JP2000007146A

JP2000007146A - ガラス基板保持具

Info

Publication number: JP2000007146A
Application number: JP17157098A
Authority: JP
Inventors: Haruyuki Tsuji; 治之辻
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-06-18
Filing date: 1998-06-18
Publication date: 2000-01-11
Anticipated expiration: 2018-06-18
Also published as: JP4175697B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板の平面度を保持し、基板表面を傷
つけることがなく、撓みや振動の発生を抑える。【解決手段】ガラス基板保持具において、中央に透過
照明用開口１ａを形成しガラス基板３を吸着保持させる
保持枠１と、保持枠１の透過照明用開口１ａの下部を閉
塞するように設けた剛性のある透明部材２と、透明部材
２の上面に複数立設してガラス基板３を支持する支持ピ
ン４とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ガラス基板を
製造、検査する際にガラス基板を保持するための保持具
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶ガラス基板などの大型のガラ
ス基板を保持する保持具には、「基板ホルダ」として、
特開平９−１８９６４１号公報所載の技術が開示されて
いる。図６を用いて、この技術を説明する。基板ホルダ
１１６は、ガラス基板１１８を所定の位置に吸着保持さ
せる吸着保持機構と、ガラス基板１１８を損傷させるこ
となくガラス基板１１８に生じる撓みや振動を除去する
ように、ガラス基板１１８の一部を支持可能な支持機構
とを備える。吸着保持機構は、ガラス基板１１８を基板
ホルダ１１６上に吸着させる吸着機構１２０と、ガラス
基板１１８を当て付けピン１２２方向に押圧して所定位
置に位置付け保持させる押付ピン１２４とを備える。支
持機構は、透過照明光開口１１６ａを横断するように配
置された一対の透明板１２６と、これら透明板上に夫々
突設された透明材料からなる一対の支持ピン１２８を昇
降させることによって、一対の支持ピン１２８をガラス
基板１１８の裏面に対して当接および離間させる昇降装
置とを備えるものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来技
術には、つぎのような問題点があった。すなわち、最近
のガラス基板はますます大型化の傾向にあり、厚さ０．
７〜１．１ｍｍで、幅および長さはほぼ１ｍに達するも
のもあるため、上記基板ホルダの支持ピン１２８を４個
所配置した一対の透明板１２６によってガラス基板１１
８を支持する構造では、透明板１２６の剛性が低いた
め、ガラス基板１１８の重量によって撓みや振動が発生
し、ガラス基板１１８の表面の傷や汚れを基板検査装置
によって発見することは困難であった。

【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、本発明の課題は、ガラス基板の平面度を保
持し、基板表面を傷つけることがなく、撓みや振動の発
生を抑えることができるガラス基板保持具を提供するこ
とである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、中央に透過照明用開口を形
成しガラス基板を吸着保持させる保持枠と、該保持枠の
透過照明用開口の下部を閉塞するように設けた剛性のあ
る透明部材と、該透明部材の上面に複数立設して前記ガ
ラス基板を支持する支持ピンとを備えた。請求項２に係
る発明は、請求項１に係る発明において、前記支持ピン
の先端に減摩部材を設けた。

【０００６】請求項１に係る発明のガラス基板保持具で
は、保持枠の透過照明開口を閉塞するように設けられた
剛性のある透明部材の上面に立設された複数の支持ピン
で、ガラス基板の重量を支持すると、透明部材の剛性が
高いので、ガラス基板に撓みが発生しない。また、請求
項２に係る発明では、複数の支持ピンの先端に設けられ
た減摩部材にガラス基板が接触しているので、ガラス基
板が移動するときに円滑に摺動する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、具体的な実施の形態につい
て説明する。

【０００８】（実施の形態１）図１〜図３は実施の形態
１を示し、図１はガラス基板保持具の斜視図、図２はガ
ラス基板保持具の支持ピン付近の縦断面図、図３は支持
ピンの斜視図である。

【０００９】図１および図２において、ガラス基板保持
具は、例えば基板検査装置のステージ（図示省略）によ
り水平方向に移動し、透過照明装置（図示省略）の上方
に位置するように配設されている。ガラス基板保持具の
保持枠１には、透過照明用開口１ａが形成され、透過照
明装置から照射される照明光によって、検査対象物であ
るガラス基板３を照明できるようになっている。保持枠
１の下部には、この透過照明用開口１ａを閉塞するよう
に、剛性のある透明部材としての厚肉の台ガラス２が、
その上面２ａを基準にして取着されている。この場合、
台ガラス２の剛性を高めるために、接着または嵌合等の
接合手段により台ガラス２の全周を保持枠１に固定させ
ることが望ましい。台ガラス２の上面２ａには、ガラス
基板３を支持する支持ピン４が複数個配列され、接着さ
れている。本実施の形態では１１個となっているが、そ
の数や接着される位置は、支持されるガラス基板３の厚
さや大きさによって変更される。

【００１０】支持ピン４は、図３に示すように、先端の
カシメ部４ａ内には、減摩部材としてのテフロン球５が
転動自在かつ飛び出さないように埋設されている。テフ
ロン球５は、通常、白色のものでもよいが、支持ピン４
とともに黒色にすると、マクロ観察のときに観察の妨げ
にならない。ガラス基板３の整列時に、ガラス基板３の
下面がテフロン球５の表面に接触し、テフロン球５は転
動する。また、支持ピン４の下部には、台座４ｂが形成
され、支持ピン４を台ガラス２に接着するとき、安定性
が保持できるようになっている。台座４ｂは支持ピン４
の取付け強度が許される範囲でできるだけ小さく形成す
るとともに、観察の妨げにならないように黒色もしくは
透明にすることが望ましい。

【００１１】図１において、保持枠１の上面前側には２
本、上面左側には１本の基準ピン６が突設されており、
支持ピン４上に載置されたガラス基板３の側面が、３本
の基準ピン６の側面に当接することにより、位置決めが
行われる。また、保持枠１の上面右側と上面後側とに
は、それぞれ１本の整列ピン７が保持枠１の中心方向に
移動自在に配設されている。整列ピン７は、整列ピン７
の下部に連結された駆動機構（図示省略）によって、支
持ピン４上に載置されたガラス基板３の側面を、保持枠
１の中心方向に押圧する。さらに、保持枠１の透過光照
明用開口１ａの周縁８ヶ所には、吸着バッド８が配設さ
れており、基準ピン６と整列ピン７とによって位置決め
されたガラス基板３を吸着し固定する。

【００１２】つぎに、上記構成のガラス基板の保持具の
作用について説明する。整列ピン７を後退させ、整列ピ
ン７と基準ピン８との間隔が、ガラス基板３の幅および
長さよりも大きい状態にして、ガラス基板３を支持ピン
４の上に供給する。整列ピン７を駆動機構によって前進
させ、ガラス基板３を基準ピン６に当接させて位置決め
する。このとき、ガラス基板３は支持ピン４上を摺動す
るが、支持ピン４の先端に埋設されたテフロン球５が転
動するので、ガラス基板３の下面に傷がつくことはな
い。さらに、吸着パッド８によって、ガラス基板３を固
定し、検査できる状態にする。この状態では、ガラス基
板３の重量は厚肉の台ガラス２上に複数の支持ピン４に
よって支持されているので、ガラス基板３が撓むことは
ない。従って、振動も発生せず、基板検査装置によるガ
ラス基板の検査を支障なく行うことができる。

【００１３】本実施の形態によれば、剛性のある透明部
材としての厚肉の台ガラスによって、複数の支持ピンを
介してガラス基板を支持するので、ガラス基板の平面度
を保持することができる。また、透過照明用開口１ａを
台ガラス２で閉塞しているので、透過照明開口１ａの任
意の位置に支持ピンを配置することができるとともに、
予めシミュレーション等により求めた振動の腹の部位に
対応させて支持ピンを配置することが可能となり、この
結果、ガラス基板３の振動を良好に抑えることができ
る。また、支持ピン先端に減摩部材としてのテフロン球
を転動自在に埋設しているので、基板表面を傷つけるこ
とがなく、撓みや振動の発生を抑えることができる。さ
らに、台座４ｂを透明な材料で形成すれば、透過照明の
光量の減少を小さく抑えることができる。

【００１４】本実施の形態では、減摩部材としてテフロ
ン球を用いているが、これに替えて、ポリアミド樹脂や
ポリカーボネイト樹脂等のエンジニアリングプラスチッ
クまたは金属からなる球体にテフロンコートを施したも
のを用いてもよい。また、剛性のある透明部材として、
厚肉の台ガラスを用いているが、薄肉の強化ガラスから
なる透明部材に替えてもよい。また、透過照明光の透過
率のよい透明プラスチック材料からなり、リブなどで剛
性を高めた透明部材に替えてもよい。さらに、台ガラス
２の撓み等を考慮して、各支持ピン４の先端の平面度を
維持するべく、台座４ｂとの接合部にスペーサを介在さ
せることもできる。

【００１５】（実施の形態２）図４は実施の形態２を示
し、支持ピンの第１変形例を示す斜視図である。本実施
の形態では、支持ピンのみが、実施の形態１と異なるの
みなので、異なる部分のみ説明し、他の部分の図と説明
を省略する。図４において、支持ピン１４の先端１４ａ
には、減摩部材としてのテフロン円柱１５が嵌め込まれ
ている。この場合、テフロン円柱１５は転動せずに固定
され、表面１５ａ上をガラス基板３が摺動する。しか
し、テフロンは四フッ化エチレンに属し、摩擦係数は極
めて小さいので、ガラス基板３に傷が付くようなことは
ない。また、支持ピン１４の下部には、実施の形態１と
同様に、台座１４ｂが形成され、支持ピン１４を台ガラ
ス２に接着するとき、安定性が保持できるようになって
いる。すなわち、支持ピン１４は実施の形態１の支持ピ
ン４に替えて、台ガラス２上に接着される。その他の構
成は実施の形態１と同一である。

【００１６】本実施の形態によれば、実施の形態１と同
様の効果に加え、テフロン円柱は単価が安く、支持ピン
に着脱可能に嵌合されているので、テフロン円柱１５の
交換を容易に行うことができ、かつ支持ピン全体の高さ
のバラツキを少なくすることができる。なお、ガラス基
板３との摩擦を小さくしたければ、テフロン円柱１５の
先端を半球状に形成することも可能であり、交換を要し
なければ、テフロン円柱１５をカシメて固定することも
可能である。

【００１７】（実施の形態３）図５は実施の形態３を示
し、支持ピンの第２変形例を示す斜視図である。本実施
の形態では、支持ピンのみが、実施の形態１と異なるの
みなので、異なる部分のみ説明し、他の部分の図と説明
を省略する。図５において、支持ピン２４の先端のカシ
メ部２４ａには、テフロン球５が転動自在かつ飛び出さ
ないように埋設されており、さらに、テフロン球５の下
方には圧縮バネ９が装着され、弾発力によりテフロン球
５を上方に付勢している。また、支持ピン２４の下部に
は、実施の形態１と同様に、台座２４ｂが形成され、支
持ピン２４を台ガラス２に接着するとき、安定性が保持
できるようになっている。すなわち、支持ピン２４は実
施の形態１の支持ピン４に替えて、台ガラス２上に接着
される。その他の構成は実施の形態１と同一である。

【００１８】本実施の形態によれば、実施の形態１と同
様の効果に加え、支持ピンに垂直方向の力が加わると、
テフロン球５がカシメ部２４ａから離れて良好に転動す
るため、ガラス基板と擦れが小さくなり、ガラス基板に
傷が付き難くなる。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、ガラス基板の平面度を
保持し、基板表面を傷つけることがなく、撓みや振動の
発生を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１のガラス基板の保持具の斜視図で
ある。

【図２】実施の形態１のガラス基板の保持具の支持ピン
付近の縦断面図である。

【図３】実施の形態１の支持ピンの斜視図である。

【図４】実施の形態２の支持ピンの第１変形例を示す斜
視図である。

【図５】実施の形態３の支持ピンの第２変形例を示す斜
視図である。

【図６】従来技術の基板ホルダの斜視図である。

【符号の説明】

１保持枠１ａ透過照明用開口２台ガラス３ガラス基板４支持ピン６基準ピン７整列ピン８吸着部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中央に透過照明用開口を形成しガラス基
板を吸着保持させる保持枠と、該保持枠の透過照明用開
口の下部を閉塞するように設けた剛性のある透明部材
と、該透明部材の上面に複数立設して前記ガラス基板を
支持する支持ピンとを備えたことを特徴とするガラス基
板保持具。
【請求項２】前記支持ピンの先端に減摩部材を設けた
ことを特徴とする請求項１記載のガラス基板保持具。