KR101124842B1 - 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 배향막 형성용 전사판은 상기 전사판의 일 면에 돌출형성되어 유리기판의 배향막 형성영역에 배향막을 형성하는 배향막 패턴영역; 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 적어도 하나가 돌출형성되는 압력게이지;를 포함하며, 상기 압력게이지는 서로 다른 높이를 가지면서 상호 이격된 다수의 게이지패턴들로 이루어진 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 상호 이격형성된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 구비되어 인쇄롤의 니프압을 간편하게 식별할 수 있고, 니프압이 비정상인 경우에 즉각적으로 니프압을 조절할 수 있으며, 별도의 검사수단을 구비하지 않아도 압력게이지에 의한 인쇄된 패턴형태를 통해 작업자가 육안(肉眼)으로도 인쇄롤의 니프압을 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법이 제공된다.

Description

배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법{APR plate for coating alignment layer and Inspecting method using the same}

본 발명은 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배향막 형성시 서로 다른 높이로 형성되며 상호 이격형성된 복수의 게이지로 구성된 압력게이지가 구비된 전사판을 이용하여 배향액을 전사함으로써 인쇄롤의 인쇄압력이 균일한지 여부를 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치에 있어서 균일한 밝기와 높은 대비비를 획득하기 위해서는 액정패널 내의 액정분자들이 일정한 방향으로 배열되어야 한다.

즉, 액정분자들이 일정한 방향으로 배열되도록 폴리이미드 계열의 배향제를 기판 상에 코팅하여 배향막을 형성한다.

도 1은 일반적인 배향막 도포장치의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 일반적인 배향막 도포장치는 복수 개의 롤을 이용한 코팅방식으로, 기판(7)이 로딩되는 이동스테이지(6)와, 디스펜서(1), 닥터롤(doctor roll: 2), 아닐록스롤(anilox roll: 3), 인쇄롤(printing roll: 5)을 포함하여 구성된다.

이동스테이지(6)는 상부면에 기판(7)을 로딩할 수 있는 안착 공간이 형성되어 있을 수 있으며, 제조공정에 투입시에는 상하 또는 좌우 방향으로 자유로이 이동이 가능하도록 설치된다.

닥터롤(2)은 아닐록스롤(3)과 맞물려 회전하도록 설치되고, 인쇄롤(5)은 아닐록스롤(3)과 맞물려 회전하도록 설치된다.

그리고, 인쇄롤(5)의 외부 표면에는 배향액(4)을 전사하기 위한 전사판(100)이 구비되어 접합된다.

이 같은 구성으로, 원통형의 닥터롤(2)과 아닐록스롤(3) 사이에 공급되는 배향액(4)은 아닐록스롤(3)의 표면에 도포되고, 이와 동시에 인쇄롤(5)이 아닐록스롤(3)에 맞물려 회전하게 됨으로써 아닐록스롤(3) 표면의 배향액(4)이 전사판(100)으로 전사하게 된다.

전사판(100)으로 전사된 배향액(4)은 기판의 높이 제어에 따라 인쇄롤(5)의 인쇄압력(이하"니프(nip)압"이라고 함)이 제어되어 유리기판(7)과 맞닿아 회전함으로써 배향액(4)이 유리기판(7)에 인쇄되게 된다.

여기서, 인쇄롤(5)에 접합되는 종래의 전사판은 도 2와 같다. 도 2를 참조하면, 종래의 전사판(100)은 일 면에 기판(7)에 선택적으로 배향막을 인쇄하도록 돌출형성된 배향막 패턴영역(110)이 형성되어 있다.

그리고, 배향막 패턴영역(110)의 양 측부 가장자리 외측에는 유리기판(7)에 배향막 패턴영역(110)이 정확한 위치에 배향막을 형성하도록 얼라인 키(align key: 120)가 형성되어 있다.

그런데, 상기된 바와 같은 종래 전사판(100)을 사용하여 유리기판(7)에 배향막 형성시 니프압이 클 경우 배향막의 균일도는 향상되나, 전사판(100)의 에지(edge)부분에 배향막의 고형성분의 뭉침 현상이 발생하여 갭(gap)불량이 발생하게 된다.

또한, 니프압이 작을 경우에는 배향막의 균일도가 안좋아지므로 배향막 불균일에 의한 불량이 발생하게 되나, 전사판(100)의 에지부분의 고형성분 발생이 없어진다.

따라서, 배향막 인쇄시 니프압을 적절히 조절하는 것이 중요하다.

그러나, 배향막의 코팅상태를 확인하기 위해서는 배향막 인쇄가 완료된 후, 배향막의 균일도(uniformity)를 검사하기 위해 별도의 후속공정으로 검사공정을 통해 배향막을 검사해야 하는 어려움이 있었다.

이를 보완하기 위해, 공정 중에 인쇄롤(5)의 니프압을 측정하기 위한 센서 등의 수단을 구비하는 방법 등이 제안되었으나, 센서의 허용오차 및 센서제어에 어려움이 있었다.

본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 인쇄롤의 니프압에 따라 서로 다른 높이로 형성되며, 상호 이격형성된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 구비되어 인쇄롤의 니프압을 간편하게 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법을 제공함에 있다.

또한, 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태를 통해 니프압을 검사함으로써, 니프압이 비정상인 경우에 즉각적으로 니프압을 조절할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법을 제공함에 있다.

또한, 별도의 검사수단을 구비하지 않아도 압력게이지에 의한 인쇄된 패턴형태를 통해 작업자가 육안(肉眼)으로도 인쇄롤의 니프압을 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법을 제공함에 있다.

상기 과제는, 본 발명의 일 실시예에 따라, 배향막 형성용 전사판에 있어서, 상기 전사판의 일 면에 돌출형성되어 유리기판의 배향막 형성영역에 배향막을 형성하는 배향막 패턴영역; 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 적어도 하나가 돌출형성되는 압력게이지;를 포함하며, 상기 압력게이지는 서로 다른 높이를 가지면서 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 이루어진 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판에 의해 해결될 수 있다.

여기서, 상기 압력게이지의 게이지패턴은 n개로 형성되며, n-1번째 게이지패턴은 n번째 게이지패턴의 내측에 위치하면서 상호 이격형성될 수 있다.

또한, 상기 압력게이지는 중심으로부터 외측방향으로 각 게이지패턴의 높이가 순차적으로 높아지거나 낮아지도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 압력게이지의 각 게이지패턴의 횡단면은 중실(solid)원형, 중실(solid)타원형 및 중실(solid)다각형 또는 중공(hollow)원형, 중공(hollow)타원형 또는 중공(hollow)다각형 중 어느 하나일 수 있다.

또한, 상기 압력게이지는 상기 배향막 패턴영역의 각 모서리의 외측에 각각 형성될 수 있다.

한편, 상기 압력게이지의 각 게이지패턴은 규칙적 또는 불규칙한 간격으로 상호 이격형성될 수 있다.

상기 과제는, 본 발명의 다른 실시예에 따라, 형성할 배향막에 대응되도록 돌출된 배향막 패턴영역과, 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 적어도 하나 배치되며 서로 다른 높이로 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 형성된 전사판을 인쇄롤에 장착하는 장착단계; 배향액을 상기 전사판에 도포하고, 상기 인쇄롤이 설정된 인쇄압력에 따라 구동하여, 유리기판에 상기 배향막 패턴영역에 의해 배향막을 형성하면서 상기 압력게이지를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태를 인쇄하는 배향막 형성단계; 및, 제공되는 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 동일한지 여부를 검사하는 검사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법에 의해 해결될 수 있다.

이때, 상기 검사단계 이후에 실행되며, 상기 검사단계에서 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 동일하지 않으면, 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 동일해지도록 상기 인쇄롤의 인쇄압력을 조절하는 보정단계;를 더 포함할 수 있다.

상기 과제는, 본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 형성할 배향막에 대응되도록 돌출된 배향막 패턴영역과, 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 다수 개 배치되며 서로 다른 높이로 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 형성된 전사판을 인쇄롤에 장착하는 장착단계; 배향액을 상기 전사판에 도포하고, 상기 인쇄롤이 구동하여 유리기판에 상기 배향막 패턴영역에 의해 배향막을 형성하면서 상기 압력게이지를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태를 다수 개 인쇄하는 배향막 형성단계; 및, 다수 개의 압력게이지에 의해 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일한지 여부를 검사하는 검사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법에 의해 해결될 수 있다.

이때, 상기 검사단계 이후에 실행되며, 상기 검사단계에서 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일하지 않으면, 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일해지도록 상기 인쇄롤의 인쇄압력을 조절하는 보정단계;를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 인쇄롤의 니프압에 따라 서로 다른 높이로 형성되며, 상호 이격형성된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 구비되어 인쇄롤의 니프압을 간편하게 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법이 제공된다.

또한, 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태를 통해 니프압을 검사함으로써, 니프압이 비정상인 경우에 즉각적으로 니프압을 조절할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법이 제공된다.

또한, 별도의 검사수단을 구비하지 않아도 압력게이지에 의한 인쇄된 패턴형태를 통해 작업자가 육안(肉眼)으로도 인쇄롤의 니프압을 검사할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법이 제공된다.

또한, 니프압을 간편하게 모니터링할 수 있으므로 니프압에 의한 배향막 코팅불량 및 고형성분에 의한 갭 불량들을 사전에 예방할 수 있는 배향막 형성용 전사판 및 이를 이용한 배향막 검사방법이 제공된다.

도 1은 일반적인 배향막 도포장치의 개략도,
도 2는 종래 배향막 형성용 전사판의 개략도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 배향막 형성용 전사판의 개략도,
도 4는 도 3의 압력게이지의 확대도,
도 5는 도 4의 I-I'을 따라 절단한 단면도,
도 6 내지 도 9는 인쇄롤의 니프압에 따라 유리기판에 형성된 패턴형태도,
도 10은 도 3의 변형예로서의 압력게이지의 단면도,
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 배향막 검사방법의 알고리즘,
도 12는 도 11의 장착단계에서 인쇄롤에 장착되는 배향막 형성용 전사판의 평면도,
도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 배향막 검사방법의 알고리즘,
도 14는 인쇄롤의 니프압에 따라 유리기판에 형성된 패턴형태도이다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 배향막 형성용 전사판에 대하여 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 배향막 형성용 전사판의 개략도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 배향막 형성용 전사판(10)은 본체(11), 배향막 패턴영역(12), 얼라인 키(13) 및 압력게이지(20)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 본체(11)는 인쇄롤에 접합되는 패널형태로서, 탄력성을 갖도록 폴리이미드 계열, 폴리에스터 계열, 폴리우레탄 계열, 폴리부타디엔 계열 중 어느 하나의 소재를 이용하여 제작될 수 있다.

상기 배향막 패턴영역(12)은 본체(11)의 일면 중 대략 중앙영역에 돌출형성되며, 상기 배향막 패턴영역(12)에는 유리기판의 배향막 인쇄영역에 배향막을 인쇄하도록 돌출된 배향막 패턴들이 형성될 수 있다.

상기 얼라인 키(13)는 배향막 패턴영역(12)의 양 측부에 돌출형성되어 배향막 패턴영역(12)이 유리기판에 정확하게 위치할 수 있도록 정렬기능을 한다.

상기 압력게이지(20)는 배향막 패턴영역(12)의 가장자리의 외측에 복수 개가 형성될 수 있다. 바람직하게는 배향막 패턴영역(12)의 각 모서리의 외측 즉, 네 모서리의 외측에 위치하도록 형성될 수 있다.

여기서, 압력게이지(20)는 공지의 패턴 형성방법 등을 이용하여 상호 이격되고, 서로 다른 높이를 가지도록 본체(11)로부터 돌출형성된 복수의 게이지패턴으로 구성되도록 형성될 수 있다.

또한, 압력게이지(20)의 소재는 본체(11)와 동일한 소재 또는 이와 상응하는 탄력성을 갖는 소재를 사용하여 패터닝됨으로써 인쇄롤에 의한 압력에 의해서도 본체(11)로부터 이탈되지 않을 수 있다.

도 4는 도 3의 압력게이지의 확대도이고, 도 5는 도 4의 I-I'을 따라 절단한 단면도이다. 압력게이지(20)를 구성하는 게이지패턴의 수는 유리기판의 크기에 따라 형성될 수 있으며, 본 실시예에서는 4개의 게이지패턴으로 압력게이지가 구성된 것을 예로 들어 구체적으로 설명하기로 한다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 압력게이지(20)는 제1게이지패턴(21), 제2게이지패턴(22), 제3게이지패턴(23), 제4게이지패턴(24)를 포함하여 구성될 수 있다.

각 게이지패턴은 상호 이격되어 형성될 수 있으며, 이때의 각 게이지패턴 간의 간격은 규칙적 또는 불규칙적으로 형성될 수 있다.

여기서, 제2게이지패턴(22), 제3게이지패턴(23) 및 제4게이지패턴(24)은 중공(hollow)인 원통형상으로 형성되고, 제1게이지패턴(21)은 중실(solid)인 원통형상으로 형성될 수 있다.

이때 각 게이지패턴의 형성위치는, 제4게이지패턴(24)의 내측에 제3게이지패턴(23)이 위치하고, 제3게이지패턴(23)의 내측에 제2게이지패턴(22)이 위치하며, 제2게이지패턴(22)의 내측에 제1게이지패턴(21)이 위치하도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 각 게이지패턴은 높이가 서로 다르도록 형성되되, 제1게이지패턴(21)으로부터 제4게이지패턴(24) 방향 즉, 중심으로부터 외측방향으로 순차적으로 낮아지도록 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이 각 게이지패턴이 서로 다른 높이로 이격형성됨으로써, 유리기판에 배향막 인쇄시 인쇄롤의 니프압에 따라 유리기판 상에 패턴형태가 1개 내지 4개의 원이 인쇄될 수 있다.

한편, 상기 각 게이지패턴의 높이는 인쇄롤의 니프압과 대응되도록 형성될 수 있다. 구체적으로, 인쇄롤의 니프압을 컨트롤러에서 제어시 Level1, Level2, Level3, Level4로 설정(Level1의 니프압부터 Level4의 니프압으로 순차적으로 니프압은 증가함)하여 니프압을 제어한다고 한다고 가정하면,

제1게이지패턴(21)의 높이(h₁)는 Level1~Level4까지 설정된 모든 니프압에서 제1게이지패턴(21)이 인쇄되도록 형성하고, 제2게이지패턴(22)의 높이(h₂)는 Level2~Level4의 니프압에서 제2게이지패턴(22)이 인쇄되도록 형성하며, 제3게이지패턴(23)의 높이(h₃)는 Level3와 Level4의 니프압에서 제3게이지패턴(23)이 인쇄되도록 형성하고, 제4게이지패턴(24)의 높이(h₄)는 Level4의 니프압에서 제4게이지패턴(24)이 인쇄되도록 형성한다.

이를 통해, 인쇄롤의 니프압이 Level1으로 제어되는 경우에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 유리기판(30)에 제1게이지패턴(21)에 의해 하나의 원형패턴이 형성된다.

같은 이치로, 인쇄롤의 니프압이 Level2로 제어되는 경우에는, 도 7에 도시된 바와 같이, 유리기판(30)에 제1게이지패턴(21)과 제2게이지패턴에 의해 두 개의 원형패턴이 형성될 수 있다.

도 8과 도 9는 Level3와 Level4로 니프압이 제어되는 경우에 유리기판(30) 상에 형성되는 원형패턴이 도시되어 있다. 미설명된 도면부호 40은 배향막 형성영역이다.

이와 같은 압력게이지(20)를 통해 유리기판(30)에 적어도 하나의 원형패턴이 형성되고, 해당 니프압에 따라 원형패턴의 숫자를 작업자가 육안(肉眼)으로 확인함으로써 설정된 레벨에 따라 니프압이 제어되고 있는지를 확인할 수 있게 된다.

한편, 본 실시예에서는 얼라인 키(13)가 별도로 형성된 것을 설명하였으나, 상술한 압력게이지(20)를 얼라인 키가 위치하는 곳에 형성하되, 각 게이지패턴 중 적어도 어느 하나를 얼라인 키(13)의 위치에 형성하여 별도의 얼라인 키(13)를 형성하지 않을 수도 있다.

아울러, 본 실시예에서의 압력게이지(20)는 중심으로부터 외측방향으로 순차적으로 낮아지도록 각 게이지패턴이 형성된 것을 설명하였으나, 도 10에 도시된 바와 같이, 중심으로부터 외측방향으로 각 게이지패턴의 높이가 순차적으로 높아지도록 형성될 수도 있다.

다음으로, 본 발명의 제2실시예에 따른 배향막 검사방법에 대해 설명한다.

도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 배향막 검사방법의 알고리즘이고, 도 12는 도 11의 장착단계에서 인쇄롤에 장착되는 배향막 형성용 전사판의 평면도이다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 배향막 검사방법은, 먼저 장착단계로서, 유리기판에 형성할 배향막에 대응되도록 돌출된 배향막 패턴영역(12)과, 배향막 가장자리 외측에 적어도 하나 배치되며 서로 다른 높이의 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지(20)가 구비된 전사판(10)을 도 1에 도시된 바와 같은 통상의 도포장치의 인쇄롤에 장착한다(S10).

상기 압력게이지(20)를 구성하는 복수의 게이지패턴들은 제1실시예에서와 같은 수의 게이지패턴들이 형성되어 있으며, 설명의 편의상 배향막 패턴영역(12)의 우측 하부모서리에 하나의 압력게이지(20)가 구비된 전사판을 예로 들어 설명한다.

이어, 배향막 형성단계로서, 배향액을 상기 전사판(10)에 도포하고, 이동스테이지가 이동하면서 인쇄롤이 설정된 니프압으로 구동하여, 유리기판의 배향막 형성영역에 배향막을 형성하면서 압력게이지(20)를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태가 인쇄된다(S20).

그리고, 검사단계로서, 압력게이지(20)에 의해 인쇄된 패턴형태가 설정된 니프압에 따른 패턴형태가 동일한지 여부를 검사한다(S30).

이때, 설정된 니프압에 따른 패턴형태는 외부로부터 제공될 수 있는데, 가령, 작업자가 육안(肉眼)으로 직접 확인하는 경우에는 작업자에게 미리 제공될 수도 있고, 소정의 모니터링 장치를 통해 인쇄된 패턴형태를 확인하는 경우에는 모니터링 장치에 저장되어 있을 수도 있다.

상기 검사단계를 통해 압력게이지(20)에 의해 인쇄된 패턴형태가 설정된 니프압에 따른 패턴형태와 동일하다면 정상으로 판단하고(S31), 동일하지 않다면 비정상으로 판단할 수 있다(S32). 이 같은 방법으로 니프압이 적절하게 제어되고 있는지를 검사할 수 있다.

만약, 비정상으로 판단되는 경우에는, 후속 공정으로 압력게이지(20)에 의해 인쇄된 패턴형태가 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 동일해지도록 인쇄롤의 니프압을 조절한다(S40).

이 같은 보정을 통해, 유리기판에 가해지는 니프압을 균일하게 할 수 있고, 니프압이 균일해짐으로써 배향막의 균일도(uniformity)가 확보될 수 있다.

상술한 바는 하나의 압력게이지(20)가 구비된 전사판을 예를 들어 설명하였으나, 다수 개의 압력게이지(20)가 구비되더라도 같은 방법으로 니프압을 보정하여 배향막의 균일도(uniformity)를 확보할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제3실시예에 따른 배향막 검사방법에 대해 설명한다. 도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 배향막 검사방법의 알고리즘이다.

제3실시예에서 인쇄롤에 장착되는 전사판은 상술한 제1실시예에서와 같이 4개의 압력게이지가 구비된 배향막 형성용 전사판이 준비되어 장착될 수 있다.

도 13을 참조하면, 먼저 제2실시예에서와 같이, 준비된 전사판을 도 1에 도시된 바와 같은 통상의 도포장치의 인쇄롤에 장착하고(S110), 배향액을 상기 전사판(10)에 도포한 후, 이동스테이지가 이동하면서 인쇄롤이 일정한 니프압으로 구동하여, 유리기판의 배향막 형성영역에 배향막을 형성하면서 압력게이지(20)를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태가 4개 인쇄된다(S120).

이어, 검사단계로서, 압력게이지(20)들에 의해 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일한지 여부를 검사한다(S130).

여기서, 압력게이지(20)들에 의해 인쇄된 패턴형태들이 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이 상호 동일하면 정상으로 판단하고(S131), 상호 동일하지 않으면 비정상으로 판단할 수 있다(S132). 이 같은 방법으로 니프압이 적절하게 제어되고 있는지를 검사할 수 있다.

만약, 도 14에 도시된 바와 같이 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일하지 않아 비정상으로 판단되는 경우에는, 후속공정으로 인쇄된 패턴형태들을 상호 동일하도록 인쇄롤의 니프압을 조절한다(S140).

통상적으로 대면적 유리기판에 배향막을 형성하는 경우에 인쇄롤 전체를 일정한 니프압으로 제어하더라도, 인쇄롤의 니프압이 제어하는 압력에 대응하여 전체 유리기판에 동일하게 적용되지 않고, 부분적으로 니프압 변동이 발생할 수 있으므로 동일하지 않은 패턴형태를 동일한 형태의 다수 개의 패턴형태의 니프압으로 조절하는 것이 바람직하다.

도 14와 같은 경우에는 하부 양측의 패턴형태가 상부 양측에 형성된 패턴형태와 동일해지도록 니프압을 조절하는 것이 바람직하다.

이와 같이 압력게이지들에 의해 형성된 패턴형태들이 상호 동일해지도록 니프압이 보정됨으로써, 배향막의 균일도(uniformity)가 확보될 수 있다.

아울러, 패턴형태를 시각적으로 확인하는 것만으로도 니프압이 적절하게 제어되고 있는지의 여부를 검사하여 배향막의 균일도를 확보함으로써 종래보다 간편하게 배향막 균일도를 확보할 수 있다.

또한, 배향막 형성공정 이후에 별도의 공정으로서 검사장비 등을 통해 배향막의 균일도를 측정하지 않아도 되어 제조공정 단축 및 제조비용이 절감될 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
10 : 전사판 11 : 본체 12 : 배향막 패턴영역
13 : 얼라인 키 20 : 압력게이지 21 : 제1게이지패턴
22 : 제2게이지패턴 23 : 제3게이지패턴 24 : 제4게이지패턴
30 : 유리기판 40 : 배향막 형성영역

Claims (10)

1. 배향막 형성용 전사판에 있어서,
   상기 전사판의 일 면에 돌출형성되어 유리기판의 배향막 형성영역에 배향막을 형성하는 배향막 패턴영역;
   상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 적어도 하나가 돌출형성되는 압력게이지;를 포함하며,
   상기 압력게이지는 서로 다른 높이를 가지면서 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 이루어진 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 압력게이지의 게이지패턴은 n개로 형성되며, n-1번째 게이지패턴은 n번째 게이지패턴의 내측에 위치하면서 상호 이격형성되는 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 압력게이지는 중심으로부터 외측방향으로 각 게이지패턴의 높이가 순차적으로 높아지거나 낮아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 압력게이지의 각 게이지패턴의 횡단면은 중실(solid)원형, 중실(solid)타원형 및 중실(solid)다각형 또는 중공(hollow)원형, 중공(hollow)타원형 또는 중공(hollow)다각형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 압력게이지는 상기 배향막 패턴영역의 각 모서리의 외측에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
6. 제 1항에 있어서,
   상기 압력게이지의 각 게이지패턴은 규칙적 또는 불규칙한 간격으로 상호 이격형성되는 것을 특징으로 하는 배향막 형성용 전사판.
7. 형성할 배향막에 대응되도록 돌출된 배향막 패턴영역과, 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 적어도 하나 배치되며 서로 다른 높이로 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 형성된 전사판을 인쇄롤에 장착하는 장착단계;
   배향액을 상기 전사판에 도포하고, 상기 인쇄롤이 설정된 인쇄압력에 따라 구동하여, 유리기판에 상기 배향막 패턴영역에 의해 배향막을 형성하면서 상기 압력게이지를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태를 인쇄하는 배향막 형성단계; 및,
   제공되는 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 동일한지 여부를 검사하는 검사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법.
8. 제 7항에 있어서,
   상기 검사단계 이후에 실행되며, 상기 검사단계에서 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 동일하지 않으면, 상기 압력게이지에 의해 인쇄된 패턴형태가 상기 설정된 인쇄압력에 따른 패턴형태와 동일해지도록 상기 인쇄롤의 인쇄압력을 조절하는 보정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법.
9. 형성할 배향막에 대응되도록 돌출된 배향막 패턴영역과, 상기 배향막 패턴영역의 가장자리 외측에 다수 개 배치되며 서로 다른 높이로 상호 이격된 복수의 게이지패턴들로 구성된 압력게이지가 형성된 전사판을 인쇄롤에 장착하는 장착단계;
   배향액을 상기 전사판에 도포하고, 상기 인쇄롤이 구동하여 유리기판에 상기 배향막 패턴영역에 의해 배향막을 형성하면서 상기 압력게이지를 구성하는 복수의 게이지패턴들에 의해 일정한 패턴형태를 다수 개 인쇄하는 배향막 형성단계; 및,
   다수 개의 압력게이지에 의해 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일한지 여부를 검사하는 검사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법.
10. 제 9항에 있어서,
    상기 검사단계 이후에 실행되며, 상기 검사단계에서 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일하지 않으면, 상기 유리기판에 인쇄된 패턴형태들이 상호 동일해지도록 상기 인쇄롤의 인쇄압력을 조절하는 보정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 검사방법.

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