CN106773157B - 位置校正装置及位置校正方法 - Google Patents
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Abstract
本发明揭露一种位置校正装置及位置校正方法,用于基板校正至指定位置,位置校正装置包含第一校正组及第二校正组。第一校正组包含具有第一弹性件的第一校正单元,第二校正组包含具有第二弹性件的第二校正单元,第二弹性件的弹性系数小于第一弹性件的弹性系数;使用时先驱动第一校正组沿第一方向移动至第一预定位置,然后驱动第二校正组沿第二方向移动至第二预定位置,第二方向与第一方向相反,以将基板夹持于第一校正组与第二校正组之间。本发明先作动的校正组的弹性系数大,保证校正的准确性和稳定性,后作动的校正组的弹性系数小,保证施加于基板上的作用力增加曲线平缓,降低基板产生裂纹的风险。
Description
技术领域
本发明涉及一种位置校正装置及位置校正方法,尤其是用于对显示面板的放置位置进行校正并可防止校正过程中显示面板产生裂纹甚至破片的位置校正装置及位置校正方法。
背景技术
液晶显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。制作液晶显示装置时,需要在玻璃基板的表面上形成电性微结构,为了确保电性微结构形成于正确的位置上,需要将玻璃基板放置于操作台面上的指定位置。实际操作中,玻璃基板放置于操作台面上时不一定准确地放置于上述指定位置,故需要在玻璃基板放置于操作台面后对其位置进行校正。请参考图1,图1为现有技术中位置校正装置的局部俯视图。如图1所示,位置校正装置1000’包含第一校正组1100’以及第二校正组1200’,第一校正组1100’和第二校正组1200’分别从基板2000’的相对两侧施力(施力方向如图1中箭头所示),以将基板2000’夹紧并推送至指定位置。一般的,玻璃基板的边缘受到撞击发生破裂的临界值约为100Mpa,若第一校正组1100’和/或第二校正组1200’在夹紧及推送基板2000’的过程中对基板2000’的撞击力过大,则可能导致基板2000’产生裂纹,增加后续制程过程中基板2000’发生破片的风险。
因此,如何在对基板进行位置校正的过程中防止其产生裂纹,成为业界研究的方向之一。
发明内容
本发明的目的在于提供一种位置校正装置及位置校正方法,其可防止在对基板进行位置校正的过程中产生裂纹,从而降低基板发生破片的风险。
为了达到上述目的,本发明提出一种位置校正装置,用于将放置于操作台面上的基板校正至指定位置,该基板具有相对的第一侧及第二侧,该基板位于该指定位置时,该第一侧位于第一预定位置,该第二侧位于该第二预定位置,该位置校正装置包含第一校正组及第二校正组。第一校正组邻近该基板的该第一侧设置,该第一校正组包含第一校正单元,该第一校正单元包含第一弹性件,该第一弹性件具有第一弹性系数;第二校正组邻近该基板的该第二侧设置,该第二校正组包含第二校正单元,该第二校正单元包含第二弹性件,该第二弹性件具有第二弹性系数,该第二弹性系数小于该第一弹性系数;使用时,先驱动该第一校正组沿第一方向移动至该第一预定位置,该第一方向为该第一侧指向该第二侧的方向,然后驱动该第二校正组沿第二方向移动至该第二预定位置,该第二方向与该第一方向相反,从而将该基板夹持于该第一校正组与该第二校正组之间。
作为可选的技术方案,该位置校正装置还包含第一气缸,该第一气缸连接该第一校正组,该第一气缸用于驱动该第一校正组移动。
作为可选的技术方案,该第一校正单元还包含与该第一弹性件相连接的第一抵挡部,该第一抵挡部具有第一抵挡弧面,该第二校正组移动至该第二预定位置时,该第一抵挡弧面抵接该基板的该第一侧。
作为可选的技术方案,该第一抵挡部包含相连接的第一连接部及第一抵接部,该第一连接部的两端分别连接该第一弹性件及该第一抵接部,该第一抵接部具有该第一抵挡弧面,该第一连接部的硬度大于该第一抵接部的硬度。
作为可选的技术方案,该第一校正组还包含第三校正单元,该第二校正组还包含第四校正单元,该第一校正单元与该第二校正单元相对,该第三校正单元与该第四校正单元相对。
作为可选的技术方案,该第一连接部的材质为聚醚醚酮,该第一抵接部的材质为聚四氟乙烯。
作为可选的技术方案,该第一预定位置为单一位置;或者该第一预定位置为一段区域范围。
此外,本发明还提出一种位置校正方法,用于将放置于操作台面上的基板校正至指定位置,该基板具有相对的第一侧及第二侧,该基板位于该指定位置时,该第一侧位于第一预定位置,该第二侧位于第二预定位置,该位置校正方法包含:
步骤a:提供位置校正装置,该位置校正装置包含第一校正组以及第二校正组。第一校正组邻近该基板的该第一侧设置,该第一校正组包含第一校正单元,该第一校正单元包含第一弹性件,该第一弹性件具有第一弹性系数;第二校正组邻近该基板的该第二侧设置,该第二校正组包含第二校正单元,该第二校正单元包含第二弹性件,该第二弹性件具有第二弹性系数,该第二弹性系数小于该第一弹性系数;
步骤b:驱动该第一校正组沿第一方向移动至该第一预定位置,该第一方向为该第一侧指向该第二侧的方向;以及
步骤c:驱动该第二校正组沿第二方向移动至该第二预定位置,该第二方向与该第一方向相反,从而将该基板夹持于该第一校正组与该第二校正组之间。
作为可选的技术方案,该操作台面上具有多个真空吸附孔,该方法还包含步骤d:校正完毕后,该多个真空吸附孔吸附该基板,以将该基板定位于该指定位置。
作为可选的技术方案,校正前该第一校正组位于第一原始位置,该第二校正组位于第二原始位置,该方法还包含步骤e:校正完毕后,先驱动该第二校正组移动回该第二原始位置,再驱动该第一校正组移动回该第一原始位置。
本发明的位置校正装置及位置校正方法,校正过程中,先作动的第一校正组的弹性系数较大,可保证校正的准确性和稳定性,后作动的第二校正组的弹性系数较小,可保证施加于基板上的作用力增加曲线平缓,降低基板产生裂纹的风险,减小基板发生破片的几率。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1为现有技术的位置校正装置的局部俯视图;
图2为本发明的位置校正方法的流程图;
图3A为本发明的基板放置于操作台面时的局部俯视图;
图3B为本发明的第一校正组移动至第一预定位置时的局部俯视图;
图3C为本发明的第二校正组移动至第二预定位置时的局部俯视图;
图4A为本发明的第一校正单元的局部正视图;
图4B为本发明的第一校正单元的局部俯视图;
图4C为本发明的第一校正单元的局部左视图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。
在以下实施例中,在不同的图中,相同部分是以相同标号表示。
请参考图2至图4C,图2为本发明的位置校正方法的流程图;图3A为本发明的基板放置于操作台面时的局部俯视图;图3B为本发明的第一校正组移动至第一预定位置时的局部俯视图;图3C为本发明的第二校正组移动至第二预定位置时的局部俯视图;图4A为本发明的第一校正单元的局部正视图;图4B为本发明的第一校正单元的局部俯视图;图4C为本发明的第一校正单元的局部左视图。
本发明用于将放置于操作台面(未绘示)上的基板2000校正至指定位置P,以确保电性微结构或者其他结构可形成于基板2000上的正确位置。如图3A所示,基板2000具有相对的第一侧2100及第二侧2200。当基板2000位于指定位置P时,其第一侧2100将位于第一预定位置A,第二侧2200将位于第二预定位置B。换句话说,第一预定位置A和第二预定位置B确定了校正后基板2000的位置。实际操作中,第一预定位置A可为单一位置或者一段区域范围(通常为较小的区域范围,区域范围的大小可视实际精度需求而确定)。当第一预定位置A为单一位置时,第一侧2100位于第一预定位置A意味着第一侧2100对齐第一预定位置A;当第一预定位置A为一段区域范围时,第一侧2100位于第一预定位置A意味着第一侧2100位于该区域范围内。同样的,第二预定位置B可为单一位置或者一段区域范围,当第二预定位置B为单一位置时,第二侧2200位于第二预定位置B意味着第二侧2200对齐第二预定位置B;当第二预定位置B为一段区域范围时,第二侧2200位于第二预定位置B意味着第二侧2200位于该区域范围内。
以下介绍本发明的位置校正方法,其包含:
步骤a(S100):提供位置校正装置1000。如图3A所示,位置校正装置1000包含第一校正组1100以及第二校正组1200。第一校正组1100邻近基板2000的第一侧2100设置,第一校正组1100包含第一校正单元1110,第一校正单元1110包含第一弹性件1120,该第一弹性件1120具有第一弹性系数k1。第二校正组1200邻近基板2000的第二侧2200设置,第二校正组1200包含第二校正单元1210,第二校正单元1210包含第二弹性件1220,第二弹性件1220具有第二弹性系数k2,第二弹性系数k2小于第一弹性系数k1。
步骤b(S200):如图3B所示,驱动第一校正组1100沿第一方向X移动至第一预定位置A,第一方向X为第一侧2100指向第二侧2200的方向。本实施例中,第一校正组1100移动至第一预定位置A指的是第一校正组1100的最前端到达第一预定位置A。
步骤c(S300):如图3C所示,驱动第二校正组1200沿第二方向Y移动至第二预定位置B,第二方向Y与第一方向X相反,从而将基板2000夹持于第一校正组1100与第二校正组1200之间。本实施例中,第二校正组1200移动至第二预定位置B指的是第二校正组1200的最前端到达第二预定位置B。
本发明的位置校正方法及位置校正装置,第一弹性件1120的第一弹性系数k1大于第二弹性件1220的第二弹性系数k2,且在校正过程中,具有第一弹性件1120的第一校正组1100先作动,具有第二弹性件1220的第二校正组后作动,亦即本发明中弹性系数较大的第一校正组1100先作动,弹性系数较小的第二校正组1200后作动。
由于第一校正组1100中第一弹性件1120的第一弹性系数k1较大,若施加于第一弹性件1120上的作用力较小,则其不会发生形变,即,第一校正组1100的最前端不会发生位移。这样一来,当第一校正组1100先移动至第一预定位置A后,在后续第二校正组1200沿第二方向Y朝向第二预定位置B移动的过程中,于第二校正组1200藉由基板2000传递至第一校正组1100的作用力不足以使得第一弹性件1120发生形变,保证了与第一校正组1100抵接的基板2000的第一侧2100不会因为第二校正组1200的推挤而移离第一预定位置A,确保基板2000的第一侧2100的最终位置位于第一预定位置A,从而提高了校正的准确性和稳定性。
实际操作中,较佳的,将第一预定位置A及第二预定位置B均设定为一段区域范围。原因之一为:第一校正组1100需藉由其他驱动装置(例如马达)来驱动至指定位置,驱动完成时第一校正组1100的位置取决于驱动装置的运动精度水平,将第一预定位置A设定为一小段区域范围,既可以降低驱动装置的运动精度要求,又可以满足产品精度要求。第二预定位置B的情况与第一预定位置A类似,不另赘述。
原因之二为:当第一校正组1100移动至第一预定位置A,然后驱动第二校正组1200移动至第二预定位置B的过程中,第二校正组1200藉由基板2000传递作用力至第一校正组1100,若第一预定位置A为单一位置,同时第一校正组1100在上述作用力下发生了位移,则基板2000的第一侧2100将跟随第一校正组1100亦发生位移,导致最终移离第一预定位置A。若第一预定位置A为一段区域范围,即使第二校正组1200藉由基板2000传递至第一校正组1100的作用力使得第一弹性件1120发生了些微形变,而使得与第一校正组1100抵接的基板2000的第一侧2100发生了些微位移,但由于第一预定位置A为一段区域范围,故仍可保证基板2000的第一侧2100位于第一预定位置A。
上述区域范围的大小,可根据实际的产品精度要求以及驱动装置的精度水平来确定,并根据此区域范围挑选弹性系数合适的第一校正组1100及第二校正组1200,以确保校正的准确性和稳定性。
此外,在第二校正组1200受到外力驱使,沿第二方向Y朝向第二预定位置B移动的过程中,第二校正组1200逐渐接触基板2000的第二侧2200,由于第二弹性件1220的弹性系数k2较小,故其施加于基板2000的第二侧2200上的作用力增加曲线较为平缓,减小了第二校正组1200对基板2000的撞击力,减小基板2000产生裂纹的风险,降低基板2000发生破片的几率。
实际操作中,操作台面(未绘示)上可具有多个真空吸附孔(未绘示),本发明的位置校正方法还可包含:
步骤d:校正完毕后,上述多个真空吸附孔吸附基板2000,以将基板2000定位于指定位置P。由于基板2000被固定于指定位置P,使得基板2000上形成电性结构微结构或其他微结构的过程中不会发生位移,从而确保电性微结构或其他微结构形成于基板2000上的正确位置。当然,校正完毕后,亦可通过其他方式来将基板2000的位置进行固定,以确保后续制程的质量,不以上述真空吸附为限。
实际操作中,如图3A所示,校正前第一校正组1100邻近基板2000的第一侧2100,并位于第一原始位置A’,第二校正组1200邻近基板2000的第二侧2200,并位于第二原始位置B’,本发明的位置校正方法还包含:
步骤e:校正完毕后,先驱动第二校正组1200移动回第二原始位置B’,再驱动第一校正组1100移动回第一原始位置A’。
实际操作中,步骤d和步骤e的执行顺序可调换,两者不分先后,使用者可根据实际需要自行确定两者的顺序。
本发明的位置校正方法,在校正过程中,先作动具有较大弹性系数的第一校正组1100,再作动具有较小弹性系数的第二校正组1200;当校正完毕后,先作动具有较小弹性系数的第二校正组1200,再作动具有较大弹性系数的第一校正组1100。校正过程中先后作动顺序的有益效果已于上文中阐述。以下说明校正完毕后作动顺序的有益效果。
校正完毕后,先移离第二校正组1200,则此时基板2000的第一侧2100抵靠于第一校正组1100而位于第一预定位置A,若此时有不受控制的外力作用于基板2000,由于第一校正组1100的弹性系数较大,其不会发生形变,使得基板2000的第一侧2100不会发生位移,从而确保基板2000可稳定地位于指定位置P,确保了校正效果。当第一预定位置A为一小段区域范围时,即使第一校正组1100在外力的作用下发生些微形变,使得基板2000的第一侧2100一起发生了些微位移,但由于第一预定位置A为一小段区域范围,故仍可保证基板2000的第一侧2100位于第一预定位置A,从而确保基板2000可稳定地位于指定位置P。
若在校正完毕后先移离第一校正组1100,则会影响校正效果。原因是:移离第一校正组1100后,基板2000的第二侧2200抵靠于第二校正组1200而位于第二预定位置B,若此时有不受控制的外力作用于基板2000,由于第二校正组1200的弹性系数较小,其较容易发生形变,使得基板2000的第二侧2200跟随第二弹性件1220的形变而发生位移,导致基板2000移离指定位置P,校正效果受到影响。
如图3A所示,位置校正装置1000还包含第一气缸1300,第一气缸1300连接第一校正组1100,第一气缸1300用于驱动第一校正组1100移动。实际操作中,位置校正装置1000亦可还包含第二气缸1400,第二气缸1400连接第二校正组1100,第二气缸1400用于驱动第二校正组1200移动。本实施例中,第一气缸1300和第二气缸1400为两个独立的结构,实际操作上,第一气缸1300和第二气缸1400可为一体结构,即利用同一气缸来驱动第一校正组1100及第二校正组1200。当然,实际操作中,亦可通过其他方式来驱动第一校正组1100及第二校正组1200的移动,不以上述气缸为限。
如图4A及图4B所示,本实施例中,第一弹性件1120为弹簧,且本实施例中第一弹性件1120包含三根相同的弹簧,三根弹簧呈等腰三角形排布,以确定第一校正组1100能够较为均匀地施加作用力于基板2000上,而不致在夹紧基板2000的过程中出现第一校正组1100歪斜的现象。实际操作中,亦可将第一弹性件1120设置为对称的两根弹簧、四根弹簧、五根弹簧等(优选大于等于两根弹簧),亦或者第一弹性1120为一个实心橡胶柱或空心橡胶圈等,保证第一校正组1100能够施加均匀作用力即可。
本实施例中,第一弹性件1220的弹性系数为0.25N/mm~0.4N/mm,第二弹性件1320的弹性系数为0.15N/mm~0.25N/mm。实际操作中,使用者可根据实际需要进行选择,不以上述为限。
如图4A、图4B及图4C所示,第一校正单元1110还包含与第一弹性件1120相连接的第一抵挡部1130,第一抵挡部1130具有第一抵挡弧面1101,第一校正组1100与第二校正组1200夹紧基板2000时,第一抵挡弧面1101抵接基板2000的第一侧2100。第二校正单元1210与第一校正单元1110相比较,除了弹性件的弹性系数不同之外,其余结构类似,故不另赘述。
本发明中,第一抵挡弧面1101的曲率较小,例如介于100mm~200mm之间,这样的设计,可使得第一抵挡弧面1101抵接基板2000时两者的接触面积较大,从而在基板2000受到同样大小的推力时,由于本发明中第一抵挡弧面1101与基板2000的接触面积较大,从而减小了单位面积的压强,降低了基板2000局部受到过强冲击力导致产生裂纹的风险。
本发明中,由于第一气缸1300先于第一弹性件1120的一端连接,再藉由第一弹性件1120的另一端与第一抵挡部1130连接。即,第一气缸1300藉由柔性的第一弹性件1120间接与第一抵挡部1130连接。这样一来,在夹紧基板2000的过程中,第一气缸1300施加的作用力不是直接作用于第一抵挡部1130上,而是藉由第一弹性件1120的形变缓冲,使得第一抵挡部1130接收到逐渐增加的作用力,并将该逐渐增加的作用力施加于基板2000上的作用力,这样一来,在第一抵挡部1130夹紧基板2000上的过程中,基板2000接收到的不是瞬间较大的冲击力,而是逐渐增加的作用力,从而降低了基板2000产生裂纹的风险。实际操作中,该作用力的最大值可通过实际需要调节第一弹性件1120的压缩量和弹性系数来调整,以适应不同强度的基板2000。
如图4A及图4B所示,第一抵挡部1130包含相连接的第一连接部1140及第一抵接部1150,第一连接部1140的两端分别连接第一弹性件1120及第一抵接部1150,第一抵接部1150具有上述第一抵挡弧面1101,第一连接部1140的硬度大于第一抵接部1150的硬度。由于第一连接部1140的硬度较高,耐磨损,将其与第一弹性件1120相连接,可确保第一校正组1100的使用寿命及稳定性。当第一校正组1100及第二校正组1200夹紧基板2000时,由于第一抵接部1150的硬度相对较低,即校正过程中与基板2000相接触的部分较软,可在夹紧过程中依靠第一抵接部1150的自身形变产生缓冲,从而可防止校正过程中基板2000被夹伤。本实施例中,第一连接部1140的材质为聚醚醚酮(PEEK),第一抵接部1150的材质为聚四氟乙烯(PTFE,俗称铁氟龙)。实际操作中,第一抵接部1150优选摩擦系数较低的材质,从而使得第一抵接部1150不易与基板2000粘连,可避免校正完毕后移离第一校正组1100时由于第一抵接部1150与基板2000的粘连而使基板2000随着第一抵接部1150的移离而发生位移,确保校正效果。实际操作中,使用者依靠根据实际需要自行选择第一连接部1140及第一抵接部1150的材质,不以上述为限。
如图3A、图3B及图3C所示,第一校正组1100还包含第三校正单元1160,第二校正组1200还包含第四校正单元1260,第一校正单元1110与第二校正单元1210相对,第三校正单元1160与第四校正单元1260相对。这样的设置可使得夹紧过程中,基板2000的四个角落可受到较为均匀的作用力,有利于将基板2000校正至指定位置P。校正组的数量可根据实际需要求而定,较佳的,校正组成对设置。
本发明的位置校正装置及位置校正方法,校正过程中,先作动的第一校正组的弹性系数较大,可保证校正的准确性和稳定性,后作动的第二校正组的弹性系数较小,可保证施加于基板上的作用力增加曲线平缓,降低基板产生裂纹的风险,减小基板发生破片的几率。
藉由以上较佳具体实施例的详述,是希望能更加清楚描述本发明的特征与精神,而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的保护范围加以限制。相反地,其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的权利要求的保护范围内。因此,本发明所申请的权利要求的保护范围应该根据上述的说明作最宽广的解释,以致使其涵盖所有可能的改变以及具相等性的安排。
Claims (10)
1.一种位置校正装置,用于将放置于操作台面上的基板校正至指定位置,该基板具有相对的第一侧及第二侧,该基板位于该指定位置时,该第一侧位于第一预定位置,该第二侧位于第二预定位置,其特征在于该位置校正装置包含:
第一校正组,邻近该基板的该第一侧设置,该第一校正组包含第一校正单元,该第一校正单元包含第一弹性件,该第一弹性件具有第一弹性系数;以及
第二校正组,邻近该基板的该第二侧设置,该第二校正组包含第二校正单元,该第二校正单元包含第二弹性件,该第二弹性件具有第二弹性系数,该第二弹性系数小于该第一弹性系数;
使用时,先驱动该第一校正组沿第一方向移动至该第一预定位置,该第一方向为该第一侧指向该第二侧的方向,然后驱动该第二校正组沿第二方向移动至该第二预定位置,该第二方向与该第一方向相反,从而将该基板夹持于该第一校正组与该第二校正组之间。
2.根据权利要求1所述的位置校正装置,其特征在于:该位置校正装置还包含第一气缸,该第一气缸连接该第一校正组,该第一气缸用于驱动该第一校正组移动。
3.根据权利要求1所述的位置校正装置,其特征在于:该第一校正单元还包含与该第一弹性件相连接的第一抵挡部,该第一抵挡部具有第一抵挡弧面,该第二校正组移动至该第二预定位置时,该第一抵挡弧面抵接该基板的该第一侧。
4.根据权利要求3所述的位置校正装置,其特征在于:该第一抵挡部包含相连接的第一连接部及第一抵接部,该第一连接部的两端分别连接该第一弹性件及该第一抵接部,该第一抵接部具有该第一抵挡弧面,该第一连接部的硬度大于该第一抵接部的硬度。
5.根据权利要求4所述的位置校正装置,其特征在于:该第一连接部的材质为聚醚醚酮,该第一抵接部的材质为聚四氟乙烯。
6.根据权利要求1所述的位置校正装置,其特征在于:该第一校正组还包含第三校正单元,该第二校正组还包含第四校正单元,该第一校正单元与该第二校正单元相对,该第三校正单元与该第四校正单元相对。
7.根据权利要求1所述的位置校正装置,其特征在于:该第一预定位置为单一位置或一段区域范围。
8.一种位置校正方法,用于将放置于操作台面上的基板校正至指定位置,该基板具有相对的第一侧及第二侧,该基板位于该指定位置时,该第一侧位于第一预定位置,该第二侧位于第二预定位置,其特征在于该位置校正方法包含:
步骤a:提供位置校正装置,该位置校正装置包含:
第一校正组,邻近该基板的该第一侧设置,该第一校正组包含第一校正单元,该第一校正单元包含第一弹性件,该第一弹性件具有第一弹性系数;以及
第二校正组,邻近该基板的该第二侧设置,该第二校正组包含第二校正单元,该第二校正单元包含第二弹性件,该第二弹性件具有第二弹性系数,该第二弹性系数小于该第一弹性系数;
步骤b:驱动该第一校正组沿第一方向移动至该第一预定位置,该第一方向为该第一侧指向该第二侧的方向;以及
步骤c:驱动该第二校正组沿第二方向移动至该第二预定位置,该第二方向与该第一方向相反,从而将该基板夹持于该第一校正组与该第二校正组之间。
9.根据权利要求8所述的位置校正方法,其特征在于:该操作台面上具有多个真空吸附孔,该方法还包含:
步骤d:校正完毕后,该多个真空吸附孔吸附该基板,以将该基板定位于该指定位置。
10.根据权利要求8或9所述的位置校正方法,其特征在于:校正前该第一校正组位于第一原始位置,该第二校正组位于第二原始位置,该方法还包含:
步骤e:校正完毕后,先驱动该第二校正组移动回该第二原始位置,再驱动该第一校正组移动回该第一原始位置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611110051.5A CN106773157B (zh) | 2016-12-06 | 2016-12-06 | 位置校正装置及位置校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106773157A CN106773157A (zh) | 2017-05-31 |
CN106773157B true CN106773157B (zh) | 2018-08-31 |
Family
ID=58878336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611110051.5A Active CN106773157B (zh) | 2016-12-06 | 2016-12-06 | 位置校正装置及位置校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106773157B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109283708B (zh) * | 2017-07-20 | 2021-12-21 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法 |
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-
2016
- 2016-12-06 CN CN201611110051.5A patent/CN106773157B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106773157A (zh) | 2017-05-31 |
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PB01 | Publication | ||
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