JP2008064563A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】不要なノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図る。
【解決手段】液晶パネルを背面から照らして検査を行う検査装置である。開口を備えて装置本体側に取り付けられる固定ベースと、当該固定ベースの背面側に設けられて前記開口から前記液晶パネルの背面を照らすバックライトと、前記固定ベース上に４つ組み合わせて矩形状にかつ前記液晶パネルの寸法に合わせて移動可能に配置されてその内周側に可変開口を形成する可動ベースと、当該各可動ベースの外周側に設けられ、前記固定ベースの開口よりも前記可動ベースの可変開口が小さくなったとき当該可動ベースの外周側にできる隙間から漏れる前記バックライトの光を遮る遮光カバーとを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのような検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置に関する。

液晶表示パネル等を検査する検査装置では、大きさが異なる表示用パネルの検査をするときは、接触子ユニット及び検査ステージの両者の交換をしなければならず、その作業が煩雑であった。これを解消するために、特許文献１に記載の発明を提案されている。この特許文献１の発明では、ベースを可動式として、パネルの寸法の違いに応じて開口の大きさを調整すると共に接触子ユニットの位置を調整することで、接触子ユニットや検査ステージの交換をしないで対応できるようにした。
特開２００６−１１９０３１号公報

ところで、前記従来の検査装置では、検査対象のパネルの寸法が小さくなると、光漏れの問題が生じてしまう。図２及び図３に基づいて、この現象を説明する。

図２に示すように、ベースプレート１上に、そのベース開口部２を囲むように、４つの可動ベース３が備えられ、これらが互いに係合して四角形のパネル受け４を形成している。検査対象のパネルは、このパネル受け４に載置される。

パネルが小さい場合は、これらの可動ベース３を互いに係合しながらずらして、図３に示すように、パネル受け４を小さくして、小さい寸法のパネルに対応させる。

しかしこの場合、検査対象のパネルの寸法が小さすぎると、図３に示すように、小さい寸法のパネル受け４とベース開口部２との間に隙間ができて、バックライトの光が外部に漏れる光漏れ部５ができてしまう。

この光漏れ部５から漏れた光は、検査においてノイズ光となり、検査精度を悪化させてしまう。

本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、小さい寸法の検査対象板に対してノイズ光を確実に除去して検査精度を向上させることにある。

前記課題を解決するために本発明は、検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置であって、開口を備えて装置本体側に取り付けられる固定ベースと、当該固定ベースの背面側に設けられて前記開口から前記検査対象板の背面を照らすバックライトと、前記固定ベース上に４つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置されてその内周側に可変開口を形成する可動ベースと、当該各可動ベースの外周側に設けられ、前記固定ベースの開口よりも前記可動ベースの可変開口が小さくなったとき当該可動ベースの外周側にできる隙間から漏れる前記バックライトの光を遮る遮光部材とを備えて構成されたことを特徴とする。

前記構成により、前記可動ベースを小さい寸法の検査対象板に合わせて移動させて前記可変開口を小さくすると、当該可動ベースの外周側と前記固定ベースの開口との間に隙間ができるが、この隙間は前記遮光部材で覆われるため、この隙間から前記バックライトの光が、検査対象板の表面を撮影するカメラや検査をする作業者側に漏れることがなくなる。

前記遮光部材は、前記可動ベースの外周側の隙間を覆う板材又はフィルムで構成することが望ましい。

前記構成により、前記可動ベースを小さい寸法の検査対象板に合わせて移動させて前記可変開口を小さくすると、当該可動ベースの外周側と前記固定ベースの開口との間に隙間ができるが、この隙間は前記遮光部材である板材又はフィルムで覆われるため、この隙間から前記バックライトの光が漏れることがなくなる。

前記遮光部材を構成する板材又はフィルムの前記バックライト側面は、当該バックライトの光を吸収し、又は散乱させる表面処理を施すことが望ましい。

前記構成により、表面処理した遮光部材に漏れた光が当たると、当該光は、この遮光部材で吸収し、又は散乱させて、カメラ等へ到達することがなくなる。

前記可動ベースを小さい寸法の検査対象板に合わせたときに生じる隙間は、前記遮光部材である板材又はフィルムで覆われるため、この隙間から前記バックライトの光が漏れることがなくなり、ノイズ光を確実に遮断することができ、測定精度の向上を図ることができる。

また、表面処理した遮光部材で光を吸収し、又は散乱させて、ノイズ光がカメラ等へ到達することがなくなるため、測定精度の向上を図ることができる。

以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に検査装置は、バックライトの光が検査対象板の外側から漏れてノイズ光となるのを防止して測定精度を向上させるための装置である。検査対象板は、矩形の形状を有する板材である。その一例としてここでは、液晶パネルを例に説明する。

本発明は、液晶パネルを支持する検査ステージ等を備えた検査装置すべてに適用できる。検査ステージは、図４に示すように、Ｘ、Ｙ及びＺの三方向に変位させると共にＺ方向に伸びるθ軸線の周りに回転させる機構を備えたステージ本体(図示せず)、このステージ本体に取り付けられるベース板１１、このベース板１１に支柱１２を介して一定間隔を空けて支持されるパネル支持機構１３、これらベース板１１とパネル支持機構１３との間に設けられて液晶パネル１４（図７参照）を背面から照らすバックライト１５等を備えて構成されている。また、バックライト１５は、筐体１６と、この筐体１６内に平行に配設された複数本の蛍光管１７とから構成され、後述する固定ベース２０の開口２８全体を均等に照射する。

本発明の特徴は、このような検査装置において、前記検査ステージの上側に取り付けられるパネル支持機構１３におけるバックライト１５のノイズ光の問題を改良した点にある。このため、以下では、パネル支持機構１３を中心に説明する。図１は本発明に係るパネル支持機構を示す平面図、図４は図１のＡ−Ａ線矢視断面図、図５は本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す一部破断斜視図、図６は本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す一部破断平面図、図７は本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す平面図、図８は本発明に係るパネル支持機構の可動ベースを示す正面図、図９は本発明に係るパネル支持機構の可動ベースを示す平面図、図１０は図９のＢ−Ｂ線矢視断面図である。

パネル支持機構１３は、液晶パネル１４をその背面からバックライト１５で照射しながらその液晶パネル１４の電極と接触子（プローブ）とを互いに接触させるために、液晶パネル１４を正確に位置決めして支持する機構である。パネル支持機構１３は、図４〜６に示すように主に、ベース板１１の支柱１２に取り付けられる固定ベース２０と、この固定ベース２０上に４つ組み合わせて矩形状にかつ液晶パネル１４の寸法に合わせて移動可能に配置された可動ベース２１と、各可動ベース２１のうち隣り合う２つに設けられ液晶パネル１４の縁部に当接してこの液晶パネル１４を位置決めするストッパピン２２と、このストッパピン２２に対向する位置に液晶パネル１４を挟んで設けられストッパピン２２と相まって液晶パネル１４を挟み持つパネルクランプ２３と、前記ストッパピン２２及びパネルクランプ２３をそれぞれ支持した状態で各可動ベース２１に位置決めして取り付けられる位置決め機構２４と、ノイズ光を遮る遮光カバー２５とを備えて構成されている。

固定ベース２０は全体を矩形状に形成されている。固定ベース２０の中央には、バックライトからの光を取り込む矩形の開口２８が設けられている。この開口２８は固定ベース２０の厚さ方向に貫通して設けられ、検査可能な液晶パネル１４のうち最大寸法の液晶パネル１４が合わせた大きさに設定されている。

各可動ベース２１はその全体形状を、長い板状に形成されている。可動ベース２１の全長は、開口２８の対応する縁部の長さ以上に設定されている。４つの可動ベース２１が組み合わされて可変開口３０が形成されている。即ち、１つの可動ベース２１の長手方向の一端面が、相手側の可動ベース２１の側面に当接することで、四角形の可変開口３０を形成している。さらに、各可動ベース２１は、その長手方向の一端面と、相手側の側面との間で、相手側の側面に沿ってスライド可能に支持されている。これにより、図７のような小さな液晶パネル１４に対応した小さな可変開口３０から、前記開口２８とほぼ同じ大きな可変開口３０まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。

各可動ベース２１には、図５、６に示すように、互いに組み合わされることによって、液晶パネル１４を固定ベース２０と平行に受けるパネル受け３２が形成されている。可動ベース２１は、肉厚平板状に形成され、その平板の内側端に立て板状にパネル受け３２が形成されている。これにより、可動ベース２１とパネル受け３２は、その断面形状がＬ字型に形成されている。４つの可動ベース２１が互いに組み合わされることによって、４つのパネル受け３２が、液晶パネル１４を支持する可変開口３０を形成する。

各可動ベース２１は、各結合装置３４により固定ベース２０に結合されている。結合装置３４は、可動ベース２１を、固定ベース２０と平行の面内で二次元的に移動可能に支持している。

この結合装置３４は、各可動ベース２１の長手方向と直交する方向（第１の方向）に伸びるように固定ベース２０の上面に取り付けられた第１のレール３６と、この第１のレール３６に移動可能に結合された第１のガイド３７と、この第１のガイド３７の上側に一体的に取り付けられた連結部材３８と、可動ベース２１の長手方向（第２の方向）に沿って可動ベース２１の下面に一体的に取り付けられた第２のレール３９と、この第２のレール３９に移動可能に結合されると共に前記連結部材３８に一体的に取り付けられた２つの第２のガイド４０と、固定ベース２０の上面に取り付けられた状態で前記連結部材３８に連結されてこの連結部材３８及びその上側の構造物を第１のレール３６に沿って第１の方向に移動させる駆動部４１とを備えて構成されている。

駆動部４１は、第１のレール３６に沿って回転可能に配設されたボールネジ４３と、このボールネジ４３を回転駆動する駆動モータ４４と、ボールネジ４３にねじ込まれた状態で連結部材３８に固定されてボールネジ４３の回転によって第１のレール３６に沿って連結部材３８を移動させるナット４５とから構成されている。

さらに、可動ベース２１の下側面には、前記第２のレール３９と並行に第３のレール４６が一体的に取り付けられている。この第３のレール４６には第３のガイド４７が移動可能に結合されている。そして、この第３のガイド４７は、可動ベース２１の一端部に一体的に取り付けられている。これにより、各可動ベース２１は、その長手方向の一端面と、直交する相手側の可動ベース２１の側面との間で、相手側の側面に沿って移動可能に支持されている。そして、４つの可動ベース２１全てが、この構造で互いに結合されている。この結果、４つの可動ベース２１で形成される可変開口３０は、小さな液晶パネル１４に対応した小さな可変開口３０から、大きな液晶パネル１４に対応した大きな可変開口３０まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。具体的には、４つの駆動部４１を同時に作動させて、４つの可動ベース２１を同時に移動させることで、可変開口３０の大きさを任意に調整できるようになっている。

位置決め機構２４は、前記ストッパピン２２及びパネルクランプ２３をそれぞれ支持した状態で各可動ベース２１に位置決めして取り付けるための機構である。ストッパピン２２を支持する位置決め機構２４も、パネルクランプ２３を支持する位置決め機構２４も同様の構成を有するため、ここでは、パネルクランプ２３を支持する位置決め機構２４を図８〜１０に基づいて説明する。

位置決め機構２４は、基板５１と、位置規制プレート５２と、位置決めプレート５３とから構成されている。

基板５１は、前記パネルクランプ２３を支持するための板材である。基板５１は、四角形平板状に形成されている。パネルクランプ２３は、基板５１の一辺に沿って取り付けられている。基板５１には、長穴５５と、円穴５６とが設けられている。

長穴５５は、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向に沿って長く形成されている。さらに長穴５５は、液晶パネル１４の縁部に並行な方向に沿って２つ並べて設けられている。各長穴５５は、基板５１を位置規制プレート５２に固定するネジ５７を通すための穴である。長穴５５は、この長穴５５に通されたネジ５７が長穴５５内で移動できることによって、後述する位置規制プレート５２のネジ穴６０にねじ込まれたネジ５７に対して、基板５１を前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向に多少移動できるようになっている。

円穴５６は、基板５１を位置決めプレート５３に固定するネジ５８を通して液晶パネル１４の縁部に並行な方向の位置決めをするための穴である。円穴５６は、ネジ５８の大きさに合わせて形成され、ネジ５８との間でがたつきがないように、その内径が設定されている。

位置規制プレート５２は、前記液晶パネル１４の縁部に当接するパネルクランプ２３を支持した前記基板５１を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持するためのプレートである。位置規制プレート５２は具体的には、細長い板材で構成され、可動ベース２１のパネル受け３２に沿って固定されている。細長い板状の位置規制プレート５２には、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向に沿って、その全長に亘って一列にネジ穴６０が多数設けられている。各ネジ穴６０は、長穴５５の長さとほぼ同じ間隔に設定されている。これにより、あるネジ穴６０にネジ５７がねじ込まれた状態で基板５１が長穴５５に沿って移動できる範囲と、隣のネジ穴６０にネジ５７がねじ込まれた状態で基板５１が長穴５５に沿って移動できる範囲とが互いに重なり合って、位置規制プレート５２の全長の全ての位置で基板５１を固定できるようになっている。

位置決めプレート５３は、位置規制プレート５２に並行に配設されて位置規制プレート５２に支持された前記基板５１を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するためのプレートである。位置決めプレート５３は細長い板材で構成されている。位置決めプレート５３には、基板５１の円穴５６に通されたネジ５８がねじ込まれるネジ穴が、基板５１の設置位置に合わせて１又は複数設けられる。ここでは、液晶パネル１４の短辺側に合わせて１つのネジ穴が位置決めプレート５３に設けられている。

位置決めプレート５３の両端部には、嵌合部としてのピン穴６３が設けられている。可動ベース２１側には、ピン穴６３に対応する位置に、２つの嵌合ピン６４が設けられている。これらピン穴６３及び嵌合ピン６４は、位置決めプレート５３のネジ穴が設置位置に整合するように、位置決めされている。これにより、基板５１上のパネルクランプ２３が正確な位置に位置決めされるようになっている。

位置決めプレート５３としては、設定の異なる複数種類のプレートが用意される。具体的には、液晶パネル１４の寸法により設定されたパネルクランプ２３の設置数に応じた個数のネジ穴４２が設けられた複数種類のプレートが用意される。これらの位置決めプレート５３は、ピン穴６３及び嵌合ピン６４によって容易に入れ替えられる。位置決めプレート５３の長さは、各可動ベース２１に応じて異ならせてもよく、全て同じにしても良い。

なお、ストッパピン２２を支持する位置決め機構２４も前記同様に構成されている。

遮光カバー２５は、固定ベース２０の開口２８よりも可動ベース２１の可変開口３０が小さくなったときこの可動ベース２１の外周側（４つのパネル受け３２で形成される可変開口３０の外周側）にできる隙間から漏れる前記バックライトの光を遮る遮光部材、即ちノイズ光を遮る遮光部材である。この遮光カバー２５は、図１、４、８〜１０に示すように、長方形の平板状部材で構成されている。遮光カバー２５は、各可動ベース２１のパネル受け３２と同じ長さで、かつ隙間６１（図７参照）の最大時と同じ又はそれより大きい幅に設定されている。遮光カバー２５は、各可動ベース２１のうちパネル受け３２と反対側に、カバー取付け部材６２を介して、外周側へ延出させて取り付けられている。

遮光カバー２５のバックライト１５側面には、バックライト１５の光を吸収し、又は散乱させる表面処理が施されている。この表面処理としては、具体的には、遮光カバー２５のバックライト１５側面を黒く塗ったり、ビロードを貼ったり、すりガラスのように表面に細かい凹凸を設けたりする。これにより、ノイズ光を吸収したり、散乱させたりして、画像撮影用のカメラにノイズ光が入射しないようにしている。

以上のように構成されたパネル支持機構１３では、次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は、従来の検査装置と同様であるため、ここではパネル支持機構１３の作用を中心に説明する。

まず、液晶パネル１４の寸法に合わせてパネル支持機構１３の可動ベース２１を調整する。具体的には、駆動部４１の駆動モータ４４でボールネジ４３を回転させて、ナット４５を移動させる。ナット４５の移動は、第１のレール３６および第１のガイド３７により規制される。第１のガイド３７、第２のレール３９および第２のガイド４０は連結部材３８で固定され、ナット４５と一体となって移動する。第２のレール３９と第３のレール４６は可動ベース２１に固定されている。

これにより、連結部材３８に固定された第２のガイド４０が第２のレール３９を介して可動ベース２１を移動させる。また、この可動ベース２１と直交する可動ベース２１の第３のガイド４７は、第３のレール４６に嵌合しており、直交する可動ベース２１はナット４５の移動に従って移動する。一方、直交する可動ベース２１は、ナット４５の移動方向に直交する方向へは自由に移動しうる。

この動作が、４つの駆動部４１で同時に起きて、各可動ベース２１が、互いに接する一方の可動ベース２１との関係で駆動側となり、他方の可動ベース２１との関係で従動側となって、４つの可動ベース２１を互いにずらす。これにより、図７のように、各可動ベース２１のパネル受け３２で液晶パネル１４をその下側から支持し、ストッパピン２２とパネルクランプ２３とで液晶パネル１４を位置決めして支持する。

寸法の異なる液晶パネル１４の場合は、可動ベース２１をずらして調整し直す。この場合は、駆動部４１の駆動モータ４４でボールネジ４３を回転させて、ナット４５、連結部材３８、第２のガイド４０、第２のレール３９を介して可動ベース２１を移動させる。この動作が、４つの駆動部４１で同時に起きて、４つの可動ベース２１を互いにずらし、例えば図４のように、小さな寸法の液晶パネル１４に合わせる。

このとき、ストッパピン２２とパネルクランプ２３とは、液晶パネル１４に合わなくなるため、位置決め機構２４で調整し直す。この場合は、まず、ネジ５７とネジ５８とを弛めて、基板５１を外す。次いで、位置決めプレート５３を液晶パネル１４に対応したものに入れ替える。

次いで、ネジ５７を長穴５５に通して位置規制プレート５２のネジ穴６０にねじ込んで、基板５１の大まかな位置決めをする。次いで、基板５１を長穴５５の範囲でずらして、円穴５６とネジ穴４２とを整合させて、ネジ５８を円穴５６に通し、ネジ穴４２にねじ込む。次いで、ネジ５７とネジ５８を締めつけて、基板５１を固定する。

この動作を、ストッパピン２２とパネルクランプ２３の全てに対して行い、ストッパピン２２とパネルクランプ２３を液晶パネル１４に対して最適な位置に合わせる。

一方、可動ベース２１を小さい寸法の液晶パネル１４に合わせて移動させて可変開口３０を小さくすると、この可動ベース２１の外周側と固定ベース２０の開口との間に隙間６１（図７参照）ができるが、この隙間６１は前記遮光カバー２５で覆われる。これにより、この隙間６１から前記バックライト１５の光が漏れるのを防止する。

以上のように、可動ベース２１の外周側と固定ベース２０の開口２８との間にできる隙間６１は、前記遮光カバー２５で覆われて、この隙間６１から前記バックライト１５の光が漏れるのを防止することができるため、ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図ることができる。

位置決め機構２４を、ストッパピン２２又はパネルクランプ２３を支持する基板５１と、前記液晶パネル１４の縁部に当接するストッパピン２２又はパネルクランプ２３を支持した前記基板５１を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持する位置規制プレート５２と、この位置規制プレート５２に並行に配設されて位置規制プレート５２に支持された前記基板５１を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する位置決めプレート５３とを備えて構成し、位置規制プレート５２で、前記ストッパピン２２又はパネルクランプ２３を支持した前記基板５１を、液晶パネル１４の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持し、位置決めプレート５３で、前記基板５１を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するため、パネル支持機構１３上の液晶パネル１４を正確に支持できるようになる。そして、液晶パネル１４が正確に支持されて、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。

また、前記基板５１が、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向に長く形成された、当該基板５１を前記位置規制プレート５２に固定するネジを通す長穴５５と、前記基板５１を前記位置決めプレート５３に固定するネジを通して前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向の位置決めをする円穴５６とを備え、前記位置規制プレート５２が、前記基板５１の長穴５５に通されたネジ５７がねじ込まれるネジ穴６０を、前記液晶パネル１４の縁部に並行な方向に複数備え、前記位置決めプレート５３が、前記基板５１の円穴５６に通されたネジ５８がねじ込まれるネジ穴４２を、前記基板５１の設置位置に合わせて１又は複数備え、前記位置規制プレート５２のネジ穴６０にネジ５７をねじ込み、前記位置決めプレート５３のネジ穴４２にネジ５８をねじ込むだけで、パネル支持機構１３上の液晶パネル１４を正確にかつ容易に支持できるようになる。そして、液晶パネル１４が正確に支持されて、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。

また、寸法の違い液晶パネル１４に対しては、位置決めプレート５３を交換するだけで、ストッパピン２２とパネルクランプ２３とを、正確にかつ容易に位置決めすることができるようになる。そして、正確にかつ容易に位置決めされたストッパピン２２とパネルクランプ２３とで、液晶パネル１４が正確に支持され、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。

前記位置決めプレート５３にピン穴６３が設けられると共に、前記可動ベース２１に前記ピン穴６３が嵌合する嵌合ピン６４が設けられ、前記ネジ穴４２の配設位置を変えた複数の位置決めプレート５３を、液晶パネル１４の寸法に応じて適宜付け替えるようにしたので、パネル支持機構１３上の液晶パネル１４を、その寸法が変わっても正確にかつ容易に支持できるようになる。そして、液晶パネル１４が正確に支持され、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。

［変形例］
前記実施形態では、遮光部材として、前記可動ベース２１の外周側の隙間６１を覆う遮光カバー２５（板材）を用いたが、板材に限らず、フィルム等の他の部材でもよい。また、硬い板材で無くても、隙間６１を覆って遮光できる部材であればよく、硬さは問わない。

前記実施形態では、検査対象板として液晶パネル１４を例に説明したが、他のガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルでもよいことはいうまでもない。

本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係るパネル支持機構を示す平面図である。 従来のパネル支持機構を示す概略平面図である。 従来のパネル支持機構を示す概略平面図である。 図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。 本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す一部破断斜視図である。 本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す一部破断平面図である。 本発明に係るパネル支持機構をその遮光カバーを外した状態で示す平面図である。 本発明に係るパネル支持機構の可動ベースを示す正面図である。 本発明に係るパネル支持機構の可動ベースを示す平面図である。 図９のＢ−Ｂ線矢視断面図である。

符号の説明

１１：ベース板、１２：支柱、１３：パネル支持機構、１４液晶パネル、１５：バックライト、１６：筐体、１７：蛍光管、２０：固定ベース、２１：可動ベース、２２：ストッパピン、２３：パネルクランプ、２４：位置決め機構、２５：遮光カバー、２８：開口、３０：可変開口、３２：パネル受け、３４：結合装置、３６：第１のレール、３７：第１のガイド、３８：連結部材、３９：第２のレール、４０：第２のガイド、４１：駆動部、４３：ボールネジ、４４：駆動モータ、４５：ナット、４６：第３のレール、４７：第３のガイド、５１：基板、５２：位置規制プレート、５３：位置決めプレート、５５：長穴、５６：円穴、５７：ネジ、５８：ネジ、６１：隙間。

Claims (3)

1. 検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置であって、
   開口を備えて装置本体側に取り付けられる固定ベースと、
   当該固定ベースの背面側に設けられて前記開口から前記検査対象板の背面を照らすバックライトと、
   前記固定ベース上に４つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置されてその内周側に可変開口を形成する可動ベースと、
   当該各可動ベースの外周側に設けられ、前記固定ベースの開口よりも前記可動ベースの可変開口が小さくなったとき当該可動ベースの外周側にできる隙間から漏れる前記バックライトの光を遮る遮光部材と
   を備えて構成されたことを特徴とする検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置において、
   前記遮光部材が、前記可動ベースの外周側の前記隙間を覆う板材又はフィルムで構成されたことを特徴とする検査装置。
3. 請求項２に記載の検査装置において、
   前記遮光部材を構成する板材又はフィルムの前記バックライト側面を、当該バックライトの光を吸収し、又は散乱させる表面処理を施したことを特徴とする検査装置。

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