KR20040062016A - 배향막 형성 방법 - Google Patents

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KR20040062016A
KR20040062016A KR1020020088327A KR20020088327A KR20040062016A KR 20040062016 A KR20040062016 A KR 20040062016A KR 1020020088327 A KR1020020088327 A KR 1020020088327A KR 20020088327 A KR20020088327 A KR 20020088327A KR 20040062016 A KR20040062016 A KR 20040062016A
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alignment film
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변용상
채경수
윤헌도
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 구성하는 배향막을 그 두께가 일정하도록 형성하기 위한 방법에 관한 것이다.
배향막을 기판에 전사시키는 전사판은 기판과 접촉하여 배향막을 전사시키는 볼록부와 상기 볼록부 사이에 바탕부로 이루어진다. 이때 상기 볼록부는 원뿔대 형태의 망점과 상기 망점 사이 홈으로 이루어지는데, 종래에는 상기 볼록부의 망점을 크기와 망점간격을 동일하게 구성하여 전사판을 형성하였다. 상기 전사판을 이용하여 기판상에 배향막 코팅시 상기 코팅된 배향막 패턴이 그 에지에서 중앙의 막두께와 비교하여 2배 내지 3배 두껍게 형성된다.
본 발명은 기판상의 배향막의 에지 및 중앙의 현저한 차이를 없애기 위해 상기 전사판의 볼록부를 에지부와 중앙부로 나누고, 상기 두 부분에 있어서, 형성되는 망점 크기 및 높이와 상기 망점 배열간격을 다르게 형성한다.
전술한 이중구조의 볼록부를 갖는 전사판을 이용하여 기판상에 배향막을 코팅하면, 에지 및 중앙의 막두께 차이 극복하여 갭불량 및 화면표시 얼룩을 억제시켜 우수한 품질의 액정표시장치를 제공할 수 있다.

Description

배향막 형성 방법 {Method for fabricating an alignment film of a liquid crystal display device}
본 발명은 액정표시장치의 배향막 형성에 관한 것으로, 더 상세히는 전사판을 이용하녀 균일한 배향막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용한 장치이다.
즉, 전압이 가해지면 전계의 세기에 따라 액정의 분자배열이 바뀌고, 상기 액정의 분자배열에 따라 빛을 조절할 수 있는 특성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 상기 액정표시장치는 상부 및 하부의 절연기판과 그 사이에 충진된 액정으로 구성된다.
상기와 같은 액정표시장치에 대해 간단히 설명한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 일반적인 액정표시장치(11)는 투명한 절연기판 상에 컬러필터(7)와 상기 각 컬러필터(7)사이에 구성된 블랙매트릭스(6)와 상기 컬러필터와 블랙매트릭스(6) 상부에 증착된 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)과 화소영역(P) 상에 형성된 화소전극(36)과 스위칭소자(T)와 어레이배선이 형성된 하부기판(10)으로 구성되며, 상기 상부기판(5)과 하부기판(10) 사이에는 액정(9)이 충진되어 있다.
상기 하부기판(10)은 어레이 기판(array substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막 트랜지스터(T)를 교차하여 지나가는 게이트 배선(14)과 데이터 배선(22)이 형성된다. 이때, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(22)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(P)상에는 투명한 화소전극(36)이 형성된다.
전술한 액정표시장치의 제조공정에 대해 간단히 설명한다.
먼저, 어레이 기판은 증착(deposition), 노광(photo-lithography), 식각(etching)공정을 거쳐 박막 트랜지스터(thin film transistor)와 같은 다수의 스위칭소자를 형성하고, 상기 각각의 스위칭소자(switching device)에 대응하는 화소(pixel)를 매트릭스 형태로 구성하며, 상기 스위칭소자를 중심으로 배선이 교차되고 상기 각 배선의 일단에는 패드부가 형성되는 어레이 패턴이 형성된다.
또한, 컬러필터 기판에는 상기 어레이기판과 마주보는 면에 공통전극을 형성하고, 상기 공통전극 하부에 블랙매트릭스(BM)과 컬러필터층이 형성된다.
전술한 바와 같이 제작된 상기 어레이 기판 및 컬러필터 기판은 상기 두 기판 사이에 액정을 충진하고 상기 두 기판을 합착하여 하나의 패널을 형성하는 셀 공정을 진행하여 액정표시장치로 제품화 된다.
액정표시장치는 액정의 전기광학적 효과를 이용한 것이고, 이러한 전기광학효과는 액정 자체의 이방성과 액정의 분자배열 상태에 의해 결정되며, 상기 액정의 분자배열에 대한 제어는 액정표시장치에서의 화상표시품위를 안정화하는 데 큰 영향을 미치게 된다. 따라서 액정 분자의 초기 배열을 고르게 하기 위해서 배향 공정을 진행하게 된다. 이는 상기 어레이 기판 및 컬러필터 기판에 배향막 물질을 고른 두께로 형성하고, 상기 배향막을 경화시킨 후, 상기 경화된 배향막을 일정한 방향성을 갖도록 하기 위해 러빙포라 불리우는 특수한 천으로 일정한 방향으로 마찰시켜 상기 배향막 내의 고분자 사슬을 일정방향으로 정렬시킴으로써 액정 분자의 초기배열 상태를 고르게 한다.
이때, 액정에 단결정 질서를 부여하고 액정분자를 문자 그대로 1매 단위로 규칙적인 응답을 할 수 있도록 하는 것이 배향막의 역할이다. 이러한 배향막은 무기 배향막과 유기 배향막으로 나누어지며, 특히, 유기배향막 중 폴리이미드(PI) 배향막이 많이 사용되고 있다.
배향막 형성에 대해 도 2를 참조하여 좀더 자세히 설명한다.
배향막 형성은 주로 복수개의 롤과 인쇄 테이블로 구성된 인쇄 장치와 상기 장치에 장착되는 전사판을 이용한 롤 코팅 방식이 주로 사용되고 있다.
도 2는 롤 코팅 방식에 의한 배향막 인쇄공정을 도시한 도면이다.
도시한 바와같이, 일방향으로 왕복 운동하는 인쇄 테이블(2)과, 상기 인쇄테이블(2)과 맞물려 회전하는 판동(5)과 상기 판동(5)상에 장착된 전사판(15)과, 상기 전사판(15)에 배향액을 전사시키는 아니록스롤(8)과, 상기 아니록스롤(8)에 배향액을 고르게 발라주는 닥터롤(10)로 배향막 인쇄기(1)는 구성되어 있다.
상기 인쇄 테이블(2)에 기판(13)을 위치시키고, 인쇄 테이블(2)이 일방향으로 동일한 속도로 움직이면, 상기 인쇄 테이블(2)과 맞물려 있는 판동(5)이 회전하며, 상기 판동(5)상에 장착된 전사판(15)이 상기 테이블(2)상에 위치한 기판(13)과 접촉하며, 상기 전사판(15)에 발라진 배향액을 상기 기판(13)에 전사시킨다. 상기와 같은 일련의 작업에 의해 기판(13)상에 배향막이 형성된다.
이후, 상기 롤 코팅 방식에 의해 배향막이 형성된 기판은 상기 기판상의 배향액의 수분을 없애기 위해 건조공정과 상기 건조된 배향막을 경화시키기 위한 소성공정을 진행한다.
다음으로 상기 경화된 배향막을 러빙포을 이용하여 상기 배향막 표면을 일정한 압력을 갖고 마찰시켜 일방향으로 상기 배향막 내의 고분자 사슬을 정렬시키는 러빙공정을 진행하여 배향 공정을 완료한다.
도 3a는 배향액을 기판에 전사시키는 수지 재질의 전사판을 도시한 평면도이며, 도 3b는 상기 전사판의 볼록부 일부(점선부부;M)를 확대한 도면이다.
도 4a 는 전사판의 단면도이며, 도 4b는 전사판의 단면도 일부(점선부분;N)를 확대한 도면이다.
도 3a 및 3b 내지 도 4a 및 4b에 도시한 바와 같이, 상기 전사판(15)은 배향액을 보유하여 기판과 접촉하며 상기 보유한 배향액을 기판에 전사시키는볼록부(17)와 상기 볼록부(17)와 볼록부(17) 사이에 기판과 직접 접촉하지 않는 바탕부(19)로 나뉜다. 상기 볼록부의 두께(T1)는 통상 2.24mm 또는내지 2.84mm의 평균 두께를 갖도록 형성되며, 상기 바탕부의 두께(T2)는 1.4mm 내지 2.0mm의 평균 두께를 가지며 형성된다.
상기 전사판의 볼록부(17)는 균일한 양의 배향액을 보유하기 위해 볼록한 돌기 형태 더 정확히는 원뿔대 형태의 망점(21)으로 이루어지며, 상기 망점(21)과 망점(21) 사이에 배향액을 보유하는 홈(23)이 형성되어 있다. 상기 망점(21)은 균일한 높이와 크기로 형성되며, 상기 망점(21)과 망점(21) 사이 거리도 일정하게 형성된다. 즉, 아니록스롤에 의해 발라진 배향액을 보유하는 홈(23) 또한 일정한 깊이와 일정한 간격을 갖도록 형성된다. 또한, 상기 볼록부(17)에 형성된 망점(21)들은 전사판의 일방향에 대해 일정한 각도를 가지며 배열되어 있으며, 상기 볼록부(17)는 일반적으로 400메쉬(mesh)로 망점이 형성된다.
도 5는 기판에 인쇄된 배향막 패턴을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 통상적으로 액정표시장치의 상부기판 및 하부기판에 인쇄되어 경화된 배향막 패턴(32)의 두께는 700Å 내지 1100Å이 바람직하다. 기판(30)과 접촉하여 상기 기판(30)에 배향액을 전사시키는 볼록부에 균일하게 형성된 망점을 갖는 전사판에 의해 인쇄된 기판(30)상의 배향막 패턴(32)은 그 두께가 상기 배향막 패턴(32)에 일정하지 않게 형성된다. 통상적으로 액정표시장치의 상부기판 및 하부기판에 인쇄되어 경화된 배향막 패턴(32)의 두께는 700Å 내지 1100Å이 바람직하다. 하지만, 인쇄된 배향막 패턴(32)에 있어서 상기 패턴(32)의 중앙과 테두리는 그 배향막 두께가 2배 내지 3배 정도의 차이가 나타나게 되는데, 중앙 대비 테두리의 배향막 두께가 2 내지 3배가 높은 1400Å 내지 3300Å로 두껍게 형성되어 갭불량을 발생시키거나, 전압인가시 화면상에 배향막 두께차에 의한 얼룩 등이 나타나게 되는 등 액정표시장치의 표시소자로서의 가치를 떨어뜨린다.
상기와 같이 테두리가 중앙부와 비교하여 두꺼운 막두께를 갖는 이유는 마지널 현상에 기인한다. 상기 마지널 현상이란 배향막 인쇄기 상에서 판동에 동일한 크기의 망점이 형성된 전사판을 장착하고, 일정 속도로 테이블이 일방향으로 움직임과 동시에 상기 전사판이 장착된 판동이 회전한다. 이때, 상기 전사판의 볼록부가 기판과 접촉하며, 아니록스롤에 의해 상기 전사판의 홈부에 채워진 배향액을 기판에 전사시키게 되는데, 상기 판동의 회전에 따라서 전사판의 볼록부 중앙에 보유되는 배향액이 볼록부 테두리에 모이게 되고, 이로 인해 상기 볼록부의 테두리에 배향액이 많아져 상기 망점과 망점 사이의 홈부에 배향액 고임 현상이 발생하여 나타나는 현상이다.
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 전사판의 구조를 변경하여 인쇄된 배향막 패턴의 중앙부와 에지부의 막두께의 현격한 차이를 일으키는 마지널 현상을 억제하여 기판 전면적으로 균일한 두께의 배향막을 형성할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 개략도.
도 2는 롤 코팅에 의한 배향막 형성을 도시한 도면.
도 3a 및 도 3b는 종래의 단일 망점 구조의 볼록부를 갖는 전사판을 도시한 도면 및 확대도.
도 4a 및 도 4b는 종래의 전사판의 단면도 및 확대도.
도 5는 종래의 전사판을 이용해 형성한 기판상의 배향막의 두께를 나타낸 단면도.
도 6a 내지 6b는 본 발명의 실시예에 따른 이중 망점 구조의 볼록부를 갖는 전사판의 평면도 및 단면도.
도 7는 본 발명의 실시예에 의한 전사판을 이용해 형성한 기판상의 배향막의 두께를 나타낸 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
102 : 볼록부의 에지부 103 : 볼록부의 중앙부
120a : 중앙부 망점 120b : 에지부 망점
125a : 중앙부 홈 125b : 에지부 홈
A :중앙부 망점 간격 B : 에지부 망점 간격
BA : 중앙부와 에지부의 경계
H : 전사판 볼록부 평균 두께
T3 : 중앙부 망점 높이 T4 : 에지부 망점 높이
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 본 발명에 따른 박막 형성용 전사판은 기판과 직접 접촉하고, 망점과 홈이 연속적인 배열을 하며, 그 중앙부와 에지부의 망점 크기 및 망점 간격과 망점 높이가 달리 형성된 볼록부와, 상기 볼록부 사이의 바탕부를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 볼록부의 테두리부의 폭은 0mm 내지 100mm로 상기 볼록부 둘레에 형성되는 것이 특징이다.
이때, 상기 볼록부의 중앙부 망점 크기가 에지부의 망점 크기보다 크게 형성되며, 상기 볼록부의 중앙부 망점 간격이 에지부의 망점 간격보다 넓게 형성된다.
또한, 상기 볼록부의 중앙부 망점의 높이가 에지부의 망점 높이보다 높게 형성되는 것이 특징이다.
또한, 상기 볼록부의 평균두께는 2.24mm 또는 2.84mm로 형성되는 것이 특징이다.
이하 본 발명에 따른 실시예에 의한 배향막 형성용 전사판을 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 특징은 전사판에 의해 기판에 전사된 배향막에 있어서 전술한 중앙부 대비 에지부에 막두께가 2배 내지 3배 높게 형성되는 것을 억제하고자 전사판의 종래의 단일구조 즉 망점의 크기 및 메쉬를 중앙부와 에지부에 다르게 형성하는 것이 특징이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 전사판에 있어서 한면의 볼록부의 평면도 및 단면도이다.
도 6a에 도시한 바와 같이, 전사판(100)은 크기 상의 기판과 접촉하여 배향액을 기판에 전사시키는 한 복록부(105)와 상기 볼록부(105) 사이에 상기 볼록부(105)의 두께보다 얇은 바탕부(110)로 구성된다. 이때 상기 볼록부(105)에 있어서, 상기 볼록부(105) 내의 망점을 그 크기가 일정하로록 단일 패턴으로 형성하던 종래와 다르게 상기 망점(120)의 크기 및 높이 또는 메쉬를 중앙부(103)와 에지부(102)를 다르게 구성하는 이중 구조의 볼록부(105)를 형성하여 전사판(100)을 구성한다.
좀더 자세히 설명하면, 우선, 메쉬(mesh)란 가로, 세로 각각 1인치 즉 2.54cm의 정사각형에 형성되는 망점수를 의미한다. 예를들어 400 메쉬 전사판이라 하는 것은 볼록부 상의 가로, 세로 길이가 각각 2.54cm인 정사각형을 정의하였을 때, 상기 정사각형 안에 400개의 망점이 형성된 것을 말한다.
상기 설명한 메쉬를 볼록부(105)의 중앙부(103)와 에지부(102)에 다르게 형성한다. 즉 중앙부(103)는 종래대로 400 메쉬로 형성하고, 에지부(102)는 400 메쉬보다 크게 형성하는 것이다. 즉, 400 내지 600 메쉬를 갖도록 형성하는 것이다. 이때 상기 메쉬가 달라지면 메쉬를 이루는 망점 간격(A, B)과 망점 크기 또한 달라진다. 또한, 메쉬 이외에 상기 형성되는 망점의 높이(T1, T2) 또한 중앙부(103)는 높게 형성하고, 에지부(102)는 상기 중앙부(103)보다 얇게 형성한다. 이때, 상기 메쉬가 달리 형성되는 에지 영역은 상기 에지 끝단에서 중앙부로 약 100mm이하인 영역이다. 즉 에지영역의 가로폭 및 세로폭인 W1과 W2는 0mm 내지 100mm값을 갖도록형성한다.
도 6b는 도 6a의 I-I'에 따른 단면도이며, 상기 도면을 이용하여 좀더 자세히 설명한다.
도시한 바와같이, 중앙부(103)와 에지부(102)의 경계(BA)를 중심으로 중앙부(103)와 에지부(102) 상에 서로 다른 크기의 망점(120a, 120b)을 형성한다. 중앙부(103)의 망점 간격을 A, 에지부(102)의 망점 간격을 B, 중앙부(103)의 망점 높이를 T3, 에지부(102)의 망점 높이를 T4라 하고,
A > B, T3 > T4
인 관계가 형성되도록 상기 전사판(100)의 볼록부(105)를 형성한다.
상기의 관계가 성립되도록 망점(120a, 120b)을 볼록부(105)에 형성하면, 홈(125a, 125b)은 상기 망점(120a, 120b)의 크기에 비례하므로, 상기 중앙부(103)의 홈(125a) 크기가 에지부의 홈(125b)보다 더 크고, 깊이 또한 깊게 형성된다. 이는 중앙부(103)에 더 많은 배향액을 보유하게 되며, 에지부(102)에는 보유하는 배향액이 적어짐을 뜻한다.
이때 전사판의 볼록부의 평균 두께(H)는 2.24mm 또는 2.84mm의 값을 갖도록 형성된다. 이는 볼록부의 중앙부와 에지부의 망점 높이는 달라도 망점의 끝이 평평하게 배치됨을 의미한다.
전사판의 제작 방법에 대해 간단히 설명한다.
상기 전사판은 APR(Asahi kasei Photosensitive Resin)이라고 말하는 광경화성 수지를 베이스 필름이라 불리우는 폴리에틸렌 필름과 접착하여 형성한다.
우선, 하부에 UV램프가 위치하고, 상기 UV램프 위에 평평한 형태의 석영 또는 크리스탈 재질의 두꺼운 기판이 형성된 노광 장치의 상기 기판상에 원모양이 전사판의 볼록부에 형성될 망잠의 개수 만큼 패터닝 된 네기티브 필름을 위치시킨다. 상기 네가티브 필름은 중앙부와 에지부의 원 패턴의 크기가 서로 다르게 형성되어 있다. 즉, 중앙부의 원 패턴의 크기가 에지부의 원 패턴 보다 크게 그 지름이 크게 형성되어 있다.
이후, 상기 네가티브 필름 위에 APR을 일정한 두께로 도포한다. 이후 상기 도포된 APR위에 폴리에틸렌 재질의 투명한 베이스 필름을 배치하여 접착시킨다. 이후, 상기 베이스 필름이 부착된 APR에 노광 장치 기판 하부에 위치한 자외선 램프를 동작시켜 자외선 노광을 한다. 상기 자외선 노광에 의해 네가티브 필름상의 원모양 패턴이 ARR에 전사되어 상기 APR상에 일정한 높이를 갖는 원뿔대 형상의 망점과 상기 망점 사이에 홈이 형성된다. 이는 상기 APR은 UV광에 반응하여, 광조사가 된 부분이 경화되는 특성을 지니고 있기 때문이다.
이후, 상기 망점이 형성되고, 그 하부에 베이스 필름이 부착된 된 APR을 세정한다. 자외선 광에 반응하여 경화된 부분을 남기고 나머지 광조사가 이루어지지 않은 부분은 세정시 제거된다. 이때 베이스 필름과 접착하여 경화된 APR은 직사각형 모양의 전사판을 이룬다.
다음으로, 상기 세정된 APR 전사판은 건조공정을 통해 건조한 후, 후노광 공정을 진행하여 상기 세정된 후의 APR 표면을 더욱 경화시키는 역할을 한다. 상기와 같이 제작된 전사판의 볼록부는 중앙부와 에지부의 망점의 크기 또는 망점의 수와망점의 높이가 다른 이중 구조로 이루어진다.
상기 망점의 크기 및 망점의 높이는 자외선 노광시, 노광 시간과 네가티브 필름상의 원 패턴의 크기에 의해 콘트롤 된다. 네가티브 필름상에 패터닝 된 원의 크기가 작을수록 망점의 크기가 작아지며, 또한 망점의 높이 또는 홈의 깊이가 낮게 형성된다.
전술한 바와 같이 제작된 이중구조의 전사판을 이용하여 배향막을 기판에 코팅하는 배향막 인쇄공정을 진행한다.
균일한 배향막 형성 공정에 대해 간단히 설명한다.
우선, 패터닝된 볼록부의 이중망점 구조로 형성된 전사판을 인쇄기 판동에 장착한다. 이후, 인쇄 테이블에 기판을 위치시킨다. 다음으로, 닥터록과 아니록스롤 사이에 배향액을 도포하며, 상기 배향액은 회전하며 일방향으로 요동하는 고무재질의 닥터롤에 의해 아니록스롤에 배향액이 골고루 전사되어 발리게 되고, 상기 아니록스롤에 발린 배향액이 상기 기판이 위치한 테이블이 이중구조 망점이 형성된 전사판이 장착된 판동과 맞물려 일방향으로 움직이면, 상기 판동이 회전하며 테이블 위의 기판에 배향액을 균일하게 코팅하게 된다. 상기 그 표면에 배향액이 코팅된 기판은 건조 및 소성 공정을 진행하여, 배향액을 경화시켜 배향막을 형성한다. 상기와 같이 형성된 배향막은 배향막 패턴의 에지와 중앙부분의 막두께가 거의 차이가 없다.
도 7은 본 발명의 실시예의 의한 중앙부와 에지부에 망점 크기 및 높이를 달리 형성하여 제작한 전사판을 장착하여 기판에 배향막을 인쇄하였을 시, 그 막두께를 나타낸 도면이다.
도시한 바와 같이, 전사판의 볼록부와 접촉하여 배향막이 인쇄되어 형성된 기판(150)상의 배향막 패턴(155)을 마크로 검사기로 확인 시, 상기 배향막 패턴의 중앙과 에지의 막두께의 현격한 차이가 많이 줄어들어 바람직한 배향막 두께인 700Å 내지 1100Å로 형성되었음을 보이고 있다.
본 발명의 실시예에 따라 전사판 볼록부의 중앙부와 에지부에 크기 및 높이가 다른 망점 구조를 갖도록 형성한 전사판을 이용하여, 롤 코팅에 의해 배향막을 기판에 형성하면, 마지널 현상에 의한, 에지부의 배향막 두께가 중앙부와 비교하여 2배 내지 3배 높게 형성되는 것을 억제하여, 배향막의 바람직한 두께인 700Å 내지 1100Å의 두께를 가지며, 기판 전체에 고르게 형성됨으로써 상기 막두께 차이에 의한 갭불량 및 표시얼룩 등의 액정표시장치의 화질불량을 방지함으로써 우수한 품질의액정표시장치를 제공하는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 롤 코팅에 의한 배향막을 형성하는데 있어서,
    인쇄기 판동에 패터닝 된 볼록부가 이중망점 구조인 전사판을 부착하는 단계와;
    기판을 상기 인쇄기 테이블에 위치시키는 단계와;
    배향액을 닥터롤과 아니록스롤 사이에 도포하여 아니록스롤에 상기 배향액을 균일하게 발라주는 단계와;
    상기 아니록스롤 상에 배향액이 인쇄 테이블이 일방향으로 움직이고, 판동이 회전하며 상기 판동상의 전사판에 균일하게 전사되며, 상기 전사판의 배향액이 기판의 표면에 코팅되는 단계
    를 포함하는 배향막 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에 형성된 배향막은 경화된 두께가 700Å 내지 1100Å인 배향막 형성 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전사판은 수지 재질이며, 망점과 홈으로 이루어진 볼록부와 바탕부로 이루어진 것이 특징인 배향막 형성 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 전사판의 볼록부의 평균두께는 2.24mm 또는 2.84mm인 것인 특징인 배향막 형성 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 볼록부는 망점 높이가 높고, 망점 간격이 넓게 형성된 중앙부와 망점 높이는 같으나, 망점 사이의 홈 깊이가 낮고, 망점 간격이 좁은 에지부로 형성되는 것이 특징인 배향막 형성 방법.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 볼록부의 에지부는 0mm 내지 100mm 폭으로 이루어진 것이 특징인 배향막 형성 방법.
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