JPH0482649A

JPH0482649A - 工作機械の姿勢制御装置

Info

Publication number: JPH0482649A
Application number: JP19847990A
Authority: JP
Inventors: Yotaro Hatamura; 洋太郎畑村
Original assignee: Hamai Co Ltd
Current assignee: Hamai Co Ltd
Priority date: 1990-07-24
Filing date: 1990-07-24
Publication date: 1992-03-16
Anticipated expiration: 2010-05-31
Also published as: JPH0749181B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、マシニング・センタ等の工作機械におけるツ
ール駆動部等の温度上昇や、ツールの加工反力を原因と
したツールの位Ｍ変位による加工精度の悪化を防止する
とともに、さらにより精密な加工が実現できる工作機械
の姿勢制御装置に関する。

（従来の技術）従来、マシニング・センタ等の工作機械では、ワーク加
工中にツールの駆動モータやその減速機構部の発熱がヘ
ッド部およびヘッド部を支持するコラム部に伝えられ、
これら伝熱された各部はその上昇温度に応じて熱膨張す
る。また、ワークの加工中はツールに加工反力が発生し
て、ツールを支持するヘッド部およびコラム部にその反
力に応して微小な弾性変形が発生する。これら熱膨張や
弾性変形が発生すると、ツールの位置が微小に変化して
加工精度が低下する。第８図はその梯子を模式的に示し
た説明図である０図では、ツール１およびヘッド部２に
設置されたツール駆動用モータ３の発熱がヘッド部２か
らコラム部４へ伝播し、コラム部４に温度勾配を生じて
右側がより熱膨張し全体的に左側に反ってしまう、その
結果、ツール１は正規のレベルＬ０からレベルＬ、の位
置にずれて、加工精度に悪影響を与えることになる。

これらの対策として従来は、ツール１が取付けられてい
るヘッド部２内に冷却オイルや冷却水を循環させて発熱
原因である駆動モータ３やその減速機構部等を冷却して
、熱膨張による影響を解消しようとしている。

また、他の解決策として、発熱の度合いに応じてヘッド
部２の座標をＮＣ制御により補正することもある。さら
には、コラム部４の左側背面の一部にカウンターヒータ
５を設置し、コラム部４への伝熱に応じて加熱し、温度
勾配を除去することにより反りを打ち消すことが試みら
れている。

（発明が解決しようとするａｍ＞しかしながら、これらの解決策は、稼働中の発熱により
ツールに生じた変位を正確に検出することが困難であり
、また、その検出した変位値も稼働状況により絶えず変
動するため応答性の面で劣り、常に最適な補正をするこ
とが不可能である。

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
その目的とするところは、工作機械をはじめとする各種
産業機械における位置制御の際に問題になっている、熱
膨張や弾性変化を原因とした微小変位を根本的に補正す
るとともに、より精密な位置制御を可能にした工作機械
の姿勢制御装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するために、第１の発明は、ツールを把
持および駆動するヘッド部を固定台座に取付は支持する
中空状コラム部の周方向に互いに対向して１対以上配置
され、コラム部壁面を加熱または冷却して熱変位を発生
させるコラム部用熱アクチュエータと、コラム部用熱ア
クチュエータが取付けられたコラム部壁面に設置され、
温度変化、ツールの加工反力等により発生するコラム部
壁面の変位を検出する変位センサと、変位センサの検出
値にもとづいて、予め設定されているツ−ル位置を保持
するようにコラム部を伸縮させる熱アクチュエータ制御
信号を出力する制御部とを備えたことを特徴とする。

第２の発明は、ツールを把持および駆動するヘッド部を
固定台座に取付は支持する中空状コラム部の周方向に互
いに対向して１対以上配置され、コラム部壁面を加熱ま
たは冷却して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュ
エータと、ヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツール
の加工反力等により発生するヘッド部壁面の変位を検出
する変位センサと、コラム部用熱アクチュエータが取付
けられたコラム部壁面に設置され、温度変化、ツールの
加工反力等により発生するコラム部壁面の変位を検出す
る変位センサと、各変位センサの検出値にもとづいて、
予め設定されているツール位置を保持するようにコラム
部を伸縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力する制
御部とを備えたことを特徴とする。

第３の発明は、ツールを把持および駆動するヘッド部の
周方向に互いに対向して１対以上配置され、・＼ラド部
壁面を加熱または冷却して熱変位を発生させるヘッド部
用熱アクチュエータと、ヘッド部を固定台座に取付は支
持する中空状コラム部の周方向に互いに対向して１対以
上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却して熱変位
を発生させるコラム部用熱アクチュエータと、ヘッド部
用熱アクチュエータが取付けられたヘッド部壁面に設置
され、温度変化、ツールの加工反力等により発生するヘ
ッド部壁面の変位を検出する変位センサと、コラム部用
熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁面に設置さ
れ、温度変化、ツールの加工反力等により発生するコラ
ム部壁面の変位を検出する変位センサと、各変位センサ
の検出値にもとづいて、予め設定されているツール位置
を保持するようにコラム部およびヘッド部をそれぞれ伸
縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力する制御部と
を備えたことを特徴とする。

（作　用）第１の発明においては、コラム部壁面に温度変化やツー
ルの加工反力等により変位が発生するとコラム部壁面に
設置されている変位センサによりその変位が検出される
。次いで、検出された変位値に応じて制御部からコラム
部用熱アクチュエータの制御信号が出力され、コラム部
壁面がコラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷
却される。その結果、コラム部の壁面が伸縮制御されて
、ツールが所定の位置に保持される。

第２の発明においては、ヘッド部およびコラム部壁面に
温度変化やツールの加工反力等により変位が発生すると
ヘッド部およびコラム部壁面に設置されている変位セン
サによりその変位が検出される。次いで、検出された変
位値に応じて制御部からコラム部用熱アクチュエータの
制御信号が出力され、コラム部壁面がコラム部用熱アク
チュエータにより加熱または冷却される。その結果、コ
ラム部の壁面が伸縮制御されて、ツールが所定の位置に
保持される。

第３の発明においては、ヘッド部およびコラム部壁面に
温度変化やツールの加工反力等により変位が発生すると
ヘッド部およびコラム部壁面に設置されている変位セン
サによりその変位が検出される。次いで、検出された変
位値に応じて制御部から各熱アクチュエータの制御信号
が出力され、ヘッド部およびコラム部壁面がそれぞれの
熱アクチュエータにより加熱または冷却される。その結
果、ヘッド部およびコラム部の壁面が伸縮制御されて、
ツールが所定の位置に保持される。

（実施例）以下、図に沿って本発明の詳細な説明する。

第１図は第１および第２の発明をマシニング・センタに
適用した実施例の断面図であり、第２図は第１図の■−
■線上の断面図である。

図において、基台６上に固定されたコラム部１４は中空
に形成され、内部にヘッド部１２のバランスウェイト７
が吊り下げられている。ヘッド部１２はコラム部１４の
前面に形成されたガイド部により上下動自在に支持され
るとともに、コラム部１４の上部に取り付けられたサー
ボモータ１５、およびポールスクリュウ１６により上下
方向の位置制御がおこなわれる。また、ヘッド部１２の
下面光端にはツール取付は部１７が配設され加工作業に
応じたツール１１が着脱自在に把持される。

ツール１１は、へンド部１２の上部に設置されているモ
ータ１３により、図示しない減速機構を介して駆動され
る。

ワークＷはテーブル１８上に固定され、駆動機構部８に
よりテーブル１８がＸ、　Ｙ方向に移動されながらツー
ル１１により加工される。

また、コラム部１４は、中空の角柱状に形成され内部周
方向にリブが一定間隔で形成されており、リブにより区
分された区画部のうち下方基台６よりに形成されている
２段の区画部の内周面に熱アクチュエータ２１〜２８．
３１〜３Ｂが設置される。二〇熱アクチュエータは電子
冷却・加熱が可能な熱半導体素子により構成され、電流
方向を変えることにより壁面との接触面を加熱、冷却の
何れにも変更できる。さらに、熱アクチュエータ２１〜
２８．３１〜３８がそれぞれ設置されている区画の境界
およびその上下のリブが形成されている位置のコラム部
１４の部材中の周方向に流路１９．２９．３９が形成さ
れ、区画間を熱絶縁するために所定温度のオイルが循環
される。また、第２図の上・下両辺に相当するコラム部
１４の両側面の端部には、それぞれ歪みゲージ等からな
る温度補償付きの変位センサＳ１〜Ｓ４が取付けられ、
コラム部１４の伸縮による変位量を検出する。検出され
た変位量は、図示しない制御部に入力された後、その変
位量に応じて、上下段に配設された１６個の熱アクチュ
エータ２１〜２８．３１〜３８に供給する電流方向を個
別に制御する。なお、第２の発明の場合、後述する第３
の発明の実施例におけるヘッド部１２における変位セン
サＳ５〜Ｓ１０が検出した変位量についても、制御部に
入力され、その変位量も加味して熱アクチュエータ２１
〜２８．３１〜３８の動作を制御する。このようにして
、コラム部１４の熱アクチュエータが設置されている壁
面が加熱または冷却されると、その温度に応じて伸縮量
が適宜調整され、モータ１３等の発熱およびツール１１
の加工反力による弾性変形が合成されて、ツール１１に
発生する位置変位が補正される。その結果、ツール１１
は、本来の位置を精密に保持されることになり、従来に
増した精度で加工をおこなうことができる。

第３図は第３の発明をマシニング・センタに適用した実
施例の要部の外観図であり、第４図は第３図の横断面図
であり、第５図は第４図のＶ　−Ｖ線上の断面図である
。

第３の発明の実施例が第１の発明の実施例と異なる部分
は、ヘッド部１２にも熱アクチュエータおよび断熱部を
設置するとともに、コラム部１４およびヘッド部１２に
設置する熱アクチュエータを電熱ヒータとオイルジャケ
ットの組合せにより構成したことである。具体的には、
第１図の実施例と同様にコラム部１４において一定間隔
で形成されたリブにより区分された下方基台６よりの下
段の区画部の外周面に冷却用の熱アクチュエータ４１ａ
〜４８ａが、同じく上段に冷却用の熱アクチュエータ５
１ａ〜５８ａがそれぞれ設置される。

これら各段の熱アクチュエータ４１ａ〜４８ａ５１ａ〜
５８ａはオイルジャケットにより形成され、図示されな
い別置きのオイルクーラから供給される低温のオイルが
循環されて、熱アクチュエータ４１ａ〜４８ａ、５１ａ
　〜５８ａが低温となり、これらと接触するコラム部１
４の壁面を冷却する。また、これらの熱アクチュエータ
４１ａ〜４８ａ、５１ａ〜５８ａに相対してコラム部１
４の内周面には加熱用の熱アクチュエータ４１ｂ〜４８
ｂ、５１ｂ〜５８ｂが下段、上段にそれぞれ設置される
。これらの熱アクチュエータ４１ｂ〜４８ｂ、５１ｂ〜
５８ｂは、面状の電熱ヒータにより形成され、電流が供
給されることにより、熱アクチュエータ４１ｂ〜４８ｂ
、５１ｂ〜５８ｂが発熱して高温となり接触するコラム
部１４の壁面を加熱する。

これらのそれぞれ対をなす加熱または冷却用の熱アクチ
ュエータ４１ａ、４　ｌ　ｂ　〜５８ａ、５８ｂは動作
の際、内外面の何れか一方が動作して取付けられている
ブロックを冷却または加熱する。

さらにコラム部１４の両側面の端部には、第４図に示す
ように、変位センサＳ１〜Ｓ４が取付けられ、コラム部
１４の軸方向の変位量を検出する。

また、ヘッド部１２は中空のフレームにより形成され、
フレームの上下２段外周部に冷却用の熱アクチュエータ
６２ａ〜５７ａ、７２ａ〜７７ａがそれぞれ設置され、
同時に、フレーム内周４面の上下２段に加熱用の熱°ア
クチュエータ６１ｂ〜６８ｂ、７１ｂ〜７８ｂがそれぞ
れ設置されている。さらにコラム部１４よりのフレーム
部材の内部に、ヘッド部１２とコラム部１４とを熱絶縁
するため、冷却オイル循環用の流路６９が水平方向に等
間隔に形成されている。

これら冷却用の熱アクチュエータ６２ａ〜６７ａ、７２
ａ〜７７ａも、コラム部１４と同様にオイルジャケット
により形成され、また、加熱用の熱アクチュエータ６１
ｂ〜６８ｂ、７１ｂ〜７８ｂも同様に面状の電熱ヒータ
により形成され、それぞれ低温オイルまたは電流が供給
されることにより、接触するヘッド部１２の各ブロック
を冷却または加熱する。さらに、第３図に示されるヘッ
ド部１２の側面に配置された熱アクチュエータ６６ａ、
６７ａ、７６ａ、７７ａ相互の中心位置、および上下端
に、それぞれ水平方向に配置された歪みゲージ等からな
る温度補償付きの変位センサＳ５〜Ｓ７が取付けられ、
同様に図示しない後面にも同位置に変位センサＳ８〜Ｓ
ＩＯが取付けられてヘッド部１２に発生する変位量を検
出する。

変位センサＳ５〜Ｓ１０が検出した変位量は、図示しな
い制御部に入力された後、その変位量に応して各熱アク
チュエータ６２ａ〜６７ａ、７２ａ〜７７ａ、６１ｂ　
〜６８ｂ、７１ｂ　〜７８ｂの加熱または冷却を制御し
て、熱アクチュエータが設置されているヘッド部１２の
各面をブロックごとに加熱または冷却することにより伸
縮量を適宜調整してツール１１の先端に発生する変位を
補正し、ツール１１の本来の位置を保持して加工をおこ
なうことができる。

第６図は、上述した第１または第２の発明の実施例にお
いて、コラム部１４の各熱アクチュエータの動作を組合
せた制御モードの代表的な例を示すものである０図中、
“Ｃ”と表示したアクチュエータは冷却中を、′Ｈ″と
表示したアクチュエータは加熱中を表す。

図ａは上下段ともヘッド部側の右側を“Ｃ”と表示した
ように冷却し、左側を“Ｈ”と表示したように加熱した
モードであり、コラム部１４が右側に角度θＩ傾斜する
ことを示す。

図すは上下段ともヘッド部側の右側を加熱し、左側を冷
却したモードであり、コラム部１４が左側に角度θ２傾
斜することを示す。

図Ｃは上段の右側を加熱、左側を冷却し、下段の右側を
冷却、左側を加熱したモードであり、コラム部１４が右
側にほぼ平行に距離ｌＩ移動することを示す。

図ｄは上段の右側を冷却、左側を加熱し、下段の右側を
加熱、左側を冷却したモードであり、コラム部１４が左
側へほぼ平行に距離ｉｔ移動することを示す。

なお、上記の４例の制御モードは、図面手前側と背面側
との間で対応する熱アクチュエータの加熱、冷却を同一
にした例である。これらの組合せモード以外に、コラム
部１４における熱アクチュエータの設置数が１６個であ
ることから、各熱アクチュエータの加熱・冷却の組合せ
は多数となり、変位センサ５ｌ−３４の検出値、または
変位センサＳ１〜Ｓ４の検出値および変位センサＳ５〜
Ｓ１０の検出値に応じ、きめ細かい制御が可能になる。

第７図は、同様に第３の発明の実施例に取り付けられた
ヘッド部１２における熱アクチュエータの動作を組合せ
た制御モードの代表的な例を示すものである。

図ａはヘッド部１２の上段側の熱アクチュエータを両方
冷却し、下側を両方加熱したモードであり、ヘッド部１
２が反時計方向に角度θ、傾斜することを示す。

図すは上段側の熱アクチュエータを両方加熱し、下側を
両方冷却したモードであり、ヘッド部１２が時計方向に
角度θ４傾斜することを示す。

図Ｃは上段左側と下段右側を冷却し、上段右側と下段左
側を加熱したモードであり、ツール取付け部１７の下端
が上方へほぼ平行に距離２．移動することを示す。

図ｄは上段左側と下段右側を加熱し、上段右側と下段左
側を冷却したモードであり、ツール取付は部１７の下端
が下方へほぼ平行に距＊　ｉ　４移動することを示す。

なお、上記の４例の制御モードは、図面手前側と背面側
との間で対応する熱アクチュエータの加熱、冷却を同一
にした例である。これらの組合せモード以外に、ヘッド
部１２における熱アクチュエータの設置数が１６個であ
ることから、各熱アクチュエータの加熱・冷却の組合せ
は多数となり、変位センサＳ５〜３１０の検出値に応じ
、きめ細かい制御が可能になる。

なお、この第３の発明の実施例に示したマシニング・セ
ンタは、ヘッド部１２が駆動用のモータ１３やその減速
機構部の発熱によるヘッド部１２の熱変形、およびワー
クＷの加工にともないツール１工に発生する加工反力に
よる不規則な弾性変形も合わせてセンサＳ５〜ＳＩＯに
より総合的に検出し、これらの変位量に応して各熱アク
チュエータの加熱・冷却を制御し、リアルタイムで変位
を補正・制御しながらワークＷの加工を進めることが可
能になる。

また、ヘッド部１２のコラム部１４側には、冷却オイル
循環用の流路６９が設置されて、雰囲気温度より若干低
温度の冷却オイルが常時供給される。それにより、ヘッ
ド部１２の発熱がコラム部１４への伝達が抑制され、コ
ラム部１４におけるヘッド部１２からの伝熱にもとづく
熱膨張および反りが防止される。

また、ヘッド部１２だけの制御で矯正できない変位や、
ヘッド部１２全体の変位、さらにはコラム部１４自体に
変位を生じるような場合は、コラム部１４自体でも同様
にセンサＳ１〜Ｓ４、さらにはセンサＳ５〜Ｓ１０の検
出値に応じて変位補正のための制御がおこなれる。この
とき、ヘッド部１２とコラム部１４との変位制御が組み
合わせられてツールの位置制御がおこなわれ、より高精
度な加工を実現することができる。

本出願人の寞験によると、第１図に示したマシニング・
センタの実施例において、雰囲気温度３５度、熱アクチ
ュエータの加熱温度を４５度、冷却温度を２５度の条件
で、各熱アクチュエータの動作を制御した結果、ツール
１１の先端位置を約３０μｍの範囲で制御できることが
確認できた。

なお、上記各実施例では、各熱アクチュエータの動作を
加熱または冷却だけとしたが、熱アクチュエータの位置
によっては加熱も冷却もしない中間の放！状態としたり
、また熱アクチュエータの設定温度を加熱部の高温度と
冷却部の冷温度の２点設定だけでなく連続的な中間温度
に設定して、より高精度の制御をおこなうことができる
。

また、実施例では主にツールモータ３０の発熱による熱
変形や加工反力による弾性変形を原因とする位置ずれを
、各熱アクチュエータにより補正する制御について説明
したが、さらに、上述したように加工時の各熱アクチュ
エータの動作を積極的に制御することにより、ツールの
位置制御をより精密に実行することもできる０例えば、
マシニング・センタで金型等を加工する場合に、この姿
勢制御装置を利用すると、従来列置不可能であったミク
ロンオーダの超精密な加工を実現することができる。

さらには、上記各実施例では、コラム部１４、ヘッド部
１２の各面に２個２段にしてそれぞれ４個の熱アクチュ
エータを設置しているが、各面１個２段にすることも可
能であり、また、設置される面の位置に応じても、熱ア
クチュエータの設置段数や設置個数を任意に組み合わせ
て制御することができる。

またさらには、工作機械を構成する主たる構造フレーム
の各部に温度センサを配設し、検出した全体の温度分布
にもとづく熱変位をも加味して各熱アクチュエータの制
御を実行することも可能であり、その場合、各熱アクチ
ュエータおよびそれに付属するセンサごとに個々に制御
する場合に比べてより精度が向上する。

また、熱アクチュエータを中空構造物の壁面に設置し熱
変位を生じさせて構造物の姿勢を制御するこれら発明は
、マシニング・センタ以外の各種工作機械の構造部にも
適用可能であり、同様に適用される各種工作機械の加工
精度をより向上させることができる。

（発明の効果）以上述べたように、第１の発明によれば、工作機械のコ
ラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により変位
が発生した場合でも、その変位に応じてコラム部壁面が
コラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷却され
てコラム部が伸縮制御される。その結果、ツールが所定
の位置に保持され従来の工作機械に比べ加工精度が著し
く向上する。

また、第２の発明によれば、工作機械のヘッド部および
コラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により変
位が発生した場合でも、それらの変位に応じてコラム部
壁面がコラム部用熱アクチュエータにより加熱または冷
却されてコラム部が伸縮制御され、ツールが所定の位置
に保持される。

その結果、従来の工作機械に比べ加工精度が著しく向上
する。

さらに、第３の発明によれば、工作機械のヘッド部およ
びコラム部壁面に温度変化やツールの加工反力等により
変位が発生した場合でも、それらの変位に応してヘッド
部およびコラム部壁面がそれぞれの熱アクチュエータに
より加熱または冷却されてヘッド部およびコラム部が伸
縮制御され、ツールが所定の位置に保持される。その結
果、従来の工作機械に比べ加工精度が著しく向上する。

さらには、第１および第２、第３の発明は、コラム部壁
面等に設置した熱アクチュエータを用い、ツール位置に
予め微小変位を発生させて加工することができるので、
従来の工作機械では実現できなかった超精密な加工が可
能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１および第２の発明をマシニング・センタに
適用した実施例の断面図、第２図は第１図の■−■線上
における断面図、第３図は第３の発明の実施例の要部の
外観図、第４図は第３図の横断面図、第５図は第４図の
Ｖ−■線上における断面図、第６図はコラム部の制御モ
ード例を示す説明図、第７図はヘッド部の制御モード例
を示す説明図、第８図は従来例における熱変位発生の説
明図である。１２・・・ヘッド部　１３・・・モータ　１４・・・コ
ラム部　１７・・・ツール取付は部　１９・・・流路２
９・・・流路　３９・・・流路　６９川流路２１〜２８
・・・熱アクチュエータ３１〜３８・・・熱アクチュエータ４１ａ〜４８ａ・・・冷却用の熱アクチュエータ４１ｂ
〜４８ｂ・・・加熱用の熱アクチュエータ５１ａ〜５８
ａ・・・冷却用の熱アクチュエータ５１ｂ〜５８ｂ・・
・加熱用の熱アクチュエータ６１ｂ〜６８ｂ・・・加熱
用の熱アクチュエータ６２ａ〜６７ａ・・・冷却用の熱
アクチュエータ７１ｂ〜７８ｂ・・・加熱用の熱アクチ
ュエータ７２ａ〜７７ａ・・・冷却用の熱アクチュエー
タ８１〜ＳＩＯ・・・温度補償付きの変位センサ第１図代　理　人　弁理士　　森　１）雄　−とに第図第図（ａン（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ツールを把持および駆動するヘッド部を固定台座
に取付け支持する中空状コラム部の周方向に互いに対向
して１対以上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却
して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュエータと
、コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されている
ツール位置を保持するようにコラム部を伸縮させる熱ア
クチュエータ制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。
（２）ツールを把持および駆動するヘッド部を固定台座
に取付け支持する中空状コラム部の周方向に互いに対向
して１対以上配置され、コラム部壁面を加熱または冷却
して熱変位を発生させるコラム部用熱アクチュエータと
、ヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツールの加工反力
等により発生するヘッド部壁面の変位を検出する変位セ
ンサと、コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、各変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されてい
るツール位置を保持するようにコラム部を伸縮させる熱
アクチュエータ制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。
（３）ツールを把持および駆動するヘッド部の周方向に
互いに対向して１対以上配置され、ヘッド部壁面を加熱
または冷却して熱変位を発生させるヘッド部用熱アクチ
ュエータと、ヘッド部を固定台座に取付け支持する中空状コラム部の
周方向に互いに対向して１対以上配置され、コラム部壁
面を加熱または冷却して熱変位を発生させるコラム部用
熱アクチュエータと、ヘッド部用熱アクチュエータが取
付けられたヘッド部壁面に設置され、温度変化、ツール
の加工反力等により発生するヘッド部壁面の変位を検出
する変位センサと、コラム部用熱アクチュエータが取付けられたコラム部壁
面に設置され、温度変化、ツールの加工反力等により発
生するコラム部壁面の変位を検出する変位センサと、各変位センサの検出値にもとづいて、予め設定されてい
るツール位置を保持するようにコラム部およびヘッド部
をそれぞれ伸縮させる熱アクチュエータ制御信号を出力
する制御部と、を備えたことを特徴とする工作機械の姿勢制御装置。