JPH10335406A - ドア開閉機構 - Google Patents
ドア開閉機構Info
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- JPH10335406A JPH10335406A JP15918297A JP15918297A JPH10335406A JP H10335406 A JPH10335406 A JP H10335406A JP 15918297 A JP15918297 A JP 15918297A JP 15918297 A JP15918297 A JP 15918297A JP H10335406 A JPH10335406 A JP H10335406A
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- holder
- opening
- actuator
- chamber
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Abstract
(57)【要約】
【課題】１つのアクチュエータで開閉が行える様にし、
構造を簡略化し、コストの低減を図る。 【解決手段】気密室３０の搬送口３１に設けられるドア
開閉機構３４に於いて、前記気密室にストッパ３３を設
け、アクチュエータ３５にドアホルダ３７を設け、該ド
アホルダにリンク３９ａ，３９ｂ，４０ａ，４０ｂを介
して前記搬送口を閉塞するドア３８を設け、該ドアに前
記ストッパと当接するローラ４１を設け、前記ドアをド
アホルダ側に付勢し、１つのアクチュエータの伸縮動に
よりドアの移動を行い、アクチュエータのストロークエ
ンドでリンクが回転することによりドアの搬送口への密
着、離反を行うことができるので、アクチュエータに伴
う制御回路、配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑と
なることはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さ
くてすみ、コストが低減する。
構造を簡略化し、コストの低減を図る。 【解決手段】気密室３０の搬送口３１に設けられるドア
開閉機構３４に於いて、前記気密室にストッパ３３を設
け、アクチュエータ３５にドアホルダ３７を設け、該ド
アホルダにリンク３９ａ，３９ｂ，４０ａ，４０ｂを介
して前記搬送口を閉塞するドア３８を設け、該ドアに前
記ストッパと当接するローラ４１を設け、前記ドアをド
アホルダ側に付勢し、１つのアクチュエータの伸縮動に
よりドアの移動を行い、アクチュエータのストロークエ
ンドでリンクが回転することによりドアの搬送口への密
着、離反を行うことができるので、アクチュエータに伴
う制御回路、配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑と
なることはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さ
くてすみ、コストが低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
於けるカセット室等気密室のドア開閉機構に関するもの
である。
於けるカセット室等気密室のドア開閉機構に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置は、反応室、カセット室
等気密室を複数有しており、該気密室内は用途に応じて
例えば減圧状態、真空状態に維持されなければならない
ので、該気密室に設けられるドア開閉機構には気密性が
要求される。
等気密室を複数有しており、該気密室内は用途に応じて
例えば減圧状態、真空状態に維持されなければならない
ので、該気密室に設けられるドア開閉機構には気密性が
要求される。
【０００３】図６、図７に於いて半導体製造装置１及び
該半導体製造装置１の気密室に設けられる従来のドア開
閉機構について説明する。
該半導体製造装置１の気密室に設けられる従来のドア開
閉機構について説明する。
【０００４】前記半導体製造装置１は搬送室２を中心と
して放射状に第１カセット室３、第２カセット室４、第
１冷却室５、第２冷却室６、第１反応室７、第２反応室
８を具備している。
して放射状に第１カセット室３、第２カセット室４、第
１冷却室５、第２冷却室６、第１反応室７、第２反応室
８を具備している。
【０００５】前記搬送室２内部にはウェーハ９等被処理
基板を搬送する基板搬送装置１０が設けられ、該基板搬
送装置１０は伸縮、回転可能なアーム１１を有し、該ア
ーム１１先端には基板載置プレート１２が設けられてい
る。
基板を搬送する基板搬送装置１０が設けられ、該基板搬
送装置１０は伸縮、回転可能なアーム１１を有し、該ア
ーム１１先端には基板載置プレート１２が設けられてい
る。
【０００６】前記第１カセット室３と前記搬送室２との
間、前記第２カセット室４と前記搬送室２との間にはゲ
ートバルブ１３が設けられ、前記第１反応室７と前記搬
送室２との間、前記第２反応室８と前記搬送室２との間
にはゲートバルブ１３が設けられ、前記第１反応室７、
前記第２反応室８にはヒータ（図示せず）が設けられて
いる。前記第１反応室７内部、前記第２反応室８内部に
は基板ホルダ（図示せず）が設けられている。
間、前記第２カセット室４と前記搬送室２との間にはゲ
ートバルブ１３が設けられ、前記第１反応室７と前記搬
送室２との間、前記第２反応室８と前記搬送室２との間
にはゲートバルブ１３が設けられ、前記第１反応室７、
前記第２反応室８にはヒータ（図示せず）が設けられて
いる。前記第１反応室７内部、前記第２反応室８内部に
は基板ホルダ（図示せず）が設けられている。
【０００７】前記第１カセット室３、前記第２カセット
室４にはそれぞれ搬送口１４が穿設され、該搬送口１４
周縁部にはＯリング等シール材１５が設けられ、前記搬
送口１４にはドア１６が設けられ、該ドア１６にはドア
開閉機構１７が設けられている。前記第１カセット室３
内部、前記第２カセット室４内部には図示しないカセッ
ト受載台が設けられ、該カセット受載台にはウェーハ９
の装填されたウェーハカセット２０が載置される様にな
っている。
室４にはそれぞれ搬送口１４が穿設され、該搬送口１４
周縁部にはＯリング等シール材１５が設けられ、前記搬
送口１４にはドア１６が設けられ、該ドア１６にはドア
開閉機構１７が設けられている。前記第１カセット室３
内部、前記第２カセット室４内部には図示しないカセッ
ト受載台が設けられ、該カセット受載台にはウェーハ９
の装填されたウェーハカセット２０が載置される様にな
っている。
【０００８】前記ドア開閉機構１７は直動型アクチュエ
ータである昇降用シリンダ１９、直動型アクチュエータ
である開閉用シリンダ１８の２つのアクチュエータから
構成され、前記昇降用シリンダ１９が搬送口１４の下方
に枢着され、前記昇降用シリンダ１９のロッド２１上端
に前記開閉用シリンダ１８が取付けられる。該開閉用シ
リンダ１８は前記ロッド２１に対し直交する方向にロッ
ド２２を進退可能であり、該ロッド２２の一端に前記搬
送口１４を閉塞可能なドア１６が取付けられている。
ータである昇降用シリンダ１９、直動型アクチュエータ
である開閉用シリンダ１８の２つのアクチュエータから
構成され、前記昇降用シリンダ１９が搬送口１４の下方
に枢着され、前記昇降用シリンダ１９のロッド２１上端
に前記開閉用シリンダ１８が取付けられる。該開閉用シ
リンダ１８は前記ロッド２１に対し直交する方向にロッ
ド２２を進退可能であり、該ロッド２２の一端に前記搬
送口１４を閉塞可能なドア１６が取付けられている。
【０００９】図示しない外部搬送装置により前記第１カ
セット室３内部へ前記ウェーハカセット２０を搬入し、
図示しないカセット受載台に乗載させ、前記外部搬送装
置を退去させる。該外部搬送装置が退去した後、開口し
た前記搬送口１４を閉塞する場合、前記昇降用シリンダ
１９により前記ロッド２１を上昇させ、前記ドア１６を
前記搬送口１４に対向する位置に上昇させ（図７（Ｂ）
参照）、次に前記開閉用シリンダ１８によりロッド２２
を突出させ、前記ドア１６により前記搬送口１４を閉塞
する。気密性は前記シール材１５の存在により得られ
る。
セット室３内部へ前記ウェーハカセット２０を搬入し、
図示しないカセット受載台に乗載させ、前記外部搬送装
置を退去させる。該外部搬送装置が退去した後、開口し
た前記搬送口１４を閉塞する場合、前記昇降用シリンダ
１９により前記ロッド２１を上昇させ、前記ドア１６を
前記搬送口１４に対向する位置に上昇させ（図７（Ｂ）
参照）、次に前記開閉用シリンダ１８によりロッド２２
を突出させ、前記ドア１６により前記搬送口１４を閉塞
する。気密性は前記シール材１５の存在により得られ
る。
【００１０】前記第１カセット室３内に搬入された前記
ウェーハカセット２０内のウェーハ９は前記搬送室２内
の前記基板搬送装置１０により前記第１反応室７或は前
記第２反応室８へ装入され所要の処理がなされる。
ウェーハカセット２０内のウェーハ９は前記搬送室２内
の前記基板搬送装置１０により前記第１反応室７或は前
記第２反応室８へ装入され所要の処理がなされる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら上記した従来
のドア開閉機構１７ではドア１６の開閉を昇降用シリン
ダ１９、開閉用シリンダ１８の２つのアクチェータによ
り行っており、開閉動作は２動作となり動作させる為の
制御が複雑になると共に構造及び配管系統が複雑とな
り、更にアクチュエータが複数存在する為その分スペー
スが必要でありコストが嵩む等の不具合があった。
のドア開閉機構１７ではドア１６の開閉を昇降用シリン
ダ１９、開閉用シリンダ１８の２つのアクチェータによ
り行っており、開閉動作は２動作となり動作させる為の
制御が複雑になると共に構造及び配管系統が複雑とな
り、更にアクチュエータが複数存在する為その分スペー
スが必要でありコストが嵩む等の不具合があった。
【００１２】本発明は上記実情に鑑み、１つのアクチュ
エータで開閉が行える様にし、構造を簡略化し、コスト
の低減を図るものである。
エータで開閉が行える様にし、構造を簡略化し、コスト
の低減を図るものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、気密室の搬送
口に設けられるドア開閉機構に於いて、前記気密室にス
トッパを設け、アクチュエータにドアホルダを設け、該
ドアホルダにリンクを介して前記搬送口を閉塞するドア
を設け、該ドアに前記ストッパと当接するローラを設
け、前記ドアをドアホルダ側に付勢したドア開閉機構に
係り、又前記ドアホルダとドア間にショックアブソーバ
を設けたドア開閉機構に係り、又前記ドアホルダと対峙
し、該ドアホルダの移動をガイドするガイドローラを設
けたドア開閉機構に係り、更に又ドアの両側に位置を異
ならせてそれぞれ１つのリンクを枢着し、該リンクを介
してドアホルダにドアを設けたドア開閉機構に係るもの
であり、１つのアクチュエータの伸縮動によりドアの移
動を行い、アクチュエータのストロークエンドでリンク
が回転することによりドアの搬送口への密着、離反を行
うことができるので、アクチュエータに伴う制御回路、
配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となることはな
く、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくてすみ、コ
ストが低減する。
口に設けられるドア開閉機構に於いて、前記気密室にス
トッパを設け、アクチュエータにドアホルダを設け、該
ドアホルダにリンクを介して前記搬送口を閉塞するドア
を設け、該ドアに前記ストッパと当接するローラを設
け、前記ドアをドアホルダ側に付勢したドア開閉機構に
係り、又前記ドアホルダとドア間にショックアブソーバ
を設けたドア開閉機構に係り、又前記ドアホルダと対峙
し、該ドアホルダの移動をガイドするガイドローラを設
けたドア開閉機構に係り、更に又ドアの両側に位置を異
ならせてそれぞれ１つのリンクを枢着し、該リンクを介
してドアホルダにドアを設けたドア開閉機構に係るもの
であり、１つのアクチュエータの伸縮動によりドアの移
動を行い、アクチュエータのストロークエンドでリンク
が回転することによりドアの搬送口への密着、離反を行
うことができるので、アクチュエータに伴う制御回路、
配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となることはな
く、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくてすみ、コ
ストが低減する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１５】本実施の形態に係るドア開閉機構は前述し
た従来の半導体製造装置と略同様のものに設けられるも
のであるので、半導体製造装置については説明を省略す
る。
た従来の半導体製造装置と略同様のものに設けられるも
のであるので、半導体製造装置については説明を省略す
る。
【００１６】気密室であるカセット室３０には搬送口３
１が穿設され、該搬送口３１周縁部にはドア座４３が形
成され、該ドア座４３にはＯリング等シール材３２が埋
設され、前記カセット室３０の搬送口３１上両角部近傍
にはストッパ３３，３３が設けられている。
１が穿設され、該搬送口３１周縁部にはドア座４３が形
成され、該ドア座４３にはＯリング等シール材３２が埋
設され、前記カセット室３０の搬送口３１上両角部近傍
にはストッパ３３，３３が設けられている。
【００１７】前記搬送口３１の下方にドア開閉機構３４
が設けられており、該ドア開閉機構３４は直動型のアク
チュエータである開閉シリンダ３５を有している。該開
閉シリンダ３５は半導体製造装置のベース（図示せず）
に立設され、前記開閉シリンダ３５のロッド３６上端に
は凹字形状のドアホルダ３７が固着されている。該ドア
ホルダ３７には前記搬送口３１を閉塞可能な弁体である
ドア３８がリンク３９ａ，３９ｂ及びリンク４０ａ，４
０ｂを介して連結されている。前記ドア３８両側面上端
部には前記ストッパ３３と当接可能なローラ４１が回転
自在に設けられている。
が設けられており、該ドア開閉機構３４は直動型のアク
チュエータである開閉シリンダ３５を有している。該開
閉シリンダ３５は半導体製造装置のベース（図示せず）
に立設され、前記開閉シリンダ３５のロッド３６上端に
は凹字形状のドアホルダ３７が固着されている。該ドア
ホルダ３７には前記搬送口３１を閉塞可能な弁体である
ドア３８がリンク３９ａ，３９ｂ及びリンク４０ａ，４
０ｂを介して連結されている。前記ドア３８両側面上端
部には前記ストッパ３３と当接可能なローラ４１が回転
自在に設けられている。
【００１８】前記リンク３９ａ，３９ｂ，４０ａ，４０
ｂは前記ドア３８の両側面に、該側面と前記ドアホルダ
３７側面とに掛渡って１側面に対し平行に２本ずつ計４
本設けられ、前記ドアホルダ３７と前記ドア３８の同側
面間にはスプリング４４が前記ドア３８と前記ドアホル
ダ３７とに掛渡され、前記スプリング４４と前記ドアホ
ルダ３７との係着点が前記スプリング４４と前記ドア３
８との係着点より上位になる様に斜めに張設されてい
る。従って、該スプリング４４により前記ドア３８は上
方に引上げられる様に、又前記ドアホルダ３７に近接す
る様に付勢されている。
ｂは前記ドア３８の両側面に、該側面と前記ドアホルダ
３７側面とに掛渡って１側面に対し平行に２本ずつ計４
本設けられ、前記ドアホルダ３７と前記ドア３８の同側
面間にはスプリング４４が前記ドア３８と前記ドアホル
ダ３７とに掛渡され、前記スプリング４４と前記ドアホ
ルダ３７との係着点が前記スプリング４４と前記ドア３
８との係着点より上位になる様に斜めに張設されてい
る。従って、該スプリング４４により前記ドア３８は上
方に引上げられる様に、又前記ドアホルダ３７に近接す
る様に付勢されている。
【００１９】前記ドアホルダ３７には板厚方向に貫通す
るショックアブソーバ４２が設けられ、該ショックアブ
ソーバ４２は前記ドア３８が前記ドアホルダ３７に当接
する近傍から前記ドア３８に当接可能となっている。
るショックアブソーバ４２が設けられ、該ショックアブ
ソーバ４２は前記ドア３８が前記ドアホルダ３７に当接
する近傍から前記ドア３８に当接可能となっている。
【００２０】前記搬送口３１開口状態では前記開閉シリ
ンダ３５のロッド３６が縮短しており、該ロッド３６縮
短時には前記スプリング４４により前記ドア３８は前記
ドアホルダ３７に引寄せられ、前記ドア３８の上端は前
記ドアホルダ３７上端より突出している（図２（Ａ）参
照）。
ンダ３５のロッド３６が縮短しており、該ロッド３６縮
短時には前記スプリング４４により前記ドア３８は前記
ドアホルダ３７に引寄せられ、前記ドア３８の上端は前
記ドアホルダ３７上端より突出している（図２（Ａ）参
照）。
【００２１】前記開閉シリンダ３５を作動させ、前記ロ
ッド３６を伸長させる。前記ローラ４１が前記ストッパ
３３に当接し（図２（Ｂ）参照）、更にロッド３６を伸
長させると前記ドア３８は前記ストッパ３３によって上
昇動を拘束されるので、前記ドアホルダ３７のみが上昇
する。前記ドア３８に対する前記ドアホルダ３７の上昇
によって前記リンク３９ａ，４０ａが図中反時計方向に
回転する。前記リンク３９ａ，４０ａの回転により前記
ドア３８は前記スプリング４４の張力に抗して前記搬送
口３１側に移動し前記ドア３８がドア座４３に密着して
前記搬送口３１を気密に閉塞する（図２（Ｃ）参照）。
気密性は前記シール材３２の存在により得られる。
ッド３６を伸長させる。前記ローラ４１が前記ストッパ
３３に当接し（図２（Ｂ）参照）、更にロッド３６を伸
長させると前記ドア３８は前記ストッパ３３によって上
昇動を拘束されるので、前記ドアホルダ３７のみが上昇
する。前記ドア３８に対する前記ドアホルダ３７の上昇
によって前記リンク３９ａ，４０ａが図中反時計方向に
回転する。前記リンク３９ａ，４０ａの回転により前記
ドア３８は前記スプリング４４の張力に抗して前記搬送
口３１側に移動し前記ドア３８がドア座４３に密着して
前記搬送口３１を気密に閉塞する（図２（Ｃ）参照）。
気密性は前記シール材３２の存在により得られる。
【００２２】前記搬送口３１を開放する場合は前記開閉
シリンダ３５を作動させ、前記ロッド３６を縮短させ
る。前記ドア３８に対して前記リンク３９ａ，３９ｂ，
４０ａ，４０ｂが相対的に下降し、前記スプリング４４
の復元力により前記ドア３８が前記ストッパ３３に沿っ
て水平移動して前記ドアホルダ３７に引寄せられ、前記
ドア３８が前記搬送口３１より離反する。前記ドア３８
が前記ドアホルダ３７に完全に引寄せられた後、前記ロ
ッド３６を更に縮短することにより前記ドア３８、前記
ドアホルダ３７は下降に転じ、前記搬送口３１を完全に
開放する。
シリンダ３５を作動させ、前記ロッド３６を縮短させ
る。前記ドア３８に対して前記リンク３９ａ，３９ｂ，
４０ａ，４０ｂが相対的に下降し、前記スプリング４４
の復元力により前記ドア３８が前記ストッパ３３に沿っ
て水平移動して前記ドアホルダ３７に引寄せられ、前記
ドア３８が前記搬送口３１より離反する。前記ドア３８
が前記ドアホルダ３７に完全に引寄せられた後、前記ロ
ッド３６を更に縮短することにより前記ドア３８、前記
ドアホルダ３７は下降に転じ、前記搬送口３１を完全に
開放する。
【００２３】前記ドア３８が前記スプリング４４の復元
力により前記ドアホルダ３７に引寄せられるが、前記ド
ア３８が前記ドアホルダ３７に衝突する直前に前記ショ
ックアブソーバ４２が作動し、前記ドア３８が前記ドア
ホルダ３７に当接する際の衝撃、衝撃音を抑制する。
力により前記ドアホルダ３７に引寄せられるが、前記ド
ア３８が前記ドアホルダ３７に衝突する直前に前記ショ
ックアブソーバ４２が作動し、前記ドア３８が前記ドア
ホルダ３７に当接する際の衝撃、衝撃音を抑制する。
【００２４】前記ドア３８による前記搬送口３１の閉動
作に於いて、前記ドア３８のドア座４３に対する押圧力
は前記リンク３９ａ，４０ａの反時計方向の回転により
与えられるが、同時に押圧力の反力が前記ドアホルダ３
７に作用し、前記ドア３８の閉塞状態では前記ドアホル
ダ３７は図３（Ａ）中で示す如く２点鎖線から実線へと
浮上がりを生じる。該ドアホルダ３７の浮上がりは前記
ドア座４３に対して充分な押圧力を発生させることがで
きないので、必要に応じて前記ドアホルダ３７の浮上が
りを防止するガイドローラ４５を回転自在に設ける。該
ガイドローラ４５は前記カセット室３０或は前記半導体
製造装置の筐体等の固定物に取付けられている。
作に於いて、前記ドア３８のドア座４３に対する押圧力
は前記リンク３９ａ，４０ａの反時計方向の回転により
与えられるが、同時に押圧力の反力が前記ドアホルダ３
７に作用し、前記ドア３８の閉塞状態では前記ドアホル
ダ３７は図３（Ａ）中で示す如く２点鎖線から実線へと
浮上がりを生じる。該ドアホルダ３７の浮上がりは前記
ドア座４３に対して充分な押圧力を発生させることがで
きないので、必要に応じて前記ドアホルダ３７の浮上が
りを防止するガイドローラ４５を回転自在に設ける。該
ガイドローラ４５は前記カセット室３０或は前記半導体
製造装置の筐体等の固定物に取付けられている。
【００２５】前記開閉シリンダ３５のロッド３６の伸長
時に前記ドアホルダ３７が前記ガイドローラ４５に沿っ
て上昇する。該ガイドローラ４５が前記ドアホルダ３７
の水平方向の変位を拘束し該ドアホルダ３７の浮上がり
が防止される（図３（Ｂ）参照）。
時に前記ドアホルダ３７が前記ガイドローラ４５に沿っ
て上昇する。該ガイドローラ４５が前記ドアホルダ３７
の水平方向の変位を拘束し該ドアホルダ３７の浮上がり
が防止される（図３（Ｂ）参照）。
【００２６】図４は本発明の他の実施の形態を示してお
り、開閉シリンダ３５のロッド３６上端に設けられる凹
字形状のドアホルダ３７には該ドアホルダ３７下端中央
にリンク４８が枢着され、前記ドアホルダ３７両側上端
部にリンク３９ａ，３９ｂが枢着される。又、前記リン
ク３９ａ，３９ｂは前記ドア３８の両側上端部に枢着さ
れ、前記リンク４８は前記ドア３８の中央下端部に枢着
され、前記ドア３８は３点によって前記ドアホルダ３７
に連結されている。
り、開閉シリンダ３５のロッド３６上端に設けられる凹
字形状のドアホルダ３７には該ドアホルダ３７下端中央
にリンク４８が枢着され、前記ドアホルダ３７両側上端
部にリンク３９ａ，３９ｂが枢着される。又、前記リン
ク３９ａ，３９ｂは前記ドア３８の両側上端部に枢着さ
れ、前記リンク４８は前記ドア３８の中央下端部に枢着
され、前記ドア３８は３点によって前記ドアホルダ３７
に連結されている。
【００２７】前記した実施の形態と同様に前記ドアホル
ダ３７と前記ドア３８とに掛渡ってスプリング４４が張
設され、前記ドア３８両側上端部にはローラ４１が設け
られ、該ローラ４１がカセット室３０のストッパ３３と
当接可能となっている。
ダ３７と前記ドア３８とに掛渡ってスプリング４４が張
設され、前記ドア３８両側上端部にはローラ４１が設け
られ、該ローラ４１がカセット室３０のストッパ３３と
当接可能となっている。
【００２８】前記開閉シリンダ３５のロッド３６を伸長
させ、前記ローラ４１を前記ストッパ３３に当接させ
る。更にロッド３６を伸長させることにより前記ドア３
８の上昇が拘束された状態で前記リンク４８，３９ａ，
３９ｂが回転し、前記ドア３８が前進してドア座４３に
密着し、前記搬送口３１を閉塞する。
させ、前記ローラ４１を前記ストッパ３３に当接させ
る。更にロッド３６を伸長させることにより前記ドア３
８の上昇が拘束された状態で前記リンク４８，３９ａ，
３９ｂが回転し、前記ドア３８が前進してドア座４３に
密着し、前記搬送口３１を閉塞する。
【００２９】図５は本発明の更に他の実施の形態を示し
ており、図中、図１中で示したものと同一のものには同
符号を付し、説明を省略する。
ており、図中、図１中で示したものと同一のものには同
符号を付し、説明を省略する。
【００３０】開閉シリンダ３５のロッド３６上端に設け
られる凹字形状のドアホルダ３７の一側方上端部にリン
ク３９ａを枢着すると共に該リンク３９ａを前記ドア３
８の一側方上部に枢着し、前記ドアホルダ３７の他側方
下部にリンク４０ｂを枢着すると共に該リンク４０ｂを
前記ドアホルダ３７の他側方下部に枢着する。
られる凹字形状のドアホルダ３７の一側方上端部にリン
ク３９ａを枢着すると共に該リンク３９ａを前記ドア３
８の一側方上部に枢着し、前記ドアホルダ３７の他側方
下部にリンク４０ｂを枢着すると共に該リンク４０ｂを
前記ドアホルダ３７の他側方下部に枢着する。
【００３１】前記リンク３９ａ，４０ｂの各枢着部の回
転軸心は平行且水平である。而して２個のリンク３９
ａ，４０ｂにより前記ドア３８と前記ドアホルダ３７と
を連結し、而も前記ドア３８の上昇動を拘束した際の前
記ドア３８の水平移動が実現できる。
転軸心は平行且水平である。而して２個のリンク３９
ａ，４０ｂにより前記ドア３８と前記ドアホルダ３７と
を連結し、而も前記ドア３８の上昇動を拘束した際の前
記ドア３８の水平移動が実現できる。
【００３２】而して、前述した実施の形態はいずれも開
閉シリンダのみ、即ち１つのアクチュエータによりドア
の移動を行い、搬送口の開放或は閉塞を行うことがで
き、アクチュエータに伴う制御回路、配管系等が減少
し、ドア開閉機構が複雑となることはなく、ドア開閉機
構を設けるスペースが小さくてすみ、コストが低減す
る。
閉シリンダのみ、即ち１つのアクチュエータによりドア
の移動を行い、搬送口の開放或は閉塞を行うことがで
き、アクチュエータに伴う制御回路、配管系等が減少
し、ドア開閉機構が複雑となることはなく、ドア開閉機
構を設けるスペースが小さくてすみ、コストが低減す
る。
【００３３】尚、ローラを設ける位置は必ずしもドアの
上端でなくともよい。又、ドア開閉機構はカセット室の
上方に設けてもよく、この場合ドアをドアホルダ側に付
勢するスプリングは不要である。更にショックアブソー
バはドア側に設けてもよい。
上端でなくともよい。又、ドア開閉機構はカセット室の
上方に設けてもよく、この場合ドアをドアホルダ側に付
勢するスプリングは不要である。更にショックアブソー
バはドア側に設けてもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ドア開
閉機構は１つのアクチュエータの伸縮動によりドアの移
動を行い、アクチュエータのストロークエンドでリンク
が回転することによりドアの搬送口への密着、離反を行
うことができるので、アクチュエータに伴う制御回路、
配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となることはな
く、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくて済み、コ
ストが低減する等の優れた効果を発揮する。
閉機構は１つのアクチュエータの伸縮動によりドアの移
動を行い、アクチュエータのストロークエンドでリンク
が回転することによりドアの搬送口への密着、離反を行
うことができるので、アクチュエータに伴う制御回路、
配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となることはな
く、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくて済み、コ
ストが低減する等の優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は同前実施の形態の作動説
明図である。
明図である。
【図３】（Ａ）はドアホルダが浮上がった場合のドア開
閉機構の作動説明図であり、（Ｂ）はガイドローラを設
けた場合のドア開閉機構の作動説明図である。
閉機構の作動説明図であり、（Ｂ）はガイドローラを設
けた場合のドア開閉機構の作動説明図である。
【図４】本発明の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図５】本発明の更に他の実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】半導体製造装置の概略説明図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は従来例の作動説明図であ
る。
る。
３０ カセット室 ３１ 搬送口 ３２ シール材 ３３ ストッパ ３４ ドア開閉機構 ３５ 開閉シリンダ ３６ ロッド ３７ ドアホルダ ３８ ドア ３９ リンク ４０ リンク ４１ ローラ ４２ ショックアブソーバ ４３ ドア座 ４４ スプリング ４５ ガイドローラ
Claims (4)
- 【請求項１】 気密室の搬送口に設けられるドア開閉機
構に於いて、前記気密室にストッパを設け、アクチュエ
ータにドアホルダを設け、該ドアホルダにリンクを介し
て前記搬送口を閉塞するドアを設け、該ドアに前記スト
ッパと当接するローラを設け、前記ドアをドアホルダ側
に付勢したことを特徴とするドア開閉機構。 - 【請求項２】 前記ドアホルダとドア間にショックアブ
ソーバを設けた請求項１のドア開閉機構。 - 【請求項３】 前記ドアホルダと対峙し、該ドアホルダ
の移動をガイドするガイドローラを設けた請求項１のド
ア開閉機構。 - 【請求項４】 ドアの両側に位置を異ならせてそれぞれ
１つのリンクを枢着し、該リンクを介してドアホルダに
ドアを設けた請求項１のドア開閉機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918297A JPH10335406A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ドア開閉機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15918297A JPH10335406A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ドア開閉機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335406A true JPH10335406A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15688109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15918297A Pending JPH10335406A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ドア開閉機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335406A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
| KR101123672B1 (ko) * | 2010-05-24 | 2012-03-20 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | 게이트 밸브 |
| KR101226746B1 (ko) * | 2012-03-06 | 2013-01-25 | 유정호 | 풉 자동 개폐 장치 |
| EP3239567A1 (de) * | 2016-04-27 | 2017-11-01 | VAT Holding AG | Torventil mit kurvenführung |
| KR20180081914A (ko) * | 2017-01-09 | 2018-07-18 | 이노6 주식회사 | 이송 장치 |
| DE102021212535A1 (de) | 2021-11-08 | 2023-05-11 | Bruker Axs Gmbh | Vorrichtung zum Verschließen der Eingabeöffnung der Probenkammer bei einem Röntgen-Fluoreszenz-Spektrometer |
-
1997
- 1997-06-02 JP JP15918297A patent/JPH10335406A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
| KR101123672B1 (ko) * | 2010-05-24 | 2012-03-20 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | 게이트 밸브 |
| KR101226746B1 (ko) * | 2012-03-06 | 2013-01-25 | 유정호 | 풉 자동 개폐 장치 |
| EP3239567A1 (de) * | 2016-04-27 | 2017-11-01 | VAT Holding AG | Torventil mit kurvenführung |
| WO2017186757A1 (de) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | Vat Holding Ag | Torventil mit kurvenführung |
| KR20180081914A (ko) * | 2017-01-09 | 2018-07-18 | 이노6 주식회사 | 이송 장치 |
| DE102021212535A1 (de) | 2021-11-08 | 2023-05-11 | Bruker Axs Gmbh | Vorrichtung zum Verschließen der Eingabeöffnung der Probenkammer bei einem Röntgen-Fluoreszenz-Spektrometer |
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