CN110239832A - 基板收纳容器的锁止解除机构 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够高效地解除基板收纳容器的盖体的锁止的机构。具备：驱动机构(110)，其具备解除杆动作机构(100)和缸(112)，解除杆动作机构(100)经由设置于台板的开口(7a)延伸到基板收纳容器(1)的卡止片(5)附近，转动并向外方按压卡止片(5)而解除盖体(2)的锁止，缸(112)直线运动而向使解除杆动作机构(100)转动规定角度的滑动部(120)输入规定动作；同步环(11)，其连接有环臂(101)的另一端，该环臂(101)的一端与滑动部(120)连接；滑动部(160)，其经由与同步环(11)连接的环臂(151)输入有与滑动部(120)相同的滑动量；从动机构(150)，其通过滑动部(160)的滑动动作而转动，解除基板收纳容器(1)的卡止片(5)的锁止。

Description

基板收纳容器的锁止解除机构
技术领域
本发明涉及基板收纳容器的锁止解除机构，涉及层叠并搬运多片半导体晶圆等基板的基板收纳容器的锁止机构解除机构。
背景技术
作为层叠多片半导体晶圆等基板而将其收纳在容器本体内、在盖上盖子而使其锁止的状态下进行搬运的基板收纳容器，公知专利文献1所公开的半导体晶圆收纳容器(以下，记作基板收纳容器)。
专利文献1：日本特开2004-43001号公报
在该基板收纳容器中，如专利文献1的附图所示，在俯视时呈大致四边形形状的底面板的角部立设有卡止片9，在卡止片9的上端形成有卡止爪8，在盖体3上形成有卡止孔15，为使盖在容器本体上的盖体3处于锁止状态，使卡止爪8卡止于卡止孔15的周围的盖体上面板13的上面部。
专利文献1所公开的基板收纳容器与现有的基板收纳容器所采用的使盖体旋转而进行开闭的构造相比具有优异的锁止机构。然而，并没有示出释放上述卡止爪而解除盖体的锁止状态的机构。这种基板收纳容器用于将从基板收纳容器连续取出的处理前的基板移入输送盒等，或者将由半导体制造装置实施了规定的处理的基板从输送盒等转移至基板收纳容器。在对基板搬运机器人进行控制而在移载装置内连续进行移载作业的情况下，需要自动进行上述基板收纳容器的锁止机构的解除动作和盖的开闭动作。
发明内容
于是，为了消除上述现有的技术所具有的问题，本发明的目的在于提供一种在通过卡止部件将盖体锁止的基板收纳容器中，能够迅速地解除盖体的锁止的基板收纳容器的锁止解除机构。
为达成上述目的，本发明的基板收纳容器的锁止解除机构设置于载置所述基板收纳容器的台板的下部，用于解除对基板收纳容器的盖体进行锁止的卡止部件的卡止，该基板收纳容器的锁止解除机构的特征在于，包含：驱动机构，其具备锁止解除部件、滑动部件和缸，所述锁止解除部件能够转动地支承于所述台板，设置为经由设置于所述台板的开口而延伸到所述基板收纳容器的一个卡止部件的附近，该锁止解除部件转动并向外方按压所述卡止部件而解除所述盖体的锁止，所述滑动部件直线运动而使所述锁止解除部件转动规定角度，所述缸向该滑动部件输入规定的直线运动动作；第一环臂，其一端与所述滑动部件连接；同步环，其连接有所述第一环臂的另一端；从动机构，其具备滑动部件和锁止解除部件，所述滑动部件经由与所述同步环连接的第二环臂输入有与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量，所述锁止解除部件通过该滑动部件的滑动动作而转动，向外方按压所述基板收纳容器的另一卡止部件而解除所述盖体的锁止。
优选所述滑动部件具备引导滑接体和滑块本体，所述引导滑接体沿着在所述台板下表面设置的引导部件滑动接触，所述滑块本体接收来自所述缸的活塞杆的输入动作，在所述滑块本体的滑动方向前端形成有楔状斜面部，该楔状斜面部滑动而与所述锁止解除部件的对置的楔状斜面部抵接，使所述锁止解除部件转动规定角度。
优选所述锁止解除部件具备：杆保持体，其转动支承于所述台板，通过所述滑动部件的抵接而转动；杆部件，其与该杆保持体一体地转动而按压所述卡止部件。
优选所述同步环与所述第一环臂的位移对应地转动规定角度，所述第一环臂的位移对应于所述驱动机构的滑动部件的滑动量而产生，经由与所述同步环连接的第二环臂向所述从动机构输入与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量。
优选所述锁止解除部件的杆部件在所述盖体被取走期间保持按压所述卡止部件的状态而将所述基板收纳容器固定保持在所述台板上。
优选两台所述驱动机构和两台所述从动机构经由所述同步环、所述第一环臂以及所述第二环臂同步动作。
优选在所述从动机构设有所述滑动部件的位置检测部。
附图说明
图1是表示本发明的基板收纳容器的锁止解除机构的一个实施方式的平面示意图。
图2(a)和图2(b)是表示图1所示的锁止解除机构的结构和动作状态的部分放大平面图。
图3(a)和图3(b)是表示图1所示的锁止解除机构的结构和动作状态的部分放大侧视图。
图4(a)～图4(c)是表示拆下本发明的基板收纳容器的盖体、进行基板的转移的状态的动作状态说明图。
图5(a)～图5(c)是表示适用本发明的锁止解除机构的基板收纳容器的一个例子的结构的平面图、侧视图和部分侧视图。
附图标记说明
1 基板收纳容器；
2 盖体；
3 锁止用卡止孔；
5 卡止片；
7 底座板(台板)；
10 锁止解除机构；
11 同步环；
100 解除杆动作机构；
101,151 环臂；
110 驱动机构；
112 气缸；
115,155 引导杆；
120,160 滑动部；
121 引导滑接体；
122 滑块本体；
122a,132a 楔状斜面部；
130 锁止解除部；
132 杆保持体；
135,175 卡止解除杆；
150 从动机构；
180 检测部。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的基板收纳容器1的锁止解除机构10(以下，简记为锁止解除机构10)的一个实施方式进行说明。
图1是表示通过在图5(a)～(c)中作为一个例子而表示的在基板收纳容器1的锁止机构、即在基板收纳容器1的本体的底板6设置的作为卡止部件的卡止片5的卡止动作而用于将锁止盖体2的锁止机构的锁止状态解除的锁止解除机构10的简要结构的平面图。
在这里，参照图5(a)～(c)对适用本发明的锁止解除机构10的基板收纳容器1的结构进行说明。图5(a)表示的是覆盖基板收纳容器1的上面的盖体2的平面形状，图5(b)表示的是基板收纳容器1的侧面形状。如图5(a)所示，在盖体2的四角形成有锁止用卡止孔3。该锁止用卡止孔3的一部分被卡止盖板4封堵。在该卡止盖板4卡止有以起立姿态为初始状态且能够弹性挠曲的、在板状的卡止片5(图5(c))的上端形成的卡止爪5a。通过四个部位的卡止爪5a的卡止动作，基板收纳容器1的盖体2以可靠地锁止于基板收纳容器1的本体的状态被保持。需要说明的是，也存在基板收纳容器1的锁止机构设置在盖体2的对角位置的两个部位的情况。在该情况下，显然，与各锁止机构的配置位置对应地设有锁止解除机构。
接着，以在基板收纳容器1的四角存在锁止机构的情况为例，对本发明实施方式的锁止解除机构10的结构进行说明。如图1、图5(a)所示，锁止解除机构10在配置于基板收纳容器1(在图1中以双点划线表示)的四角的作为锁止机构的四个部位的卡止片5(在图1中以虚线表示)的附近配置有四台解除杆动作机构100(将在后文进行说明)。如图4(a)所示，锁止解除机构10经由未图示的固定螺栓等安装机构固定于在规定位置载置有基板收纳容器1的底座板7的下表面。这样，通过将锁止解除机构10配置在底座板7的下侧，能够降低颗粒侵入基板收纳容器1中的风险。另一方面，在底座板7的上表面立设有引导块8，由引导块8精确地规定在底座板7上载置的基板收纳容器1的各侧面的位置。另外，在与基板收纳容器1的四处锁止机构位置对应的底座板7的位置形成有大致长方形形状的开口。在该开口***有后述锁止解除机构10的卡止解除杆135。
如图1、图2(a)、图3(a)所示，本发明一实施方式的锁止解除机构10包含：同步环11，其以中心位置与基板收纳容器1的中心位置一致的方式配置；四个环臂101,151，其一端经由滚动轴承13连结于同步环11；四台解除杆动作机构100，其经由滚动轴承12连结于各环臂101,151的另一端。以上结构中，同步环11经由未图示的轴承被环保持部件14吊持在底座板7的下表面，以使得转动中心被保持。另外，对解除杆动作机构100的滑动部120的直线运动动作进行引导的引导杆115也固定保持在底座板7的下表面。
需要说明的是，在本实施方式中，为了实现解除杆动作机构100的直线运动动作，使用块状的滑动部120和对其进行引导的引导杆115。并且，为了实现四条环臂101,151的同步位移，使用能够转动的环状的部件(同步环11)。只要是分别具有同等功能的位移机构、杆机构或动作部件，显然能够对其形状、构造等进行各种设计。
四台解除杆动作机构100由两台驱动机构110和两台从动机构150构成。由驱动机构110产生的滑动部120的直线运动动作经由环臂101、同步环11、环臂151传递至从动机构150。由此，实现各解除杆动作机构100的驱动机构110、从动机构150中的卡止解除杆135的同步动作。
参照图2(a)、图3(a)对解除杆动作机构100的驱动机构110(以下，简记为驱动机构110)的结构进行说明。如图2(a)、图3(a)所示，驱动机构110由能够沿着上述引导杆115直线运动的滑动部120和伴随着滑动部120的直线运动动作而与滑动部120的一部分抵接并转动规定角度的锁止解除部130构成。滑动部120能够通过经由支承法兰111支承在底座板7(图3(a))上的气缸112的活塞杆113的伸缩而沿着引导杆115直线运动。需要说明的是，在图1、图2(a)、图2(b)中，为了表示卡止解除杆135的结构，部分地表示了底座板7的开口7a及其附近。
滑动部120由引导滑接体121和滑块本体122上下一体地连结而成的块状构成。引导滑接体121以包围固定在底座板7的下表面的细长长方体形状的引导杆115的侧面和底面的方式滑动接触，使驱动机构110以规定的行程直线运动。在对引导滑接体121进行保持的滑块本体122的后端下表面连结有连结轴126，环臂101的一端经由滚动轴承12连结于该连结轴126(图3(a))。另一方面，在滑块本体122前端形成有向下方以规定角度倾斜的楔状斜面部122a。气缸112的活塞杆113的伸缩动作经由支架127传递至滑块本体122。需要说明的是，能够使用电动马达等能够产生规定的位移行程的各种的驱动源来代替气缸112。
锁止解除部130由杆保持体132和卡止解除杆135一体连结的结构构成，其中杆保持体132形成有与滑块本体122的斜面部的楔状斜面部122a对置的、倾斜的楔状斜面部132a，卡止解除杆135沿着基板收纳容器1的卡止片5延伸。杆保持体132经由转动支承轴133能够转动地保持在底座板7的下表面。因此，如后所述，在杆保持体132转动规定角度时卡止解除杆135以根部为中心转动规定角度(图3(b))。
参照图1对解除杆动作机构100的从动机构150(以下，简记为从动机构150)的结构进行说明。在本实施方式中，如图1所示，两台从动机构150在与将两台处于对置位置的驱动机构110连结的线大致正交的线上对置配置。与图2(a)、图3(a)所示的驱动机构110不同，各从动机构150不具备气缸112和将该气缸112的伸缩动作传递至滑动部120的支架127。作为其他结构，如图1所示，从动机构150具备检测滑动部160的直线运动动作状态的检测部180。除此之外的结构与驱动机构110相同。驱动机构110的驱动力如上所述地经由与驱动机构110的滑块本体122的后端下表面连接的环臂101、同步环11、环臂151传递至从动机构150。即，如图1所示，与朝向驱动机构110的滑块本体122的外方的直线运动动作连动，驱动机构110的环臂101追随滑块本体122的移动而使同步环11逆时针转动。伴随着该同步环11的转动，朝向外方的相同量的位移传递至与从动机构150连结的环臂151，环臂151使所连结的从动机构150的滑动部160沿着引导杆155向外方滑动与驱动机构110的滑动量相同的量。
此时，在两台从动机构150的滑动部160的侧部设有检测从动机构150的滑动状态的检测部180。在本实施方式中，作为位置检测传感器181搭载有微型光感应器。检测在从动机构150的滑动部160安装的追踪标记182的位置，能够检测滑动部120,160的位置、卡止解除杆135,175的转动状况即盖体2的锁止状态、解锁状态。
在这里，参照图2～图5，以从设置在基板移载装置的底座板7上的规定位置的基板收纳容器1取出基板的动作为例，对本发明的基板收纳容器1的锁止解除机构10的动作进行说明。
图4(a)表示的是基板收纳容器1载置于基板移载装置内的底座板7上的规定位置的状态。基板收纳容器1的四边由在底座板7上立设的引导块8规定，基板收纳容器1精确地载置在底座板7上的规定位置。此时，基板收纳容器1的盖体2处于关闭状态，如图3(a)、图5(c)所示，在本体侧的卡止片5的上端形成的卡止爪5a卡止于盖体2的开口的卡止盖板4而保持锁止状态。为了解除该锁止状态，驱动气缸112，使活塞杆113后退设定的行程。伴随于此，滑动部120如图2(b)、图3(b)所示地朝向驱动机构110的外方滑动，在滑块本体122前端形成的楔状斜面部122a与锁止解除部130的杆保持体132的楔状斜面部132a抵接而按压杆保持体132。由此杆保持体132以前端的楔状斜面部132a抬起的方式绕转动支承轴133转动。通过该转动，卡止解除杆135也成为一体地转动，如图3(b)所示，卡止解除杆135与基板收纳容器1的卡止片5抵接而按压卡止片5。树脂制的细长板状部件即卡止片5被卡止解除杆135按压而发生挠曲变形，由此卡止爪5a从盖体2的卡止盖板4脱离。该锁止解除动作通过同步环11的作用在两台驱动机构110和两台从动机构150中同步进行。四个卡止解除杆135,175分别转动相同的量，基板收纳容器1的盖体2的四个卡止爪5a的锁止同时被解除。
在保持该锁止解除状态期间，如图4(b)所示，基板移载装置的盖体吸附保持机构51从基板收纳容器1的上方下降，吸附锁止解除状态的盖体2、上升而抬起盖体2。之后，如图4(c)所示，盖体吸附保持机构51在保持盖体2的状态下向侧方退避。在该状态下由未图示的基板搬运机器人以规定的顺序依次将基板收纳容器1内的基板9移入未图示的输送盒。此时，如图3(b)所示，基板收纳容器1本体处于卡止片5被卡止解除杆135按压，固定保持在底座板7上的状态。
以上，对解除基板收纳容器1的盖体2的锁止而打开盖，连续取出所收纳的基板9的动作进行了说明，在取出作业结束后，可以使盖体吸附保持机构51动作而使盖体2再次覆盖基板收纳容器1本体。在确认盖体2覆盖基板收纳容器1本体后，锁止解除机构10的气缸112的活塞杆113伸长。由此解除锁止解除机构10的卡止解除杆135,175对基板收纳容器1的卡止片5的锁止解除状态，卡止片5再次回到初始状态，盖体2处于锁止状态。
本发明的锁止解除机构10通过适当地改变驱动机构110和从动机构150的配置位置、环臂的尺寸，能够应对各种半导体晶圆等基板的直径、即各种基板收纳容器1的规格。另外，作为将驱动机构110、从动机构150组合的驱动形式，能够适当地设定具有四个部位的锁止解除机构10而由一个驱动机构110驱动三个部位的从动机构150的驱动形式、具有两个部位的锁止解除机构10而由一个驱动机构110驱动一个部位的从动机构150的驱动形式、不使用从动机构150而由驱动机构110驱动所有的锁止解除机构10的驱动形式等。另外，作为驱动机构110与从动机构150之间的杆机构，除了上述环臂101、151、同步环11之外，也能够使用能够实现同等的位移传递的杆机构、传递机构。
需要说明的是，本发明不限于上述实施方式，能够在各权利要求所示的范围内实施各种变形。即，将在权利要求所示的范围内进行了适当变形的技术手段组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。
本申请基于申请日为2018年3月9日、申请号为特愿2018-042615的日本申请。本说明书中参照并整体引入日本申请特愿2018-042615号的说明书、权利要求书和附图。

Claims (7)

1.一种基板收纳容器的锁止解除机构，设置于载置所述基板收纳容器的台板的下部，用于解除对基板收纳容器的盖体进行锁止的卡止部件的卡止，该基板收纳容器的锁止解除机构的特征在于，包含：
驱动机构，其具备锁止解除部件、滑动部件和缸，所述锁止解除部件能够转动地支承于所述台板，设置为经由设置于所述台板的开口而延伸到所述基板收纳容器的一个卡止部件的附近，该锁止解除部件转动并向外方按压所述卡止部件而解除所述盖体的锁止，所述滑动部件直线运动而使所述锁止解除部件转动规定角度，所述缸向该滑动部件输入规定的直线运动动作；
第一环臂，其一端与所述滑动部件连接；
同步环，其连接有所述第一环臂的另一端；
从动机构，其具备滑动部件和锁止解除部件，所述滑动部件经由与所述同步环连接的第二环臂输入有与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量，所述锁止解除部件通过该滑动部件的滑动动作而转动，向外方按压所述基板收纳容器的另一卡止部件而解除所述盖体的锁止。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
所述滑动部件具备引导滑接体和滑块本体，所述引导滑接体沿着在所述台板下表面设置的引导部件滑动接触，所述滑块本体接收来自所述缸的活塞杆的输入动作，
在所述滑块本体的滑动方向前端形成有楔状斜面部，该楔状斜面部滑动而与所述锁止解除部件的对置的楔状斜面部抵接，使所述锁止解除部件转动规定角度。
3.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
所述锁止解除部件具备：杆保持体，其转动支承于所述台板，通过所述滑动部件的抵接而转动；杆部件，其与该杆保持体一体地转动而按压所述卡止部件。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
所述同步环与所述第一环臂的位移对应地转动规定角度，所述第一环臂的位移对应于所述驱动机构的滑动部件的滑动量而产生，经由与所述同步环连接的第二环臂向所述从动机构输入与所述驱动机构的滑动部件相同的滑动量。
5.根据权利要求3所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
所述锁止解除部件的杆部件在所述盖体被取走期间保持按压所述卡止部件的状态而将所述基板收纳容器固定保持在所述台板上。
6.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
两台所述驱动机构和两台所述从动机构经由所述同步环、所述第一环臂以及所述第二环臂同步动作。
7.根据权利要求1所述的基板收纳容器的锁止解除机构，其特征在于，
在所述从动机构设有所述滑动部件的位置检测部。
CN201810788930.6A 2018-03-09 2018-07-18 基板收纳容器的锁止解除机构 Active CN110239832B (zh)

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