JP2019160894A - 基板収納容器のロック解除機構 - Google Patents
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Abstract
Description
図4(a)は、基板収納容器1が基板移載装置内のベースプレート7上の所定位置に載置された状態を示している。基板収納容器1は、4辺がベースプレート7上に立設されたガイドブロック8に規定され、ベースプレート7上の所定位置に正確に載置されている。このとき、基板収納容器1の蓋体2は閉じた状態にあり、図3(a)、図5(c)に示したように、本体側の係止片5の上端の係止爪5aが蓋体2の開口の係止蓋板4に係止してロック状態が保持されている。このロック状態を解除するために、エアシリンダ112を駆動し、ピストンロッド113を設定されたストロークだけ縮退させる。これに伴い、スライド部120は図2(b)、図3(b)に示したように駆動機構110の外方に向けてスライドし、スライダ本体122先端のくさび状斜面部112aがロック解除部130のレバー保持体132のくさび状斜面部132aに当接し、レバー保持体を押圧する。これによりレバー保持体132は先端のくさび状斜面部132aが持ち上がるように回動支持軸132回りに回動する。この回動により係止解除レバー135も一体となって回動し、図3(b)に示したように、係止解除レバー135は基板収納容器1の係止片5に当接、押圧する。係止片5は樹脂製の細長板状部材であるため、係止解除レバー135に押圧され、撓み変形して係止爪5aが蓋体2の係止蓋板4から外れる。このロック解除動作は、同期リンク11の作用により、2台の駆動機構110と2台の従動機構150との間で同時に行われ、4つの係止解除レバー135、175が同量だけ回動し、基板収納容器1の蓋体2の4つの係止爪5aのロックは同時に解除される。
2 蓋体
3 ロック用係止孔
5 係止片
7 ベースプレート(台板)
10 ロック解除機構
11 同期リング
100 解除レバー動作機構
101,151 リンクアーム
110 駆動機構
112 エアシリンダ
115 ガイドバー
120,160 スライド部
121 ガイド摺接体
122 スライダ本体
112a,132a くさび状斜面部
130 ロック解除部
132 レバー保持体
135,175 係止解除レバー
150 従動機構
180 検出部
Claims (7)
- 基板収納容器の蓋体をロックする係止部材の係止を解除するために前記基板収納容器を載置する台板の下部に備えられた基板収納容器のロック解除機構であって、
前記台板に回動可能に支持され、前記台板に設けられた開口を介して前記基板収納容器の一の係止部材の近傍に延在するように設けられ、回動して前記係止部材を外方に押圧して前記蓋体のロックを解除するロック解除部材と、直動して前記ロック解除部材を所定角度回動させるスライド部材と、該スライド部材に所定の直動動作を入力するシリンダとを備えた駆動機構と、
前記スライド部材に一端が連接された第1のリンクアームと、該第1のリンクアームの他端が連接された同期リングと、
該同期リングに連接された第2のリンクアームを介して前記駆動機構のスライド部と同量のスライド量が入力されるスライド部材と、該スライド部材のスライド動作によって回動し、前記基板収納容器の他の係止部材を外方に押圧して前記蓋体のロックを解除するロック解除部材とを備えた従動機構とで構成されたことを特徴とする基板収納容器のロック解除機構。 - 前記スライド部材は、前記台板下面に設けられたガイド部材に倣って摺接するガイド摺接体と、前記シリンダのピストンロッドからの入力動作を受けるスライド本体とからなり、該スライド本体は、スライド方向先端にくさび状斜面部が形成され、スライドして前記ロック解除部材の対向するくさび状斜面部に当接し、前記ロック解除部材を所定角度だけ回動させる請求項1に記載の基板収納容器のロック解除機構。
- 前記ロック解除部材は、前記台板に回動支持され、前記スライド部材の当接により回動するレバー保持体と、該レバー保持体と一体的に回動して前記係止部材を押圧するレバー部材とからなる請求項1に記載の基板収納容器のロック解除機構。
- 前記同期リングは、前記駆動機構のスライド部材のスライド量に応じて生じる前記第1のリンクアームの変位に応じて所定角度回動し、前記同期リングに連接された第2のリンクアームを介して前記従動機構に、前記駆動機構のスライド部と同量のスライド量を入力する請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の基板収納容器のロック解除機構。
- 前記ロック解除部材のレバー部材は、前記蓋体が取り除かれた間、前記係止部材を押圧した状態を保持して前記基板収納容器を前記台板上に固定保持する請求項3に記載の基板収納容器のロック解除機構。
- 2台の前記駆動機構と2台の前記従動機構とが、前記同期リング、前記第1のリンクアーム、及び前記第2のリンクアームを介して同期して動作する請求項1に記載の基板収納容器のロック解除機構。
- 前記従動機構は、前記スライド部の位置検出部が設けられた請求項1に記載の基板収納容器のロック解除機構。
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