JPH10315057A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents
ワイヤ放電加工装置Info
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- JPH10315057A JPH10315057A JP9131263A JP13126397A JPH10315057A JP H10315057 A JPH10315057 A JP H10315057A JP 9131263 A JP9131263 A JP 9131263A JP 13126397 A JP13126397 A JP 13126397A JP H10315057 A JPH10315057 A JP H10315057A
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- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
- B23H1/10—Supply or regeneration of working media
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23H1/02—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
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- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
- B23H7/065—Electric circuits specially adapted therefor
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤ電極と被加工物の微小間隙に加工液を
満たし放電を発生させ加工を行う放電加工装置におい
て、放電加工機本体の温度分布のばらつきにより熱膨張
の差によって上下ワイヤガイドの相対位置の変化を生
じ、加工精度を低下させる要因となっていた。 【解決手段】 テーブル２に対して上下方向に移動可能
なガイドにてコラム４の前面に連結された中空のビーム
部材１６、加工液冷却装置１３によって温度調節された
加工液１５をビーム部材１６に供給する配管１７、配管
１７からビーム部材１６に供給される加工液１５を加工
槽１０に供給する配管１８、ワイヤ放電加工装置本体に
取り付けられた温度センサー１４の外周に取り付けられ
た断熱部材で構成されたカバー１９、ワイヤ放電加工装
置を囲うカバー２０、カバー２０に取り付けられた断熱
部材２１、カバー２０と断熱部材２１で構成されるカバ
ーの内側に取り付けられた送風機２２を備えたものであ
る。
満たし放電を発生させ加工を行う放電加工装置におい
て、放電加工機本体の温度分布のばらつきにより熱膨張
の差によって上下ワイヤガイドの相対位置の変化を生
じ、加工精度を低下させる要因となっていた。 【解決手段】 テーブル２に対して上下方向に移動可能
なガイドにてコラム４の前面に連結された中空のビーム
部材１６、加工液冷却装置１３によって温度調節された
加工液１５をビーム部材１６に供給する配管１７、配管
１７からビーム部材１６に供給される加工液１５を加工
槽１０に供給する配管１８、ワイヤ放電加工装置本体に
取り付けられた温度センサー１４の外周に取り付けられ
た断熱部材で構成されたカバー１９、ワイヤ放電加工装
置を囲うカバー２０、カバー２０に取り付けられた断熱
部材２１、カバー２０と断熱部材２１で構成されるカバ
ーの内側に取り付けられた送風機２２を備えたものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤ電極と被加
工物の微小間隙に加工液を満たし放電を発生させ被加工
物の加工を行う放電加工装置に関するものである。
工物の微小間隙に加工液を満たし放電を発生させ被加工
物の加工を行う放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１７は第１の従来例のワイヤ放電加工
装置を示す図である。図１７において１はワイヤ放電加
工装置における基台となるベッド、２はベッド１の上に
載置されたテーブル、３はテーブル２に対し左右方向に
移動可能にガイドにてベッド１上に連結されたサドル、
４はテーブル２に対し前後方向に移動可能にガイドにて
サドル３上に連結されたコラム、５はテーブル２に対し
上下方向に移動可能なガイドにてコラム４前面に連結さ
れたビーム部材、６はビーム部材５に固定された上部ワ
イヤガイド、７はコラム４に固定された下部アーム、８
は下部アーム７の先端に固定された下部ワイヤガイド、
９はテーブル２上に固定された被加工物、１０はベッド
１の上に載置された加工槽、１１は上下のワイヤガイド
６、７により支持されるワイヤ電極、１２は加工液供給
装置、１３は加工液冷却装置、１４は加工液冷却装置１
３の温度センサ、１５は加工液供給装置１２から供給さ
れる絶縁性の加工液で、この加工液１５は加工液供給装
置１２から加工液冷却装置１３を経由し、加工槽１０内
に供給される。加工により汚濁した加工液１５は加工液
供給装置１２に回収されフィルタ等を介してろ過され、
再度加工槽１０に供給される。加工液冷却装置１３は、
その温度センサ１４により検出した温度に対し一定のオ
フセット量を持つ温度に加工液１５の温度を制御する。
加工は図示しない電源によりワイヤ電極１１と被加工物
９との間にパルス電圧を印加し、加工液１５を介したワ
イヤ電極１１と被加工物９の微小間隙に放電を発生さ
せ、被加工物の加工が行われる。
装置を示す図である。図１７において１はワイヤ放電加
工装置における基台となるベッド、２はベッド１の上に
載置されたテーブル、３はテーブル２に対し左右方向に
移動可能にガイドにてベッド１上に連結されたサドル、
４はテーブル２に対し前後方向に移動可能にガイドにて
サドル３上に連結されたコラム、５はテーブル２に対し
上下方向に移動可能なガイドにてコラム４前面に連結さ
れたビーム部材、６はビーム部材５に固定された上部ワ
イヤガイド、７はコラム４に固定された下部アーム、８
は下部アーム７の先端に固定された下部ワイヤガイド、
９はテーブル２上に固定された被加工物、１０はベッド
１の上に載置された加工槽、１１は上下のワイヤガイド
６、７により支持されるワイヤ電極、１２は加工液供給
装置、１３は加工液冷却装置、１４は加工液冷却装置１
３の温度センサ、１５は加工液供給装置１２から供給さ
れる絶縁性の加工液で、この加工液１５は加工液供給装
置１２から加工液冷却装置１３を経由し、加工槽１０内
に供給される。加工により汚濁した加工液１５は加工液
供給装置１２に回収されフィルタ等を介してろ過され、
再度加工槽１０に供給される。加工液冷却装置１３は、
その温度センサ１４により検出した温度に対し一定のオ
フセット量を持つ温度に加工液１５の温度を制御する。
加工は図示しない電源によりワイヤ電極１１と被加工物
９との間にパルス電圧を印加し、加工液１５を介したワ
イヤ電極１１と被加工物９の微小間隙に放電を発生さ
せ、被加工物の加工が行われる。
【０００３】図１８は、例えば、特開昭６２−２６４８
３０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第２の従来
例を示す構成図である。この図１８に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の４６はベッド、４７はコラム、
４８は上部アーム、４９は下部アーム、５０はワイヤ電
極、５１は電極リール、５２は巻き取りリール、５３は
上部ガイド、５４は下部ガイド、５５はＵＶテーブルで
あって、図示省略した制御装置により駆動されて、上部
ガイド５３の位置を制御するものである。また、５６は
ＸＹテーブルであって、図示省略した制御装置により直
交する２方向に駆動されるものである。なお、５７は被
加工体、５８は被加工体支持具、５９は遮断カバー、６
０は蛇腹体、６１は導気口を表している。図１８におい
て、遮断カバー５９は少なくとも主要構造体に対して実
質上密閉された所定の空間を形成するものである。な
お、遮断カバー５９の一部分には、移動するＵＶテーブ
ル５５およびＸＹテーブル５６のために蛇腹体６０が設
けられると共に、複数箇所に導気口６１および図示省略
した排気口が設けられている。そして、遮断カバー５９
によって形成された空間内を定温、定湿に保持するた
め、上記導気口６１から気体が導入される。なお、当該
導気口６１から導入される気体の温度および湿度は、上
記空間内の温度および湿度に対応して調整される。
３０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第２の従来
例を示す構成図である。この図１８に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の４６はベッド、４７はコラム、
４８は上部アーム、４９は下部アーム、５０はワイヤ電
極、５１は電極リール、５２は巻き取りリール、５３は
上部ガイド、５４は下部ガイド、５５はＵＶテーブルで
あって、図示省略した制御装置により駆動されて、上部
ガイド５３の位置を制御するものである。また、５６は
ＸＹテーブルであって、図示省略した制御装置により直
交する２方向に駆動されるものである。なお、５７は被
加工体、５８は被加工体支持具、５９は遮断カバー、６
０は蛇腹体、６１は導気口を表している。図１８におい
て、遮断カバー５９は少なくとも主要構造体に対して実
質上密閉された所定の空間を形成するものである。な
お、遮断カバー５９の一部分には、移動するＵＶテーブ
ル５５およびＸＹテーブル５６のために蛇腹体６０が設
けられると共に、複数箇所に導気口６１および図示省略
した排気口が設けられている。そして、遮断カバー５９
によって形成された空間内を定温、定湿に保持するた
め、上記導気口６１から気体が導入される。なお、当該
導気口６１から導入される気体の温度および湿度は、上
記空間内の温度および湿度に対応して調整される。
【０００４】図１９は、例えば、特開昭６３−９９１２
８号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第３の従来例
を示す構成図である。この図１９に示す従来例の構成を
次に説明する。図中の６２は加工液６３を貯留するタン
ク、６４は加工液６３を冷却する冷却機で、冷却された
加工液６３は、ポンプ６５によって、パルス電源ユニッ
ト６６を経由した後、上部加工液噴出ノズル６７及び下
部加工液噴出ノズル６８を介して極間に供給する第１の
経路Ａに導かれる。また、ポンプ６５によって、上部ア
ーム６９および下部アーム７０を経由した後、被加工物
７１を設置する加工用ベッド７２を介して被加工物周辺
に供給する第２の経路Ｂに導かれるようになっている。
即ち、冷却効率を高めるために、冷却された加工液６３
の経路を２系統に分け、第１の経路Ａを電源ユニット６
６の冷却に使った後で温度の上がった加工液６３を極間
に供給し、第２の経路Ｂを機械系の冷却用に用いるとい
う方式を取っている。
８号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第３の従来例
を示す構成図である。この図１９に示す従来例の構成を
次に説明する。図中の６２は加工液６３を貯留するタン
ク、６４は加工液６３を冷却する冷却機で、冷却された
加工液６３は、ポンプ６５によって、パルス電源ユニッ
ト６６を経由した後、上部加工液噴出ノズル６７及び下
部加工液噴出ノズル６８を介して極間に供給する第１の
経路Ａに導かれる。また、ポンプ６５によって、上部ア
ーム６９および下部アーム７０を経由した後、被加工物
７１を設置する加工用ベッド７２を介して被加工物周辺
に供給する第２の経路Ｂに導かれるようになっている。
即ち、冷却効率を高めるために、冷却された加工液６３
の経路を２系統に分け、第１の経路Ａを電源ユニット６
６の冷却に使った後で温度の上がった加工液６３を極間
に供給し、第２の経路Ｂを機械系の冷却用に用いるとい
う方式を取っている。
【０００５】図２０は、例えば、特開昭６３−１７９０
２４号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第４の従来
例を示す構成図である。この図２０に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の７３は被加工物、７４は定盤、
７５は上部ワイヤガイド、７６は下部ワイヤガイド、７
７はワイヤ電極、７８は下部アーム、７９はコラム、８
０はパイプ、８１は電動ファン、８２はエアである。ワ
イヤ電極７７により被加工物７３の加工部に加工液を吹
きかけながら所望の形状に加工するワイヤ放電加工装置
において、ワイヤ電極７７を保持するワイヤガイド７６
の保持手段を中空構造とし、その中空内に冷却流体を送
り込む手段を設けている。
２４号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第４の従来
例を示す構成図である。この図２０に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の７３は被加工物、７４は定盤、
７５は上部ワイヤガイド、７６は下部ワイヤガイド、７
７はワイヤ電極、７８は下部アーム、７９はコラム、８
０はパイプ、８１は電動ファン、８２はエアである。ワ
イヤ電極７７により被加工物７３の加工部に加工液を吹
きかけながら所望の形状に加工するワイヤ放電加工装置
において、ワイヤ電極７７を保持するワイヤガイド７６
の保持手段を中空構造とし、その中空内に冷却流体を送
り込む手段を設けている。
【０００６】図２１は、例えば、特開昭６１−８６１３
０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第５の従来例
を示す構成図である。この図２１に示す従来例の構成を
次に説明する。図中において、８３は加工機本体、８４
はＮＣ制御装置および加工電源からなる制御装置、８５
は加工液供給装置、８６、８７はそれぞれ制御装置８４
と加工機本体８３、加工液供給装置８５を接続するケー
ブルである。８８は加工機本体８３から加工液供給装置
８５へ加工液を排出する排出パイプ、８９は加工液供給
装置８５から加工機本体８３へ加工液を供給する供給パ
イプである。９０は外気温度感知装置であり、加工液本
体８３が置かれている周囲の外気温を測定するものであ
る。９１は加工液温度感知装置であり、清液槽内の加工
液の液温を測定するものである。９２は予熱装置であ
り、清液槽内の加工液の液温を制御装置８４により設定
された値に予熱するものである。９３、９４、９５はそ
れぞれ外気温度感知装置９０、加工液温度感知装置９１
および予熱装置９２と制御装置８４を結ぶケーブルであ
る。
０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第５の従来例
を示す構成図である。この図２１に示す従来例の構成を
次に説明する。図中において、８３は加工機本体、８４
はＮＣ制御装置および加工電源からなる制御装置、８５
は加工液供給装置、８６、８７はそれぞれ制御装置８４
と加工機本体８３、加工液供給装置８５を接続するケー
ブルである。８８は加工機本体８３から加工液供給装置
８５へ加工液を排出する排出パイプ、８９は加工液供給
装置８５から加工機本体８３へ加工液を供給する供給パ
イプである。９０は外気温度感知装置であり、加工液本
体８３が置かれている周囲の外気温を測定するものであ
る。９１は加工液温度感知装置であり、清液槽内の加工
液の液温を測定するものである。９２は予熱装置であ
り、清液槽内の加工液の液温を制御装置８４により設定
された値に予熱するものである。９３、９４、９５はそ
れぞれ外気温度感知装置９０、加工液温度感知装置９１
および予熱装置９２と制御装置８４を結ぶケーブルであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように第１の従
来例のワイヤ放電加工装置では、コラムより張り出した
下部アームとビーム部材において、下部アームは加工液
中に設置され、ビーム部材は空気中に設置されているた
め、加工液と機械の温度の差や外気や温度変化に対する
時定数の違いによりビーム部材と下部アームに温度差が
生じる。このため、下部アームとビーム部材の熱膨張に
よる変位量に差が生じ、下部アーム、ビーム部材それぞ
れの先端に保持されている上下のワイヤガイドの相対位
置がずれ、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極
の真直精度を悪化させ、加工精度に悪影響を与える。
来例のワイヤ放電加工装置では、コラムより張り出した
下部アームとビーム部材において、下部アームは加工液
中に設置され、ビーム部材は空気中に設置されているた
め、加工液と機械の温度の差や外気や温度変化に対する
時定数の違いによりビーム部材と下部アームに温度差が
生じる。このため、下部アームとビーム部材の熱膨張に
よる変位量に差が生じ、下部アーム、ビーム部材それぞ
れの先端に保持されている上下のワイヤガイドの相対位
置がずれ、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極
の真直精度を悪化させ、加工精度に悪影響を与える。
【０００８】また、高精度な加工を行うためにワイヤ放
電加工装置を室温の制御可能な恒温室に設置しても、恒
温室への人の出入り等の熱的外乱による室温変化が生じ
る。例えば、図２２は室温の制御可能な恒温室のワイヤ
放電加工機周囲における室温変化を示したものである。
１日に１．５度程度の温度変化を生じている。これは従
来のワイヤ放電加工装置に用いられている熱膨張係数１
１．８×１０−６１／℃の部材１ｍが２０μｍ伸びるこ
とに相当する。このような室温の変化に対して、鋳物構
造物上に設置した温度センサーと恒温室の気体が直接触
れるため、検出した温度は室温変化の影響を受ける。こ
のため加工液温は室温に同調して変化する。鋳物構造体
は室温の変化に対し瞬時には温度追従しないので、加工
液に直接触れる箇所とそうでない箇所に温度差が生じ
る。これによって、上下のワイヤガイドに熱伸び差が生
じ、加工精度が劣化するという問題点がある。
電加工装置を室温の制御可能な恒温室に設置しても、恒
温室への人の出入り等の熱的外乱による室温変化が生じ
る。例えば、図２２は室温の制御可能な恒温室のワイヤ
放電加工機周囲における室温変化を示したものである。
１日に１．５度程度の温度変化を生じている。これは従
来のワイヤ放電加工装置に用いられている熱膨張係数１
１．８×１０−６１／℃の部材１ｍが２０μｍ伸びるこ
とに相当する。このような室温の変化に対して、鋳物構
造物上に設置した温度センサーと恒温室の気体が直接触
れるため、検出した温度は室温変化の影響を受ける。こ
のため加工液温は室温に同調して変化する。鋳物構造体
は室温の変化に対し瞬時には温度追従しないので、加工
液に直接触れる箇所とそうでない箇所に温度差が生じ
る。これによって、上下のワイヤガイドに熱伸び差が生
じ、加工精度が劣化するという問題点がある。
【０００９】第２の従来例におけるワイヤ放電加工装置
は、該ワイヤ放電加工装置を構成する主要構造体の周囲
を囲う遮蔽カバーの内側の空間に複数の導気口から気体
を導入し、遮蔽カバーの内側のワイヤ放電加工装置周囲
の気体を温度制御している。このため、熱容量の大きい
ワイヤ放電加工装置の主要構造体と遮蔽カバーの内側の
気体を定温状態に保つには、かなり容量の大きい高性能
な空調設備が必要となり、実用的なコストで製品を構成
することが難しいという問題点がある。また、空調設備
の容量が大きくなると、通常設置容積も大きくなること
から、第２の従来例のようなワイヤ放電加工装置の構成
は、恒温室のような限られた空間を占有する面積が大き
くなり、場合によっては設置不可能になったり、恒温室
を拡張しなければならないという問題点がある。また、
ワイヤ放電加工装置の空調設備の熱交換器からの発熱が
大きくなるため、例えば、第１の従来例におけるワイヤ
放電加工装置と第２の従来例におけるワイヤ放電加工装
置が近接して置かれた場合、第１の従来例におけるワイ
ヤ放電加工装置の熱変形を増大させる等、他の同一室内
に置かれたワイヤ放電加工装置の加工精度を悪化させる
という問題点がある。
は、該ワイヤ放電加工装置を構成する主要構造体の周囲
を囲う遮蔽カバーの内側の空間に複数の導気口から気体
を導入し、遮蔽カバーの内側のワイヤ放電加工装置周囲
の気体を温度制御している。このため、熱容量の大きい
ワイヤ放電加工装置の主要構造体と遮蔽カバーの内側の
気体を定温状態に保つには、かなり容量の大きい高性能
な空調設備が必要となり、実用的なコストで製品を構成
することが難しいという問題点がある。また、空調設備
の容量が大きくなると、通常設置容積も大きくなること
から、第２の従来例のようなワイヤ放電加工装置の構成
は、恒温室のような限られた空間を占有する面積が大き
くなり、場合によっては設置不可能になったり、恒温室
を拡張しなければならないという問題点がある。また、
ワイヤ放電加工装置の空調設備の熱交換器からの発熱が
大きくなるため、例えば、第１の従来例におけるワイヤ
放電加工装置と第２の従来例におけるワイヤ放電加工装
置が近接して置かれた場合、第１の従来例におけるワイ
ヤ放電加工装置の熱変形を増大させる等、他の同一室内
に置かれたワイヤ放電加工装置の加工精度を悪化させる
という問題点がある。
【００１０】また、複数の導気口から気体を導入し、遮
蔽カバー内部の温度を直接制御する場合、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体に温度制御された気体が直接あたる
ところと直接当たらないところ、あるいは、導気口に近
いところと遠いところで温度差を持つことになり、ワイ
ヤ放電加工装置の主要構造体の熱伸び差が生じ、加工精
度を劣化させるという問題点がある。
蔽カバー内部の温度を直接制御する場合、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体に温度制御された気体が直接あたる
ところと直接当たらないところ、あるいは、導気口に近
いところと遠いところで温度差を持つことになり、ワイ
ヤ放電加工装置の主要構造体の熱伸び差が生じ、加工精
度を劣化させるという問題点がある。
【００１１】第３の従来例における発明によれば、ワイ
ヤ電極と被加工物間に電圧を印加して放電加工するワイ
ヤカット放電加工装置において、タンクからの冷却され
た加工液を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワ
イヤ電極と被加工物との極間に供給する第１の経路と、
加工液を上部及び下部アームを経由した後、被加工物を
設置する加工用ベッドを介して被加工物周辺に供給する
第２の経路とを備えた構成にしているので、上部及び下
部アームを経由する加工液とタンクからの冷却された加
工液を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワイヤ
電極と被加工物との極間に供給される加工液との間に温
度差が生じ、これによって生じる熱伸び差により加工精
度が劣化するという問題がある。また、冷却した加工液
で機械本体を冷却する場合、冷却している部分と冷却し
ていない部分で機械各部の温度分布に差が生じ、この温
度差による局所的な熱変形や上部及び下部アームと加工
用ベッドの熱伸び差が生じるという問題が生じる。ま
た、機械本体の温度分布を均一にするためには、上部及
び下部アームだけでなく、加工用ベッドなどの機械装置
全体を冷却する必要があるので、冷却装置の規模が大き
くなり、その構造も複雑になるため、実用的なコストの
製品を構成することが難しいという問題がある。
ヤ電極と被加工物間に電圧を印加して放電加工するワイ
ヤカット放電加工装置において、タンクからの冷却され
た加工液を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワ
イヤ電極と被加工物との極間に供給する第１の経路と、
加工液を上部及び下部アームを経由した後、被加工物を
設置する加工用ベッドを介して被加工物周辺に供給する
第２の経路とを備えた構成にしているので、上部及び下
部アームを経由する加工液とタンクからの冷却された加
工液を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワイヤ
電極と被加工物との極間に供給される加工液との間に温
度差が生じ、これによって生じる熱伸び差により加工精
度が劣化するという問題がある。また、冷却した加工液
で機械本体を冷却する場合、冷却している部分と冷却し
ていない部分で機械各部の温度分布に差が生じ、この温
度差による局所的な熱変形や上部及び下部アームと加工
用ベッドの熱伸び差が生じるという問題が生じる。ま
た、機械本体の温度分布を均一にするためには、上部及
び下部アームだけでなく、加工用ベッドなどの機械装置
全体を冷却する必要があるので、冷却装置の規模が大き
くなり、その構造も複雑になるため、実用的なコストの
製品を構成することが難しいという問題がある。
【００１２】第４の従来例によれば、ワイヤ電極により
被加工物の加工部に加工液を吹きかけながら所望の形状
に加工するワイヤ放電加工装置において、ワイヤ電極を
保持するワイヤガイドの保持手段を中空構造とし、その
中空内に冷却流体を設けているので、これに従来の外気
温によって液温制御した加工液を送り込んだ場合、機械
本体の温度変化と外気温の温度変化の時定数に差が生
じ、ワイヤガイドとワークを保持する機械構造体との熱
伸び差を生じるため、加工精度が劣化するという問題を
生じる。
被加工物の加工部に加工液を吹きかけながら所望の形状
に加工するワイヤ放電加工装置において、ワイヤ電極を
保持するワイヤガイドの保持手段を中空構造とし、その
中空内に冷却流体を設けているので、これに従来の外気
温によって液温制御した加工液を送り込んだ場合、機械
本体の温度変化と外気温の温度変化の時定数に差が生
じ、ワイヤガイドとワークを保持する機械構造体との熱
伸び差を生じるため、加工精度が劣化するという問題を
生じる。
【００１３】第５の従来例によれば、ワイヤ放電加工装
置において、あらかじめ計測または計算によって求めた
加工中の加工液の液温上昇値と外気温度感知装置によっ
て測定された外気温度に従って、あらかじめ設定した所
定の温度に加工液を予熱すると共に予熱された加工液を
加工装置本体に循環させるようにしているので、例え
ば、加工装置本体を加工液の温度に追従させようとする
と、装置本体全体に液循環の経路を設ける必要がある。
そのため、液循環経路が大きくなり、構成も複雑になる
ため、コストが高くなり実用的でないといった問題があ
る。また、加工液温度を外気温をもとに変化させた場
合、機械本体の一部に液循環した場合、加工液に直接触
れる部分とそうでない部分とで温度変化の時定数が異な
り、逆に熱変位を増加することになる。そのため、装置
本体全体に液循環の経路を設けなければならず、コスト
が高くなり実用的でなくなるといった問題が生じる。
置において、あらかじめ計測または計算によって求めた
加工中の加工液の液温上昇値と外気温度感知装置によっ
て測定された外気温度に従って、あらかじめ設定した所
定の温度に加工液を予熱すると共に予熱された加工液を
加工装置本体に循環させるようにしているので、例え
ば、加工装置本体を加工液の温度に追従させようとする
と、装置本体全体に液循環の経路を設ける必要がある。
そのため、液循環経路が大きくなり、構成も複雑になる
ため、コストが高くなり実用的でないといった問題があ
る。また、加工液温度を外気温をもとに変化させた場
合、機械本体の一部に液循環した場合、加工液に直接触
れる部分とそうでない部分とで温度変化の時定数が異な
り、逆に熱変位を増加することになる。そのため、装置
本体全体に液循環の経路を設けなければならず、コスト
が高くなり実用的でなくなるといった問題が生じる。
【００１４】この発明は、上記各従来例における課題を
解決するためになされたもので、熱変位による上下ワイ
ヤガイドの相対位置の変化を抑制し、高精度の加工が行
えるワイヤ放電加工装置を提供するものである。
解決するためになされたもので、熱変位による上下ワイ
ヤガイドの相対位置の変化を抑制し、高精度の加工が行
えるワイヤ放電加工装置を提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】第１の発明のワイヤ放電
加工装置は、被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に
支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備えら
れたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向に移
動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、他端
にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端がコラ
ムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下部ア
ームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供給し
つつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、前記
ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機械温
度感知装置を備え、前記ビーム部材および下部アームを
中空に形成すると共に、上記機械温度感知装置から得ら
れた機械温度に同調するように温度制御した流体を前記
ビーム部材および下部アームの内部に循環させるもので
ある。
加工装置は、被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に
支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備えら
れたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向に移
動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、他端
にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端がコラ
ムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下部ア
ームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供給し
つつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、前記
ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機械温
度感知装置を備え、前記ビーム部材および下部アームを
中空に形成すると共に、上記機械温度感知装置から得ら
れた機械温度に同調するように温度制御した流体を前記
ビーム部材および下部アームの内部に循環させるもので
ある。
【００１６】第２の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、前記下部アームを中空に形成し、ビーム部材の外面
に接するよう筐体を設置すると共に、上記機械温度感知
装置から得られた機械温度に同調するように温度制御し
た流体を前記ビーム部材および下部アームの内部に循環
させるものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、前記下部アームを中空に形成し、ビーム部材の外面
に接するよう筐体を設置すると共に、上記機械温度感知
装置から得られた機械温度に同調するように温度制御し
た流体を前記ビーム部材および下部アームの内部に循環
させるものである。
【００１７】第３の発明のワイヤ放電加工装置は、ビー
ム部材および下部アームの中空、またはビーム部材外面
の筐体内部および下部アームの中空に循環する流体が、
機械温度感知装置から得られた機械温度に同調するよう
に温度制御された加工液であることを特徴とした第１か
ら第２の発明に記載のワイヤ放電加工装置である。
ム部材および下部アームの中空、またはビーム部材外面
の筐体内部および下部アームの中空に循環する流体が、
機械温度感知装置から得られた機械温度に同調するよう
に温度制御された加工液であることを特徴とした第１か
ら第２の発明に記載のワイヤ放電加工装置である。
【００１８】第４の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、上記機械温度感知装置から得られた機械温度に同調
するように温度制御した流体をノズルから加工部に供給
される加工液とするものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、上記機械温度感知装置から得られた機械温度に同調
するように温度制御した流体をノズルから加工部に供給
される加工液とするものである。
【００１９】第５の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または分割され、水平方向に張り出し
構成されると共に、他端にワイヤガイド上部を備えるビ
ーム部材と、一端がコラムに固定され、他端にワイヤガ
イド下部を備える下部アームを備え、前記ノズル部から
加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行うワイヤ放電
加工装置において、断熱部材で構成されたカバーで装置
の一部または装置全体を囲んだものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または分割され、水平方向に張り出し
構成されると共に、他端にワイヤガイド上部を備えるビ
ーム部材と、一端がコラムに固定され、他端にワイヤガ
イド下部を備える下部アームを備え、前記ノズル部から
加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行うワイヤ放電
加工装置において、断熱部材で構成されたカバーで装置
の一部または装置全体を囲んだものである。
【００２０】第６の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ー部材の内部に温度制御された流体を循環させた第５の
発明のワイヤ放電加工装置である。
ー部材の内部に温度制御された流体を循環させた第５の
発明のワイヤ放電加工装置である。
【００２１】第７の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ーの内側の流体が撹拌される第５から第６の発明のワイ
ヤ放電加工装置である。
ーの内側の流体が撹拌される第５から第６の発明のワイ
ヤ放電加工装置である。
【００２２】第８の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ーの扉の入り口においてカバー内側の流体がカバーの入
り口を塞ぐように循環される第５から第７の発明のワイ
ヤ放電加工装置である。
ーの扉の入り口においてカバー内側の流体がカバーの入
り口を塞ぐように循環される第５から第７の発明のワイ
ヤ放電加工装置である。
【００２３】第９の発明のワイヤ放電加工装置は、加工
槽およびカバーの扉を含む空間とその他のカバー内の空
間にしきりを有する第５から第８の発明のワイヤ放電加
工装置である。
槽およびカバーの扉を含む空間とその他のカバー内の空
間にしきりを有する第５から第８の発明のワイヤ放電加
工装置である。
【００２４】第１０の発明のワイヤ放電加工装置は、加
工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱材で構
成されたカバーを有するワイヤ放電加工装置である。
工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱材で構
成されたカバーを有するワイヤ放電加工装置である。
【００２５】第１１の発明のワイヤ放電加工装置は、加
工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱材で構
成されたカバーを有する第５から第９の発明のワイヤ放
電加工装置である。
工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱材で構
成されたカバーを有する第５から第９の発明のワイヤ放
電加工装置である。
【００２６】第１２の発明のワイヤ放電加工装置は、床
面とカバーの間をで塞ぐための可とう体を有する第５か
ら第９の発明のワイヤ放電加工装置である。
面とカバーの間をで塞ぐための可とう体を有する第５か
ら第９の発明のワイヤ放電加工装置である。
【００２７】
実施の形態１．図１はこの発明の第１の実施形態に係る
ワイヤ放電加工装置の構成を示すものである。図におい
て１〜１５は上記従来例と同一のものであり、その説明
を省略する。１６はテーブル２に対して上下方向に移動
可能なガイドにてコラム４の前面に連結された中空のビ
ーム部材である。１７は加工液冷却装置１３によって温
度制御された加工液１５をビーム部材１６に供給する配
管である。１８は配管１７からビーム部材１６へ供給さ
れる加工液１５をビーム部材１６から加工槽１０に供給
する配管である。１９はワイヤ放電加工装置本体に取り
付けられた温度センサー１４の外周を覆う断熱部材で構
成されたカバーである。２０はワイヤ放電加工装置本体
を囲う部材である。２１は部材２０に取り付けられた断
熱部材である。２２は部材２０、２１の内部に取り付け
られた送風機である。
ワイヤ放電加工装置の構成を示すものである。図におい
て１〜１５は上記従来例と同一のものであり、その説明
を省略する。１６はテーブル２に対して上下方向に移動
可能なガイドにてコラム４の前面に連結された中空のビ
ーム部材である。１７は加工液冷却装置１３によって温
度制御された加工液１５をビーム部材１６に供給する配
管である。１８は配管１７からビーム部材１６へ供給さ
れる加工液１５をビーム部材１６から加工槽１０に供給
する配管である。１９はワイヤ放電加工装置本体に取り
付けられた温度センサー１４の外周を覆う断熱部材で構
成されたカバーである。２０はワイヤ放電加工装置本体
を囲う部材である。２１は部材２０に取り付けられた断
熱部材である。２２は部材２０、２１の内部に取り付け
られた送風機である。
【００２８】次に、ビーム部材１６と配管１７、１８の
詳細な構成を図２に示す。内部を中空としたビーム部材
１６に、ビーム部材１６の外から内側の中空部分に配管
１７および１８を通した構造である。配管１８はビーム
部材１６から加工槽１０につながっており、ビーム部材
１６から供給される加工槽１０に供給される加工液１５
は加工槽１０に設けられた排水口から排水される。
詳細な構成を図２に示す。内部を中空としたビーム部材
１６に、ビーム部材１６の外から内側の中空部分に配管
１７および１８を通した構造である。配管１８はビーム
部材１６から加工槽１０につながっており、ビーム部材
１６から供給される加工槽１０に供給される加工液１５
は加工槽１０に設けられた排水口から排水される。
【００２９】前記のように構成されたワイヤ放電加工装
置においては、ビーム部材１６に供給される加工液１５
とビーム部材１６の間で熱の授受が行われる。加工液１
５はほぼ温度制御された温度に保たれる流量でビーム部
材１６中を循環させるのでビーム部材１６の温度は加工
液１５の温度にほぼ同調することになる。加工液冷却装
置１３から供給される加工液１５は下部アーム７の内部
にも循環されることから、下部アーム７とビーム部材１
６はほぼ同一温度にすることができる。これにより、下
部アーム７とビーム部材１６の温度変化によって生じる
熱伸び量の差を小さくすることができる。また、内部を
中空としたビーム部材１６からの加工液１５は、配管１
８を介して加工槽１０に供給されるので、ビーム部材１
６に供給された加工液１５を加工液供給装置１２へ循環
させるための排水口を新たに設けることなく、従来の設
備で加工液供給装置１２へ加工液１５を循環させること
ができる。
置においては、ビーム部材１６に供給される加工液１５
とビーム部材１６の間で熱の授受が行われる。加工液１
５はほぼ温度制御された温度に保たれる流量でビーム部
材１６中を循環させるのでビーム部材１６の温度は加工
液１５の温度にほぼ同調することになる。加工液冷却装
置１３から供給される加工液１５は下部アーム７の内部
にも循環されることから、下部アーム７とビーム部材１
６はほぼ同一温度にすることができる。これにより、下
部アーム７とビーム部材１６の温度変化によって生じる
熱伸び量の差を小さくすることができる。また、内部を
中空としたビーム部材１６からの加工液１５は、配管１
８を介して加工槽１０に供給されるので、ビーム部材１
６に供給された加工液１５を加工液供給装置１２へ循環
させるための排水口を新たに設けることなく、従来の設
備で加工液供給装置１２へ加工液１５を循環させること
ができる。
【００３０】温度センサ１５とカバー１９の詳細な構成
を図３に示す。温度センサー１５をベッド１の表面に密
着させ、その周囲を断熱部材で構成されたカバー１９で
覆いをした構造である。温度センサー１５の周囲をカバ
ー１９で覆うことにより、周囲空気を遮断できるので、
温度センサー１５へは機械構造部材からの熱の流入が支
配的となる。したがって、温度センサー１５により機械
構造部材の温度変化を高精度にとらえることが可能とな
る。なお、本実施例では温度センサー１４を駆動用モー
タや電源回路などの発熱体から離れたベッド１の前面に
取り付け、加工液１５に接しているワイヤ放電加工装置
の構造部材を温度をベッド前面に同調させた。ンサー１
４の取り付け位置は、ベッド１の下面やベッド１の内部
のような駆動用モータや電源回路などの発熱体から離れ
た位置に取り付けることにより、液温の変化を小さくで
きるので、加工液に接しているテーブル２、被加工物９
の熱変形を小さく抑えることができる。また、ベッド１
とビーム部材１６、下部アーム７の温度がほぼ同一にな
るので、熱伸び量を等しくでき、テーブル２、上下ワイ
ヤノズル６、８の相対位置の変化を小さくすることがで
きる。なお、テーブル２に対して上下方向に移動可能な
ガイドにてコラム４の前面に連結されたビーム部材５と
その外面に接するような筐体を有するように構成された
ワイヤ放電加工装置においても、下部アーム７と温度を
同調させられれば同様の効果が得られることは容易にわ
かる。たとえば、加工液１５を循環できる熱伝導性のよ
い部材をビーム部材５に取り付けても同様の効果が得ら
れることがわかる。
を図３に示す。温度センサー１５をベッド１の表面に密
着させ、その周囲を断熱部材で構成されたカバー１９で
覆いをした構造である。温度センサー１５の周囲をカバ
ー１９で覆うことにより、周囲空気を遮断できるので、
温度センサー１５へは機械構造部材からの熱の流入が支
配的となる。したがって、温度センサー１５により機械
構造部材の温度変化を高精度にとらえることが可能とな
る。なお、本実施例では温度センサー１４を駆動用モー
タや電源回路などの発熱体から離れたベッド１の前面に
取り付け、加工液１５に接しているワイヤ放電加工装置
の構造部材を温度をベッド前面に同調させた。ンサー１
４の取り付け位置は、ベッド１の下面やベッド１の内部
のような駆動用モータや電源回路などの発熱体から離れ
た位置に取り付けることにより、液温の変化を小さくで
きるので、加工液に接しているテーブル２、被加工物９
の熱変形を小さく抑えることができる。また、ベッド１
とビーム部材１６、下部アーム７の温度がほぼ同一にな
るので、熱伸び量を等しくでき、テーブル２、上下ワイ
ヤノズル６、８の相対位置の変化を小さくすることがで
きる。なお、テーブル２に対して上下方向に移動可能な
ガイドにてコラム４の前面に連結されたビーム部材５と
その外面に接するような筐体を有するように構成された
ワイヤ放電加工装置においても、下部アーム７と温度を
同調させられれば同様の効果が得られることは容易にわ
かる。たとえば、加工液１５を循環できる熱伝導性のよ
い部材をビーム部材５に取り付けても同様の効果が得ら
れることがわかる。
【００３１】カバー２０と断熱部材２１の詳細な構成を
図４に示す。本実施例においては、カバー２０の内部に
断熱部材２１を貼り付けた構造であるが、カバー２０の
外部に断熱部材２１を貼り付けてもよい。また、本実施
例では、カバー２０および断熱部材２１をワイヤ放電加
工装置本体と独立に構成しているが、カバー２０および
断熱部材２１をワイヤ放電加工装置本体とを一体として
構成してもよい。カバー２０と床面の間の隙間は断熱部
材２１で覆いをした構造である。なお、カバー２０と床
面の間の隙間は、図２３に示すようにゴムシートなどの
可とう体９６で塞いでも良い。カバー２０と断熱部材２
１で加工機周囲空気の直接の流入を防ぎ、室温変化に対
するカバー２０内部の時定数を遅らせることができるた
め、１日周期の環境温度変化によるワイヤ放電加工装置
の温度変化を小さくすることができ、ワイヤ放電加工装
置の熱変形を小さくすることができる。
図４に示す。本実施例においては、カバー２０の内部に
断熱部材２１を貼り付けた構造であるが、カバー２０の
外部に断熱部材２１を貼り付けてもよい。また、本実施
例では、カバー２０および断熱部材２１をワイヤ放電加
工装置本体と独立に構成しているが、カバー２０および
断熱部材２１をワイヤ放電加工装置本体とを一体として
構成してもよい。カバー２０と床面の間の隙間は断熱部
材２１で覆いをした構造である。なお、カバー２０と床
面の間の隙間は、図２３に示すようにゴムシートなどの
可とう体９６で塞いでも良い。カバー２０と断熱部材２
１で加工機周囲空気の直接の流入を防ぎ、室温変化に対
するカバー２０内部の時定数を遅らせることができるた
め、１日周期の環境温度変化によるワイヤ放電加工装置
の温度変化を小さくすることができ、ワイヤ放電加工装
置の熱変形を小さくすることができる。
【００３２】送風機２２の構成を図５に示す。複数個の
送風機２２をカバー２０および断熱材２１の壁面に取り
付けた構造である。本実施例では、上から下への流れが
生じるように送風機８を取り付けているが、カバー２０
内の空気を循環できれば良い。送風機２２によってカバ
ー２０および断熱材２１の内部の空気を撹拌することに
より、ワイヤ放電加工装置本体の温度分布を均一にする
ことができるので、ワイヤ放電加工装置全体の熱変形量
を均一にすることができる。ワイヤ放電加工装置全体の
熱変形量を均一にしたことにより、上部および下部ワイ
ヤノズル６、８とテーブル２の伸び量を等しくできる。
従って、下部ノズル６、８のあいだのワイヤ電極１１と
被加工物９のあいだの熱変形によって生じる相対位置ず
れによる誤差を小さくすることができ、加工精度を向上
することができる。
送風機２２をカバー２０および断熱材２１の壁面に取り
付けた構造である。本実施例では、上から下への流れが
生じるように送風機８を取り付けているが、カバー２０
内の空気を循環できれば良い。送風機２２によってカバ
ー２０および断熱材２１の内部の空気を撹拌することに
より、ワイヤ放電加工装置本体の温度分布を均一にする
ことができるので、ワイヤ放電加工装置全体の熱変形量
を均一にすることができる。ワイヤ放電加工装置全体の
熱変形量を均一にしたことにより、上部および下部ワイ
ヤノズル６、８とテーブル２の伸び量を等しくできる。
従って、下部ノズル６、８のあいだのワイヤ電極１１と
被加工物９のあいだの熱変形によって生じる相対位置ず
れによる誤差を小さくすることができ、加工精度を向上
することができる。
【００３３】次に、本発明の効果を確認するために用い
た環境試験室の構成について説明する。図６は本発明の
効果を確認するために用いた環境試験室の構成をに示
す。２３は環境試験室である。２４は環境試験室内の側
壁の上側に設置された上側空調機、２５は環境試験室内
の側壁の上側空調機２４の下側に設置された下側空調
機、２６は環境試験室内の天井に取り付けられた上側空
調機の温度センサ、２７は環境試験室内の床面に取り付
けられた下側空調機の温度センサ、２８は環境室２３内
の空気を循環させる送風機、２９は環境試験室の排気
口、３０は空調機を制御するための空調機制御ユニット
である。温度センサー２６、２７で検出される温度に等
価な物理量から換算したデジタル量を用いて、空調機制
御ユニット３０で指定した室温指令値に環境試験室２３
内の温度が追従するように空調機２４、２５から温度制
御された空気が吹き出される。そして、排気口２９から
環境試験室内の圧力がほぼ一定になるように空気が排気
される。上側空調機２４、下側空調機２５は環境試験室
２３内の上下に設置しているので、環境試験室２３の温
度に上下方向分布を持たせることができる。また、空調
機制御ユニット３０内には室温指令値を任意に変更でき
るプログラム機能を有しており、環境試験室２３の室温
指令値の大きさとその時間変化率を任意に設定すること
ができる。
た環境試験室の構成について説明する。図６は本発明の
効果を確認するために用いた環境試験室の構成をに示
す。２３は環境試験室である。２４は環境試験室内の側
壁の上側に設置された上側空調機、２５は環境試験室内
の側壁の上側空調機２４の下側に設置された下側空調
機、２６は環境試験室内の天井に取り付けられた上側空
調機の温度センサ、２７は環境試験室内の床面に取り付
けられた下側空調機の温度センサ、２８は環境室２３内
の空気を循環させる送風機、２９は環境試験室の排気
口、３０は空調機を制御するための空調機制御ユニット
である。温度センサー２６、２７で検出される温度に等
価な物理量から換算したデジタル量を用いて、空調機制
御ユニット３０で指定した室温指令値に環境試験室２３
内の温度が追従するように空調機２４、２５から温度制
御された空気が吹き出される。そして、排気口２９から
環境試験室内の圧力がほぼ一定になるように空気が排気
される。上側空調機２４、下側空調機２５は環境試験室
２３内の上下に設置しているので、環境試験室２３の温
度に上下方向分布を持たせることができる。また、空調
機制御ユニット３０内には室温指令値を任意に変更でき
るプログラム機能を有しており、環境試験室２３の室温
指令値の大きさとその時間変化率を任意に設定すること
ができる。
【００３４】次に、本発明の効果を確認するために用い
た精密位置測定器の構成について説明する。精密位置測
定器の構成を図７に示す。３１は上部ワイヤノズル６に
固定した反射鏡である。３２は下部ワイヤノズル８に固
定した反射鏡である。３３はテーブル２上に固定した反
射鏡である。３４はテーブル上に固定した金属製の板材
である。３５はレーザー光源である。３６はレーザー干
渉計である。３７はレーザー光源３５を制御するレーザ
ー測長器制御ユニットである。３８は３６によって検出
したレーザー光から反射鏡３１、反射鏡３２、および反
射鏡３３の変位量を検出するデータ処理装置である。反
射鏡３１、３２と反射鏡３３の変位量の差をデータ処理
装置３８の内部で算出することにより、上部ワイヤノズ
ル６とテーブル２上の反射鏡３３の変位量の差、および
下部アーム７の先端とテーブル２上の反射鏡３３の変位
量の差を求めることができる。
た精密位置測定器の構成について説明する。精密位置測
定器の構成を図７に示す。３１は上部ワイヤノズル６に
固定した反射鏡である。３２は下部ワイヤノズル８に固
定した反射鏡である。３３はテーブル２上に固定した反
射鏡である。３４はテーブル上に固定した金属製の板材
である。３５はレーザー光源である。３６はレーザー干
渉計である。３７はレーザー光源３５を制御するレーザ
ー測長器制御ユニットである。３８は３６によって検出
したレーザー光から反射鏡３１、反射鏡３２、および反
射鏡３３の変位量を検出するデータ処理装置である。反
射鏡３１、３２と反射鏡３３の変位量の差をデータ処理
装置３８の内部で算出することにより、上部ワイヤノズ
ル６とテーブル２上の反射鏡３３の変位量の差、および
下部アーム７の先端とテーブル２上の反射鏡３３の変位
量の差を求めることができる。
【００３５】図８は第１の従来例のワイヤ放電加工装置
を環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間
かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて
一定勾配で３度降下させたときの、データ処理装置３８
検出および算出した反射鏡３１と反射鏡３３の変位量差
と反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差の時間波形であ
る。ただし、図８において、変位量の差の値は従来のワ
イヤ放電加工装置の反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の
差の最大値で正規化している。図８の（ａ）は従来装置
の実測値、図８の（ｂ）は従来装置のビーム部材５をビ
ーム部材１６に交換し、配管１７、１８でビーム部材１
６内に加工液１５を循環させたときの変位量の差の実測
値である。ビーム部材１６内に加工液１５を循環させる
ことにより、反射鏡３１と反射鏡３３の変位量の差と反
射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差はおおよそ一致して
おり、上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変形
量をほぼ同一にできている。ワイヤ電極１１の傾きは、
上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量の差
によって生じるので、ビーム部材１６の温度を下部アー
ム７に同調させることによりワイヤ電極１１の傾きの変
化を小さくすることができる。これにより、ワイヤ電極
１１と被加工物９の相対運動によって加工される被加工
物９の加工面のうねりを小さくすることができ、加工面
の品質向上が可能となる。
を環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間
かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて
一定勾配で３度降下させたときの、データ処理装置３８
検出および算出した反射鏡３１と反射鏡３３の変位量差
と反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差の時間波形であ
る。ただし、図８において、変位量の差の値は従来のワ
イヤ放電加工装置の反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の
差の最大値で正規化している。図８の（ａ）は従来装置
の実測値、図８の（ｂ）は従来装置のビーム部材５をビ
ーム部材１６に交換し、配管１７、１８でビーム部材１
６内に加工液１５を循環させたときの変位量の差の実測
値である。ビーム部材１６内に加工液１５を循環させる
ことにより、反射鏡３１と反射鏡３３の変位量の差と反
射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差はおおよそ一致して
おり、上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変形
量をほぼ同一にできている。ワイヤ電極１１の傾きは、
上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量の差
によって生じるので、ビーム部材１６の温度を下部アー
ム７に同調させることによりワイヤ電極１１の傾きの変
化を小さくすることができる。これにより、ワイヤ電極
１１と被加工物９の相対運動によって加工される被加工
物９の加工面のうねりを小さくすることができ、加工面
の品質向上が可能となる。
【００３６】図９の実線は第１の実施例における従来の
ワイヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部に設置し、
周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、そ
の後１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときのワ
イヤ放電加工装置本体の温度の実測値である。図９の破
線は図１のワイヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部
に設置し、周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上
昇させ、その後１２時間かけて一定勾配で３度降下させ
たときのワイヤ放電加工装置の機械本体の温度の実測値
である。ただし、図９中の温度は、従来装置における温
度上昇値の最大値で正規化している。上側および下側空
調機２４、２５によって温度制御した空気が、カバー２
０と断熱部材２１による断熱効果と外気気流の直接の流
入が妨げられることによって、外気からワイヤ放電加工
装置本体への熱の伝達を小さくできる。したがって、ワ
イヤ放電加工装置本体の温度変化を小さくすることがで
きる。
ワイヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部に設置し、
周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、そ
の後１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときのワ
イヤ放電加工装置本体の温度の実測値である。図９の破
線は図１のワイヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部
に設置し、周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上
昇させ、その後１２時間かけて一定勾配で３度降下させ
たときのワイヤ放電加工装置の機械本体の温度の実測値
である。ただし、図９中の温度は、従来装置における温
度上昇値の最大値で正規化している。上側および下側空
調機２４、２５によって温度制御した空気が、カバー２
０と断熱部材２１による断熱効果と外気気流の直接の流
入が妨げられることによって、外気からワイヤ放電加工
装置本体への熱の伝達を小さくできる。したがって、ワ
イヤ放電加工装置本体の温度変化を小さくすることがで
きる。
【００３７】図１０の実線および２点鎖線は従来のワイ
ヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部に設置し、周囲
温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後
１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡
３１、３２、３３の変位量をデータ処理装置３８によっ
て検出し、これらから算出された反射鏡３１と反射鏡３
３の変位量の差の時間波形である。図１０の破線および
一点鎖線は図１のワイヤ放電加工装置を、送風機を停止
した状態で環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を
１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時
間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡３１、
３２、３３の変位量をデータ処理装置３８によって検出
し、これらから算出された反射鏡３１と反射鏡３３の変
位量の差と反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差の時間
波形である。図１０の比較では、反射鏡３１と反射鏡３
３の変位量の差および反射鏡３２と反射鏡３３の変位量
の差を小さくできている。つまり、カバー２０と断熱部
材２１によりワイヤ放電加工装置本体の温度変化を小さ
くできるので、ワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小
さくできる。したがって、上部ワイヤノズル６とテーブ
ル２の変位量の差および下部ワイヤノズル８とテーブル
２の変位量の差を小さくすることができるので、周囲環
境の温度が変化したときのワイヤ放電加工装置本体の温
度変化による熱変形によって生じるワイヤ電極１１とテ
ーブル２上に設置された被加工物９の間の熱変位によっ
て生じる位置ずれを抑制でき、加工精度の向上が可能と
なる。
ヤ放電加工装置を環境試験室２３の内部に設置し、周囲
温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後
１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡
３１、３２、３３の変位量をデータ処理装置３８によっ
て検出し、これらから算出された反射鏡３１と反射鏡３
３の変位量の差の時間波形である。図１０の破線および
一点鎖線は図１のワイヤ放電加工装置を、送風機を停止
した状態で環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を
１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時
間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡３１、
３２、３３の変位量をデータ処理装置３８によって検出
し、これらから算出された反射鏡３１と反射鏡３３の変
位量の差と反射鏡３２と反射鏡３３の変位量の差の時間
波形である。図１０の比較では、反射鏡３１と反射鏡３
３の変位量の差および反射鏡３２と反射鏡３３の変位量
の差を小さくできている。つまり、カバー２０と断熱部
材２１によりワイヤ放電加工装置本体の温度変化を小さ
くできるので、ワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小
さくできる。したがって、上部ワイヤノズル６とテーブ
ル２の変位量の差および下部ワイヤノズル８とテーブル
２の変位量の差を小さくすることができるので、周囲環
境の温度が変化したときのワイヤ放電加工装置本体の温
度変化による熱変形によって生じるワイヤ電極１１とテ
ーブル２上に設置された被加工物９の間の熱変位によっ
て生じる位置ずれを抑制でき、加工精度の向上が可能と
なる。
【００３８】図１１は図１のワイヤ放電加工装置を環境
試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間かけて
一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて一定勾
配で３度降下させたときの図１のワイヤ放電加工装置本
体の各部の１２時間後の温度変化量である。図１１
（ａ）は図１のワイヤ放電加工装置において、送風機２
２をとめた状態でビーム部材１６に加工液１５を循環さ
せた図１のワイヤ放電加工装置本体各部の１２時間後の
温度変化量である。図１１（ｂ）は図１のワイヤ放電加
工装置において、送風機２２を稼働した状態でビーム部
材１６に加工液１５を循環させた図１のワイヤ放電加工
装置本体各部の１２時間後の温度変化量である。送風機
２２で空気を送風することにより、ワイヤ放電加工装置
本体の各部の１２時間後の温度変化量が均一にできてい
る。
試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間かけて
一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて一定勾
配で３度降下させたときの図１のワイヤ放電加工装置本
体の各部の１２時間後の温度変化量である。図１１
（ａ）は図１のワイヤ放電加工装置において、送風機２
２をとめた状態でビーム部材１６に加工液１５を循環さ
せた図１のワイヤ放電加工装置本体各部の１２時間後の
温度変化量である。図１１（ｂ）は図１のワイヤ放電加
工装置において、送風機２２を稼働した状態でビーム部
材１６に加工液１５を循環させた図１のワイヤ放電加工
装置本体各部の１２時間後の温度変化量である。送風機
２２で空気を送風することにより、ワイヤ放電加工装置
本体の各部の１２時間後の温度変化量が均一にできてい
る。
【００３９】送風機２２で図１のワイヤ放電加工装置本
体の温度変化量の全体でほぼ一様にできるため、熱膨張
係数と温度変化量できまるワイヤ放電加工装置全体の熱
変形による伸びを一様にすることができる。ワイヤ放電
加工装置の主要構造体をほぼ同様な熱膨張係数をもつ材
料で構成することにより、ベッド背面からほぼおなじ距
離にある上部ワイヤノズル６および下部ワイヤノズル８
とテーブル２の熱伸び量ををほぼ同一にできるので、上
部ワイヤノズル６および下部ワイヤノズル８の間のワイ
ヤ電極１１とテーブル２の上に設置された被加工物との
間の位置ずれを抑制することができる。
体の温度変化量の全体でほぼ一様にできるため、熱膨張
係数と温度変化量できまるワイヤ放電加工装置全体の熱
変形による伸びを一様にすることができる。ワイヤ放電
加工装置の主要構造体をほぼ同様な熱膨張係数をもつ材
料で構成することにより、ベッド背面からほぼおなじ距
離にある上部ワイヤノズル６および下部ワイヤノズル８
とテーブル２の熱伸び量ををほぼ同一にできるので、上
部ワイヤノズル６および下部ワイヤノズル８の間のワイ
ヤ電極１１とテーブル２の上に設置された被加工物との
間の位置ずれを抑制することができる。
【００４０】実施の形態２．図１２は本発明の第２の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置の温度センサー１４を
覆う断熱部材のその他の構成例である。なお、本実施例
にかかるワイヤ放電加工装置の構成については、前述の
図１と同一の構成であり、詳細な説明を省略すると共に
必要に応じて参照する。
施形態に係るワイヤ放電加工装置の温度センサー１４を
覆う断熱部材のその他の構成例である。なお、本実施例
にかかるワイヤ放電加工装置の構成については、前述の
図１と同一の構成であり、詳細な説明を省略すると共に
必要に応じて参照する。
【００４１】カバー１９はワイヤ放電加工装置本体に取
り付けられた温度センサー１４の外周に取り付けられた
断熱部材で構成されたカバーであり、第１の実施形態と
同じ構成である。断熱部材３９は温度センサー１４とワ
イヤ放電加工装置本体のあいだに設けられた断熱部材で
ある。この断熱部材３９により、その厚みと材料を変更
することで機械構造部材からの熱の流れを任意に調整で
きるので、温度センサー１４の感度を任意に設定するこ
とが可能である。ビーム部材１６と下部アーム７の熱伸
び量は温度センサ１４の検出温度に同調した加工液１５
で制御できるので、ビーム部材１６と下部アーム７の熱
伸びが調整可能となる。断熱部材３９の適当な厚みの選
択すれば、テーブル２とワイヤ電極１１のあいだの熱伸
び差を小さくすることができるので、高精度な加工が可
能となる。なお、加工液冷却装置１３で液温制御した加
工液１５が下部アーム７、テーブル２に接する構造を有
するワイヤ放電加工装置であれば、同様の効果が得られ
ることはいうまでもない。
り付けられた温度センサー１４の外周に取り付けられた
断熱部材で構成されたカバーであり、第１の実施形態と
同じ構成である。断熱部材３９は温度センサー１４とワ
イヤ放電加工装置本体のあいだに設けられた断熱部材で
ある。この断熱部材３９により、その厚みと材料を変更
することで機械構造部材からの熱の流れを任意に調整で
きるので、温度センサー１４の感度を任意に設定するこ
とが可能である。ビーム部材１６と下部アーム７の熱伸
び量は温度センサ１４の検出温度に同調した加工液１５
で制御できるので、ビーム部材１６と下部アーム７の熱
伸びが調整可能となる。断熱部材３９の適当な厚みの選
択すれば、テーブル２とワイヤ電極１１のあいだの熱伸
び差を小さくすることができるので、高精度な加工が可
能となる。なお、加工液冷却装置１３で液温制御した加
工液１５が下部アーム７、テーブル２に接する構造を有
するワイヤ放電加工装置であれば、同様の効果が得られ
ることはいうまでもない。
【００４２】実施の形態３．図１３は本発明の第３の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成はカバ
ー２０および断熱部材２１を除き前述の実施例１と同じ
構成である。４０はワイヤ放電加工装置を囲う内部が中
空のカバーである。４１はカバー４０内の流体を循環さ
せるための流体循環装置である。４２は流体循環装置４
１で循環させた流体を温度制御する温度制御ユニットで
ある。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成はカバ
ー２０および断熱部材２１を除き前述の実施例１と同じ
構成である。４０はワイヤ放電加工装置を囲う内部が中
空のカバーである。４１はカバー４０内の流体を循環さ
せるための流体循環装置である。４２は流体循環装置４
１で循環させた流体を温度制御する温度制御ユニットで
ある。
【００４３】温度制御ユニット４２によって温度制御さ
れた流体が循環装置４１によってカバー４０内を循環す
るので、適当な流量を循環させることによりカバー４０
の温度はほぼ一定に保つことができる。これにより、カ
バー４０の外側と内側が熱的に遮断されるので、周囲環
境の温度の変化によるカバー４０の内側の温度変化を抑
制できる。したがって、周囲環境の温度の変化によって
生じるワイヤ放電加工装置本体の熱変形を小さくするこ
とができ、加工精度を向上させることができる。
れた流体が循環装置４１によってカバー４０内を循環す
るので、適当な流量を循環させることによりカバー４０
の温度はほぼ一定に保つことができる。これにより、カ
バー４０の外側と内側が熱的に遮断されるので、周囲環
境の温度の変化によるカバー４０の内側の温度変化を抑
制できる。したがって、周囲環境の温度の変化によって
生じるワイヤ放電加工装置本体の熱変形を小さくするこ
とができ、加工精度を向上させることができる。
【００４４】実施の形態４．図１４は本発明の第４の実
施形態にかかるワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、前
述の第３の実施形態のカバー４０の周囲に断熱部材４３
を取り付けた構成である。
施形態にかかるワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、前
述の第３の実施形態のカバー４０の周囲に断熱部材４３
を取り付けた構成である。
【００４５】断熱部材４３の断熱効果により、カバー周
囲の空気とカバー４０との単位時間あたりの熱の授受を
低減できるので、カバー４０の内部を効率よく高精度に
温度を一定に保つことができる。したがって、周囲環境
の温度の変化によって生じるワイヤ放電加工装置本体の
熱変形を小さくすることができる。
囲の空気とカバー４０との単位時間あたりの熱の授受を
低減できるので、カバー４０の内部を効率よく高精度に
温度を一定に保つことができる。したがって、周囲環境
の温度の変化によって生じるワイヤ放電加工装置本体の
熱変形を小さくすることができる。
【００４６】実施の形態５．図１５は本発明の第５の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、前
述の実施例１のカバー２０と断熱材２１からなるカバー
の内側に設けられた伸縮可能なしきり材４４を設けた構
造である。カバー２０の内側において、加工槽１０とワ
イヤ放電加工装置の主要構造体をしきる構造である。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、前
述の実施例１のカバー２０と断熱材２１からなるカバー
の内側に設けられた伸縮可能なしきり材４４を設けた構
造である。カバー２０の内側において、加工槽１０とワ
イヤ放電加工装置の主要構造体をしきる構造である。
【００４７】しきり材４４は、テーブル２に被加工物９
を設置するときにカバー２０の扉から流入する周囲空気
がコラム４、サドル３、ベッド１のワイヤ放電加工装置
の主要構造体に直接あたらないように、カバー２０の扉
を開けたときに少なくともコラム４、サドル３、ベッド
１からなる主要構造体をカバー２０および断熱部材２１
としきり材４４で覆うように構成しているので、周囲空
気の直接の流入を遮断することができ、これによりカバ
ー２０の扉を開けたときのワイヤ放電加工装置の主要構
造体の温度変化を抑制できる。したがって、ワイヤ放電
加工装置の主要構造体の熱変形の発生を小さくすること
ができ、加工精度が向上できる。
を設置するときにカバー２０の扉から流入する周囲空気
がコラム４、サドル３、ベッド１のワイヤ放電加工装置
の主要構造体に直接あたらないように、カバー２０の扉
を開けたときに少なくともコラム４、サドル３、ベッド
１からなる主要構造体をカバー２０および断熱部材２１
としきり材４４で覆うように構成しているので、周囲空
気の直接の流入を遮断することができ、これによりカバ
ー２０の扉を開けたときのワイヤ放電加工装置の主要構
造体の温度変化を抑制できる。したがって、ワイヤ放電
加工装置の主要構造体の熱変形の発生を小さくすること
ができ、加工精度が向上できる。
【００４８】実施の形態６．図１６は本発明の第６の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。４５は、テーブル２上に被加工物を設置するために
開かれるカバー２０の扉の入り口に設置した送風機であ
る。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバーの構成であ
る。４５は、テーブル２上に被加工物を設置するために
開かれるカバー２０の扉の入り口に設置した送風機であ
る。
【００４９】送風機４５は、カバー２０の扉の入り口に
おいてカバー２０の外側と内側を仕切るようにカバー２
０内の空気を吹き出すことにより、カバー２０の内側へ
の外気の流入を防止することができる。したがって、周
囲空気によるカバー２０内の温度変化を小さくできるの
で、ワイヤ放電加工装置本体の温度変化を防止すること
ができる。これにより、ワイヤ放電加工装置本体の温度
変化により生じる熱変形の発生を小さくすることがで
き、加工精度を向上させることができる。
おいてカバー２０の外側と内側を仕切るようにカバー２
０内の空気を吹き出すことにより、カバー２０の内側へ
の外気の流入を防止することができる。したがって、周
囲空気によるカバー２０内の温度変化を小さくできるの
で、ワイヤ放電加工装置本体の温度変化を防止すること
ができる。これにより、ワイヤ放電加工装置本体の温度
変化により生じる熱変形の発生を小さくすることがで
き、加工精度を向上させることができる。
【００５０】
【発明の効果】第１の発明のワイヤ放電加工装置は、被
加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤ
ガイドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、
一端がコラムと一体または分割され、水平方向に張り出
し構成されると共に、他端にワイヤガイド上部を備える
ビーム部材と、一端がコラムに固定され、他端にワイヤ
ガイド下部を備える下部アームを備え、前記ノズル部か
ら加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行うワイヤ放
電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装置の機械本
体の温度を検出する機械温度感知装置と、前記ビーム部
材および下部アームを中空に形成すると共に、上記機械
温度感知装置から得られた機械温度に同調するように温
度制御した流体を前記ビーム部材および下部アームの内
部に循環させるように構成したので、ビーム部材、下部
アームおよび機械構造体のの温度を同一にでき、下部ア
ーム、ビーム部材、機械構造体の熱膨張による変位量を
均一にできるので、上下アームの間の熱伸び差および上
下アーム間のワイヤと機械構造体本体に設置されたワー
クの間の熱伸び差の発生を抑制でき、該ワイヤガイドに
支持されているワイヤ電極の真直精度を向上させること
ができ、さらに上下のワイヤガイドの間に張られたワイ
ヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置ずれ
を抑制できる。その結果、該被加工物の加工精度を向上
させることができる。また、機械本体の温度を測定する
機械温度感知装置と、前記ビーム部材および下部アーム
を中空に形成すると共に、上記機械温度感知装置から得
られた機械温度に同調するように温度制御した流体を前
記ビーム部材および下部アームの内部に循環させるよう
に構成したので、簡単な構成の循環装置によって機械本
体全体の温度を均一にすることができる。これにより、
流体を循環させるための装置の構成が簡単にできるの
で、機械の製造にかかるコストを低減することができ
る。
加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤ
ガイドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、
一端がコラムと一体または分割され、水平方向に張り出
し構成されると共に、他端にワイヤガイド上部を備える
ビーム部材と、一端がコラムに固定され、他端にワイヤ
ガイド下部を備える下部アームを備え、前記ノズル部か
ら加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行うワイヤ放
電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装置の機械本
体の温度を検出する機械温度感知装置と、前記ビーム部
材および下部アームを中空に形成すると共に、上記機械
温度感知装置から得られた機械温度に同調するように温
度制御した流体を前記ビーム部材および下部アームの内
部に循環させるように構成したので、ビーム部材、下部
アームおよび機械構造体のの温度を同一にでき、下部ア
ーム、ビーム部材、機械構造体の熱膨張による変位量を
均一にできるので、上下アームの間の熱伸び差および上
下アーム間のワイヤと機械構造体本体に設置されたワー
クの間の熱伸び差の発生を抑制でき、該ワイヤガイドに
支持されているワイヤ電極の真直精度を向上させること
ができ、さらに上下のワイヤガイドの間に張られたワイ
ヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置ずれ
を抑制できる。その結果、該被加工物の加工精度を向上
させることができる。また、機械本体の温度を測定する
機械温度感知装置と、前記ビーム部材および下部アーム
を中空に形成すると共に、上記機械温度感知装置から得
られた機械温度に同調するように温度制御した流体を前
記ビーム部材および下部アームの内部に循環させるよう
に構成したので、簡単な構成の循環装置によって機械本
体全体の温度を均一にすることができる。これにより、
流体を循環させるための装置の構成が簡単にできるの
で、機械の製造にかかるコストを低減することができ
る。
【００５１】また、請求項２記載の発明によれば、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、前記下部アームを中空に形成し、ビーム部材の外面
に接するよう筐体を設置すると共に、上記機械温度感知
装置から得られた機械温度に同調するように温度制御し
た流体を前記ビーム部材および下部アームの内部に循環
させるように構成したので、従来の製品に該筐体を追加
するだけで加工精度を向上させることができる。つま
り、新たにビーム部材を交換することに比べて簡単かつ
低価格で請求項１記載の発明と同様の効果が得られる。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、前記下部アームを中空に形成し、ビーム部材の外面
に接するよう筐体を設置すると共に、上記機械温度感知
装置から得られた機械温度に同調するように温度制御し
た流体を前記ビーム部材および下部アームの内部に循環
させるように構成したので、従来の製品に該筐体を追加
するだけで加工精度を向上させることができる。つま
り、新たにビーム部材を交換することに比べて簡単かつ
低価格で請求項１記載の発明と同様の効果が得られる。
【００５２】また、請求項３記載の発明によれば、請求
項1、請求項2に記載のワイヤ放電加工装置において、ビ
ーム部材および下部アームの中空、またはビーム部材外
面の筐体内部および下部アームの中空に循環する流体を
機械温度感知装置から得られた機械温度に同調するよう
に温度制御された加工液としたので、新たに加工液用の
温度制御ユニットを追加することなしに、ビーム部材と
下部アームの温度を機械温度に同調させることができ
る。その結果、低コストで請求項１、２と同様の効果を
得ることができる。
項1、請求項2に記載のワイヤ放電加工装置において、ビ
ーム部材および下部アームの中空、またはビーム部材外
面の筐体内部および下部アームの中空に循環する流体を
機械温度感知装置から得られた機械温度に同調するよう
に温度制御された加工液としたので、新たに加工液用の
温度制御ユニットを追加することなしに、ビーム部材と
下部アームの温度を機械温度に同調させることができ
る。その結果、低コストで請求項１、２と同様の効果を
得ることができる。
【００５３】また、請求項４記載の発明によれば、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、上記機械温度感知装置から得られた機械温度に同調
するように温度制御した流体をノズルから加工部に供給
される加工液としたので、加工液と機械温度の温度差を
小さくできる。その結果、加工液に直接触れる部分とそ
れ以外の機械構造部の温度差によって生じる局所的な曲
げ変形や熱伸び差の発生を抑制することができ、加工精
度を向上させることができる。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一
端がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方
向に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上
部を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他
端にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記
ノズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行
うワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加工装
置の機械本体の温度を検出する機械温度感知装置を備
え、上記機械温度感知装置から得られた機械温度に同調
するように温度制御した流体をノズルから加工部に供給
される加工液としたので、加工液と機械温度の温度差を
小さくできる。その結果、加工液に直接触れる部分とそ
れ以外の機械構造部の温度差によって生じる局所的な曲
げ変形や熱伸び差の発生を抑制することができ、加工精
度を向上させることができる。
【００５４】また、請求項５記載の発明によれば、ワイ
ヤガイドにより被加工物の上下で摺動可能に支持された
ワイヤ電極と被加工物間の微小間隙で加工液を介し放電
加工を行うワイヤ放電加工装置において、断熱部材で構
成されたカバーにて装置の一部または装置全体を囲うよ
うに構成したので、一般環境下において、周囲環境の温
度変化の影響を小さくすることができるので、ワイヤ放
電加工装置の加工精度を向上させることができる。ま
た、恒温室内で使用する場合でも、恒温室への人の出入
りや近接しておかれた他の装置等からの熱的外乱の影響
を小さくできるので、装置の温度変化を小さくできる。
従って、構造各部の温度差や温度の時間的変化の違いに
よって生じる上下のワイヤガイドの位置ずれを小さくで
き、加工精度を向上させることができる。また、恒温室
内の空調機の流入口からワイヤ放電加工装置本体へ、直
接温度制御された流体が当たるのを防ぐことができるの
で、装置の温度の差を小さくでき、装置本体の局所的な
変形を抑制することができる。また、ワイヤ放電加工装
置の周囲を囲うカバーを箱形にすれば、断熱材の取り付
けも容易にでき、断熱材の隙間も小さくできるので、複
雑な構成の装置の本体に直接断熱材を貼り付ける場合に
比べ、組立にかかる手間が少なくでき、さらに、装置本
体に外気が直接当たるのを防ぐことが可能となるので、
低コストで加工精度の向上が図れる。
ヤガイドにより被加工物の上下で摺動可能に支持された
ワイヤ電極と被加工物間の微小間隙で加工液を介し放電
加工を行うワイヤ放電加工装置において、断熱部材で構
成されたカバーにて装置の一部または装置全体を囲うよ
うに構成したので、一般環境下において、周囲環境の温
度変化の影響を小さくすることができるので、ワイヤ放
電加工装置の加工精度を向上させることができる。ま
た、恒温室内で使用する場合でも、恒温室への人の出入
りや近接しておかれた他の装置等からの熱的外乱の影響
を小さくできるので、装置の温度変化を小さくできる。
従って、構造各部の温度差や温度の時間的変化の違いに
よって生じる上下のワイヤガイドの位置ずれを小さくで
き、加工精度を向上させることができる。また、恒温室
内の空調機の流入口からワイヤ放電加工装置本体へ、直
接温度制御された流体が当たるのを防ぐことができるの
で、装置の温度の差を小さくでき、装置本体の局所的な
変形を抑制することができる。また、ワイヤ放電加工装
置の周囲を囲うカバーを箱形にすれば、断熱材の取り付
けも容易にでき、断熱材の隙間も小さくできるので、複
雑な構成の装置の本体に直接断熱材を貼り付ける場合に
比べ、組立にかかる手間が少なくでき、さらに、装置本
体に外気が直接当たるのを防ぐことが可能となるので、
低コストで加工精度の向上が図れる。
【００５５】また、請求項６記載の発明によれば、カバ
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５記載のワイヤ放電加工装置において、カバー
部材の内部に温度制御された流体を循環させるように構
成したので、恒温室への人の出入り等の熱的外乱による
室温の変化がワイヤ放電加工装置へ及ぼす影響を小さく
でき、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱膨張によ
る変位量を抑制することができる。これにより、上下の
ワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテーブル上に
設置した被加工物の相対位置のずれを抑制でき、該被加
工物の加工精度を向上させることができる。恒温室以外
の一般の環境下においても気温変化の影響を小さくでき
るので、従来のものに比べて加工精度を向上させること
ができる。また、装置本体を含むカバー内側全体を温度
制御するよりも小さい要領の空調機で装置本体の温度変
化を小さくできるので、小スペース、低コストにできる
とういう効果もある。
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５記載のワイヤ放電加工装置において、カバー
部材の内部に温度制御された流体を循環させるように構
成したので、恒温室への人の出入り等の熱的外乱による
室温の変化がワイヤ放電加工装置へ及ぼす影響を小さく
でき、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱膨張によ
る変位量を抑制することができる。これにより、上下の
ワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテーブル上に
設置した被加工物の相対位置のずれを抑制でき、該被加
工物の加工精度を向上させることができる。恒温室以外
の一般の環境下においても気温変化の影響を小さくでき
るので、従来のものに比べて加工精度を向上させること
ができる。また、装置本体を含むカバー内側全体を温度
制御するよりも小さい要領の空調機で装置本体の温度変
化を小さくできるので、小スペース、低コストにできる
とういう効果もある。
【００５６】また、請求項７記載の発明によれば、カバ
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項６に記載のワイヤ放電加工装置に
おいて、カバー内の流体を撹拌するように構成したの
で、ワイヤ放電加工装置本体の温度分布を一様にでき
る。その結果、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱
膨張による変位量を均一にでき、上下のワイヤガイドの
間に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工
物の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度
を向上させることができる。
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項６に記載のワイヤ放電加工装置に
おいて、カバー内の流体を撹拌するように構成したの
で、ワイヤ放電加工装置本体の温度分布を一様にでき
る。その結果、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱
膨張による変位量を均一にでき、上下のワイヤガイドの
間に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工
物の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度
を向上させることができる。
【００５７】また、請求項８記載の発明によれば、カバ
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項７のいずれかに記載のワイヤ放電
加工装置において、カバーの扉の入り口において流体を
送風するように構成したので、恒温室への人の出入り等
の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテーブルに設
置するときに流入する外気が及ぼす装置への影響を小さ
くできる。これにより、下部アーム、ビーム部材、テー
ブルの熱膨張による変位量を抑制できるので、上下のワ
イヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテーブル上に設
置した被加工物の相対位置のずれを抑制でき、該被加工
物の加工精度を向上させることができる。
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項７のいずれかに記載のワイヤ放電
加工装置において、カバーの扉の入り口において流体を
送風するように構成したので、恒温室への人の出入り等
の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテーブルに設
置するときに流入する外気が及ぼす装置への影響を小さ
くできる。これにより、下部アーム、ビーム部材、テー
ブルの熱膨張による変位量を抑制できるので、上下のワ
イヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテーブル上に設
置した被加工物の相対位置のずれを抑制でき、該被加工
物の加工精度を向上させることができる。
【００５８】また、請求項９記載の発明によれば、カバ
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項８のいずれかに記載のワイヤ放電
加工装置において、加工槽およびカバーの扉を含む空間
とその他のカバー内の空間にしきりを有するように構成
にしたので、恒温室への人の出入り等の熱的外乱による
室温の変化や被加工物をテーブルに設置するときに流入
する外気が及ぼす装置への影響を小さくできる。これに
より、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱膨張によ
る変位量を抑制できるので、上下のワイヤガイドの間に
張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の
相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向
上させることができる。
ーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴とし
た請求項５から請求項８のいずれかに記載のワイヤ放電
加工装置において、加工槽およびカバーの扉を含む空間
とその他のカバー内の空間にしきりを有するように構成
にしたので、恒温室への人の出入り等の熱的外乱による
室温の変化や被加工物をテーブルに設置するときに流入
する外気が及ぼす装置への影響を小さくできる。これに
より、下部アーム、ビーム部材、テーブルの熱膨張によ
る変位量を抑制できるので、上下のワイヤガイドの間に
張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の
相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向
上させることができる。
【００５９】また、請求項１０の発明によれば、被加工
物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガイ
ドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一端
がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方向
に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上部
を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他端
にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記ノ
ズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行う
ワイヤ放電加工装置において、前記加工液を制御するた
めの温度センサーの周囲に断熱材で構成されたカバーを
有するように構成したので、下部アーム、または下部ア
ームとビーム部材の膨張による伸び量を制御できるの
で、下部アーム、ビーム部材それぞれの先端に保持され
ている上下のワイヤガイドの相対位置のずれを抑制で
き、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極の真直
精度を向上させることができる。その結果、加工精度を
向上させることができる。また、断熱材で構成されたピ
ースを１つ追加するだけなので、従来装置の加工精度を
わずかなコストで、かつ、簡単に向上させることができ
る。
物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガイ
ドと、前記ワイヤガイド部に備えられたノズルと、一端
がコラムと一体または上下方向に移動可能で、水平方向
に張り出し構成されると共に、他端にワイヤガイド上部
を備えるビーム部材と、一端がコラムに固定され、他端
にワイヤガイド下部を備える下部アームを備え、前記ノ
ズル部から加工部へ加工液を供給しつつ放電加工を行う
ワイヤ放電加工装置において、前記加工液を制御するた
めの温度センサーの周囲に断熱材で構成されたカバーを
有するように構成したので、下部アーム、または下部ア
ームとビーム部材の膨張による伸び量を制御できるの
で、下部アーム、ビーム部材それぞれの先端に保持され
ている上下のワイヤガイドの相対位置のずれを抑制で
き、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極の真直
精度を向上させることができる。その結果、加工精度を
向上させることができる。また、断熱材で構成されたピ
ースを１つ追加するだけなので、従来装置の加工精度を
わずかなコストで、かつ、簡単に向上させることができ
る。
【００６０】また、請求項１１の発明によれば、請求項
１から請求項９に記載のワイヤ放電加工装置において、
前記加工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱
材で構成されたカバーを有するように構成したので、下
部アームとビーム部材の膨張による伸び量の制御が可能
となり、上下のワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極
とテーブル上に設置した被加工物の相対位置のずれを抑
制できるので、該被加工物の加工精度を向上させること
ができる。
１から請求項９に記載のワイヤ放電加工装置において、
前記加工液を制御するための温度センサーの周囲に断熱
材で構成されたカバーを有するように構成したので、下
部アームとビーム部材の膨張による伸び量の制御が可能
となり、上下のワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極
とテーブル上に設置した被加工物の相対位置のずれを抑
制できるので、該被加工物の加工精度を向上させること
ができる。
【００６１】また、請求項６記載の発明によれば、温度
制御した流体を中空のカバーの内部に循環させるように
構成しているので、温度制御する流体の熱容量が小さく
なり、容量の小さい空調設備で温度制御することができ
る。また、直接カバー内へ温度制御した空気が流入しな
いため、ワイヤ放電加工装置の温度分布のばらつきをち
いさくでき、ワイヤ放電加工装置の主要構造体の熱膨張
を均一にできる。したがって、上下のワイヤガイドの位
置ずれを小さくできるので、該ワイヤ放電加工装置の加
工精度を向上させることができる。
制御した流体を中空のカバーの内部に循環させるように
構成しているので、温度制御する流体の熱容量が小さく
なり、容量の小さい空調設備で温度制御することができ
る。また、直接カバー内へ温度制御した空気が流入しな
いため、ワイヤ放電加工装置の温度分布のばらつきをち
いさくでき、ワイヤ放電加工装置の主要構造体の熱膨張
を均一にできる。したがって、上下のワイヤガイドの位
置ずれを小さくできるので、該ワイヤ放電加工装置の加
工精度を向上させることができる。
【００６２】また、請求項１２記載の発明によれば、カ
バーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴と
した請求項５から請求項１１のいずれかに記載のワイヤ
放電加工装置において、床面とカバーの間を可とう体で
塞ぐようにしているので、床面に凸凹があってもカバー
内への気流の流入出を防ぐことができ、カバー内の温度
変化を小さくすることができる。これによりワイヤ放電
加工装置本体の熱変形量を小さくできるので、該ワイヤ
放電加工装置の加工精度を向上させることができる。
バーにて装置の一部または装置全体を囲うことを特徴と
した請求項５から請求項１１のいずれかに記載のワイヤ
放電加工装置において、床面とカバーの間を可とう体で
塞ぐようにしているので、床面に凸凹があってもカバー
内への気流の流入出を防ぐことができ、カバー内の温度
変化を小さくすることができる。これによりワイヤ放電
加工装置本体の熱変形量を小さくできるので、該ワイヤ
放電加工装置の加工精度を向上させることができる。
【００６３】また、請求項６を除く請求項１から請求項
１２の発明によれば、新たに空調設備を設置することな
く、ワイヤ放電加工装置の加工精度を向上させることが
できる。
１２の発明によれば、新たに空調設備を設置することな
く、ワイヤ放電加工装置の加工精度を向上させることが
できる。
【図１】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置に
おけるビーム部材の構成図である。
おけるビーム部材の構成図である。
【図３】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置に
おける温度センサーのカバーの構成図である。
おける温度センサーのカバーの構成図である。
【図４】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置に
おけるカバーの構成図である。
おけるカバーの構成図である。
【図５】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置に
おける送風機の構成図である。
おける送風機の構成図である。
【図６】 この発明の効果を確認するために用いた環境
試験室の構成図である。
試験室の構成図である。
【図７】 この発明の効果を確認するために用いた精密
測定器の構成図である。
測定器の構成図である。
【図８】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置の
上下ノズルの変位のずれを精密測定器で測定した結果を
示す図である。
上下ノズルの変位のずれを精密測定器で測定した結果を
示す図である。
【図９】 この発明の実施例１の装置本体の温度を測定
した結果を示す図である。
した結果を示す図である。
【図１０】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置
の上下ノズルの変位のずれを精密測定器で測定した結果
を示す図である。
の上下ノズルの変位のずれを精密測定器で測定した結果
を示す図である。
【図１１】 この発明の実施例１の装置本体の温度変化
の分布を測定した結果を示す図である。
の分布を測定した結果を示す図である。
【図１２】 この発明の実施例２におけるの温度センサ
ーのカバーの構成図である。
ーのカバーの構成図である。
【図１３】 この発明の実施例３のワイヤ放電加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図１４】 この発明の実施例４のワイヤ放電加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図１５】 この発明の実施例５のワイヤ放電加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図１６】 この発明の実施例６のワイヤ放電加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図１７】 第１の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図１８】 第２の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図１９】 第３の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２０】 第４の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２１】 第５の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２２】 従来のワイヤ放電加工装置を設置している
恒温室内の温度を測定した結果を示す図である。
恒温室内の温度を測定した結果を示す図である。
【図２３】 この発明の実施例１のワイヤ放電加工装置
における可とう体の構成図である。
における可とう体の構成図である。
１ ベッド、２ テーブル、３ サドル、４ コラム、
５ビーム部材、６ 上部ワイヤガイド、７ 下部アー
ム、８ 下部ワイヤガイド、９ 被加工物、１０加工
槽、１１ ワイヤ電極、１２ 加工液供給装置、１３加
工液冷却装置、１４温度センサー、１５ 加工液、１６
ビーム部材、１７ 配管、１８ 配管、１９ 断熱部
材、２０ カバー、２１ 断熱部材、２２ 送風機、２
３ 環境試験室、２４ 上側空調器、２５ 下側空調
器、２６ 温度センサー、２７ 温度センサー、２８
送風機、２９ 排気口、３０ 空調機制御ユニット、３
１ 反射鏡、３２ 反射鏡、３３ 反射鏡、３４ 板
材、３５ レーザ光源、３６ レーザ干渉計、３７ レ
ーザ測長器制御ユニット、３８ データ処理装置、３９
断熱部材、４０ カバー、４１ 流体循環装置、４２
温度制御ユニット、４３断熱部材、４４ しきり材、４
５ 送風機、４６ ベッド、４７ コラム、４８ 上部
アーム、４９ 下部アーム、５０ ワイヤ電極、５１
電極リール、５２ 巻き取りリール、５３ 上部ガイ
ド、５４ 下部ガイド、５５ ＵＶテーブル、５６ Ｘ
Ｙテーブル、５７ 被加工体、５８ 被加工体支持具、
５９ 遮断カバー、６０ 蛇腹体、６１ 導気口、６２
タンク、６３ 加工液、６４ 冷却機、６５ ポン
プ、６６ パルス電源ユニット、６７ 上部加工液噴出
ノズル、６８ 下部加工液噴出ノズル、６９ 上部アー
ム、７０ 下部アーム、７１被加工物、７２ 加工用ベ
ッド、７３ 被加工物、７４ 定盤、７５ 上部ワイヤ
ガイド、７６ 下部ワイヤガイド、７７ ワイヤ電極、
７８ 下部アーム、７９ コラム、８０ パイプ、８１
電動ファン、８２ エア、８３ 加工機本体、８４
制御装置、８５ 加工機供給装置、８６ ケーブル、８
７ ケーブル、８８ 排出パイプ、８９ 供給パイプ、
９０ 外気温度感知装置、９１ 加工液温度感知装置、
９２ 予熱装置、９３ ケーブル、９４ ケーブル、９
５ ケーブル、９６ 可とう体。
５ビーム部材、６ 上部ワイヤガイド、７ 下部アー
ム、８ 下部ワイヤガイド、９ 被加工物、１０加工
槽、１１ ワイヤ電極、１２ 加工液供給装置、１３加
工液冷却装置、１４温度センサー、１５ 加工液、１６
ビーム部材、１７ 配管、１８ 配管、１９ 断熱部
材、２０ カバー、２１ 断熱部材、２２ 送風機、２
３ 環境試験室、２４ 上側空調器、２５ 下側空調
器、２６ 温度センサー、２７ 温度センサー、２８
送風機、２９ 排気口、３０ 空調機制御ユニット、３
１ 反射鏡、３２ 反射鏡、３３ 反射鏡、３４ 板
材、３５ レーザ光源、３６ レーザ干渉計、３７ レ
ーザ測長器制御ユニット、３８ データ処理装置、３９
断熱部材、４０ カバー、４１ 流体循環装置、４２
温度制御ユニット、４３断熱部材、４４ しきり材、４
５ 送風機、４６ ベッド、４７ コラム、４８ 上部
アーム、４９ 下部アーム、５０ ワイヤ電極、５１
電極リール、５２ 巻き取りリール、５３ 上部ガイ
ド、５４ 下部ガイド、５５ ＵＶテーブル、５６ Ｘ
Ｙテーブル、５７ 被加工体、５８ 被加工体支持具、
５９ 遮断カバー、６０ 蛇腹体、６１ 導気口、６２
タンク、６３ 加工液、６４ 冷却機、６５ ポン
プ、６６ パルス電源ユニット、６７ 上部加工液噴出
ノズル、６８ 下部加工液噴出ノズル、６９ 上部アー
ム、７０ 下部アーム、７１被加工物、７２ 加工用ベ
ッド、７３ 被加工物、７４ 定盤、７５ 上部ワイヤ
ガイド、７６ 下部ワイヤガイド、７７ ワイヤ電極、
７８ 下部アーム、７９ コラム、８０ パイプ、８１
電動ファン、８２ エア、８３ 加工機本体、８４
制御装置、８５ 加工機供給装置、８６ ケーブル、８
７ ケーブル、８８ 排出パイプ、８９ 供給パイプ、
９０ 外気温度感知装置、９１ 加工液温度感知装置、
９２ 予熱装置、９３ ケーブル、９４ ケーブル、９
５ ケーブル、９６ 可とう体。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年７月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ワイヤ放電加工装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤ電極と被加
工物の微小間隙に放電を発生させ、前記被加工物の加工
を行う放電加工装置に関するものである。
工物の微小間隙に放電を発生させ、前記被加工物の加工
を行う放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１８は第１の従来例のワイヤ放電加工
装置を示す図である。この図１８において、１はワイヤ
放電加工装置の基台となるベッド、２はベッド１の上に
載置されたテーブル、３はテーブル２に対し左右方向に
移動可能にガイドにてベッド１上に連結されたサドル、
４はテーブル２に対し前後方向に移動可能にガイドにて
サドル３上に連結されたコラム、５はテーブル２に対し
上下方向に移動可能なガイドにてコラム４の前面に連結
された上部アーム部材、６は上部アーム部材５に固定さ
れた上部ワイヤガイド、７はコラム４に固定された下部
アーム部材、８は下部アーム部材７の先端に固定された
下部ワイヤガイド、９はテーブル２上に固定された被加
工物、１０はベッド１の上に載置された加工槽、１１は
上部及び下部ワイヤガイド６、８により支持されるワイ
ヤ電極、１２は加工液供給装置、１３は加工液冷却装
置、１４は加工液冷却装置１３の温度センサ、１５はタ
ンク１６内に収納される絶縁性の加工液で、この加工液
１５は加工液供給装置１２から加工液冷却装置１３を経
由し、加工槽１０内に供給される。加工により汚濁した
加工液１５はフィルタ等のろ過器１７を介してろ過され
て、タンク１６に回収され、再度加工槽１０に供給され
る。加工液冷却装置１３は、温度センサ１４により検出
した温度に対し一定のオフセット量を持つ温度に加工液
１５の温度を制御する。加工は図示しない電源によりワ
イヤ電極１１と被加工物９との間にパルス電圧を印加
し、加工液１５を介したワイヤ電極１１と被加工物９の
微小間隙に放電を発生させ、被加工物９の加工が行われ
る。
装置を示す図である。この図１８において、１はワイヤ
放電加工装置の基台となるベッド、２はベッド１の上に
載置されたテーブル、３はテーブル２に対し左右方向に
移動可能にガイドにてベッド１上に連結されたサドル、
４はテーブル２に対し前後方向に移動可能にガイドにて
サドル３上に連結されたコラム、５はテーブル２に対し
上下方向に移動可能なガイドにてコラム４の前面に連結
された上部アーム部材、６は上部アーム部材５に固定さ
れた上部ワイヤガイド、７はコラム４に固定された下部
アーム部材、８は下部アーム部材７の先端に固定された
下部ワイヤガイド、９はテーブル２上に固定された被加
工物、１０はベッド１の上に載置された加工槽、１１は
上部及び下部ワイヤガイド６、８により支持されるワイ
ヤ電極、１２は加工液供給装置、１３は加工液冷却装
置、１４は加工液冷却装置１３の温度センサ、１５はタ
ンク１６内に収納される絶縁性の加工液で、この加工液
１５は加工液供給装置１２から加工液冷却装置１３を経
由し、加工槽１０内に供給される。加工により汚濁した
加工液１５はフィルタ等のろ過器１７を介してろ過され
て、タンク１６に回収され、再度加工槽１０に供給され
る。加工液冷却装置１３は、温度センサ１４により検出
した温度に対し一定のオフセット量を持つ温度に加工液
１５の温度を制御する。加工は図示しない電源によりワ
イヤ電極１１と被加工物９との間にパルス電圧を印加
し、加工液１５を介したワイヤ電極１１と被加工物９の
微小間隙に放電を発生させ、被加工物９の加工が行われ
る。
【０００３】図１９は、例えば、特開昭６２−２６４８
３０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第２の従来
例を示す構成図である。この図１９に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の４６はベッド、４７はコラム、
４８は上部アーム部材、４９は下部アーム部材、５０は
ワイヤ電極、５１は電極リール、５２は巻き取りリー
ル、５３は上部ワイヤガイド、５４は下部ワイヤガイ
ド、５５はＵＶテーブルであって、図示省略した制御装
置により駆動されて、上部ワイヤガイド５３の位置を制
御するものである。また、５６はＸＹテーブルであっ
て、図示省略した制御装置により直交する２方向に駆動
されるものである。なお、５７は被加工物、５８は被加
工物支持具、５９は遮蔽カバー、６０は蛇腹体、６１は
導気口を表している。図１９において、遮蔽カバー５９
は少なくとも主要構造体に対して実質上密閉された所定
の空間を形成するものである。なお、遮蔽カバー５９の
一部分には、移動するＵＶテーブル５５およびＸＹテー
ブル５６のために蛇腹体６０が設けられると共に、複数
箇所に導気口６１および図示省略した排気口が設けられ
ている。そして、遮蔽カバー５９によって形成された空
間内を定温、定湿に保持するため、上記導気口６１から
気体が導入される。なお、当該導気口６１から導入され
る気体の温度および湿度は、上記空間内の温度および湿
度に対応して調整される。
３０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第２の従来
例を示す構成図である。この図１９に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の４６はベッド、４７はコラム、
４８は上部アーム部材、４９は下部アーム部材、５０は
ワイヤ電極、５１は電極リール、５２は巻き取りリー
ル、５３は上部ワイヤガイド、５４は下部ワイヤガイ
ド、５５はＵＶテーブルであって、図示省略した制御装
置により駆動されて、上部ワイヤガイド５３の位置を制
御するものである。また、５６はＸＹテーブルであっ
て、図示省略した制御装置により直交する２方向に駆動
されるものである。なお、５７は被加工物、５８は被加
工物支持具、５９は遮蔽カバー、６０は蛇腹体、６１は
導気口を表している。図１９において、遮蔽カバー５９
は少なくとも主要構造体に対して実質上密閉された所定
の空間を形成するものである。なお、遮蔽カバー５９の
一部分には、移動するＵＶテーブル５５およびＸＹテー
ブル５６のために蛇腹体６０が設けられると共に、複数
箇所に導気口６１および図示省略した排気口が設けられ
ている。そして、遮蔽カバー５９によって形成された空
間内を定温、定湿に保持するため、上記導気口６１から
気体が導入される。なお、当該導気口６１から導入され
る気体の温度および湿度は、上記空間内の温度および湿
度に対応して調整される。
【０００４】図２０は、例えば、特開昭６３−９９１２
８号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第３の従来例
を示す構成図である。この図２０に示す従来例の構成を
次に説明する。図中の６２は加工液６３を貯留するタン
ク、６４は加工液６３を冷却する冷却機で、冷却された
加工液６３は、ポンプ６５によって、パルス電源ユニッ
ト６６を経由した後、上部ノズル６７及び下部ノズル６
８を介して極間に供給する第１の経路Ａに導かれる。ま
た、ポンプ６５によって、加工液６３を、上部アーム部
材６９および下部アーム部材７０を経由した後、被加工
物７１を設置する加工用ベッド７２を介して被加工物７
１の周辺に供給する第２の経路Ｂに導かれるようになっ
ている。即ち、冷却効率を高めるために、冷却された加
工液６３の経路を２系統に分け、第１の経路Ａを電源ユ
ニット６６の冷却に使った後で温度の上がった加工液６
３を極間に供給し、第２の経路Ｂを機械系の冷却用に用
いるという方式を取っている。
８号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第３の従来例
を示す構成図である。この図２０に示す従来例の構成を
次に説明する。図中の６２は加工液６３を貯留するタン
ク、６４は加工液６３を冷却する冷却機で、冷却された
加工液６３は、ポンプ６５によって、パルス電源ユニッ
ト６６を経由した後、上部ノズル６７及び下部ノズル６
８を介して極間に供給する第１の経路Ａに導かれる。ま
た、ポンプ６５によって、加工液６３を、上部アーム部
材６９および下部アーム部材７０を経由した後、被加工
物７１を設置する加工用ベッド７２を介して被加工物７
１の周辺に供給する第２の経路Ｂに導かれるようになっ
ている。即ち、冷却効率を高めるために、冷却された加
工液６３の経路を２系統に分け、第１の経路Ａを電源ユ
ニット６６の冷却に使った後で温度の上がった加工液６
３を極間に供給し、第２の経路Ｂを機械系の冷却用に用
いるという方式を取っている。
【０００５】図２１は、例えば、特開昭６３−１７９０
２４号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第４の従来
例を示す構成図である。この図２１に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の７３は被加工物、７４は定盤、
７５は上部ワイヤガイド、７６は下部ワイヤガイド、７
７はワイヤ電極、７８は下部アーム部材、７９はコラ
ム、８０はパイプ、８１は電動ファン、８２はエア等の
冷却流体である。この図２１に示すワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極７７により被加工物７３の加工部に加工
液を吹きかけながら所望の形状に加工するワイヤ放電加
工装置で、ワイヤ電極７７を保持する下部ワイヤガイド
７６の保持手段を中空構造とし、その中空構造内に冷却
流体８２を送り込む手段を設けている。
２４号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第４の従来
例を示す構成図である。この図２１に示す従来例の構成
を次に説明する。図中の７３は被加工物、７４は定盤、
７５は上部ワイヤガイド、７６は下部ワイヤガイド、７
７はワイヤ電極、７８は下部アーム部材、７９はコラ
ム、８０はパイプ、８１は電動ファン、８２はエア等の
冷却流体である。この図２１に示すワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極７７により被加工物７３の加工部に加工
液を吹きかけながら所望の形状に加工するワイヤ放電加
工装置で、ワイヤ電極７７を保持する下部ワイヤガイド
７６の保持手段を中空構造とし、その中空構造内に冷却
流体８２を送り込む手段を設けている。
【０００６】図２２は、例えば、特開昭６１−８６１３
０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第５の従来例
を示す構成図である。この図２２に示す従来例の構成を
次に説明する。図中において、８３は加工機本体、８４
はＮＣ制御装置および加工電源からなる制御装置、８５
は加工液供給装置、８６は加工機本体８３と制御装置８
４を接続するケーブル、８７は加工機本体８３から加工
液供給装置８５へ加工液を排出する排出パイプ、８８は
加工液供給装置８５から加工機本体８３へ加工液を供給
する供給パイプ、８９は加工液を濾過するフィルター装
置、９０は外気温度感知装置であり、加工機本体８３が
置かれている周囲の外気温度を測定するものである。９
１は加工液温度感知装置であり、清液槽内の加工液の温
度を測定するものである。９２は予熱装置であり、清液
槽内の加工液の温度を制御装置８４により設定された値
に予熱するものである。９３、９４、９５はそれぞれ外
気温度感知装置９０、加工液温度感知装置９１および予
熱装置９２と制御装置８４を結ぶケーブルである。
０号公報に示されたワイヤ放電加工装置の第５の従来例
を示す構成図である。この図２２に示す従来例の構成を
次に説明する。図中において、８３は加工機本体、８４
はＮＣ制御装置および加工電源からなる制御装置、８５
は加工液供給装置、８６は加工機本体８３と制御装置８
４を接続するケーブル、８７は加工機本体８３から加工
液供給装置８５へ加工液を排出する排出パイプ、８８は
加工液供給装置８５から加工機本体８３へ加工液を供給
する供給パイプ、８９は加工液を濾過するフィルター装
置、９０は外気温度感知装置であり、加工機本体８３が
置かれている周囲の外気温度を測定するものである。９
１は加工液温度感知装置であり、清液槽内の加工液の温
度を測定するものである。９２は予熱装置であり、清液
槽内の加工液の温度を制御装置８４により設定された値
に予熱するものである。９３、９４、９５はそれぞれ外
気温度感知装置９０、加工液温度感知装置９１および予
熱装置９２と制御装置８４を結ぶケーブルである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように第１の従
来例のワイヤ放電加工装置では、コラムより張り出した
下部アーム部材と上部アーム部材において、下部アーム
部材は加工液中に設置され、上部アーム部材は空気中に
設置されているため、加工液と機械の温度の差や外気や
温度変化に対する時定数の違いにより上部アーム部材と
下部アーム部材に温度差が生じる。このため、下部アー
ム部材と上部アーム部材の熱膨張による変位量に差が生
じ、下部アーム部材、上部アーム部材それぞれの先端に
保持されている上部および下部ワイヤガイドの相対位置
がずれ、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極の
真直精度を悪化させ、加工精度に悪影響を与える。
来例のワイヤ放電加工装置では、コラムより張り出した
下部アーム部材と上部アーム部材において、下部アーム
部材は加工液中に設置され、上部アーム部材は空気中に
設置されているため、加工液と機械の温度の差や外気や
温度変化に対する時定数の違いにより上部アーム部材と
下部アーム部材に温度差が生じる。このため、下部アー
ム部材と上部アーム部材の熱膨張による変位量に差が生
じ、下部アーム部材、上部アーム部材それぞれの先端に
保持されている上部および下部ワイヤガイドの相対位置
がずれ、該ワイヤガイドに支持されているワイヤ電極の
真直精度を悪化させ、加工精度に悪影響を与える。
【０００８】また、高精度な加工を行うためにワイヤ放
電加工装置を室温の制御可能な恒温室に設置しても、恒
温室への人の出入り等の熱的外乱による室温変化が生じ
る。例えば、図２３は室温の制御可能な恒温室のワイヤ
放電加工機周囲における室温変化を示したものである。
１日に１．５度程度の温度変化を生じている。これは従
来のワイヤ放電加工装置に用いられている熱膨張係数１
１．８×１０ ー6１／℃の部材１ｍが２０μｍ伸びること
に相当する。このような室温の変化に対して、鋳物構造
物上に設置した温度センサと恒温室の気体が直接触れる
ため、検出した温度は室温変化の影響を受ける。このた
め加工液の温度は室温に同調して変化する。鋳物構造体
は室温の変化に対し瞬時には温度追従しないので、加工
液に直接触れる箇所とそうでない箇所に温度差が生じ
る。これによって、上部および下部アーム部材に熱伸び
差が生じ、加工精度が劣化するという問題点がある。
電加工装置を室温の制御可能な恒温室に設置しても、恒
温室への人の出入り等の熱的外乱による室温変化が生じ
る。例えば、図２３は室温の制御可能な恒温室のワイヤ
放電加工機周囲における室温変化を示したものである。
１日に１．５度程度の温度変化を生じている。これは従
来のワイヤ放電加工装置に用いられている熱膨張係数１
１．８×１０ ー6１／℃の部材１ｍが２０μｍ伸びること
に相当する。このような室温の変化に対して、鋳物構造
物上に設置した温度センサと恒温室の気体が直接触れる
ため、検出した温度は室温変化の影響を受ける。このた
め加工液の温度は室温に同調して変化する。鋳物構造体
は室温の変化に対し瞬時には温度追従しないので、加工
液に直接触れる箇所とそうでない箇所に温度差が生じ
る。これによって、上部および下部アーム部材に熱伸び
差が生じ、加工精度が劣化するという問題点がある。
【０００９】第２の従来例におけるワイヤ放電加工装置
は、該ワイヤ放電加工装置を構成する主要構造体の周囲
を囲う遮蔽カバーの内側の空間に複数の導気口から気体
を導入し、遮蔽カバーの内側のワイヤ放電加工装置周囲
の気体を温度制御している。このため、熱容量の大きい
ワイヤ放電加工装置の主要構造体と遮蔽カバーの内側の
気体を定温状態に保つには、かなり容量の大きい高性能
な空調設備が必要となり、実用的なコストで製品を構成
することが難しいという問題点がある。また、空調設備
の容量が大きくなると、通常設置容積も大きくなること
から、第２の従来例のようなワイヤ放電加工装置の構成
は、恒温室のような限られた空間を占有する面積が大き
くなり、場合によっては設置不可能になったり、恒温室
を拡張しなければならないという問題点がある。また、
ワイヤ放電加工装置の空調設備の熱交換器からの発熱が
大きくなるため、例えば、第１の従来例におけるワイヤ
放電加工装置と第２の従来例におけるワイヤ放電加工装
置が近接して置かれた場合、第１の従来例におけるワイ
ヤ放電加工装置の熱変形を増大させる等、他の同一室内
に置かれたワイヤ放電加工装置の加工精度を悪化させる
という問題点がある。
は、該ワイヤ放電加工装置を構成する主要構造体の周囲
を囲う遮蔽カバーの内側の空間に複数の導気口から気体
を導入し、遮蔽カバーの内側のワイヤ放電加工装置周囲
の気体を温度制御している。このため、熱容量の大きい
ワイヤ放電加工装置の主要構造体と遮蔽カバーの内側の
気体を定温状態に保つには、かなり容量の大きい高性能
な空調設備が必要となり、実用的なコストで製品を構成
することが難しいという問題点がある。また、空調設備
の容量が大きくなると、通常設置容積も大きくなること
から、第２の従来例のようなワイヤ放電加工装置の構成
は、恒温室のような限られた空間を占有する面積が大き
くなり、場合によっては設置不可能になったり、恒温室
を拡張しなければならないという問題点がある。また、
ワイヤ放電加工装置の空調設備の熱交換器からの発熱が
大きくなるため、例えば、第１の従来例におけるワイヤ
放電加工装置と第２の従来例におけるワイヤ放電加工装
置が近接して置かれた場合、第１の従来例におけるワイ
ヤ放電加工装置の熱変形を増大させる等、他の同一室内
に置かれたワイヤ放電加工装置の加工精度を悪化させる
という問題点がある。
【００１０】また、複数の導気口から気体を導入し、遮
蔽カバー内部の温度を直接制御する場合、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体に温度制御された気体が直接あたる
部分と直接当たらない部分、あるいは、導気口に近い部
分と遠い部分で温度差を持つことになり、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体の熱伸び差が生じ、加工精度を劣化
させるという問題点がある。
蔽カバー内部の温度を直接制御する場合、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体に温度制御された気体が直接あたる
部分と直接当たらない部分、あるいは、導気口に近い部
分と遠い部分で温度差を持つことになり、ワイヤ放電加
工装置の主要構造体の熱伸び差が生じ、加工精度を劣化
させるという問題点がある。
【００１１】第３の従来例におけるワイヤカット放電加
工装置は、タンクからの冷却された加工液を電源部を経
由した後、上部及び下部ノズルを介してワイヤ電極と被
加工物との極間に供給する第１の経路と、加工液を上部
及び下部アーム部材を経由した後、被加工物を設置する
加工用ベッドを介して被加工物周辺に供給する第２の経
路とを備えた構成としているので、上部及び下部アーム
部材を経由する加工液とタンクからの冷却された加工液
を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワイヤ電極
と被加工物との極間に供給される加工液との間に温度差
が生じ、これによって生じる熱伸び差により加工精度が
劣化するという問題がある。また、冷却した加工液で機
械本体を冷却する場合、冷却している部分と冷却してい
ない部分で機械各部の温度分布に差が生じ、この温度差
による局所的な熱変形や上部及び下部アーム部材と加工
用ベッドの熱伸び差が生じるという問題がある。また、
機械本体の温度分布を均一にするためには、上部及び下
部アーム部材だけでなく、加工用ベッドなどの機械装置
全体を冷却する必要があるので、冷却装置の規模が大き
くなり、その構造も複雑になるため、実用的なコストの
製品を構成することが難しいという問題がある。
工装置は、タンクからの冷却された加工液を電源部を経
由した後、上部及び下部ノズルを介してワイヤ電極と被
加工物との極間に供給する第１の経路と、加工液を上部
及び下部アーム部材を経由した後、被加工物を設置する
加工用ベッドを介して被加工物周辺に供給する第２の経
路とを備えた構成としているので、上部及び下部アーム
部材を経由する加工液とタンクからの冷却された加工液
を電源部を経由した後、上下ノズルを介してワイヤ電極
と被加工物との極間に供給される加工液との間に温度差
が生じ、これによって生じる熱伸び差により加工精度が
劣化するという問題がある。また、冷却した加工液で機
械本体を冷却する場合、冷却している部分と冷却してい
ない部分で機械各部の温度分布に差が生じ、この温度差
による局所的な熱変形や上部及び下部アーム部材と加工
用ベッドの熱伸び差が生じるという問題がある。また、
機械本体の温度分布を均一にするためには、上部及び下
部アーム部材だけでなく、加工用ベッドなどの機械装置
全体を冷却する必要があるので、冷却装置の規模が大き
くなり、その構造も複雑になるため、実用的なコストの
製品を構成することが難しいという問題がある。
【００１２】第４の従来例は、ワイヤ電極により被加工
物の加工部に加工液を吹きかけながら所望の形状に加工
するワイヤ放電加工装置で、ワイヤ電極を保持するワイ
ヤガイドの保持手段を中空構造とし、その中空構造内に
冷却流体を送り込んでいるので、これに従来の外気温に
よって液温制御した加工液を送り込んだ場合、機械本体
の温度変化と外気温の温度変化の時定数に差が生じ、ワ
イヤガイドとワークを保持する機械構造体との熱伸び差
を生じるため、加工精度が劣化するという問題がある。
物の加工部に加工液を吹きかけながら所望の形状に加工
するワイヤ放電加工装置で、ワイヤ電極を保持するワイ
ヤガイドの保持手段を中空構造とし、その中空構造内に
冷却流体を送り込んでいるので、これに従来の外気温に
よって液温制御した加工液を送り込んだ場合、機械本体
の温度変化と外気温の温度変化の時定数に差が生じ、ワ
イヤガイドとワークを保持する機械構造体との熱伸び差
を生じるため、加工精度が劣化するという問題がある。
【００１３】第５の従来例におけるワイヤ放電加工装置
は、あらかじめ計測または計算によって求めた加工中の
加工液の液温上昇値と外気温度感知装置によって測定さ
れた外気温度に従って、あらかじめ設定した所定の温度
に加工液を予熱すると共に、予熱された加工液を加工装
置本体に循環させるようにしているので、例えば、加工
装置本体を加工液の温度に追従させようとすると、装置
本体全体に液循環の経路を設ける必要がある。そのた
め、液循環経路が大きくなり、構成も複雑になるため、
コストが高くなり実用的でないといった問題がある。ま
た、加工液温度を外気温をもとに変化させ、機械本体の
一部に液循環した場合、加工液に直接触れる部分とそう
でない部分とで温度変化の時定数が異なり、逆に熱変位
を増加することになる。そのため、装置本体全体に液循
環の経路を設けなければならず、コストが高くなり実用
的でなくなるといった問題が生じる。
は、あらかじめ計測または計算によって求めた加工中の
加工液の液温上昇値と外気温度感知装置によって測定さ
れた外気温度に従って、あらかじめ設定した所定の温度
に加工液を予熱すると共に、予熱された加工液を加工装
置本体に循環させるようにしているので、例えば、加工
装置本体を加工液の温度に追従させようとすると、装置
本体全体に液循環の経路を設ける必要がある。そのた
め、液循環経路が大きくなり、構成も複雑になるため、
コストが高くなり実用的でないといった問題がある。ま
た、加工液温度を外気温をもとに変化させ、機械本体の
一部に液循環した場合、加工液に直接触れる部分とそう
でない部分とで温度変化の時定数が異なり、逆に熱変位
を増加することになる。そのため、装置本体全体に液循
環の経路を設けなければならず、コストが高くなり実用
的でなくなるといった問題が生じる。
【００１４】この発明は、上記各従来例における課題を
解決するためになされたもので、熱変位による上部及び
下部ワイヤガイドの相対位置の変化を抑制し、高精度の
加工が行えるワイヤ放電加工装置を提供するものであ
る。
解決するためになされたもので、熱変位による上部及び
下部ワイヤガイドの相対位置の変化を抑制し、高精度の
加工が行えるワイヤ放電加工装置を提供するものであ
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】第１の発明のワイヤ放電
加工装置は、被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に
支持するワイヤガイド部と、一端がコラムと一体または
上下方向に移動可能に装着され、他端に前記上部ワイヤ
ガイド部を有する上部アーム部材と、一端が前記コラム
に固定され、他端に前記下部ワイヤガイド部を有する下
部アーム部材とを備えたワイヤ放電加工装置において、
前記ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機
械温度感知手段を具備すると共に、前記上部アーム部材
および下部アーム部材に中空部を形成し、前記機械温度
感知手段から得られた機械温度に同調するように温度制
御した流体を前記上部アーム部材および下部アーム部材
の中空部に循環させるものである。
加工装置は、被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に
支持するワイヤガイド部と、一端がコラムと一体または
上下方向に移動可能に装着され、他端に前記上部ワイヤ
ガイド部を有する上部アーム部材と、一端が前記コラム
に固定され、他端に前記下部ワイヤガイド部を有する下
部アーム部材とを備えたワイヤ放電加工装置において、
前記ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機
械温度感知手段を具備すると共に、前記上部アーム部材
および下部アーム部材に中空部を形成し、前記機械温度
感知手段から得られた機械温度に同調するように温度制
御した流体を前記上部アーム部材および下部アーム部材
の中空部に循環させるものである。
【００１６】第２の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段
と、前記上部アーム部材の外面に接するように設置され
た筐体とを具備すると共に、前記下部アーム部材に中空
部を形成し、前記機械温度感知手段から得られた機械温
度に同調するように温度制御した流体を前記筐体内部お
よび下部アーム部材の中空部に循環させるものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段
と、前記上部アーム部材の外面に接するように設置され
た筐体とを具備すると共に、前記下部アーム部材に中空
部を形成し、前記機械温度感知手段から得られた機械温
度に同調するように温度制御した流体を前記筐体内部お
よび下部アーム部材の中空部に循環させるものである。
【００１７】第３の発明のワイヤ放電加工装置は、流体
を、機械温度感知手段から得られた機械温度に同調する
ように温度制御された加工液とするものである。
を、機械温度感知手段から得られた機械温度に同調する
ように温度制御された加工液とするものである。
【００１８】第４の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段を
具備し、前記機械温度感知手段から得られた機械温度に
同調するように温度制御した加工液により前記被加工物
を加工するするものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段を
具備し、前記機械温度感知手段から得られた機械温度に
同調するように温度制御した加工液により前記被加工物
を加工するするものである。
【００１９】第５の発明のワイヤ放電加工装置は、被加
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の一部または全体を、断熱材からなるカバー部材
にて囲ったものである。
工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤガ
イド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動可
能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有する
上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他端
に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材とを
備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電加
工装置の一部または全体を、断熱材からなるカバー部材
にて囲ったものである。
【００２０】第６の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ー部材の内部に温度制御された流体を循環させる手段を
備えたものである。
ー部材の内部に温度制御された流体を循環させる手段を
備えたものである。
【００２１】第７の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ー部材の内側の流体を撹拌する撹拌手段を備えたもので
ある。
ー部材の内側の流体を撹拌する撹拌手段を備えたもので
ある。
【００２２】第８の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ー部材の扉の入り口においてカバー部材内側の流体を前
記入り口を塞ぐように循環するものである。
ー部材の扉の入り口においてカバー部材内側の流体を前
記入り口を塞ぐように循環するものである。
【００２３】第９の発明のワイヤ放電加工装置は、カバ
ー部材の内側に加工槽およびカバー部材の扉を含む空間
とその他の空間とをしきるしきり部材を有するものであ
る。
ー部材の内側に加工槽およびカバー部材の扉を含む空間
とその他の空間とをしきるしきり部材を有するものであ
る。
【００２４】第１０の発明のワイヤ放電加工装置は、被
加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤ
ガイド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動
可能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有す
る上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他
端に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材と
を備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電
加工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段
と、前記機械温度感知手段の周囲を囲う断熱材からなる
カバー部材を具備するものである。
加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在に支持するワイヤ
ガイド部と、一端がコラムと一体または上下方向に移動
可能に装着され、他端に前記上部ワイヤガイド部を有す
る上部アーム部材と、一端が前記コラムに固定され、他
端に前記下部ワイヤガイド部を有する下部アーム部材と
を備えたワイヤ放電加工装置において、前記ワイヤ放電
加工装置の機械本体の温度を検出する機械温度感知手段
と、前記機械温度感知手段の周囲を囲う断熱材からなる
カバー部材を具備するものである。
【００２５】第１１の発明のワイヤ放電加工装置は、機
械温度感知手段の周囲に断熱材で構成されたカバー部材
を配設するものである。
械温度感知手段の周囲に断熱材で構成されたカバー部材
を配設するものである。
【００２６】第１２の発明のワイヤ放電加工装置は、床
面とカバー部材の間を塞ぐ可とう体を有するものであ
る。
面とカバー部材の間を塞ぐ可とう体を有するものであ
る。
【００２７】
【発明の実施の形態】 実施の形態１．図１はこの発明の第１の実施形態に係る
ワイヤ放電加工装置の構成を示すものである。図におい
て１〜１７は上記従来例と同一のものであり、その説明
を省略する。１８はテーブル２に対して上下方向に移動
可能なガイドにてコラム４の前面に連結された中空の上
部アーム部材、１９は加工液冷却装置１３によって温度
制御された加工液１５を上部アーム部材１８に供給する
配管、２０は配管１９から上部アーム部材１８へ供給さ
れる加工液１５を、上部アーム部材１８から加工槽１０
に供給する配管、２１はワイヤ放電加工装置本体に取り
付けられた温度センサ１４の外周を覆う断熱材で構成さ
れたカバー部材、２２はワイヤ放電加工装置本体を囲う
部材、２３は部材２２に取り付けられた断熱材、２４は
部材２２、２３の内部に取り付けられた送風機である。
ワイヤ放電加工装置の構成を示すものである。図におい
て１〜１７は上記従来例と同一のものであり、その説明
を省略する。１８はテーブル２に対して上下方向に移動
可能なガイドにてコラム４の前面に連結された中空の上
部アーム部材、１９は加工液冷却装置１３によって温度
制御された加工液１５を上部アーム部材１８に供給する
配管、２０は配管１９から上部アーム部材１８へ供給さ
れる加工液１５を、上部アーム部材１８から加工槽１０
に供給する配管、２１はワイヤ放電加工装置本体に取り
付けられた温度センサ１４の外周を覆う断熱材で構成さ
れたカバー部材、２２はワイヤ放電加工装置本体を囲う
部材、２３は部材２２に取り付けられた断熱材、２４は
部材２２、２３の内部に取り付けられた送風機である。
【００２８】次に、上部アーム部材１８と配管１９、２
０の詳細構成を図２に示す。内部を中空とした上部アー
ム部材１８に、上部アーム部材１８の外から内側の中空
部分に配管１９および２０を通した構造である。配管２
０は上部アーム部材１８から加工槽１０につながってお
り、上部アーム部材１８から加工槽１０に供給される加
工液１５は加工槽１０に設けられた排水口から排水され
る。
０の詳細構成を図２に示す。内部を中空とした上部アー
ム部材１８に、上部アーム部材１８の外から内側の中空
部分に配管１９および２０を通した構造である。配管２
０は上部アーム部材１８から加工槽１０につながってお
り、上部アーム部材１８から加工槽１０に供給される加
工液１５は加工槽１０に設けられた排水口から排水され
る。
【００２９】前記のように構成されたワイヤ放電加工装
置においては、上部アーム部材１８に供給される加工液
１５と上部アーム部材１８の間で熱の授受が行われる。
加工液１５はほぼ温度制御された温度に保たれる流量で
上部アーム部材１８中を循環させるので上部アーム部材
１８の温度は加工液１５の温度にほぼ同調することにな
る。加工液冷却装置１３から供給される加工液１５は下
部アーム部材７の内部にも循環されることから、下部ア
ーム部材７と上部アーム部材１８はほぼ同一温度にする
ことができる。これにより、下部アーム部材７と上部ア
ーム部材１８の温度変化によって生じる熱伸び量の差を
小さくすることができる。また、内部を中空とした上部
アーム部材１８からの加工液１５は、配管２０を介して
加工槽１０に供給されるので、上部アーム部材１８に供
給された加工液１５を加工液供給装置１２へ循環させる
ための排水口を新たに設けることなく、従来の設備で加
工液供給装置１２へ加工液１５を循環させることができ
る。
置においては、上部アーム部材１８に供給される加工液
１５と上部アーム部材１８の間で熱の授受が行われる。
加工液１５はほぼ温度制御された温度に保たれる流量で
上部アーム部材１８中を循環させるので上部アーム部材
１８の温度は加工液１５の温度にほぼ同調することにな
る。加工液冷却装置１３から供給される加工液１５は下
部アーム部材７の内部にも循環されることから、下部ア
ーム部材７と上部アーム部材１８はほぼ同一温度にする
ことができる。これにより、下部アーム部材７と上部ア
ーム部材１８の温度変化によって生じる熱伸び量の差を
小さくすることができる。また、内部を中空とした上部
アーム部材１８からの加工液１５は、配管２０を介して
加工槽１０に供給されるので、上部アーム部材１８に供
給された加工液１５を加工液供給装置１２へ循環させる
ための排水口を新たに設けることなく、従来の設備で加
工液供給装置１２へ加工液１５を循環させることができ
る。
【００３０】温度センサ１４とカバー部材２１の詳細構
成を図３に示す。温度センサ１４をベッド１の表面に密
着させ、その周囲を断熱材で構成されたカバー部材２１
で囲った構造である。温度センサ１４の周囲をカバー部
材２１で囲うことにより、周囲空気を遮断できるので、
温度センサ１４へは機械構造部材からの熱の流入が支配
的となる。したがって、温度センサ１４により機械構造
部材の温度変化を高精度にとらえることが可能となる。
なお、本実施例では温度センサ１４を駆動用モータや電
源回路などの発熱体から離れたベッド１の前面に取り付
け、加工液１５に接しているワイヤ放電加工装置の構造
部材の温度をベッド前面の温度に同調させたが、温度セ
ンサ１４の取り付け位置は、ベッド１の下面やベッド１
の内部のような駆動用モータや電源回路などの発熱体か
ら離れた位置に取り付けることにより、液温の変化を小
さくできるので、加工液に接しているテーブル２、被加
工物９の熱変形を小さく抑えることができる。また、ベ
ッド１と上部アーム部材１８、下部アーム部材７の温度
がほぼ同一になるので、熱伸び量を等しくでき、テーブ
ル２、上部及び下部ワイヤガイド６、８の相対位置の変
化を小さくすることができる。なお、テーブル２に対し
て上下方向に移動可能なガイドにてコラム４の前面に連
結された上部アーム部材１８とその外面に接するような
筐体を有するように構成されたワイヤ放電加工装置にお
いても、下部アーム部材７と温度を同調させられれば同
様の効果が得られることは容易にわかる。たとえば、加
工液１５を循環できる熱伝導性のよい部材を上部アーム
部材１８に取り付けても同様の効果が得られることがわ
かる。
成を図３に示す。温度センサ１４をベッド１の表面に密
着させ、その周囲を断熱材で構成されたカバー部材２１
で囲った構造である。温度センサ１４の周囲をカバー部
材２１で囲うことにより、周囲空気を遮断できるので、
温度センサ１４へは機械構造部材からの熱の流入が支配
的となる。したがって、温度センサ１４により機械構造
部材の温度変化を高精度にとらえることが可能となる。
なお、本実施例では温度センサ１４を駆動用モータや電
源回路などの発熱体から離れたベッド１の前面に取り付
け、加工液１５に接しているワイヤ放電加工装置の構造
部材の温度をベッド前面の温度に同調させたが、温度セ
ンサ１４の取り付け位置は、ベッド１の下面やベッド１
の内部のような駆動用モータや電源回路などの発熱体か
ら離れた位置に取り付けることにより、液温の変化を小
さくできるので、加工液に接しているテーブル２、被加
工物９の熱変形を小さく抑えることができる。また、ベ
ッド１と上部アーム部材１８、下部アーム部材７の温度
がほぼ同一になるので、熱伸び量を等しくでき、テーブ
ル２、上部及び下部ワイヤガイド６、８の相対位置の変
化を小さくすることができる。なお、テーブル２に対し
て上下方向に移動可能なガイドにてコラム４の前面に連
結された上部アーム部材１８とその外面に接するような
筐体を有するように構成されたワイヤ放電加工装置にお
いても、下部アーム部材７と温度を同調させられれば同
様の効果が得られることは容易にわかる。たとえば、加
工液１５を循環できる熱伝導性のよい部材を上部アーム
部材１８に取り付けても同様の効果が得られることがわ
かる。
【００３１】カバー部材２２と断熱材２３の詳細構成を
図４に示す。本実施例においては、カバー部材２２の内
部に断熱部材２３を貼り付けた構造であるが、カバー部
材２３の外部に断熱材２３を貼り付けてもよい。また、
本実施例では、カバー部材２２および断熱材２３をワイ
ヤ放電加工装置本体と独立に構成しているが、カバー部
材２２および断熱材２３をワイヤ放電加工装置本体と一
体として構成してもよい。なお、本実施例ではカバー部
材２２と床面の間の隙間は断熱材２３で囲った構造とし
ているが、カバー部材２２と床面の間の隙間は、図５に
示すようにゴムシートなどの可とう体９６で塞いでも良
い。カバー部材２２と断熱材２３で加工機周囲空気の直
接の流入を防ぎ、室温変化に対するカバー部材２２内部
の時定数を遅らせることができるため、１日周期の環境
温度変化によるワイヤ放電加工装置の温度変化を小さく
することができ、ワイヤ放電加工装置の熱変形を小さく
することができる。
図４に示す。本実施例においては、カバー部材２２の内
部に断熱部材２３を貼り付けた構造であるが、カバー部
材２３の外部に断熱材２３を貼り付けてもよい。また、
本実施例では、カバー部材２２および断熱材２３をワイ
ヤ放電加工装置本体と独立に構成しているが、カバー部
材２２および断熱材２３をワイヤ放電加工装置本体と一
体として構成してもよい。なお、本実施例ではカバー部
材２２と床面の間の隙間は断熱材２３で囲った構造とし
ているが、カバー部材２２と床面の間の隙間は、図５に
示すようにゴムシートなどの可とう体９６で塞いでも良
い。カバー部材２２と断熱材２３で加工機周囲空気の直
接の流入を防ぎ、室温変化に対するカバー部材２２内部
の時定数を遅らせることができるため、１日周期の環境
温度変化によるワイヤ放電加工装置の温度変化を小さく
することができ、ワイヤ放電加工装置の熱変形を小さく
することができる。
【００３２】送風機２４の構成を図６に示す。複数個の
送風機２４をカバー部材２２および断熱材２３の壁面に
取り付けた構造である。本実施例では上から下への流れ
が生じるように送風機２４を取り付けているが、カバー
部材２２内の空気を循環できれば如何なる構成でも良
い。送風機２４によってカバー部材２２および断熱材２
３の内部の空気を撹拌することにより、ワイヤ放電加工
装置本体の温度分布を均一にすることができるので、ワ
イヤ放電加工装置全体の熱変形量を均一にすることがで
きる。ワイヤ放電加工装置全体の熱変形量を均一にした
ことにより、上部および下部ワイヤガイド６、８とテー
ブル２の伸び量を等しくできる。従って、上部および下
部ワイヤガイド６、８のあいだのワイヤ電極１１と被加
工物９のあいだの熱変形によって生じる相対位置ずれに
よる誤差を小さくすることができ、加工精度を向上する
ことができる。
送風機２４をカバー部材２２および断熱材２３の壁面に
取り付けた構造である。本実施例では上から下への流れ
が生じるように送風機２４を取り付けているが、カバー
部材２２内の空気を循環できれば如何なる構成でも良
い。送風機２４によってカバー部材２２および断熱材２
３の内部の空気を撹拌することにより、ワイヤ放電加工
装置本体の温度分布を均一にすることができるので、ワ
イヤ放電加工装置全体の熱変形量を均一にすることがで
きる。ワイヤ放電加工装置全体の熱変形量を均一にした
ことにより、上部および下部ワイヤガイド６、８とテー
ブル２の伸び量を等しくできる。従って、上部および下
部ワイヤガイド６、８のあいだのワイヤ電極１１と被加
工物９のあいだの熱変形によって生じる相対位置ずれに
よる誤差を小さくすることができ、加工精度を向上する
ことができる。
【００３３】次に、本発明の効果を確認するために用い
た環境試験室の構成について説明する。図７は本発明の
効果を確認するために用いた環境試験室の構成を示す。
２５は環境試験室、２６は環境試験室２５内の側壁の上
側に設置された上側空調機、２７は環境試験室内の側壁
の上側空調機２６の下側に設置された下側空調機、２８
は環境試験室２５内の天井に取り付けられた上側空調機
の温度センサ、２９は環境試験室２５内の床面に取り付
けられた下側空調機の温度センサ、３０は環境試験室２
５内の空気を循環させる送風機、３１は環境試験室２５
の排気口、３２は空調機を制御するための空調機制御ユ
ニットである。温度センサ２８、２９で検出される温度
に等価な物理量から換算したデジタル量を用いて、空調
機制御ユニット３２で指定した室温指令値に環境試験室
２５内の温度が追従するように空調機２６、２７から温
度制御された空気が吹き出される。そして、排気口３１
から環境試験室２５内の圧力がほぼ一定になるように空
気が排気される。上側空調機２６、下側空調機２７は環
境試験室２５内の上下に設置されているので、環境試験
室２５の温度に上下方向分布を持たせることができる。
また、空調機制御ユニット３２内には室温指令値を任意
に変更できるプログラム機能を有しており、環境試験室
２５の室温指令値の大きさとその時間変化率を任意に設
定することができる。
た環境試験室の構成について説明する。図７は本発明の
効果を確認するために用いた環境試験室の構成を示す。
２５は環境試験室、２６は環境試験室２５内の側壁の上
側に設置された上側空調機、２７は環境試験室内の側壁
の上側空調機２６の下側に設置された下側空調機、２８
は環境試験室２５内の天井に取り付けられた上側空調機
の温度センサ、２９は環境試験室２５内の床面に取り付
けられた下側空調機の温度センサ、３０は環境試験室２
５内の空気を循環させる送風機、３１は環境試験室２５
の排気口、３２は空調機を制御するための空調機制御ユ
ニットである。温度センサ２８、２９で検出される温度
に等価な物理量から換算したデジタル量を用いて、空調
機制御ユニット３２で指定した室温指令値に環境試験室
２５内の温度が追従するように空調機２６、２７から温
度制御された空気が吹き出される。そして、排気口３１
から環境試験室２５内の圧力がほぼ一定になるように空
気が排気される。上側空調機２６、下側空調機２７は環
境試験室２５内の上下に設置されているので、環境試験
室２５の温度に上下方向分布を持たせることができる。
また、空調機制御ユニット３２内には室温指令値を任意
に変更できるプログラム機能を有しており、環境試験室
２５の室温指令値の大きさとその時間変化率を任意に設
定することができる。
【００３４】次に、本発明の効果を確認するために用い
た精密位置測定器の構成について説明する。精密位置測
定器の構成を図８に示す。３３は上部ワイヤガイド６に
固定された反射鏡、３４は下部ワイヤガイド８に固定さ
れた反射鏡、３５はテーブル２上に固定された反射鏡、
３６はテーブル２上に固定された金属製の板材、３７は
レーザ光源、３８はレーザ干渉計、３９はレーザ光源３
７を制御するレーザ測長器制御ユニット、４０はレーザ
干渉計３８によって検出したレーザ光から反射鏡３３〜
３５の変位量を検出するデータ処理装置である。反射鏡
３３、３４と反射鏡３５の変位量の差をデータ処理装置
４０の内部で算出することにより、上部ワイヤガイド６
とテーブル２上の反射鏡３５の変位量の差、および下部
アーム部材７の先端とテーブル２上の反射鏡３５の変位
量の差を求めることができる。
た精密位置測定器の構成について説明する。精密位置測
定器の構成を図８に示す。３３は上部ワイヤガイド６に
固定された反射鏡、３４は下部ワイヤガイド８に固定さ
れた反射鏡、３５はテーブル２上に固定された反射鏡、
３６はテーブル２上に固定された金属製の板材、３７は
レーザ光源、３８はレーザ干渉計、３９はレーザ光源３
７を制御するレーザ測長器制御ユニット、４０はレーザ
干渉計３８によって検出したレーザ光から反射鏡３３〜
３５の変位量を検出するデータ処理装置である。反射鏡
３３、３４と反射鏡３５の変位量の差をデータ処理装置
４０の内部で算出することにより、上部ワイヤガイド６
とテーブル２上の反射鏡３５の変位量の差、および下部
アーム部材７の先端とテーブル２上の反射鏡３５の変位
量の差を求めることができる。
【００３５】図９は第１の従来例のワイヤ放電加工装置
を環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間
かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて
一定勾配で３度降下させたときの、データ処理装置４０
が検出および算出した反射鏡３３と反射鏡３５の変位量
差と、反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差の時間波形
である。ただし、図９において、変位量の差の値は従来
のワイヤ放電加工装置の反射鏡３４と反射鏡３５の変位
量の差の最大値で正規化している。図９の（ａ）は従来
装置の実測値、図９の（ｂ）は従来装置の上部アーム部
材５を本発明実施例による上部アーム部材１８に交換
し、配管１９、２０で上部アーム部材１８内に加工液１
５を循環させたときの変位量の差の実測値である。上部
アーム部材１８内に加工液１５を循環させることによ
り、反射鏡３３と反射鏡３５の変位量の差と、反射鏡３
４と反射鏡３５の変位量の差はおおよそ一致しており、
上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量をほ
ぼ同一にできている。ワイヤ電極１１の傾きは、上部ワ
イヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量の差によっ
て生じるので、上部アーム部材１８の温度を下部アーム
部材７に同調させることによりワイヤ電極１１の傾きの
変化を小さくすることができる。これにより、ワイヤ電
極１１と被加工物９の相対運動によって加工される被加
工物９の加工面のうねりを小さくすることができ、加工
面の品質向上が可能となる。
を環境試験室２３の内部に設置し、周囲温度を１２時間
かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて
一定勾配で３度降下させたときの、データ処理装置４０
が検出および算出した反射鏡３３と反射鏡３５の変位量
差と、反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差の時間波形
である。ただし、図９において、変位量の差の値は従来
のワイヤ放電加工装置の反射鏡３４と反射鏡３５の変位
量の差の最大値で正規化している。図９の（ａ）は従来
装置の実測値、図９の（ｂ）は従来装置の上部アーム部
材５を本発明実施例による上部アーム部材１８に交換
し、配管１９、２０で上部アーム部材１８内に加工液１
５を循環させたときの変位量の差の実測値である。上部
アーム部材１８内に加工液１５を循環させることによ
り、反射鏡３３と反射鏡３５の変位量の差と、反射鏡３
４と反射鏡３５の変位量の差はおおよそ一致しており、
上部ワイヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量をほ
ぼ同一にできている。ワイヤ電極１１の傾きは、上部ワ
イヤガイド６と下部ワイヤガイド８の変位量の差によっ
て生じるので、上部アーム部材１８の温度を下部アーム
部材７に同調させることによりワイヤ電極１１の傾きの
変化を小さくすることができる。これにより、ワイヤ電
極１１と被加工物９の相対運動によって加工される被加
工物９の加工面のうねりを小さくすることができ、加工
面の品質向上が可能となる。
【００３６】図１０の実線は第１の従来例のワイヤ放電
加工装置を環境試験室２５の内部に設置し、周囲温度を
１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時
間かけて一定勾配で３度降下させたときのワイヤ放電加
工装置本体の温度の実測値である。図１０の破線は図１
のワイヤ放電加工装置を環境試験室２５の内部に設置
し、周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇さ
せ、その後１２時間かけて一定勾配で３度降下させたと
きのワイヤ放電加工装置の機械本体の温度の実測値であ
る。ただし、図１０中の温度は、従来装置における温度
上昇値の最大値で正規化している。上側および下側空調
機２６、２７によって温度制御した空気が、カバー部材
２２と断熱材２３による断熱効果と外気気流の直接の流
入が妨げられることによって、外気からワイヤ放電加工
装置本体への熱の伝達を小さくできる。従って、ワイヤ
放電加工装置本体の温度変化を小さくすることができ
る。
加工装置を環境試験室２５の内部に設置し、周囲温度を
１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時
間かけて一定勾配で３度降下させたときのワイヤ放電加
工装置本体の温度の実測値である。図１０の破線は図１
のワイヤ放電加工装置を環境試験室２５の内部に設置
し、周囲温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇さ
せ、その後１２時間かけて一定勾配で３度降下させたと
きのワイヤ放電加工装置の機械本体の温度の実測値であ
る。ただし、図１０中の温度は、従来装置における温度
上昇値の最大値で正規化している。上側および下側空調
機２６、２７によって温度制御した空気が、カバー部材
２２と断熱材２３による断熱効果と外気気流の直接の流
入が妨げられることによって、外気からワイヤ放電加工
装置本体への熱の伝達を小さくできる。従って、ワイヤ
放電加工装置本体の温度変化を小さくすることができ
る。
【００３７】図１１の実線および２点鎖線は従来のワイ
ヤ放電加工装置を環境試験室２５の内部に設置し、周囲
温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後
１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡
３３〜３５の変位量をデータ処理装置４０によって検出
し、これらから算出された反射鏡３３と反射鏡３５の変
位量の差の時間波形である。図１１の破線および一点鎖
線は図１のワイヤ放電加工装置を、送風機２４を停止し
た状態で環境試験室２５の内部に設置し、周囲温度を１
２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間
かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡３３〜３
５の変位量をデータ処理装置４０によって検出し、これ
らから算出された反射鏡３３と反射鏡３５の変位量の差
と反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差の時間波形であ
る。図１１の比較では、反射鏡３３と反射鏡３５の変位
量の差および反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差を小
さくできている。つまり、カバー部材２２と断熱材２３
によりワイヤ放電加工装置本体の温度変化を小さくでき
るので、ワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小さくで
きる。従って、上部ワイヤガイド６とテーブル２の変位
量の差および下部ワイヤガイド８とテーブル２の変位量
の差を小さくすることができるので、周囲環境の温度が
変化したときのワイヤ放電加工装置本体の温度変化によ
る熱変形によって生じるワイヤ電極１１とテーブル２上
に設置された被加工物９の間の熱変位によって生じる位
置ずれを抑制でき、加工精度の向上が可能となる。
ヤ放電加工装置を環境試験室２５の内部に設置し、周囲
温度を１２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後
１２時間かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡
３３〜３５の変位量をデータ処理装置４０によって検出
し、これらから算出された反射鏡３３と反射鏡３５の変
位量の差の時間波形である。図１１の破線および一点鎖
線は図１のワイヤ放電加工装置を、送風機２４を停止し
た状態で環境試験室２５の内部に設置し、周囲温度を１
２時間かけて一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間
かけて一定勾配で３度降下させたときの反射鏡３３〜３
５の変位量をデータ処理装置４０によって検出し、これ
らから算出された反射鏡３３と反射鏡３５の変位量の差
と反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差の時間波形であ
る。図１１の比較では、反射鏡３３と反射鏡３５の変位
量の差および反射鏡３４と反射鏡３５の変位量の差を小
さくできている。つまり、カバー部材２２と断熱材２３
によりワイヤ放電加工装置本体の温度変化を小さくでき
るので、ワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小さくで
きる。従って、上部ワイヤガイド６とテーブル２の変位
量の差および下部ワイヤガイド８とテーブル２の変位量
の差を小さくすることができるので、周囲環境の温度が
変化したときのワイヤ放電加工装置本体の温度変化によ
る熱変形によって生じるワイヤ電極１１とテーブル２上
に設置された被加工物９の間の熱変位によって生じる位
置ずれを抑制でき、加工精度の向上が可能となる。
【００３８】図１２は図１のワイヤ放電加工装置を環境
試験室２５の内部に設置し、周囲温度を１２時間かけて
一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて一定勾
配で３度降下させたときの図１のワイヤ放電加工装置本
体の各部の１２時間後の温度変化量である。図１２
（ａ）は図１のワイヤ放電加工装置において、送風機２
４をとめた状態で上部アーム部材１８に加工液１５を循
環させた図１のワイヤ放電加工装置本体各部の１２時間
後の温度変化量である。図１２（ｂ）は図１のワイヤ放
電加工装置において、送風機２４を稼働した状態で上部
アーム部材１８に加工液１５を循環させた図１のワイヤ
放電加工装置本体各部の１２時間後の温度変化量であ
る。送風機２４で空気を送風することにより、ワイヤ放
電加工装置本体の各部の１２時間後の温度変化量が均一
にできている。
試験室２５の内部に設置し、周囲温度を１２時間かけて
一定勾配で３度上昇させ、その後１２時間かけて一定勾
配で３度降下させたときの図１のワイヤ放電加工装置本
体の各部の１２時間後の温度変化量である。図１２
（ａ）は図１のワイヤ放電加工装置において、送風機２
４をとめた状態で上部アーム部材１８に加工液１５を循
環させた図１のワイヤ放電加工装置本体各部の１２時間
後の温度変化量である。図１２（ｂ）は図１のワイヤ放
電加工装置において、送風機２４を稼働した状態で上部
アーム部材１８に加工液１５を循環させた図１のワイヤ
放電加工装置本体各部の１２時間後の温度変化量であ
る。送風機２４で空気を送風することにより、ワイヤ放
電加工装置本体の各部の１２時間後の温度変化量が均一
にできている。
【００３９】送風機２４で図１のワイヤ放電加工装置本
体の温度変化量の全体でほぼ一様にできるため、熱膨張
係数と温度変化量できまるワイヤ放電加工装置全体の熱
変形による伸びを一様にすることができる。ワイヤ放電
加工装置の主要構造体をほぼ同様な熱膨張係数をもつ材
料で構成することにより、ベッド背面からほぼ同じ距離
にある上部ワイヤガイド６および下部ワイヤガイド８と
テーブル２の熱伸び量ををほぼ同一にできるので、上部
ワイヤガイド６および下部ワイヤガイド８の間のワイヤ
電極１１とテーブル２の上に設置された被加工物との間
の位置ずれを抑制することができる。
体の温度変化量の全体でほぼ一様にできるため、熱膨張
係数と温度変化量できまるワイヤ放電加工装置全体の熱
変形による伸びを一様にすることができる。ワイヤ放電
加工装置の主要構造体をほぼ同様な熱膨張係数をもつ材
料で構成することにより、ベッド背面からほぼ同じ距離
にある上部ワイヤガイド６および下部ワイヤガイド８と
テーブル２の熱伸び量ををほぼ同一にできるので、上部
ワイヤガイド６および下部ワイヤガイド８の間のワイヤ
電極１１とテーブル２の上に設置された被加工物との間
の位置ずれを抑制することができる。
【００４０】実施の形態２．図１３は本発明の第２の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置の温度センサ１４を囲
う断熱材のその他の構成例である。なお、本実施例にか
かるワイヤ放電加工装置の構成については、前述の図１
と同一の構成であり、詳細な説明を省略すると共に必要
に応じて参照する。
施形態に係るワイヤ放電加工装置の温度センサ１４を囲
う断熱材のその他の構成例である。なお、本実施例にか
かるワイヤ放電加工装置の構成については、前述の図１
と同一の構成であり、詳細な説明を省略すると共に必要
に応じて参照する。
【００４１】カバー部材２１はワイヤ放電加工装置本体
に取り付けられた温度センサ１４の外周に取り付けられ
た断熱材で構成されており、第１の実施形態と同じ構成
である。４１は温度センサ１４とワイヤ放電加工装置本
体のあいだに設けられた断熱材で、この断熱材４１によ
り、その厚みと材料を変更することで機械構造部材から
の熱の流れを任意に調整できるので、温度センサ１４の
感度を任意に設定することが可能である。上部アーム部
材１８と下部アーム部材７の熱伸び量は温度センサ１４
の検出温度に同調した加工液１５で制御できるので、上
部アーム部材１８と下部アーム部材７の熱伸びが調整可
能となる。断熱材４１の厚みを選択すれば、テーブル２
とワイヤ電極１１のあいだの熱伸び差を小さくすること
ができるので、高精度な加工が可能となる。なお、加工
液冷却装置１３で液温制御した加工液１５が下部アーム
部材７、テーブル２に接する構造を有するワイヤ放電加
工装置であれば、同様の効果が得られることはいうまで
もない。
に取り付けられた温度センサ１４の外周に取り付けられ
た断熱材で構成されており、第１の実施形態と同じ構成
である。４１は温度センサ１４とワイヤ放電加工装置本
体のあいだに設けられた断熱材で、この断熱材４１によ
り、その厚みと材料を変更することで機械構造部材から
の熱の流れを任意に調整できるので、温度センサ１４の
感度を任意に設定することが可能である。上部アーム部
材１８と下部アーム部材７の熱伸び量は温度センサ１４
の検出温度に同調した加工液１５で制御できるので、上
部アーム部材１８と下部アーム部材７の熱伸びが調整可
能となる。断熱材４１の厚みを選択すれば、テーブル２
とワイヤ電極１１のあいだの熱伸び差を小さくすること
ができるので、高精度な加工が可能となる。なお、加工
液冷却装置１３で液温制御した加工液１５が下部アーム
部材７、テーブル２に接する構造を有するワイヤ放電加
工装置であれば、同様の効果が得られることはいうまで
もない。
【００４２】実施の形態３．図１４は本発明の第３の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成はカ
バー部材２２および断熱材２３を除き前述の第１の実施
形態と同じ構成である。４２はワイヤ放電加工装置を囲
う内部が中空のカバー部材、４３はカバー部材４２内の
流体を循環させるための流体循環装置、４４は流体循環
装置４３で循環させた流体を温度制御する温度制御ユニ
ットである。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成はカ
バー部材２２および断熱材２３を除き前述の第１の実施
形態と同じ構成である。４２はワイヤ放電加工装置を囲
う内部が中空のカバー部材、４３はカバー部材４２内の
流体を循環させるための流体循環装置、４４は流体循環
装置４３で循環させた流体を温度制御する温度制御ユニ
ットである。
【００４３】温度制御ユニット４４によって温度制御さ
れた流体が循環装置４３によってカバー部材４２内を循
環するので、適当な流量を循環させることによりカバー
部材４２の温度はほぼ一定に保つことができる。これに
より、カバー部材４２の外側と内側が熱的に遮断される
ので、周囲環境の温度の変化によるカバー部材４２の内
側の温度変化を抑制できる。従って、周囲環境の温度の
変化によって生じるワイヤ放電加工装置本体の熱変形を
小さくすることができ、加工精度を向上させることがで
きる。
れた流体が循環装置４３によってカバー部材４２内を循
環するので、適当な流量を循環させることによりカバー
部材４２の温度はほぼ一定に保つことができる。これに
より、カバー部材４２の外側と内側が熱的に遮断される
ので、周囲環境の温度の変化によるカバー部材４２の内
側の温度変化を抑制できる。従って、周囲環境の温度の
変化によって生じるワイヤ放電加工装置本体の熱変形を
小さくすることができ、加工精度を向上させることがで
きる。
【００４４】実施の形態４．図１５は本発明の第４の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、
前述の第３の実施形態のカバー部材４２の周囲に断熱材
４５を取り付けた構成である。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、
前述の第３の実施形態のカバー部材４２の周囲に断熱材
４５を取り付けた構成である。
【００４５】断熱材４５の断熱効果により、カバー部材
周囲の空気とカバー部材４２との単位時間あたりの熱の
授受を低減できるので、カバー部材４２の内部を効率よ
く高精度に温度を一定に保つことができる。従って、周
囲環境の温度の変化によって生じるワイヤ放電加工装置
本体の熱変形を小さくすることができる。
周囲の空気とカバー部材４２との単位時間あたりの熱の
授受を低減できるので、カバー部材４２の内部を効率よ
く高精度に温度を一定に保つことができる。従って、周
囲環境の温度の変化によって生じるワイヤ放電加工装置
本体の熱変形を小さくすることができる。
【００４６】実施の形態５．図１６は本発明の第５の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、
前述の第１の実施形態のカバー部材２０と断熱材２１か
らなるカバー部材の内側に伸縮可能なしきり部材４６を
設けた構造である。カバー部材２２の内側において、加
工槽１０とワイヤ放電加工装置の主要構造体をしきる構
造である。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。本実施例にかかるワイヤ放電加工装置の構成は、
前述の第１の実施形態のカバー部材２０と断熱材２１か
らなるカバー部材の内側に伸縮可能なしきり部材４６を
設けた構造である。カバー部材２２の内側において、加
工槽１０とワイヤ放電加工装置の主要構造体をしきる構
造である。
【００４７】しきり部材４６は、テーブル２に被加工物
９を設置するときにカバー部材２２の扉から流入する周
囲空気がコラム４、サドル３、ベッド１のワイヤ放電加
工装置の主要構造体に直接あたらないように、カバー部
材２２の扉を開けたときに少なくともコラム４、サドル
３、ベッド１からなる主要構造体をカバー部材２２およ
び断熱材２３としきり部材４６で覆うように構成してい
るので、周囲空気の直接の流入を遮断することができ、
これによりカバー部材２２の扉を開けたときのワイヤ放
電加工装置の主要構造体の温度変化を抑制できる。従っ
て、ワイヤ放電加工装置の主要構造体の熱変形の発生を
小さくすることができ、加工精度が向上できる。
９を設置するときにカバー部材２２の扉から流入する周
囲空気がコラム４、サドル３、ベッド１のワイヤ放電加
工装置の主要構造体に直接あたらないように、カバー部
材２２の扉を開けたときに少なくともコラム４、サドル
３、ベッド１からなる主要構造体をカバー部材２２およ
び断熱材２３としきり部材４６で覆うように構成してい
るので、周囲空気の直接の流入を遮断することができ、
これによりカバー部材２２の扉を開けたときのワイヤ放
電加工装置の主要構造体の温度変化を抑制できる。従っ
て、ワイヤ放電加工装置の主要構造体の熱変形の発生を
小さくすることができ、加工精度が向上できる。
【００４８】実施の形態６．図１７は本発明の第６の実
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。４７は、テーブル２上に被加工物を設置するため
に開かれるカバー部材２２の扉の入り口に設置した送風
機である。
施形態に係るワイヤ放電加工装置のカバー部材の構成で
ある。４７は、テーブル２上に被加工物を設置するため
に開かれるカバー部材２２の扉の入り口に設置した送風
機である。
【００４９】送風機４５は、カバー部材２２の扉の入り
口においてカバー部材２２の外側と内側を仕切るように
カバー部材２２内の空気を吹き出すことにより、カバー
部材２２の内側への外気の流入を防止することができ
る。従って、周囲空気によるカバー部材２２内の温度変
化を小さくできるので、ワイヤ放電加工装置本体の温度
変化を防止することができる。これにより、ワイヤ放電
加工装置本体の温度変化により生じる熱変形の発生を小
さくすることができ、加工精度を向上させることができ
る。
口においてカバー部材２２の外側と内側を仕切るように
カバー部材２２内の空気を吹き出すことにより、カバー
部材２２の内側への外気の流入を防止することができ
る。従って、周囲空気によるカバー部材２２内の温度変
化を小さくできるので、ワイヤ放電加工装置本体の温度
変化を防止することができる。これにより、ワイヤ放電
加工装置本体の温度変化により生じる熱変形の発生を小
さくすることができ、加工精度を向上させることができ
る。
【００５０】
【発明の効果】第１の発明によれば、上部アーム部材、
下部アーム部材および機械構造体の温度を同一にでき、
上部アーム部材、下部アーム部材、機械構造体の熱膨張
による変位量を均一にできるので、上部及び下部アーム
部材の間の熱伸び差および上部及び下部アーム部材間の
ワイヤと機械構造体本体に設置された被加工物の間の熱
伸び差の発生を抑制でき、該ワイヤガイドに支持されて
いるワイヤ電極の真直精度を向上させることができ、さ
らに上下のワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテ
ーブル上に設置した被加工物の相対位置ずれを抑制でき
る。その結果、該被加工物の加工精度を向上させること
ができる。また、機械本体の温度を測定する機械温度感
知手段と、前記上部アーム部材および下部アーム部材に
中空部を形成すると共に、上記機械温度感知手段から得
られた機械温度に同調するように温度制御した流体を前
記上部アーム部材および下部アーム部材の中空部に循環
させるように構成したので、簡単な構成の循環装置によ
って機械本体全体の温度を均一にすることができる。こ
れにより、流体を循環させるための装置の構成が簡単に
できるので、機械の製造にかかるコストを低減すること
ができる。
下部アーム部材および機械構造体の温度を同一にでき、
上部アーム部材、下部アーム部材、機械構造体の熱膨張
による変位量を均一にできるので、上部及び下部アーム
部材の間の熱伸び差および上部及び下部アーム部材間の
ワイヤと機械構造体本体に設置された被加工物の間の熱
伸び差の発生を抑制でき、該ワイヤガイドに支持されて
いるワイヤ電極の真直精度を向上させることができ、さ
らに上下のワイヤガイドの間に張られたワイヤ電極とテ
ーブル上に設置した被加工物の相対位置ずれを抑制でき
る。その結果、該被加工物の加工精度を向上させること
ができる。また、機械本体の温度を測定する機械温度感
知手段と、前記上部アーム部材および下部アーム部材に
中空部を形成すると共に、上記機械温度感知手段から得
られた機械温度に同調するように温度制御した流体を前
記上部アーム部材および下部アーム部材の中空部に循環
させるように構成したので、簡単な構成の循環装置によ
って機械本体全体の温度を均一にすることができる。こ
れにより、流体を循環させるための装置の構成が簡単に
できるので、機械の製造にかかるコストを低減すること
ができる。
【００５１】また、第２の発明によれば、従来の製品に
筐体を追加するだけで加工精度を向上させることができ
る。つまり、新たに上部アーム部材を交換することに比
べて簡単かつ低価格で第１の発明と同様の効果が得られ
る。
筐体を追加するだけで加工精度を向上させることができ
る。つまり、新たに上部アーム部材を交換することに比
べて簡単かつ低価格で第１の発明と同様の効果が得られ
る。
【００５２】また、第３の発明によれば、新たに加工液
用の温度制御ユニットを追加することなしに、上部アー
ム部材と下部アーム部材の温度を機械温度に同調させる
ことができ、その結果、低コストで第１及び第２の発明
と同様の効果を得ることができる。
用の温度制御ユニットを追加することなしに、上部アー
ム部材と下部アーム部材の温度を機械温度に同調させる
ことができ、その結果、低コストで第１及び第２の発明
と同様の効果を得ることができる。
【００５３】また、第４の発明によれば、加工液と機械
温度の温度差を小さくでき、その結果、加工液に直接触
れる部分とそれ以外の機械構造部の温度差によって生じ
る局所的な曲げ変形や熱伸び差の発生を抑制することが
でき、加工精度を向上させることができる。
温度の温度差を小さくでき、その結果、加工液に直接触
れる部分とそれ以外の機械構造部の温度差によって生じ
る局所的な曲げ変形や熱伸び差の発生を抑制することが
でき、加工精度を向上させることができる。
【００５４】また、第５の発明によれば、一般環境下に
おいて、周囲環境の温度変化の影響を小さくすることが
できるので、ワイヤ放電加工装置の加工精度を向上させ
ることができる。また、恒温室内で使用する場合でも、
恒温室への人の出入りや近接しておかれた他の装置等か
らの熱的外乱の影響を小さくできるので、装置の温度変
化を小さくできる。従って、構造各部の温度差や温度の
時間的変化の違いによって生じる上下のワイヤガイドの
位置ずれを小さくでき、加工精度を向上させることがで
きる。また、恒温室内の空調機の流入口からワイヤ放電
加工装置本体へ、直接温度制御された流体が当たるのを
防ぐことができるので、装置の温度の差を小さくでき、
装置本体の局所的な変形を抑制することができる。
おいて、周囲環境の温度変化の影響を小さくすることが
できるので、ワイヤ放電加工装置の加工精度を向上させ
ることができる。また、恒温室内で使用する場合でも、
恒温室への人の出入りや近接しておかれた他の装置等か
らの熱的外乱の影響を小さくできるので、装置の温度変
化を小さくできる。従って、構造各部の温度差や温度の
時間的変化の違いによって生じる上下のワイヤガイドの
位置ずれを小さくでき、加工精度を向上させることがで
きる。また、恒温室内の空調機の流入口からワイヤ放電
加工装置本体へ、直接温度制御された流体が当たるのを
防ぐことができるので、装置の温度の差を小さくでき、
装置本体の局所的な変形を抑制することができる。
【００５５】また、第６の発明によれば、恒温室への人
の出入り等の熱的外乱による室温の変化がワイヤ放電加
工装置へ及ぼす影響を小さくでき、上部および下部アー
ム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制すること
ができる。これにより、上部及び下部ワイヤガイドの間
に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物
の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を
向上させることができる。
の出入り等の熱的外乱による室温の変化がワイヤ放電加
工装置へ及ぼす影響を小さくでき、上部および下部アー
ム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制すること
ができる。これにより、上部及び下部ワイヤガイドの間
に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物
の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を
向上させることができる。
【００５６】また、第７の発明によれば、ワイヤ放電加
工装置本体の温度分布を一様にできる。その結果、上部
アーム部材、下部アーム部材、テーブルの熱膨張による
変位量を均一にでき、上部および下部ワイヤガイドの間
に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物
の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を
向上させることができる。
工装置本体の温度分布を一様にできる。その結果、上部
アーム部材、下部アーム部材、テーブルの熱膨張による
変位量を均一にでき、上部および下部ワイヤガイドの間
に張られたワイヤ電極とテーブル上に設置した被加工物
の相対位置のずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を
向上させることができる。
【００５７】また、第８の発明によれば、恒温室への人
の出入り等の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテ
ーブルに設置するときに流入する外気が及ぼす装置への
影響を小さくできる。これにより、上部アーム部材、下
部アーム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制で
きるので、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワ
イヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置の
ずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向上させるこ
とができる。
の出入り等の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテ
ーブルに設置するときに流入する外気が及ぼす装置への
影響を小さくできる。これにより、上部アーム部材、下
部アーム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制で
きるので、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワ
イヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置の
ずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向上させるこ
とができる。
【００５８】また、第９の発明によれば、恒温室への人
の出入り等の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテ
ーブルに設置するときに流入する外気が及ぼす装置への
影響を小さくできる。これにより、上部アーム部材、下
部アーム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制で
きるので、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワ
イヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置の
ずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向上させるこ
とができる。
の出入り等の熱的外乱による室温の変化や被加工物をテ
ーブルに設置するときに流入する外気が及ぼす装置への
影響を小さくできる。これにより、上部アーム部材、下
部アーム部材、テーブルの熱膨張による変位量を抑制で
きるので、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワ
イヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置の
ずれを抑制でき、該被加工物の加工精度を向上させるこ
とができる。
【００５９】また、第１０の発明によれば、下部アーム
部材、または上部および下部アーム部材の膨張による伸
び量を制御できるので、上部および下部アーム部材それ
ぞれの先端に保持されている上部及び下部ワイヤガイド
の相対位置のずれを抑制でき、該ワイヤガイドに支持さ
れているワイヤ電極の真直精度を向上させることができ
る。その結果、加工精度を向上させることができる。ま
た、断熱材で構成された部材を１つ追加するだけなの
で、従来装置の加工精度をわずかなコストで、かつ、簡
単に向上させることができる。
部材、または上部および下部アーム部材の膨張による伸
び量を制御できるので、上部および下部アーム部材それ
ぞれの先端に保持されている上部及び下部ワイヤガイド
の相対位置のずれを抑制でき、該ワイヤガイドに支持さ
れているワイヤ電極の真直精度を向上させることができ
る。その結果、加工精度を向上させることができる。ま
た、断熱材で構成された部材を１つ追加するだけなの
で、従来装置の加工精度をわずかなコストで、かつ、簡
単に向上させることができる。
【００６０】また、第１１の発明によれば、上部アーム
部材と下部アーム部材の膨張による伸び量の制御が可能
となり、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワイ
ヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置のず
れを抑制できるので、該被加工物の加工精度を向上させ
ることができる。
部材と下部アーム部材の膨張による伸び量の制御が可能
となり、上部及び下部ワイヤガイドの間に張られたワイ
ヤ電極とテーブル上に設置した被加工物の相対位置のず
れを抑制できるので、該被加工物の加工精度を向上させ
ることができる。
【００６１】また、第１２の発明によれば、床面に凸凹
があってもカバー部材内への気流の流出入を防ぐことが
でき、カバー部材内の温度変化を小さくすることができ
る。これによりワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小
さくできるので、該ワイヤ放電加工装置の加工精度を向
上させることができる。
があってもカバー部材内への気流の流出入を防ぐことが
でき、カバー部材内の温度変化を小さくすることができ
る。これによりワイヤ放電加工装置本体の熱変形量を小
さくできるので、該ワイヤ放電加工装置の加工精度を向
上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
の構成図である。
の構成図である。
【図２】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
における上部アーム部材の構成図である。
における上部アーム部材の構成図である。
【図３】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
における温度センサのカバーの構成図である。
における温度センサのカバーの構成図である。
【図４】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
におけるカバーの構成図である。
におけるカバーの構成図である。
【図５】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
における他のカバーの構成図である。
における他のカバーの構成図である。
【図６】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
における送風機の構成図である。
における送風機の構成図である。
【図７】 本発明の実施の形態１の効果を確認するため
に用いた環境試験室の構成図である。
に用いた環境試験室の構成図である。
【図８】 本発明の実施の形態１の効果を確認するため
に用いた精密測定器の構成図である。
に用いた精密測定器の構成図である。
【図９】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装置
の上部及び下部ノズルの変位のずれを精密測定器で測定
した結果を示す図である。
の上部及び下部ノズルの変位のずれを精密測定器で測定
した結果を示す図である。
【図１０】 本発明の実施の形態１の装置本体の温度を
測定した結果を示す図である。
測定した結果を示す図である。
【図１１】 本発明の実施の形態１のワイヤ放電加工装
置の上部及び下部ノズルの変位のずれを精密測定器で測
定した結果を示す図である。
置の上部及び下部ノズルの変位のずれを精密測定器で測
定した結果を示す図である。
【図１２】 本発明の実施の形態１の装置本体の温度変
化の分布を測定した結果を示す図である。
化の分布を測定した結果を示す図である。
【図１３】 本発明の実施の形態２におけるの温度セン
サのカバーの構成図である。
サのカバーの構成図である。
【図１４】 本発明の実施の形態３のワイヤ放電加工装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図１５】 本発明の実施の形態４のワイヤ放電加工装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図１６】 本発明の実施の形態５のワイヤ放電加工装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図１７】 本発明の実施の形態６のワイヤ放電加工装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図１８】 第１の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図１９】 第２の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２０】 第３の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２１】 第４の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２２】 第５の従来例のワイヤ放電加工装置の構成
図である。
図である。
【図２３】 従来のワイヤ放電加工装置を設置している
恒温室内の温度を測定した結果を示す図である。
恒温室内の温度を測定した結果を示す図である。
【符号の説明】 ４ コラム、６ 上部ワイヤガイド、７ 下部アーム部
材、８ 下部ワイヤガイド、９ 被加工物、 １１ ワ
イヤ電極、１４ 温度センサ、１８ 上部アーム部材、
２２、２１、４０ カバー部材、２３、４３ 断熱材、
２４ 送風機、４４ しきり部材、９６ 可とう体
材、８ 下部ワイヤガイド、９ 被加工物、 １１ ワ
イヤ電極、１４ 温度センサ、１８ 上部アーム部材、
２２、２１、４０ カバー部材、２３、４３ 断熱材、
２４ 送風機、４４ しきり部材、９６ 可とう体
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１３】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１４】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１５】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１６】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１７】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１８】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２０】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２２】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 誠 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 毛呂 俊夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (12)
- 【請求項１】 被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在
に支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備え
られたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向に
移動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、他
端にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端がコ
ラムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下部
アームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供給
しつつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、前
記ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機械
温度感知装置と、前記ビーム部材および下部アームを中
空に形成すると共に、上記機械温度感知装置から得られ
た機械温度に同調するように温度制御した流体を前記ビ
ーム部材および下部アームの内部に循環させることを特
徴とするワイヤ放電加工装置。 - 【請求項２】 被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在
に支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備え
られたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向に
移動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、他
端にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端がコ
ラムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下部
アームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供給
しつつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、前
記ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を検出する機械
温度感知装置と、前記下部アームを中空に形成し、ビー
ム部材の外面に接するよう筐体を設置すると共に、上記
機械温度感知装置から得られた機械温度に同調するよう
に温度制御した流体を前記筐体内部および下部アームの
内部に循環させることを特徴とするワイヤ放電加工装
置。 - 【請求項３】 ビーム部材および下部アームの中空、ま
たはビーム部材外面の筐体内部および下部アームの中空
に循環する流体が、機械温度感知装置から得られた機械
温度に同調するように温度制御された加工液であること
を特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載のワイヤ
放電加工装置。 - 【請求項４】 被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自在
に支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備え
られたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向に
移動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、他
端にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端がコ
ラムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下部
アームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供給
しつつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、前
記ワイヤ放電加工装置の機械本体の温度を測定する機械
温度感知装置と、上記機械温度感知装置から得られた機
械温度に同調するように温度制御した流体をノズルから
加工部に供給される加工液であることを特徴とするワイ
ヤ放電加工装置。 - 【請求項５】 ワイヤガイドにより被加工物の上下で摺
動可能に支持されたワイヤ電極と被加工物間の微小間隙
で加工液を介し放電加工を行うワイヤ放電加工装置にお
いて、断熱部材で構成されたカバーにて装置の一部また
は装置全体を囲うことを特徴とするワイヤ放電加工装
置。 - 【請求項６】 カバーにて装置の一部または装置全体を
囲うことを特徴とした請求項５記載のワイヤ放電加工装
置において、カバー部材の内部に温度制御された流体が
循環させることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 【請求項７】 カバーにて装置の一部または装置全体を
囲うことを特徴とした請求項５から請求項６に記載のワ
イヤ放電加工装置において、カバーの内側の流体が撹拌
されることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 【請求項８】 カバーにて装置の一部または装置全体を
囲うことを特徴とした請求項５から請求項７のいずれか
に記載のワイヤ放電加工装置において、カバーの扉の入
り口においてカバー内側の流体が入り口を塞ぐように循
環されることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 【請求項９】 カバーにて装置の一部または装置全体を
囲うことを特徴とした請求項５から請求項８のいずれか
に記載のワイヤ放電加工装置において、カバーの内側に
加工槽およびカバーの扉を含む空間とその他の空間とを
しきるしきり部材を有することを特徴とするワイヤ放電
加工装置。 - 【請求項１０】 被加工物の上下でワイヤ電極を摺動自
在に支持するワイヤガイドと、前記ワイヤガイド部に備
えられたノズルと、一端がコラムと一体または上下方向
に移動可能で、水平方向に張り出し構成されると共に、
他端にワイヤガイド上部を備えるビーム部材と、一端が
コラムに固定され、他端にワイヤガイド下部を備える下
部アームを備え、前記ノズル部から加工部へ加工液を供
給しつつ放電加工を行うワイヤ放電加工装置において、
前記加工液を制御するための機械温度感知装置の周囲に
断熱材で構成されたカバーを有することを特徴とするワ
イヤ放電加工装置。 - 【請求項１１】 前記加工液を制御するための機械温度
感知装置の周囲に断熱材で構成されたカバーを有するこ
とを特徴とする請求項１から請求項１０のいれかに記載
のワイヤ放電加工装置。 - 【請求項１２】 床面とカバーの間を塞ぐ可とう体を有
することを特徴とする請求項５から請求項１１のいずれ
かに記載のワイヤ放電加工装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9131263A JPH10315057A (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | ワイヤ放電加工装置 |
| TW086114153A TW344689B (en) | 1997-05-21 | 1997-09-27 | Wire discharge cutting device |
| US08/978,583 US6008461A (en) | 1997-05-21 | 1997-11-26 | Wire electrode discharge machining apparatus |
| DE19756195A DE19756195B4 (de) | 1997-05-21 | 1997-12-17 | Drahtelektroden-Entladungsbearbeitungsgerät |
| CH02943/97A CH692186A5 (fr) | 1997-05-21 | 1997-12-22 | Machine d'usinage par électroérosion à fil. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9131263A JPH10315057A (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | ワイヤ放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10315057A true JPH10315057A (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15053845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9131263A Pending JPH10315057A (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | ワイヤ放電加工装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6008461A (ja) |
| JP (1) | JPH10315057A (ja) |
| CH (1) | CH692186A5 (ja) |
| DE (1) | DE19756195B4 (ja) |
| TW (1) | TW344689B (ja) |
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| JP2012200854A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ワイヤ放電加工機、ヘッド制御方法、及びそのプログラム |
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| CN108971677A (zh) * | 2018-09-12 | 2018-12-11 | 南京航空航天大学 | 极间温度梯度差辅助电解切割加工方法 |
| JP2021194743A (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-27 | 株式会社ソディック | ワイヤ放電加工装置 |
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- 1997-05-21 JP JP9131263A patent/JPH10315057A/ja active Pending
- 1997-09-27 TW TW086114153A patent/TW344689B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-11-26 US US08/978,583 patent/US6008461A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-17 DE DE19756195A patent/DE19756195B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-22 CH CH02943/97A patent/CH692186A5/fr not_active IP Right Cessation
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| DE19756195A1 (de) | 1998-11-26 |
| DE19756195B4 (de) | 2006-03-23 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050713 |