KR101011850B1

KR101011850B1 - Large size substrate holder

Info

Publication number: KR101011850B1
Application number: KR1020040017622A
Authority: KR
Inventors: 조가사키수야
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-18
Filing date: 2004-03-16
Publication date: 2011-01-31
Also published as: JP4276867B2; CN1532532A; TWI332931B; CN1532532B; JP2004281907A; KR20040082305A; TW200418703A

Abstract

기판 홀더 본체(2)의 개구부(3)내에 설치된 복수의 창살(4)의 사이에, 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수하는 복수의 고무(9)를 압입한 진동 흡수 부재(8)를 부착하였다.

기판 홀더, 외적 요인, 내적 요인, 진동 흡수, 고무

Between the plurality of grate 4 provided in the opening part 3 of the board | substrate holder main body 2, the vibration absorbing member 8 which intruded the some rubber | gum 9 which absorbs the vibration of an external factor and an internal factor is attached. It was.

Board Holder, External Factor, Internal Factor, Vibration Absorption, Rubber

Description

대형 기판 홀더{Large size substrate holder}Large size substrate holder

도 1은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태를 도시한 구성도이고,1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a large substrate holder according to the present invention;

도 2a는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 보호 유지대에 대한 기판 흡인 부재 및 지지 핀의 부착 구성도이고,Fig. 2A is a configuration diagram of the attachment of the substrate suction member and the support pin to the protection holder according to the first embodiment of the large substrate holder according to the present invention.

도 2b는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 보호 유지대에 대한 기판 흡인 부재 및 지지 핀의 부착 구성도이고,Fig. 2B is a configuration diagram of the attachment of the substrate suction member and the support pin to the protection holder according to the first embodiment of the large substrate holder according to the present invention.

도 3은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 진동 흡수 부재의 분해 구성도이고,3 is an exploded configuration diagram of a vibration absorbing member in a first embodiment of a large substrate holder according to the present invention;

도 4는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살 간의 고무의 압입상태를 도시한 도면이고,4 is a diagram showing a press-fit state of rubber between the grate in the first embodiment of the large-sized substrate holder according to the present invention.

도 5a는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 고무의 상하 커버를 도시한 도면이고,It is a figure which shows the upper and lower cover of rubber | gum in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 5b는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시의 형태에 있어서의 고무의 상하 커버를 도시한 도면이고,It is a figure which shows the upper and lower cover of rubber | gum in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 6은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 기판 홀더 본체의 중앙부에 진동 흡수 부재를 부착한 변형예를 도시한 구성도이고, It is a block diagram which shows the modification which attached the vibration absorption member to the center part of the board | substrate holder main body in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 7은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 진동 흡수 부재를 이산적으로 부착한 변형예를 도시한 구성도이고,FIG. 7: is a block diagram which shows the modification which discretely attached the vibration absorbing member in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 8은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살의 사이에 압입하는 고무를 끼워 넣는 변형예를 도시한 구성도이고,It is a block diagram which shows the modification which inserts the rubber to press in between each grate in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 9는 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 1의 실시 형태에 있어서의 각 창살의 사이에 압입하는 고무를 끼워 넣는 변형예를 도시한 구성도이고,It is a block diagram which shows the modification which clamps the rubber | gum which press-fits in between each grate in 1st Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention,

도 10은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 2의 실시 형태를 도시한 정면 구성도이고,10 is a front configuration diagram showing a second embodiment of a large-sized substrate holder according to the present invention;

도 11은 본 발명과 관련된 대형 기판 홀더의 제 2의 실시 형태를 도시한 상면 구성도이다.It is a top structure figure which shows 2nd Embodiment of the large substrate holder which concerns on this invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 유리 기판 2, 31 : 기판 홀더 본체1: glass substrate 2, 31: substrate holder body

4 : 창살 5 : 기판 흡인 부재4: grate 5: substrate suction member

7 : 흡인 튜브 8, 8-1~8-6 : 진동흡수부재7: suction tube 8, 8-1 to 8-6: vibration absorbing member

9 : 고무 30 : 검사장치 본체9: rubber 30: inspection apparatus body

32 : 베이스 33 : 링 형상의 창살32: base 33: ring-shaped grate

34 : 직선 형상의 창살 37 : 회전기구34: straight grate 37: rotating mechanism

38 : 구동부 39 : 리프트 핀기구38 drive unit 39 lift pin mechanism

40, 41 : 핀 지지바 42~45 : 리프트 핀40, 41: pin support bar 42 ~ 45: lift pin

46, 47 : 가이드 레일 48 : 문주 아암 46, 47: guide rail 48: door arm

49 : 현미경 50 : 투과 조명 장치49: microscope 50: transmission lighting apparatus

본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL 디스플레이 등의 평판 디스플레이(FPD)의 유리기판을 보호 유지하는 대형 기판 홀더에 관한 것이다.The present invention relates to a large substrate holder for protecting and holding a glass substrate of a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic EL display, or the like.

예를 들면, 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판은 근년에 액정 디스플레이의 기술의 진보에 의하여 그 사이즈가 대형화하고 있고, 예를 들면 1m×1m이상이 되어 있다.For example, the glass substrate used for a liquid crystal display has enlarged in size in recent years by the advance of the technology of a liquid crystal display, For example, it becomes 1 m x 1 m or more.

이와 같은 유리 기판은 액정 디스플레이의 제조 공정에 있어서 기판 홀더상에 재치되어 결함 검사된다. 결함 검사에 이용되는 기판 홀더는 예를 들면 일본국 특개평9189641호 공보에 기재되어 있다. 일본국 특개평9-189641호 공보는 기판 홀더 틀 내에 복수의 창살을 마련한 구성으로 되어 있다. 결함 검사는 유리 기판을 조명하여 검사원의 목시에 의하여 결함 부분을 검사하는 마크로검사와, 이 마크로 검사에 의하여 검출된 결함 부분을 현미경을 이용하여 확대하여 검사하는 미크로 검사가 행하여진다.Such a glass substrate is mounted on a substrate holder in a manufacturing process of a liquid crystal display, and defect inspection is carried out. The substrate holder used for defect inspection is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-181841. Japanese Patent Laid-Open No. 9-189641 has a configuration in which a plurality of grates are provided in a substrate holder frame. The defect inspection is performed by a macro inspection which illuminates a glass substrate and inspects a defect part by the visual inspection of an inspector, and the micro inspection which enlarges and examines the defect part detected by this macro inspection using a microscope.

그렇지만, 유리 기판은 기판 홀더상에 재치되어 있지만, 예를 들면 사람이 움직이는 등의 외적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더에 전달되어, 유리 기판이 진동하여 버린다. 또한, 유리 기판이 진동하는 것은 사람의 움직임뿐만이 아 니라, 예를 들면 크린 룸에 흐르는 다운 플로어의 풍압을 받아 진동하거나, 유리 기판을 반송하는 로더·언로더의 동작 시에 발생하는 진동의 영향, 그레이팅 마루 등으로부터의 진동을 받아 진동하여 버린다. 더욱이, 기판 홀더 자체가 이동하는 등의 내적 요인에 의하여 진동이 발생하고, 유리 기판을 진동시켜 버린다.However, although the glass substrate is mounted on the substrate holder, for example, vibration generated by an external factor such as a person moving is transmitted to the substrate holder, and the glass substrate vibrates. In addition, the vibration of the glass substrate is not only a human movement, but is affected by the vibration generated during the operation of the loader / unloader that is vibrated by the wind pressure of the down floor flowing in the clean room or conveys the glass substrate, It vibrates by receiving vibrations from the grating floor or the like. Moreover, vibration occurs due to internal factors such as the movement of the substrate holder itself, and the glass substrate is vibrated.

기판 홀더는 사이즈가 예를 들면 1m×1m 이상의 대형 유리 기판을 보호 유지하기 위해서 대형화하고, 홀더 틀 내에 설치된 각 창살의 길이도 길어진다. 이 때문에, 이들 창살은 미세한 진동으로 공진하여 그 진동이 커지고, 유리 기판을 진동시켜 버린다. 이 진동에서는 저주파수의 진동이나 고주파의 진동이 포함된다. 더욱이 유리 기판은 판두께가 얇게 형성되어 있기 때문에, 기판 홀더의 진동을 받기 쉽다.The substrate holder is enlarged in size in order to protect the large glass substrate having a size of, for example, 1 m × 1 m or more, and the length of each grate provided in the holder frame also becomes long. For this reason, these gratings resonate with fine vibration, and the vibration becomes large, and the glass substrate vibrates. This vibration includes low frequency vibration and high frequency vibration. Furthermore, since the glass substrate is thinly formed, the glass substrate is susceptible to vibration of the substrate holder.

이와 같이 유리 기판이 진동하면, 유리 기판의 검사 시, 예를 들면 미크로 검사 시에 현미경을 통하여 관찰되는 결함 부분의 확대 화상이 진동하여 버리고, 확대 화상의 보이는 방법이 악화한다. 특히, 현미경의 배율이 높아짐에 따라 미소한 진동이나 미세한 다운 플로우의 풍압에서도 현미경을 통하여 관찰되는 확대 화상이 예를 들면 미소하게 진동하여 버린다. 이 때문에, 확대 화상의 보이는 방법이 악화되고, 유리 기판을 검사하기에는 불량한 화상이 된다. 이 결과, 결함 부분의 미크로 검사나 유리 기판상의 선폭 측정을 충분한 정밀도로 행하는 것이 불가능하다.When the glass substrate vibrates in this manner, the magnified image of the defective portion observed through the microscope at the time of inspection of the glass substrate, for example, microscopic inspection, vibrates, and the method of viewing the magnified image deteriorates. In particular, as the magnification of the microscope increases, the magnified image observed through the microscope also vibrates minutely, for example, even when there is a slight vibration or a wind pressure of a minute downflow. For this reason, the visible method of an enlarged image deteriorates and it becomes an image bad for inspecting a glass substrate. As a result, it is impossible to perform the micro inspection of a defective part and the measurement of the line width on a glass substrate with sufficient precision.

이러한 유리 기판의 진동 방지 방법으로서는 예를 들면 기판 홀더상에 있어 서 유리 기판을 전면 흡착하는 방법이나, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이 기판 홀더를 구성하는 복수의 창살을 금속 부재에 의하여 구성하는 방법 등이 있다.As the vibration prevention method of such a glass substrate, for example, the method of carrying out the front adsorption of a glass substrate on a substrate holder, and the some grate which comprises a board | substrate holder as described in patent document 1 are comprised by a metal member. Method and the like.

그렇지만, 유리 기판을 전면 흡착하는 방법에서는 유리 기판의 이면측이 기판 홀더에 의하여 막히는 것에 의하여, 유리 기판의 이면측으로부터 투과 조명광을 조사할 수 없게 된다. 이 때문에, 투과 조명을 이용하여 유리 기판의 결함 검사가 불가능하게 된다.However, in the method of totally adsorbing the glass substrate, the back surface side of the glass substrate is blocked by the substrate holder, so that the transmitted illumination light cannot be irradiated from the back surface side of the glass substrate. For this reason, defect inspection of a glass substrate becomes impossible using transmission illumination.

또한, 특허 문헌 1에 나타낸 창살을 금속 부재에 의하여 구성하는 방법에서는 금속 부재가 강체이기 때문에 진동하기 쉬워진다.
In addition, in the method of forming the grate described in Patent Document 1 by the metal member, the metal member is rigid, and thus vibrates easily.

본 발명의 주요한 관점에 의하면, 틀 형상의 스테이지와, 이 스테이지 틀 내에 설치되어 대형 기판을 수평으로 재치하는 복수의 창살을 가지는 대형 기판 홀더에 있어서, 각 창살의 사이에 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수하는 진동 흡수 수단을 마련한 대형 기판 홀더가 제공된다.According to a main aspect of the present invention, in a large substrate holder having a frame-shaped stage and a plurality of grates provided in the stage frame to horizontally mount a large substrate, vibrations of external factors and internal factors between each grate. There is provided a large substrate holder provided with vibration absorbing means for absorbing light.

이하, 본 발명의 제 1의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 1st Embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 대형 기판 홀더의 구성도이다. 이 대형 기판 홀더는 예를 들면 평판 디스플레이의 대형 유리 기판(1)의 표면을 검사하는 표면 검사 장치에 적용된다. 기판 홀더 본체(2)는 틀 형상으로 형성되어 있다. 이 기판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내에는 복수의 창살(4)이 X 방향으로 가설되어 있다. 이들 창살(4)은 기 판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내의 서로 대향하는 2변 사이에 소정의 간격으로 나란히 설치되어 있다. 이들 창살(4)은 서로의 판면이 서로 마주보고 배치된 띠 형상의 2장의 보호 유지판(4a, 4b)으로 구성되어 있다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에는 투과 조명광이 통과하기 위한 공간부(4c)가 형성되어 있다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에는 예를 들면 투명한 방지재를 끼워도 좋다.1 is a configuration diagram of a large substrate holder. This large substrate holder is applied to the surface inspection apparatus which inspects the surface of the large glass substrate 1 of a flat panel display, for example. The substrate holder main body 2 is formed in frame shape. In the opening part 3 of this board | substrate holder main body 2, the some grate 4 is constructed in the X direction. These grate 4 is provided side by side at predetermined intervals between two opposite sides in the opening 3 of the substrate holder main body 2. These grate 4 is comprised by the strip | belt-shaped two sheets of protection holding boards 4a and 4b which mutually faced each other, and is arrange | positioned. Between these protective holding plates 4a and 4b, a space portion 4c for transmitting the transmitted illumination light is formed. For example, a transparent prevention material may be sandwiched between these protective holding plates 4a and 4b.

기판 홀더 본체(2)의 개구부 내에 있어서의 소정 위치, 예를 들면 중앙 부분에 대응하는 각 창살(4)에는 복수의 기판 흡인 부재(5)가 설치되어 있다. 또한, 각 창살(4)에는 유리 기판(1)을 수평으로 보호 유지하기 위하여 복수의 지지 핀(6)이 설치되어 있다.A plurality of substrate suction members 5 are provided at each grate 4 corresponding to a predetermined position in the opening of the substrate holder main body 2, for example, the center portion. In addition, in each grate 4, in order to protect and hold | maintain the glass substrate 1 horizontally, the some support pin 6 is provided.

도 2a 및 도 2b는 창살(4)에 대한 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)의 부착을 도시한 구성도로서, 도 2a는 위쪽에서 본 구성도이고, 도 2b는 측면도이다. 이들 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)은 2장의 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 소정 간격으로 끼워져 있다. 기판 흡인 부재(5)는 각각 기판 홀더 본체(2)상에 재치되는 유리 기판(1)을 흡인 보호 유지한다. 지지 핀(6)은 상기 유리 기판(1)을 수평으로 지지한다. 이들 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)은 도 1에 도시한 바와 같이 기판 홀더 본체(2)의 주연(周緣) 재치부(2a)와 동일 높이로 설치된다.2A and 2B are diagrams showing the attachment of the substrate suction member 5 and the support pin 6 to the grate 4, FIG. 2A is a view from above, and FIG. 2B is a side view. These board | substrate suction members 5 and the support pin 6 are sandwiched at predetermined intervals between two protective holding plates 4a and 4b. The substrate suction member 5 suction-holds and holds the glass substrate 1 mounted on the substrate holder main body 2, respectively. The support pin 6 supports the glass substrate 1 horizontally. These board | substrate suction members 5 and the support pin 6 are provided in the same height as the peripheral mounting part 2a of the board | substrate holder main body 2, as shown in FIG.

각 기판 흡인 부재(5)에는 흡인 튜브(7)가 접속되어 있다. 이 흡인 튜브(7)는 2장의 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 배치되어 있다. 이 흡인 튜브(7)는 예를 들면 광투과성의 재료에 의하여 형성되어 있다. 그리고, 각 창살(4) 마다 배치 설치된 각 흡인 튜브(7)는 예를 들면 1개로 줄어들고, 도 1에 도시하는 바와 같이 기 판 홀더 본체(2) 외부에 설치된 흡인 펌프(P)에 접속된다.A suction tube 7 is connected to each substrate suction member 5. This suction tube 7 is arrange | positioned between two protection holding plates 4a and 4b. This suction tube 7 is formed of a light transmissive material, for example. And each suction tube 7 arrange | positioned at each grate 4 is reduced to one, for example, and is connected to the suction pump P provided in the outside of the board holder main body 2 as shown in FIG.

또한, 도 2a 및 도 2b는 기판 흡인 부재(5) 및 지지 핀(6)이 부착된 창살(4)을 나타내지만, 기판 흡인 부재(5)를 설치하지 않은 경우에는 복수의 지지 핀(6)이 각 보호 유지판(4a, 4b)의 사이에 소정 간격마다 끼워진다.2A and 2B show the grate 4 to which the substrate suction member 5 and the support pin 6 are attached, the plurality of support pins 6 when the substrate suction member 5 is not provided. The protective holding plates 4a and 4b are sandwiched at predetermined intervals.

기판 홀더 본체(2)의 개구부(3) 내에는 복수의 창살(4)의 배치 방향(X 방향)에 대해서 수직 방향(Y방향)으로 복수의 진동 흡수 부재(8)가 부착되어 있다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 개구부(3) 내에 복수열, 예를 들면 도 1에서는 중앙부와 그 양측과의 합계 3열이 소정 간격을 두고 배열된다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생하는 기판 홀더 자체의 저주파수의 진동이나 고주파의 진동을 흡수, 감쇠한다.In the opening part 3 of the board | substrate holder main body 2, the some vibration absorption member 8 is attached in the perpendicular | vertical direction (Y direction) with respect to the arrangement direction (X direction) of the some grate 4. These vibration absorbing members 8 are arranged in a plurality of rows in the opening 3, for example, a total of three rows of the center portion and both sides thereof at predetermined intervals in FIG. These vibration absorbing members 8 absorb and attenuate low frequency vibrations or high frequency vibrations of the substrate holder itself caused by external and internal factors.

도 3은 진동 흡수 부재(8)를 일부 확대한 분해 구성도이다. 각 창살(4)의 사이에는 각각 진동 흡수 수단으로서 예를 들면 탄성체인 고무(9)가 압입된다. 이 고무(9)는 예를 들면 고분자의 고무에 의하여 직육면체로 형성되어 있다. 고분자의 고무(9)는 가하여진 진동을 흡수하는 성질을 가진다. 예를 들면, 고분자의 고무(9)에 물체가 충돌하면, 고분자의 고무(9)는 물체로부터 받는 충격을 흡수하고, 또한 충돌시의 충격을 물체에게 부여하지 않는 성질을 가진다. 또한, 고분자의 고무(9)는 먼지와 티끌을 내지 않는다.3 is an exploded configuration diagram in which the vibration absorbing member 8 is partially enlarged. Between each grate 4, the rubber | gum 9 which is an elastic body is pressed in as a vibration absorbing means, respectively. The rubber 9 is formed into a rectangular parallelepiped by, for example, polymer rubber. The polymer rubber 9 has a property of absorbing the applied vibration. For example, when an object collides with the rubber 9 of the polymer, the rubber 9 of the polymer has a property of absorbing an impact received from the object and not imparting an impact at the time of collision. In addition, the polymer rubber 9 does not emit dust and dirt.

이 고무(9)의 길이는 각 창살(4)의 간격보다 약간 길게 형성되어 있다. 또한, 고무(9)의 길이, 높이 및 폭은 각각 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생하는 기판 홀더 자체의 진동의 크기 등에 따라 조정하여도 좋다. The length of this rubber 9 is formed slightly longer than the space | interval of each grate 4. In addition, the length, height, and width of the rubber 9 may be adjusted according to the magnitude of vibration of the substrate holder itself caused by external factors and internal factors, respectively.

이러한 고무(9)는 예를 들면 도 4에 있어서 압입 상태를 강조하여 나타내는 바와 같이, 길이 방향의 양단이 각각 각 창살(4)에의 누르는 힘에 의하여 인접하는 일측 창살의 보호 유지판(4b)과 타측 창살(4)의 보호 유지판(4a) 사이에 끼워진다.Such rubber | gum 9 has the protection holding plate 4b of one side grate adjacent to each grate 4 by the pressing force to each grate 4, respectively, for example, highlighting the press-fit state in FIG. It is sandwiched between the protective holding plate 4a of the other side grate 4.

이들 각 창살(4)의 사이에 끼워지는 고무(9)는 상하의 각 커버(10, 11)에 의하여 덮여 있다. 상측 커버(10)는 오목(凹)형상으로 형성되어 있다. 이 상측 커버(10)는 각 창살(4)이 들어가는 곳에 노치(notch)부(12)가 설치되어 있다. 하측 커버(11)는 오목(凹)형상으로 형성되어 있다. 이 하측 커버(11)의 길이는 각 창살(4)의 간격 즉 보호 유지판(4b와 4a)의 간격보다 약간 짧게 형성되어 있다. 이들 상하 커버(10, 11)는 도 5a에 도시하는 바와 같이 고무(9)를 상하 방향으로 덮고, 예를 들면 나사(13)에 의하여 고정되어 있다. 또한, 고무(9)는 도 5a에 도시하는 바와 같이 상하 커버(10, 11)에 접촉하지 않도록 지지하여도 좋다. 또한, 고무(9)는 도 5b에 도시하는 바와 같이 고무(9)를 상측 커버(11)에 끼워 보호 유지하여도 좋다. 더욱이 고무(9)는 상하 커버(10, 11)의 양쪽 모두에 접촉시켜 덮어도 좋다.The rubber 9 sandwiched between these grate 4 is covered with the upper and lower covers 10 and 11. The upper cover 10 is formed in a concave shape. The upper cover 10 is provided with a notch portion 12 where each grate 4 enters. The lower cover 11 is formed in a concave shape. The length of this lower cover 11 is formed slightly shorter than the space | interval of each grate 4, ie, the space | interval of protective holding plates 4b and 4a. These top and bottom covers 10 and 11 cover the rubber 9 in the up and down direction as shown in FIG. 5A and are fixed by, for example, a screw 13. In addition, the rubber 9 may be supported so as not to contact the upper and lower covers 10 and 11 as shown in FIG. 5A. In addition, the rubber 9 may be protected by holding the rubber 9 in the upper cover 11 as shown in FIG. 5B. Furthermore, the rubber 9 may be covered by contacting both the upper and lower covers 10 and 11.

또한, 각 창살(4)의 각 보호 유지판(4a, 4b)은 판두께에 대하여 충분히 긴 폭치수를 가지고, 강성이 높은 금속으로 이루어진다. 이들 보호 유지판(4a, 4b)은 진동을 억제하는 목적으로 그 판면에 방진재를 코팅하거나, 또는 입계(粒界) 부식 스텐레스 등의 제진(制振) 금속으로 제작하여도 좋다. 방진재로서는, 예를 들면 고분자의 고무 또는 수지, 진동 흡수 도료, 겔상 물질을 이용한다. 진동 흡수 도료로서는, 예를 들면 우레탄, 아크릴, 실리콘계 수지 도료를 이용한다. 겔상 물질로 서 는, 예를 들면 올가노 겔, 폴리머계 겔, 실리콘계 겔, 불소 이온 교환 수지 등을 이용한다.In addition, each protection holding plate 4a, 4b of each grate 4 has a width dimension sufficiently long with respect to plate | board thickness, and consists of metal with high rigidity. These protective holding plates 4a and 4b may be coated with a dustproof material on the plate surface for the purpose of suppressing vibration, or may be made of a damping metal such as grain boundary corrosion stainless steel. As the dustproof material, for example, a polymer rubber or resin, a vibration absorbing paint, or a gelled material is used. As the vibration absorption paint, for example, urethane, acrylic, silicone resin paint is used. As a gel-like substance, an organo gel, a polymer gel, a silicone gel, a fluorine ion exchange resin, etc. are used, for example.

더욱이, 각 창살(4)이 공진하지 않도록 각 보호 유지판(4a, 4b)의 판두께를 바꾸거나, 방진재의 두께나 양을 바꾸는 등을 하여 각 창살(4) 자체의 공진주파수를 다르게 하여, 각 창살(4)끼리 사이의 공진을 없게 하는 것이 바람직하다.Further, by changing the plate thicknesses of the protective retaining plates 4a and 4b so as not to resonate each window 4 or by changing the thickness or amount of the dustproof material, the resonant frequency of each window 4 itself is varied. It is preferable that there is no resonance between each grate 4.

또한, 기판 홀더 본체(2)의 주연 재치부(2a)에는, 유리 기판(1)을 흡착 보호 유지하기 위한 복수의 흡인 부재(14, 흡착 패드)가 설치되어 있다. 이들 흡인 부재(14)는 흡인 튜브(7)에 접속되고, 흡인 펌프(P)의 흡인 동작을 받아 흡인 작용을 행한다. 또한, 기판 홀더 본체(2)에는 복수의 기준 핀(15) 및 복수의 누름 핀(16)이 설치되어 있다.In addition, a plurality of suction members 14 (adsorption pads) for adsorbing and holding the glass substrate 1 are provided in the peripheral mounting portion 2a of the substrate holder main body 2. These suction members 14 are connected to a suction tube 7, and receive suction operations of the suction pump P to perform suction operations. In addition, the substrate holder main body 2 is provided with a plurality of reference pins 15 and a plurality of push pins 16.

다음에, 상기와 같이 구성된 홀더의 동작에 대하여 설명한다.Next, the operation of the holder configured as described above will be described.

기판 홀더 본체(2)상에는 예를 들면 액정 디스플레이에 이용되는 1m×1m이상의 사이즈의 대형 유리 기판(1)이 재치된다. 이 유리 기판(1)은 복수의 누름 핀(16)에 의하여 복수의 기준 핀(15)에 눌려 부착되고, 기준 위치에 세팅된다. 이 후, 유리 기판(1)은 흡인 펌프(P)의 동작에 의하여 각 기판 흡인 부재(5) 및 각 흡인 부재(14)에 의하여 흡착 보호 유지된다.On the substrate holder main body 2, the large glass substrate 1 of the size of 1m * 1m or more used for a liquid crystal display, for example is mounted. The glass substrate 1 is attached to the plurality of reference pins 15 by the plurality of push pins 16 and is set at the reference position. Thereafter, the glass substrate 1 is adsorbed and held by the substrate suction members 5 and the suction members 14 by the operation of the suction pump P. FIG.

이 상태에서, 유리 기판(1)의 표면에 조명이 행하여지고, 검사원의 목시에 의하여 마크로 검사가 행하여진다. 다음에, 마크로 검사에 의하여 검출된 결함 부분이 현미경에 의하여 확대되고, 이 확대상을 관찰하는 것에 의하여 미크로 검사가 행하여진다. 또한, 현미경에 의하여 유리 기판(1) 표면의 확대상을 촬상하고, 이 화상 데이터를 화상 처리하여 유리 기판(1) 표면상의 선폭 측정이 행하여진다.In this state, illumination is performed on the surface of the glass substrate 1, and a macro inspection is performed by the visual inspection of an inspector. Next, the defective part detected by macro inspection is magnified by a microscope, and micro inspection is performed by observing this enlarged image. Moreover, the microscope image captures the enlarged image of the surface of the glass substrate 1, image-processes this image data, and measures the line width on the glass substrate 1 surface.

이와 같은 유리 기판(1)에 대한 검사, 측정 중에, 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더 본체(2)에 전달되면, 각 창살(4)의 사이에 압입된 복수의 고무(9)에 의하여 진동이 흡수, 감쇠된다. 이 때, 기판 홀더 본체(2)는 유리 기판(1)의 사이즈의 대형화에 의하여 홀더 틀 내에 설치되는 각 창살(4)의 길이가 길어지기 때문에, 외적 요인 또는 내적 요인에 의하여 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에서 진동의 크기가 가장 커진다.During the inspection and measurement of such a glass substrate 1, when the vibration generated by the external factor and the internal factor is transmitted to the substrate holder main body 2, the plurality of rubbers 9 press-fitted between each grate 4. Vibration is absorbed and attenuated by this. At this time, since the length of each grate 4 installed in the holder frame is increased by the enlargement of the size of the glass substrate 1, the substrate holder main body 2 is caused by an external factor or an internal factor. The magnitude of the vibration is greatest at the center part in the circle.

본 실시 형태에서는 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에 대응하는 위치에 진동 흡수 부재(8)로서 복수의 고무(9)가 압입되고 있으므로, 기판 홀더 본체(2)내의 중앙부에 발생하는 진동이 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다. 더욱이 각 창살(4)의 사이를 진동 흡수 부재(8)로서 복수의 고무(9)로 연결하므로, 진동이 세로 방향(X 방향), 가로 방향(Y 방향) 및 높이 방향(Z 방향)에 발생하여도, 이들 방향의 진동은 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다.In this embodiment, since the some rubber | gum 9 is pressed in as the vibration absorbing member 8 in the position corresponding to the center part in the substrate holder main body 2, the vibration which generate | occur | produces in the center part in the substrate holder main body 2 is each rubber | gum. It is absorbed and attenuated by (9). Furthermore, since each grate 4 is connected with a plurality of rubbers 9 as the vibration absorbing member 8, vibrations occur in the longitudinal direction (X direction), the horizontal direction (Y direction) and the height direction (Z direction). Even if the vibrations in these directions are absorbed and attenuated by the rubbers 9.

이 결과, 유리 기판의 미크로 검사 시, 현미경을 통하여 관찰되는 유리 기판(1) 표면상의 결함 부분의 확대 화상은 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있다. 특히, 현미경의 배율이 높아져도 확대 화상은 진동하여 관찰되지 않는다. 또한, 유리 기판(1)상의 선폭 측정도 충분한 정밀도로 할 수 있다.As a result, at the time of the micro inspection of a glass substrate, the magnified image of the defect part on the glass substrate 1 surface observed through a microscope can be observed favorably, without vibrating. In particular, even if the magnification of the microscope increases, the magnified image is not vibrated and observed. In addition, the line width measurement on the glass substrate 1 can also be made with sufficient precision.

이와 같이 상기 본체(1)의 실시 형태에 있어서는, 기판 홀더 본체(2)내의 복수의 창살(4) 사이에 진동 흡수 부재(8)로서 고무(9)를 압입하였기 때문에, 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 가로 방향 및 세로 방향의 진동을 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠할 수 있고, 기판 홀더 본체(2)상에 재치된 대형 유리 기판(1)의 진동을 최소한으로 억제할 수 있다.Thus, in embodiment of the said main body 1, since the rubber | gum 9 was press-inserted as the vibration absorbing member 8 between the some grate 4 in the board | substrate holder main body 2, the external factor and the internal factor were made to press. The vibration in the horizontal and vertical directions generated by the rubber 9 can be absorbed and attenuated by the rubber 9, and the vibration of the large-size glass substrate 1 placed on the substrate holder main body 2 can be suppressed to a minimum.

또한, 복수의 창살(4) 사이를 진동 흡수 부재(8)로 연결하는 것으로, 각 창살(4)에 전달하는 공진 주파수를 감쇠시키고, 각 창살(4) 사이의 공진을 없게 할 수 있다.In addition, by connecting the plurality of grate 4 with the vibration absorbing member 8, the resonance frequency transmitted to each grate 4 can be attenuated and the resonance between each grate 4 can be eliminated.

또한, 기판 홀더 본체(2)의 중앙부에 대응하는 위치에 진동 흡수 부재(8)와 기판 흡인 부재(5)를 설치하는 것으로, 진동이 가장 커지는 기판 홀더 본체(2)의 중앙 부분의 진동을 흡수, 감쇠시킬 수 있다. 이것에 의하여, 유리 기판(1)의 미크로 검사 시에 현미경을 통하여 고배율로 관찰하여도, 그 확대 화상이 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있고, 유리 기판(1)상의 선폭 측정에 있어서도 양호한 관찰 화상을 얻을 수 있다.Further, by providing the vibration absorbing member 8 and the substrate sucking member 5 at a position corresponding to the central portion of the substrate holder main body 2, the vibration of the central portion of the substrate holder main body 2 with the greatest vibration is absorbed. Can be attenuated. Thereby, even if it observes with a high magnification through a microscope at the time of the micro inspection of the glass substrate 1, the magnified image can be observed satisfactorily without vibrating and a favorable observation image also in the measurement of the line width on the glass substrate 1 Can be obtained.

또한, 각 창살(4)의 사이에 각 고무(9)를 압입할 뿐의 구성이므로, 기존의 기판 홀더에 간단하게 부착하여, 진동의 영향을 없게 할 수 있다.Moreover, since it is the structure which only presses in each rubber | gum 9 between each grate 4, it can attach easily to an existing board | substrate holder, and can avoid the influence of a vibration.

또한, 각 고무(9), 상측 및 하측 커버(10, 11)에 의하여 덮여 있으므로, 각 창살(4)의 사이에서 고무(9)가 벗겨져도, 기판 홀더 본체(2)로부터 낙하하지 않는다.Moreover, since it is covered by each rubber | gum 9, upper side, and lower cover 10, 11, even if rubber | gum 9 peels off between each grate 4, it does not fall from the board | substrate holder main body 2. As shown in FIG.

또한, 상기 제 1의 실시 형태는 다음과 같이 변형하여도 좋다.The first embodiment may be modified as follows.

상기 제 1의 실시 형태에서는 복수의 창살(4)의 배치 방향에 대하여 수직 방향으로 복수의 진동 흡수 부재(8)를 부착하였지만, 예를 들면 도 6에 도시하는 바와 같이 기판 홀더 본체(2)의 개구부(3)내의 중앙부에 일직선 형상으로 진동 흡수 부재(8)를 부착하여도 좋다. 즉, 기판 홀더 본체(2)상의 유리 기판(1)은 중앙부에서 진동의 크기가 가장 커진다. 이 때문에, 유리 기판(1)의 중앙부에 있어서의 진동을 흡수, 감쇠시키면, 유리 기판(1)의 진동을 극히 작게 할 수 있다. 따라서, 기판 홀더 본체(2)의 각 창살(4)의 중앙부를 진동 흡수 부재(8)로 연결하는 것만으로도, 유리 기판(1)의 진동을 흡수, 감쇠하는데 효과적이다.In the first embodiment, a plurality of vibration absorbing members 8 are attached in a direction perpendicular to the arrangement direction of the plurality of grate 4, but, for example, as shown in FIG. The vibration absorbing member 8 may be attached in a straight line to the center portion of the opening 3. That is, the magnitude | size of vibration is largest in the center part of the glass substrate 1 on the substrate holder main body 2. As shown in FIG. For this reason, when the vibration in the center part of the glass substrate 1 is absorbed and attenuated, the vibration of the glass substrate 1 can be made extremely small. Therefore, it is effective to absorb and attenuate the vibration of the glass substrate 1 only by connecting the center part of each grate 4 of the substrate holder main body 2 with the vibration absorbing member 8.

또한, 진동 흡수 부재(8)는 도 7에 도시하는 바와 같이 각 창살(4)의 사이에 예를 들면 물떼새 형상으로 이산적으로 부착하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)의 부착 위치는 임의로 결정하여도 좋고, 굳이 말하자면, 진동이 커지는 기판 홀더 본체(2) 개구부(3)의 중앙부에 부착하는 것이 바람직하다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 기판 홀더 본체(2)상에 흡착 보호 유지된 유리 기판(1)의 진동을 분석하여, 유리 기판(1)의 진동의 중심이나 진동이 크게 발생하는 부분에 부착할 수도 있다.In addition, the vibration absorbing member 8 may be discretely attached, for example, in the shape of a houndstooth, between each grate 4, as shown in FIG. In addition, the attachment position of the vibration absorbing member 8 may be arbitrarily determined, and it is preferable to attach to the center part of the opening part 3 of the board | substrate holder main body 2 by which vibration increases. In addition, the vibration absorbing member 8 analyzes the vibration of the glass substrate 1 adsorbed and held on the substrate holder main body 2, and attaches it to the center of the vibration of the glass substrate 1 or the portion where the vibration is large. You may.

각 창살(4)의 사이에 압입되는 진동 흡수 부재(8)로서의 고무(9)는 예를 들면 도 8에 도시하는 바와 같이 창살(4)의 대향 위치에 각각 각 핀(20, 21)을 마련하고, 이들 핀(20, 21)의 사이에 고무(9)를 끼워 넣어도 좋다. 각 창살(4)에 설치된 각 핀(20, 21)을 설치하는 각 부분에는 끼워 넣기용의 오목(凹)부(22)를 형성한다. 이 오목부(22)에 원주 형상으로 형성된 고무(9)의 단부를 끼워 넣도록 하여도 좋다. 고무(9)는 예를 들면 원주 형상으로 형성되고, 또한 양단부에 각각 각 핀(20, 21)이 삽입되는 각 구멍(23a, 23b)이 형성된다.The rubber 9 as the vibration absorbing member 8 press-fitted between the grate 4 is provided with pins 20 and 21 respectively at opposite positions of the grate 4, for example, as shown in FIG. The rubber 9 may be sandwiched between these pins 20 and 21. Recesses 22 for insertion are formed in the respective portions for installing the pins 20 and 21 provided in the grate 4. The end of the rubber 9 formed in the circumferential shape may be inserted in the recess 22. The rubber 9 is formed in a circumferential shape, for example, and holes 23a and 23b in which the pins 20 and 21 are inserted are formed at both ends, respectively.

따라서, 고무(9), 각 핀(20, 21)이 각 구멍(23a, 23b)에 삽입되고, 또한 양 단부가 각 보호 유지판(4a, 4b)의 각 끼워 넣기용의 오목부(22)에 끼워진다. 이 경우, 고무(9)가 각 창살(4) 사이에 협지되어 낙하할 가능성이 없으면, 각 핀(20, 21)을 제거하여 오목부(22)에 직접 고무(9)를 끼워 넣어도 좋다.Accordingly, the rubber 9 and the pins 20 and 21 are inserted into the holes 23a and 23b, and both ends thereof have recesses 22 for sandwiching the protective holding plates 4a and 4b. Is fitted on. In this case, if the rubber 9 is sandwiched between the grate 4 and there is no possibility of falling, the pins 20 and 21 may be removed to insert the rubber 9 directly into the recess 22.

각 창살(4)의 사이에 압입하는 고무(9)는 예를 들면 도 9에 도시하는 바와 같이 창살(4)의 대향 위치에 각각 테이퍼 형상의 오목부(24, 25)를 형성하고, 이들 오목부(24, 25)내에 판 형상 또는 기둥 형상의 선단을 테이퍼 형상으로 형성한 고무(9)를 압입하여도 좋다. 이 경우, 고무(9)는 판 형상으로 형성되고, 양단부가 삼각의 코너부에 형성되어 있다. 각 오목부(24, 25)는 각각 고무(9)의 코너부에 끼워지는 삼각구멍으로 형성되어 있다.The rubber 9 press-fitted between the grate 4 forms tapered recesses 24 and 25 at opposite positions of the grate 4, for example, as shown in FIG. In the parts 24 and 25, you may press-fit the rubber | gum 9 which formed the tip of a plate shape or column shape to taper shape. In this case, the rubber 9 is formed in a plate shape, and both ends are formed in a corner portion of a triangle. Each recessed part 24, 25 is formed with the triangular hole fitted in the corner part of the rubber | gum 9, respectively.

고무(9)의 형상은 원주 형상이나 판 형상으로 한정하지 않고, 예를 들면 각(角) 형상으로 형성하여도 좋다.The shape of the rubber 9 is not limited to a columnar shape or a plate shape, but may be formed in, for example, a square shape.

도 3, 도 8 및 도 9에 도시한 각 고무(9), 그 표면을 예를 들면 폴리에틸렌 등에 의하여 코팅하여도 좋다. 코팅하는 것에 의하여 고무(9)의 내구성을 향상할 수 있음과 동시에, 정전기의 발생을 방지할 수 있다. 더욱이 창살(4)과의 사이에 서 맞닿아 발생하는 먼지, 입자가 낙하하지 않는다. 또한, 고무(9)는 테프론에 의하여 형성된 통 내에 넣어도, 정전기의 발생을 방지할 수 있다.Each rubber 9 and its surface shown in FIG. 3, FIG. 8, and FIG. 9 may be coated by polyethylene etc., for example. By coating, the durability of the rubber 9 can be improved and the generation of static electricity can be prevented. Furthermore, the dust and particles which come into contact with the grate 4 do not fall. In addition, the rubber 9 can be prevented from generating static electricity even if the rubber 9 is placed in a barrel formed of Teflon.

진동 흡수 부재(8)는 각 창살(4)의 사이에 한하지 않고, 진동이 전달되는 부분, 예를 들면 도 1에 도시한 기판 홀더 본체(2)와 기판 홀더 본체(2)의 틀 내의 진동 흡수 부재(8)와의 각 조인트 부분(26)에 설치하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 창살(4)을 구성하는 각 보호 유지판(4a와 4b)의 사이의 공간부(4c)내에 삽입시켜도 좋다. 더욱이, 진동 흡수 부재(8)는 각 조인트 부분(26) 및 각 보호 유지판(4a와 4b)의 사이의 공간부(4c)의 양쪽 모두에 설치하여도 좋다. 이들 진동 흡수 부재(8)는 예를 들면 수지, 진동 흡수 도료 또는 겔상 물질을 이용하여도 좋다. 이들 방진재의 삽입에 의하여 외적 요인 및 내적 요인에 의하여 발생한 진동을 흡수하고, 방진 효과를 향상할 수 있다.The vibration absorbing member 8 is not limited to each grate 4, but is a vibration portion within the frame of the portion where the vibration is transmitted, for example, the substrate holder main body 2 and the substrate holder main body 2 shown in FIG. You may provide in each joint part 26 with the absorbing member 8. In addition, the vibration absorbing member 8 may be inserted into the space portion 4c between the protective holding plates 4a and 4b constituting the grate 4. Furthermore, the vibration absorbing member 8 may be provided in both of the joint portions 26 and the space portions 4c between the protective holding plates 4a and 4b. These vibration absorbing members 8 may use, for example, a resin, a vibration absorbing paint or a gel material. By inserting these dustproof materials, vibration generated by external factors and internal factors can be absorbed, and the dustproof effect can be improved.

다음에, 본 발명의 제2의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 10 및 도 11은 기판 검사 장치에 적용하는 홀더의 구성도로서, 도 10은 정면도, 도 11은 상면도이다.10 and 11 are structural views of a holder to be applied to a substrate inspection apparatus, FIG. 10 is a front view, and FIG. 11 is a top view.

검사 장치 본체(30)내에는 베이스(32)상에 기판 홀더 본체(31)가 설치되어 있다. 기판 홀더 본체(31)에는 도 11에 도시하는 바와 같이 동심원 형상으로 배치된 복수의 링 형상의 창살(33)이 동심원 형상으로 설치되어 있다. 이들 링 형상의 창살(33)은 반경 방향으로 또한 소정 각도마다, 예를 들면 60도마다 설치된 복수의 직선 형상의 창살(34)에 의하여 연결되어 있다. 이들 링 형상의 창살(33)과 직선 형상의 창살(34)의 각 사이에는 각각 투과 조명용의 개구부(36)가 형성되어 있다. 단, 외측으로부터 첫 번째와 두 번째의 각 링 형상의 창살(33)과의 사이에는 후술하는 리프트 핀(44, 45)이 120도의 범위에서 이동할 수 있도록 120도마다에 직선 형상의 지지 창살(34)이 배치되어 있다. 이것에 의하여, 기판 홀더 본체(31)의 외주부 측에 가이드용 개구부(35-3~35-4)가 형성된다. 또한, 기판 홀더 본체(31)의 외측에는 후술하는 리프트 핀(44, 45)이 이동하는 가이드용 개구부(35-1, 35-2)가 형성되어 있다. In the inspection apparatus main body 30, the substrate holder main body 31 is provided on the base 32. As shown in FIG. 11, a plurality of ring-shaped grate 33 arranged in a concentric shape is provided in the substrate holder main body 31 in a concentric shape. These ring-shaped grate 33 are connected by a plurality of linear grate 34 provided in the radial direction and at every predetermined angle, for example, every 60 degrees. An opening 36 for transmitting illumination is formed between each of the ring-shaped grate 33 and the linear grate 34. However, between the first and second ring-shaped gratings 33 from the outside, the support pins having a linear shape every 120 degrees are allowed so that the lift pins 44 and 45, which will be described later, can move in the range of 120 degrees. ) Is arranged. Thereby, the opening part 35-3-35-4 for guides is formed in the outer peripheral part side of the board | substrate holder main body 31. As shown in FIG. Moreover, the opening part 35-1, 35-2 for the guide which the lift pin 44, 45 mentioned later moves to is formed in the outer side of the board | substrate holder main body 31. As shown in FIG.

복수의 링 형상의 창살(33)의 각 사이는 반경 방향으로 도 3에 도시한 것과 마찬가지로 구성한 복수의 진동 흡수 부재(8-1~8-6)가 장착되어 있다. 이것에 의하여, 각 링 형상의 창살(33)의 각 사이에는 진동 흡수 부재로서 고무(9)가 압입되어 있다. 각 링 형상의 창살(33)은 고무(9)로 연결된다.Between each of the some ring-shaped grate 33, the some vibration absorption member 8-1-8-8 comprised similarly to FIG. 3 in the radial direction is attached. Thereby, the rubber 9 is press-fitted as a vibration absorbing member between each ring-shaped grate 33. As shown in FIG. Each ring-shaped grate 33 is connected with a rubber 9.

또한, 이들 진동 흡수 부재(8-1~8-6)는 반경 방향으로 일렬로 부착하는 것에 한하지 않고, 예를 들면 진동이 커지는 일부의 링 형상의 창살(33) 사이에만 부착하여도 좋다. 또한, 진동 흡수 부재(8)는 각 링 형상의 창살(33)의 각 사이마다 1개씩 임의의 위치에 이산적으로 부착하여도 좋다.The vibration absorbing members 8-1 to 8-6 are not limited to being attached in a row in the radial direction, but may be attached only between some ring-shaped grate 33, for example, in which vibration increases. In addition, the vibration absorbing member 8 may be discretely attached to any position one by one between each ring-shaped grate 33.

또한, 링 형상의 창살(33)의 형상은 상기 제 1의 실시 형태와 같이 2장의 보호 유지판(4a, 4b)에 한정되는 것이 아니고, 단면이 가늘고 긴 직사각형을 한 판재나, 단면이 사각형(矩) 형상의 각재, 단면이 사각형 형상의 중공부를 가지는 각재, 혹은 단면이 コ 형상을 한 각재이라도 좋다.In addition, the shape of the ring-shaped grate 33 is not limited to the two protective holding plates 4a and 4b as in the first embodiment, and is a plate material having a long rectangular cross section and a rectangular cross section ( Iii) A shape of a square material, a square material having a rectangular hollow section at a cross section, or a square material having a square shape at a cross section.

기판 홀더 본체(31)의 하부에는, 도 10에 도시하는 바와 같이 회전 기구(37)가 설치되어 있다. 이 회전 기구(37)는 유리 기판(1)을 각 개구부(35-1~35-4)를 통하여 기판 홀더 본체(31)의 위쪽으로 들어 올리고, 이 들어 올린 상태에서 예를 들면 약 90도 회전시켜서, 구동부(38) 및 리프트 핀 기구(39)로 이루어진다. 구동부(38)는 리프트 핀 기구(39)의 상하 이동과 회전을 실시한다.The rotation mechanism 37 is provided in the lower part of the board | substrate holder main body 31 as shown in FIG. The rotating mechanism 37 lifts the glass substrate 1 upward of the substrate holder main body 31 through each of the openings 35-1 to 35-4, and rotates, for example, about 90 degrees in the raised state. It consists of the drive part 38 and the lift pin mechanism 39. The drive part 38 performs the vertical movement and rotation of the lift pin mechanism 39.

리프트 핀 기구(39)는 도 11에 도시하는 바와 같이 각 리프트 핀 지지 바(40, 41)와, 이들 리프트 핀 지지 바(40, 41)의 각 양측 선단부에 입설하고 있는 각 리프트 핀(42~45)으로 이루어진다. As shown in FIG. 11, the lift pin mechanism 39 is each lift pin support bar 40 and 41 and each lift pin 42 which is set in the both front-end | tip parts of these lift pin support bars 40 and 41, respectively. 45).

따라서, 리프트 핀 기구(39)가 상승한 상태로 회전하면, 각 리프트 핀(42, 43)은 각 가이드용 개구부(35-1, 35-2)내를 따라 원호 형상으로 이동하고, 각 리프트 핀(44, 45)도 각 가이드용 개구부(35-4, 34-3)를 따라 원호 형상으로 이동한다.Therefore, when the lift pin mechanism 39 is rotated in the raised state, each lift pin 42, 43 moves in an arc shape along each of the guide openings 35-1, 35-2, and each lift pin ( 44 and 45 also move in an arc shape along each guide opening 35-4 and 34-3.

또한, 기판 홀더 본체(31)의 양단측의 베이스(32)상에는 Y방향의 가이드 레일(46, 47)이 서로 평행하게 설치되어 있다. 이들 가이드 레일(46, 47)의 사이에는, 문주 아암(48)이 기판 홀더 본체(31)의 위쪽을 걸치는 것 같이 설치되어 있다. 문주 아암(48)은 가이드 레일(46, 47)에 대해서 Y방향으로 이동 가능하게 설치되고, 또한 이 문주 아암(48)에 대하여 현미경(49)이 X 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.In addition, on the base 32 at both ends of the substrate holder main body 31, guide rails 46 and 47 in the Y direction are provided in parallel with each other. Between these guide rails 46 and 47, the door arm 48 is provided as if it hangs above the board | substrate holder main body 31. As shown in FIG. The door arm 48 is provided to be movable in the Y direction with respect to the guide rails 46 and 47, and the microscope 49 is provided to be movable in the X direction with respect to the door arm 48. As shown in FIG.

기판 홀더 본체(31)의 위쪽에는 도시하지 않지만 마크로 조명 장치가 설치되어 있다. 기판 홀더 본체(31)의 하부에는 라인 투과 조명 장치(50)가 설치되어 있다.Although not shown, a macro illuminating device is provided above the substrate holder main body 31. The line transmissive lighting device 50 is provided in the lower part of the substrate holder main body 31.

다음에, 상기와 같이 구성된 홀더를 이용한 검사 동작에 대하여 설명한다.Next, the inspection operation using the holder configured as described above will be described.

수평 상태에 있는 기판 홀더 본체(31)상에는 대형 사이즈의 유리 기판(1)이 재치된다. 기판 홀더 본체(31)는 소정의 각도로 일어나거나 요동된다. 이 상태에서, 마크로 조명장치로부터 조명광이 유리 기판(1)의 표면상에 조사된다. 이것에 의하여, 예를 들면 유리 기판(1)면상의 흠집, 결여, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분이 검사된다.On the substrate holder main body 31 in a horizontal state, a large-sized glass substrate 1 is placed. The substrate holder main body 31 rises or swings at an angle. In this state, illumination light from the macro illuminator is irradiated on the surface of the glass substrate 1. Thereby, the defective part, such as a flaw, a lack, contamination, adhesion of dust, etc. on the surface of the glass substrate 1 is examined, for example.

한편, 미크로 검사를 실시하는 경우, 기판 홀더 본체(31)가 수평 상태로 설치된다. 문주 아암(48)이 각 가이드 레일(46, 47)에 대하여 Y 방향으로 이동된다. 이것과 함께, 현미경(49)이 문주 아암(48)에 대해서 X 방향으로 이동되는 것에 의하여, 현미경(49)에 의하여 결함부분의 미크로 검사가 행하여진다.On the other hand, when performing micro inspection, the board | substrate holder main body 31 is installed in a horizontal state. The door arm 48 is moved in the Y direction with respect to each guide rail 46 and 47. At the same time, the microscope 49 is moved in the X direction with respect to the door arm 48, so that the microscopic inspection of the defective portion is performed by the microscope 49.

이러한 검사 중에, 외적 요인 또는 내적 요인에 의하여 발생한 진동이 기판 홀더 본체(31)에 전달되면, 동심원 형상으로 배치된 복수의 링 형상의 창살(33)의 중앙부에서 진동이 가장 커진다.During this inspection, when vibration generated by an external factor or internal factor is transmitted to the substrate holder main body 31, the vibration is greatest in the center portion of the plurality of ring-shaped grate 33 arranged in a concentric shape.

본 실시의 형태에서는 동심원 형상으로 배치된 각 링 형상의 창살(33) 사이에 고무(9)를 압입했기 때문에, 각 링 형상의 창살(33)에 전달되는 진동을 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠시킬 수 있다. 더욱이, 진동은 세로 방향(X 방향), 가로 방향(Y 방향) 및 높이 방향(Z 방향)에 발생하여도, 이들 방향의 진동이 각 고무(9)에 의하여 흡수, 감쇠된다.In the present embodiment, since the rubber 9 is press-fitted between the ring-shaped grate 33 arranged concentrically, the vibration transmitted to each ring-shaped grate 33 is absorbed by the rubber 9. Can be attenuated. Moreover, even if vibrations occur in the longitudinal direction (X direction), the horizontal direction (Y direction) and the height direction (Z direction), the vibrations in these directions are absorbed and attenuated by the rubbers 9.

이 결과, 유리 기판의 미크로 검사 시, 현미경(49)을 통하여 관찰되는 유리 기판(1) 표면상의 결함 부분의 확대 화상은 진동하지 않고 양호하게 관찰할 수 있다. 특히, 현미경의 배율이 높아져도 확대 화상은 진동하여 관찰되지 않는다.As a result, at the time of the micro inspection of a glass substrate, the magnified image of the defect part on the surface of the glass substrate 1 observed through the microscope 49 can be observed favorably, without vibrating. In particular, even if the magnification of the microscope increases, the magnified image is not vibrated and observed.

본 발명은 예를 들면 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기 EL 디스플레이, 평판 디스플레이(FPD) 등의 유리 기판의 기판 검사 시에 있어서의 해당 유리 기판의 보호 유지에 이용하는 것이 가능하다.This invention can be used for the protection maintenance of the said glass substrate at the time of the board | substrate inspection of glass substrates, such as a plasma display panel (PDP), an organic electroluminescent display, a flat panel display (FPD), for example.

Claims

개구부를 가지며, 기판을 보호유지(保持)하기 위해 틀 형상으로 형성된 홀더 본체와;A holder main body having an opening and formed in a frame shape to protect and protect the substrate;

상기 홀더 본체의 상기 개구부 내에 복수로 나란히 설치(竝設)된 창살과;A grate installed side by side in the opening of the holder main body;

상기 각 창살의 사이 및, 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 상기 창살의 배열 방향과 교차하는 방향으로 설치되어, 외적 요인 및 내적 요인의 진동을 흡수 또는 감쇠 하는 진동 흡수 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더. Vibration absorbing means is provided between at least one of the grate and between the holder main body and the grate in a direction intersecting with the arrangement direction of the grate to absorb or attenuate vibrations of external and internal factors. A large substrate holder comprising:

제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 진동 흡수 수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이를 연결하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.And said vibration absorbing means is provided to connect between said grate or between said holder body and said grate.

제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 창살은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내에 동심원 형상으로 복수 개 나란히 설치되고 또한 상기 홀더 본체의 상기 개구부 중심으로 방사상으로 복수 개 설치되고, The grate is provided in parallel in a plurality of concentric circles in the opening of the holder body, and a plurality of the grate radially installed around the opening of the holder body,

상기 진동흡수수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.The vibration absorbing means is a large substrate holder, characterized in that provided in at least one of between the grate or between the holder body and the grate.

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제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 3,

상기 진동흡수수단은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙부에 상기 각 창살을 연결하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.The vibration absorbing means is a large substrate holder, characterized in that arranged to connect the respective grate in the central portion in the opening of the holder body.

상기 진동흡수수단은 상기 각 창살과의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살과의 사이 중 적어도 어느 한 쪽에 산재하여 배치된 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.The vibration absorbing means is a large substrate holder, characterized in that disposed between at least one of the grate or between the holder body and the grate.

상기 진동흡수수단은 상기 각 창살끼리의 간격 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살간의 간격보다도 긴 기둥형상의 탄성체로 형성되어, 상기 각 창살끼리의 사이 또는 상기 홀더 본체와 상기 창살간의 사이 중 적어도 어느 한 쪽의 사이에 압입된 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.The vibration absorbing means is formed of a columnar elastic body longer than the interval between the respective grate or the gap between the holder main body and the grate, and at least one of the grate between each grate or between the holder main body and the grate. A large substrate holder, which is pressed in between.

상기 창살에는 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판흡인수단이 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙 부분에 대응하는 위치에 설치되며,The grate is provided with a substrate suction means for adsorbing and holding the substrate at a position corresponding to a central portion in the opening of the holder body,

상기 진동흡수수단은 상기 홀더 본체의 상기 개구부 내의 중앙 부분에 대응하는 상기 창살의 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 대형 기판 홀더.The vibration absorbing means is a large substrate holder, characterized in that provided between the grate corresponding to the central portion in the opening of the holder body.

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