TWI332931B - Large size substrate holder - Google Patents

Description

1332931 五、 發明說明α) [技術範圍：] 【發明所屬之技術領域 本發明為支撐液晶顯示螢幕（LCD )、電聚顯厂、 (PUsma display) (PDP)、有機 EL 顯示螢幕等平 鸯幕（FPD)之玻璃面板的大型面板支撐架。 ‘顯条 【先前技術】 [背景技術：] 近年來隨著液晶顯示 的趨勢，甚至達lm

使用液晶顯示螢幕的玻璃面板， 鸯幕技術的進步’尺寸有日益大型化 X 1 m以上。 這類玻璃面板，在液晶顯示螢幕的製造工程中， =面板支#架上進行瑕疲檢查。瑕錄查中使用的面板 撐架，刊載於特開平9 — 1 8964 1號公報中。特開平9—. 1 8964 1號公報，為面板支撐架框内設為複數棧橋的構造。 瑕疵檢查，包括照明玻璃面板並由檢查員以目視檢查瑕疵

部分的目視檢查、以及利用顯微鏡將目視檢查所檢查出來 的瑕疵>部分予以放大檢查的顯微檢查。 不過玻璃面板雖然是載置在面板支樓架上，但卻會 因為人為的移動等外在因素而震動力量傳至面板支撐架 上’造成玻璃面板震動。另外，玻璃面板的震動，不僅止 於人為的移動，其他如吹入實驗室的強風風壓所引起的震

1332931 五、發明說明（2) 動、搬運玻璃面板疊貨時所產生震動的影響、來自格概 等之震動的影響等，皆會造成玻璃面板的震動。再者， 面板震動 _板支禮架本身的移動等内在因素’也會產生震動而使玻^ 面板支樓架’為了支撐尺寸達lm Xlm以上的大型玻 璃面板，故設計成大型化、且設置於支撐架框内的各格柵 長度也較長。因此’小小的震動就會引起共震，震動越大 就越會引起玻璃面板的震動。震動’包括低頻率的震動、 與高頻率的震動。再者’玻璃面板的厚度較薄，所以，也 比較容易受面樣支撐架震動的影響。 因此，當玻璃面板一震動，在進行玻璃面板的檢查 時，例如：顯微檢查時透過顯微鏡觀察的瑕疵部分放^影 .像也會因而震動，導致放大影像也受影響也畫質變差。特 .別是顯微鏡倍率越高的時候，微小的震動、或是輕輕吹入 -的風壓都會傳至顯微鏡而使觀察的放大影像產生微^震 動。所以，放大影像的晝質便隨之變差，於檢查玻璃面板 時形成不良的影像◊結果，造成瑕疵部分的顯微檢查、玻 璃面板上的線寬測量等的精密度不足。 防止玻璃面板震動的方法有將玻璃面板全面吸附在面 板支撐架上、或者如專利文獻丨所刊載的，構成面板支撐 架的複數棧橋皆使用金屬材料等。 不過’在全面吸附玻璃面板的方法中，玻璃面板背面側會 被面板支撐架所堵塞，使得透過照明光無法從玻璃面板的 背面側照射過來。因此，無法利用透過照明進行玻璃面板 1332931 五、發明說明（3)

的瑕森檢查。 ^外，如專利文獻丨所述了 9野甬 方法中’由於金屬材料為剛體 金^#料構成授橋的 孕乂谷易震動。 【發明内容 [發明之公開

維内要特徵’係在擁有框狀平檯、與設於該平檯 王 、載置大型面板之複數棧橋的大型面板支撐架 上’ 〇又置倉b吸收各機橋之間由外在因素與内在因素引起之 震動的震動吸收裝置。 [圖式之簡單說明：] 圖一係本發明大型基板支撐架的第一實施例構成圖。 圖二A係本發明大型基板第一實施例中面板吸附部材與 支撐栓相對於各棧橋的安裝構造圖。

圖二B係本發明大型基板第一實施例中面板吸附部材與 支撐栓相對於各棧橋的安裝構造圖。 圖三係本發明大型基板支撐架第一實施例中振動吸收 部材的分解解構成圖。 圖四係本發明大型基板支撐架第一實施例中各棧橋間 的橡膠體的壓入狀態圖。 圖五A係本發明大型基板支撐架第一實施例中橡膠體的

1332931 五、發明說明（4) 上蓋表示圖。 圖五B係本發明大型基板支撐架第—實施例中橡膠體的 上蓋表示圖。 圖六係本發明大型基板支樓架第一實施例中基板支撐 架本體中央所裝置振動吸收部材變形例的構成圖。 圖七係本發明大型基板支撐架第一實施例中振動吸收 部材離散安裝變形例的構成圖》 各棧橋間 圖八係本發明大型基板支撐架第一實施例中 壓入橡膠體的變形例構成圖^ 圖九係本發明大型基板支撐架第一實施例中各 壓入橡膠體的變形例構成圖。 ” 間

的正面構 圖十係本發明大型基板支撐架的第二實施例 成圖。 的上视

圖Η 係本發明大型基板支撐架的第二實施例 構成圖。 [圖號之說明：] 1 .................玻璃面板 2 ................. 支撐架本體 2a................週邊載置部 3 ............... 開口部 4 ..................棧橋 5 ..................平面吸附部材 6 .................. 支撐栓

第9頁 1332931 五、發明說明（5) 7 ......... 8 ......... 8 ~ 1 ...... 8-2…… 8-3…… 8-4…… 8-5…… 8 _ 6...... 吸附軟管 震動吸收部材 震動吸收部材 震動吸收部材 震動吸收部材 震動吸收部材 震動吸收部材 震動吸收部材 9........... .......,橡膠體 10 ......... .........封蓋 11 ......... .........封蓋 12 ......... .........切口 13 ......... ..........螺絲釘 14......... ..........吸收部材 15 ......... ..........基準栓 16 ......... ……· ···.壓栓 20 ......... ..........栓梢 21 ......... ..........栓梢 22......... ...........凹部 23a........ ..........孔穴 23b........ ..........孔穴 24......... ...........凹部 25 ......... ...........凹部 26......... ...........接縫部份

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第11頁 1332931 五 發明說明（7) P......... •吸附幫浦 【實施方式】 [本發明實施的最佳形態 明 以下為本發明的第1實施形態’並參考圖示加以說 圖一係大型面板支撐架的結構圖；此大型面板支撐架 2於檢查平面顯示螢幕之大型玻璃面板丨表面的表面檢 面板支撐架本體2，為樞狀結構。該面板支撐架 本體2開口部3内，依χ方向架設著複數之棧橋4。這些擾橋 ^片保持板4a、4b彼此相對呈帶狀配置構成；保持板 =、之間，形成透過照明光可通過的空間部4c。這些 持板4a、4b之間則挾著透明防止材。 —’、 於中：ϊί Hi:2? 口部3内的固定位置上，例如相對 ^ , 棧橋4上，设置複數之面板吸附部材5 ;另 複數支揮栓6t ’為維持玻璃面板1呈水平狀態，分別設有 各機L二的Αί=ΒΛ別是：板？附部材5與支撑栓6相對於 二Β則β相丨 構化态，圖二Α疋自上方觀察的構造圖、圖 ;隔挾7V於面2 J伴2些面板吸附部材5與支撐栓6 ’依-定 以吸附支撐巷番、枕之間；面板吸附部材5，是藉 撐栓6，則β益置於各面板支撐架本體2上的玻璃面板1 ;支 '疋藉以水平支撐住該玻璃面板1 ;這些面板吸附 第12頁 1332931

=材5與支撐栓6，如圖一所示，其架設高度與面板支撐架 本體2周邊載置部2a是同一高度。 八 各面板吸附部材5，接續著吸附軟管7 ;吸附軟管7，配置於 2片保持板4a、4b之間；吸附軟管7，是由透光性材料製造 而成的。而且，將配設於各棧橋4的各吸附軟管7整理成一 Ϊ浦P如接圖續—所示，並與設於面板支撐架本體2外部的吸附 另外，圖二Α與圖二Β所示之面板吸附部材5盥 二裝/橋二；Ξ㈣Γ板吸附部材5時，複數：支撐 栓則依一疋間隔为別挾置於各保持板“、仙之 置方：tx支方撑白架)本:二二部3内，以垂直於複數棧橋4配 罝万向U方向）的方向（Y方客），安供 收部材8 ;這些S動吸收部材8，在；' 之震動吸 .排列成複數列，如圖一所示，中 内依—定間隔 震動吸收部材8能吸收、減弱由於外°因、兩側共計3列； 導致面板支樓架本身的低頻率震動 素率、内在因素而 圖三，為震動吸收部材8的部 貝八羊震動。 各棧橋4之間’分別壓入可吸 =構圖；在 9，是由高分子橡膠構成的直立方的體橡膠9 ;橡膠 吸收多餘震動的性質。例如：卷 ’同为子橡膠9，具有 時，高分子橡膠9將會吸收來自：體撞擊高分子橡膠9 還具有撞擊時不使物體受到撞擊、物體所的撞擊力量，並且 9並不會產生任何塵埃。 生貝。另外，高分橡膠 橡移體9長度，較各機橋4之 我度稍長。此外，橡 五、發明說明（9) 膠體9的長度、高度與寬度，可依外 本身產生的震動大小等任意調整 對 延樣的橡膠體9,如圖四 ’正 向=兩端分別藉由對各九、=，長邊方 U覆蓋；：ί;;0呈= 口 12,下封蓋^二凹^^棧㈣嵌入處裝設著切 )保持板4b與43的間隔長度稱：二棧:4:間？也就 仙等加以固所二再自者上體9 ’並利用螺絲 接觸上下封蓋1〇、！ 固广，可在未 如圖五A所干，介7 :滑況下支撐著。另外’橡膠體9， 著，甚至橡：體!；=上幫蓋U挾住橡膠體9予以支撐 下加以覆L! 在接觸上下封蓋lo、n兩者的情況 ΐ ί分ί ί Γ的Λ保，板4a、4b，相對於面板厚度，擁 4b ,為带由愚剛性金屬構成，這些保持板4a、 外又；刹田動，面板表面上皆塗有一層防震材料，另 防震腐蝕不錄鋼等制震金屬等製造而成。所謂 物質等比π* 2 尚分子橡膠或樹脂、吸震塗料、凝膠狀 鲖類樹二：所謂吸震塗料，例:尿烷、丙烯、硅 勝 二塗料等皆是，所謂凝膠狀物冑，例如：有機溶 再者\ S類凝膠、硅酮類凝膠、氟離子交換樹脂等皆是。 ，為使各棧橋4不致產生共震，故使各保持板牦、4b 1332931 發明說明（ίο) 的厚度不同’藉由變更防震材料的厚度、數量等，各棧橋 4本身的共振頻率不同，營造各棧橋4之間不會共震的理想 狀態。 •此外，面板支撐架本體2周邊载置部2a上，設有吸附固定 玻璃面板1之複數吸收部材（吸附墊）14，這些吸收部材 14與吸附軟管7連接，接受吸附幫浦p的吸引動作而進行吸 引作用。另外，面板支撐架本體2上，則設有複數之基準 栓（p i η ) 1 5與複數之壓栓1 6。 接下來’將就上述結構之支撐架操作說明如下： 面板支撐架本體2上，載置著液晶顯示螢幕用、尺寸為化 X lm以上的大型玻璃面板丨，該玻璃面板1，由複數之壓栓 16固疋於複數之基準栓15上，藉以設定基準位置，之後再 .藉由吸附幫浦P的操作’利用各面板吸附部材5與各吸收部 -材1 4加以吸附固定住玻璃面板1。

在此狀態下，對玻璃面板1表面進行照明，由檢查人員以 目視進行目視檢查，接著，利用顯微鏡將目視檢查檢查到 的瑕疵部分加以放大’並且進行顯微檢查。另外，利用顯 微鏡拍攝玻螭面板1表面的放大影像，再對此影像資料進 行影像處理，接著進行玻璃面板1表面上的線寬測量。 在對玻璃面板1進行這樣的檢查期間，若因外在因素與内 在因素而造成震動並且傳至面板支撐本體2的話，壓入各 棧橋4之間的複數橡膠體9將會吸收、減弱震動能量，此時 面板本體2隨著玻璃面板1尺寸的大型化，設於支樓架框内 的各棧橋4的長度也會增長，因此，外在因素或内在因素

1332931 五、發明說明（11) 弓I起的面板支撑架本體2内中央部產生的震動大小也 之增大。 本實施形態中，在面板支撐架本體2内中央部的相對位置 上’壓入了複數之橡膠體9充當震動吸收部材8，所以 ”撐！ΐ體2内中央部產生震動時，將會由各橡膠體9所 雪:再者’由於各棧橋4之間是利用複數之橡踢 部材8連結的’所以，無論震動是依縱 向（X方向）、橫向（Y方向）與高度方向（z方向）而產 生的’皆能由各橡膠體9所吸收、減弱。 結果，在進行玻璃面板顯微檢查時，玻璃面板丨表面上瑕 影ΐ才得以毫無震動地被觀察。特別是顯微鏡 倍率越局時，在觀察放大影像時越不會產生震動另外， =玻璃面板!上的線寬時，也能夠獲得高精密度的測 董結果。 於上述第1實施形態中’面板支撐架本體2内 之間由於壓入了橡膠體9構成的震動吸棧， 論是外在因素、内在因素所產生的橫向與縱材所以’無合 被橡膠體9所吸收、減弱，可將震動都三 大型玻璃面板i的震動，抑制到支樓架本體2上的 另外，複數棧橋4之間是藉由震動吸收部 此 減弱傳達到各授橋4的共震頻率而連結的/ 震。 伐橋4之間的共 另外，在面板支樓架本體2中央部的對 動吸收部材8與面板吸附部材5， 罝上，权有震 故此及收、減弱震動最大 五、發明說明（12) 的面板支撐架本體2 φ 嘀面板1的顯微檢查時、。卩的震動。如此一來，在進行破 察，也能在無震動狀，態’即使1透過顯微鏡進行高倍率觀 挪量玻璃面板】上的緩宫'c 硯察其放大影像，同時在 另外，各棧橋4之間僅B耝士，能獲得良好的觀察影像。 以，能簡單地安裝在^曰堅入各橡膠體9所構成，所 動的影響。 的面板支撐架上，而毫不受到震 另外，各橡膠體9是由上 即使橡膠體9從各棧橋4之'封蓋10、U所覆蓋，所以， 體上掉落下來。 洛’也不會從面板支撐架本 再者，上述第1實施形熊， 上述第1實施形態中，^目^ ^如下所述之變形。 垂直方向安裝複數之震;二數棧橋4的配置方向上’依 面板支撐架本體2開口部3内中=，但如圖六所示，在 吹部材8，也就是說，面板支樓、上可^直線狀震動吸 以中央部產生震動為‘最大，因.、本體2上的坡璃面板1， 璃面板板1中央部的震動，’如果能夠吸收、減弱玻 到極小的程度’所α，面板支樓璃板二的震動就可以減弱 即使只利用震動吸收部材8加;本體2的各校橋4中央部 玻璃面板1的效果。 、。亦具有吸收、減弱 另外，震動吸收部材8，如圖七 地安裝在各棧橋4之間。再者，二，亦可呈鋸齒形離散 亦可任意決定，大膽地說，最理震吸:部材8的安裝位置 大的面板支樓架本體2開口部3的=是：裝在= τ犬0Is上。另外，震動吸 五、發明說明—^7 _ 收部松a At I板1的震附固⑦在面板支樓架本體上之玻璃面 t的部分動可文裝於玻璃面板1震動的腹部、或震動增大 所示各ϊί2間作為震動吸收部材8的橡膠體9，如圖八 些栓梢20叉相對位置上分別設有栓梢20、21，在這 各栓梢2〇 :之= : = 體9，設置於各棧橋4上的 ”。該凹仰則ίί 部分上形成了嵌入用凹部 圓柱狀且：端ΠΪΪΞ柱膠體9端部。橡膠體9，為 2扑。 鳊刀另J留有***各栓梢20、21的孔穴23a、 2:此，且各：，2〇、21分別***橡膠體9上的各孔穴…、 b且兩端部則嵌入各保持板4a、4b的各嵌入用凹 膠體9若被挾於各棧橋4之間而無掉落的可能 22。’ '取下各栓梢20、21而將橡膠體9直接嵌入凹部 之間的橡膠體9 ’如圖九所示，在棧橋*的相 内則可錐形狀凹部24、25 ’這些凹部24、25 橡膠體9若形/板狀兩、端=呈/形狀的橡膠體9。此時 心成板狀兩鈿則形成三角形角落部，各凹部 孔穴則形成能分別與橡膠體9的角落部嵌合的三角形 J膠體9的形狀，並非僅限於圓柱狀或板狀，四方形亦 圖二、圖八與圖九所示之各橡谬體9 ’其表面上塗有聚乙 第18頁 1332931 五、發明說明（14) 埽等物質’藉由塗上塗料， ^ ^ , η -Λ- -r n 除了可提鬲橡膠體9的持久性 間產4麼梭二士庙 屋生甚至還可防止各棧橋4之 也可胃 、 】、粒子等掉落。另外，橡膠體9 止靜電的產生。 鼠乙席纖維）製成的圓筒内’可防

震動吸收部材8，不僅限於貼# 士 A Λ m ^ 阼於裝δ又在各棧橋4之間，亦可設置 盘品杧士〜知丄如圖一所不之面板支撐架本體2 "、 f，、本體2框内震動吸收部材8的各接縫部分26， 2 ’震動吸收部材8，亦可***構成棧橋4的各保持板^ ”4b之間的空間部切内。再者，震動吸收部材8，亦可分 別設置於各接縫部分26及各保持板“與仙之間的内空間部 4 c中’這些震動吸收部材8，則可使用樹脂、震動吸收塗 料、或凝膠狀物質，藉由***這些防震材料，可吸收外在 因素與内在因素引發的震動，能提升防震效果。 接著，就有關本發明第2實施形態，參考圖示說明如下： 圖十與圖十一為遶用於面板檢查裝置之支撐架的結構圖， 圖十疋正面圖，圖十一則是表面圖。 檢查裝置本體30内’底座（base)32上設有面板支撐架本體 31 ’面板支樓架本體31上’如圖Η--所示，呈同心圓狀裝 置著複數之環狀棧橋33，這些環狀棧橋33，在半徑方向上 且每隔一定的角度，例如：每隔60度即藉由直線狀機34加 以連結起來。這些環狀棧橋33與直線狀棧橋34之間，分別 形成了照明透光用開口部3 6。但是’從外側算來第一層與 第二層的各環狀棧橋33之間，每隔120度配置著直線狀支

第19頁 1332931 五'發明說明（15) 持棧橋34 ’使後述之升降栓梢44、45可在丨20度的範圍内 移動，如此一來’面板支撐架本體31外圍部即形成了引導 用開口部35-3〜35-4。另外，在面板支撐架本體31的外 側’後述之升降栓梢44、45移動引導用開口部、 35-2。 複數之狀授橋3 3之間’在其半彳空方向上安裝著與圖三所 示之相同再造的震動吸收部材8-1〜8-6。各環狀機33之間 即可藉此壓入震動吸收部材的橡膠體9，各環狀機橋33， 則是藉由橡膠體9加以連結。

另外’這些震動吸收部材8-1〜8-6，不僅限於在半徑方向 上安裝成一列’也可只安裝在震動增大的部分環狀棧橋33 之間。另外，震動吸收部材8，也可離散地安裝在各環狀 棧33之間每隔一個的任意位置上。另外，環狀棧橋33的形 •狀’不僅限定於上述第1實施形態之2片保持板4a、4b，剖 •面為細長形的長方形板材、剖面是矩形的角材、剖面擁有 姮形中空狀的角材、或剖面為二·字形的角材等皆可。

面板支樓架本體31下方’如圖十所示，裝設著回轉裝置 37，此之回轉裝置37，可透過各開口部35-1〜35-4將玻璃 面板抬高至面板支撐架本體31的上方，並在抬高狀態下略 往回轉9 0度，所以，是由驅動部3 8與升降栓梢裝置3 9構 成’驅動部38 ’能使升降栓梢裝置39上下移動與回轉。 升降栓梢裝置39 ’如圖十一所示，乃是由各升降栓梢支撐 棒40、41、以及立設於這些升降栓梢支撐棒4〇、41兩端部 的各升降栓梢4 2〜4 5所構成。 1332931 五、發明說明（16) 回轉時，各升 35~2内呈圓弧 開口部35-4、 因此’當升降栓梢裝置39在上升的狀態丁 降栓梢42、43則沿著各引導用開口部354、 狀移動’各升降栓梢44、45亦沿著各引導用 35-3呈圓弧狀移動。 另外，在面板支撐架本體31兩端側的底座32上， 平行設置著導軌46、47，這些導執46、47之間則荖 柱48並且跨過面板支撐架本體31的上方，門柱48 ^ 導轨46、47，可依γ方向裝設並可移動，而且相對於此之、 門柱48，可依X方向裝設顯微鏡且為可移動式。 、

面板支撐架本體31的上方，設有圖示中未標示出來的目 照明裝置’面板支撐架本體31的下方，則 明裝置50。 ^ ^ 接下來，則針對使用上述構造之支撐架的檢查操作，說明 如下： 呈水平狀態的面板支撐架本體31上，載置著大型尺寸的玻 璃面板1，面板支撐架本體31，可依一定角度升起、搖 動。在這樣的狀態下’來自目視照明裝置的照明光可照射 在玻璃面板1的表面上，如此一來，則可檢查出玻璃面板】 上的損傷、缺陷、髒污、附著的塵埃等瑕疵。 另方面，在進行顯微檢查時，面板支撐架本體31是 呈水平狀態設置的，門柱49則可依相對於各導軌47、48的 Υ方向移動，顯微鏡49則可依相對於門柱49的乂方向移動， 如此即可藉由顯微鏡49對瑕疵部分進行顯微檢查。 在这樣的檢查當中，外在因素或内在因素引發的震動

第21頁 1332931 五、發明說明（17) 若傳到面板支樓架本體31的話’則呈同心圓形狀配置的複 數之環狀棧橋33中央部的震動是最大的。 本實施形態中，由於呈同心圓形狀配置的各環狀棧橋 33之間因有壓入橡膠體9 ’所以傳至各環狀棧橋33的震動 可被橡膠體9所吸收、減弱。再者，震動無論是依縱向（χ 方向）、橫向（Y方向）、高度方向（Z方向）而產生的， 各方向的震動皆可被各橡膠體9所吸收、減弱。

結果’進行玻璃面板顯微檢查時，透過顯微鏡49觀察 的玻璃面板1表面上的瑕疵部分放大影像，即可良好地在 無震動的情況下進行觀察，特別是顯微鏡倍率越高時，觀 察玫大影像時越不會受到震動。 [產業上的利用可能性] 本發明適用於電漿顯示螢幕（plasma display) (PDP)、 有機EL顯示螢幕等平面顯示螢幕（FPD)等之玻璃面板檢 查時’可作為支撐該玻璃面板之用。

第22頁 1332931 圖式簡單說明 [圖式之簡單說明：] 圖一係本發明大型基板支撐架的第一實施例構成圖。 圖二A係本發明大型基板第一實施例中面板吸附部材與支 • 撐栓相對於各棧橋的安裝構造圖。 圊二B係本發明大型基板第一實施例中面板吸附部材與支 撐栓相對於各棧橋的安裝構造圖。 圖三係本發明大型基板支撐架第一實施例中振動吸收部材 的分解解構成圖。 圖四係本發明大型基板支撐架第一實施例中各棧橋間的橡 膠體的壓入狀態圖。 圖五A係本發明大型基板支撐架第一實施例中橡膠體的上 蓋表示圖。 圖五B係本發明大型基板支撐架第一實施例中橡膠體的上 蓋表示圖。 •圖六係本發明大型基板支撐架第一實施例中基板支樓架本 體中央所裝置振動吸收部材麥形例的構成圖。 圖七係本發明大型基板支撐架第一實施例中振動吸收部 離散安裝變形例的構成圖。 °

圖八係本發明大型基板支撐架第一實施例中各機橋間壓 橡膠體的變形例構成圖。 @ K 圖九係本發明大型基板支撐架第一實施例中各棧橋間

橡膠體的變形例構成圖。 @ S K 圖十係本發明大型基板支撐架的第二實施例的正面構成 1332931 圖式簡單說明 圖十一係本發明大型基板支撐架的第二實施例的上視構成 圖。

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Claims (1)

1332931 第93106400號申請專利範圍修正年9呪7/雜(m^ 1. 一種大型基板支撐架，其具備下述元件----i 框狀平檯··具相H簡支撐基板； 保持部··設於前述框狀平棱的開口部； 震動吸收裝置：崎述鱗部及奴方向設置，設有吸收 或衰減因外在及内在因素起的前述保持部的震動。 2.如申請專概圍第1項所叙大錄板支撐架，其帽述保持. 部係以複數並設於前述平檯框的開σ部内為其特徵者。 3.如申請專利範圍第1項所述之大型基板支撐架，其中前述保持 部係以複數並設賴心隨，裝設於前述平檯㈣開口部内為 其特微去。 5·如申請專利範圍第1項至第4項中的任何-項所述之大型基板 支撐架’射前述之震驗《㈣於上祕持部及框狀平檯 之間連結設置者為其特徵者。 月專她圍第1至第4項中的任何—項所述之大型基板支 接架’其中保持部為複數個，震動吸收裝置則連結各保持部使 成一直線狀配置為其特徵者。 7·如申π專利_第！項至第4項中的任何—項所述之大型基板 支撐架^保持部為複數個，震動吸收裝置係在前述各保持 1或月〗述框狀平檯與縣部間至少—個廣泛配置為其特徵 者。 、 8.如申_軸1卿4物昏佩之大型基板 支撑架’其中前述震動吸收裝置係以柱狀形成，其長度長於各 保持相咖或上述框狀平檯絲持侧關隔，顧定於各 保寺P或上述框狀平檯及保持部中的至少一個為其特徵者。 9.如申請專利細第1項至第4項巾触何-項所述之大型基板 支撐架，其中前述震動吸收裝置至少施以封蓋或塗佈之一種為 其特徵者。