임(140)에 지지되며, 지지 플레이트(122)의 중앙부 영역에는 안착 스테이지모듈(110)이 배치된다.

본 실시예에서 지지 베어링(123)은, 지지 플레이트(122)에 지지되며, 한 쌍으로 마련되어 회전캠(211)의 양측에 배치되어 볼 스플라인 샤프트(222)를 지지한다.

한편 본 실시예에 따른 스테이지유닛은, 처짐 방지부(120)를 차폐하는 차폐부(400)를 더 포함한다. 이러한 차폐부(400)는 원기판의 절단 시 발생되는 칩 또는 제거된 더미 글라스가 처짐 방지부(120)에 쌓이는 것을 방지한다.

한편, 스테이지유닛(100)은, 안착 스테이지모듈(110)들 사이의 이격거리를 조절하는 스테이지유닛용 간격 조절부(130)를 더 포함한다.

이러한 스테이지유닛용 간격 조절부(130)는, 처짐 방지부(120)가 결합되는 스테이지유닛용 엘엠 블록(131)과, 스테이지 프레임(140)에 결합되며 스테이지유닛용 엘엠 블록(131)의 이동을 안내하는 스테이지유닛용 엘엠 가이드(132)와, 처짐 방지부(120)에 결합되며 처짐 방지부(120)를 이동시키는 스테이지유닛용 리니어 모터(133)를 포함한다.

본 실시예에서 스테이지유닛용 엘엠 블록(131)은, 한 쌍으로 마련되어 지지 플레이트(122)에 각각 결합된다.

스테이지유닛용 리니어 모터(133)는, 스테이지 프레임(140)에 결합되는 스테이지유닛용 고정자(134)와, 스테이지유닛용 고정자(134)에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며 처짐 방지부(120)에 결합되는 스테이지유닛용 가동자(135)를 포함한다.

스테이지유닛용 고정자(134)는, 샤프트 형상으로 마련되며, 내부에 연속적으로 매설되는 다수개의 영구자석을 포함한다. 스테이지유닛용 가동자(135)는, 내부에 마련되는 코일을 구비하며, 코일에 인가되는 전류에 의해 스테이지유닛용 고정자(134)를 따라 이동한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 안착 스테이지모듈(110)들 사이의 이격거리를 조절하는 스테이지유닛용 간격 조절부(130)를 구비함으로써, 단위기판의 크기에 따라 단위기판을 지지하는 안착 스테이지모듈(110)들 상호간의 이격거리를 조절할 수 있어 다양한 크기의 단위기판을 능동적으로 대처할 수 있고, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소를 통해 생산성을 향상시킬 수 있다.

한편 타격유닛(300)은, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(도 8 참조)를 제거하는 부분으로서, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 타격하는 복수의 타격핸드(310)를 구비하는 타격부(320)와, 타격부(320)에 마련되며 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절하는 타격유닛용 간격 조절부(360)를 포함한다.

타격유닛용 간격 조절부(360)는, 타격핸드(310)가 결합되는 타격유닛용 엘엠 블록(361)과, 타격유닛용 엘엠 블록(361)의 이동을 안내하는 타격유닛용 엘엠 가이드(362)와, 타격핸드(310)에 결합되며 타격핸드(310)를 이동시키는 타격유닛용 리니어 모터(363)를 포함한다.

타격유닛용 리니어 모터(363)는, 상기 타격부(320)에 마련되는 타격부 프레임(321)에 결합되는 타격유닛용 고정자(364)와, 타격유닛용 고정자(364)에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며 타격핸드(310)에 결합되는 타격유닛용 가동자(365)를 포함한다.

타격유닛용 고정자(364)는, 샤프트 형상으로 마련되며, 내부에 연속적으로 매설되는 다수개의 영구자석을 포함한다. 타격유닛용 가동자(365)는, 내부에 마련되는 코일을 구비하며, 코일에 인가되는 전류에 의해 타격유닛용 고정자(364)를 따라 이동한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격핸드(310)들 사이의 이격거리를 조절하는 타격유닛용 간격 조절부(360)를 구비함으로써, 단위기판의 크기에 따라 타격핸드(310)들 상호간의 이격거리를 조절할 수 있어 다양한 크기의 단위기판을 능동적으로 대처할 수 있고, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소를 통해 생산성을 향상시킬 수 있다.

한편, 타격핸드(310)는, 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 더미 글라스를 타격한다.

이러한 타격핸드(310)는, 핸드 몸체부(311)와, 핸드 몸체부(311)에 상대이동 가능하게 연결되며 더미 글라스를 타격하는 나이프부(312)와, 핸드 몸체부(311)에 마련되며 나이프부(312)에 연결되어 충격을 흡수하는 충격 흡수부(313)를 포함한다.

나이프부(312)는, 핸드 몸체부(311)에 상대이동 가능하게 연결되며, 실질적으로 더미 글라스를 타격한다.

충격 흡수부(313)는, 핸드 몸체부(311)에 마련되며, 나이프부(312)에 연결되어 더미 글라스 타격 시 충격을 흡수한다. 이러한 충격 흡수부(313)는, 나이프부(312)를 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하는 제1 탄성체(314)와, 나이프부(312)를 핸드 몸체부(311) 방향으로 탄성바이어스하는 제2 탄성체(315)를 포함한다.

제1 탄성체(314)는 나이프부(312)를 더미 글라스 방향으로 탄성바이어스하고, 제2 탄성체(315)는 나이프부(312)를 제1 탄성체(314)의 탄성바이어스 방향과 반대방향인 핸드 몸체부(311) 방향으로 탄성바이어스한다.

본 실시예에서 제1 탄성체(314) 및 제2 탄성체(315)는 스프링으로 마련되는데, 이에 본 발명이 권리범위가 한정되지 않으며, 나이프부(312)를 탄성바이어스할 수 있는 다양한 종류의 탄성체가 본 실시예의 제1 탄성체(314) 및 제2 탄성체(315)로 사용될 수 있다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 더미 글라스 타격 시 충격을 흡수하는 충격 흡수부(313)를 구비함으로써, 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판이 과도한 충격에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한 충격 흡수부(313)는, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부(316)를 더 포함한다.

이러한 탄성바이어스력 조절부(316)는, 핸드 몸체부(311)에 고정 결합되는 고정너트(318)와, 고정너트(318)에 상대이동 가능하게 치합되며 제1 탄성체(314)를 가압하는 가압볼트(317)를 포함한다.

가압볼트(317)는, 하단부가 제1 탄성체(314)에 접촉되어 제1 탄성체(314)를 가압한다. 이러한 가압볼트(317)는, 핸드 몸체부(311)에 고정 결합된 고정너트(318)에 상대이동 가능하게 치합됨으로써, 회전에 의해 핸드 몸체부(311)에 대하여 업/다운(up/down)된다. 가압볼트(317)의 업/다운(up/down)에 따라 제1 탄성체(314)의 탄성바이어스력이 조절된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 조절하는 탄성바이어스력 조절부(316)를 구비함으로써, 제1 탄성체(314) 또는 제2 탄성체(315) 중 적어도 어느 하나의 탄성바이어스력을 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 최적의 탄성바이어스력(이러한 탄성바이어스력은 단위 기판의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)으로 변경할 수 있다.

또한 타격유닛(300)은, 타격부(320)를 지지하는 타격부용 지지부(330)와, 타격부용 지지부(330)에 결합되며 타격부용 지지부(330)를 업/다운(up/down)시키는 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)와, 타격부용 지지부(330)에 마련되며 단위기판에 대한 타격핸드(310)의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부(350)를 더 포함한다.

타격부용 지지부(330)는, 피치각도 조절부(350)를 통해 타격부(320)에 연결되어 타격부(320)를 지지한다.

피치각도 조절부(350)는, 도 15 또는 도 16에 도시된 바와 같이, 타격부용 지지부(330)에 마련되며 단위기판에 대한 타격핸드(310)의 피치각도를 조절한다. 즉 피치각도 조절부(350)는, 단위기판에 대해 타격핸드(310)가 기울어지는 각도를 조절한다.

이러한 피치각도 조절부(350)는, 타격부(320)를 타격부용 지지부(330)에 상대회동 가능하게 결합하는 피치각도 조절용 힌지축(351)과, 타격부(320)가 연결되며 타격부용 지지부(330)에 대하여 상대이동 가능한 피치각도 조절용 승강부(352)와, 피치각도 조절용 승강부(352)에 연결되며 피치각도 조절용 승강부(352)를 업/다운(up/down) 구동시키는 피치각도 조절용 구동부(353)를 포함한다.

타격부(320)는, 피치각도 조절용 힌지축(351)을 통해 타격부용 지지부(330)에 상대회동 가능하게 결합된다.

피치각도 조절용 승강부(352)는, 타격부(320)가 연결되며, 피치각도 조절용 구동부(353)에 의해 타격부용 지지부(330)에 대하여 상대 이동된다. 이러한 피치각도 조절용 승강부(352)에는 피치각도 조절용 구동부(353)가 연결되는 나사산이 마련된다.

피치각도 조절용 구동부(353)는, 피치각도 조절용 승강부(352)에 연결되며, 피치각도 조절용 승강부(352)를 업/다운(up/down) 구동시킨다. 이러한 피치각도 조절용 구동부(353)는, 타격부용 지지부(330)에 지지되며, 피치각도 조절용 승강부(352)에 치합되는 조절너트(354)를 포함한다.

이러한 조절너트(354)의 회전에 의해 피치각도 조절용 승강부(352)가 승강되고, 피치각도 조절용 승강부(352)의 승강에 의해 타격핸드 간격 조절부(320)가 피치각도 조절용 힌지축(351)을 회동 중심으로 하여 회동된다,

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 단위기판에 대한 타격핸드(310)의 피치각도를 조절하는 피치각도 조절부(350)를 구비함으로써, 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 타격핸드(310)의 피치각도(이러한 피치각도를 단위 기판의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)로 타격핸드(310)를 틸팅시킬 수 있다.

한편 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는, 타격부용 지지부(330)에 결합되어 타격부용 지지부(330)를 업/다운(up/down)시킨다. 여기서 타격부용 지지부(330)의 업/다운(up/down)에 의해 타격부(320)가 업/다운(up/down)되므로, 결국 타격핸드(310)가 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)에 의해 업/다운(up/down)된다.

본 실시예에서 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는 한 쌍으로 마련된다. 이러한 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)는, 타격부용 지지부(330)가 결합되는 타격용 엘엠 블록(LM block, 341)과, 타격용 엘엠 블록(341)에 연결되며 타격용 엘엠 블록(341)의 이동을 안내하는 타격용 엘엠 가이드(LM guide, 미도시)와, 타격용 엘엠 블록(341)에 연결되며 타격용 엘엠 블록(341)의 이동을 이동시키는 타격용 구동 모터(343)를 포함한다.

이러한 타격용 구동 모터(343)는 속도제어가 가능하다. 즉 본 실시예에 따른 타격용 구동 모터(343)에는 속도제어 범위가 넓은 모터가 사용된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격유닛(300)이 엘엠(LM) 방식으로 구동되는 타격용 업/다운(up/down) 구동부(340)를 구비함으로써, 타격핸드(310)의 업/다운(up/down) 속도를 조절할 수 있다.

따라서, 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 타격핸드(310)의 업/다운(up/down) 속도를 가변시킬 수 있어 더미 글라스(dummy glass) 타격 시 단위기판에 발생되는 불량을 최소화할 수 있는 동시에 택트 타임(tact time)을 줄일 수 있는 최적의 타격속도(이러한 최적의 타격속도는 더미 글라스의 크기 및 두께 등에 의해 달라질 수 있다)로 타격핸드(310)를 업/다운(up/down)시킬 수 있으며, 그에 따라 택트 타임(tact time) 감소를 통해 생산성을 향상시킬 수 있다.

한편 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 스테이지유닛(100)에 이웃하게 배치되며 안착 스테이지모듈(110)에 원기판을 로딩하는 원기판 로딩유닛(미도시)과, 스테이지유닛(100)에 이웃하게 배치되며 안착 스테이지모듈(110)에서 단위기판을 언로딩하는 단위기판 언로딩유닛(미도시)을 더 포함한다.

이하에서 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치의 동작을 설명한다.

도 7은 안착 스테이지모듈(110)들이 수평 상태로 배치된 경우인데, 이때는 안착 스테이지모듈(110)들 상에 원기판이 안착된다.

이후 도 8에 도시된 바와 같이, 회전캠(211)의 회전에 의해 요입부(Y)가 지지대(117)의 아래쪽에 위치되면, 안착 스테이지모듈(110)의 상부 몸체부(112)가 틸팅되어 원기판이 절단된다.

이때, 안착 스테이지모듈(110)을 틸팅시키는 틸팅 구동모듈(200)은 처짐 방지부(120)에 지지됨으로써, 대면적의 원기판을 절단하기 위해 길이가 긴 볼 스플라인 샤프트(200)를 사용되더라도 볼 스플라인 샤프트(200)에 처짐에 의해 변형이 발생되지 않는다.

한편 본 실시예의 경우, 안착 스테이지모듈(110)들은 동시에 틸팅되는 것이 아니라 순차적으로 절단된다. 이러한 동작이 구현되기 위해 각각의 회전캠(211)은, 볼 스플라인 너트(221)에 결합 시 요입부(Y)의 위치가 서로 다른 각도를 갖도록 배치된다.

따라서 회전캠(211)들의 회전 시 각각의 지지대(117)는 순차적으로 각각의 회전캠(211)의 요입부(Y)에 위치되므로, 도 8의 각각의 안착 스테이지모듈(110)은 이후 좌측방향으로 순차적으로 틸팅된다.

한편, 앞서 설명한 상부 몸체부(112)의 돌출부(114)는, 상부 몸체부(112)의 상면부에서 돌출되어 마련되어 원기판을 지지함으로써, 원기판의 끝단 부분의 버(burr, 미도시)가 안착 스테이지(110)의 상면부에 접촉되는 것을 막을 수 있다.

여기서, 버(burr)는 원기판의 제작 시 원기판의 끝단부에 발생되는 칼날 형상의 돌기를 말한다. 만일 이러한 버(burr)가 상부 몸체부(112)의 상면부에 접촉된 상태에서 안착 스테이지(110)가 틸팅되면, 원기판이 스크라이브 라인이 아닌 다른 부위에서 절단되어 단위기판에 파손 또는 크랙이 발생될 수 있다.

따라서 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 원기판을 접촉 지지하는 돌출부(114)가 상부 몸체부(112)의 중앙 영역에 돌출되어 마련됨으로써, 원기판의 끝단 부분의 버(burr)가 상부 몸체부(112)의 상면부에 접촉되는 것을 막을 수 있고, 그에 따라 원기판의 절단 시 버(burr)에 의한 단위기판의 파손을 막을 수 있다.

다음, 단위기판 또는 더미 글라스의 크기에 따라 타격유닛(300)의 타격핸드 간격 조절부(320)에 의해 타격핸드(310)의 간격이 조절된다. 이때 스테이지유닛(100)의 스테이지유닛용 간격 조절부(130)에 의해 더미 글라스가 타격핸드(310)의 아래에 정위치되도록 안착 스테이지모듈(110)이 이동될 수도 있다.

다음, 타격핸드(310)가 하강하여 더미 글라스를 타격함으로써, 단위기판으로부터 더미 글라스가 제거된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 더미 글라스 제거장치는, 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 구비함으로써, 틸팅 구동모듈의 처짐에 의해 변형을 되는 것을 방지할 수 있으며, 그에 따라 안착 스테이지모듈의 비정상적으로 틸팅되는 것을 방지하며 절단된 단위기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 스테이지유닛 110: 안착 스테이지모듈
111: 하부 몸체부 112: 상부 몸체부
113: 틸팅용 탄성체 114: 돌출부
115: 진공홀 116: 그루브
117: 지지대 118: 틸팅 중심축
120: 처짐 방지부 122: 지지 플레이트
123: 지지 베어링
130: 스테이지유닛용 간격 조절부
131: 스테이지유닛용 엘엠 블록
132: 스테이지유닛용 엘엠 가이드
133: 스테이지유닛용 리니어 모터
134: 스테이지유닛용 고정자 135: 스테이지유닛용 가동자
140: 스테이지 프레임 200: 틸팅 구동모듈
210: 틸팅 조작부 211: 회전캠
220: 틸팅 조작부용 구동부 221: 볼 스플라인 너트
222: 볼 스플라인 샤프트 223: 서보모터
300: 타격유닛 310: 타격핸드
311: 핸드 몸체부 312: 나이프부
313: 충격 흡수부 314: 제1 탄성체
315: 제2 탄성체 316: 탄성바이어스력 조절부
317: 가압볼트 318: 고정너트
320: 타격부 321: 타격부 프레임
330: 타격부용 지지부
340: 타격용 업/다운(up/down) 구동부
341: 타격용 엘엠 블록 343: 타격용 구동 모터
350: 피치각도 조절부 351: 조절용 힌지축
352: 피치각도 조절용 승강부 353: 피치각도 조절용 구동부
354: 조절너트 360: 타격유닛용 간격 조절부
361: 타격유닛용 엘엠 블록 362: 타격유닛용 엘엠 가이드
363: 타격유닛용 리니어 모터 364: 타격유닛용 고정자
365: 타격유닛용 가동자 400: 차폐부
Y: 요입부

Claims (18)

1. 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈과, 상기 안착 스테이지모듈들을 틸팅시켜 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 복수의 상기 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈을 구비하는 스테이지유닛; 및
   상기 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 상기 더미 글라스를 타격하는 타격유닛을 포함하며,
   상기 스테이지유닛은,
   상기 틸팅 구동모듈의 처짐이 방지되도록 상기 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 더 포함하고,
   상기 처짐 방지부는,
   상기 틸팅 구동모듈에 연결되며, 상기 스테이지유닛에 마련되는 스테이지 프레임에 지지되며,
   상기 틸팅 구동모듈은,
   상기 안착 스테이지모듈의 틸팅 중심에서 이격된 위치에서 상기 안착 스테이지모듈을 각각 지지하며, 회전 동작에 기초하여 상기 안착 스테이지모듈을 선택적으로 틸팅하는 복수의 틸팅 조작부; 및
   상기 틸팅 조작부가 결합되며, 상기 틸팅 조작부를 회전시키는 틸팅 조작부용 구동부를 포함하고,
   상기 틸팅 조작부는,
   외주면에서 중심을 향하여 함몰되어 형성되는 요입부가 마련되는 회전캠을 포함하며,
   상기 틸팅 조작부용 구동부는,
   상기 회전캠이 결합되는 볼 스플라인 너트(ball spline nut); 및
   상기 볼 스플라인 너트를 회전시키는 볼 스플라인 샤프트(ball spline shaft)를 포함하고
   상기 처짐 방지부는,
   상기 스테이지 프레임에 지지되는 지지 플레이트; 및
   상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 볼 스플라인 너트에 결합되는 지지 베어링을 포함하는 더미 글라스 제거장치.
2. 단위기판의 제조를 위한 스크라이브 라인(scribe line)이 형성된 원기판이 안착되는 복수의 안착 스테이지모듈과, 상기 안착 스테이지모듈들을 틸팅시켜 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 복수의 상기 단위기판으로 절단하는 틸팅 구동모듈을 구비하는 스테이지유닛; 및
   상기 단위기판들에 붙어있는 더미 글라스(dummy glass)를 제거하기 위해 상기 더미 글라스를 타격하는 타격유닛을 포함하며,
   상기 스테이지유닛은,
   상기 틸팅 구동모듈의 처짐이 방지되도록 상기 틸팅 구동모듈을 지지하는 처짐 방지부를 더 포함하고,
   상기 처짐 방지부는,
   상기 틸팅 구동모듈에 연결되며, 상기 스테이지유닛에 마련되는 스테이지 프레임에 지지되며,
   상기 틸팅 구동모듈은,
   상기 안착 스테이지모듈의 틸팅 중심에서 이격된 위치에서 상기 안착 스테이지모듈을 각각 지지하며, 회전 동작에 기초하여 상기 안착 스테이지모듈을 선택적으로 틸팅하는 복수의 틸팅 조작부; 및
   상기 틸팅 조작부가 결합되며, 상기 틸팅 조작부를 회전시키는 틸팅 조작부용 구동부를 포함하고
   상기 틸팅 조작부는,
   외주면에서 중심을 향하여 함몰되어 형성되는 요입부가 마련되는 회전캠을 포함하며,
   상기 안착 스테이지모듈은,
   상기 처짐 방지부에 연결되는 하부 몸체부;
   상기 하부 몸체부에 틸팅 가능하게 결합되며, 상기 회전캠에 지지되는 상부 몸체부; 및
   상기 상부 몸체부 및 상기 하부 몸체부에 연결되며, 상기 상부 몸체부를 상기 하부 몸체부 방향으로 탄성바이어스하는 틸팅용 탄성체를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 상부 몸체부는, 상면부의 중앙 영역에 돌출되어 마련되며 상기 원기판 및 상기 단위기판을 접촉 지지하는 돌출부를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 돌출부에는,
   상기 원기판 및 상기 단위기판을 진공으로 흡착시키는 복수의 진공홀과, 상기 돌출부의 표면에서 함몰되어 형성되며 상기 진공홀과 연통되는 그루브가 마련되는 더미 글라스 제거장치.
5. 삭제
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 스테이지유닛은,
   상기 처짐 방지부를 차폐하는 차폐부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 스테이지유닛은,
   상기 안착 스테이지모듈들 사이의 이격거리를 조절하는 스테이지유닛용 간격 조절부를 더 포함하는 더미 글라스 제거장치.
8. 삭제
9. 제7항에 있어서,
   상기 스테이지유닛용 간격 조절부는,
   상기 처짐 방지부가 결합되는 스테이지유닛용 엘엠 블록;
   상기 스테이지 프레임에 결합되며, 상기 스테이지유닛용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 스테이지유닛용 엘엠 가이드; 및
   상기 처짐 방지부에 결합되며, 상기 처짐 방지부를 이동시키는 스테이지유닛용 리니어 모터를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 스테이지유닛용 리니어 모터는,
    상기 스테이지 프레임에 결합되는 스테이지유닛용 고정자; 및
    상기 스테이지유닛용 고정자에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며. 상기 처짐 방지부에 결합되는 스테이지유닛용 가동자를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 타격유닛은,
    상기 더미 글라스를 타격하는 상기 복수의 타격핸드를 구비하는 타격부; 및
    상기 타격부에 마련되며, 상기 타격핸드들 사이의 이격거리를 조절하는 타격유닛용 간격 조절부를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 타격유닛용 간격 조절부는,
    상기 타격핸드가 결합되는 타격유닛용 엘엠 블록;
    상기 타격유닛용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 타격유닛용 엘엠 가이드; 및
    상기 타격핸드에 결합되며, 상기 타격핸드를 이동시키는 타격유닛용 리니어 모터를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 타격유닛용 리니어 모터는,
    상기 타격부에 마련되는 타격부 프레임에 결합되는 타격유닛용 고정자; 및
    상기 타격유닛용 고정자에 슬라이딩 이동가능하게 연결되며, 상기 타격핸드에 결합되는 타격유닛용 가동자를 포함하는 더미 글라스 제거장치.
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