TW201514502A - 晶片檢測座 - Google Patents

晶片檢測座 Download PDF

Info

Publication number
TW201514502A
TW201514502A TW102135887A TW102135887A TW201514502A TW 201514502 A TW201514502 A TW 201514502A TW 102135887 A TW102135887 A TW 102135887A TW 102135887 A TW102135887 A TW 102135887A TW 201514502 A TW201514502 A TW 201514502A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
detecting
positioning member
positioning
wafer
inspection
Prior art date
Application number
TW102135887A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI497080B (zh
Inventor
Yi-Bi Huang
chuan-qi Wu
ying-jun Cai
Original Assignee
Chips Best Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chips Best Technology Co Ltd filed Critical Chips Best Technology Co Ltd
Priority to TW102135887A priority Critical patent/TW201514502A/zh
Publication of TW201514502A publication Critical patent/TW201514502A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI497080B publication Critical patent/TWI497080B/zh

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

一種晶片檢測座包含有:一檢測台,上設有一檢測區,檢測區側邊設有一定位擋牆。第一定位件,設於檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離檢測台的二位置間移動。第一定位件包含有至少一頂柱,第一定位件朝檢測台移動時頂柱可以伸至檢測台的台面上並且朝定位擋牆靠近。一第二定位件,設於檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離檢測台的二位置間移動。第二定位件包含有至少一頂柱,第二定位件朝檢測台移動時頂柱可以伸至檢測台的台面上並且朝定位擋牆靠近。

Description

晶片檢測座
本發明係與晶片的檢測設備有關,特別是一種晶片檢測座。
為了維持晶片在出廠時的交貨品質每一個晶片在出廠前都必須經過檢測的動作以確定該晶片的功能正常。目前晶片的檢測的動作都是利用人工手動的方式將一待檢測的晶片放置在一檢測機的檢測台上,讓檢測機進行檢測,完成後將晶片取下放置到檢測完成的位置然後再取一晶片放置到檢測機的檢測台上進行下一個晶片的檢測,如此的反覆進行。
這樣的檢測方式雖然可以達到檢測晶片的基本目的可是大多數的晶片又薄又扁再加上許多的晶片都設有背膠,因此以人工操作的方式來取放晶片並不容易。又,晶片的檢測是透過探針與晶片的檢測點觸接來進行,所以晶片在放置到檢測座時定位就非常的重要,若定位不準確會導至檢測結果不正確,因此如可提升晶片定位的精準度也是一個重要的課題。
本發明之一目的在於提供一種定位精確之晶片檢測座。
本發明之再一目的在於提供一種可以減少晶片與檢測座台面接觸面積之晶片檢測座。
為了達成前述目的,依據本發明所提供之一種晶片檢測座,包含有一檢測台,上設有一檢測區,該檢測區的側邊設有一定位擋牆。第一定位件,設於該檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台的二位置間移動。該第一定位件包含有至少一頂柱,該第一定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆靠近。一第二定位件,設於該檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台的二位置間移動。 該第二定位件包含有至少一頂柱,該第二定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆靠近。
其中該檢測座的台面上設有設有凸起以減少與晶片底面的接觸面積,使晶片可以更容易被拿取。
10‧‧‧檢測台
11‧‧‧台面
12‧‧‧檢測區
13‧‧‧定位擋牆
14‧‧‧凸起
15‧‧‧凹溝
131‧‧‧第一段
132‧‧‧第二段
20‧‧‧第一定位件
21‧‧‧頂柱
22‧‧‧導軌
30‧‧‧第二定位件
31‧‧‧頂柱
32‧‧‧導軌
第一圖係本發明之外觀立體示意圖。
第二圖係本發明之頂面視圖。
第三圖係本發明之頂面視圖,顯示定位件與晶片夾合的狀態。
第四圖係本發明之頂面視圖,顯示定位件與不同尺寸晶片定位的狀態。
為了詳細說明本發明之技術特點所在,茲舉以下之較佳實施例並配合圖式說明如後,其中:如第一圖至第三圖所示,為本發明之晶片檢測座係設置於晶片檢測機上,用來與探針座對應使探針座上所設置的探針可以與該檢測座上所放置的晶片觸接進行晶片的檢測。本發明晶片檢測座包含有:一檢測台10,該檢測台10具有一台面11,該台面11上設有一檢測區12,該檢測區12的側邊設有一定位擋牆13,該定位擋牆13具有一第一段131與一第二段132,該第一段131與該第二段132之間夾設一角度,在本實施例該第一段131與該第二段132之間夾設90度角並分別位於該檢測區12的二側邊。該台面上在檢測區12設有複數的凸起14,該等凸14起可以為矩形、圓形、三角形、多邊形或其他形狀,在本實施例中以矩形為說明例,該等凸起14呈矩陣排列。該台面11上設有複數凹溝15,該等凹溝15分別對應於該等凸起14之間的凹部。
一第一定位件20,設於該檢測台10的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台10的二位置間移動。該第一定位件20包含有至少一頂柱21,該第一定位件20朝該檢測台10移動時該頂柱21可以伸至該檢測台的台面11上並且朝該定位擋牆13的第一段131靠近。在本實施例該檢測台的 一側設有二導軌22,該第一定位件20穿設於該二導軌22上可沿該二導軌22移動,該第一定位件20為一活動塊,設有二頂柱21,該二頂柱分別落於該檢測台台面11的一凹溝15,該二頂柱21可沿該凹溝15朝該定位擋牆13移動,該頂柱21的直徑大於該凹溝15的深度。
一第二定位件30,設於該檢測台10的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台10的二位置間移動。該第二定位件30包含有至少一頂柱31,該第二定位件30朝該檢測台10移動時該頂柱31可以伸至該檢測台10的台面11上並且朝該定位擋牆13的第二段132靠近。在本實施例該檢測台10的一側設有二導軌32,該第二定位件30穿設於該二導軌32上可沿該二導軌32移動,該第二定位件30為一活動塊,設有二頂柱31,該二頂柱分別落於該檢測台台面11的一凹溝15,該二頂柱31可沿該凹溝15朝該定位擋牆13移動,該頂柱31的直徑大於該凹溝15的深度。
以本發明之結構當晶片C置放在檢測台台面11的檢測區12時,因為與該晶片C底面接觸的部位是檢測區12該等凸起14的頂面,相較於傳統的結構本發明中該檢測區12與該晶片C接觸的面積減少,因此晶片C更容易被拿起來。再者,當晶片放置在該檢測區後該第一定位件20與該第二定位件30皆朝該晶片移動,該第一定位件20的頂柱21會頂抵於晶片C的一側,使晶片C被夾設於該定位擋牆第一段131與該第一定位件的頂柱21之間。該第二定位件的頂柱31會頂抵於晶片C的一側,使晶片C被夾設於該定位擋牆第二段132與該第二定位件的頂柱31之間。如此可以使每一個晶片皆被精準的定位在同一個位置接受檢測,並且由於該第一定位件20與該第二定位件30可以在靠近與遠離該檢測台的位置間移動,因此不論晶片的大或小該第一定位件與該第二定位件皆可以將每一晶片都定位在相同的位置接受檢測,如第四圖所示,有效的改善前述的問題並提升晶片檢測的效率與正確性。
10‧‧‧檢測台
11‧‧‧台面
12‧‧‧檢測區
13‧‧‧定位擋牆
131‧‧‧第一段
132‧‧‧第二段
14‧‧‧凸起
15‧‧‧凹溝
20‧‧‧第一定位件
21‧‧‧頂柱
22‧‧‧導軌
30‧‧‧第二定位件
31‧‧‧頂柱
32‧‧‧導軌

Claims (10)

  1. 一種晶片檢測座,包含有:一檢測台,該檢測台具有一台面,該台面上設有一檢測區,該檢測區的側邊設有一定位擋牆,該檢測區的台面上設有複數的凸起,凸起與凸起之間形成凹部;一第一定位件,設於該檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台的二位置間移動,該第二定位件包含有至少一頂柱,該第二定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆靠近;一第二定位件,設於該檢測台的一側邊,可以在靠近與遠離該檢測台的二位置間移動,該第二定位件包含有至少一頂柱,該第二定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆靠近。
  2. 依據申請專利範圍第1項所述之晶片檢測座,其中該定位擋牆具有一第一段與一第二段,該第一段與該第二段之間的夾角為90度。
  3. 依據申請專利範圍第2項所述之晶片檢測座,其中該第一定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆的第一段靠近。
  4. 依據申請專利範圍第2項所述之晶片檢測座其中該第二定位件朝該檢測台移動時該頂柱可以伸至該檢測台的台面上並且朝該定位擋牆的第二段靠近。
  5. 依據申請專利範圍第1項所述之晶片檢測座,其中該檢測台的一側設有二導軌,該第一定位件穿設於該二導軌上可沿該二導軌移動。
  6. 依據申請專利範圍第1項所述之晶片檢測座,其中該檢測台的一側設有二導軌,該第二定位件穿設於該二導軌上可沿該二導軌移動。
  7. 依據申請專利範圍第1項所述之晶片檢測座,其中該等凸起呈矩陣狀排列。
  8. 依據申請專利範圍第7項所述之晶片檢測座,其中該台面上設有複數凹溝,該等凹溝分別對應於該等凸起之間的凹部。
  9. 依據申請專利範圍第8項所述之晶片檢測座,其中該第一定位件與該第二定位件的頂柱分別落於該檢測台台面的凹溝,該二頂柱可沿該凹溝朝該定位擋牆移動。
  10. 依據申請專利範圍第9項所述之晶片檢測座,其中該頂柱的直徑大於該凹溝的深度。
TW102135887A 2013-10-03 2013-10-03 晶片檢測座 TW201514502A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102135887A TW201514502A (zh) 2013-10-03 2013-10-03 晶片檢測座

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102135887A TW201514502A (zh) 2013-10-03 2013-10-03 晶片檢測座

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201514502A true TW201514502A (zh) 2015-04-16
TWI497080B TWI497080B (zh) 2015-08-21

Family

ID=53437569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102135887A TW201514502A (zh) 2013-10-03 2013-10-03 晶片檢測座

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TW201514502A (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109108473B (zh) * 2018-09-06 2020-03-31 重庆科技学院 一种架空型生物芯片载物台的使用方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002277502A (ja) * 2001-01-12 2002-09-25 Nidec-Read Corp 基板検査装置及び基板検査方法
JP4642610B2 (ja) * 2005-09-05 2011-03-02 東京エレクトロン株式会社 基板位置合わせ装置および基板収容ユニット
TWI352200B (en) * 2008-01-10 2011-11-11 Chipmos Technologies Inc Auxiliary disassembling apparatus and jig therein

Also Published As

Publication number Publication date
TWI497080B (zh) 2015-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102229364B1 (ko) 표시장치의 테스트 장치 및 그 장치를 이용한 테스트 방법
TWI529370B (zh) 檢測裝置
TW201221965A (en) Parallelism adjusting mechanism of probe card and inspection apparatus
JP6262547B2 (ja) プローバ及びプローブカードの針先研磨装置
TWM527961U (zh) 兩段式電子產品檢測探針治具模組
CN108088652A (zh) 定位治具、3d曲面玻璃检测***及方法
TW201514502A (zh) 晶片檢測座
CN213517913U (zh) 一种用于表盘的旋转载台
JP6255285B2 (ja) 検出方法
JP2015164750A (ja) サブチャックテーブルの原点位置検出方法
CN106482611B (zh) 复杂铸件加工尺寸快速检测工装及其检测方法
KR101701213B1 (ko) 평탄도 검사장치
TWI593955B (zh) 光偏折檢測模組及使用其檢測及誤差校正之方法
JP6302658B2 (ja) 加工方法
CN105352402B (zh) 斜面内环槽宽度测量量具
TWM536357U (zh) 檢測治具
TWM554991U (zh) 長行程電子產品檢測探針治具
CN104459220B (zh) 一种测试压头定位机构
CN202221301U (zh) 基片平整度检测探头结构
CN104534960A (zh) 一种汽车天窗框架检具
CN103639919A (zh) 一种零件孔位置度检测定位装置
JP2015162564A (ja) 基板保持装置および基板検査装置
CN208671840U (zh) 一种二维码打标位置快速检测装置
CN203465185U (zh) 基板切割面辅助检测治具
CN102997802B (zh) 一种沟槽高度检具