KR101011850B1 - 대형 기판 홀더 - Google Patents

Abstract

기판 홀더 본체(2)의 개구부(3)내에 설치된 복수의 창살(4)의 사이에, 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수하는 복수의 고무(9)를 압입한 진동 흡수 부재(8)를 부착하였다.

기판 홀더, 외적 요인, 내적 요인, 진동 흡수, 고무

Description

대형 기판 홀더{Large size substrate holder}

도 1은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태를 도시한 구성도이고,

도 2a는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 보호 유지대에 대한 기판 흡인 부재 및 지지 핀의 부착 구성도이고,

도 2b는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 보호 유지대에 대한 기판 흡인 부재 및 지지 핀의 부착 구성도이고,

도 3은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 진동 흡수 부재의 분해 구성도이고,

도 4는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살 간의 고무의 압입상태를 도시한 도면이고,

도 5a는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 고무의 상하 커버를 도시한 도면이고,

도 5b는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시의 형태에 있어서의 고무의 상하 커버를 도시한 도면이고,

도 6은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 기판 홀더 본체의 중앙부에 진동 흡수 부재를 부착한 변형예를 도시한 구성도이고,

도 7은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 진동 흡수 부재를 이산적으로 부착한 변형예를 도시한 구성도이고,

도 8은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살의 사이에 압입하는 고무를 끼워 넣는 변형예를 도시한 구성도이고,

도 9는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살의 사이에 압입하는 고무를 끼워 넣는 변형예를 도시한 구성도이고,

도 10은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 2의 실시 형태를 도시한 정면 구성도이고,

도 11은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 2의 실시 형태를 도시한 상면 구성도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 유리 기판 2, 31 : 기판 홀더 본체

4 : 창살 5 : 기판 흡인 부재

7 : 흡인 튜브 8, 8-1~8-6 : 진동흡수부재

9 : 고무 30 : 검사장치 본체

32 : 베이스 33 : 링 형상의 창살

34 : 직선 형상의 창살 37 : 회전기구

38 : 구동부 39 : 리프트 핀기구

40, 41 : 핀 지지바 42~45 : 리프트 핀

46, 47 : 가이드 레일 48 : 문주 아암

49 : 현미경 50 : 투과 조명 장치

본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL 디스플레이 등의 평판 디스플레이(FPD)의 유리기판을 보호 유지하는 대형 기판 홀더에 관한 것이다.

예를 들면, 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판은 근년에 액정 디스플레이의 기술의 진보에 의하여 그 사이즈가 대형화하고 있고, 예를 들면 1m×1m이상이 되어 있다.

이와 같은 유리 기판은 액정 디스플레이의 제조 공정에 있어서 기판 홀더상에 재치되어 결함 검사된다. 결함 검사에 이용되는 기판 홀더는 예를 들면 일본국 특개평9­189641호 공보에 기재되어 있다. 일본국 특개평9-189641호 공보는 기판 홀더 틀 내에 복수의 창살을 마련한 구성으로 되어 있다. 결함 검사는 유리 기판을 조명하여 검사원의 목시에 의하여 결함 부분을 검사하는 마크로검사와, 이 마크로 검사에 의하여 검출된 결함 부분을 현미경을 이용하여 확대하여 검사하는 미크로 검사가 행하여진다.

그렇지만, 유리 기판은 기판 홀더상에 재치되어 있지만, 예를 들면 사람이 움직이는 등의 외적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더에 전달되어, 유리 기판이 진동하여 버린다. 또한, 유리 기판이 진동하는 것은 사람의 움직임뿐만이 아 니라, 예를 들면 크린 룸에 흐르는 다운 플로어의 풍압을 받아 진동하거나, 유리 기판을 반송하는 로더·언로더의 동작 시에 발생하는 진동의 영향, 그레이팅 마루 등으로부터의 진동을 받아 진동하여 버린다. 더욱이, 기판 홀더 자체가 이동하는 등의 내적 요인에 의하여 진동이 발생하고, 유리 기판을 진동시켜 버린다.

기판 홀더는 사이즈가 예를 들면 1m×1m 이상의 대형 유리 기판을 보호 유지하기 위해서 대형화하고, 홀더 틀 내에 설치된 각 창살의 길이도 길어진다. 이 때문에, 이들 창살은 미세한 진동으로 공진하여 그 진동이 커지고, 유리 기판을 진동시켜 버린다. 이 진동에서는 저주파수의 진동이나 고주파의 진동이 포함된다. 더욱이 유리 기판은 판두께가 얇게 형성되어 있기 때문에, 기판 홀더의 진동을 받기 쉽다.

이와 같이 유리 기판이 진동하면, 유리 기판의 검사 시, 예를 들면 미크로 검사 시에 현미경을 통하여 관찰되는 결함 부분의 확대 화상이 진동하여 버리고, 확대 화상의 보이는 방법이 악화한다. 특히, 현미경의 배율이 높아짐에 따라 미소한 진동이나 미세한 다운 플로우의 풍압에서도 현미경을 통하여 관찰되는 확대 화상이 예를 들면 미소하게 진동하여 버린다. 이 때문에, 확대 화상의 보이는 방법이 악화되고, 유리 기판을 검사하기에는 불량한 화상이 된다. 이 결과, 결함 부분의 미크로 검사나 유리 기판상의 선폭 측정을 충분한 정밀도로 행하는 것이 불가능하다.

이러한 유리 기판의 진동 방지 방법으로서는 예를 들면 기판 홀더상에 있어 서 유리 기판을 전면 흡착하는 방법이나, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이 기판 홀더를 구성하는 복수의 창살을 금속 부재에 의하여 구성하는 방법 등이 있다.

그렇지만, 유리 기판을 전면 흡착하는 방법에서는 유리 기판의 이면측이 기판 홀더에 의하여 막히는 것에 의하여, 유리 기판의 이면측으로부터 투과 조명광을 조사할 수 없게 된다. 이 때문에, 투과 조명을 이용하여 유리 기판의 결함 검사가 불가능하게 된다.

또한, 특허 문헌 1에 나타낸 창살을 금속 부재에 의하여 구성하는 방법에서는 금속 부재가 강체이기 때문에 진동하기 쉬워진다.

본 발명의 주요한 관점에 의하면, 틀 형상의 스테이지와, 이 스테이지 틀 내에 설치되어 대형 기판을 수평으로 재치하는 복수의 창살을 가지는 대형 기판 홀더에 있어서, 각 창살의 사이에 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수하는 진동 흡수 수단을 마련한 대형 기판 홀더가 제공된다.

이하, 본 발명의 제 1의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 대형 기판 홀더의 구성도이다. 이 대형 기판 홀더는 예를 들면 평판 디스플레이의 대형 유리 기판(1)의 표면을 검사하는 표면 검사 장치에 적용된다. 기판 홀더 본체(2)는 틀 형상으로 형성되어 있다. 이 기판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내에는 복수의 창살(4)이 X 방향으로 가설되어 있다. 이들 창살(4)은 기 판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내의 서로 대향하는 2변 사이에 소정의 간격으로 나란히 설치되어 있다. 이들 창살(4)은 서로의 판면이 서로 마주보고 배치된 띠 형상의 2장의 보호 유지판(4a, 4b)으로 구성되어 있다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에는 투과 조명광이 통과하기 위한 공간부(4c)가 형성되어 있다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에는 예를 들면 투명한 방지재를 끼워도 좋다.

기판 홀더 본체(2)의 개구부 내에 있어서의 소정 위치, 예를 들면 중앙 부분에 대응하는 각 창살(4)에는 복수의 기판 흡인 부재(5)가 설치되어 있다. 또한, 각 창살(4)에는 유리 기판(1)을 수평으로 보호 유지하기 위하여 복수의 지지 핀(6)이 설치되어 있다.

도 2a 및 도 2b는 창살(4)에 대한 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)의 부착을 도시한 구성도로서, 도 2a는 위쪽에서 본 구성도이고, 도 2b는 측면도이다. 이들 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)은 2장의 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 소정 간격으로 끼워져 있다. 기판 흡인 부재(5)는 각각 기판 홀더 본체(2)상에 재치되는 유리 기판(1)을 흡인 보호 유지한다. 지지 핀(6)은 상기 유리 기판(1)을 수평으로 지지한다. 이들 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)은 도 1에 도시한 바와 같이 기판 홀더 본체(2)의 주연(周緣) 재치부(2a)와 동일 높이로 설치된다.

각 기판 흡인 부재(5)에는 흡인 튜브(7)가 접속되어 있다. 이 흡인 튜브(7)는 2장의 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 배치되어 있다. 이 흡인 튜브(7)는 예를 들면 광투과성의 재료에 의하여 형성되어 있다. 그리고, 각 창살(4) 마다 배치 설치된 각 흡인 튜브(7)는 예를 들면 1개로 줄어들고, 도 1에 도시하는 바와 같이 기 판 홀더 본체(2) 외부에 설치된 흡인 펌프(P)에 접속된다.

또한, 도 2a 및 도 2b는 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)이 부착된 창살(4)을 나타내지만, 기판 흡인 부재(5)를 설치하지 않은 경우에는 복수의 지지 핀(6)이 각 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 소정 간격마다 끼워진다.

기판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내에는 복수의 창살(4)의 배치 방향(X 방향)에 대해서 수직 방향(Y방향)으로 복수의 진동 흡수 부재(8)가 부착되어 있다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 개구부(3) 내에 복수열, 예를 들면 도 1에서는 중앙부와 그 양측과의 합계 3열이 소정 간격을 두고 배열된다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생하는 기판 홀더 자체의 저주파수의 진동이나 고주파의 진동을 흡수, 감쇠한다.

도 3은 진동 흡수 부재(8)를 일부 확대한 분해 구성도이다. 각 창살(4)의 사이에는 각각 진동 흡수 수단으로서 예를 들면 탄성체인 고무(9)가 압입된다. 이 고무(9)는 예를 들면 고분자의 고무에 의하여 직육면체로 형성되어 있다. 고분자의 고무(9)는 가하여진 진동을 흡수하는 성질을 가진다. 예를 들면, 고분자의 고무(9)에 물체가 충돌하면, 고분자의 고무(9)는 물체로부터 받는 충격을 흡수하고, 또한 충돌시의 충격을 물체에게 부여하지 않는 성질을 가진다. 또한, 고분자의 고무(9)는 먼지와 티끌을 내지 않는다.

이 고무(9)의 길이는 각 창살(4)의 간격보다 약간 길게 형성되어 있다. 또한, 고무(9)의 길이, 높이 및 폭은 각각 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생하는 기판 홀더 자체의 진동의 크기 등에 따라 조정하여도 좋다.

이러한 고무(9)는 예를 들면 도 4에 있어서 압입 상태를 강조하여 나타내는 바와 같이, 길이 방향의 양단이 각각 각 창살(4)에의 누르는 힘에 의하여 인접하는 일측 창살의 보호 유지판(4b)과 타측 창살(4)의 보호 유지판(4a) 사이에 끼워진다.

이들 각 창살(4)의 사이에 끼워지는 고무(9)는 상하의 각 커버(10, 11)에 의하여 덮여 있다. 상측 커버(10)는 오목(凹)형상으로 형성되어 있다. 이 상측 커버(10)는 각 창살(4)이 들어가는 곳에 노치(notch)부(12)가 설치되어 있다. 하측 커버(11)는 오목(凹)형상으로 형성되어 있다. 이 하측 커버(11)의 길이는 각 창살(4)의 간격 즉 보호 유지판(4b와 4a)의 간격보다 약간 짧게 형성되어 있다. 이들 상하 커버(10, 11)는 도 5a에 도시하는 바와 같이 고무(9)를 상하 방향으로 덮고, 예를 들면 나사(13)에 의하여 고정되어 있다. 또한, 고무(9)는 도 5a에 도시하는 바와 같이 상하 커버(10, 11)에 접촉하지 않도록 지지하여도 좋다. 또한, 고무(9)는 도 5b에 도시하는 바와 같이 고무(9)를 상측 커버(11)에 끼워 보호 유지하여도 좋다. 더욱이 고무(9)는 상하 커버(10, 11)의 양쪽 모두에 접촉시켜 덮어도 좋다.

또한, 각 창살(4)의 각 보호 유지판(4a, 4b)은 판두께에 대하여 충분히 긴 폭치수를 가지고, 강성이 높은 금속으로 이루어진다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)은 진동을 억제하는 목적으로 그 판면에 방진재를 코팅하거나, 또는 입계(粒界) 부식 스텐레스 등의 제진(制振) 금속으로 제작하여도 좋다. 방진재로서는, 예를 들면 고분자의 고무 또는 수지, 진동 흡수 도료, 겔상 물질을 이용한다. 진동 흡수 도료로서는, 예를 들면 우레탄, 아크릴, 실리콘계 수지 도료를 이용한다. 겔상 물질로 서 는, 예를 들면 올가노 겔, 폴리머계 겔, 실리콘계 겔, 불소 이온 교환 수지 등을 이용한다.

더욱이, 각 창살(4)이 공진하지 않도록 각 보호 유지판(4a, 4b)의 판두께를 바꾸거나, 방진재의 두께나 양을 바꾸는 등을 하여 각 창살(4) 자체의 공진주파수를 다르게 하여, 각 창살(4)끼리 사이의 공진을 없게 하는 것이 바람직하다.

또한, 기판 홀더 본체(2)의 주연 재치부(2a)에는, 유리 기판(1)을 흡착 보호 유지하기 위한 복수의 흡인 부재(14, 흡착 패드)가 설치되어 있다. 이들 흡인 부재(14)는 흡인 튜브(7)에 접속되고, 흡인 펌프(P)의 흡인 동작을 받아 흡인 작용을 행한다. 또한, 기판 홀더 본체(2)에는 복수의 기준 핀(15) 및 복수의 누름 핀(16)이 설치되어 있다.

다음에, 상기와 같이 구성된 홀더의 동작에 대하여 설명한다.

기판 홀더 본체(2)상에는 예를 들면 액정 디스플레이에 이용되는 1m×1m이상의 사이즈의 대형 유리 기판(1)이 재치된다. 이 유리 기판(1)은 복수의 누름 핀(16)에 의하여 복수의 기준 핀(15)에 눌려 부착되고, 기준 위치에 세팅된다. 이 후, 유리 기판(1)은 흡인 펌프(P)의 동작에 의하여 각 기판 흡인 부재(5) 및 각 흡인 부재(14)에 의하여 흡착 보호 유지된다.

이 상태에서, 유리 기판(1)의 표면에 조명이 행하여지고, 검사원의 목시에 의하여 마크로 검사가 행하여진다. 다음에, 마크로 검사에 의하여 검출된 결함 부분이 현미경에 의하여 확대되고, 이 확대상을 관찰하는 것에 의하여 미크로 검사가 행하여진다. 또한, 현미경에 의하여 유리 기판(1) 표면의 확대상을 촬상하고, 이 화상 데이터를 화상 처리하여 유리 기판(1) 표면상의 선폭 측정이 행하여진다.

이와 같은 유리 기판(1)에 대한 검사, 측정 중에, 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더 본체(2)에 전달되면, 각 창살(4)의 사이에 압입된 복수의 고무(9)에 의하여 진동이 흡수, 감쇠된다. 이 때, 기판 홀더 본체(2)는 유리 기판(1)의 사이즈의 대형화에 의하여 홀더 틀 내에 설치되는 각 창살(4)의 길이가 길어지기 때문에, 외적 요인 또는 내적 요인에 의하여 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에서 진동의 크기가 가장 커진다.

본 실시 형태에서는 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에 대응하는 위치에 진동 흡수 부재(8)로서 복수의 고무(9)가 압입되고 있으므로, 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에 발생하는 진동이 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다. 더욱이 각 창살(4)의 사이를 진동 흡수 부재(8)로서 복수의 고무(9)로 연결하므로, 진동이 세로 방향(X 방향), 가로 방향(Y 방향) 및 높이 방향(Z 방향)에 발생하여도, 이들 방향의 진동은 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다.

이 결과, 유리 기판의 미크로 검사 시, 현미경을 통하여 관찰되는 유리 기판(1) 표면상의 결함 부분의 확대 화상은 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있다. 특히, 현미경의 배율이 높아져도 확대 화상은 진동하여 관찰되지 않는다. 또한, 유리 기판(1)상의 선폭 측정도 충분한 정밀도로 할 수 있다.

이와 같이 상기 본체(1)의 실시 형태에 있어서는, 기판 홀더 본체(2)내의 복수의 창살(4) 사이에 진동 흡수 부재(8)로서 고무(9)를 압입하였기 때문에, 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 가로 방향 및 세로 방향의 진동을 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠할 수 있고, 기판 홀더 본체(2)상에 재치된 대형 유리 기판(1)의 진동을 최소한으로 억제할 수 있다.

또한, 복수의 창살(4) 사이를 진동 흡수 부재(8)로 연결하는 것으로, 각 창살(4)에 전달하는 공진 주파수를 감쇠시키고, 각 창살(4) 사이의 공진을 없게 할 수 있다.

또한, 기판 홀더 본체(2)의 중앙부에 대응하는 위치에 진동 흡수 부재(8)와 기판 흡인 부재(5)를 설치하는 것으로, 진동이 가장 커지는 기판 홀더 본체(2)의 중앙 부분의 진동을 흡수, 감쇠시킬 수 있다. 이것에 의하여, 유리 기판(1)의 미크로 검사 시에 현미경을 통하여 고배율로 관찰하여도, 그 확대 화상이 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있고, 유리 기판(1)상의 선폭 측정에 있어서도 양호한 관찰 화상을 얻을 수 있다.

또한, 각 창살(4)의 사이에 각 고무(9)를 압입할 뿐의 구성이므로, 기존의 기판 홀더에 간단하게 부착하여, 진동의 영향을 없게 할 수 있다.

또한, 각 고무(9), 상측 및 하측 커버(10, 11)에 의하여 덮여 있으므로, 각 창살(4)의 사이에서 고무(9)가 벗겨져도, 기판 홀더 본체(2)로부터 낙하하지 않는다.

또한, 상기 제 1의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 좋다.

상기 제 1의 실시 형태에서는 복수의 창살(4)의 배치 방향에 대하여 수직 방향으로 복수의 진동 흡수 부재(8)를 부착하였지만, 예를 들면 도 6에 도시하는 바와 같이 기판 홀더 본체(2)의 개구부(3)내의 중앙부에 일직선 형상으로 진동 흡수 부재(8)를 부착하여도 좋다. 즉, 기판 홀더 본체(2)상의 유리 기판(1)은 중앙부에서 진동의 크기가 가장 커진다. 이 때문에, 유리 기판(1)의 중앙부에 있어서의 진동을 흡수, 감쇠시키면, 유리 기판(1)의 진동을 극히 작게 할 수 있다. 따라서, 기판 홀더 본체(2)의 각 창살(4)의 중앙부를 진동 흡수 부재(8)로 연결하는 것만으로도, 유리 기판(1)의 진동을 흡수, 감쇠하는데 효과적이다.

또한, 진동 흡수 부재(8)는 도 7에 도시하는 바와 같이 각 창살(4)의 사이에 예를 들면 물떼새 형상으로 이산적으로 부착하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)의 부착 위치는 임의로 결정하여도 좋고, 굳이 말하자면, 진동이 커지는 기판 홀더 본체(2) 개구부(3)의 중앙부에 부착하는 것이 바람직하다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 기판 홀더 본체(2)상에 흡착 보호 유지된 유리 기판(1)의 진동을 분석하여, 유리 기판(1)의 진동의 중심이나 진동이 크게 발생하는 부분에 부착할 수도 있다.

각 창살(4)의 사이에 압입되는 진동 흡수 부재(8)로서의 고무(9)는 예를 들면 도 8에 도시하는 바와 같이 창살(4)의 대향 위치에 각각 각 핀(20, 21)을 마련하고, 이들 핀(20, 21)의 사이에 고무(9)를 끼워 넣어도 좋다. 각 창살(4)에 설치된 각 핀(20, 21)을 설치하는 각 부분에는 끼워 넣기용의 오목(凹)부(22)를 형성한다. 이 오목부(22)에 원주 형상으로 형성된 고무(9)의 단부를 끼워 넣도록 하여도 좋다. 고무(9)는 예를 들면 원주 형상으로 형성되고, 또한 양단부에 각각 각 핀(20, 21)이 삽입되는 각 구멍(23a, 23b)이 형성된다.

따라서, 고무(9), 각 핀(20, 21)이 각 구멍(23a, 23b)에 삽입되고, 또한 양 단부가 각 보호 유지판(4a, 4b)의 각 끼워 넣기용의 오목부(22)에 끼워진다. 이 경우, 고무(9)가 각 창살(4) 사이에 협지되어 낙하할 가능성이 없으면, 각 핀(20, 21)을 제거하여 오목부(22)에 직접 고무(9)를 끼워 넣어도 좋다.

각 창살(4)의 사이에 압입하는 고무(9)는 예를 들면 도 9에 도시하는 바와 같이 창살(4)의 대향 위치에 각각 테이퍼 형상의 오목부(24, 25)를 형성하고, 이들 오목부(24, 25)내에 판 형상 또는 기둥 형상의 선단을 테이퍼 형상으로 형성한 고무(9)를 압입하여도 좋다. 이 경우, 고무(9)는 판 형상으로 형성되고, 양단부가 삼각의 코너부에 형성되어 있다. 각 오목부(24, 25)는 각각 고무(9)의 코너부에 끼워지는 삼각구멍으로 형성되어 있다.

고무(9)의 형상은 원주 형상이나 판 형상으로 한정하지 않고, 예를 들면 각(角) 형상으로 형성하여도 좋다.

도 3, 도 8 및 도 9에 도시한 각 고무(9), 그 표면을 예를 들면 폴리에틸렌 등에 의하여 코팅하여도 좋다. 코팅하는 것에 의하여 고무(9)의 내구성을 향상할 수 있음과 동시에, 정전기의 발생을 방지할 수 있다. 더욱이 창살(4)과의 사이에 서 맞닿아 발생하는 먼지, 입자가 낙하하지 않는다. 또한, 고무(9)는 테프론에 의하여 형성된 통 내에 넣어도, 정전기의 발생을 방지할 수 있다.

진동 흡수 부재(8)는 각 창살(4)의 사이에 한하지 않고, 진동이 전달되는 부분, 예를 들면 도 1에 도시한 기판 홀더 본체(2)와 기판 홀더 본체(2)의 틀 내의 진동 흡수 부재(8)와의 각 조인트 부분(26)에 설치하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 창살(4)을 구성하는 각 보호 유지판(4a와 4b)의 사이의 공간부(4c)내에 삽입시켜도 좋다. 더욱이, 진동 흡수 부재(8)는 각 조인트 부분(26) 및 각 보호 유지판(4a와 4b)의 사이의 공간부(4c)의 양쪽 모두에 설치하여도 좋다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 예를 들면 수지, 진동 흡수 도료 또는 겔상 물질을 이용하여도 좋다. 이들 방진재의 삽입에 의하여 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 진동을 흡수하고, 방진 효과를 향상할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제2의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 10 및 도 11은 기판 검사 장치에 적용하는 홀더의 구성도로서, 도 10은 정면도, 도 11은 상면도이다.

검사 장치 본체(30)내에는 베이스(32)상에 기판 홀더 본체(31)가 설치되어 있다. 기판 홀더 본체(31)에는 도 11에 도시하는 바와 같이 동심원 형상으로 배치된 복수의 링 형상의 창살(33)이 동심원 형상으로 설치되어 있다. 이들 링 형상의 창살(33)은 반경 방향으로 또한 소정 각도마다, 예를 들면 60도마다 설치된 복수의 직선 형상의 창살(34)에 의하여 연결되어 있다. 이들 링 형상의 창살(33)과 직선 형상의 창살(34)의 각 사이에는 각각 투과 조명용의 개구부(36)가 형성되어 있다. 단, 외측으로부터 첫 번째와 두 번째의 각 링 형상의 창살(33)과의 사이에는 후술하는 리프트 핀(44, 45)이 120도의 범위에서 이동할 수 있도록 120도마다에 직선 형상의 지지 창살(34)이 배치되어 있다. 이것에 의하여, 기판 홀더 본체(31)의 외주부 측에 가이드용 개구부(35-3~35-4)가 형성된다. 또한, 기판 홀더 본체(31)의 외측에는 후술하는 리프트 핀(44, 45)이 이동하는 가이드용 개구부(35-1, 35-2)가 형성되어 있다.

복수의 링 형상의 창살(33)의 각 사이는 반경 방향으로 도 3에 도시한 것과 마찬가지로 구성한 복수의 진동 흡수 부재(8-1~8-6)가 장착되어 있다. 이것에 의하여, 각 링 형상의 창살(33)의 각 사이에는 진동 흡수 부재로서 고무(9)가 압입되어 있다. 각 링 형상의 창살(33)은 고무(9)로 연결된다.

또한, 이들 진동 흡수 부재(8-1~8-6)는 반경 방향으로 일렬로 부착하는 것에 한하지 않고, 예를 들면 진동이 커지는 일부의 링 형상의 창살(33) 사이에만 부착하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 각 링 형상의 창살(33)의 각 사이마다 1개씩 임의의 위치에 이산적으로 부착하여도 좋다.

또한, 링 형상의 창살(33)의 형상은 상기 제 1의 실시 형태와 같이 2장의 보호 유지판(4a, 4b)에 한정되는 것이 아니고, 단면이 가늘고 긴 직사각형을 한 판재나, 단면이 사각형(矩) 형상의 각재, 단면이 사각형 형상의 중공부를 가지는 각재, 혹은 단면이 コ 형상을 한 각재이라도 좋다.

기판 홀더 본체(31)의 하부에는, 도 10에 도시하는 바와 같이 회전 기구(37)가 설치되어 있다. 이 회전 기구(37)는 유리 기판(1)을 각 개구부(35-1~35-4)를 통하여 기판 홀더 본체(31)의 위쪽으로 들어 올리고, 이 들어 올린 상태에서 예를 들면 약 90도 회전시켜서, 구동부(38) 및 리프트 핀 기구(39)로 이루어진다. 구동부(38)는 리프트 핀 기구(39)의 상하 이동과 회전을 실시한다.

리프트 핀 기구(39)는 도 11에 도시하는 바와 같이 각 리프트 핀 지지 바(40, 41)와, 이들 리프트 핀 지지 바(40, 41)의 각 양측 선단부에 입설하고 있는 각 리프트 핀(42~45)으로 이루어진다.

따라서, 리프트 핀 기구(39)가 상승한 상태로 회전하면, 각 리프트 핀(42, 43)은 각 가이드용 개구부(35-1, 35-2)내를 따라 원호 형상으로 이동하고, 각 리프트 핀(44, 45)도 각 가이드용 개구부(35-4, 34-3)를 따라 원호 형상으로 이동한다.

또한, 기판 홀더 본체(31)의 양단측의 베이스(32)상에는 Y방향의 가이드 레일(46, 47)이 서로 평행하게 설치되어 있다. 이들 가이드 레일(46, 47)의 사이에는, 문주 아암(48)이 기판 홀더 본체(31)의 위쪽을 걸치는 것 같이 설치되어 있다. 문주 아암(48)은 가이드 레일(46, 47)에 대해서 Y방향으로 이동 가능하게 설치되고, 또한 이 문주 아암(48)에 대하여 현미경(49)이 X 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

기판 홀더 본체(31)의 위쪽에는 도시하지 않지만 마크로 조명 장치가 설치되어 있다. 기판 홀더 본체(31)의 하부에는 라인 투과 조명 장치(50)가 설치되어 있다.

다음에, 상기와 같이 구성된 홀더를 이용한 검사 동작에 대하여 설명한다.

수평 상태에 있는 기판 홀더 본체(31)상에는 대형 사이즈의 유리 기판(1)이 재치된다. 기판 홀더 본체(31)는 소정의 각도로 일어나거나 요동된다. 이 상태에서, 마크로 조명장치로부터 조명광이 유리 기판(1)의 표면상에 조사된다. 이것에 의하여, 예를 들면 유리 기판(1)면상의 흠집, 결여, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분이 검사된다.

한편, 미크로 검사를 실시하는 경우, 기판 홀더 본체(31)가 수평 상태로 설치된다. 문주 아암(48)이 각 가이드 레일(46, 47)에 대하여 Y 방향으로 이동된다. 이것과 함께, 현미경(49)이 문주 아암(48)에 대해서 X 방향으로 이동되는 것에 의하여, 현미경(49)에 의하여 결함부분의 미크로 검사가 행하여진다.

이러한 검사 중에, 외적 요인 또는 내적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더 본체(31)에 전달되면, 동심원 형상으로 배치된 복수의 링 형상의 창살(33)의 중앙부에서 진동이 가장 커진다.

본 실시의 형태에서는 동심원 형상으로 배치된 각 링 형상의 창살(33) 사이에 고무(9)를 압입했기 때문에, 각 링 형상의 창살(33)에 전달되는 진동을 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠시킬 수 있다. 더욱이, 진동은 세로 방향(X 방향), 가로 방향(Y 방향) 및 높이 방향(Z 방향)에 발생하여도, 이들 방향의 진동이 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다.

이 결과, 유리 기판의 미크로 검사 시, 현미경(49)을 통하여 관찰되는 유리 기판(1) 표면상의 결함 부분의 확대 화상은 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있다. 특히, 현미경의 배율이 높아져도 확대 화상은 진동하여 관찰되지 않는다.

본 발명은 예를 들면 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기 EL 디스플레이, 평판 디스플레이(FPD) 등의 유리 기판의 기판 검사 시에 있어서의 해당 유리 기판의 보호 유지에 이용하는 것이 가능하다.

Claims (18)

1. 개구부를 가지며, 기판을 보호유지(保持)하기 위해 틀 형상으로 형성된 홀더 본체와;

   상기 홀더 본체의 상기 개구부 내에 복수로 나란히 설치(竝設)된 창살과;

   상기 각 창살의 사이 및, 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 상기 창살의 배열 방향과 교차하는 방향으로 설치되어, 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수 또는 감쇠 하는 진동 흡수 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 진동 흡수 수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이를 연결하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 창살은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내에 동심원 형상으로 복수 개 나란히 설치되고 또한 상기 홀더 본체의 상기 개구부 중심으로 방사상으로 복수 개 설치되고,

   상기 진동흡수수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
4. 삭제
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 진동흡수수단은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙부에 상기 각 창살을 연결하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 진동흡수수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 산재하여 배치된 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 진동흡수수단은 상기 각 창살끼리의 간격 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살간의 간격보다도 긴 기둥형상의 탄성체로 형성되어, 상기 각 창살끼리의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살간의 사이 중 적어도 어느 한 쪽의 사이에 압입된 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 창살에는 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판흡인수단이 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙 부분에 대응하는 위치에 설치되며,

   상기 진동흡수수단은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙 부분에 대응하는 상기 창살의 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제
16. 삭제
17. 삭제
18. 삭제

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