JP3635061B2 - 被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システム - Google Patents
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Description
本発明は、被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムに係わり、特に、半導体ウエハ等の被処理体を気密状態で収容する被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及びそのような開閉装置を用いた処理システムに関する。
背景技術
一般に、ICやLSIの半導体集積回路を製造するには、半導体ウエハに対して成膜処理、酸化拡散処理、エッチング処理等が繰り返し行なわれる。これらの処理は別々の処理装置により行われるため、処理装置間で半導体ウエハを搬送する必要がある。半導体ウエハを搬送する際、歩留りを維持するために、半導体ウエハの表面への異物の付着や、自然酸化膜の形成を防止する必要がある。このため、半導体ウエハは被処理体収容ボックスに収容されて搬送される。
図1及び図2に示すように、被処理体収容ボックス2は、一側面に開口部4として形成されて、他側面が半円状に形成されたボックス容器6を有している。ボックス容器6の内壁面には複数の支持突起8が設けられ、半導体ウエハWの周縁部を支持するようになっている。半導体ウエハWは、支持突起8に支持された状態で垂直方向に等間隔で多段に収容される。
通常は、1つのボックス2内に25枚又は13枚のウエハWが収容可能である。ボックス容器6の開口部4には、四角形の中空板よりなる開閉蓋10が取り付けられる。開閉蓋10は、ボックス容器の開口部4に取り付けられた状態で、ボックス容器6内をある程度の気密状態に保持することができ、それにより、収容されたウエハWが外気に触れないようにしている。
開閉蓋10には、2つのロック機構12が設けられており、ロック機構12を操作することにより開閉蓋10をボックス容器6に固定することができる。また、ロック機構12を解除することにより、開閉蓋10を開口部4から離脱できるようになっている。具体的には、このロック機構12は、図3A〜図5にも示すように、開閉蓋10の高さ方向の略中央に、軸受14を介して回転可能に取り付けられたロック板16を有している。ロック板16には、後述するカギ部材と嵌合する細長い凹部状のカギ溝18が形成されている。ロック板16の前方は、ロック時のカギ溝18の位置(図3A参照)と対応する位置にカギ挿通孔20を有するロック板被い部材22により被われている。
ロック板16には、図3A,3B及び図4にも示すように、円弧運動を直線運動に変換するクランク機構を形成するようにアーム23が係合している。アーム23は上下方向に延在しており、各々のアーム23の先端にはピン24が接続されている。すなわち、ロック板16を正逆90度回転させることにより、各々のピン24はそれぞれ上下方向へ移動される。
各々のピン24の先端は、ロック時には図2に示すように開口部4を画成する上縁部及び下縁部のピン穴28(図2では下縁部のみ示す)に挿入され、開閉蓋10が開口部4から外れないようになっている。なお、ピン24は、中空状の開閉蓋10内を上下に貫くようにして設けられる。従って、図4或いは図5に示すように、カギ溝18にカギ部材26を嵌合し、図3Aに示すロック状態からカギ部材26を90度回転させることにより、図3Bに示すようにピン24を後退させてピン穴28(図2参照)から抜き、アンロック状態とするようになっている。
収容ボックス2は、一般的には、収容ボックスの自動搬送機構やこれを一時的に収容するストック領域等を備えた処理システム内で自動的に搬送される。また、カギ部材26もこれを有する自動機器によって操作され、上述のような手順で収容ボックス2の開閉蓋10を自動的に脱着するようになっている。ところが、カギ部材26はカギ溝18内に遊嵌されるため、カギ部材26とカギ溝18との間には遊びがある。従って、開閉蓋10をアンロックし、これを開口部4から取り外してこの開閉蓋10をカギ部材26で支持する際、図6に示すように、カギ部材26に対して開閉蓋10自体が僅かに傾いたりして位置ずれを起こすことがある。従って、ウエハ処理が完了した後、再度開閉蓋10を開口部4に取り付けて収容ボックス2を閉鎖する際、開閉蓋10が位置ずれをおこしているために開口部4に完全に装着することができなくなるといった問題があった。
このような問題を解決するため、開閉蓋10に位置合わせ穴30を設けて、これにカギ部材26と略一体的に前進後退する位置合わせピン(図示せず)を挿入してこの位置合わせピンでも開閉蓋10の荷重を分担して支持するようにしている。しかし、位置合わせピンの寸法も余裕を持たせて位置合わせ穴30に遊嵌するように設定されているので、開閉蓋10の位置ずれを完全に防ぐことができない。そこで、開閉蓋10を取り外した時の位置ずれを防止するために、カギ部材26と略一体的に前進後退する真空パッドを設け、この真空パッドにより開閉蓋10の前面を真空吸着した状態で保持することにより、開閉蓋10の位置ずれを防止することも行なわれている。しかし、この場合には真空パッド機構の追加により開閉蓋10の開閉機構が複雑化するという問題があった。
発明の開示
本発明は、上述の問題を解決した改良された有用な被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び処理システムを提供することを目的とする。
本発明のより具体的な目的は、開閉蓋を取り外した際に開閉蓋の位置ずれを防止することができる、被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムを提供することにある。
上述の目的を達成するために、本発明の一つの実施形態によれば、
被処理体を収容する収容ボックスの開口部を塞いでロック機構によりロックされる開閉蓋を開閉する開閉装置であって、
ベース台と、
ベース台に対して回転可能且つベース台の前面に対して垂直方向に移動可能な状態で、ベアリング機構を介してベース台に取り付けられたカギ部材と、
カギ部材を正逆両方向に回転させるカギ部材回転機構と、
カギ部材回転機構をベース台に対する前記垂直方向へ移動させるカギ部材回転機構移動手段と、
ベース台を収容ボックスに対して水平方向に移動させる水平駆動手段と、
ベース台を収容ボックスに対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段と
を備えたことを特徴とする開閉装置が提供される。
上述の発明によれば、垂直駆動手段及び水平駆動手段をそれぞれ駆動させて、カギ部材を開閉蓋のロック機構の例えばカギ溝へ挿入し、カギ部材回転機構によりカギ部材を回転してロック機構を解除する。次に、カギ部材回転機構移動手段を駆動してカギ部材のみを後退させることにより、ベース台の前面とカギ部材との間で開閉蓋の一部を挟み込んでこれを保持する。そして、この状態で水平駆動手段を駆動してベース台を後退させることにより、開閉蓋を取り外す。開閉蓋はカギ部材とベース台とによりは挟まれて保持されているため、開閉蓋がベース台に対して位置ずれを起こすことが防止される。
上述の開閉装置において、弾性部材をベース台の前面に設けることにより、開閉蓋の一部をカギ部材と弾性部材とにより挟んで保持することとしてもよい。
また、本発明の他の実施形態によれば、
被処理体を収容する収容ボックスの開口部を塞いでロック機構によりロックされる開閉蓋を開閉する開閉装置であって、
ベース台と、
ベース台に対して回転可能な状態で、ベアリング機構を介してベース台に取り付けられだカギ部材と、
カギ部材を正逆両方向に回転させるカギ部材回転機構と、
ベース台の前方に配置され、ベース台から離間する方向に弾発部材により付勢された補助台と、
ベース台を収容ボックスに対して水平方向に移動させる水平駆動手段と、
ベース台を収容ボックスに対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段と
を備えたことを特徴とする開閉装置が提供される。
上述の発明によれば、垂直駆動手段及び水平駆動手段をそれぞれ駆動させて、ガギ部材を開閉蓋のロック機構の例えばカギ溝へ挿入し、カギ部材回転機構によりカギ部材を回転してロック機構を解除することができる。そして、カギ部材を開閉蓋に向けて移動しすると、ベース台の前面に設けられた補助台が開閉蓋の前面に当接する。この際、補助台は弾発部材の弾発力により開閉蓋を押圧する。従って、開閉蓋の一部が弾発部材の弾発力により補助台とカギ部材との間に挟み込まれて保持された状態となる。そして、この状態で水平駆動手段を駆動してベース台を後退させることにより、開閉蓋を収容ボックスから取り外すことができる。開閉蓋は弾発部材の弾発力によりカギ部材と補助台との間に挟まれて保持されるため、開閉蓋が補助台すなわちベース台に対して位置ずれを起こすことが防止される。また、弾性部材を補助台の前面に設けることにより、開閉蓋の一部をカギ部材と弾性部材とにより挟んで保持することとしてもよい。更に、弾発部材は、ベース台と補助台との間に設けられたコイルスプリングであることが好ましい。
上述の発明において、開閉蓋のロック機構を少なくとも2個設け、ロック機構の数と同じ数のカギ部材を設けることが好ましい。
また、カギ部材回転機構は、直線運動を発生するエアシリンダと、直線運動を回転運動に変換するクランク機構とを有することとしてもよい。
代わりに、カギ部材回転機構は、直線運動を発生するエアシリンダと、エアシリンダにより駆動されるベルトと、カギ部材が取り付けられ、ベルトに係合して回転駆動されるプーリとを有することとしてもよい。これによれば、カギ部材を一様なトルクで回転させることができ、カギ部材が回転の途中で止まってしまうことを防止することができる。
また、本発明の更に別の実施形態によれば、上述の本発明による開閉装置を有する非処理体の処理システムが提供される。
本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより一層明瞭となるであろう。
【図面の簡単な説明】
図1は被処理体収容ボックスを示す斜視図である。
図2は被処理体収容ボックスの開閉蓋が開いた状態を示す斜視図である。
図3A及び3Bは開閉蓋のロック機構を示す図である。
図4カギ部材によるロック機構の操作を説明するための斜視図である。
図5はロック機構の主要部を示す断面図である。
図6は開閉蓋を外した時に開閉蓋が傾いて位置ずれを起こした状態の断面図である。
図7は本発明の第1実施例による処理システムを示す概略構成図である。
図8は図7に示す処理システムの斜視図である。
図9は本発明の第1実施例による開閉装置を示す側面図である
図10は本発明の第1実施例による開閉装置を示す斜視図である。
図11は本発明の第1実施例による開閉装置の背面図である。
図12A,12B,12C,12Dは本発明の第1実施例による開閉装置の開閉動作を説明するための図である。
図13は本発明の第2実施例による開閉装置を示す側面図である。
図14は本発明の第2実施例による開閉装置の斜視図である。
図15は本発明の第2実施例による開閉装置の背面図である。
図16は本発明の第2実施例による開閉装置の動作状態を示す部分拡大断面図である。
図17A,17B,17C,17Dは本発明の第2実施例による開閉装置の開閉動作を説明するための図である。
図18は本発明の第2実施例による開閉装置の変形例を示す断面図である。
図19は開閉装置のカギ部材回転機構の他の例を示す斜視図である。
発明を実施するための最良の実施の形態
以下に、本発明の第1実施例による被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムを図7〜図12を参照しながら説明する。図7は本発明の第1実施例による被処理体の処理システムを示す概略構成図である。図8は図7に示す処理システムの概略斜視図である。図9は本発明の第1実施例による被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置を示す側面図である。図10は図9に示す開閉装置の一部を示す斜視図である。図11は図10に示す開閉装置の一部の背面図であり。図12は図9に示す開閉装置の開閉動作を説明するための図である。
まず、図7及び図8を参照しながら被処理体の処理システムについて説明する。図示するように、被処理体の処理システム32は、全体が例えばステンレス等よりなる筐体34に囲まれている。処理システム32の内部は、収容ボックス2を搬送するための収容ボックス搬送エリア36と、被処理体である半導体ウエハWを搬送するウエハ搬送エリア38とに、区画壁40により2分されている。処理システム32は、収容ボックス2をシステム32内に対して搬入搬出させるための搬出入ポート42と、収容ポックス2を一時的に格納するためのストッカ部44と、収容ボックス2と被処理体ボート46との間で半導体ウエハWを移載する移載ステージ48と、被処理体ボート46に移載されて保持されている被処理体Wに対して所定の処理を施す処理ユニット50と、搬出入ポート42と移載ステージ48の近傍に設けられた第1及び第2の開閉装置52,54とにより構成される。
搬出入ポート42において、筐体34にはボックス搬出入口56が形成されており、搬出入口56には開閉ドア58が設けられている。また、このボックス搬出入口56の内側には、外部より搬送されてきた収容ボックス2をその上に載置するための第1載置台60が設置されている。また、このボックス搬出入口56の内側の直下には、収容ボックス2の開閉蓋10を一時的に開閉するために本発明の第1実施例による第1の開閉装置52が設置されている。ここで収容ボックス2の開閉蓋10を一時的に外す理由は、収容ボックス2内のウエハの枚数や載置位置を図示しないセンサにより検出するためである。この第1の開閉装置52の構造については後述する。
また、収納ボックス搬送エリア36内の上方には、上述のストッカ部44が配置されている。ストッカ部44は、本実施例においては2列4段に上記収容ボックス2を一時的に載置する棚段62が2個並設されている。従って、ストッカ部44には、全部で16個(=8×2)の収容ボックス2を一時的に保管することができる。上記2つの棚段62間には、昇降エレベータ64が設けられている。昇降エレベータ64には、水平方向に延在した昇降ロッド65が昇降可能に設けられると共に、昇降ロッド65に旋回及び屈伸可能なボックス搬送アーム66が水平移動可能に設けられている。従って、このボックス搬送アーム66を屈伸及び昇降させることにより、収容ボックス2をボックス搬送アーム66で保持し、搬出入ポート42とストッカ部44との間で搬送できるようになっている。
また、上記移載ステージ48において、両エリア36,38間を区画する区画壁40には、収容ボックス2の開口部4(図2参照)と略同じ大きさの2つの開口68が形成されている。開口68の収容ボックス搬送エリア36側には、2つの第2載置台70が水平に設けられており、この上に収容ボックス2を載置できるようになっている。また、第2載置台70の一側には、この上に載置された収容ボックス2を区画壁40側へ押圧付勢するための水平アクチュエータ72が設けられている。水平アクチュエータ72は、収容ボックス2の開閉蓋10を開口68に臨ませた状態で、ボックス容器6の開口部4の開口縁を区画壁40の開口68の開口縁に略機密な状態で押圧する。また、この開口68には、これを開閉する開閉ドア74が設けられている。
そして、この開口68のウエハ搬送エリア38内側の直下には、収容ボックス2の開閉蓋10を開閉するために本実施例による第2の開閉装置54が設置されている。第2の開閉装置54の構成については後述する。ウエハ搬送エリア38内には、ウエハボートの如き被処理体ボート46を載置する2つのボート載置台74(図7では1つのみ記す)が設けられている。ボート載置台74と上記移載ステージ48との間には、旋回及び屈伸可能なウエハ搬送アーム76が設けられており、このウエハ搬送アーム76は昇降エレベータ78により上下動可能である。従って、このウエハ椴送アーム76を屈伸・旋回及び昇降駆動することにより、第2載置台70上の収容ボックス2とボート載置台74上の被処理体ボート46との間でウエハWの移載を行なうことができる。
被処理体ボート46は、例えば石英よりなり、例えば50〜150枚程度のウエハWを所定のピッチで多段に支持できるようになっている。また、ウエハ搬送エリア38の一側面の上方には、石英製の円筒体状の処理容器80を有する縦型熱処理炉よりなる処理ユニット50が配置されている。処理ユニット50は、一度に多数枚のウエハWに対して成膜や酸化拡散等の所定の熱処理を施すことができる。
処理容器80の下方には、昇降エレベータ82により昇降可能になされたキャップ84が配置されている。キヤップ84上に被処理体ボート46を載置してこれを上昇させることにより、ボート46を処理容器80の下端開口部より処理容器80内へロードできるようになっている。この時、処理容器80の下端開口部は上記キャップ84により気密に閉じられるようになっている。そして、降下されたキャップ84と上記ボート載置台74との間には、屈伸及び旋回可能になされたボート椴送アーム86が設けられており、ボート載置台86とキャップ84との間で被処理体ポート46の移載が可能となっている。
次に、以上のように構成された処理システム32の動作について説明する。まず、ウエハ搬送エリア38内は、ウエハ表面への自然酸化膜の付着を防止するために不活性ガス、例えばN2ガス雰囲気になされ、また、収容ボックス搬送エリア36内は、清浄空気の雰囲気に維持されている。外部より搬送されてきた収容ボックス2は、開閉蓋10が開閉ドア58側に向けられた状態で搬出入ポート42の第1載置台60上に載置される。そして、搬出入ポート42の開閉ドア58を上方へスライドさせることにより、ボックス搬出入口56を開く。
次に、第1の開閉装置52を駆動することにより、上記収容ボックス2の開閉蓋10を一時的に取り外し、そして、図示しないセンサを用いて収容ボックス2内に収容されているウエハの枚数や収容位置等を検出する。検出が終了したならば、再度、第1の開閉装置52を駆動して、取り外した開閉蓋10を再度収容ボックス2へ装着する。この時、後述するように、開閉蓋10に位置ずれを生ずることなく精度良く収容ボックス2へ再装着することができる。
次に、ボックス搬送アーム66を駆動することにより、搬出入ポート42に設置されている収容ボックス2をボックス搬送アーム66により保持する。更に、昇降エレベータ64を駆動することによって、収容ボックス2をストッカ部44の棚段62の所定位置まで搬送する。収容ボックス2はこの位置において一時的に保管される。これと同時に、すでに棚段62に一時保管されており、処理対象となったウエハを収容する収容ボックス2を、ボックス搬送アーム66により取りに行く。そして、上述のように昇降エレベータ64を駆動してボックス搬送アーム66を降下させて、収容ボックス2を移載ステージ48の第2載置台70上に移載する。この時、収容ボックス2の開閉蓋10は、区画壁40に設けた開閉ドア74側に向けられており、しかも、第2載置台70の一側面に設けられた水平アクチュエータ72により、収容ボックス2は押圧付勢されて第2載置台70上にて固定されている。
この状態で開閉ドア74をスライド移動することにより、開口68が開かれる。ここで、収容ボックス2の開口部の周縁部は、区画壁40に押圧されて密接状態となっているので、開口68を介して両エリア36,38間で気体が流通することはない。そして、第2の開閉装置54を駆動することにより、収容ボックス2を設けた開閉蓋10を取り外す。更に、ウエハ搬送アーム76及び昇降エレベータ78を駆動することにより、収容ボックス2内に収容されていたウエハWを一枚ずつ取り出し、これをボート載置台74上に設置されている被処理体ボート46に移載する。
被処理体ポート46へのウエハWの移載が完了したならば、次にポート搬送アーム86を駆動して、ボート載置台74上の被処理体ボート46を、最下端に位置しているキャップ84に載置する。そして、被処理体ボート46の移載が完了したならば、昇降エレベータ82を駆動させて、被処理体ボート46の載置されたキャップ84を上昇させ、このボート46を処理ユニット50の処理容器80の下端開口部より処理容器80内へ導入してロードする。そして、キャップ84によって処理容器80の下端開口部を密閉し、この状態で処理ユニット50内でウエハWに対して所定の熱処理、例えば成膜処理や酸化拡散処理等を行なう。
所定の熱処理が終了したならば、前述した操作と逆の操作を行なって、処理済みのウエハWを取り出す。すなわち、被処理体ボート46を処理容器80内から降下させてアンロードし、更にこれをボート載置台74上に移載する。そして、ウエハ搬送アーム76を用いて処理済みのウエハWをボート46から第2載置台70上の収容ボックス2内に移載する。収容ボックス2内への処理済みウエハWの移載が完了したならば、第2の開閉装置54を駆動して、開閉蓋10を再度収容ボックス2へ装着する。この時、後述するように、位置ずれを生ずることなく精度良く開閉蓋10を収容ボックス2へ再装着することができる。
次に、開閉ドア74を閉じて、両エリア36,38間を気密に仕切ったならば、ボックス搬送アーム66を駆動し、収容ボックス2を一時的にストッカ部44へ保管し、或いは保管することなくボックス搬出入口56を介して搬出入ポート42の第1載置台60上に移載し、処理システム32外へ搬送することになる。尚、上記した収容ボックス2の流れは単に一例を示したものであり、これに限定されものではない。
次に、搬出入ポート42の近傍に設けられる第1の開閉装置52について図9乃至図12Dを参照しながら説明する。図9は第1の開閉装置52を示す側面図である。開閉装置52は、板状のベース台90と、このベース台90に対して回転及びスライド可能とするベアリング機構92(図10参照)を介して設けられたカギ部材26と、カギ部材26を正逆回転させるカギ部材回転機構94と、回転機構94をベース台90に対してスライド方向へ接近離間させるカギ部材回転機構移動手段96と、開閉蓋10をカギ部材26とベース台90との間で挟み込んだ際に開閉付帯10の滑りを防止するためにベース台60の前面に設けられた弾性部材98と、ベース台90を水平方向へ移動させる水平駆動手段99と、ベース台90を垂直(上下)方向へ駆動させる垂直駆動手段100とにより構成されている。
水平駆動手段99は、筐体34の底部34Aに固定されている固定台102に設けられたスライド型アクチュエータよりなる。水平駆動手段99は、水平移動ロッド104を水平方向に位置調整可能に前進後退する。ロッド104の先端には、垂直駆動手段100が固定された取付台106が固定されている。また、取付台106には、水平移動ロッド104と平行になるように案内ロッド108が取り付けられている。案内ロッド108の先端は、固定台102に設けられた案内溝110内に挿入されており、取付台106の移動時に取付台106を案内する。
また、垂直駆動手段100も例えばスライド型のアクチュエータよりなり、垂直移動ロッド112は上下方向へ移動可能である。垂直移動ロッド112の先端には、ベース台90が取り付けられている。ベース台90には、細長い直方体状のカギ部材26の基部を構成する主動作ロッド114がベアリング機構92を介してベース台90を貫通した状態で設けられている。
カギ部材26は、図10に示すように、水平方向に所定の距離だけ隔てて2個設けられる。ベアリング機構92は、図12A乃至12Dに示すように、主動作ロッド114に取り付けられて、この主動作ロッド114の軸方向に沿ってスライド可能とするスライド軸受116と、スライド軸受116の外側に取り付けられた回転軸受118とにより構成されている。これにより、主動作ロッド114はベース台90に対してスライドと回転が可能になされている。
主動作ロッド104の貫通部を囲むようにして、ベース台90の前面側に例えばリング状のシリコンゴムよりなる弾性部材98が取り付けられている。また、ベース台90の前面側には、ベース台90が収容ボックス2の開閉蓋10に近接した時に、検出信号を出力する検出スイッチ120や、先端が例えば円錐状になされた2個の位置合わせピン122が前方へ突出した状態で設けられている。位置合わせピン122は、図1に示す開閉蓋10の位置合わせ穴30へ挿入され、これによりベース台90と開閉蓋10との位置合わせが行われる。
主動作ロッド114の基端は、補助板124に回転軸受126を介して貫通するようにして設けられる。また、カギ部材回転機構移動手段96は、補助板124を水平方向へ駆動するスライド型アクチュエータよりなる。補助板124は、スライド型アクチュエータのロッド128の先端に取り付けられている。
補助板124のベース90の反対側には、上述のカギ部材回転機構94が取り付けられている。カギ部材回転機構94は、水平方向に移動可能になされたロッド130を備えたエアシリンダ132を有している。ロッド130の先端には、案内レール134に沿って移動可能になされた移動体36が取り付けられている。移動体136の下部の両端からは、それぞれ回動ピン138を介して揺動可能に取り付けられた2本の水平ロッド140が反対方向へ延在している。各水平ロッド140の両端には、同じく回動ピン142を介して揺動可能に取り付けられた2本の作動ロッド144が設けられている。これら2本の作動ロッド144の端部は、補助板124を回転可能に貫通した状態で設けられた主動作ロッド114の基端部に固定されている。従って、図11に実線と仮想線で示すように、エアシリンダ132を駆動してロッド130を前進後退させることにより、両主動作ロッド114は、共に同じ方向へ略90度正逆回転できるように構成されている。
次に、以上のように構成された第1の開閉装置52の動作について図12A乃至12Dも参照して説明する。尚、図12A乃至12Dでは主要部のみ記載しており、ロック板16に接続されているアーム23(図15参照)等は省略されている。
前述したように、第1の開閉装置52は、搬出入ポート42(図7参照)に載置された収容ボックス2の開閉蓋10を開閉するためのものである。まず、固定台102に設けた水平駆動手段99及び取付台106に設けた垂直駆動手段100を適宜駆動して、ベース台90を開閉蓋10に接近させる。そして、ベース台90の前面に設けられた2つの位置合わせピン122を、開閉蓋10の2つの位置合わせ穴30にそれぞれ挿入してベース台90の位置合わせを行なう。この時の状態は、図12Aに示されており、ロック板16(図5も参照)に形成されているカギ溝18はその長手方向が水平方向とされており、また、これに対応して直方体状のカギ部材26もその長手方向が水平方向とされている。
この状態で水平駆動手段99を駆動することにより、更にベース台90を前進させて、図12Bに示すように、カギ部材26をロック板16に形成されているカギ溝18に挿入する。この時、ベース台90の前面に設けられているリング状の弾性部材98がロック板被い部材22の前面と当接することになる。この状態で、カギ部材回転機構94のエアシリンダ132(図11参照)を駆動して、ロッド130を開方向へ移動させる。これにより、主動作ロッド114の基板部に固定されている作動ロッド144は開方向へ略90度回転する。これと同時に、主動作ロッド114も図12Cに示すように90度回転するので、カギ溝18に挿入されているカギ部材26も回転して、ロック板16が90度回転される。この結果、図15を参照して説明したように、ロック機構12のピン24が引き込まれ、開閉蓋10のロックが解除される。
この状態で、図10に示すカギ部材回転機構移動手段96を駆動することにより、ピストンロッド128を僅かに延出する。これにより、補助板124及びこれに一体的に取り付け固定されているカギ部材回転機構94がベース台90から遠ざかるように移動する。結果として、図12Dに示すように、ベース台90は移動することなく、主動作ロッド114のみが僅かに後退する。この時、カギ部材26とベース台90の前面に設けた弾性部材98との間で、開閉蓋10の一部であるロック板被い部材22を強固に弾性的に挟み込むことになる。なお、本実施例では、弾性部材98はシリコンゴムのような弾性変形可能な部材により形成されているが、弾性変形が主な機能ではない。すなわち、弾性部材98を設ける目的は、開閉蓋10がカギ部材26とベース台90との間に挟み込まれた際に、開閉蓋10が動かないようにすべり止めの機能を提供することである。したがって、弾性部材98は開閉蓋10に対して大きな摩擦係数を有する材料で形成される。また、ベース台90自体が開閉蓋10に対して大きな摩擦係数を有しており、開閉蓋10が位置ずれを起こさないのであれば、弾性部材98を設ける必要はない。
上述のようにロック板被い部材22を挟み込んだ状態で、水平駆動手段99を駆動してこの出没ロッド104を後退させることにより、ベース台90及び補助板124が一体的に後退する。これにより、開閉蓋10は、収容ボックス2から外れることになる。そして、垂直駆動手段100を駆動して開閉蓋10を垂直下方へ移動してセンサによる検知操作の障害とならない位置としておく。この際、上述のように、開閉蓋10の一部であるロック板被い部材22はカギ部材26と弾性部材98との間、強固に固定されて保持されているので、開閉蓋10が位置ずれを起こすこともない。従って、前述した操作と逆の操作を行なって、開閉蓋10を収容ボックス2に再度装着する際に、開閉蓋10を位置ずれなく、円滑に、且つ精度良く再装着することができる。尚、開閉蓋10をロックするためには、上記ロック板16を前述した方向とは逆方向へ90度回転させればよい。
次に、本発明の第2実施例による開閉装置について図13乃至図18Dを参照ながら説明する。本発明の第2実施例による開閉装置は、移動ステージ48の近傍に設けられる第2の開閉装置54に相当する。図13は台2の開閉装置54の側面図であり、図14は第2の開閉装置54の一部を示す斜視図である。また、図15は第2の開閉装置54の一部を示す背面図である。図16は第2の開閉装置54の動作状態を示す断面図である。また、図18A乃至18Dは第2の開閉装置54の開閉動作を説明するための図である。尚、図13乃至図18Dにおいて、上述の第1の開閉装置52と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
移載ステージ48では、収容ボックス2が第2載置台70上にて水平アクチュエータ72(図7参照)により固定されている。この点を考慮すると、第2の開閉装置54の構成は、第1の開閉装置52と比較して簡単化される。
図13に示すように、第2の開閉装置54は、板状のベース台90と、ベース台90に対して回転のみ可能な(スライドしないような)ベアリング機構150(図14参照)を介して設けられたカギ部材26と、カギ部材26を正逆回転させるカギ部材回転機構94と、ベース台90の前方においてベース部材90から離間するように弾発部材152により付勢された補助台154と、開閉蓋10の一部をカギ部材26との間で挟み込むために補助台154の前面に設けられた弾性部材98と、ベース台90を水平方向へ移動させる水平駆動手段99と、ベース台90を垂直(上下)方向へ駆動する垂直駆動手段100とにより構成されている。
具体的には、水平駆動手段98は、垂直駆動手段100及びベース台90は、第1の開閉装置52の構成と同じである。ただし、主動作ロッド114を支持するベアリング機構150は、主動作ロッド114の回転のみを許容すればよいので、図17に示すように回転軸受118のみよりなり、スライド軸受116は設けられていない。そして、ベース台90の裏面側に、図15に示すようにカギ部材回転機構94が設けられている。カギ部材回転機構94は、ベース台90に設けられていることを除いて、図5を参照して説明したものと同様の構成である。
第2の開閉装置54において、ベース台90の前方において、ベース台90と直方体状のカギ部材26との間に、リング状の補助台154が設けられている。すなわち、リング状の補助台154の中心部には、上記主動作ロッド114を挿通させており、そして、この補助台154とベース台90の前面との間に、コイルスプリングよりなる弾発部材152を設けて、補助台154を常に前方へ付勢している。補助台154の中心開口部の直径は、直方体状のカギ部材26の長さよりも小さく設定されており、カギ部材26よりも前方へ補助台154が飛び出ないようになっている。そして、補助台154の前面に、リング状の弾性部材98が設けられている。
次に、以上のように構成された第2の開閉装置54の動作について図17A乃至17Dも参照して説明する。尚、図17A乃至17Dでは主要部のみ記載しており、ロック板16に接続されているアーム23(図3A,3B参照)等の図示は省略している。
前述したように、第2の開閉装置54は、移載ステージ48(図7参照)に載置された収容ボックス2の開閉蓋10を開閉するためのものである。まず、第1の開閉装置52の場合と同様に水平駆動手段99及び垂直駆動手段100を適宜駆動して、ベース台90を開閉蓋10に接近させる。そして、ベース台90の前面に設けてある2つの位置合わせピン122を、開閉蓋10の2つの位置合わせ穴30にそれぞれ挿入してベース台90の位置合わせを行なう。この時の状態は、図17Aに示すように、ロック板16(図16も参照)に形成されているカギ溝18の長手方向は水平方向とされ、また、これに対応して直方体状のカギ部材26の長手方向も水平方向とされている。
この状態で水平駆動手段99を駆動することにより、更にベース台90を前進させて、図17Bに示すように、カギ部材26をロック板16に形成されているカギ溝18に少しずつ挿入する。この際、補助台154の前面に設けられているリング状の弾性部材98がロック板被い部材22の前面と当接する。更に、ベース台90を弾発部材152の弾発力に抗して更に前進させると、弾発部材152は縮まった状態となり、カギ部材16はカギ溝18に完全に挿入された状態となる。尚、この際、収容ボックス2は強く後方へ押されることになるが、この収容ボックス2は水平アクチュエータ72(図7参照)で第2載置台70上に固定されているので、収容ボックス2が反動で動くことはない。
この状態で、カギ部材回転機構94のエアシリンダ132(図15参照)を駆動して、ロッド130を開方向へ移動させる。すると、主動作ロッド114の基板部に固定されている作動ロッド144は開方向へ略90度回転し、これと同時に、主動作ロッド114も図17Cに示すように90度回転する。これにより、カギ溝18に挿入されているカギ部材26も回転して、ロック板16を90度回転させるとになる。この結果、図3A及び3Bを参照して説明したように、ロック機構12のピン24が引き込まれ、開閉蓋10のロックが解除される。
次に、この状態で、水平駆動手段99を駆動して出没ロッド104を後退させることにより、ベース台90を後退させる。この時、カギ部材26と補助台154の前面に設けられた弾性部材98との間で、開閉蓋10の一部であるロック板被い部材22は、図17Dに示すように弾発部材152の弾性復元力により強固に、且つ弾性的に挟み込まれることになる。
ロック板被い部材22を挟み込んだ状態で、水平駆動手段99を更に駆動してベース台90を更に後退させることにより、開閉蓋10は収容ボックス2から外れることになる。そして、垂直駆動手段100を駆動して開閉蓋10を下方向へ降下させてウエハWの搬入搬出操作の障害とならないように配置しておく。この際、上述のように、開閉蓋10の一部であるロック板被い部材22はカギ部材26と弾性部材98との間で、弾発部材152の弾発力により強固に固定されて保持されているので、開閉蓋10が位置ずれを起こすことはない。従って、前述した操作と逆の操作を行なって、開閉蓋10を収容ボックス2に再度装着する際に、開閉蓋10の位置ずれがなく、円滑に、且つ精度良く再装着することが可能となる。尚、開閉蓋10をロックするためには、ロック板16を前述した方向とは逆方向へ90度回転させればよい。また、この場合には、第1の開閉装置52において設けられていた補助板124やカギ部材回転機構移動手段96を設ける必要がないので、その分、構造を簡単化することができる。
第2の開閉装置54の変形例として、図18に示すように構成してもよい。この変形例では、補助台154の基部に、主動作ロッド114が貫通した状態で設けられる。そして、主動作ロッド114に摺動するように円筒状の摺動部材160を一体的に設け、摺動部材160の基端にその直径を大きくした拡大部160Aを形成する。そして、摺動部材160の拡大部160Aを囲み込み、且つ、この摺動移動を一定のストローク内で許容するように円商体状のストッパ部材162をベース台90に固定して設ける。そして、弾発部材152をこのストッパ部材162内に嵌装させるようにして設け、上記拡大部160Aを常時前方へ付勢する。また、ストッパ部材162と補助部材160との摺動面及び補助部材160と主動作ロッド114の接触面に、それぞれOリング等のシール部材166,168を介在させて、ウエハ搬送エリア38と収容ボックス搬送エリア36内との間での雰囲気の流通を確実に防止する構成としてもよい。
この変形例の場合には、補助台154の摺動移動が、ストッパ部材162により案内されるので、補助台154の動作を安定させることができる。また、カギ部材26と補助台154とが接触することもないので、塵埃(パーティクル)が発生することも防止することができる。
次に、上述の第1及び第2の開閉装置52,54に用いられているカギ部材回転機構94の他の例について、図19を参照しながら説明する。図19は上述の第1及び第2の開閉装置52,54に設けられたカギ部材回転機構94の他の例を示す斜視図である。
図19に示すカギ部材回転機構160は、上述の第1及び第2の開閉装置のカギ部材回転機構94の代わりにベース材90に設けられる。上述のカギ部材回転機構94は、図11及び図15に詳細に示すように、クランク機構により往復運動を回転運動に変換している。すなわち、水平ロッド140の一端を直線移動することにより、水平ロッド140の他端に回動可能に係合した作動ロッド144を介して主動作ロッド114を回動している。
このようなクランク機構では、主動作ロッド144の回動の中間点、すなわち図11に示す作動ロッド144の長手方向が上下方向となった状態において、主動作ロッド144に作用する力が最も小さくなる。したがって、このようなクランク機構により発生するカギ部材26の回転機構では、カギ部材26の回転の途中で回転力が弱くなり、カギ部材26が滑らかに回転しなくなるおそれがある。
そこで、図19に示すカギ部材回転機構160は、エアシリンダにより発生する往復運動をベルトとプーリとにより回転運動に変換することにより、カギ部材26がどの回転位置にあっても一様な回転力が得られるようになっている。すなわち、2つのカギ部材26を支持する主動作ロッド144は各々対応するプーリ162の中心に固定されている。プーリ162はベース台90に回転可能に設けられており、両方のプーリ162はループ状のタイミングベルト164に係合している。タイミングベルト164は、プーリ162との間でスベリが生じにくいように、例えば波付きタイミングベルトにより構成される。
タイミングベルト164の両プーリ162の間には、移動部材166が固定されている。移動部材166はエアシリンダ168の駆動軸168aに接続されており、駆動軸168aを駆動することにより、移動部材166を直線移動することができる。移動部材166が直線移動することにより、タイミングベルト164が駆動され、結果としてタイミングベルトが係合した両プーリ162が回転する。このプーリ162の回転によりカギ部材26が回転する。
上述のようなチミングベルトとプーリによる回転機構では、タイミングベルト164が一様な力で直線運動すると、プーリ162も一様な力で回転する。すなわち、プーリ162のトルクが変化しないため、カギ部材26も一様な回転力で滑らかに回転することができる。したがって、カギ部材26の回転の途中で止まってしまって、開閉蓋10の開閉ができなくなるといった不具合を防止することができる。また、プーリ126の直径を変えることにより、カギ部材26のトルクを容易に変更することができる。
また、移動部材166の移動方向の両側にストッパ170を設けることにより、タイミングベルトの移動量を規制することができ、これによりプーリ162すなわちカギ部材26の回転範囲を規制することができる。
尚、図19に示す例では、エアシリンダ168及び移動部材166を夫々2個設けて、タイミングベルト164の上側及び下側の両方でタイミングベルトを駆動する構成となっている。このように、エアシリンダ168を2個設ける構成は、一つのエアシリンダ168の直径を小さくするためである。したがって、エアシリンダを設ける空間に制約がなく、大きい直径のエアシリンダを設けることができる場合、あるいは、エアシリンダに供給する空気圧を十分に高くできる場合は、タイミングベルト164の上側又は下側のいずれか一方のみにエアシリンダを設けることとしてもよい。
上述の実施例において、図7に示す構成では、第1の開閉装置52を搬出入ポート42に設け、第2の開閉装置54を移動ステージ48に設けるようにしたが、第1の開閉装置52を移動ステージ48に設け、第2の開閉装置54を搬出ポート42に設けることとしてもよい。或いは、搬出入ポート42及び移動ステージの両方に同じ種類の開閉装置を設けることもできる。ただし、第2の開閉装置54を用いる場合には、収容ボックス2を設置する載置台には必ず水平アクチュエータ72のような固定治具を設けるようにする。
また、本実施例では、被処理体として半導体ウエハを用いる場合を例にとって説明したが、これに限定されず、LCD基板やガラス基板等を処理する場合にも本発明を適用することができる。
以上説明したように、本発明の被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システムによれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。すなわち、被処理体を収容する被処理体収容ボックスの開閉蓋を開閉する際に、開閉蓋を外した時に、これを強固に保持することができるので、開閉蓋の位置ずれを防止することができる。従って、開閉蓋を再装着する際に、開閉蓋を精度良く、且つ円滑に装着することができる。また、開閉蓋の回転カギが位置する近傍で開閉蓋の一部を保持するようにしたので、開閉蓋自体に無理な力が加わることがない。
本出願は具体的に開示された実施例に限られず、本発明の範囲内で様々な変形例及び改良例がなされるであろう。
Claims (9)
- 被処理体(W)を収容する収容ボックス(2)の開口部(4)を塞いでロック機構(12)によりロックされる開閉蓋(10)を開閉する開閉装置(52)であって、
ベース台(90)と、
該ベース台(90)に対して回転可能且つ前記ベース台(90)の前面に対して垂直方向に移動可能な状態で、ベアリング機構(92)を介して前記ベース台(90)に取り付けられたカギ部材(26)と、
該カギ部材(26)を正逆両方向に回転させるカギ部材回転機構(94、160)と、
該カギ部材回転機構(94、160)を前記ベース台(90)に対する前記垂直方向へ移動させるカギ部材回転機構移動手段(96)と、
前記ベース台(90)を前記収容ボックス(2)に対して水平方向に移動させる水平駆動手段(99)と、
前記ベース台(90)を前記収容ボックス(2)に対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段(100)と
を備えたことを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第1項記載の開閉装置であって
前記ベース台(90)の前面に設けられた弾性部材(98)を更に有し、前記開閉蓋(10)の一部を前記カギ部材(26)と前記弾性部材(98)とにより挟んで保持することを特徴とする開閉装置。 - 被処理体(W)を収容する収容ボックス(2)の開口部(4)を塞いでロック機構(12)によりロックされる開閉蓋(10)を開閉する開閉装置(52)であって、
ベース台(90)と、
該ベース台(90)に対して回転可能な状態で、ベアリング機構(150)を介して前記ベース台(90)に取り付けられだカギ部材(26)と、
該カギ部材(26)を正逆両方向に回転させるカギ部材回転機構(94)と、
前記ベース台(90)の前方に配置され、前記ベース台(90)から離間する方向に弾発部材(152)により付勢された補助台(154)と、
前記ベース台(90)を前記収容ボックス(2)に対して水平方向に移動させる水平駆動手段(99)と、
前記ベース台(90)を前記収容ボックス(2)に対して垂直方向へ移動させる垂直駆動手段(100)と
を備えたことを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第3項記載の開閉装置であって、
前記補助台(154)の前面に設けられた弾性部材(98)を更に有し、前記開閉蓋(10)の一部を前記カギ部材(26)と前記弾性部材(98)とにより挟んで保持することを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第3項又は第4項記載の開閉装置であって、
前記弾発部材(152)は、前記ベース台(90)と前記補助台(154)との間に設けられたコイルスプリングであることを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第1項又は第3項記載の開閉装置であって、
前記開閉蓋(10)のロック機構は少なくとも2個設けられており、前記ロック機構の数と同じ数のカギ部材(26)が設けられたことを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第1項又は第3項記載の開閉装置であって、
前記カギ部材回転機構(94)は、
直線運動を発生するエアシリンダ(132)と、
該直線運動を回転運動に変換するクランク機構(140,144)と
を有することを特徴とする開閉装置。 - 請求の範囲第1項又は第3項記載の開閉装置であって、
前記カギ部材回転機構(94)は、
直線運動を発生するエアシリンダ(168)と、
該エアシリンダ(168)により駆動されるベルト(164)と、
前記カギ部材(26)が取り付けられ、前記ベルト(164)に係合して回転駆動されるプーリ(162)と
を含むことを特徴とする開閉装置。 - 収容ボックス(2)に収容して移送される被処理体(W)の処理システム(32)であって、
前記収容ボックス(2)を該処理システム(32)に搬入又は該処理システム(32)から搬出するための搬出入ポート(42)と、
前記収容ボックス(2)を一時的に保管するためのストッカ部(44)と、
前記被処理体(W)が収容された前記収容ボックス(2)を、前記ストッカ部(44)と被処理体ボート(46)との間で移動するための移載ステージ(48)と、
前記処理体ボート(46)に保持された前記被処理体(W)に対して所定の処理を施す処理ユニット(50)と、
前記搬出入ポート(42)及び/又は前記移載ステージ(48)の近傍に設けられた請求項1又は3記載の開閉装置(52,54)と
を備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20100099 | 1999-07-14 | ||
PCT/JP2000/004701 WO2001006560A1 (fr) | 1999-07-14 | 2000-07-13 | Dispositif d'ouverture/fermeture pour un couvercle d'ouverture/fermeture de boite de stockage d'objet non traite et systeme de traitement d'objet non traite |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3635061B2 true JP3635061B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=16433850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001510914A Expired - Fee Related JP3635061B2 (ja) | 1999-07-14 | 2000-07-13 | 被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉装置及び被処理体の処理システム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6419482B1 (ja) |
EP (1) | EP1195807B1 (ja) |
JP (1) | JP3635061B2 (ja) |
KR (1) | KR100403663B1 (ja) |
DE (1) | DE60043699D1 (ja) |
TW (1) | TW503474B (ja) |
WO (1) | WO2001006560A1 (ja) |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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