DE19920261A1 - Drahterodiervorrichtung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Drahterodiervorrichtung mit einem ersten Führungsarm, der an seinem freien Ende ein erstes Drahtführungselement aufweist, das auf einer Seite eines Arbeitsbereiches positioniert ist, in dem der Werkstoffabtrag durch Funkenerosion am Werkstück erfolgt, und mit einem zweiten Führungsarm, der an seinem freien Ende ein zweites Drahtführungselement aufweist, das auf einer anderen Seite des Arbeitsbereiches positioniert ist, wobei der Draht beim Bearbeiten des Werkstückes zwischen den Drahtführungselementen gradlinig gespannt durch den Arbeitsbereich transportiert wird. DOLLAR A Um bei einer derartigen Vorrichtung die Genauigkeit zu verbessern, werden insbesondere Temperierungsmittel vorgesehen, die es ermöglichen, an wenigstens einem der Führungsarme eine vorbestimmte Temperatur einzustellen oder zu halten, um damit die Drahtführungselemente durch gezielte Temperierung des jeweiligen Führungsarmes zu justieren.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Werkstoffabtrag an einem Werkstück durch Funkenerosion mit einem Draht als Elektrode, mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspru­ ches 1.

Eine herkömmliche Drahterodiervorrichtung weist einen oberen Führungsarm auf, der an seinem freien Ende ein oberes Draht­ führungselement aufweist, das durch den oberen Führungsarm oberhalb eines Arbeitsbereiches positioniert ist, in dem der Werkstoffabtrag durch Funkenerosion am Werkstück erfolgt. Des weiteren weist eine derartige Vorrichtung einen unteren Führungsarm auf, der an seinem freien Enden ein unteres Drahtführungselement aufweist, das durch den unteren Füh­ rungsarm unterhalb des Arbeitsbereiches positioniert ist. Bei der Bearbeitung des Werkstückes verläuft der Draht zwi­ schen den Drahtführungselementen geradlinig gespannt und wird dabei durch den Arbeitsbereich transportiert.

Bei Drahterodiervorrichtungen, die mit Drähten arbeiten, de­ ren Querschnitt zwischen 100 µm und 300 µm liegt, kann eine Genauigkeit von etwa ± 5 µm erreicht werden. Für spezielle Bereiche moderner Technologien werden zunehmend hochpräzise und ultrakleine Bauelemente benötigt, die noch höhere Anfor­ derungen an die erreichbare Genauigkeit stellen. Einsatzge­ biete für eine derartige hochpräzise Erodiertechnik sind insbesondere die Medizintechnik, Mikrosensortechnik, Mikro­ elektronik, Fluidtechnik und Mikrooptik. Zur Durchführung hochpräziser Materialabtragungen sind Drahterodiervorrich­ tungen bekannt, die mit Drähten arbeiten, die einen extrem kleinen Querschnitt von weniger als 100 µm aufweisen. Mit derartigen Drahterodiervorrichtungen, die beispielsweise mit Drähten mit einem Durchmesser aus einem Bereich von 10 µm bis 50 µm arbeiten, kann quer zur Längsrichtung der Füh­ rungsarme eine Genauigkeit von kleiner als ± 1 µm eingehal­ ten werden. In Längsrichtung der Führungsarme kann es jedoch zu Ungenauigkeiten bis maximal 10 µm kommen. Diese Maßabwei­ chungen sind auf Wärmeausdehnungseffekte der Führungsarme zurückzuführen, da diese relativ langgestreckt ausgebildet sind und in ihrer Längsrichtung eine deutlich größere Dimen­ sion (Länge) aufweisen als quer dazu (Breite). Dieser Nach­ teil kann jedoch durch eine geeignete Strategie bei der Werkstückbearbeitung in bestimmten Anwendungsfällen umgangen werden.

Des weiteren kommt es im Verlauf des Erosionsbetriebes zu einem Verschleiß der Drahtführungselemente, die in einem di­ rekten Kontakt mit dem Draht stehen, wobei der Draht an den Führungselementen geführt entlanggleitet. Selbst wenn diese Führungselemente aus einem besonders harten Material, wie z. B. aus Saphir, hergestellt sind, führt dies zu Abnutzungs­ erscheinungen. Diese Abnutzung wird dabei durch die sich beim Erosionsprozeß ausbildende Rauhigkeit am Draht unter­ stützt. Durch diesen allmählichen Verschleiß der Drahtfüh­ rungselemente kann ebenfalls die Genauigkeit des Erodierpro­ zesses beeinträchtigt werden. Außerdem können sich die bei­ den Drahtführungselemente unterschiedlich stark abnutzen, da bei einer Drahterodiervorrichtung, die mit einem permanent von der Spule abgewickelten, quasi unendlich langen Draht arbeitet, das eine Drahtführungselement nur mit dem neuen Draht und das andere stets mit dem verbrauchten Draht in Kontakt steht. Bei ungleichen Drahtführungselementen wird der Draht schräg durch den Arbeitsbereich gezogen, wodurch ebenfalls Ungenauigkeiten entstehen können.

Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem Problem, bei einer Drahterodiervorrichtung der eingangs genannten Art die Genauigkeit zu verbessern.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Die Erfindung beruht hierbei auf dem allgemeinen Gedanken, den temperaturbedingten Längenänderungseffekt bei den Füh­ rungsarmen durch eine geeignete Temperaturbeaufschlagung, d. h. Erwärmung oder Kühlung, der Führungsarme zur gezielten Kompensation von Verschleißerscheinungen an den Drahtfüh­ rungselementen auszunutzen. Beispielsweise kann zu diesem Zweck die tatsächliche Position der Drahtführungselemente bzw. deren Abnutzungsgrad durch eine in regelmäßigen Abstän­ den durchgeführte Referenzmessung überwacht werden, um durch eine entsprechende Temperaturbeaufschlagung der Führungsarme die Ist-Position der Drahtführungselemente auf eine vorgege­ bene Soll-Position abzugleichen.

Entsprechend einer Weiterbildung kann vorgesehen sein, daß die Temperierungsmittel den einen Führungsarm unabhängig vom anderen Führungsarm temperieren können, wobei eine Steuerung vorgesehen ist, die es ermöglicht, an beiden Führungsarmen gezielt unterschiedliche Temperaturen einzustellen oder zu halten. Durch diese Maßnahme können sowohl Wärmeausdehnungen der Führungsarme als auch unterschiedliche Abnutzungen der Drahtführungselemente kompensiert werden, so daß der Ero­ dierprozeß nicht auf bestimmte Bearbeitungsstrategien Rück­ sicht nehmen muß.

Eine besonders hohe Genauigkeit kann dann erzielt werden, wenn die Führungsarme aus einem Material hergestellt sind, daß einen kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, das heißt, daß sich die Führungsarme in einem großen Tempe­ raturbereich nur geringfügig ausdehnen. Dementsprechend ge­ nau kann z. B. ein Verschleißausgleich durch Temperierung der Arme durchgeführt werden.

Das der Erfindung zugrundeliegende Problem wird auch durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 2 gelöst.

Die Erfindung beruht hierbei auf dem allgemeinen Gedanken, wenigstens eines der Drahtführungselemente über Einstellmit­ tel am Führungsarm anzubringen. Diese Einstellmittel arbei­ ten dabei mit wenigstens einem Piezoaktuator oder Piezoelon­ gator als Antrieb, dessen Länge von der daran anliegenden elektrischen Spannung abhängt. Die Länge eines derartigen Piezoaktuators kann dabei durch die Bestromung des Piezoak­ tuators mit hoher Geschwindigkeit hochgenau eingestellt wer­ den, wobei ein solcher der Piezoaktuator außerdem sehr große Stellkräfte aufweist. Ein derartiger Piezoaktuator ermög­ licht somit eine äußerst präzise bidirektionale Verstellung des zugehörigen Drahtführungselementes, wodurch Abnutzungs­ erscheinungen an den Drahtführungselementen ausgeglichen werden können.

Entsprechend einer bevorzugten Weiterbildung der erfindungs­ gemäßen Drahterodiervorrichtung können die Einstellmittel nach Art eines Kreuztisches ausgebildet sein und zwei Piezo­ aktuatoren aufweisen, deren bidirektionale Verstellbewegun­ gen zweckmäßigerweise orthogonal aufeinander stehen. Durch diese Maßnahme ist es in besonders vorteilhafter Weise mög­ lich, den Draht gegenüber einer Vertikalachse in beliebiger räumlicher Orientierung zu neigen. Auf diese Weise können mittels einer geeigneten, insbesondere rechnerunterstützten, Steuerung am Werkstück durch Materialabtragung konische Kon­ turen ausgebildet werden, was für bestimmte Anwendungsformen erwünscht ist. Es ist klar, daß die Drahtführungselemente dann dementsprechend ausgebildet sind.

Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen, aus den Zeichnungen und aus der zugehörigen Figurenbeschreibung an­ hand der Zeichnungen.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach­ stehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der je­ weils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kom­ binationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Be­ schreibung näher erläutert.

Es zeigen, jeweils schematisch,

Fig. 1 eine schaltplanartige Prinzipdarstellung der erfin­ dungsgemäßen Drahterodiervorrichtung entsprechend einer ersten Ausführungsform in einer Seitenansicht auf Führungsarme der Drahterodiervorrichtung,

Fig. 2 eine Ansicht von oben auf Referenzmeßmittel ent­ sprechend einem Pfeil II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Seitenansicht auf einen Führungsarm bei einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Drah­ terodiervorrichtung und

Fig. 4 eine Draufsicht auf den Führungsarm gemäß Fig. 3.

Die Begriffe "oben" und "unten" beziehen sich auf die Aus­ führungsbeispiele der Fig. 1 bis 4, in denen eine Drahtero­ diervorrichtung dargestellt ist, bei welcher ein Draht im wesentlichen vertikal durch einen Arbeitsbereich transpor­ tiert wird. Die Erfindung ist jedoch auch bei Drahterodier­ vorrichtungen anwendbar, bei denen der Draht horizontal oder mit beliebiger räumlicher Orientierung durch den Arbeitsbe­ reich transportiert wird.

Entsprechend Fig. 1 weist eine Drahterodiervorrichtung einen ersten bzw. oberen Führungsarm 1 auf, der auf einer Seite bzw. oberhalb eines mit einer geschweiften Klammer gekenn­ zeichneten Arbeitsbereiches 2 angeordnet ist. Der obere Füh­ rungsarm 1 ist dabei an einem nicht dargestellten axialen Ende an einer im übrigen nicht dargestellten Drahterodier­ vorrichtung befestigt. An seinem axial freien Ende trägt der obere Führungsarm 1 ein erstes bzw. oberes Drahtführungsele­ ment 3, das beispielsweise durch einen Saphir gebildet sein kann. Außerdem weist die Drahterodiervorrichtung einen zwei­ ten bzw. unteren Führungsarm 4 auf, der dementsprechend auf einer anderen Seite bzw. unterhalb des Arbeitsbereiches 2 angeordnet ist und an seinem freien Ende ein zweites bzw. unteres Drahtführungselement 5 trägt.

Im Arbeitsbereich 2 ist ein mit unterbrochenen Linien darge­ stelltes Werkstück 6 durch einen nicht dargestellten Werk­ zeugträger fixiert. Das Werkstück 6 ist hier von einem Draht 7 durchdrungen, der entweder gemäß einem Pfeil a von oben nach unten oder entsprechend einem Doppelpfeil b bidirektio­ nal im wesentlichen in der Vertikalen angetrieben ist. Rela­ tivbewegungen zwischen dem Werkstück 6 und dem Draht 7 wer­ den durch den nicht dargestellten Werkzeugträger realisiert, auf dem beispielsweise eine Referenzmeßeinrichtung 8 befe­ stigt ist, die einen Koordinatenursprung des verstellbaren Werkzeugträgers definiert. Eine derartige Referenzmeßein­ richtung besteht beispielsweise aus zwei Prismen 9, die ge­ mäß Fig. 2 einen V-förmigen Ausschnitt 10 aufweisen. Zur Ei­ chung und zu vertikalen Ausrichtung des Drahtes 7 verfährt der Werkzeugträger in die Nähe seines Koordinatenursprungs, so daß sich der Draht im Bereich eines mit unterbrochenen Linien dargestellten Fokus 11 zwischen den Schenkeln der Prismen 9 befindet. Durch eine Eichroutine wird dann zu­ nächst der eine Schenkel mit dem Draht 7 in Kontakt ge­ bracht, dann der andere. Da die Verstellgeschwindigkeit des Werkstückträgers und die exakte Geometrie der Prismen 9 be­ kannt ist, ergibt sich aus der Verstellzeit die genaue Posi­ tion des Drahtes 7 relativ zum Koordinatenursprung. Aus Po­ sitionsunterschieden des Drahtes 7 bezüglich dem oberen Prisma und dem unteren Prisma ergibt sich außerdem ein Maß für die Schräglage des Drahtes 7 im Raum, die durch eine entsprechende Justierung der Drahtführungselemente 3 und/oder 5 eingestellt oder ausgeglichen werden kann.

Entsprechend Fig. 1 weist jeder der Führungsarme 1 und 4 ei­ nen Kern 12 auf, der aus einem Material mit bekanntem, ins­ besondere minimalem, Wärmeausdehnungskoeffizienten besteht. Am axial freien Ende dieses Kerns 12 ist das jeweilige Drahtführungselement 3 bzw. 5 verankert. Der Kern 12 ist von einem Rohr 13 umhüllt, das den Kern 12 vollständig und dicht umschließt. Dieses Rohr 13 ist zum Beispiel aus einem wär­ meisolierenden Material hergestellt. Das Rohr 13 kann aber auch aus demselben Werkstoff wie der Kern 12 oder aus einem elastisch nachgiebigen Material hergestellt sein. Zwischen dem Rohr 13 und dem konzentrisch koaxial dazu angeordneten Kern 12 ist ein zylindrischer Raum 14 ausgebildet, der mit einem Temperierungsmedium 15, insbesondere mit einer Tempe­ rierungsflüssigkeit 15, befüllt ist.

Eine Pumpe 16 ist saugseitig an den Zylinderraum 14 ange­ schlossen und fördert die angesaugte Temperierungsflüssig­ keit an ihrer Druckseite über eine Druckleitung 17 an einer von einer Entnahmestelle 28 axial beabstandeten Einleitstel­ le 18 wieder in den Zylinderraum 14 zurück. Auf diese Weise kann die Temperierflüssigkeit permanent umgewälzt werden. In der Druckleitung 17 ist ein erstes Umschaltventil 19 ange­ ordnet, durch das die Flüssigkeit 15 einem ersten Eingang einer Heizeinrichtung 20 zugeführt werden kann. Ausgangssei­ tig wird die erwärmte Flüssigkeit dann wieder in die Druck­ leitung 17 zurückgeführt. In der Druckleitung 17 ist außer­ dem ein zweites Umschaltventil 21 angeordnet, das es ermög­ licht, die Flüssigkeit 15 einem ersten Eingang einer Küh­ leinrichtung 22 zuzuleiten, von der aus die gekühlte Flüs­ sigkeit in die Druckleitung 17 zurückgeführt wird. Sowohl die Heizeinrichtung 20 als auch die Kühleinrichtung 22 wer­ den von einer Steuerung 23 überwacht und betätigt, was durch Doppelpfeile c symbolisiert ist. Die Steuerung 23 betätigt über entsprechende Schaltleitungen außerdem die Umschaltven­ tile 19 und 21. Des weiteren ist die Steuerung 23 mit einem Temperaturfühler 24 verbunden, der mit der Temperatur der Temperierungsflüssigkeit 15 korrelierte Signalwerte gene­ riert und der Steuerung 23 zur Verfügung stellt.

Für den unteren Führungsarm 4 ist die oben beschriebene Schaltung in entsprechender Weise aufgebaut und weist dem­ entsprechend eine Pumpe 16', Umschaltventile 19', 21' sowie einen Temperaturfühler 24' auf. In der Ausführungsform gemäß Fig. 1 werden die Flüssigkeit 15 des oberen Führungsarmes 1 und diejenige des unteren Führungsarmes 4 mittels einer ein­ zigen Heizeinrichtung 20 und einer einzigen Kühleinrichtung 22 temperiert, die dazu entsprechende zweite Eingänge und Ausgänge aufweisen. Ebenso ist es möglich, daß zwei separate Heizeinrichtungen und Kühleinrichtungen vorgesehen sind. Durch unterbrochene Linien in den Schaltsymbolen der Hei­ zeinrichtung 20 und der Kühleinrichtung 22 soll angedeutet werden, daß die Heizwirkung bzw. Kühlwirkung für den oberen Führungsarm 1 und den unteren Führungsarm 4 unabhängig von­ einander, insbesondere mit unterschiedlicher Heiz- bzw. Kühlleistung betrieben werden können, wodurch es möglich ist, den oberen Führungsarm 1 unabhängig vom unteren Füh­ rungsarm 4 zu temperieren.

Die so ausgebildeten Temperierungsmittel ermöglichen es ei­ nerseits die Führungsarme 1 und 4 unabhängig von außen auf die Führungsarme 1 und 4 einwirkenden Wärmequellen stets auf dieselbe Temperatur einzuregeln. Darüber hinaus ist es au­ ßerdem möglich, Abnutzungserscheinungen an den Drahtfüh­ rungselementen 3 und 5, die durch eine Referenzmessung er­ mittelt werden können, auszugleichen. Außerdem kann es bei dieser Ausführungsform eine ungleichmäßige Abnutzung der beiden Drahtführungselemente 3 und 5 separat kompensiert werden, so daß stets ein vertikaler Drahtverlauf gewährlei­ stet werden kann.

Wenn durch die in Fig. 1 beschriebenen Temperierungsmittel eine gezielte Positionsänderung des Drahtführungselementes 3, 5 in Längsrichtung des jeweiligen Führungsarmes 1, 4 durch­ geführt werden soll, ermittelt die Steuerung 23, beispiels­ weise aus darin gespeicherten Kennfeldern oder aus dem Wär­ meausdehnungskoeffizienten des Kerns 12, die erforderliche Temperaturdifferenz und regelt diese ein.

Entsprechend den Fig. 3 und 4 können alternativ oder zusätz­ lich zu den in Fig. 1 gezeigten Temperierungsmitteln an we­ nigstens einem, insbesondere an beiden Führungsarmen 1,4 Einstellmittel 25 angeordnet sein, die das jeweilige Draht­ führungselement 3, 5 dieses Führungsarmes 1, 4 tragen. Diese Einstellmittel 25 weisen einen ersten Piezoaktuator oder Piezoelongator 26 auf, der eine bidirektionale Verstellung des Drahtführungselementes 3, 5 in Richtung der Längsachse des Führungsarmes 1, 4 ermöglicht. Diese bidirektionale Ver­ stellbarkeit ist in Fig. 3 durch einen Doppelpfeil d symbo­ lisiert. Der erste Piezoaktuator 26 ist an seinem dem Füh­ rungsarm 1, 4 zugeordneten axialen Ende in diesem Führungsarm 1, 4 verankert. An seinem anderen axialen Ende ist ein zwei­ ter Piezoaktuator 27 mit einem axialen Ende fixiert, der an seinem anderen axialen Ende das Drahtführungselement 3, 5 trägt. Der zweite Piezoaktuator 27 ermöglicht es, das Draht­ führungselement 3, 5 quer zur Längsrichtung des Führungsarmes 1, 4 zu verstellen. Diese bidirektionale Verstellbarkeit ist durch einen Doppelpfeil e symbolisiert. Auf diese Weise wird durch die Piezoaktuatoren 26, 27 ein rechtwinkliges Koordina­ tensystem aufgebaut, durch das der Draht 7 relativ beliebig im Raum geneigt werden kann. Derartige Piezoaktuatoren 26, 27 arbeiten präzis, schnell und mit hoher Stellkraft.

Der durch die orthogonal zueinander angeordneten Piezoaktua­ toren 26 und 27 aufgebaute Kreuztisch (Einstellmittel 25) kann am oberen Führungsarm 1 und/oder am unteren Führungsarm 4 ausgebildet werden. Sofern ein solcher Kreuztisch 25 an beiden Führungsarmen 1 und 4 ausgebildet ist, lassen sich insbesondere folgende Funktionen damit ausführen:
Bei einem Einfädelvorgang des Drahtes 7 können die Drahtfüh­ rungselemente 3 und 5 zum Führungsarm 1, 4 zurückgezogen wer­ den, um den Einführweg zum Einfädeln des Drahtes 7 freizuge­ ben. Für den Erodierbetrieb können dann die Drahtführungs­ elemente 3, 5 wieder an den Draht 7 zur Anlage gebracht wer­ den. Durch Betätigung des oberen Kreuztisches 25 durch eine vom Führungsarm 1 weggerichtete Verstellung des Drahtfüh­ rungselementes 3 können positiv konische Schnitte am Werk­ stück 6 durchgeführt werden. Dementsprechend können durch eine Betätigung des Kreuztisches 25 am unteren Führungsarm 4, bei der sich das untere Drahtführungselement 5 vom Füh­ rungsarm 4 wegbewegt, negativ konische Schnitte am Werkstück 6 durchgeführt werden. Darüber hinaus kann durch Anfahren der Referenzmeßeinrichtung 8 die vertikale, lotrechte Aus­ richtung des Drahtes 7 justiert werden.

Claims (7)

1. Vorrichtung zum Werkstoffabtrag an einem Werkstück (6) durch Funkenerosion mit einem Draht (7) als Elektrode, mit einem ersten Führungsarm (1), der an seinem freien Ende ein erstes Drahtführungselement (3) aufweist, das auf einer Sei­ te eines Arbeitsbereiches (2) positioniert ist, in dem der Werkstoffabtrag durch Funkenerosion am Werkstück (6) er­ folgt, und mit einem zweiten Führungsarm (4), der an seinem freien Ende ein zweites Drahtführungselement (5) aufweist, das auf einer anderen Seite des Arbeitsbereiches (2) posi­ tioniert ist, wobei der Draht (7) beim Bearbeiten des Werk­ stückes (6) zwischen den Drahtführungselementen (3, 5) gerad­ linig gespannt durch den Arbeitsbereich (2) transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß Temperierungsmittel (20, 22) vorgesehen sind, die es er­ möglichen, an wenigstens einem der Führungsarme (1, 4) eine vorbestimmte Temperatur einzustellen oder zu halten, um da­ mit die Drahtführungselemente (3, 5) durch gezielte Temperie­ rung des jeweiligen Führungsarmes (1, 4) zu justieren.

2. Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 oder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der Führungsarme (1, 4) Einstellmittel (25) aufweist, die das Drahtführungselement (3, 5) dieses Führungsarmes (1, 4) tragen, wobei die Einstellmittel (25) wenigstens einen Piezoaktuator (26, 27) aufweisen, der eine bidirektionale Verstellung des Drahtführungselementes (3, 5) ermöglicht, um durch eine gezielte Bestromung des Piezoak­ tuators (26, 27) das Drahtführungselement (3, 5) zu justieren.

3. Drahterodiervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellmittel (25) nach Art eines Kreuztisches aus­ gebildet sind und zwei Piezoaktuatoren (26, 27) aufweisen, deren bidirektionale Verstellbewegungen orthogonal aufeinan­ der stehen.

4. Drahterodiervorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die bidirektionalen Verstellbewegungen der Piezoaktuato­ ren (26, 27) in einer im wesentlichen quer zum Draht liegen­ den Ebene verlaufen.

5. Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerung vorgesehen ist, die es der Drahterodier­ vorrichtung ermöglicht, konische Schnitte am Werkstück (6) auszuführen, wobei die Einstellmittel (25) zur Einstellung der Konizität dienen.

6. Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperierungsmittel (20,22) den einen Führungsarm (1) unabhängig vom anderen Führungsarm (4) temperieren kön­ nen, wobei eine Steuerung (23) vorgesehen ist, die es ermög­ licht, an beiden Führungsarmen (1, 4) gezielt unterschiedli­ che Temperaturen einzustellen oder zu halten.

7. Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsarme (1, 4) aus einem Material hergestellt sind, das einen kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf­ weist.