KR100483367B1 - 글라스 흡착 지지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글라스를 진공에 의해 흡착하여 검사기에 고정 지지시키는 경우, 종래의 흡착 패드 구조에서 자주 발생하는 흡착 에러를 방지할 수 있는 글라스 흡착 지지장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치는, 글라스를 진공에 의해 흡착지지하는 흡착패드(10)와, 흡착패드(10) 하부에 결합되는 탄성재질의 유동지지부재(14)와, 유동지지부재(14)의 하방에 연결되는 중공형 지지대(20)와, 지지대(20) 하방에 결합되는 공기입출부(30)를 포함한다.
흡착패드(10)는 글라스와 직접 접촉되는 판형 상부흡착판(10a)과 유동지지부재(14) 내에 삽착되는 하부몸체부(10b)로 이루어진다.
유동지지부재(14)는 상부흡착판(10a)에 유동성을 부여하도록 하방에서 탄성지지하는 흡착판지지부(14a)와, 한쪽 단부에는 하부몸체부(10b)가 삽입되고 내부공간과 연통되는 개구부가 형성되어 있고 다른 쪽 단부는 지지대(20) 선단부에 연결되는 중공형 고무캡슐(14b)을 구비한다.

Description

글라스 흡착 지지장치{A VACUUM HOLDING APPARATUS FOR A GLASS}
본 발명은 글라스의 흡착 지지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판디스플레이 제조시 매크로 검사에서 글라스를 진공에 의해 흡착하여 검사기에 고정 지지시키는 경우, 종래의 흡착 패드 구조에서 자주 발생하는 흡착 에러를 방지하여 글라스의 낙하를 방지하고 흡착율을 개선할 수 있는 글라스 흡착 지지장치에 관한 것이다.
최근 전자산업의 발달로 인하여, 시각적 정보전달 매체로서 LCD, PDP, 유기 EL 과 같은 평판 디스플레이 장치들이 널리 보급되고 있다. 상기 평판 디스플레이 장치는 그 표면에 박판의 글라스가 설치되어 있고, 그 글라스를 제조할 때에는 다양한 패턴이 형성되도록 식각 및 세정 공정을 수행하고 있으며, 상기 글라스를 각 공정으로 이동시킬 때는 글라스의 파손을 방지하기 위하여 진공흡착에 의한 흡착패드 또는 클램프를 이용하여 상기 글라스를 지지, 고정하게 된다. 또한, 상기와 같이 제조된 글라스는 다양한 품질 테스트를 거치게 되는데, 검사공정은 크게 특성검사와 비주얼 검사로 구분된다. 여기서 비주얼 검사는 다시 작업자가 육안에 의해 글라스 표면의 불량을 확인하는 매크로(광대역) 검사와 상기 매크로 검사에서 발견된 불량 부위를 확대하여 검사하는 마이크로 검사로 구분된다. 특히, 상기 매크로 검사시에는, 글라스 측으로 빛이 조사되도록 특수한 조명을 점등시킨 후 글라스를 다양한 각도로 위치를 변경시켜, 글라스를 통하여 반사 또는 투과되는 빛의 균일도와 글라스 표면에 발생된 얼룩 또는 이물질에 의한 결함을 확인하게 된다. 이때, 상기와 같이 글라스를 다양한 각도로 변경시키면서 검사를 하기 때문에, 상기 글라스를 파지하여 고정, 지지하는 장치가 필요하게 되고, 이에 사용되는 것이 글라스 흡착 지지장치이다. 상기 글라스 흡착 지지장치는 글라스 표면에 손상을 가하지 않아야 하므로, 클램프 보다는 진공 흡착에 의해 글라스를 지지하는 형식을 취하는 것이 일반적이다.
한국 특허출원 공개 공보 특-2003-0027059 호에는 종래의 기판 홀딩 장치가 개시되어 있는데, 상기 기판 홀딩 장치는, 선단부에 글라스와 직접 접촉하여 이를 흡착하는 흡인부재와, 상기 흡인부재를 하부에서 지지고정하며 흡인통로를 구비하는 홀딩축과, 상기 홀딩축 하부 측면에 연결되는 흡인튜브로 구성된다. 상기 기판 흡인부재의 선단부에는 탄성재에 의해 형성된 흡착부재가 빠지지 않도록 부착되어 있으며, 상기 흡착부재에는 흡인통로와 연이어 통하기 위한 흡인구멍이 형성된다. 상기 흡착부재는 빠짐방지링에 의해 기판 홀딩축의 선단부에 홀딩되어 있다. 또 기판 흡인 부재의 하부에는 부착단부에 의해서 흡인튜브가 부착되어 있다. 상기 흡인튜브는 기판 흡인부재에 부착됨으로써 흡인통로에 연이어 통한다. 또한 흡인 튜브는 기판 홀더의 외부에 설치된 흡인펌프에 접속된다. 이러한 구성을 갖는 기판 홀딩장치의 작동관계를 살펴보면, 먼저 흡인튜브에 연결된 흡인펌프의 작동에 의해 이와 연통되는 흡인통로와 흡인구멍 내에 존재하는 공기가 흡인펌프에 의해 빨려들어 가면서, 상기 기판 홀딩장치의 내부는 진공상태로 전환되고, 이에 따라 글라스와 접촉되어 있는 흡착부재의 흡인구멍 초입에서는 급격한 흡인력이 발생하게 되어, 이러한 흡인력에 의해 글라스가 지지고정되는 것이다.
그러나, 상기와 같은 기판 홀딩 장치에서는, 상기 흡인부재가 수평으로 고정되어 있기 때문에, 글라스가 대형화되어 처짐현상이 발생하는 경우에, 글라스 표면과 흡인부재의 표면 사이에 간격이 생겨 흡착력이 떨어지기 때문에 효과적인 지지가 수행되지 못하고, 검사도중 글라스가 진동하거나 또는 심한 경우 낙하되는 문제점이 있었다.
또한, 하나의 제조 라인에서 여러 크기의 글라스를 처리하는 경향에 따라, 검사 대상이 되는 글라스의 처짐량과 처짐 방향이 일정하지 않고 글라스마다 다르게 나타난다. 상기와 같이 흡인부재가 다양한 처짐 각도에서 반복적으로 하중을 받는 경우, 상기 흡인부재의 표면이 여러 방향에서 마모되고 열화되어 상이한 크기와 하중, 그리고 처짐량을 갖는 글라스들을 흡착하는 경우 흡인부재 표면에서의 간격은 더욱 커지고 흡착력은 감소하게 된다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 상기 흡착부재에 상하 유동성을 부여하여, 글라스의 처짐현상이 발생하는 경우, 상기 흡착부재의 각도가 유연하게 변화함에 따라 글라스와의 접촉 유격을 최소화하고, 흡착력 손실을 방지하여 흡착에러를 효과적으로 방지할 수 있는 기술이 연구되었다.
도 1 에는 이러한 흡착력 손실을 방지하기 위한 종래의 흡착부재의 구조가 도시된다. 상기 흡착부재는, 도시된 바와 같이, 패드(2)와, 고무링(3)과, 그리고 고무패드(4)로 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기 고무링(3)은 상기 패드(2)의 하부에 삽입되고, 그 하부에는 다시 고무패드(4)가 위치된다. 이러한 고무링(3)과 고무패드(4)는 글라스의 처짐에 의하여 그 표면이 완만하게 휘는 경우 패드(2)에 상하 유동성을 부여하여, 상기 패드(2)의 글라스와의 접촉각도를 글라스 표면의 휨 현상에 상응하게 변경되게 함으로써 상기 패드(2)와 글라스의 효율적인 접촉을 보장한다. 상기 흡착부재는 조임너트(5)에 의해 연결구(6)에 결합되며, 상부캡(1)에 의해 탈착되지 않도록 고정된다.
그러나, 상기와 같이 고무링(2)과 고무패드(4)에 의해 패드(2)에 상하 유동성을 부여하는 경우에는, 사용빈도가 늘어날수록, 글라스의 처짐에 의한 하중으로 상기 고무링의 탄성이 떨어지게 되고, 이는 패드의 복원력 감소로 귀결된다. 특히, 일정한 위치에 고정 설치되는 상기 글라스 지지장치의 경우, 상기 패드의 변형 방향이 매번 거의 동일하기 때문에, 상기 고무링은 특정한 일측에만 주로 하중을 받게된다. 이에 따라, 그 특정 일측에서의 탄성 감소로 인해, 상기 패드(2)가 일측으로 기울어지는 현상이 발생한다. 이러한 상태에서 처짐량이 비교적 적은 글라스를 흡착지지하는 경우, 유격이 발생하여, 흡착률이 떨어져서 글라스가 낙하하는 문제점이 다시 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은, 상기와 같은 종래 기술에 따른 글라스 흡착 지지장치의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 점차 대형화되어가는 글라스의 자중에 의한 처짐 현상에도 불구하고, 흡착패드의 유동성은 그대로 유지하되 사용빈도에 따른 흡착패드의 기울어짐 현상을 방지하여, 흡착율을 향상시킬 뿐만 아니라, 구조의 단순화를 통하여 비용 절감의 효과를 가져올 수 있는 글라스 흡착 지지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적 및 장점들은 이하 더욱 상세히 설명될 것이며, 실시예에 의해 더욱 구체화될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타난 수단 및 이들의 조합에 의해 실현될 수 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치는, 내부에 축방향으로 관통되는 진공홀(11)을 구비하며, 글라스를 진공에 의해 흡착지지하는 흡착패드(10)와;
상기 흡착패드(10) 하부에 결합되며, 상기 진공홀(11)과 연통되는 내부 공간을 구비하는 탄성재질의 유동지지부재(14)와,
상기 유동지지부재(14)의 내부 공간과 연통되는 내부 통로를 구비하고 유동지지부재(14)의 하방에 연결되는 중공형 지지대(20)와;
상기 지지대(20) 하방에 결합되고, 상기 중공형 지지대의 내부 통로와 연통되어 진공펌프(P)에 의해 흡입/배출되는 공기가 통과되는 통로를 갖는 공기입출부(30)를 포함하며;
상기 흡착패드(10)는 상기 글라스와 직접 접촉되는 판형 상부흡착판(10a)과; 상기 유동지지부재(14) 내에 삽착되는 하부몸체부(10b)로 이루어지며,
상기 유동지지부재(14)는, 상기 상부흡착판(10a)에 유동성을 부여하도록 하방에서 탄성지지하는 흡착판지지부(14a)와; 상기 흡착판지지부(14a)의 하방에 일체로 형성되고 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 수용하여 밀착고정시키고, 한쪽 단부에는 상기 하부몸체부(10b)가 삽입되고 상기 내부공간과 연통되는 개구부가 형성되어 있고 다른 쪽 단부는 상기 지지대(20) 선단부에 연결되는 중공형 고무캡슐(14b)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로, 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 구성 및 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2 에는 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 사시도가 도시된다.
도시된 바와 같이, 상기 글라스 흡착 지지장치는, 선단부의 흡착패드(10)와, 상기 흡착패드(10) 하부의 지지대(20), 그리고, 상기 지지대(20) 하측에 연결되는 공기입출부(30)를 주요 구성요소로 포함한다. 상기 흡착패드(10)와 지지대(20), 그리고 공기입출부(30)는 서로 연통되어 상기 공기입출부(30)에 연결되는 진공펌프(P; 도시되지 않음)의 작동시 상기 글라스 흡착 지지장치의 내부가 진공상태로 되고, 이에 따라, 상기 글라스를 흡착할 수 있도록 구성된다.
도 3 에는 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 흡착부재를 구성하는 흡착패드와 유동지지부의 분해 정면도가 도시되고, 도 4 에는 도 3 에 따른 흡착패드와 유동지지부를 상방에서 바라본 모습(a)과, 하방에서 바라본 모습(b)이 도시되어 있다.
상기 흡착패드(10)는, 글라스와 접촉하여 진공에 의해 글라스를 흡착하여 지지하는 구성요소로서, 도 3 및 도 4 에 도시된 바와 같이, 기능 및 형상에 따라, 상하 두개의 부분으로 구분될 수 있는데, 상부부분은 글라스와 직접적으로 접촉되는 상부흡착판(10a), 하부부분은 상기 유동지지부재(14) 내에 삽설되는 하부몸체부(10b)로 구성된다.
상기 상부흡착판(10a)은 글라스 표면과 직접적으로 접촉하는 부분으로, 평판 글라스 표면과의 균일한 접촉을 보장하기 위해 대체로 편평하게 형성된다. 글라스와의 접촉 면적이 클수록 글라스에 손상이 가해질 확률이 높으므로, 도 4 에 도시된 바와 같이, 가장자리 부분만 외주면을 따라 일정한 높이로 돌출되어 중앙부와 단차지게 구성되는 것이 바람직하다. 이렇게 단차진 구성에 있어서는, 상기 상부흡착판(10a)이 글라스와 접촉하는 경우, 상기 상부흡착판(10a)과 글라스 사이에 소정의 공간부가 형성되는데, 이러한 공간부는 진공펌프(P)의 작동시 진공 상태가 되기 때문에 상기 글라스를 강하게 흡착할 수 있는 장점을 갖는다.
상기 하부몸체부(10b)는 후술하는 상기 유동지지부재(14) 내에 삽설되어 상기 흡착패드(10)를 유동지지부재(14)에 결합시키는 연결부 역할을 수행한다.
상기 상부흡착판(10a)과 하부몸체부(10b)는 일체로 형성되는 것이 바람직하며, 그 중앙경계부는 외주면을 따라 소정의 깊이로 오목하게 만곡된 형태로 설계된다. 중앙경계부의 형상은 제한이 없으나, 측면에서 볼때 가로누운 V-자 형상으로 만곡되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)와, 상부흡착판(10a)의 외주면 윤곽은 대체로 원형인 것이 바람직하다. 상기 하부몸체부(10b)의 직경따라서, 전체적으로 볼때, 상기 흡착패드(10)는, 중앙경계부를 기준으로 상부에는, 대체로 위로갈수록 넓어지는 원뿔대 형상의 상부흡착판(10a)이 형성되고, 하부에는, 대체로 아래로 갈수록 넓어지는 원뿔대 형상의 하부몸체(10b)로 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 상기 글라스에 직접 접촉되는 흡착패드(10)는 글라스의 표면에 흠집을 내거나 얼룩을 발생시킬 수 있으므로, 이를 방지하기 위해, 얼룩을 덜 발생시키는 재질로 구성되어야 하는데, 예를 들어, PEAK 재질로 구성될 수 있다.
상기 유동지지부재(14)는 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 둘러쌈에 의해 상기 흡착패드(10)를 지지하는 구성요소로서, 상기 흡착패드(10)에 유동성을 부여하는 기능을 수행한다. 상기 유동지지부재(14)는 상기 흡착패드(10)의 상부흡착판(10a)을 하부에서 떠받칠 수 있도록, 상기 상부흡착판(10a)의 후면부 형상에 상응하게 형성되는 탄성재질, 특히, 고무로 된 흡착판지지부(14a)와, 상기 흡착판지지부(14a) 하부에서 이를 지지하고, 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 수용하며, 상기 흡착패드(12)의 하부몸체부(12b) 형상에 상응하는 형상이 상하 대칭형태로 구성되는 중공형 캡슐로서 구성된다.
상기 흡착패드(10)는, 상기한 바와 같이, 상기 유동지지부재(14), 특히, 상기 중공형 고무캡슐(14b) 내에 삽설되는데, 이를 위해, 상기 유동지지부재(14)의 상부흡착판(10a)의 중앙부는 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(12b)가 삽입될 수 있도록 상기 고무캡슐(14b) 내부로 연결되는 개구부가 형성된다. 상기 유동지지부재(14)는 탄성체이기 때문에 상기 개구부를 외력을 가하여 확장시킨후, 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 끼워넣으면, 상기 개구부가 다시 복원됨에 따라 밀착고정된다. 여기서, 상기 하부몸체부(10b)가 상기 유동지지부재(14)로부터 탈착되는 것을 방지하기 위해서는, 상기 하부몸체부(10b)의 직경은 상기 상부흡착판(10a)의 직경보다는 작고, 상기 유동지지부재(14)의 개구부 직경보다는 크게 선택된다. 상기 흡착패드(10)의 외부 윤곽과, 상기 유동지지부재(14)의 내부 윤곽은 서로 상응하게 형성되고, 이에 따라, 상기 2 개의 구성요소들끼리의 견고한 기밀이 보장되도록 밀착결합된다. 따라서, 상기 흡착패드(10)와 유동지지부재(14)가 결합되는 경우, 상기 유동지지부재(14)는 상기 고무캡슐(14b)이 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 둘러싸며, 그 상부에서는 상기 흡착판지지부(14a)가 상기 흡착패드(10)의 상부흡착판(10a)을 탄성지지하게 된다. 상기 고무캡슐(14b)은 그 하단부에서 수직으로 더욱 연장되어 상기 지지대(20)에 연결되는데, 상기 고무캡슐(14b)은 상기 지지대(20)에 직접 연결될 수도 있고, 더욱 기밀하고 견고한 연결을 위해, 연결구(16)을 더 포함할 수도 있다.
도 5 에는 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 전체적인 결합상태가 단면도로서 도시된다.
상술한 바와 같이, 상기 흡착패드(10)는 하부의 유동지지부재(14)에 삽착되고, 상기 유동지지부재(14)는 바람직하게는 상기 연결구(16)에 의해 상기 지지대(20)에 기밀하게 연결되고, 상기 지지대(20)는 다시 외부의 진공펌프(P)와 연결된 공기입출부(30)와 연결된다.
상기 글라스 흡착 지지장치의 전체 작동관계를 살펴보면, 먼저 작업자는 상기 흡착패드(10)의 상부흡착판(10a) 상에 검사하려는 글라스를 위치시킨다. 상기 글라스 흡착 지지장치는 글라스의 크기에 따라 소정의 갯수로 설치된다. 작업자가 상기 글라스의 검사를 위해, 진공펌프(P)를 작동시키면, 상기 진공펌프(P)는 상기 글라스와 상부흡착판(10a) 사이의 공기를 빨아들이게 된다. 이때, 상기 진공홀(11), 유동지지부재(14), 지지대(20) 및 공기입출부(30)는 내부에서 서로 연통되기 때문에, 흡입된 공기는 진공펌프(P)를 통하여 외부로 배출되어, 상기 글라스 흡착 지지장치 내부는 전체적으로 진공 상태가 된다. 이에 따라, 상기 흡착패드(10)는 이러한 진공에 의한 흡착력에 의해 글라스를 고정지지하게 된다. 따라서, 검사를 위해, 상기 글라스를 회전시키거나, 다음 단계로 이동시키는 경우에도, 상기 흡착력에 의해 상기 글라스의 낙하가 방지된다. 상기 글라스에 의해 상기 흡착패드(10)가 하중을 받는 경우, 상기 흡착판지지부(14a)가 상부흡착판(10a)을 탄성적으로 지지하면서, 상하 유동성을 부여하게 된다. 또한, 상기 글라스의 크기가 대형화되어 처짐현상이 발생하고, 이에 따라, 상기 흡착패드(10)가 일측 방향으로 기울어지는 경우에도, 상기 고무캡슐(14b)이 상기 흡착판지지부(14a)를 하방에서 지지하면서, 좌우 유동성을 보장해 주기 때문에, 상기 흡착판지지부(14a)가 상기 흡착패드(10)의 위치 변경에 상응하게 변형 및 복원된다. 특히, 상기 유동지지부재(14)에서 흡착판지지부(14a)와 고무캡슐(14b)이 일체로 형성되기 때문에, 흡착판지지부(14a)의 일측에 반복적으로 하중이 걸리는 경우에도, 상기 고무캡슐(14b)의 전체 부피에 상기 하중이 균일하게 전달 분포되어 상기 흡착패드(10)의 기울어짐 현상이 방지된다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치는, 종래의 고무링 부분을 흡착지지부와 고무캡슐이 일체로 형성된 유동지지부재 구조로 대체함에 따라, 대형화되는 글라스 크기에 의한 처짐 현상의 발생시에도, 글라스와 흡착패드 사이의 유격없는 흡착이 보장되어 글라스의 낙하가 방지되고, 또한, 사용 빈도에 따른 상기 고무링의 유연성 감소 문제가 해결되어, 상기 흡착패드가 한 방향으로 기울어지는 경우에도, 흡착에러가 방지된다. 또한, 종래의 글라스 흡착 지지장치 보다 부품수가 현저히 감소되어 구조가 간단하고, 제조비용도 절감되는 효과를 갖는다.
도 1 은 종래의 글라스 흡착 지지장치의 흡착부재의 분해사시도,
도 2 는 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 사시도,
도 3 은 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 흡착부재의 분해 정면도,
도 4 는 도 3 에 따른 흡착부재를 상방에서 바라본 모습(a)과, 하방에서 바라본 모습(b)을 도시한 도면,
도 5 는 본 발명에 따른 글라스 흡착 지지장치의 결합단면도를 각각 도시한다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 흡착패드 10a: 상부흡착판
10b: 하부몸체부 11: 진공홀
14: 유동지지부재 14a: 흡착판지지부
14b: 고무캡슐 20: 지지대
30: 공기입출부 P: 진공펌프

Claims (7)

  1. 내부에 축방향으로 관통되는 진공홀(11)을 구비하며, 글라스를 진공에 의해 흡착지지하는 흡착패드(10)와;
    상기 흡착패드(10) 하부에 결합되며, 상기 진공홀(11)과 연통되는 내부 공간을 구비하는 탄성재질의 유동지지부재(14)와,
    상기 유동지지부재(14)의 내부 공간과 연통되는 내부 통로를 구비하고 유동지지부재(14)의 하방에 연결되는 중공형 지지대(20)와;
    상기 지지대(20) 하방에 결합되고, 상기 중공형 지지대의 내부 통로와 연통되어 진공펌프(P)에 의해 흡입/배출되는 공기가 통과되는 통로를 갖는 공기입출부(30)를 포함하며;
    상기 흡착패드(10)는 상기 글라스와 직접 접촉되는 판형 상부흡착판(10a)과; 상기 유동지지부재(14) 내에 삽착되는 하부몸체부(10b)로 이루어지며,
    상기 유동지지부재(14)는, 상기 상부흡착판(10a)에 유동성을 부여하도록 하방에서 탄성지지하는 흡착판지지부(14a)와; 상기 흡착판지지부(14a)의 하방에 일체로 형성되고 상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)를 수용하여 밀착고정시키고, 한쪽 단부에는 상기 하부몸체부(10b)가 삽입되고 상기 내부공간과 연통되는 개구부 형성되어 있고 다른 쪽 단부는 상기 지지대(20) 선단부에 연결되는 중공형 고무캡슐(14b)을 구비하는 글라스 흡착 지지장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡착패드(10)의 외부 윤곽과 상기 유동지지부재(14)의 내부 공간의 윤곽은 기밀한 삽입고정이 가능하도록 서로 상응하게 구성되는 것을 특징으로 하는 글라스 흡착 지지장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착패드(10)의 상부흡착판(10a)과 하부몸체부(10b)는 상기 흡착패드(10)의 외주면을 따라 오목하게 만곡되는 중앙경계부에 의해 구분되는 것을 특징으로 하는 글라스 흡착 지지장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 중앙경계부는 가로누운 V-자 형태로 만곡되는 것을 특징으로 하는 글라스 흡착 지지장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착패드(10)의 하부몸체부(10b)와 상부흡착판(10a)의 외주면 윤곽 및 상기 유동지지부재(14)의 입구영역은 대체로 원형인 것을 특징으로 하는, 글라스 흡착 지지장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 하부몸체부(10b)의 직경은 상기 상부흡착판(10a) 직경보다는 작고, 상기 유동지지부재(14)의 개구부 직경보다는 크게 선택되는 것을 특징으로 하는 글라스 흡착 지지장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 고무캡슐(14b)과 지지대(20) 사이의 기밀한 연결을 위하여 이들 사이에 배치되는 연결구(16)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 흡착 지지장치.
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KR101910907B1 (ko) 2018-07-06 2018-10-24 곽성희 디스플레이 패널용 흡착장치

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