KR100988897B1 - 어레이 테스터용 옵틱척 - Google Patents

어레이 테스터용 옵틱척 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판의 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 스크래치가 발생되지 않는 어레이 테스터용 옵틱척에 관한 것으로, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 또는 수평 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
기판, 어레이, 테스터, 에어

Description

어레이 테스터용 옵틱척{Optic chuck for array tester}
본 발명은 평판 디스플레이 기판에 형성된 전극의 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스터용 옵틱척에 관한 것이다.
일반적으로, 어레이 테스터(Array tester)란 디스플레이 패널 제조 시, 기판 전극의 불량 여부를 검출하는 장치이다. 디스플레이 패널은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 상기 어레이 테스터의 일예로서, LCD 패널의 TFT 기판에 형성된 전극의 불량 유무를 측정한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 구비한다.
종래의 어레이 테스터는 옵틱척과, 광원과, 모듈레이터 및 센서 등으로 이루어진다. 옵틱척은 검사될 기판이 안착되는 것으로, 기판을 흡착 및 이격시키도록 복수의 에어홀들이 천공될 수 있다. 광원은 빛을 조사하는 장치이며, 상기 광원으로부터 조사된 빛은 기판 전극의 결함유무를 조사하기 위한 수단이 된다. 모듈레이 터는 상기 옵틱척을 기준으로 상기 광원과 동일측 방향 또는 반대측 방향에 배치되는 것으로, 상기 광원으로부터 조사된 빛이 모듈레이터의 출사면을 통과한다. 센서는 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 빛의 양에 따라, 상기 기판 전극의 결함 여부를 검출한다.
특히, 상기 모듈레이터와 광원이 옵틱척을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 경우, 상기 옵틱척은 빛을 투과할 수 있도록 광학 유리(Optic glass)와 같은 투명 소재로 이루어진다. 이와 같은 투과형 어레이 테스터는 상기 옵틱척에 기판의 테스트가 행해지는 테스트부 및 상기 테스트부 가장자리에 에어홀들을 구비한다. 상기 에어홀에서 에어가 수직방향으로 배출되며, 배출되는 에어가 기판을 부양시킨다. 이와 같이, 기판은 부양된 상태로 테스트부로 이송되며, 테스트가 완료된 기판은 동일한 방식으로 부양되어 이송이 진행된다.
하지만, 종래의 어레이 테스터에 구비되는 옵틱척은 에어홀들이 소정 간격으로 이격되어 배치된다. 상기 에어홀들로부터 배출되는 에어는 기판의 특정 부분에 접촉되어 기판을 떠받치게 된다.
이에 따라, 에어와 접촉되지 않는 기판의 부위는 자체 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 발생하였다. 이와 같은 기판의 처짐 현상은 기판에 스크래치(Scratch)를 발생시켜, 평판 디스플레이 제품의 생산 공정에서 불량을 일으키는 큰 원인이 되었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 기판의 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 스크래치가 발생되지 않는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공한다.
이 경우, 상기 가이드홈은 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 더 구비될 수 있다.
한편, 본 발명은, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공한다.
이 경우, 상기 에어 가이드 부재에 복수의 미세홀이 형성될 수 있다.
또한, 상기 에어 가이드 부재는 상기 가이드홈에 본딩처리되는 것도 가능하다.
본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척은 에어홀에서 배출되는 에어가 퍼져 기판을 골고루 지지함으로써, 기판의 부분적인 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 손상을 일으키지 않는 장점을 갖는다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척은 비교적 적은 수의 에어홀로도 효율적으로 기판을 부양시켜 설비 비용, 장비운용 비용 등의 제반 비용을 감소시킬 수 있는 매우 유용한 발명이다.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터를 도시한 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 어레이 테스터(200)는 옵틱척(100)과, 광원부(110), 및 모듈레이터(120)를 구비한다.
옵틱척(100)은 테스트될 기판이 안착되는 것이다.
광원부(110)는 빛을 조사한다. 상기 광원부(110)로부터 조사되는 빛은 제논, 소디움, 수정할로겐 램프, 및 레이저 등을 포함한 다양한 종류의 빛일 수 있다.
모듈레이터(120)는 상기 광원부(110)로부터 조사된 빛이 통과하는 양에 따라, 상기 기판 전극의 결함 유무를 검출한다. 상기 모듈레이터(120)는 테스트될 기판과 인접하게 위치하며, 상기 기판 전극의 불량 유무에 따라 전기 신호가 인가되면 특정 물성치가 변화된다. 일 예로, 상기 모듈레이터(120)는 테스트될 기판 전극의 어레이(Array)가 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되고 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 상기 기판 전극의 어레이가 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써 빛이 통과할 수 없게 된다.
상기 모듈레이터(120)는 일 측에 센서(130)를 배치하고, 상기 센서(130)를 통해 상기 모듈레이터(130)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판 전극의 불량 유무를 검출하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 광원부(110)는 상기 옵틱척(100)을 기준으로 상기 모듈레이터(120)의 반대 방향에 배치되고, 상기 옵틱척(100)은 투명한 소재로 이루어진다. 따라서, 상기 광원부(110)로부터 조사된 빛은 상기 옵틱척(100)을 투과하여 상기 모듈레이터(120)를 통과한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 수직으로 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 테스트부(10)와, 가이드홈(20)과, 에어홀(30), 및 에어 가이드 부재(40)를 구비한다.
테스트부(10)는 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착된다. 상기 테스트부(10)의 하부에 상기 광원부(110)가 배치되고, 상부에 상기 모듈레이터(120)가 배치된다. 상기 테스트부(10)의 직상부에 테스트를 받기 위한 기판이 이송되어 기판의 전극 어레이(Array) 테스트가 수행된다. 상기 기판은 상기 모듈레이터(120)와 테스트부(10)의 사이에 위치한다.
가이드홈(20)은 상기 테스트부(10)의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일 측에 배치된다. 상기 가이드홈(20)은 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 방향으로 형성된다.
에어홀(30)은 상기 가이드홈(20)에 적어도 하나 형성된다. 상기 에어홀(30)은 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출된다. 에어는 상기 에어홀(30)의 하 측으로부터 상측을 향해 수직으로 분사된다. 상기 에어홀(30)은 상기 가이드홈(20) 하면에 형성되며, 소정의 거리로 이격되어 복수개 형성되는 것이 바람직하다.
에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)의 상측에 배치된다. 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 단턱(27)을 형성하고, 상기 단턱(27)에 안착되어 고정될 수 있다. 이 밖에, 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 견고히 고정되도록 다양한 체결방법을 채택할 수 있다.
상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)의 직상부에 위치되어, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어를 퍼뜨리는 역할을 한다. 즉, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)의 하면에 충돌하여, 상기 가이드홈(20)으로 안내된다. 따라서, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)에 의해 퍼지면서 배출된다.
이에 따라, 에어는 상기 에어홀(30)의 상부에 위치하는 기판을 일 지점이 아닌 여러 지점으로 분산된 상태로 부양시키게 된다. 결과적으로, 기판이 에어에 의해 여러 지점에서 골고루 지지되게 되고, 특정 부위에 에어가 집중되지 않아 기판의 처짐 현상을 방지할 수 있다. 이와 같이, 에어가 접촉하지 않는 기판의 부위가 하부로 처지는 현상은 기판의 표면에 스크래치를 발생할 확률이 높아 제품 불량의 큰 원인이 된다.
이를 해결하기 위한 방법으로, 에어홀(30)의 갯수를 늘리는 방법을 생각할 수 있다. 즉, 상기 에어홀(30)들의 간격을 좁혀 더욱 많은 지점에서 분출되는 에어를 통해 기판을 지지하는 방법도 있다. 이와 같이, 에어홀(30)의 갯수를 늘리면 기 판을 지지하는 부위를 분산시키는 효과를 얻을 수 있으나, 효율성 측면에서 큰 효과를 기대할 수 없다.
따라서, 본 발명은 에어 가이드 부재(40)를 구비하고 에어홀(30)로부터 배출되는 에어가 상기 에어 가이드 부재(40)에 의해 퍼지도록 하여, 전술한 문제점을 해결하고 있다. 즉, 본 발명은 에어홀(30)로부터 분출되는 에어가 기판의 특정 지점에 집중되지 않고, 가이드홈(20)을 따라 퍼지면서 배출되는 에어에 의해 골고루 분산되게 되어 기판의 처짐 현상이 발생하지 않는다.
또한, 상기 옵틱척(100)은 기판을 흡착시키기 위한 복수의 흡착용 에어홈(90)을 구비할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 에어홀(30)의 하측으로부터 배출되는 에어는 화살표와 동일하게 상측으로 이동한 후, 에어 가이드 부재(40)와 충돌한다. 따라서, 에어는 더이상 상부로 진행하지 못하고, 가이드홈(20)의 좌우로 퍼지면서 외부로 배출된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 가이드홈(20a)(20b)은 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 더 구비될 수 있다. 즉, 상기 옵틱척(100)은 기판의 이송방향에 대해 수직방향으로 가이드홈(20a)이 형성되고, 수평방향으로 가이드홈(20b)이 형성된다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 가이드홈(20b)을 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로만 형성되게 구현하는 것도 가능하다.
이 경우, 상기 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 전술한 것과 마찬가지로 가이드홈(20b)에 에어홀을 형성하고, 상기 에어홀의 상측에 에어 가이드 부재(40)를 설치한다.
또한, 상기 옵틱척(100)은 기판을 흡착시키기 위한 복수의 흡착용 에어홈(90)을 구비할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 에어 가이드 부재(40)는 복수의 미세홀(41)을 구비할 수 있다. 따라서, 상기 에어홀(30)의 하측으로부터 상측으로 배출되는 에어는 에어 가이드 부재(40)의 미세홀(41)을 통해 일부의 에어가 상부로 배출되고, 상기 미세홀(41)을 통해 배출되지 못한 대부분의 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)와 충돌하여 가이드홈(20)의 좌우로 퍼져 외부로 배출된다.
따라서, 상기 에어 가이드 부재(40)가 차지하는 공간만큼 에어가 배출되지 않아 상기 에어 가이드 부재(40)의 직상부에 위치하는 기판의 지점이 처질 수 있는 여지를 없앨 수 있다. 또한, 상기 미세홀(41)은 상기 에어홀(30)로부터 분출되는 높은 압력의 에어를 일부 배출시켜, 상기 에어 가이드 부재(40)에 가해지는 힘을 분산시킬 수 있다.
또한, 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 본딩처리되어 고정될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드홈(20)에 상기 에어 가이드 부재(40)를 고정시키기 위한 별도의 요홈 등을 형성하는 것도 바람직하다. 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)로부터 높은 압력으로 배출되는 에어에 충분히 결딜 수 있도록 가이드홈(20)에 견고하게 고정시킨다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 수직으로 절단한 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 테스트부 20 : 가이드홈
30 : 에어홀 40 : 에어 가이드 부재
41 : 미세홀 100 : 옵틱척
200 : 어레이 테스터

Claims (5)

  1. 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부;
    상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측 상면에 상기 기판의 이송방향에 수직한 방향을 따라 길게 형성된 가이드홈;
    상기 가이드홈의 저면에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및
    상기 에어홀의 직상부에 상기 에어홀과 이격 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 충돌된 에어가 상기 가이드홈을 따라 분산되도록 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드홈은 상기 기판의 이송방향에 평행한 방향을 따라 상기 에어 가이드 부재를 지나도록 더 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.
  3. 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부;
    상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측 상면에 상기 기판의 이송방향에 평행한 방향을 따라 길게 형성된 가이드홈;
    상기 가이드홈의 저면에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및
    상기 에어홀의 직상부에 상기 에어홀과 이격 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 충돌된 에어가 상기 가이드홈을 따라 분산되도록 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 에어 가이드 부재에 복수의 미세홀이 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 에어 가이드 부재는 상기 가이드홈에 본딩처리되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.
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