KR20020032335A

KR20020032335A - 도금 촉매

Info

Publication number: KR20020032335A
Application number: KR1020010065569A
Authority: KR
Inventors: 메릭스데이비드; 구시마틴티.; 베인스내린더
Original assignee: 마티네즈 길러모; 쉬플리 캄파니, 엘.엘.씨.
Priority date: 2000-10-24
Filing date: 2001-10-24
Publication date: 2002-05-03
Also published as: US20020132042A1; GB0025989D0; EP1201787A3; EP1201787A2; US6624070B2; JP2002317274A; TWI231829B

Abstract

무전해 금속 시드층을 침착시키고 불연속 시드층을 보강하기에 적합한 촉매 조성물이 개시된다. 또한, 무전해 시드층을 침착시키고 불연속 시드층을 보강하는 방법이 개시된다.

Description

도금 촉매{Plating catalysts}

본 발명은 일반적으로 후속한 금속화용 시드층(seed layer) 분야에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 금속화전에 시드층을 침착(depositing) 및 보완 (repairing)하는 방법에 관한 것이다.

보다 소형의 마이크로일렉트로닉 디바이스(microelectronic device), 예를 들어 서브-마이크론의 기하구조(geometry)를 가진 디바이스에 대한 추세에 따라 보다 더 고밀도(density)를 처리하기 위한 다중 금속화층을 가진 디바이스가 출현하게 되었다. 반도체 웨이퍼상에, 배선(wiring)으로도 또한 지칭되는 금속선을 형성하기 위해 통상 사용되는 한 금속은 알루미늄이다. 알루미늄은 비교적 저렴하고, 저저항도를 가지며, 에칭이 비교적 용이하다는 장점이 있다. 알루미늄은 또한 다른 금속층을 연결하도록 바이어(via)내에 상호접속부(interconnection)를 형성하는데 사용되어 왔다. 그러나, 바이어/접촉홀(contact hole)의 크기가 서브-마이크론 영역으로 축소되므로서, 스텝 커버리지(step coverage) 문제가 나타나며, 이에 따라 알루미늄을 사용하여 서로 다른 금속층 사이에 상호접속부를 형성할 때 신뢰성 문제를 야기할 수 있다. 이러한 열악한 스텝 커버리지는 높은 전류 밀도를 초래하며 전기이동(electromigration)을 증가시킨다.

바이어내에 개선된 상호접속 경로를 제공하는 수단중 하나는 금속층용으로 알루미늄을 사용함과 동시에 텅스텐과 같은 금속을 사용하여 완전히 충전된 플러그 (plug)를 형성하는 것이다. 그러나, 텅스텐 공정은 고가이며 복잡하고, 텅스텐은 고저항도를 가지며, 텅스텐 플러그는 보이드(void)에 민감하고 배선층과 불량한 인터페이스(interface)를 형성한다.

구리는 상호접속 금속화를 위한 대체 물질로서 제안되어 왔다. 구리는 텅스텐과 비교하여 개선된 전기 특성을 나타내고 알루미늄 보다 양호한 전기이동 특성 및 낮은 저항도를 갖는 장점이 있다. 구리에 대한 단점은 알루미늄과 텅스텐에 비해 에칭이 보다 어려우며 이산화실리콘과 같은 유전층으로 이동하려는 경향이 있다는 것이다. 이러한 이동을 방지하기 위해, 장벽층(barrier layer), 예를 들어 질화티탄, 질화탄탈륨 등이 구리층의 침착전에 사용되어야 한다.

금속층을 도포하기 위한 대표적인 기술, 예를 들어 전기화학적 침착만이 유일하게 구리를 전기 전도층에 도포하는데 적합하다. 따라서, 하도층의 전도성 시드층, 전형적으로는 구리와 같은 금속 시드층이 일반적으로 구리의 전기화학적 침착전에 기판에 도포된다. 이러한 시드층은 다양한 방법, 예를 들어 물리증착법 ("PVD") 및 화학증착법("CVD")에 의해 도포될 수 있다. 전형적으로, 시드층은 다른 금속층에 비해 얇으며, 예를 들어 그 두께는 50 내지 1,500 옹스트롬이다.

금속 시드층, 특히 구리 시드층상의 산화물은 후속 구리 침착을 방해한다. 이러한 산화물은 금속 시드층이 산소 공급원, 예를 들면 공기에 노출될 때 형성된다. 전형적으로, 이러한 시드층이 산소에 노출되는 시간이 길수록, 산화물의 양이 더 많이 형성된다. 구리 시드층이 얇은 경우, 산화구리가 층 전반에 걸쳐 산화구리로서 존재할 수 있다. 다른 영역의 전기도금, 예를 들어 일렉트로닉스 피니싱(electronics finishing)에서, 산화구리 층은 전형적으로 산성 에칭조에 의해 제거된다. 이들 조는 산화물 층을 용해시켜 구리 금속 표면을 남긴다. 이러한 에칭 공정은 얇은 시드층 때문에 구리 시드층에 일반적으로 적용될 수 없다. 산화물이 시드층 표면으로부터 제거될 때 전체 시드층이 곳곳에서 제거되어 시드층에 불연속부를 생성할 위험성이 있다.

미국특허 제 5,824,599호(Shacham-Diamand et al.)에서는 웨이퍼 상의 장벽층 위에 촉매 구리층을 진공하에 구조적으로(conformally) 블랭킷(blanket) 침착시킨 다음, 진공 상태를 중단하지 않고, 촉매 구리층 위에 보호 알루미늄층을 침착시킴으로써 구리 시드층의 표면상에 산화물 형성을 방지하는 방법을 개시하고 있다. 이와 같이 구리층을 진공하에 블랭킷 침착시키는 것은 상업적으로 이용되는 상기 과정을 대표한다.

PCT 특허출원 제 WO 99/47731호(Chen)에서는 처음에 초박판 시드층을 증착시키고 이어서 초박판 시드층을 알칼리성 전해조를 이용하여 전기화학적으로 보강시켜 최종 시드층을 형성함으로써 시드층을 제공하는 방법을 개시하고 있다. 이 특허출원에 따라, 상기 2 단계 공정은 불연속부, 즉, 시드층의 커버리지가 불완전하거나 부족한 시드층 영역이 감소된 시드층을 제공한다. 그러나, 이와 같은 전해질 구리 침착물은 무전해 침착물만큼 공형적(conformal)이지 않다. 따라서, 이러한전해질 침착은 실질적인 상방(upward) 도금없이 불연속부를 실질적으로 충전할 수는 없다.

물리적 또는 화학적 증착법은 비증착 공정, 예를 들어 전해질 및 무전해 침착으로 제공된 것만큼 불순물이 적은 침착물을 갖는 금속층을 제공하지 못한다. 또한, PVD법은 금속을 조준 방식(sight fashion)으로 침착시키는 경향이 있다. PVD 또는 CVD와 달리 무전해 침착은 공형적으로서, 양호한 어퍼쳐 측벽 커버리지 (aperture sidewall coverage)를 제공하여 보다 연속적인 시드층을 형성하며, 그 결과 후속 전기도금후 보이드(void) 형성을 감소시킨다. 그러나, 무전해 도금을 위한 통상적인 콜로이드성 팔라듐 촉매는 전형적으로 얇은 구리층을 벗겨낼 수 있는 강산을 함유한다. 이러한 통상적인 촉매는 또한 무전해 도금전에 제거되어야 하는 주석을 함유한다. 이러한 주석이 완전히 제거되지 않으면 도금 필름에 결함을 초래할 수 있다.

이들 응용예에 사용된 유기 유전체 물질은 전형적으로 통상적인 유전체 물질보다 낮은 유전 상수를 갖는다. 그러나, 이러한 유기 유전체는 장벽층의 물리적 증착을 위한 가공 온도가 너무 높기 때문에 적절히 사용될 수 없다.

따라서, 전자 디바이스, 특히 0.5 마이크론 이하와 같은 작은 기하구조를 갖는 디바이스에서 표면 기하구조에 적합한 실질적으로 연속적인 시드층을 증착시키는 방법이 여전히 요망된다. 또한, 장벽층을 침착시키기 위해 저온 처리가 요망된다. 불연속 시드층을 보강하기 위한 비전해 방법이 또한 요망된다.

놀랍게도, 본 발명의 조성물은 시드층, 특히 구리 시드층에서 불연속부를 보강하거나 보완하는데 적합하다. 또한, 본 발명은 주석의 사용없이 얇은 구리 시드층을 침착시키는데 적합하다. 본 발명의 무전해 도금 촉매는 중성 내지 알칼리성이며, 따라서 통상적인 산성 무전해 촉매보다 얇은 구리 시드층에 덜 유해하다.

한 측면으로, 본 발명은 어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는데 적합한, 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물을 제공한다.

제 2 측면으로, 본 발명은 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키는 단계를 포함하여, 어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는 방법을 제공한다.

제 3 측면으로, 본 발명은 불연속 금속 시드층을 포함하는 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 불연속 시드층을 보강하는 방법을 제공한다.

제 4 측면으로, 본 발명은 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 기판상에 금속 시드층을 침착시키는 방법을 제공한다.

제 5 측면으로, 본 발명은 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 집적 회로를 제조하는 방법을 제공한다.

제 6 측면으로, 본 발명은 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물로부터 침착된 무전해 도금 촉매를 함유하는 전자 디바이스를 제공한다.

명세서 전반에 걸쳐 사용된, 다음 약어는 본문에서 명백하게 달리 제시되지 않는한 다음 의미를 가질 것이다: ℃= 섭씨온도; ㎛= 마이크론= 마이크로미터; g/ℓ= 1리터당 그램; M= 몰; HPC= 하이드록시프로필셀룰로즈; HMC= 하이드록시메틸셀룰로즈; TMAH= 테트라메틸암모늄 하이드록사이드; PVOH= 폴리(비닐 알콜); KOH= 수산화칼륨; HPA= 차아인산(hypophosphorus acid); SF= 소듐 포르메이트; 및 SHP= 차아인산나트륨.

명세서 전반에 걸쳐 사용된 "피처"는 기판상의 기하구조, 예를 들어 트렌치 및 바이어를 의미하나 이들에 한정되지 않는다. "어퍼쳐"는 함몰된 피처, 예를 들어 바이어 및 트렌치를 의미한다. 용어 "작은 피처"란 크기가 1 마이크론 이하(≤1 ㎛)인 피처를 의미한다. "매우 작은 피처"는 크기가 0.5 마이크론 이하(≤0.5 ㎛)인 피처를 의미한다. 마찬가지로, "작은 어퍼쳐"는 크기가 1 마이크론 이하인 어퍼쳐를 의미하고 "매우 작은 어퍼쳐"는 크기가 0.5 마이크론 이하인어퍼쳐를 의미한다. 명세서 전반에 걸쳐 사용된, 용어 "도금"이란 본문에서 명백히 달리 제시되지 않는다면, 금속 전기도금을 의미한다. "침착" 및 "도금"은 명세서 전반에 걸쳐 상호 혼용하여 사용된다. "할로"는 플루오로, 클로로, 브로모 및 요오도를 의미한다. 마찬가지로, "할라이드"는 플루오라이드, 클로라이드, 브로마이드 및 요오다이드를 의미한다. "알킬"은 직쇄, 측쇄 및 사이클릭 알킬 그룹을 포함한다.

모든 퍼센트와 비율은 달리 제시되지 않는 한 중량 기준이다. 모든 범위는 포괄적이고 조합될 수 있다.

본 발명은 어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는데 적합한, 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물을 제공한다. 무전해 도금 촉매로서 사용하기에 적합한 금속염이 본 발명에 사용될 수 있다. 이러한 금속염으로는 코발트염, 구리염, 백금염, 팔라듐염 등이 포함되나, 이들에 한정되지 않는다. 구리 및 팔라듐염이 바람직한 촉매이다. 이들 염은 전형적으로 사용된 용매, 전형적으로 물에 적어도 부분적으로 용해된다. 따라서, 금속염을 가용시키는 용매가 적합하다. 예시적인 금속염으로는 금속 하이드록사이드, 금속 할라이드, 금속 글루코네이트, 금속 아세테이트, 금속 설페이트, 금속 나이트레이트, 금속 설포네이트, 금속 알킬설포네이트, 금속 아릴설포네이트, 금속 플루오로보레이트 등이 포함된다. 이러한 금속의 선택은 당업자들의 권한내이다.

하나이상의 금속염은 전형적으로 본 발명의 조성물에 약 0.1 내지 약 15 g/ℓ, 바람직하게는 0.5 내지 10 g/ℓ 및 더욱 바람직하게는 1 내지 8 g/ℓ의 양으로 존재한다. 특히 유용한 범위는 2 내지 5 g/ℓ이다. 이러한 금속염은 일반적으로 상업적으로 입수가능하고, 추가의 정제없이 사용될 수 있다.

각종 수용성 구리 착화제가 본 발명에 유리하게 사용될 수 있다. 바람직하게, 이들 킬레이트제는 수용성이다. "수용성"이란 킬레이트제가 물에 약 1,000 ppm 또는 그 이상 용해되는 것을 의미한다. 이들 킬레이트제가 유기산 또는 이들의 염인 것이 바람직하고, 유기 카복실산 또는 이들의 염인 것이 더욱 바람직하다. 적합한 유기산은 하나이상의 카복실레이트 그룹을 함유하는 수용성 유기 화합물이다. 바람직한 유기산으로는 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 아민 카복실산, 아릴카복실산, 치환된 아릴카복실산 등 및 이들의 염이 예시되나, 이들로 한정되지 않는다. "치환된 알킬", "치환된 알케닐" 또는 "치환된 아릴"은 알킬 또는 알케닐 사슬 또는 아릴 환상의 하나이상의 수소가 할로, 하이드록실, (C₁-C₆)알콕시, 시아노, (C₁-C₆)알킬티오, 페닐, 페녹시 등과 같은 다른 치환체 그룹으로 치환된 것을 의미한다. 아민 카복실산으로는 아민 테트라카복실산, 예를 들어 에틸렌디아민 테트라카복실산("EDTA") 및 아민 펜타카복실산이 포함된다. 특히 유용한 유기산으로는 포름산, 아세트산, 프로피온산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 글루콜산, 락트산, 타르타르산, 시트르산, 말산, EDTA, 프탈산, 벤젠트리카복실산, 살리실산 및 이들의 염이 포함된다.

본 발명의 조성물중 유기산의 양은 전형적으로 약 0.1 내지 약 25 g/ℓ, 바람직하게는 0.5 내지 20 g/ℓ 및 더욱 바람직하게는 2 내지 15 g/ℓ이다. 유기물의 특정양은 선택된 특정 금속염 및 특정 유기산에 따라 달라질 것이다. 유기산은 여러 공급자로부터 상업적으로 입수가능하고, 추가의 정제없이 사용될 수 있다.

각종 유기 바인더가 본 발명의 조성물에 적합하다. 이러한 바인더는 전형적으로 수용성 또는 수분산성, 바람직하게는 수용성이다. 바인더는 소형 분자 또는 폴리머이다. 적합한 바인더로는 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시알킬셀룰로즈, 예를 들어 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈, 폴리사카라이드 폴리머, 셀룰로즈 폴리머, 유도체화된 셀룰로즈 폴리머, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 폴리머 및 코폴리머, 소수성 및 친수성 부위가 교대로 배열된 폴리우레탄 폴리머, 폴리(말레산 무수물/메틸 비닐 에테르), 폴리메타크릴산, 폴리(비닐 알콜) 및 나프탈렌 포름알데하이드 축합물이 포함된다. 바람직한 유기 바인더는 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈이다.

이들 바인더는 광범위 양으로 사용될 수 있으며, 전형적으로 약 1 내지 약 30 g/ℓ이다. 바람직하게, 유기 바인더는 5 내지 25 g/ℓ 및 더욱 바람직하게는10 내지 약 20 g/ℓ의 양으로 사용된다. 이들 바인더는 일반적으로 상업적으로 입수가능하고, 추가의 정제없이 사용될 수 있다.

각종 환원제가 본 발명의 조성물에 사용될 수 있다. 적합한 환원제로는 차아인산, 차아인산나트륨, 차아인산칼륨, 소듐 보로하이드라이드, 포름알데하이드, 디메틸아민 보란, 트리메틸아민 보란, 메틸모르폴리노 보란, 모르폴리노 보란, 디이소프로필아민 보란, L-소듐 아스코베이트, 아인산나트륨, 아인산칼륨, 타르타르산, 글루코스, 글리세린, 소듐 N,N-디에틸글리신, 소듐 포르메이트, 포타슘 포르메이트, 삼염화티탄, 하이드라진, 티오우레아, 메틸티오우레아, N-메틸티오우레아, N-에틸티오우레아, 하이드로퀴논, 2가 코발트 화합물 등이 포함되나, 이들로만 한정되지 않는다. 바람직한 환원제는 차아인산, 차아인산나트륨 및 소듐 포르메이트이다.

환원제는 전형적으로 본 발명의 조성물에 약 5 내지 약 60 g/ℓ, 바람직하게는 10 내지 50 g/ℓ의 양으로 존재한다. 이러한 환원제는 일반적으로 상업적으로 입수가능하고, 추가의 정제없이 사용될 수 있다.

적합한 유기 또는 무기 염기가 본 발명의 조성물에 사용될 수 있다. 적합한 염기로는 알칼리금속 및 알칼토금속 하이드록사이드, 예를 들어 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨; 수산화암모늄; 알킬암모늄 하이드록사이드, 예를 들어 테트라(C₁-C₄)알킬암모늄 하이드록사이드, 예를 들어 테트라메틸암모늄 하이드록사이드; 아민, 카보네이트 등이 포함되나, 이들로만 한정되지 않는다. 이들 염기는 본 발명의 조성물중에 조성물의 pH를 약 7 이상, 바람직하게는 약 7.5 내지 약13.5, 더욱 바람직하게는 8 내지 13, 보다 바람직하게는 8.5 내지 12 및 보다 더 바람직하게는 10 내지 12로 제공하기에 충분한 양으로 존재한다. 사용된 특정 pH는 부분적으로 금속염의 선택에 따라 달라진다. 예를 들어, 구리염이 본 발명의 조성물에 사용된 경우, 특히 적합한 pH 범위는 약 7.5 내지 약 8.0이다.

본 발명의 조성물은 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 하나이상의 염기를 임의적인 순서로 배합하여 제조할 수 있다. 한 구체예로, 착화제를 우선 물에 용해시킨 다음, 금속염, 유기 바인더, 염기, 환원제 및 물을 최종 부피로 용해시킨다. 바람직하게는, 뭉치는 것을 방지하기 위하여 유기 바인더를 혼합물에 천천히 첨가한다. 전형적으로, 본 발명의 조성물은 물에서 제조되나, 하나이상의 유기 용매, 또는 물과 하나이상의 유기 용매의 혼합물중에서 제조될 수 있다. 이와 같은 유기 용매로는 폴리하이드록시 화합물, 예를 들어 알칸디올 및 알칸트리올, 글리콜 에테르, 글리콜 에테르 아세테이트 등이 포함되나, 이들로 한정되지 않는다. 알칸디올에는 글리콜, 예를 들어 에틸렌 글리콜, 프로필렌 글리콜 등과 같은 (C₁-C₂₄)알칸디올이 포함된다. 글리콜 에테르의 예로는 에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노부틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노부틸 에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 트리에틸렌 글리콜 모노부틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 디부틸 에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르, 프로필렌 글리콜 모노부틸 에테르, 디프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르, 디프로필렌 글리콜 모노부틸 에테르, 트리프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르, 트리프로필렌 글리콜 모노부틸 에테르, 프로필렌 글리콜 디메틸 에테르, 프로필렌 글리콜 디부틸 에테르, 디프로필렌 글리콜 디메틸 에테르, 디프로필렌 글리콜 디부틸 에테르 등이 포함된다. 그밖의 다른 적합한 용매로는 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트가 포함된다. 물, 및 물과 유기 용매의 혼합물이 바람직하며, 물이 보다 더 바람직하다.

본 발명의 촉매 조성물은 딥핑(dipping), 분무, 플러드 코팅(flood coating), 스크린 프린팅(screen printing), 롤러 코팅(roller coating), 스핀 코팅(spin-coating) 등과 같은 다양한 수단에 의해 기판에 적용될 수 있다. 적합한 기판으로는 전자 디바이스의 제조에 사용되는 기판, 예를 들어 직접 회로, 인쇄 배선판 내부층 및 외부층, 가요성 회로, 멀티칩 모듈(multichip module), 접속기, 리드 프레임(lead frame) 등의 제조에 사용되는 웨이퍼가 예시되나 이로만 한정되지 않는 것이 포함된다. 기판이 웨이퍼인 것이 바람직하다. 본 발명의 조성물이 작은 어퍼쳐(≤1 ㎛), 더욱 바람직하게는 매우 작은 어퍼쳐(≤0.5 ㎛) 및 더욱 더 바람직하게는 ≤0.18 ㎛ 어퍼쳐를 갖는 기판에 적용되는 것이 또한 바람직하다. 따라서, 본 발명은 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 유기산, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키는 단계를 포함하여, 어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는 방법을 제공한다.

기판상에 침착된 상기 무전해 도금 촉매의 양은 적용된 조성물의 코팅 또는 필름의 두께에 의해 결정된다. 따라서, 침착되는 촉매의 양은 기판에 적용된 조성물의 양을 조절하여 조정할 수 있다. 기판에 적용된 상기 조성물은 실질적으로 연속 필름을 형성하며, 즉 복합체의 팔름은 기판 표면적의 >95%, 바람직하게는 >98% 및 더욱 바람직하게는 >99%를 커버한다.

본 발명의 조성물이 기판상에 적용 또는 코팅되고 나면, 이들을 전형적으로 건조시켜 균일한 불활성 촉매 필름을 제공한다. 이때 건조는 다양한 수단으로 행해질 수 있다. 바람직하게, 건조는 가열에 의해 수행된다. 전형적으로, 이와 같은 가열은 촉매를 활성화시키는데 필요한 온도보다 낮은 온도에서 수행된다. 예를 들어, 코팅된 기판은 공기중, 약 100 ℃ 이하의 온도, 및 바람직하게는 약 90 ℃ 이하의 온도에서 건조시킬 수 있다. 전형적인 건조 시간은 촉매 조성물에 사용된 용매 및 적용된 촉매층의 두께에 따라 달라질 것이다. 이러한 시간은 당업자의 권한내이나, 적합하게는 60 분이하, 바람직하게는 45 분이하 및 더욱 바람직하게는 30 분이하이다.

건조후, 불활성 촉매 필름을 무전해 금속 침착전에 활성화시킨다. 따라서, 본 발명의 방법은 추가로 활성화 단계를 포함한다. 불활성 촉매 필름은 승온과 같은 가열, 이산화탄소 또는 엑시머 레이저에 대한 노출, 자외선에 대한 노출 등의 다양한 수단에 의해 활성화될 수 있다. 바람직하게, 촉매는 촉매 코팅된 기판을 오븐에 위치시키는 것과 같이 승온에서 가열함으로써 활성화된다. 이와 같은 가열은 전형적으로 약 ≥100 ℃, 바람직하게는 약 ≥110 ℃, 더욱 바람직하게는 약 ≥120 ℃, 보다 더 바람직하게는 약 ≥130 ℃ 및 더욱 더 바람직하게는 약 ≥140 ℃ 또는 그 이상, 예를 들어 ≥200 ℃의 온도에서 수행된다. 촉매를 활성화시키기 위한 이러한 가열은 전형적으로 180 분이하, 바람직하게는 120 분이하, 더욱 바람직하게는 60 분이하 및 더욱 더 바람직하게는 15 분이하로 수행된다. 당업자들은 촉매의 선택적인 활성화가 마스크를 통한 UV 조사선 또는 레이저를 사용하여 가능함을 인지할 것이다.

본 발명의 촉매가 활성화되면, 이들을 다양한 금속에 의해 무전해적으로 도금할 수 있다. 무전해적으로 침착될 수 있는 적합한 금속은 구리, 니켈, 금, 은, 코발트, 팔라듐, 백금, 철 등이 포함되나, 이들로 한정되지 않는다. 무전해 도금액은 전형적으로 하나이상의 금속 이온, 하나이상의 환원제, 및 임으로 착화제를 포함한다. 전형적으로, 무전해 도금액은 수성이나, 또한 하나이상의 유기 용매를 함유할 수 있다.

본 발명은 기판상의 불연속 금속 시드층을 보강시키는데 특히 적합하다. 불연속 금속 시드층을 "보강시키는 것"이란 불연속부 또는 시드층이 결여된 영역을 실질적으로 충전, 및 바람직하게는 충전시키도록 시드층을 보완하거나 연장 (extend)하는 것을 의미한다. 따라서, 본 발명은 불연속 금속 시드층을 포함하는 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 유기산, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 불연속 시드층을 보강하는 방법을 제공한다.

또 다른 구체예로, 본 발명은 기판상에 시드층을 침착시키는데 특히 적합하다. 이러한 시드층은 무전해적으로 침착되는데, 이는 공형적인 장점을 갖는다.따라서, 통상적인 시드층의 문제점을 극복한 균일한 공형적 시드층이 수득된다. 통상적인 무전해 촉매는 침착된 구리층의 저항도를 증가시키는 팔라듐을 포함한다. 본 발명에 따라 촉매로서 팔라듐 대신 구리를 사용할 수 있다. 구리염을 포함한 이어한 촉매는 침착된 구리층의 저항도를 증가시키지 않기 때문에 시드층 침착에 특히 유리하다.

따라서, 본 발명은 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 유기산, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 기판상에 금속 시드층을 침착시키는 방법을 제공한다. 본 발명이 직접 회로 디바이스상에 시드층을 침착시키기 위해 사용되는 경우, 촉매 조성물은 바람직하게는 장벽층에 적용된다. 적합한 장벽층은 구리의 전기이동을 감소시키거나 방지하는 것이면 된다. 적합한 장벽층으로는 탄탈륨, 질화 탄탈륨, 탄탈륨 나이트라이드 실리사이드, 티탄, 질화티탄, 텅스텐, 질화텅스텐 및 텅스텐 나이트라이드 실리사이드가 포함되나, 이들로 한정되지 않는다. 예를 들어, 티탄, 질화티탄, 및 임의로 티탄 나이트라이드 실리사이드를 차례로 사용하는 것과 같이 하나보다 많은 장벽층이 사용될 수 있다.

본 발명은 또한 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 유기산, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하여, 집적 회로를 제조하는 방법을 제공한다. 따라서, 본 발명은 또한 하나이상의 금속염, 하나이상의 유기산, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물로부터 침착된 무전해 도금 촉매를 포함하는 전자 디바이스를 제공한다.

본 발명의 촉매가 활성화되면, 이들을 다양한 금속에 의해 무전해적으로 도금할 수 있다. 무전해적으로 침착될 수 있는 적합한 금속은 구리, 니켈, 금, 은, 코발트, 팔라듐, 백금, 철 등이 포함되나, 이들로 한정되지 않는다. 바람직하기로, 무전해 도금조는 무전해 구리 도금조이다. 이러한 무전해 도금액은 전형적으로 하나이상의 금속 이온, 하나이상의 환원제, 및 임으로 착화제를 포함한다. 전형적으로, 무전해 도금액은 수성이나, 또한 하나이상의 유기 용매를 함유할 수 있다.

금속 이온은 어떤 가용 형태, 예를 들어 나이트레이트, 설페이트, 설포네이트, 알킬설포네이트, 아릴설포네이트, 할라이드, 플루오로보레이트, 글루코네이트, 아세테이트 등으로서 무전해 도금조에 존재할 수 있다. 이러한 금속 이온의 양은 침착된 금속 및 사용된 특정 무전해조에 따라 달라진다. 이러한 양은 당업자의 권한내이다.

각종 환원제가 상기 무전해조에 사용될 수 있다. 적합한 환원제로는 차아인산나트륨, 차아인산칼륨, 소듐 보로하이드라이드, 포름알데하이드, 디메틸아민 보란, 트리메틸아민 보란, 메틸모르폴리노 보란, 모르폴리노 보란, 디이소프로필아민 보란, L-소듐 아스코베이트, 아인산나트륨, 아인산칼륨, 타르타르산, 글루코스, 글리세린, 소듐 N,N-디에틸글리신, 소듐 포르메이트, 포타슘 포르메이트, 삼염화티탄, 하이드라진, 티오우레아, 메틸티오우레아, N-메틸티오우레아, N-에틸티오우레아, 하이드로퀴논, 2가 코발트 화합물 등이 포함되나, 이들로만 한정되지 않는다. 무전해 구리조의 경우, 포름알데하이드, 디메틸아민 보란 및 소듐 보로하이드라이드가 바람직하다. 무전해조중의 환원제의 양은 당업자들에게 공지되었다.

임의로, 무전해조는 하나이상의 착화제, 예를 들어 에틸렌디아민, EDTA, 테트라메틸렌디아민, 시트레이트염, 타르트레이트염 등을 함유할 수 있다.

활성화 촉매를 함유하는 기판을 전형적으로 목적하는 금속층을 침착시키기에 충분한 온도 및 시간동안 무전해 도금조와 접촉시킨다. 여기에서 시간 및 온도는 침착되는 금속 및 사용되는 특정 무전해 도금조에 따라 달라진다. 전형적으로, 이러한 무전해 도금은 실온 이하에서 약 95 ℃까지, 및 바람직하게는 25 내지 80 ℃의 온도에서 수행될 수 있다. 적합한 도금 시간은 전형적으로 적어도 약 0.25 분, 바람직하게는 적어도 약 0.5 분, 및 더욱 바람직하게는 적어도 약 5 분이다. 그밖의 적합한 도금 시간은 적어도 약 20 분을 포함한다. 도금 사용 시간에 실질적인 상한선은 없다. 무전해 도금을 오래 수행하면 수행할수록 생성된 금속 침착물이 더 두꺼워진다. 당업자들은 침착물의 두께가 증가될수록 도금 속도가 느려짐을 인지할 것이다.

본 발명이 불연속부를 갖는 시드층을 보강하거나 보완하기 위해 사용되는 경우, 기판을 이와 같은 불연속부를 실질적으로, 및 바람직하게는 완전히 충전시키기에 충분한 시간동안 무전해 도금조와 접촉시킨다. 본 발명이 시드층을 침착시키기 위해 사용되는 경우, 시드층은 다양한 두께일 수 있다. 본 발명은 증착할 필요없이 매우 얇은 공형적 시드층이 침착되도록 한다.

기판내에 존재하는 어퍼쳐가 무전해 금속 침착에 의해 실질적으로 또는 완전히 충전될 때까지 기판을 도금할 수 있음이 이해될 것이다. 이것은 이와 같은 기판의 도금시 하나의 도금조만이 사용될 필요가 있는 장점을 갖는다. 무전해 침착은 공형적으로 되려는 경향이 있기 때문에, 무전해 금속 침착물이 어퍼쳐를 완전히 충전시키지 않는 것이 바람직하다. 따라서, 무전해 침착이 어퍼쳐를 부분적으로 충전한 후, 기판을 무전해조로부터 꺼내 바람직하게는 동일한 금속으로 전기 도금하는 것이 바람직하다. 이와 같은 방식에 의해, 보이드가 없는 바닥상단(bottom-up) 충전이 작은 어퍼쳐, 특히 ≤0.18 ㎛의 어퍼쳐로 제공된다.

따라서, 본 발명은 또한 본 발명의 방법으로부터 수득된 무전해 금속 침착물을 함유하는 하나이상의 어퍼쳐를 갖는 전자 디바이스 기판을 포함하는 제품을 제공한다.

반도체 웨이퍼가 본 발명에 따라 도금되어 어퍼쳐가 충전되면, 웨이퍼를 바람직하게는 화학적-기계적 평탄화("CMP")시킨다. CMP 과정은 본 발명에 따라 다음과 같이 수행된다.

이동형 폴리싱(polishing) 패드의 표면에 대해 웨이퍼를 밀어 붙히는 웨이퍼 캐리어(carrier)에 웨이퍼를 마운팅한다. 폴리싱 패드는 통상적인 매끄러운 폴리싱 패드 또는 홈이 파진(grooved) 폴리싱 패드일 수 있다. 홈이 파진 패드는 당업계에 공지되었으며, 예를 들어 Rodel, Inc., Newark, Delaware로부터 시판되는 것이 있다. 폴리싱 패드는 폴리싱 패드를 회전시킬 수 있는 통상적인 플래튼 (platen)상에 위치될 수 있다. 폴리싱 패드는 접착제, 예를 들어 양면에 접착제를 가진 양면 테이프를 포함하나, 이들에 한정되지 않는 지지(holding) 수단에 의해 플래튼상에 고정시킬 수 있다.

폴리싱 용액 또는 슬러리를 폴리싱 패드상에 공급한다. 웨이퍼 캐리어를 폴리싱 패드상의 서로 다른 위치에 위치시킬 수 있다. 웨이퍼를 웨이퍼 홀더, 진공 또는 유체 텐셔닝(tensioning)(물이 예시되나 이에 한정되지 않는 유체로서 이에 한정되지는 않음)이 예시되나 이들에 한정되지 않는 적합한 지지 수단으로 일정 위치에 고정시킬 수 있다. 지지 수단이 진공에 의한 것이라면, 웨이퍼 캐리어에 연결되어 있는 홀로우 샤프트(hollow shaft)가 바람직하다. 또한, 홀로우 샤프트는 공기 또는 불활성 가스가 예시되나 이들에 한정되지 않는 가스압을 조절하거나 진공을 이용하여 웨이퍼를 초기에 고정하는데 사용될 수 있다. 가스 또는 진공은 홀로우 샤프트로부터 캐리어로 유동할 것이다. 가스는 원하는 외형을 위해 웨이퍼를 폴리싱 패드에 대해 밀착시킬 수 있다. 진공은 우선 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어의 일정 위치에 고정시킬 수 있다. 일단 웨이퍼가 폴리싱 패드의 상단에 위치하면 진공이 제거될 수 있으며 가스압이 투입되어 폴리싱 패드에 대해 웨이퍼를 밀어내게 할 수 있다. 그후 과량 또는 원치 않는 구리가 제거된다. 플래튼과 웨이퍼 캐리어는 별개로 회전될 수 있다. 따라서, 웨이퍼를 같거나 서로 다른 속도에서 폴리싱 패드와 동일한 방향으로 회전시키거나 웨이퍼를 폴리싱 패드와 반대 방향으로 회전시킬 수 있다.

따라서, 본 발명은 반도체 웨이퍼를 회전 폴리싱 패드와 접촉시켜 반도체 웨이퍼로부터 과량의 물질을 제거하고, 반도체 웨이퍼가 상기 언급된 방법에 따라 미리 침착 또는 보강된 시드층을 함유하는 것을 포함하는 화학적 기계적 평탄화 방법을 이용하여 반도체 웨이퍼로부터 과량의 물질을 제거하는 방법을 제공한다.

이후 실시예가 본 발명의 다양한 측면을 추가로 설명하기 위하여 기술될 것이나, 본 발명의 영역을 어떠한 측면으로도 제한하고자 하지는 않는다.

실시예 1

하기 표 1에 수록된 양의 성분들을 물과 배합하여 촉매 샘플을 제조하였다.

표 1

실시예 2

불연속성인 구리 시드층을 PVD에 의해 ≤0.5 ㎛의 어퍼쳐를 갖는 장벽층 코팅된 실리콘 웨이퍼에 적용하였다. 샘플 1을 웨이퍼상에 스핀 코팅한 후, 공기중에 90 ℃에서 30 분동안 건조시켰다. 이어서, 촉매를 140 ℃ 오븐에 15 분동안 놓아두어 활성화시켰다. 그후, 웨이퍼를 무전해 구리조와 접촉시켜 실질적으로연속성인 구리 시드층을 제공하였다. 웨이퍼를 산 구리조에서 전기도금하여 실질적으로 구리로 충전된 어퍼쳐를 수득하였다.

실시예 3

웨이퍼가 어떠한 시드층도 함유하지 않는 것을 제외하고 실시예 2를 반복하였다.

실시예 4

샘플 8이 사용되는 것을 제외하고 실시예 3을 반복하였다.

본 발명의 조성물은 시드층, 특히 구리 시드층에서 불연속부를 보강하거나 보완하는데 적합하다.

Claims

어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는데 적합한, 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물
제 1 항에 있어서, 하나이상의 금속염이 구리 및 팔라듐 염중에서 선택되는 조성물.
제 1 항에 있어서, 하나이상의 착화제가 유기산중에서 선택되는 조성물.
제 3 항에 있어서, 유기산이 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 아민 카복실산, 아릴카복실산 및 치환된 아릴카복실산중에서 선택되는 조성물.
제 4 항에 있어서, 유기산이 포름산, 아세트산, 프로피온산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 글루콜산, 락트산, 타르타르산, 시트르산, 말산, EDTA, 프탈산, 벤젠트리카복실산 및 살리실산중에서 선택되는 조성물.
제 1 항에 있어서, 하나이상의 유기 바인더가 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시알킬셀룰로즈, 예를 들어 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈, 폴리사카라이드 폴리머, 셀룰로즈 폴리머, 유도체화된 셀룰로즈 폴리머, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 폴리머 및 코폴리머, 소수성 및 친수성 부위가 교대로 배열된 폴리우레탄 폴리머, 폴리(말레산 무수물/메틸 비닐 에테르), 폴리메타크릴산, 폴리(비닐 알콜) 및 나프탈렌 포름알데하이드 축합물중에서 선택되는 조성물.
제 1 항에 있어서, 염기가 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄 및 테트라(C₁-C₄)알킬암모늄 하이드록사이드중에서 선택되는 조성물.
기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하여, 어퍼쳐가 1 ㎛ 이하인 기판상에 무전해 도금 촉매를 침착시키는 방법.
제 8 항에 있어서, 하나이상의 금속염이 구리 및 팔라듐 염중에서 선택되는방법.
제 8 항에 있어서, 하나이상의 구리 착화제가 유기산중에서 선택되는 방법.
제 10 항에 있어서, 유기산이 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 아민 카복실산, 아릴카복실산 및 치환된 아릴카복실산중에서 선택되는 방법.
제 11 항에 있어서, 하나이상의 유기산이 포름산, 아세트산, 프로피온산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 글루콜산, 락트산, 타르타르산, 시트르산, 말산, EDTA, 프탈산, 벤젠트리카복실산 및 살리실산중에서 선택되는 방법.
제 8 항에 있어서, 하나이상의 유기 바인더가 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시알킬셀룰로즈, 예를 들어 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈, 폴리사카라이드 폴리머, 셀룰로즈 폴리머, 유도체화된 셀룰로즈 폴리머, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 폴리머 및코폴리머, 소수성 및 친수성 부위가 교대로 배열된 폴리우레탄 폴리머, 폴리(말레산 무수물/메틸 비닐 에테르), 폴리메타크릴산, 폴리(비닐 알콜) 및 나프탈렌 포름알데하이드 축합물중에서 선택되는 방법.
제 8 항에 있어서, 염기가 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄 및 테트라(C₁-C₄)알킬암모늄 하이드록사이드중에서 선택되는 방법.
제 8 항에 있어서, 어퍼쳐가 0.5 ㎛ 이하인 방법.
불연속 금속 시드층을 포함하는 기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하여, 불연속 시드층을 보강(enhancing)하는 방법.
제 16 항에 있어서, 기판이 1 ㎛ 이하의 어퍼쳐를 포함하는 방법.
제 16 항에 있어서, 활성화 단계가 가열, 이산화탄소 또는 엑시머 레이저에 대한 노출 또는 자외선에 대한 노출을 포함하는 방법.
제 16 항에 있어서, 하나이상의 금속염이 구리 및 팔라듐 염중에서 선택되는방법.
제 16 항에 있어서, 하나이상의 구리 착화제가 유기산중에서 선택되는 방법.
제 20 항에 있어서, 유기산이 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 아민 카복실산, 아릴카복실산 및 치환된 아릴카복실산중에서 선택되는 방법.
제 21 항에 있어서, 하나이상의 유기산이 포름산, 아세트산, 프로피온산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 글루콜산, 락트산, 타르타르산, 시트르산, 말산, EDTA, 프탈산, 벤젠트리카복실산 및 살리실산중에서 선택되는 방법.
제 16 항에 있어서, 하나이상의 유기 바인더가 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시알킬셀룰로즈, 예를 들어 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈, 폴리사카라이드 폴리머, 셀룰로즈 폴리머, 유도체화된 셀룰로즈 폴리머, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 폴리머 및코폴리머, 소수성 및 친수성 부위가 교대로 배열된 폴리우레탄 폴리머, 폴리(말레산 무수물/메틸 비닐 에테르), 폴리메타크릴산, 폴리(비닐 알콜) 및 나프탈렌 포름알데하이드 축합물중에서 선택되는 방법.
제 16 항에 있어서, 염기가 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄 및 테트라(C₁-C₄)알킬암모늄 하이드록사이드중에서 선택되는 방법.
기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하여, 기판상에 금속 시드층을 침착시키는 방법.
제 25 항에 있어서, 기판이 1 ㎛ 이하의 어퍼쳐를 포함하는 방법.
제 25 항에 있어서, 활성화 단계가 가열, 이산화탄소 또는 엑시머 레이저에 대한 노출 또는 자외선에 대한 노출을 포함하는 방법.
제 25 항에 있어서, 하나이상의 금속염이 구리 및 팔라듐 염중에서 선택되는 방법.
제 25 항에 있어서, 하나이상의 구리 착화제가 유기산중에서 선택되는 방법.
제 29 항에 있어서, 하나이상의 유기산이 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알킬디카복실산, 치환된 (C₁-C₁₂)알킬트리카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐디카복실산, 치환된 (C₂-C₁₂)알케닐트리카복실산, 아민 카복실산, 아릴카복실산 및 치환된 아릴카복실산중에서 선택되는 방법.
제 25 항에 있어서, 하나이상의 유기산이 포름산, 아세트산, 프로피온산, 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 글루콜산, 락트산, 타르타르산, 시트르산, 말산, EDTA, 프탈산, 벤젠트리카복실산 및 살리실산중에서 선택되는 방법.
제 25 항에 있어서, 하나이상의 유기 바인더가 셀룰로즈, 하이드록시셀룰로즈, 하이드록시알킬셀룰로즈, 예를 들어 하이드록시메틸셀룰로즈, 하이드록시에틸셀룰로즈 및 하이드록시프로필셀룰로즈, 폴리사카라이드 폴리머, 셀룰로즈 폴리머, 유도체화된 셀룰로즈 폴리머, 에틸렌 옥사이드와 프로필렌 옥사이드의 폴리머 및 코폴리머, 소수성 및 친수성 부위가 교대로 배열된 폴리우레탄 폴리머, 폴리(말레산 무수물/메틸 비닐 에테르), 폴리메타크릴산 및 나프탈렌 포름알데하이드 축합물중에서 선택되는 방법.
제 25 항에 있어서, 염기가 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄 및 테트라(C₁-C₄)알킬암모늄 하이드록사이드중에서 선택되는 방법.
기판을 하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물과 접촉시키고; 촉매를 활성화시킨 후; 촉매를 무전해 도금액과 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하여, 집적 회로를 제조하는 방법.
하나이상의 금속염, 하나이상의 구리 착화제, 하나이상의 유기 바인더, 하나이상의 환원제 및 염기를 포함하는 조성물로부터 침착된 무전해 도금 촉매를 함유하는 전자 디바이스(device).