JP2001077177A - ウェハキャリア用蓋体の着脱装置、及びロードポート装置 - Google Patents
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置、及びロードポート装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】蓋体保持板が、蓋体を保持しているか否かを検
出できるようにすることである。 【解決手段】蓋体保持板１５のほぼ中央部に、圧縮ばね
４３によりウェハキャリアＣの側に付勢される検出ピン
３８を取付け、蓋体保持板１５に設けられた鍵装置Ａ1
を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａと、蓋体６
に設けられた錠装置Ｅを構成する一対の鍵穴２２とが係
合された状態で離隔する際に、前記検出ピン３８が蓋体
６に押圧されている状態を検出することにより、該蓋体
保持板１５における蓋体６の有無を検出する。
出できるようにすることである。 【解決手段】蓋体保持板１５のほぼ中央部に、圧縮ばね
４３によりウェハキャリアＣの側に付勢される検出ピン
３８を取付け、蓋体保持板１５に設けられた鍵装置Ａ1
を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａと、蓋体６
に設けられた錠装置Ｅを構成する一対の鍵穴２２とが係
合された状態で離隔する際に、前記検出ピン３８が蓋体
６に押圧されている状態を検出することにより、該蓋体
保持板１５における蓋体６の有無を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロードポート装置
に設置されたウェハキャリアの蓋体を着脱するための着
脱装置、及びロードポート装置に関するものである。
に設置されたウェハキャリアの蓋体を着脱するための着
脱装置、及びロードポート装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ロードポート装置は、その上面に設置さ
れたウェハキャリアに収納された多数枚のウェハを、半
導体製造装置内に移載させるための装置である。図３７
に示されるように、ロードポート装置Ｌの装置本体１に
設置されたウェハキャリアＣには、多数枚のウェハＵが
収納されていて、各ウェハＵは、ロボット装置２０１に
より半導体製造装置Ｈ内に移載される。このロードポー
ト装置Ｌには、ウェハキャリアＣの蓋体６を着脱するた
めの着脱装置が設けられている。なお、図３７におい
て、２０２は、半導体製造装置Ｈ内に移載されたウェハ
Ｕに、清浄な空気を供給するための清浄空気供給装置で
ある。
れたウェハキャリアに収納された多数枚のウェハを、半
導体製造装置内に移載させるための装置である。図３７
に示されるように、ロードポート装置Ｌの装置本体１に
設置されたウェハキャリアＣには、多数枚のウェハＵが
収納されていて、各ウェハＵは、ロボット装置２０１に
より半導体製造装置Ｈ内に移載される。このロードポー
ト装置Ｌには、ウェハキャリアＣの蓋体６を着脱するた
めの着脱装置が設けられている。なお、図３７におい
て、２０２は、半導体製造装置Ｈ内に移載されたウェハ
Ｕに、清浄な空気を供給するための清浄空気供給装置で
ある。
【０００３】蓋体６の着脱装置の一例として、図１１に
示される構成のものが存する。この着脱装置Ｄ1 の場
合、図７ないし図１０に示されるように、ウェハキャリ
アＣの蓋体６に設けられた錠装置Ｅの鍵穴２２に、蓋体
保持板１５に設けられた鍵部材２１の本体部２１ａが嵌
まり込み、該鍵部材２１が所定方向に回動することによ
って施錠・解錠される構成である。そして、蓋体６の錠
装置Ｅが解錠されると同時に、蓋体６と蓋体保持板１５
とが係合される。この状態で蓋体保持板１５が、蓋体６
に対して垂直な水平方向に離隔する。このため、ウェハ
キャリアＣの蓋体６が蓋体保持板１５に保持されて同方
向に離隔し、ウェハキャリアＣから取り外される。
示される構成のものが存する。この着脱装置Ｄ1 の場
合、図７ないし図１０に示されるように、ウェハキャリ
アＣの蓋体６に設けられた錠装置Ｅの鍵穴２２に、蓋体
保持板１５に設けられた鍵部材２１の本体部２１ａが嵌
まり込み、該鍵部材２１が所定方向に回動することによ
って施錠・解錠される構成である。そして、蓋体６の錠
装置Ｅが解錠されると同時に、蓋体６と蓋体保持板１５
とが係合される。この状態で蓋体保持板１５が、蓋体６
に対して垂直な水平方向に離隔する。このため、ウェハ
キャリアＣの蓋体６が蓋体保持板１５に保持されて同方
向に離隔し、ウェハキャリアＣから取り外される。
【０００４】このとき、着脱装置Ｄ1 が正常に作動した
にもかかわらず、蓋体６が蓋体保持板１５に保持されな
い場合がある。例えば、鍵部材２１の本体部２１ａ（鍵
穴２２と係合される部分）が折損した場合、該鍵部材２
１が鍵穴２２に嵌まり込んだ状態で回動されても、鍵部
材２１は空転するのみであり、錠装置Ｅが解錠されるこ
とはない。また、錠装置Ｅを構成するディスク板１８の
突起体１８ｂが破損した場合も同様である。このような
場合、蓋体６はウェハキャリアＣに装着されたままであ
る。この状態で、ロボット装置２０１のアーム（図示せ
ず）がウェハＵを移載するためにウェハキャリアＣ内に
進入しようとすると、前記アームと蓋体６とが干渉す
る。
にもかかわらず、蓋体６が蓋体保持板１５に保持されな
い場合がある。例えば、鍵部材２１の本体部２１ａ（鍵
穴２２と係合される部分）が折損した場合、該鍵部材２
１が鍵穴２２に嵌まり込んだ状態で回動されても、鍵部
材２１は空転するのみであり、錠装置Ｅが解錠されるこ
とはない。また、錠装置Ｅを構成するディスク板１８の
突起体１８ｂが破損した場合も同様である。このような
場合、蓋体６はウェハキャリアＣに装着されたままであ
る。この状態で、ロボット装置２０１のアーム（図示せ
ず）がウェハＵを移載するためにウェハキャリアＣ内に
進入しようとすると、前記アームと蓋体６とが干渉す
る。
【０００５】また、蓋体６が蓋体保持板１５に保持され
て、ロードポート装置Ｌの下部に一時的に格納された状
態であるときに、停電等が発生し、再給電された際に、
鍵部材２１が原点復帰する。このような場合、鍵部材２
１の本体部２１ａと錠装置Ｅの鍵穴２２との係合が解除
され、前記鍵部材２１は鍵穴２２に挿通されたのみの状
態となるため、蓋体６が落下するおそれがあるという不
具合が発生する。
て、ロードポート装置Ｌの下部に一時的に格納された状
態であるときに、停電等が発生し、再給電された際に、
鍵部材２１が原点復帰する。このような場合、鍵部材２
１の本体部２１ａと錠装置Ｅの鍵穴２２との係合が解除
され、前記鍵部材２１は鍵穴２２に挿通されたのみの状
態となるため、蓋体６が落下するおそれがあるという不
具合が発生する。
【０００６】また、図３３及び図３４に示されるよう
に、ウェハキャリアＣは、ロードポート装置Ｌ’を構成
するキャリア設置板９１に載置されていて、該キャリア
設置板９１がロードポート装置Ｌ’内に配設された空気
圧シリンダ９８によって進退動される構成のものがあ
る。このとき、前記空気圧シリンダ９８のシリンダロッ
ド９８ａが急激に引っ込められると、ウェハキャリアＣ
が衝撃力をもって装着板９２に当接されるため、該ウェ
ハキャリアＣが損傷するおそれがある。
に、ウェハキャリアＣは、ロードポート装置Ｌ’を構成
するキャリア設置板９１に載置されていて、該キャリア
設置板９１がロードポート装置Ｌ’内に配設された空気
圧シリンダ９８によって進退動される構成のものがあ
る。このとき、前記空気圧シリンダ９８のシリンダロッ
ド９８ａが急激に引っ込められると、ウェハキャリアＣ
が衝撃力をもって装着板９２に当接されるため、該ウェ
ハキャリアＣが損傷するおそれがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、蓋体が、蓋体保持板に確実に保持された状
態で着脱することのできる着脱装置、及びウェハキャリ
アが装着板に当接される際に、該ウェハキャリアを損傷
させることのないロードポート装置を提供することを課
題としている。
具合に鑑み、蓋体が、蓋体保持板に確実に保持された状
態で着脱することのできる着脱装置、及びウェハキャリ
アが装着板に当接される際に、該ウェハキャリアを損傷
させることのないロードポート装置を提供することを課
題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第１の発明（請求項１ないし５のいずれかに記載の発
明）は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリア
の蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保持
板と、前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、か
つ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持
板に回動可能に支持された鍵部材とを備え、前記錠装置
の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合し
て、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能になっていて、
蓋体保持板がウェハキャリアに対して進退動して、その
蓋体の着脱を行う構成の装置であって、前記蓋体保持板
に、蓋体の保持の有無を検出するための蓋体検出装置が
取付けられていることを特徴としている。
の第１の発明（請求項１ないし５のいずれかに記載の発
明）は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリア
の蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保持
板と、前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、か
つ前記蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持
板に回動可能に支持された鍵部材とを備え、前記錠装置
の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合し
て、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能になっていて、
蓋体保持板がウェハキャリアに対して進退動して、その
蓋体の着脱を行う構成の装置であって、前記蓋体保持板
に、蓋体の保持の有無を検出するための蓋体検出装置が
取付けられていることを特徴としている。
【０００９】同じく、第２の発明（請求項６ないし１３
のいずれかに記載の発明）は、ロードポート装置に設置
されたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に
進退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に設けられた錠装
置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出し
た状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された鍵部材
とを備え、前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と
前記鍵部材とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保
持可能になっていて、蓋体保持板がウェハキャリアに対
して進退動して、その蓋体の着脱を行う構成の装置であ
って、前記蓋体保持板における蓋体と相対向する面に
は、前記蓋体を押圧状態で保持するために、付勢手段に
よって付勢される押圧部材が設けられていることを特徴
としている。
のいずれかに記載の発明）は、ロードポート装置に設置
されたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に
進退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に設けられた錠装
置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の前面に突出し
た状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された鍵部材
とを備え、前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と
前記鍵部材とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保
持可能になっていて、蓋体保持板がウェハキャリアに対
して進退動して、その蓋体の着脱を行う構成の装置であ
って、前記蓋体保持板における蓋体と相対向する面に
は、前記蓋体を押圧状態で保持するために、付勢手段に
よって付勢される押圧部材が設けられていることを特徴
としている。
【００１０】同じく、第３の発明（請求項１４ないし１
９のいずれかに記載の発明）は、ロードポート装置の開
口穴を有する装着板と、前記開口穴に対向してロードポ
ート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体に対して垂
直な水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に
設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板
の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支
持された鍵部材とを備え、前記錠装置の解錠状態におい
て、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合して、蓋体保持板に
対して蓋体が保持可能になっていて、蓋体保持板がウェ
ハキャリアに対して進退動して、その蓋体の着脱を行う
構成の装置であって、前記蓋体保持板と前記鍵部材とは
相互に進退動し、前記蓋体保持板が前記装着板に押し付
けられているときは、前記鍵部材が突出し、前記錠装置
の解錠状態において、前記蓋体保持板が前記装着板から
後退するときは、前記鍵部材が引っ込んで前記鍵穴と係
合して蓋体を保持することを特徴としている。
９のいずれかに記載の発明）は、ロードポート装置の開
口穴を有する装着板と、前記開口穴に対向してロードポ
ート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体に対して垂
直な水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、前記蓋体に
設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板
の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支
持された鍵部材とを備え、前記錠装置の解錠状態におい
て、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合して、蓋体保持板に
対して蓋体が保持可能になっていて、蓋体保持板がウェ
ハキャリアに対して進退動して、その蓋体の着脱を行う
構成の装置であって、前記蓋体保持板と前記鍵部材とは
相互に進退動し、前記蓋体保持板が前記装着板に押し付
けられているときは、前記鍵部材が突出し、前記錠装置
の解錠状態において、前記蓋体保持板が前記装着板から
後退するときは、前記鍵部材が引っ込んで前記鍵穴と係
合して蓋体を保持することを特徴としている。
【００１１】同じく、第４の発明（請求項２０又は２１
に記載の発明）は、ロードポート装置の装置本体内に配
設されたキャリアベース移動ロッドを進退動させること
により、半導体製造装置に対してウェハキャリアを出入
りさせる構成のロードポート装置において、前記キャリ
アベース移動ロッドには、前記ウェハキャリアが装着板
に当接されるときの衝撃力を吸収するためのばねが装着
されていることを特徴としている。
に記載の発明）は、ロードポート装置の装置本体内に配
設されたキャリアベース移動ロッドを進退動させること
により、半導体製造装置に対してウェハキャリアを出入
りさせる構成のロードポート装置において、前記キャリ
アベース移動ロッドには、前記ウェハキャリアが装着板
に当接されるときの衝撃力を吸収するためのばねが装着
されていることを特徴としている。
【００１２】請求項１に記載の発明の場合、ロードポー
ト装置に設置されたウェハキャリアの蓋体が、垂直な水
平方向に沿って蓋体保持板に対して接近し、蓋体保持板
に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される。そし
て、鍵部材が回動することにより錠装置が解錠され、し
かも、鍵部材と鍵穴とが係合することにより、蓋体が蓋
体保持板に保持される。そして、蓋体保持板が、蓋体を
保持したままウェハキャリアから離隔される。このと
き、蓋体保持板に設けられた蓋体検出装置によって、蓋
体保持板が蓋体を保持しているか否かが検出される。換
言すれば、ウェハキャリアが開口されているか否かが検
出される。そして、蓋体保持板が蓋体を保持している場
合、即ち、ウェハキャリアが開口されている場合には、
通常の作動が継続され、ロボット装置のアームが進入し
てウェハが半導体製造装置内に移載される。前記検出装
置によって、蓋体保持板が蓋体を保持していないことが
検出された場合、以降の作動が全て停止され、その旨の
警報等が発せられる。この結果、蓋体保持板側の鍵部
材、或いはウェハキャリアの蓋体側の錠装置のいずれか
に支障があることが判明する。
ト装置に設置されたウェハキャリアの蓋体が、垂直な水
平方向に沿って蓋体保持板に対して接近し、蓋体保持板
に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される。そし
て、鍵部材が回動することにより錠装置が解錠され、し
かも、鍵部材と鍵穴とが係合することにより、蓋体が蓋
体保持板に保持される。そして、蓋体保持板が、蓋体を
保持したままウェハキャリアから離隔される。このと
き、蓋体保持板に設けられた蓋体検出装置によって、蓋
体保持板が蓋体を保持しているか否かが検出される。換
言すれば、ウェハキャリアが開口されているか否かが検
出される。そして、蓋体保持板が蓋体を保持している場
合、即ち、ウェハキャリアが開口されている場合には、
通常の作動が継続され、ロボット装置のアームが進入し
てウェハが半導体製造装置内に移載される。前記検出装
置によって、蓋体保持板が蓋体を保持していないことが
検出された場合、以降の作動が全て停止され、その旨の
警報等が発せられる。この結果、蓋体保持板側の鍵部
材、或いはウェハキャリアの蓋体側の錠装置のいずれか
に支障があることが判明する。
【００１３】請求項２に記載の発明の場合、蓋体保持板
に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置を
検知することによって検出される。このため、蓋体検出
装置の構成を簡単なものにすることができる。
に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置を
検知することによって検出される。このため、蓋体検出
装置の構成を簡単なものにすることができる。
【００１４】請求項３に記載の発明の場合、電源投入時
に、前記蓋体検出装置により、蓋体保持板が蓋体を保持
しているか否かが検出される。そして、蓋体保持板が蓋
体を保持している場合には鍵部材が原点復帰をしないよ
うに制御される。このため、例えば、停電等により着脱
装置の作動中に電源の供給が停止され、再給電される場
合であっても、前記鍵部材が原点復帰しないため、蓋体
は蓋体保持板にそのまま保持され、落下するおそれがな
い。
に、前記蓋体検出装置により、蓋体保持板が蓋体を保持
しているか否かが検出される。そして、蓋体保持板が蓋
体を保持している場合には鍵部材が原点復帰をしないよ
うに制御される。このため、例えば、停電等により着脱
装置の作動中に電源の供給が停止され、再給電される場
合であっても、前記鍵部材が原点復帰しないため、蓋体
は蓋体保持板にそのまま保持され、落下するおそれがな
い。
【００１５】請求項４に記載の発明の場合、蓋体保持板
に保持された蓋体は、付勢手段によって付勢される押圧
部材に押圧される。このため、蓋体保持板が進退動する
際に蓋体が揺れることはなく、安定状態で保持される。
に保持された蓋体は、付勢手段によって付勢される押圧
部材に押圧される。このため、蓋体保持板が進退動する
際に蓋体が揺れることはなく、安定状態で保持される。
【００１６】請求項５に記載の発明の場合、ウェハキャ
リアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するため
のばねが取付けられている。このため、前記ウェハキャ
リアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキャ
リアが損傷することが防止される。
リアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するため
のばねが取付けられている。このため、前記ウェハキャ
リアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキャ
リアが損傷することが防止される。
【００１７】請求項６に記載の発明の場合、ロードポー
ト装置に設置されたウェハキャリアの蓋体が、垂直な水
平方向に沿って蓋体保持板に対して接近し、蓋体保持板
に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される際に、
押圧部材が蓋体を押圧する。そして、鍵部材が回動する
ことにより錠装置が解錠され、しかも、鍵部材と鍵穴と
が係合することにより、蓋体が蓋体保持板に保持され
る。そして、蓋体保持板が、蓋体を保持したままウェハ
キャリアから離隔される。このとき、鍵部材が蓋体を手
前側に引っ張ると共に、押圧部材が前記蓋体を反対方向
に押圧するため、該蓋体は突っ張り状態で保持される。
この結果、ウェハキャリアの蓋体は揺れることなく確実
に保持された状態で着脱される。
ト装置に設置されたウェハキャリアの蓋体が、垂直な水
平方向に沿って蓋体保持板に対して接近し、蓋体保持板
に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される際に、
押圧部材が蓋体を押圧する。そして、鍵部材が回動する
ことにより錠装置が解錠され、しかも、鍵部材と鍵穴と
が係合することにより、蓋体が蓋体保持板に保持され
る。そして、蓋体保持板が、蓋体を保持したままウェハ
キャリアから離隔される。このとき、鍵部材が蓋体を手
前側に引っ張ると共に、押圧部材が前記蓋体を反対方向
に押圧するため、該蓋体は突っ張り状態で保持される。
この結果、ウェハキャリアの蓋体は揺れることなく確実
に保持された状態で着脱される。
【００１８】請求項７に記載の発明の場合、蓋体保持板
に、蓋体の保持の有無を検出するための蓋体検出装置が
取付けられている。このため、蓋体が着脱される際に、
蓋体が保持されているか否かが確実に検出される。
に、蓋体の保持の有無を検出するための蓋体検出装置が
取付けられている。このため、蓋体が着脱される際に、
蓋体が保持されているか否かが確実に検出される。
【００１９】請求項８に記載の発明の場合、蓋体と蓋体
保持板とは、位置決めピンにより位置決めされた状態で
保持される。このため、蓋体がずれたり、落下したりす
ることが確実に防止されると共に、蓋体保持板に対する
蓋体の位置が常に一定になり、後工程の作業を的確に行
うことができる。
保持板とは、位置決めピンにより位置決めされた状態で
保持される。このため、蓋体がずれたり、落下したりす
ることが確実に防止されると共に、蓋体保持板に対する
蓋体の位置が常に一定になり、後工程の作業を的確に行
うことができる。
【００２０】請求項９に記載の発明の場合、位置決めピ
ンの周囲に押圧部材が設けられている。このため、前記
位置決めピンが、対応するピン穴に挿入されるとほぼ同
時に蓋体が押圧され、該蓋体がずれることが防止され
る。
ンの周囲に押圧部材が設けられている。このため、前記
位置決めピンが、対応するピン穴に挿入されるとほぼ同
時に蓋体が押圧され、該蓋体がずれることが防止され
る。
【００２１】請求項１０に記載の発明の場合、蓋体保持
板に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置
を検知することにより検出できる。このため、被検出部
材の構成を簡単なものにすることができる。
板に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置
を検知することにより検出できる。このため、被検出部
材の構成を簡単なものにすることができる。
【００２２】請求項１１に記載の発明の場合、鍵部材の
周囲に押圧部材が設けられている。このため、前記鍵部
材が、対応する鍵穴に挿入されるとほぼ同時に蓋体が押
圧され、該蓋体がずれることが防止される。
周囲に押圧部材が設けられている。このため、前記鍵部
材が、対応する鍵穴に挿入されるとほぼ同時に蓋体が押
圧され、該蓋体がずれることが防止される。
【００２３】請求項１２に記載の発明の場合、蓋体保持
板に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置
を検知することにより検出できる。このため、被検出部
材の構成を簡単なものにすることができる。
板に蓋体が保持されているか否かが、被検出部材の位置
を検知することにより検出できる。このため、被検出部
材の構成を簡単なものにすることができる。
【００２４】請求項１３に記載の発明の場合、ウェハキ
ャリアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するた
めのばねが取付けられている。このため、前記ウェハキ
ャリアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキ
ャリアが損傷することが防止される。
ャリアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するた
めのばねが取付けられている。このため、前記ウェハキ
ャリアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキ
ャリアが損傷することが防止される。
【００２５】請求項１４に記載の発明の場合、蓋体保持
板と鍵部材とが相互に進退動される。そして、前記鍵部
材がウェハキャリアの蓋体に設けられた鍵穴に相互に進
入し、錠装置が解錠された状態で前記鍵部材と前記鍵穴
とが係合して蓋体が保持される。このため、蓋体を、蓋
体保持板に安定状態で保持させたまま着脱することがで
きる。
板と鍵部材とが相互に進退動される。そして、前記鍵部
材がウェハキャリアの蓋体に設けられた鍵穴に相互に進
入し、錠装置が解錠された状態で前記鍵部材と前記鍵穴
とが係合して蓋体が保持される。このため、蓋体を、蓋
体保持板に安定状態で保持させたまま着脱することがで
きる。
【００２６】請求項１５に記載の発明の場合、蓋体保持
板と鍵部材との間に付勢手段が介されている。このた
め、蓋体は前記付勢手段の付勢力によって保持され、前
記蓋体保持板の移動中に、蓋体がずれるおそれがない。
板と鍵部材との間に付勢手段が介されている。このた
め、蓋体は前記付勢手段の付勢力によって保持され、前
記蓋体保持板の移動中に、蓋体がずれるおそれがない。
【００２７】請求項１６に記載の発明の場合、蓋体保持
板に、蓋体を密着状態で押圧することにより、該蓋体が
ずれることを防止するためのずれ止め部材が取付けられ
ている。このため、蓋体が密着状態で保持され、着脱装
置の作動中に蓋体がずれるおそれがない。
板に、蓋体を密着状態で押圧することにより、該蓋体が
ずれることを防止するためのずれ止め部材が取付けられ
ている。このため、蓋体が密着状態で保持され、着脱装
置の作動中に蓋体がずれるおそれがない。
【００２８】請求項１７に記載の発明の場合、蓋体保持
板に蓋体検出装置が取付けられている。このため、蓋体
保持板が蓋体を保持しているか否かを確実に検出するこ
とができる。
板に蓋体検出装置が取付けられている。このため、蓋体
保持板が蓋体を保持しているか否かを確実に検出するこ
とができる。
【００２９】請求項１８に記載の発明の場合、蓋体と蓋
体保持板とは、位置決めピンにより位置決めされた状態
で保持される。このため、蓋体がずれたり、落下したり
することが確実に防止されると共に、蓋体保持板に対す
る蓋体の位置が常に一定になり、後工程の作業を的確に
行うことができる。
体保持板とは、位置決めピンにより位置決めされた状態
で保持される。このため、蓋体がずれたり、落下したり
することが確実に防止されると共に、蓋体保持板に対す
る蓋体の位置が常に一定になり、後工程の作業を的確に
行うことができる。
【００３０】請求項１９に記載の発明の場合、ウェハキ
ャリアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するた
めのばねが取付けられている。このため、前記ウェハキ
ャリアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキ
ャリアが損傷することが防止される。
ャリアが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するた
めのばねが取付けられている。このため、前記ウェハキ
ャリアが衝撃力をもって当接することがなく、ウェハキ
ャリアが損傷することが防止される。
【００３１】請求項２０に記載の発明の場合、ウェハキ
ャリアを進退動させるためのキャリアベース移動ロッド
に、ばねが装着されている。ウェハキャリアの寸法に製
造誤差があり、該ウェハキャリアの長さが長めに製作さ
れている場合、該ウェハキャリアが前進されて装着板に
当接されるとき、衝撃力をもって当接されるおそれがあ
る。しかし、本発明では、ばねの付勢力によって、ウェ
ハキャリアが当接されるときの加速度が減じられるた
め、該ウェハキャリアが衝撃力をもって当接されること
はなく、ウェハキャリアが損傷することが防止される。
また、逆に、ウェハキャリアの長さが短めに製作されて
いる場合であっても、該ウェハキャリアを装着板に密着
させることができ、該装着板の開口部分の気密が図られ
る。
ャリアを進退動させるためのキャリアベース移動ロッド
に、ばねが装着されている。ウェハキャリアの寸法に製
造誤差があり、該ウェハキャリアの長さが長めに製作さ
れている場合、該ウェハキャリアが前進されて装着板に
当接されるとき、衝撃力をもって当接されるおそれがあ
る。しかし、本発明では、ばねの付勢力によって、ウェ
ハキャリアが当接されるときの加速度が減じられるた
め、該ウェハキャリアが衝撃力をもって当接されること
はなく、ウェハキャリアが損傷することが防止される。
また、逆に、ウェハキャリアの長さが短めに製作されて
いる場合であっても、該ウェハキャリアを装着板に密着
させることができ、該装着板の開口部分の気密が図られ
る。
【００３２】請求項２１に記載の発明の場合、ウェハキ
ャリアは緩衝部材を介して装着板に当接される。このた
め、ウェハキャリアが金属から成る装着板に当接される
ことがなく、該ウェハキャリアが損傷することが、より
確実に防止される。
ャリアは緩衝部材を介して装着板に当接される。このた
め、ウェハキャリアが金属から成る装着板に当接される
ことがなく、該ウェハキャリアが損傷することが、より
確実に防止される。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を更
に詳細に説明する。最初に、第１ないし第３の発明の実
施例の着脱装置について説明し、次に、第４発明のロー
ドポート装置について説明する。最初に、図１ないし図
３を参照しながら、ロードポート装置Ｌの全体構成につ
いて簡単に説明する。図１は本発明の第１実施例の着脱
装置Ｄ 1 が取付けられたロードポート装置Ｌの側面図、
図２は同じく背面図、図３は図１の要部の側面断面図で
ある。本発明の第１実施例の着脱装置Ｄ1 は、後述する
ように、ウェハキャリアＣの蓋体６に設けられた錠装置
Ｅと、蓋体保持板１５に設けられた鍵装置Ａ1 と、蓋体
検出装置Ｂ1 とから構成されている。図１に示されるよ
うに、ロードポート装置Ｌを構成する装置本体１の上面
には、該装置Ｌの前後方向に沿ってガイドレール２が敷
設されている。このガイドレール２に装着されたガイド
体２ａの上面には、ウェハキャリアＣを設置するための
キャリア設置板３が取付けられている。そして、前記キ
ャリア設置板３は、装置本体１の上面にロードポート装
置Ｌの前後方向に沿って取付けられた空気圧シリンダ４
のシリンダロッド４ａ（図３参照）に連結されている。
前記空気圧シリンダ４を作動させることにより、キャリ
ア設置板３に設置されたウェハキャリアＣを、同方向に
沿って移動させることができる。このウェハキャリアＣ
を構成するキャリア本体５の前部には、その外周縁に沿
って張り出された蓋体装着部５ａが設けられていて、該
蓋体装着部５ａは蓋体６によって閉塞されている。ま
た、前記ウェハキャリアＣは、該ウェハキャリアＣの下
面に設けられた凹部（図示せず）を、キャリア設置板３
の上面に設けられた凸部（図示せず）に嵌め込むことに
より、前記キャリア設置板３に固定される。
に詳細に説明する。最初に、第１ないし第３の発明の実
施例の着脱装置について説明し、次に、第４発明のロー
ドポート装置について説明する。最初に、図１ないし図
３を参照しながら、ロードポート装置Ｌの全体構成につ
いて簡単に説明する。図１は本発明の第１実施例の着脱
装置Ｄ 1 が取付けられたロードポート装置Ｌの側面図、
図２は同じく背面図、図３は図１の要部の側面断面図で
ある。本発明の第１実施例の着脱装置Ｄ1 は、後述する
ように、ウェハキャリアＣの蓋体６に設けられた錠装置
Ｅと、蓋体保持板１５に設けられた鍵装置Ａ1 と、蓋体
検出装置Ｂ1 とから構成されている。図１に示されるよ
うに、ロードポート装置Ｌを構成する装置本体１の上面
には、該装置Ｌの前後方向に沿ってガイドレール２が敷
設されている。このガイドレール２に装着されたガイド
体２ａの上面には、ウェハキャリアＣを設置するための
キャリア設置板３が取付けられている。そして、前記キ
ャリア設置板３は、装置本体１の上面にロードポート装
置Ｌの前後方向に沿って取付けられた空気圧シリンダ４
のシリンダロッド４ａ（図３参照）に連結されている。
前記空気圧シリンダ４を作動させることにより、キャリ
ア設置板３に設置されたウェハキャリアＣを、同方向に
沿って移動させることができる。このウェハキャリアＣ
を構成するキャリア本体５の前部には、その外周縁に沿
って張り出された蓋体装着部５ａが設けられていて、該
蓋体装着部５ａは蓋体６によって閉塞されている。ま
た、前記ウェハキャリアＣは、該ウェハキャリアＣの下
面に設けられた凹部（図示せず）を、キャリア設置板３
の上面に設けられた凸部（図示せず）に嵌め込むことに
より、前記キャリア設置板３に固定される。
【００３４】図３に示されるように、ロードポート装置
Ｌの装置本体１の後部（半導体製造装置Ｈに固定される
側）には、装着板７が取付けられている。前記ロードポ
ート装置Ｌは、この装着板７が、半導体製造装置Ｈに密
着状態で締め付けられることにより固定される。装着板
７の上部には、段付き状態で第１開口穴７ａと第２開口
穴７ｂとが設けられている。第１開口穴７ａは、ウェハ
キャリアＣに収納されたウェハＵを移載するためのもの
であり、第２開口穴７ｂは、ウェハキャリアＣの蓋体装
着部５ａを挿入させるためのものである。そして、第１
開口穴７ａと第２開口穴７ｂの間の段付部７ｃには、そ
の周縁に沿ってパッキン８が取付けられている。このパ
ッキン８が、ウェハキャリアＣの蓋体装着部５ａに密着
することにより、ウェハキャリアＣの外部と内部との気
密が図られる。
Ｌの装置本体１の後部（半導体製造装置Ｈに固定される
側）には、装着板７が取付けられている。前記ロードポ
ート装置Ｌは、この装着板７が、半導体製造装置Ｈに密
着状態で締め付けられることにより固定される。装着板
７の上部には、段付き状態で第１開口穴７ａと第２開口
穴７ｂとが設けられている。第１開口穴７ａは、ウェハ
キャリアＣに収納されたウェハＵを移載するためのもの
であり、第２開口穴７ｂは、ウェハキャリアＣの蓋体装
着部５ａを挿入させるためのものである。そして、第１
開口穴７ａと第２開口穴７ｂの間の段付部７ｃには、そ
の周縁に沿ってパッキン８が取付けられている。このパ
ッキン８が、ウェハキャリアＣの蓋体装着部５ａに密着
することにより、ウェハキャリアＣの外部と内部との気
密が図られる。
【００３５】更に、図２及び図３に示されるように、ロ
ードポート装置Ｌの装置本体１の背面部には、高さ方向
に沿ってロッドレスシリンダ９が配設されている。そし
て、ロッドレスシリンダ９の両側には、高さ方向に沿っ
て一対のガイドレール１１が配設されていて、それぞれ
にガイド体１１ａが装着されている。前記ロッドレスシ
リンダ９の移動体９ａ及び前記ガイド体１１ａには、ブ
ラケット１２が固着されている。ロッドレスシリンダ９
を作動させると、ブラケット１２が昇降する。このブラ
ケット１２の上面には、ロードポート装置Ｌの前後方向
に沿って２本のガイドレール１３が敷設されていて、そ
れぞれにガイド体１３ａが装着されている。各ガイド体
１３ａの上面には、ブロック１４を介して蓋体保持板１
５が取付けられている。この蓋体保持板１５は平板状
で、ウェハキャリアＣの蓋体６よりも僅かに大きく、し
かも前記蓋体６に相対向して取付けられている。そし
て、該蓋体保持板１５は、ブラケット１２の高さ方向に
ほぼ沿って取付けられた空気圧シリンダ１６と、該空気
圧シリンダ１６のシリンダロッド１６ａの先端部に取付
けられたリンク機構により、ロードポート装置Ｌの前後
方向に沿って移動可能である。なお、図２において、１
７は、ブラケット１２の上昇端と下降端を検出するため
のスイッチである。
ードポート装置Ｌの装置本体１の背面部には、高さ方向
に沿ってロッドレスシリンダ９が配設されている。そし
て、ロッドレスシリンダ９の両側には、高さ方向に沿っ
て一対のガイドレール１１が配設されていて、それぞれ
にガイド体１１ａが装着されている。前記ロッドレスシ
リンダ９の移動体９ａ及び前記ガイド体１１ａには、ブ
ラケット１２が固着されている。ロッドレスシリンダ９
を作動させると、ブラケット１２が昇降する。このブラ
ケット１２の上面には、ロードポート装置Ｌの前後方向
に沿って２本のガイドレール１３が敷設されていて、そ
れぞれにガイド体１３ａが装着されている。各ガイド体
１３ａの上面には、ブロック１４を介して蓋体保持板１
５が取付けられている。この蓋体保持板１５は平板状
で、ウェハキャリアＣの蓋体６よりも僅かに大きく、し
かも前記蓋体６に相対向して取付けられている。そし
て、該蓋体保持板１５は、ブラケット１２の高さ方向に
ほぼ沿って取付けられた空気圧シリンダ１６と、該空気
圧シリンダ１６のシリンダロッド１６ａの先端部に取付
けられたリンク機構により、ロードポート装置Ｌの前後
方向に沿って移動可能である。なお、図２において、１
７は、ブラケット１２の上昇端と下降端を検出するため
のスイッチである。
【００３６】図３に示されるように、前記蓋体保持板１
５におけるウェハキャリアＣの側には段付部１５ａが設
けられていて、その外周縁にパッキン１５ｂが取付けら
れている。空気圧シリンダ１６（図２参照）を作動させ
ると、そのシリンダロッド１６ａの先端部に取付けられ
たリンク機構により、蓋体保持板１５がウェハキャリア
Ｃの側に移動して、その段付部１５ａが装着板７の第１
開口穴７ａに入り込む。このとき、前記第１開口穴７ａ
は、蓋体保持板１５の段付部１５ａに取付けられたパッ
キン１５ｂによって閉塞され、半導体製造装置Ｈにおけ
る外部と内部との気密が図られる。
５におけるウェハキャリアＣの側には段付部１５ａが設
けられていて、その外周縁にパッキン１５ｂが取付けら
れている。空気圧シリンダ１６（図２参照）を作動させ
ると、そのシリンダロッド１６ａの先端部に取付けられ
たリンク機構により、蓋体保持板１５がウェハキャリア
Ｃの側に移動して、その段付部１５ａが装着板７の第１
開口穴７ａに入り込む。このとき、前記第１開口穴７ａ
は、蓋体保持板１５の段付部１５ａに取付けられたパッ
キン１５ｂによって閉塞され、半導体製造装置Ｈにおけ
る外部と内部との気密が図られる。
【００３７】次に、図４ないし図６を参照しながら、本
実施例のウェハキャリアＣについて説明する。図４は、
ウェハキャリアＣの斜視図、図５は錠装置Ｅを施錠した
状態のウェハキャリアＣの正面図、図６は同じく一部を
破断した側面図である。ウェハキャリアＣを構成するキ
ャリア本体５の前部には蓋体装着部５ａが設けられてい
て、該蓋体装着部５ａに蓋体６が装着される。蓋体６の
外周縁部には、全周に亘ってパッキン６ａが周設されて
いて、このパッキン６ａが前記蓋体装着部５ａの内側に
密着することにより、ウェハキャリアＣの内部と外部と
の気密が図られ、ウェハキャリアＣ内のクリーンな雰囲
気が維持される。この蓋体６の内部で、その幅方向の両
側部には、一対の錠装置Ｅが設けられている。
実施例のウェハキャリアＣについて説明する。図４は、
ウェハキャリアＣの斜視図、図５は錠装置Ｅを施錠した
状態のウェハキャリアＣの正面図、図６は同じく一部を
破断した側面図である。ウェハキャリアＣを構成するキ
ャリア本体５の前部には蓋体装着部５ａが設けられてい
て、該蓋体装着部５ａに蓋体６が装着される。蓋体６の
外周縁部には、全周に亘ってパッキン６ａが周設されて
いて、このパッキン６ａが前記蓋体装着部５ａの内側に
密着することにより、ウェハキャリアＣの内部と外部と
の気密が図られ、ウェハキャリアＣ内のクリーンな雰囲
気が維持される。この蓋体６の内部で、その幅方向の両
側部には、一対の錠装置Ｅが設けられている。
【００３８】次に、錠装置Ｅについて説明する。図４に
示されるように、各錠装置Ｅは、蓋体６の高さ方向のほ
ぼ中央部に、その軸心ＣＬ1 を中心に回動可能にして配
設された円板状のディスク板１８の上下に、ロックプレ
ート１９が昇降可能にして取付けられた構成である。図
５、図７及び図８に示されるように、各ディスク板１８
には、その周方向に約９０°に亘って溝カム１８ａが設
けられている。この溝カム１８ａのカム半径Ｒは、前記
ディスク板１８の周方向に沿って短くなっている。そし
て、前記ロックプレート１９の基端部（ディスク板１８
の側の端部）に取付けられた連結ピン１９ａが、前記溝
カム１８ａに嵌合されている。この連結ピン１９ａは、
前記溝カム１８ａ内を移動可能である。ディスク板１８
の正面側には、一対の突起体１８ｂが突設されている。
錠装置Ｅが施錠された状態において、一対の突起体１８
ｂは、ほぼ水平な状態を呈している。そして、蓋体６に
おいて、前記一対の突起体１８ｂと対応する部分には、
鍵装置Ａ1 を構成する鍵部材２１の本体部２１ａ（図１
１参照）を、蓋体６の内部に進入させるための鍵穴２２
が設けられている。後述するように、鍵部材２１の本体
部２１ａは、必ず水平状態となって前記鍵穴２２に入り
込む。このため、前記鍵穴２２は、正面視における鍵部
材２１の本体部２１ａよりも僅かに大きな長方形状であ
る。
示されるように、各錠装置Ｅは、蓋体６の高さ方向のほ
ぼ中央部に、その軸心ＣＬ1 を中心に回動可能にして配
設された円板状のディスク板１８の上下に、ロックプレ
ート１９が昇降可能にして取付けられた構成である。図
５、図７及び図８に示されるように、各ディスク板１８
には、その周方向に約９０°に亘って溝カム１８ａが設
けられている。この溝カム１８ａのカム半径Ｒは、前記
ディスク板１８の周方向に沿って短くなっている。そし
て、前記ロックプレート１９の基端部（ディスク板１８
の側の端部）に取付けられた連結ピン１９ａが、前記溝
カム１８ａに嵌合されている。この連結ピン１９ａは、
前記溝カム１８ａ内を移動可能である。ディスク板１８
の正面側には、一対の突起体１８ｂが突設されている。
錠装置Ｅが施錠された状態において、一対の突起体１８
ｂは、ほぼ水平な状態を呈している。そして、蓋体６に
おいて、前記一対の突起体１８ｂと対応する部分には、
鍵装置Ａ1 を構成する鍵部材２１の本体部２１ａ（図１
１参照）を、蓋体６の内部に進入させるための鍵穴２２
が設けられている。後述するように、鍵部材２１の本体
部２１ａは、必ず水平状態となって前記鍵穴２２に入り
込む。このため、前記鍵穴２２は、正面視における鍵部
材２１の本体部２１ａよりも僅かに大きな長方形状であ
る。
【００３９】この錠装置Ｅは、上下のロックプレート１
９の先端部が、キャリア本体５の蓋体装着部５ａに設け
られた嵌合穴２３に嵌合されることによって施錠される
構成である。図７ないし図１０を参照しながら、錠装置
Ｅを解錠する際の作用について説明する。鍵穴２２を介
して蓋体６の内部に進入した鍵部材２１が、一対の突起
体１８ｂの間に入り込む。そして、鍵部材２１が矢印Ｐ
の方向に回動されることにより、一対の突起体１８ｂを
介してディスク板１８が、その軸心ＣＬ1 を中心に同方
向に回動される。ディスク板１８が矢印Ｐの方向に回動
されるのに伴い、そのカム半径Ｒが徐々に小さくなり、
カム半径Ｒ’となるため、上下のロックプレート１９の
基端部が互いに接近する。すると、上下のロックプレー
ト１９の先端部が、蓋体装着部５ａに設けられた嵌合穴
２３から離脱されるため、錠装置Ｅの解錠が行われる。
鍵部材２１を矢印Ｐと反対の方向に回動させることによ
って、再び錠装置Ｅの施錠を行うことができる。
９の先端部が、キャリア本体５の蓋体装着部５ａに設け
られた嵌合穴２３に嵌合されることによって施錠される
構成である。図７ないし図１０を参照しながら、錠装置
Ｅを解錠する際の作用について説明する。鍵穴２２を介
して蓋体６の内部に進入した鍵部材２１が、一対の突起
体１８ｂの間に入り込む。そして、鍵部材２１が矢印Ｐ
の方向に回動されることにより、一対の突起体１８ｂを
介してディスク板１８が、その軸心ＣＬ1 を中心に同方
向に回動される。ディスク板１８が矢印Ｐの方向に回動
されるのに伴い、そのカム半径Ｒが徐々に小さくなり、
カム半径Ｒ’となるため、上下のロックプレート１９の
基端部が互いに接近する。すると、上下のロックプレー
ト１９の先端部が、蓋体装着部５ａに設けられた嵌合穴
２３から離脱されるため、錠装置Ｅの解錠が行われる。
鍵部材２１を矢印Ｐと反対の方向に回動させることによ
って、再び錠装置Ｅの施錠を行うことができる。
【００４０】次に、鍵装置Ａ1 と蓋体検出装置Ｂ1 につ
いて説明する。図１１は第１実施例の着脱装置Ｄ1 の斜
視図、図１２は第１実施例の鍵装置Ａ1 及び蓋体検出装
置Ｂ 1 の背面図、図１３は図１２のＸ−Ｘ線断面図、図
１４は押圧ピン３２の部分の側面断面図である。図１１
に示されるように、蓋体保持板１５において、半導体製
造装置Ｈと相対向する側の上部には鍵装置Ａ1 の主要部
分が設けられていて、同じくほぼ中央部には蓋体検出装
置Ｂ1 が設けられている。最初に、鍵装置Ａ1について
説明する。図１１ないし図１３に示されるように、鍵装
置Ａ1 を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａが、
蓋体保持板１５において、ウェハキャリアＣの蓋体６と
相対向する側に突出して設けられている。一対の鍵部材
２１は、ウェハキャリアＣの蓋体６における一対の鍵穴
２２と相対向して設けられている。そして、各鍵部材２
１の回動軸部２１ｂは、蓋体保持板１５に内装された軸
受２４に支承されている。このため、各鍵部材２１は、
その軸心ＣＬ2 を中心として回動可能である。鍵部材２
１の本体部２１ａは、前記鍵穴２２よりも少し小さい横
長の長方形状であり、通常の状態で水平状態を呈してい
る。そして、一対の鍵部材２１における回動軸部２１ｂ
の後端部には、各リンク板２５の下端部が取付けられて
いる。一対のリンク板２５の上端部は、連結ピン２６に
より遊動状態で連結板２７と連結されている。一対のリ
ンク板２５は、前記連結板２７によって互いにほぼ平行
な状態で連結されていて、平行リンク機構が形成されて
いる。このため、前記連結板２７を円弧状に移動させる
ことによって、一対のリンク板２５を、各鍵部材２１の
軸心ＣＬ2 を中心とするクランク運動をさせることがで
きる。この結果、一対の鍵部材２１は同期して、同一方
向に、しかも予め設定された角度だけ回動される。この
角度は、錠装置Ｅを構成する各ディスク板１８における
溝カム１８ａの角度とほぼ同一であり、約９０°であ
る。
いて説明する。図１１は第１実施例の着脱装置Ｄ1 の斜
視図、図１２は第１実施例の鍵装置Ａ1 及び蓋体検出装
置Ｂ 1 の背面図、図１３は図１２のＸ−Ｘ線断面図、図
１４は押圧ピン３２の部分の側面断面図である。図１１
に示されるように、蓋体保持板１５において、半導体製
造装置Ｈと相対向する側の上部には鍵装置Ａ1 の主要部
分が設けられていて、同じくほぼ中央部には蓋体検出装
置Ｂ1 が設けられている。最初に、鍵装置Ａ1について
説明する。図１１ないし図１３に示されるように、鍵装
置Ａ1 を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａが、
蓋体保持板１５において、ウェハキャリアＣの蓋体６と
相対向する側に突出して設けられている。一対の鍵部材
２１は、ウェハキャリアＣの蓋体６における一対の鍵穴
２２と相対向して設けられている。そして、各鍵部材２
１の回動軸部２１ｂは、蓋体保持板１５に内装された軸
受２４に支承されている。このため、各鍵部材２１は、
その軸心ＣＬ2 を中心として回動可能である。鍵部材２
１の本体部２１ａは、前記鍵穴２２よりも少し小さい横
長の長方形状であり、通常の状態で水平状態を呈してい
る。そして、一対の鍵部材２１における回動軸部２１ｂ
の後端部には、各リンク板２５の下端部が取付けられて
いる。一対のリンク板２５の上端部は、連結ピン２６に
より遊動状態で連結板２７と連結されている。一対のリ
ンク板２５は、前記連結板２７によって互いにほぼ平行
な状態で連結されていて、平行リンク機構が形成されて
いる。このため、前記連結板２７を円弧状に移動させる
ことによって、一対のリンク板２５を、各鍵部材２１の
軸心ＣＬ2 を中心とするクランク運動をさせることがで
きる。この結果、一対の鍵部材２１は同期して、同一方
向に、しかも予め設定された角度だけ回動される。この
角度は、錠装置Ｅを構成する各ディスク板１８における
溝カム１８ａの角度とほぼ同一であり、約９０°であ
る。
【００４１】上記したクランク運動は、単一の空気圧シ
リンダ２８によって行われる。即ち、蓋体保持板１５の
背面側で連結板２７の上方には、空気圧シリンダ２８
が、前記蓋体保持板１５の板面に対して平行に配設され
ている。この空気圧シリンダ２８の後端部は、蓋体保持
板１５において、半導体製造装置Ｈと相対向する側に垂
直に取付けられた支点ピン２９に支承されている。そし
て、蓋体保持板１５に平行な垂直面内で回動可能であ
る。そして、そのシリンダロッド２８ａは、連結ブロッ
ク３１を介して、ほぼ水平に配置されるように連結板２
７と連結されている。空気圧シリンダ２８を作動させる
と、そのシリンダロッド２８ａが出入りする。該空気圧
シリンダ２８は、支点ピン２９の軸心を中心に上下に揺
動しながら、連結板２７を円弧状に移動させる。する
と、一対のリンク板２５を介して各鍵部材２１が、それ
ぞれの軸心ＣＬ2 を中心に、同期して同一方向に、設定
角度だけ回動される。
リンダ２８によって行われる。即ち、蓋体保持板１５の
背面側で連結板２７の上方には、空気圧シリンダ２８
が、前記蓋体保持板１５の板面に対して平行に配設され
ている。この空気圧シリンダ２８の後端部は、蓋体保持
板１５において、半導体製造装置Ｈと相対向する側に垂
直に取付けられた支点ピン２９に支承されている。そし
て、蓋体保持板１５に平行な垂直面内で回動可能であ
る。そして、そのシリンダロッド２８ａは、連結ブロッ
ク３１を介して、ほぼ水平に配置されるように連結板２
７と連結されている。空気圧シリンダ２８を作動させる
と、そのシリンダロッド２８ａが出入りする。該空気圧
シリンダ２８は、支点ピン２９の軸心を中心に上下に揺
動しながら、連結板２７を円弧状に移動させる。する
と、一対のリンク板２５を介して各鍵部材２１が、それ
ぞれの軸心ＣＬ2 を中心に、同期して同一方向に、設定
角度だけ回動される。
【００４２】上記した蓋体保持板１５には、蓋体６を着
脱する際に、該蓋体６を安定状態で保持するための複数
本（本実施例の場合、４本）の押圧ピン３２が設けられ
ている。次に、押圧ピン３２について説明する。図１２
ないし図１５に示されるように、蓋体保持板１５におけ
る四隅の近傍には、４本の押圧ピン３２が配設されてい
る。これらの押圧ピン３２は、ロードポート装置Ｌの前
後方向に沿って設けられた各押圧ピン挿通穴３３に挿通
されている。この押圧ピン３２は樹脂製であり、その先
端部が略紡錘状を成す本体部３２ａと、前記押圧ピン挿
通穴３３の内径よりも大きな外径を有するガイド部３２
ｂとから成っている。そして、蓋体保持板１５における
半導体製造装置Ｈの側から前記押圧ピン挿通穴３３に挿
通されていて、更に、蓋体保持板１５における半導体製
造装置Ｈの側に、ばね受け体３４が取付けられている。
このばね受け体３４は有底円筒状のものであり、押圧ピ
ン３２が落下しないように支持するためのものである。
押圧ピン３２のガイド部３２ｂが、ばね受け体３４の内
部に配置される。そして、押圧ピン３２のガイド部３２
ｂとばね受け体３４の底部との間に圧縮ばね３５が弾装
されている。このため、押圧ピン３２は、その本体部３
２ａが蓋体保持板１５からウェハキャリアＣの側に突出
した状態で付勢されている。
脱する際に、該蓋体６を安定状態で保持するための複数
本（本実施例の場合、４本）の押圧ピン３２が設けられ
ている。次に、押圧ピン３２について説明する。図１２
ないし図１５に示されるように、蓋体保持板１５におけ
る四隅の近傍には、４本の押圧ピン３２が配設されてい
る。これらの押圧ピン３２は、ロードポート装置Ｌの前
後方向に沿って設けられた各押圧ピン挿通穴３３に挿通
されている。この押圧ピン３２は樹脂製であり、その先
端部が略紡錘状を成す本体部３２ａと、前記押圧ピン挿
通穴３３の内径よりも大きな外径を有するガイド部３２
ｂとから成っている。そして、蓋体保持板１５における
半導体製造装置Ｈの側から前記押圧ピン挿通穴３３に挿
通されていて、更に、蓋体保持板１５における半導体製
造装置Ｈの側に、ばね受け体３４が取付けられている。
このばね受け体３４は有底円筒状のものであり、押圧ピ
ン３２が落下しないように支持するためのものである。
押圧ピン３２のガイド部３２ｂが、ばね受け体３４の内
部に配置される。そして、押圧ピン３２のガイド部３２
ｂとばね受け体３４の底部との間に圧縮ばね３５が弾装
されている。このため、押圧ピン３２は、その本体部３
２ａが蓋体保持板１５からウェハキャリアＣの側に突出
した状態で付勢されている。
【００４３】次に、蓋体検出装置Ｂ1 について説明す
る。図１２、図１６及び図１７に示されるように、蓋体
保持板１５のほぼ中央部には、ロードポート装置Ｌの前
後方向に沿って貫通穴３６が設けられていて、該貫通穴
３６に軸受３７が装着されている。この軸受３７には、
検出ピン３８が同方向に沿って移動可能にして挿通され
ている。この検出ピン３８は段付軸であり、蓋体６によ
って押圧される本体部３８ａと、該本体部３８ａと同軸
にして設けられた検出ロッド部３８ｂとから成る。本体
部３８ａの先端部は半球状を成していると共に、その後
端部には、前記本体部３８ａの外径よりも大きな円板状
のばね受け体３９が装着されている。また、蓋体保持板
１５における半導体製造装置Ｈの側には、側面視におい
て略Ｕ字状のブラケット４１と、光センサ４２が固着さ
れている。この光センサ４２の上部は二股状になってい
て、投光部４２ａと受光部４２ｂとが設けられており、
一方側の投光部４２ａから他方側の受光部４２ｂに向け
て常に、可視光線、紫外線、赤外線等の光４２ｃが発せ
られている。この光４２ｃが被検出物（この場合、検出
ロッド部３８ｂ）によって遮断されることにより、検出
信号が出力される構成である。更に、検出ピン３８の検
出ロッド部３８ｂの外周部分には圧縮ばね４３が弾装さ
れていて、該圧縮ばね４３は、前記ばね受け体３９とブ
ラケット４１によって支持されている。このため、検出
ピン３８は、常にウェハキャリアＣの側に付勢されてい
る。
る。図１２、図１６及び図１７に示されるように、蓋体
保持板１５のほぼ中央部には、ロードポート装置Ｌの前
後方向に沿って貫通穴３６が設けられていて、該貫通穴
３６に軸受３７が装着されている。この軸受３７には、
検出ピン３８が同方向に沿って移動可能にして挿通され
ている。この検出ピン３８は段付軸であり、蓋体６によ
って押圧される本体部３８ａと、該本体部３８ａと同軸
にして設けられた検出ロッド部３８ｂとから成る。本体
部３８ａの先端部は半球状を成していると共に、その後
端部には、前記本体部３８ａの外径よりも大きな円板状
のばね受け体３９が装着されている。また、蓋体保持板
１５における半導体製造装置Ｈの側には、側面視におい
て略Ｕ字状のブラケット４１と、光センサ４２が固着さ
れている。この光センサ４２の上部は二股状になってい
て、投光部４２ａと受光部４２ｂとが設けられており、
一方側の投光部４２ａから他方側の受光部４２ｂに向け
て常に、可視光線、紫外線、赤外線等の光４２ｃが発せ
られている。この光４２ｃが被検出物（この場合、検出
ロッド部３８ｂ）によって遮断されることにより、検出
信号が出力される構成である。更に、検出ピン３８の検
出ロッド部３８ｂの外周部分には圧縮ばね４３が弾装さ
れていて、該圧縮ばね４３は、前記ばね受け体３９とブ
ラケット４１によって支持されている。このため、検出
ピン３８は、常にウェハキャリアＣの側に付勢されてい
る。
【００４４】次に、本発明の第１実施例の着脱装置Ｄ1
の作用について説明する。図３に示されるように、ロー
ドポート装置Ｌの装着板７には、蓋体保持板１５のパッ
キン１５ｂが押し付けられているため、半導体製造装置
Ｈは気密状態で保持されている。また、ウェハキャリア
Ｃには所定枚数のウェハＵが収納されていて、蓋体６に
設けられた錠装置Ｅが施錠されている。この状態で、空
気圧シリンダ４を作動させ、ウェハキャリアＣを半導体
製造装置Ｈの側に移動させる。図１１に示されるよう
に、蓋体保持板１５に設けられた一対の鍵部材２１の本
体部２１ａが、相対向する鍵穴２２を介して蓋体６の内
部に相対的に進入する。錠装置Ｅが施錠されている状態
で前記鍵穴２２は、前記鍵部材２１の本体部２１ａに対
応する水平状態に配置されていて、しかも両者２１，２
２の軸心ＣＬ1,ＣＬ2 は合致しているため、一対の鍵部
材２１の本体部２１ａはスムーズに進入する。同時に、
各押圧ピン３２と検出ピン３８が蓋体６に押圧され、そ
れぞれの圧縮ばね３５，４３の付勢力に抗して後退され
る。その状態を、図１８に示す。
の作用について説明する。図３に示されるように、ロー
ドポート装置Ｌの装着板７には、蓋体保持板１５のパッ
キン１５ｂが押し付けられているため、半導体製造装置
Ｈは気密状態で保持されている。また、ウェハキャリア
Ｃには所定枚数のウェハＵが収納されていて、蓋体６に
設けられた錠装置Ｅが施錠されている。この状態で、空
気圧シリンダ４を作動させ、ウェハキャリアＣを半導体
製造装置Ｈの側に移動させる。図１１に示されるよう
に、蓋体保持板１５に設けられた一対の鍵部材２１の本
体部２１ａが、相対向する鍵穴２２を介して蓋体６の内
部に相対的に進入する。錠装置Ｅが施錠されている状態
で前記鍵穴２２は、前記鍵部材２１の本体部２１ａに対
応する水平状態に配置されていて、しかも両者２１，２
２の軸心ＣＬ1,ＣＬ2 は合致しているため、一対の鍵部
材２１の本体部２１ａはスムーズに進入する。同時に、
各押圧ピン３２と検出ピン３８が蓋体６に押圧され、そ
れぞれの圧縮ばね３５，４３の付勢力に抗して後退され
る。その状態を、図１８に示す。
【００４５】図１９に示されるように、空気圧シリンダ
２８を作動させ、そのシリンダロッド２８ａを突出させ
ると、連結板２７を介して一対のリンク板２５がクラン
ク運動を行うため、一対の鍵部材２１が、それらの軸心
ＣＬ2 を中心に同期して設定角度（ほぼ９０°）だけ回
動される。図７ないし図１０に示されるように、上下の
ロックプレート１９が昇降して、ウェハキャリアＣの蓋
体装着部５ａに設けられた嵌合穴２３から離脱されるた
め、錠装置Ｅが解錠される。このとき、各鍵部材２１の
本体部２１ａは起立状態に配置されているため、対応す
る鍵穴２２と係合し、抜け出ることはない。しかも、蓋
体６の四隅は、各押圧ピン３２によって付勢されている
ため、該蓋体６は突っ張った状態で保持される。この結
果、蓋体６は前記蓋体保持板１５に安定状態で保持され
る。同時に、検出ピン３８が蓋体６に押圧されて後退す
る。検出ピン３８の検出ロッド部３８ｂが、光センサ４
２の光４２ｃを遮断するため、該光センサ４２から検出
信号が出力される。
２８を作動させ、そのシリンダロッド２８ａを突出させ
ると、連結板２７を介して一対のリンク板２５がクラン
ク運動を行うため、一対の鍵部材２１が、それらの軸心
ＣＬ2 を中心に同期して設定角度（ほぼ９０°）だけ回
動される。図７ないし図１０に示されるように、上下の
ロックプレート１９が昇降して、ウェハキャリアＣの蓋
体装着部５ａに設けられた嵌合穴２３から離脱されるた
め、錠装置Ｅが解錠される。このとき、各鍵部材２１の
本体部２１ａは起立状態に配置されているため、対応す
る鍵穴２２と係合し、抜け出ることはない。しかも、蓋
体６の四隅は、各押圧ピン３２によって付勢されている
ため、該蓋体６は突っ張った状態で保持される。この結
果、蓋体６は前記蓋体保持板１５に安定状態で保持され
る。同時に、検出ピン３８が蓋体６に押圧されて後退す
る。検出ピン３８の検出ロッド部３８ｂが、光センサ４
２の光４２ｃを遮断するため、該光センサ４２から検出
信号が出力される。
【００４６】続いて、空気圧シリンダ１６（図２参照）
を作動させて、蓋体保持板１５を半導体製造装置Ｈの側
に移動させる。図２０に示されるように、蓋体６は、蓋
体保持板１５に保持されているため、蓋体保持板１５と
一体となって装着板７から離隔される。蓋体６は、蓋体
保持板１５に保持されているため、蓋体保持板１５が移
動している間にも、光センサ４２から検出信号が出力さ
れている。この場合、着脱装置Ｄ1 は正常に作動してお
り、そのまま通常の作動が継続される。
を作動させて、蓋体保持板１５を半導体製造装置Ｈの側
に移動させる。図２０に示されるように、蓋体６は、蓋
体保持板１５に保持されているため、蓋体保持板１５と
一体となって装着板７から離隔される。蓋体６は、蓋体
保持板１５に保持されているため、蓋体保持板１５が移
動している間にも、光センサ４２から検出信号が出力さ
れている。この場合、着脱装置Ｄ1 は正常に作動してお
り、そのまま通常の作動が継続される。
【００４７】ここで、光センサ４２から検出信号が出力
されるということは、即ち、蓋体６が検出ピン３８を押
圧しているということを意味している。しかも、この蓋
体６には、各押圧ピン３２の各圧縮ばね３５の付勢力が
作用しているため、前記蓋体６は常に押圧されている。
前記蓋体６が、各圧縮ばね３５の付勢力に抗して蓋体保
持板１５にほぼ密着状態で保持されるためには、鍵装置
Ａ1 を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａと、蓋
体６に設けられた錠装置Ｅを構成する一対の鍵穴２２と
が係合されていることが必要である。もし、一対の鍵部
材２１の本体部２１ａが折損した場合、一対の鍵部材２
１が回動しても、該鍵部材２１は空転するのみであり、
対応する鍵穴２２と係合されることはない。しかも、該
蓋体６は、各押圧ピン３２により押圧されている。この
ため、蓋体保持板１５が装着板７から離隔する際に、一
対の鍵部材２１は、対応する鍵穴２２からそのまま抜け
出てしまい、蓋体保持板１５のみが移動する。検出ピン
３８は、圧縮ばね４３の付勢力により、蓋体保持板１５
から突出する方向に付勢されているため、該検出ピン３
８は前進し、その検出ロッド部３８ｂが光センサ４２の
光４２ｃを遮断しなくなる。この結果、光センサ４２か
らの検出信号の出力が停止される。このようにして、蓋
体保持板１５が蓋体６を保持していないことが検出さ
れ、その旨の警報等が発せられる。これにより、鍵部材
２１、或いは錠装置Ｅのいずれかに支障があることが判
明する。
されるということは、即ち、蓋体６が検出ピン３８を押
圧しているということを意味している。しかも、この蓋
体６には、各押圧ピン３２の各圧縮ばね３５の付勢力が
作用しているため、前記蓋体６は常に押圧されている。
前記蓋体６が、各圧縮ばね３５の付勢力に抗して蓋体保
持板１５にほぼ密着状態で保持されるためには、鍵装置
Ａ1 を構成する一対の鍵部材２１の本体部２１ａと、蓋
体６に設けられた錠装置Ｅを構成する一対の鍵穴２２と
が係合されていることが必要である。もし、一対の鍵部
材２１の本体部２１ａが折損した場合、一対の鍵部材２
１が回動しても、該鍵部材２１は空転するのみであり、
対応する鍵穴２２と係合されることはない。しかも、該
蓋体６は、各押圧ピン３２により押圧されている。この
ため、蓋体保持板１５が装着板７から離隔する際に、一
対の鍵部材２１は、対応する鍵穴２２からそのまま抜け
出てしまい、蓋体保持板１５のみが移動する。検出ピン
３８は、圧縮ばね４３の付勢力により、蓋体保持板１５
から突出する方向に付勢されているため、該検出ピン３
８は前進し、その検出ロッド部３８ｂが光センサ４２の
光４２ｃを遮断しなくなる。この結果、光センサ４２か
らの検出信号の出力が停止される。このようにして、蓋
体保持板１５が蓋体６を保持していないことが検出さ
れ、その旨の警報等が発せられる。これにより、鍵部材
２１、或いは錠装置Ｅのいずれかに支障があることが判
明する。
【００４８】次に、蓋体保持板１５が蓋体６を保持して
いるときに、停電した場合について説明する。通常の場
合、停電後の再給電時に一対の鍵部材２１が原点復帰す
るため、一対の鍵部材２１の本体部２１ａは水平状態を
呈する。この状態は、一対の鍵部材２１の本体部２１ａ
と対応する鍵穴２２との係合が解除された状態である。
しかも、前記蓋体６は、各押圧ピン３２に取付けられた
各圧縮ばね３５によって付勢されているため、該蓋体６
は蓋体保持板１５から離脱して落下するおそれがある。
ところが、本実施例の場合、光センサ４２によって蓋体
保持板１５が蓋体６を保持していることを検出すること
ができる。このため、蓋体保持板１５が蓋体６を保持し
ている場合には、再給電された際に、一対の鍵部材２１
が原点復帰しないように制御装置（図示せず）により制
御される。こうすることによって、蓋体６が離脱して落
下することが防止される。なお、この作用は、停電後の
再給電時に限られるものではない。
いるときに、停電した場合について説明する。通常の場
合、停電後の再給電時に一対の鍵部材２１が原点復帰す
るため、一対の鍵部材２１の本体部２１ａは水平状態を
呈する。この状態は、一対の鍵部材２１の本体部２１ａ
と対応する鍵穴２２との係合が解除された状態である。
しかも、前記蓋体６は、各押圧ピン３２に取付けられた
各圧縮ばね３５によって付勢されているため、該蓋体６
は蓋体保持板１５から離脱して落下するおそれがある。
ところが、本実施例の場合、光センサ４２によって蓋体
保持板１５が蓋体６を保持していることを検出すること
ができる。このため、蓋体保持板１５が蓋体６を保持し
ている場合には、再給電された際に、一対の鍵部材２１
が原点復帰しないように制御装置（図示せず）により制
御される。こうすることによって、蓋体６が離脱して落
下することが防止される。なお、この作用は、停電後の
再給電時に限られるものではない。
【００４９】上記したように、第１実施例の着脱装置Ｄ
1 の場合、蓋体保持板１５が装着板７から離隔する際
に、蓋体６が保持されているか否かを検出することがで
きる。蓋体保持板１５が蓋体６を保持した状態で離隔す
るということは、ウェハキャリアＣが開口されたという
ことを意味する。このため、ロボット装置のアーム（図
示せず）は蓋体６と干渉することなく、ウェハキャリア
Ｃ内に進入することができる。そして、ウェハキャリア
Ｃに収納されたウェハＵが半導体製造装置Ｈ内に移載さ
れる。
1 の場合、蓋体保持板１５が装着板７から離隔する際
に、蓋体６が保持されているか否かを検出することがで
きる。蓋体保持板１５が蓋体６を保持した状態で離隔す
るということは、ウェハキャリアＣが開口されたという
ことを意味する。このため、ロボット装置のアーム（図
示せず）は蓋体６と干渉することなく、ウェハキャリア
Ｃ内に進入することができる。そして、ウェハキャリア
Ｃに収納されたウェハＵが半導体製造装置Ｈ内に移載さ
れる。
【００５０】半導体製造装置Ｈ内で化学処理が施された
ウェハＵは、再びウェハキャリアＣに収納される。そし
て、上記した作用と全く逆の順序で、ウェハキャリアＣ
におけるキャリア本体５の蓋体装着部５ａに蓋体６が取
付けられ、錠装置Ｅの施錠が行われる。
ウェハＵは、再びウェハキャリアＣに収納される。そし
て、上記した作用と全く逆の順序で、ウェハキャリアＣ
におけるキャリア本体５の蓋体装着部５ａに蓋体６が取
付けられ、錠装置Ｅの施錠が行われる。
【００５１】次に、第２実施例の着脱装置Ｄ2 について
説明する。第２実施例の着脱装置Ｄ 2 は、第１実施例の
着脱装置Ｄ1 と同様に、ウェハキャリアＣの蓋体５１に
設けられた錠装置Ｅと、蓋体保持板５２に設けられた鍵
装置Ａ2 と、蓋体検出装置Ｂ 2 とから構成されている。
図２１に示されるように、前記蓋体５１のほぼ中央部に
凹部５１ａが設けられており、しかも、該蓋体５１の上
部と下部には、鍵装置Ａ2 との位置決めを行うためのピ
ン穴５３が、２箇所に設けられている。なお、錠装置Ｅ
の構成は、第１実施例のものと全く同一であり、鍵穴２
２が設けられている。
説明する。第２実施例の着脱装置Ｄ 2 は、第１実施例の
着脱装置Ｄ1 と同様に、ウェハキャリアＣの蓋体５１に
設けられた錠装置Ｅと、蓋体保持板５２に設けられた鍵
装置Ａ2 と、蓋体検出装置Ｂ 2 とから構成されている。
図２１に示されるように、前記蓋体５１のほぼ中央部に
凹部５１ａが設けられており、しかも、該蓋体５１の上
部と下部には、鍵装置Ａ2 との位置決めを行うためのピ
ン穴５３が、２箇所に設けられている。なお、錠装置Ｅ
の構成は、第１実施例のものと全く同一であり、鍵穴２
２が設けられている。
【００５２】最初に、鍵装置Ａ2 について説明する。図
２２に示されるように、蓋体保持板５２の背面側には、
空気圧シリンダ５４が、前記蓋体保持板５２の板面に平
行に取付けられている。該空気圧シリンダ５４の上方に
は、そのシリンダロッド５４ａに取付けられた連結ブロ
ック５５を介して連結板５６が取付けられている。この
連結板５６の両側には、それぞれ２本のリンク板５７，
５８が回動自在にして取付けられていて、各リンク板５
７，５８を介して、一対の鍵部材５９が連結されてい
る。図２３及び図２４に示されるように、一対の鍵部材
５９は、円筒状のブラケット６１の内側に配設された軸
受６２に支承されていて、回動自在である。そして、そ
の先端の部分（本体部５９ａ）は、蓋体保持板５２から
突出している。一対のリンク板５８は、互いにほぼ平行
な状態で連結されていて、平行リンク機構が形成されて
いる。このため、空気圧シリンダ５４を作動させること
により、一対の鍵部材５９を同期して、同一方向に、し
かも予め設定された角度だけ回動させることができる。
図２２において、空気圧シリンダ５４を作動させて一対
のリンク板５８を回動させた状態を二点鎖線で示す。前
記ブラケット６１の内側で、一対の鍵部材５９の外周部
分には、押圧筒６３が装着されている。この押圧筒６３
の後方（背面側）には、圧縮ばね６４が弾装されてい
て、該圧縮ばね６４により、前記押圧筒６３は、常に前
方（蓋体５１の側）に付勢されている。
２２に示されるように、蓋体保持板５２の背面側には、
空気圧シリンダ５４が、前記蓋体保持板５２の板面に平
行に取付けられている。該空気圧シリンダ５４の上方に
は、そのシリンダロッド５４ａに取付けられた連結ブロ
ック５５を介して連結板５６が取付けられている。この
連結板５６の両側には、それぞれ２本のリンク板５７，
５８が回動自在にして取付けられていて、各リンク板５
７，５８を介して、一対の鍵部材５９が連結されてい
る。図２３及び図２４に示されるように、一対の鍵部材
５９は、円筒状のブラケット６１の内側に配設された軸
受６２に支承されていて、回動自在である。そして、そ
の先端の部分（本体部５９ａ）は、蓋体保持板５２から
突出している。一対のリンク板５８は、互いにほぼ平行
な状態で連結されていて、平行リンク機構が形成されて
いる。このため、空気圧シリンダ５４を作動させること
により、一対の鍵部材５９を同期して、同一方向に、し
かも予め設定された角度だけ回動させることができる。
図２２において、空気圧シリンダ５４を作動させて一対
のリンク板５８を回動させた状態を二点鎖線で示す。前
記ブラケット６１の内側で、一対の鍵部材５９の外周部
分には、押圧筒６３が装着されている。この押圧筒６３
の後方（背面側）には、圧縮ばね６４が弾装されてい
て、該圧縮ばね６４により、前記押圧筒６３は、常に前
方（蓋体５１の側）に付勢されている。
【００５３】次に、蓋体検出装置Ｂ2 について説明す
る。前述したように、蓋体５１には、位置決めを行うた
めのピン穴５３が、２箇所に設けられている（図２５，
図２６参照）。蓋体保持板５２において、各ピン穴５３
に対応する位置には、それぞれ位置決めピン６５が取付
けられている。これらの位置決めピン６５は、蓋体保持
板５２の背面側に取付けられた円筒状のブラケット６６
に支持されている。このブラケット６６の内側で、前記
位置決めピン６５の外周部分には、押圧筒６７が装着さ
れていて、該押圧筒６７はその後方に弾装された圧縮ば
ね６８により、常に前方（蓋体５１の側）に付勢されて
いる。また、押圧筒６７の後端面には、その軸方向に沿
って検出ピン６９が突出されている。そして、前記ブラ
ケット６６の背面側の上部には、光センサ７１が取付け
られている。この光センサ７１は、第１実施例の光セン
サ４２と同一のものである。
る。前述したように、蓋体５１には、位置決めを行うた
めのピン穴５３が、２箇所に設けられている（図２５，
図２６参照）。蓋体保持板５２において、各ピン穴５３
に対応する位置には、それぞれ位置決めピン６５が取付
けられている。これらの位置決めピン６５は、蓋体保持
板５２の背面側に取付けられた円筒状のブラケット６６
に支持されている。このブラケット６６の内側で、前記
位置決めピン６５の外周部分には、押圧筒６７が装着さ
れていて、該押圧筒６７はその後方に弾装された圧縮ば
ね６８により、常に前方（蓋体５１の側）に付勢されて
いる。また、押圧筒６７の後端面には、その軸方向に沿
って検出ピン６９が突出されている。そして、前記ブラ
ケット６６の背面側の上部には、光センサ７１が取付け
られている。この光センサ７１は、第１実施例の光セン
サ４２と同一のものである。
【００５４】次に、第２実施例の着脱装置Ｄ2 の作用に
ついて説明する。蓋体５１と蓋体保持板５２とを相対的
に接近させると、蓋体５１のピン穴５３に、対応する位
置決めピン６５が挿通される。同時に、蓋体５１の鍵穴
２２に鍵部材５９の本体部５９ａが挿通される。更に、
両者５１，５２を接近させると、蓋体５１と押圧筒６
３，６７の前端面が当接し、該押圧筒６３，６７は、そ
れぞれの圧縮ばね６４，６８の弾性復元力に抗して後方
に移動される。このとき、押圧筒６３，６７が蓋体５１
を押圧するため、該蓋体５１は突っ張った状態で保持さ
れる。この結果、蓋体５１は、安定状態で保持される。
同時に、蓋体検出装置Ｂ2 を構成する押圧筒６７の検出
ピン６９が光センサ７１の光を遮断し、検出信号を出力
する。続いて、空気圧シリンダ５４を作動させる。一対
の鍵部材５９が設定角度だけ回動し、蓋体５１の錠装置
Ｅを解錠する。
ついて説明する。蓋体５１と蓋体保持板５２とを相対的
に接近させると、蓋体５１のピン穴５３に、対応する位
置決めピン６５が挿通される。同時に、蓋体５１の鍵穴
２２に鍵部材５９の本体部５９ａが挿通される。更に、
両者５１，５２を接近させると、蓋体５１と押圧筒６
３，６７の前端面が当接し、該押圧筒６３，６７は、そ
れぞれの圧縮ばね６４，６８の弾性復元力に抗して後方
に移動される。このとき、押圧筒６３，６７が蓋体５１
を押圧するため、該蓋体５１は突っ張った状態で保持さ
れる。この結果、蓋体５１は、安定状態で保持される。
同時に、蓋体検出装置Ｂ2 を構成する押圧筒６７の検出
ピン６９が光センサ７１の光を遮断し、検出信号を出力
する。続いて、空気圧シリンダ５４を作動させる。一対
の鍵部材５９が設定角度だけ回動し、蓋体５１の錠装置
Ｅを解錠する。
【００５５】この実施例の着脱装置Ｄ2 の場合、蓋体５
１のピン穴５３に位置決めピン６５が挿通されることに
より、蓋体５１と鍵装置Ａ2 とが確実に位置決めされ
る。しかも、押圧筒６３，６７が、鍵部材５９及び位置
決めピン６５の周辺部を面接触で押圧しているため、点
接触で押圧する第１実施例の場合と比較して、該蓋体５
１をより安定状態で保持することができる。この結果、
鍵装置Ａ2 の動作が安定する。また、蓋体５１は揺れる
ことなく確実に保持された状態で着脱される。
１のピン穴５３に位置決めピン６５が挿通されることに
より、蓋体５１と鍵装置Ａ2 とが確実に位置決めされ
る。しかも、押圧筒６３，６７が、鍵部材５９及び位置
決めピン６５の周辺部を面接触で押圧しているため、点
接触で押圧する第１実施例の場合と比較して、該蓋体５
１をより安定状態で保持することができる。この結果、
鍵装置Ａ2 の動作が安定する。また、蓋体５１は揺れる
ことなく確実に保持された状態で着脱される。
【００５６】更に、図２７及び図２８に示されるよう
に、各押圧筒６７の前端面で各位置決めピン６５の周囲
に、その一部を突出させた状態で各ゴムリング７２（本
実施例の場合、Ｏリング）を装着させてもよい。この実
施例の場合、蓋体５１と各ゴムリング７２とが密着され
て両者の間に大きな摩擦力が作用するため、前記蓋体５
１が自重によってずれたりせず、該蓋体５１が安定して
保持される。上記と同様に、図２３及び図２４に示す押
圧筒６３の前端面にゴムリングを装着しても、同様の効
果が奏される。
に、各押圧筒６７の前端面で各位置決めピン６５の周囲
に、その一部を突出させた状態で各ゴムリング７２（本
実施例の場合、Ｏリング）を装着させてもよい。この実
施例の場合、蓋体５１と各ゴムリング７２とが密着され
て両者の間に大きな摩擦力が作用するため、前記蓋体５
１が自重によってずれたりせず、該蓋体５１が安定して
保持される。上記と同様に、図２３及び図２４に示す押
圧筒６３の前端面にゴムリングを装着しても、同様の効
果が奏される。
【００５７】上記した各実施例における蓋体検出装置Ｂ
1,Ｂ2 は、蓋体６，５１が蓋体保持板１５，５２にほぼ
密着状態で保持される際に、検出ピン３８又は押圧筒６
７が押圧されることによって光センサ４２，７１が作動
して、検出信号を出力する構成である。即ち、蓋体６，
５１が検出ピン３８又は押圧筒６７に接触することによ
って光センサ４２，７１が作動する。このため、蓋体
６，５１の材質に無関係に検出することができる。ま
た、蓋体６，５１が透明体であっても確実に検出するこ
とができる。しかし、光センサ、超音波センサ、赤外線
センサ等の非接触センサを蓋体保持板１５，５２に埋設
し、非接触で蓋体６，５１の有無を検出することも可能
である。上記した実施例では、図２５ないし図２８に示
されるように、蓋体検出装置Ｂ2 を構成する押圧筒６７
に検出ピン６９を設けた場合であるが、図２３及び図２
４に示される押圧筒６３に検出ピンを設けても、同様の
効果が奏される。
1,Ｂ2 は、蓋体６，５１が蓋体保持板１５，５２にほぼ
密着状態で保持される際に、検出ピン３８又は押圧筒６
７が押圧されることによって光センサ４２，７１が作動
して、検出信号を出力する構成である。即ち、蓋体６，
５１が検出ピン３８又は押圧筒６７に接触することによ
って光センサ４２，７１が作動する。このため、蓋体
６，５１の材質に無関係に検出することができる。ま
た、蓋体６，５１が透明体であっても確実に検出するこ
とができる。しかし、光センサ、超音波センサ、赤外線
センサ等の非接触センサを蓋体保持板１５，５２に埋設
し、非接触で蓋体６，５１の有無を検出することも可能
である。上記した実施例では、図２５ないし図２８に示
されるように、蓋体検出装置Ｂ2 を構成する押圧筒６７
に検出ピン６９を設けた場合であるが、図２３及び図２
４に示される押圧筒６３に検出ピンを設けても、同様の
効果が奏される。
【００５８】上記した各実施例の着脱装置Ｄ1,Ｄ2 は、
蓋体保持板１５，５２と蓋体６，５１とが接近されたと
きに、圧縮ばね４３，６８の付勢力によって付勢された
押圧ピン３２又は押圧筒６７が、前記蓋体６，５１を押
圧することにより、該蓋体６，５１を安定に保持する形
態である。しかし、蓋体保持板における全体の面で蓋体
を保持する形態であってもよい。次に、その実施例の着
脱装置Ｄ3 について説明する。図２９及び図３０に示さ
れるように、ベース板７３に立設されたブラケット７４
に、前後方向に移動可能にして一対の鍵部材７５が装着
されている。一対の鍵部材７５は、前記ブラケット７４
の背面側に取付けられた一対の空気圧シリンダ７６を作
動させることにより回動可能である。この実施例の着脱
装置Ｄ3を構成する蓋体保持板７７は、一対の鍵部材７
５に対して相互移動可能にして装着されており、一対の
鍵部材７５の周囲で、ブラケット７４と蓋体保持板７７
との間には、各圧縮ばね７８が弾装されている。また、
蓋体保持板７７の正面側に突出された各位置決めピン７
９の周囲には、それぞれゴムリング８１が装着されてい
る。一対の空気圧シリンダ７６と一対の鍵部材７５と
は、各連結部材８２，８３，８４、及び一対のリンク板
８５を介して連結されている。
蓋体保持板１５，５２と蓋体６，５１とが接近されたと
きに、圧縮ばね４３，６８の付勢力によって付勢された
押圧ピン３２又は押圧筒６７が、前記蓋体６，５１を押
圧することにより、該蓋体６，５１を安定に保持する形
態である。しかし、蓋体保持板における全体の面で蓋体
を保持する形態であってもよい。次に、その実施例の着
脱装置Ｄ3 について説明する。図２９及び図３０に示さ
れるように、ベース板７３に立設されたブラケット７４
に、前後方向に移動可能にして一対の鍵部材７５が装着
されている。一対の鍵部材７５は、前記ブラケット７４
の背面側に取付けられた一対の空気圧シリンダ７６を作
動させることにより回動可能である。この実施例の着脱
装置Ｄ3を構成する蓋体保持板７７は、一対の鍵部材７
５に対して相互移動可能にして装着されており、一対の
鍵部材７５の周囲で、ブラケット７４と蓋体保持板７７
との間には、各圧縮ばね７８が弾装されている。また、
蓋体保持板７７の正面側に突出された各位置決めピン７
９の周囲には、それぞれゴムリング８１が装着されてい
る。一対の空気圧シリンダ７６と一対の鍵部材７５と
は、各連結部材８２，８３，８４、及び一対のリンク板
８５を介して連結されている。
【００５９】図３０及び図３１に示されるように、鍵部
材７５が前進し、蓋体保持板７７が装着板７に当接され
る。すると、前記装着板７に押されて、蓋体保持板７７
は、各圧縮ばね７８の付勢力に抗してその位置に留ま
る。同時に、一対の鍵部材７５の本体部７５ａが、前記
蓋体保持板７７の前面から、更に突出する。続いて、図
３１及び図３２に示されるように、装着板７の反対側か
らウェハキャリアＣが前進されて、その蓋体５１が蓋体
保持板７７に当接する。そして、前記一対の鍵部材７５
が、蓋体５１に設けられた各鍵穴２２（図２１参照）に
挿入される。同時に、各位置決めピン７９が、対応する
ピン穴（図示せず）に挿入される。この状態で、一対の
空気圧シリンダ７６が作動される。一対の鍵部材７５が
所定方向に回動され、蓋体５１に設けられた錠装置Ｅが
解錠される。また、蓋体検出装置Ｂ 1 を構成する検出ピ
ン３８の本体部３８ａが、蓋体５１に押圧され、圧縮ば
ね４３の付勢力に抗して後退するため、光センサ４２が
作動して蓋体５１が保持された状態が検出される。
材７５が前進し、蓋体保持板７７が装着板７に当接され
る。すると、前記装着板７に押されて、蓋体保持板７７
は、各圧縮ばね７８の付勢力に抗してその位置に留ま
る。同時に、一対の鍵部材７５の本体部７５ａが、前記
蓋体保持板７７の前面から、更に突出する。続いて、図
３１及び図３２に示されるように、装着板７の反対側か
らウェハキャリアＣが前進されて、その蓋体５１が蓋体
保持板７７に当接する。そして、前記一対の鍵部材７５
が、蓋体５１に設けられた各鍵穴２２（図２１参照）に
挿入される。同時に、各位置決めピン７９が、対応する
ピン穴（図示せず）に挿入される。この状態で、一対の
空気圧シリンダ７６が作動される。一対の鍵部材７５が
所定方向に回動され、蓋体５１に設けられた錠装置Ｅが
解錠される。また、蓋体検出装置Ｂ 1 を構成する検出ピ
ン３８の本体部３８ａが、蓋体５１に押圧され、圧縮ば
ね４３の付勢力に抗して後退するため、光センサ４２が
作動して蓋体５１が保持された状態が検出される。
【００６０】その後、一対の鍵部材７５が後退すると、
ウェハキャリアＣの蓋体５１も後退するが、蓋体保持板
７７は各圧縮ばね７８により前方に押されているため、
ウェハキャリアＣの蓋体５１は、各ゴムリング８１によ
って保持される。しかも、前記蓋体５１と各ゴムリング
８１とが密着されて両者の間に大きな摩擦力が作用する
ため、該蓋体５１が自重によってずれたりすることはな
い。
ウェハキャリアＣの蓋体５１も後退するが、蓋体保持板
７７は各圧縮ばね７８により前方に押されているため、
ウェハキャリアＣの蓋体５１は、各ゴムリング８１によ
って保持される。しかも、前記蓋体５１と各ゴムリング
８１とが密着されて両者の間に大きな摩擦力が作用する
ため、該蓋体５１が自重によってずれたりすることはな
い。
【００６１】上記した実施例では、２本のゴムリング８
１を各位置決めピン７９の周囲に装着した場合である。
しかし、前記ゴムリング８１を一対の鍵部材７５の周囲
に装着してもよい。また、蓋体保持板７７の周縁の部分
に装着しても構わない。
１を各位置決めピン７９の周囲に装着した場合である。
しかし、前記ゴムリング８１を一対の鍵部材７５の周囲
に装着してもよい。また、蓋体保持板７７の周縁の部分
に装着しても構わない。
【００６２】次に、図３３ないし図３６を参照しなが
ら、第４発明（請求項２０又は２１に記載の発明）の実
施例について説明する。この実施例のロードポート装置
Ｌ’は、キャリア設置板９１に設置されたウェハキャリ
アＣが、衝撃力をもって装着板９２に当接することを防
止する機構を備えている。即ち、図３３及び図３４に示
されるように、ロードポート装置Ｌ’の装置本体９３の
内側で、半導体製造装置Ｈに近い側には、略三角形状の
ブラケット９４が固着されている。このブラケット９４
の上面には、ほぼ水平にしてガイドブロック９５が取付
けられていて、該ガイドブロック９５に前後方向に移動
可能にしてガイドレール９６が装着されている。前記キ
ャリア設置板９１は、このガイドレール９６の上面に取
付けられている。そして、前記キャリア設置板９１は、
ガイドブロック９５に装着されたガイドレール９６を前
後方向に移動させることにより、同方向に移動可能であ
る。前記ブラケット９４の後端部（半導体製造装置Ｈか
ら遠い側）には、側方に張り出した状態でシリンダブラ
ケット９７が固着されていて、該シリンダブラケット９
７に空気圧シリンダ９８が、ガイドレール９６の長手方
向に沿って配設されている。前記空気圧シリンダ９８の
シリンダロッド９８ａは、キャリア設置板９１の底面に
固着された連結板９９の貫通穴９９ａを介して、連結板
９９の後方に突出されている。そして、前記シリンダロ
ッド９８ａの先端部に螺合された六角ナット１０１と、
前記連結板９９との間に圧縮ばね１０２が弾装されてい
る。
ら、第４発明（請求項２０又は２１に記載の発明）の実
施例について説明する。この実施例のロードポート装置
Ｌ’は、キャリア設置板９１に設置されたウェハキャリ
アＣが、衝撃力をもって装着板９２に当接することを防
止する機構を備えている。即ち、図３３及び図３４に示
されるように、ロードポート装置Ｌ’の装置本体９３の
内側で、半導体製造装置Ｈに近い側には、略三角形状の
ブラケット９４が固着されている。このブラケット９４
の上面には、ほぼ水平にしてガイドブロック９５が取付
けられていて、該ガイドブロック９５に前後方向に移動
可能にしてガイドレール９６が装着されている。前記キ
ャリア設置板９１は、このガイドレール９６の上面に取
付けられている。そして、前記キャリア設置板９１は、
ガイドブロック９５に装着されたガイドレール９６を前
後方向に移動させることにより、同方向に移動可能であ
る。前記ブラケット９４の後端部（半導体製造装置Ｈか
ら遠い側）には、側方に張り出した状態でシリンダブラ
ケット９７が固着されていて、該シリンダブラケット９
７に空気圧シリンダ９８が、ガイドレール９６の長手方
向に沿って配設されている。前記空気圧シリンダ９８の
シリンダロッド９８ａは、キャリア設置板９１の底面に
固着された連結板９９の貫通穴９９ａを介して、連結板
９９の後方に突出されている。そして、前記シリンダロ
ッド９８ａの先端部に螺合された六角ナット１０１と、
前記連結板９９との間に圧縮ばね１０２が弾装されてい
る。
【００６３】上記した空気圧シリンダ９８を作動させ
て、そのシリンダロッド９８ａを引っ込める。すると、
圧縮ばね１０２を介して連結板９９が引っ張られ、キャ
リア設置板９１は、ガイドブロック９５にガイドされて
前進する。前記圧縮ばね１０２が弾装されていることに
より、シリンダロッド９８ａが急激に引っ込められた場
合であっても、その加速度が減じられ、該ウェハキャリ
アＣが衝撃力をもって装着板９２に当接することはな
い。また、寸法誤差により、ウェハキャリアＣが長めに
製作されていて、その当接面１０３（ウェハキャリアＣ
の前端面）が装着板９２に当接されてもなお、空気圧シ
リンダ９８のシリンダロッド９８ａが引っ込められる場
合であっても、前記圧縮ばね１０２が更に圧縮されるこ
とによってその衝撃力が吸収される。このため、ウェハ
キャリアＣの当接面１０３が大きな力で装着板９２に当
接することが防止され、ウェハキャリアＣが損傷される
おそれはない。逆に、短めに製作されていても、ウェハ
キャリアＣの当接面１０３を、確実に装着板９２に当接
させることができる。
て、そのシリンダロッド９８ａを引っ込める。すると、
圧縮ばね１０２を介して連結板９９が引っ張られ、キャ
リア設置板９１は、ガイドブロック９５にガイドされて
前進する。前記圧縮ばね１０２が弾装されていることに
より、シリンダロッド９８ａが急激に引っ込められた場
合であっても、その加速度が減じられ、該ウェハキャリ
アＣが衝撃力をもって装着板９２に当接することはな
い。また、寸法誤差により、ウェハキャリアＣが長めに
製作されていて、その当接面１０３（ウェハキャリアＣ
の前端面）が装着板９２に当接されてもなお、空気圧シ
リンダ９８のシリンダロッド９８ａが引っ込められる場
合であっても、前記圧縮ばね１０２が更に圧縮されるこ
とによってその衝撃力が吸収される。このため、ウェハ
キャリアＣの当接面１０３が大きな力で装着板９２に当
接することが防止され、ウェハキャリアＣが損傷される
おそれはない。逆に、短めに製作されていても、ウェハ
キャリアＣの当接面１０３を、確実に装着板９２に当接
させることができる。
【００６４】更に、図３５及び図３６に示されるよう
に、装着板９２の装着面９２ａに緩衝部材を取付けても
よい。この実施例の場合、装着面９２ａの四隅に樹脂材
から成る各円板体１０４が、前記装着面９２ａから僅か
に後方に突出させた状態で埋設されている。ウェハキャ
リアＣが前進された際に、その当接面１０３は、各円板
体１０４に当接されるため、いかなる場合であっても、
金属から成る装着面９２ａに当接されることはない。こ
のため、ウェハキャリアＣが損傷されるおそれはない。
図３５及び図３６において、１０５は、移載窓である。
そして、前記移載窓１０５の周縁に沿ってパッキン１０
６が取付けられている。このパッキン１０６がウェハキ
ャリアＣの当接面１０３に密着することにより、該ウェ
ハキャリアＣの内部と外部との気密が図られる。
に、装着板９２の装着面９２ａに緩衝部材を取付けても
よい。この実施例の場合、装着面９２ａの四隅に樹脂材
から成る各円板体１０４が、前記装着面９２ａから僅か
に後方に突出させた状態で埋設されている。ウェハキャ
リアＣが前進された際に、その当接面１０３は、各円板
体１０４に当接されるため、いかなる場合であっても、
金属から成る装着面９２ａに当接されることはない。こ
のため、ウェハキャリアＣが損傷されるおそれはない。
図３５及び図３６において、１０５は、移載窓である。
そして、前記移載窓１０５の周縁に沿ってパッキン１０
６が取付けられている。このパッキン１０６がウェハキ
ャリアＣの当接面１０３に密着することにより、該ウェ
ハキャリアＣの内部と外部との気密が図られる。
【００６５】上記したように、本実施例のロードポート
装置Ｌ’は、圧縮ばね１０２の作用により、ウェハキャ
リアＣの寸法に製造誤差がある場合であっても、その当
接面１０３を装着板９２に密着状態で当接させることが
できる。この結果、ウェハキャリアＣからウェハＵが取
り出されて、ウェハＵが半導体製造装置Ｈ内で処理をさ
れている間も、半導体製造装置Ｈの開口部は、ウェハキ
ャリアＣにより気密状態でシールされる。また、ウェハ
キャリアＣの蓋体５１も、前述した押圧部材（押圧ピン
３２、押圧筒６３，６７）やゴムリング７２，８１を介
して蓋体保持板１５，５２に密着されるので、該蓋体５
１の着脱を安定状態で行うことができる。
装置Ｌ’は、圧縮ばね１０２の作用により、ウェハキャ
リアＣの寸法に製造誤差がある場合であっても、その当
接面１０３を装着板９２に密着状態で当接させることが
できる。この結果、ウェハキャリアＣからウェハＵが取
り出されて、ウェハＵが半導体製造装置Ｈ内で処理をさ
れている間も、半導体製造装置Ｈの開口部は、ウェハキ
ャリアＣにより気密状態でシールされる。また、ウェハ
キャリアＣの蓋体５１も、前述した押圧部材（押圧ピン
３２、押圧筒６３，６７）やゴムリング７２，８１を介
して蓋体保持板１５，５２に密着されるので、該蓋体５
１の着脱を安定状態で行うことができる。
【００６６】前述した各実施例の蓋体の着脱装置は、本
明細書に記載した実施例のロードポート装置だけでな
く、いかなる構成のロードポート装置と組み合わせて実
施することも可能である。
明細書に記載した実施例のロードポート装置だけでな
く、いかなる構成のロードポート装置と組み合わせて実
施することも可能である。
【００６７】
【発明の効果】第１の発明（請求項１ないし５のいずれ
かに記載の発明）は、ウェハキャリア用蓋体の着脱装置
を構成する蓋体保持板に、蓋体の有無を検出するための
蓋体検出装置が取付けられている。このため、下記の諸
効果が奏される。（１）ウェハキャリアから離隔した蓋
体保持板が、蓋体を保持しているか否かを検出すること
ができる。換言すれば、ウェハキャリアが開口されてい
るか否かを検出することができる。そして、ウェハキャ
リアが開口されているときにのみ、ロボット装置のアー
ムがウェハキャリア内に進入するため、該アームと蓋体
とが干渉することがない。（２）また、蓋体保持板が蓋
体を保持している状態で停電し、その後に再給電する場
合、前記蓋体保持板が蓋体を保持している状態を検出す
ることができるため、鍵部材が原点復帰することを防止
できる。このため、再給電時に鍵部材と鍵穴との係合が
解除されることを防止できるため、蓋体が落下するおそ
れはない。（３）本発明に係る蓋体検出装置が、接触型
のものである場合、蓋体保持板が蓋体を押圧することに
より、その有無を検出する構成であるため、蓋体が保持
されていることが確実に検出できる。
かに記載の発明）は、ウェハキャリア用蓋体の着脱装置
を構成する蓋体保持板に、蓋体の有無を検出するための
蓋体検出装置が取付けられている。このため、下記の諸
効果が奏される。（１）ウェハキャリアから離隔した蓋
体保持板が、蓋体を保持しているか否かを検出すること
ができる。換言すれば、ウェハキャリアが開口されてい
るか否かを検出することができる。そして、ウェハキャ
リアが開口されているときにのみ、ロボット装置のアー
ムがウェハキャリア内に進入するため、該アームと蓋体
とが干渉することがない。（２）また、蓋体保持板が蓋
体を保持している状態で停電し、その後に再給電する場
合、前記蓋体保持板が蓋体を保持している状態を検出す
ることができるため、鍵部材が原点復帰することを防止
できる。このため、再給電時に鍵部材と鍵穴との係合が
解除されることを防止できるため、蓋体が落下するおそ
れはない。（３）本発明に係る蓋体検出装置が、接触型
のものである場合、蓋体保持板が蓋体を押圧することに
より、その有無を検出する構成であるため、蓋体が保持
されていることが確実に検出できる。
【００６８】第２の発明（請求項６ないし１３のいずれ
かに記載の発明）の場合、蓋体保持板が接近し、蓋体保
持板に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される際
に、押圧部材が蓋体を押圧する。そして、鍵部材が蓋体
を手前側に引っ張ると共に、押圧部材が前記蓋体を反対
方向に押圧するため、該蓋体は突っ張り状態で保持され
る。このため、蓋体が、蓋体保持板に安定状態で保持さ
れ、空気圧シリンダが作動する時の衝撃等によって、鍵
部材の位置がずれたりすることはない。また、蓋体は揺
れることなく確実に保持された状態で着脱される。
かに記載の発明）の場合、蓋体保持板が接近し、蓋体保
持板に設けられた鍵部材が錠装置の鍵穴に挿通される際
に、押圧部材が蓋体を押圧する。そして、鍵部材が蓋体
を手前側に引っ張ると共に、押圧部材が前記蓋体を反対
方向に押圧するため、該蓋体は突っ張り状態で保持され
る。このため、蓋体が、蓋体保持板に安定状態で保持さ
れ、空気圧シリンダが作動する時の衝撃等によって、鍵
部材の位置がずれたりすることはない。また、蓋体は揺
れることなく確実に保持された状態で着脱される。
【００６９】第３の発明（請求項１４ないし１９のいず
れかに記載の発明）の場合、蓋体保持板と鍵部材とが相
互に進退動される。そして、前記鍵部材がウェハキャリ
アの蓋体に設けられた鍵穴に相互に進入し、錠装置が解
錠された状態で前記鍵部材と前記鍵穴とが係合して蓋体
が保持される。このため、蓋体を、蓋体保持板に安定状
態で保持させたまま着脱することができる。
れかに記載の発明）の場合、蓋体保持板と鍵部材とが相
互に進退動される。そして、前記鍵部材がウェハキャリ
アの蓋体に設けられた鍵穴に相互に進入し、錠装置が解
錠された状態で前記鍵部材と前記鍵穴とが係合して蓋体
が保持される。このため、蓋体を、蓋体保持板に安定状
態で保持させたまま着脱することができる。
【００７０】第４の発明（請求項２０又は２１に記載の
発明）の場合、ウェハキャリアを進退動させるためのキ
ャリアベース移動ロッドに、ばねが装着されている。こ
のため、ウェハキャリアの寸法に製造誤差があっても、
該ウェハキャリアが装着板に衝撃力をもって当接された
り、当接された状態において密着性が低下したりするこ
とを防止できる。
発明）の場合、ウェハキャリアを進退動させるためのキ
ャリアベース移動ロッドに、ばねが装着されている。こ
のため、ウェハキャリアの寸法に製造誤差があっても、
該ウェハキャリアが装着板に衝撃力をもって当接された
り、当接された状態において密着性が低下したりするこ
とを防止できる。
【図１】本発明の第１実施例の着脱装置Ｄ1 が取付けら
れたロードポート装置Ｌの側面図である。
れたロードポート装置Ｌの側面図である。
【図２】同じく背面図である。
【図３】図１の要部の側面断面図である。
【図４】ウェハキャリアＣの斜視図である。
【図５】錠装置Ｅが施錠された状態のウェハキャリアＣ
の正面図である。
の正面図である。
【図６】同じく一部を破断した側面図である。
【図７】錠装置Ｅの鍵穴２２に鍵部材２１の本体部２１
ａが挿入された状態の正面図である。
ａが挿入された状態の正面図である。
【図８】鍵部材２１が回動された状態の正面図である。
【図９】ロックプレート１９が蓋体装着部５ａの嵌合穴
２３に嵌合された状態の側面断面図である。
２３に嵌合された状態の側面断面図である。
【図１０】ロックプレート１９が蓋体装着部５ａの嵌合
穴２３から離脱された状態の側面断面図である。
穴２３から離脱された状態の側面断面図である。
【図１１】第１実施例の着脱装置Ｄ1 の斜視図である。
【図１２】第１実施例の鍵装置Ａ1 及び蓋体検出装置Ｂ
1 の背面図である。
1 の背面図である。
【図１３】図１２のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１４】押圧ピン３２の部分の側面断面図である。
【図１５】同じく作用説明図である。
【図１６】蓋体検出装置Ｂ1 の側面断面図である。
【図１７】同じく作用説明図である。
【図１８】ウェハキャリアＣが装着板７に押し付けられ
た状態の作用説明図である。
た状態の作用説明図である。
【図１９】鍵部材２１が回動された状態の作用説明図で
ある。
ある。
【図２０】蓋体保持板１５が装着板７から離隔され、ウ
ェハキャリアＣの蓋体６が取り外された状態の作用説明
図である。
ェハキャリアＣの蓋体６が取り外された状態の作用説明
図である。
【図２１】中央部に凹部５１ａが設けられた蓋体５１の
正面図である。
正面図である。
【図２２】第２実施例の鍵装置Ａ2 及び蓋体検出装置Ｂ
2 の背面図である。
2 の背面図である。
【図２３】図２２のＹ1 −Ｙ1 線断面図である。
【図２４】第２実施例の鍵装置Ａ2 の作用説明図であ
る。
る。
【図２５】図２２のＹ2 −Ｙ2 線断面図である。
【図２６】第２実施例の蓋体検出装置Ｂ2 の作用説明図
である。
である。
【図２７】別の実施例の蓋体検出装置Ｂ2 の側面断面図
である。
である。
【図２８】同じく作用説明図である。
【図２９】第３実施例の鍵装置Ａ3 の背面図である。
【図３０】同じく側面断面図である。
【図３１】蓋体保持板７７が装着板７に当接された状態
の作用説明図である。
の作用説明図である。
【図３２】ウェハキャリアＣの蓋体５１が取り外された
状態の作用説明図である。
状態の作用説明図である。
【図３３】第４発明の実施例のロードポート装置Ｌ’に
おける装置本体９３の一部を破断した側面図である。
おける装置本体９３の一部を破断した側面図である。
【図３４】同じく要部の側面断面図である。
【図３５】装着板９２の正面図である。
【図３６】ウェハキャリアＣの当接面１０３が、装着板
９２の装着面９２ａに配置された状態の側面図である。
９２の装着面９２ａに配置された状態の側面図である。
【図３７】ロードポート装置Ｌが取付けられた半導体製
造装置Ｈの側面図である。
造装置Ｈの側面図である。
Ａ1 〜Ａ3 ：鍵装置 Ｂ1,Ｂ2 ：蓋体検出装置 Ｃ：ウェハキャリア Ｄ1 〜Ｄ3 ：着脱装置 Ｅ：錠装置 Ｌ',Ｌ：ロードポート装置 １，９３：装置本体 ６，５１：蓋体 ７，９２：装着板 ７a,７b ：開口穴 15，52，77：蓋体保持板 21，59，75：鍵部材 ２２：鍵穴 ３２：押圧ピン（押圧部材） ３８，６９：検出ピン（被検出部材） ４２，７１：光センサ（蓋体検出装置） 43,64,68,78：圧縮ばね（付勢手段） ５３：ピン穴 ６３，６７：押圧筒（押圧部材） ６５，７９：位置決めピン ７２，８１：ゴムリング（ずれ止め部材） ９８ａ：シリンダロッド（キャリアベース移動ロッド） １０２：圧縮ばね（ばね） １０４：円板体（緩衝部材）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 義明 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 松島 圭一 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 谷山 育志 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 萩原 修士 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 DA08 EA11 FA12 FA13 GA42 JA02 JA08 JA12 JA22 PA08 PA10 PA20
Claims (21)
- 【請求項１】 ロードポート装置に設置されたウェハキ
ャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋
体保持板と、 前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記
蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回
動可能に支持された鍵部材とを備え、 前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材
とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能にな
っていて、蓋体保持板がウェハキャリアに対して進退動
して、その蓋体の着脱を行う構成の装置であって、 前記蓋体保持板に、蓋体の保持の有無を検出するための
蓋体検出装置が取付けられていることを特徴とするウェ
ハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項２】 前記蓋体検出装置は、前記蓋体保持板に
蓋体が保持されているか否かにより、その位置が変化す
る被検出部材を備え、前記被検出部材の位置を検知する
ことにより蓋体の保持の有無を検出することを特徴とす
る請求項１に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項３】 電源投入時に、前記蓋体検出装置によ
り、蓋体保持板が蓋体を保持しているか否かが検出さ
れ、保持している場合には前記鍵部材の原点復帰をしな
いように制御する制御手段を備えていることを特徴とす
る請求項１に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項４】 前記蓋体保持板における蓋体と相対向す
る面には、前記蓋体を押圧状態で保持するために、付勢
手段によって付勢される押圧部材が設けられていること
を特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア用蓋体の
着脱装置。 - 【請求項５】 前記ウェハキャリアは、ロードポート装
置に配設されたキャリアベース移動ロッドを進退動させ
ることにより半導体製造装置に対して出入りする構成で
あり、 前記キャリアベース移動ロッドには、前記ウェハキャリ
アが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するための
ばねが装着されていることを特徴とする請求項１に記載
のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項６】 ロードポート装置に設置されたウェハキ
ャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋
体保持板と、 前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記
蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回
動可能に支持された鍵部材とを備え、 前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材
とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能にな
っていて、蓋体保持板がウェハキャリアに対して進退動
して、その蓋体の着脱を行う構成の装置であって、 前記蓋体保持板における蓋体と相対向する面には、前記
蓋体を押圧状態で保持するために、付勢手段によって付
勢される押圧部材が設けられていることを特徴とするウ
ェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項７】 前記蓋体保持板に、蓋体の保持の有無を
検出するための蓋体検出装置が取付けられていることを
特徴とする請求項６に記載のウェハキャリア用蓋体の着
脱装置。 - 【請求項８】 前記蓋体保持板における蓋体と相対向す
る面に、該蓋体に設けられたピン穴に挿通されるための
位置決めピンが突設されていることを特徴とする請求項
６に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項９】 前記押圧部材は、前記位置決めピンの周
囲に設けられていることを特徴とする請求項８に記載の
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１０】 前記押圧部材は、前記蓋体保持板に蓋
体が保持されているか否かにより、その位置が変化する
被検出部材を備え、前記被検出部材の位置を検知するこ
とにより、蓋体の保持の有無を検出する構成であること
を特徴とする請求項９に記載のウェハキャリア用蓋体の
着脱装置。 - 【請求項１１】 前記押圧部材は、前記鍵部材の周囲に
設けられていることを特徴とする請求項６に記載のウェ
ハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１２】 前記押圧部材は、前記蓋体保持板に蓋
体が保持されているか否かにより、その位置が変化する
被検出部材を備え、前記被検出部材の位置を検知するこ
とにより蓋体の保持の有無を検出することを特徴とする
請求項１１に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１３】 前記ウェハキャリアは、ロードポート
装置に配設されたキャリアベース移動ロッドを進退動さ
せることにより半導体製造装置に対して出入りする構成
であり、 前記キャリアベース移動ロッドには、前記ウェハキャリ
アが装着板に当接されるときの衝撃力を吸収するための
ばねが装着されていることを特徴とする請求項６に記載
のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１４】 ロードポート装置の開口穴を有する装
着板と、前記開口穴に対向してロードポート装置に設置
されたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に
進退動を行う蓋体保持板と、 前記蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記
蓋体保持板の前面に突出した状態で、該蓋体保持板に回
動可能に支持された鍵部材とを備え、 前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材
とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能にな
っていて、蓋体保持板がウェハキャリアに対して進退動
して、その蓋体の着脱を行う構成の装置であって、 前記蓋体保持板と前記鍵部材とは相互に進退動し、前記
蓋体保持板が前記装着板に押し付けられているときは、
前記鍵部材が突出し、前記錠装置の解錠状態において、
前記蓋体保持板が前記装着板から後退するときは、前記
鍵部材が引っ込んで前記鍵穴と係合して蓋体を保持する
ことを特徴とするウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１５】 前記蓋体保持板と鍵部材との間には、
付勢手段が介されており、前記付勢手段の付勢力により
蓋体が蓋体保持板に保持されることを特徴とする請求項
１４に記載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１６】 前記蓋体保持板には、蓋体がずれるこ
とを防止するためのずれ止め部材が取付けられているこ
とを特徴とする請求項１４に記載のウェハキャリア用蓋
体の着脱装置。 - 【請求項１７】 前記蓋体保持板には、蓋体検出装置が
取付けられていることを特徴とする請求項１４に記載の
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１８】 前記蓋体保持板には、位置決めピンが
取付けられていることを特徴とする請求項１４に記載の
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項１９】 前記ウェハキャリアは、ロードポート
装置に配設されたキャリアベース移動ロッドを進退動さ
せることにより半導体製造装置に対して出入りする構成
であり、 前記キャリアベース移動ロッドには、前記ウェハキャリ
アが装着板に当接されたときの衝撃力を吸収するための
ばねが装着されていることを特徴とする請求項１４に記
載のウェハキャリア用蓋体の着脱装置。 - 【請求項２０】 ロードポート装置の装置本体内に配設
されたキャリアベース移動ロッドを進退動させることに
より、半導体製造装置に対してウェハキャリアを出入り
させる構成のロードポート装置において、 前記キャリアベース移動ロッドには、前記ウェハキャリ
アが装着板に当接されたときの衝撃力を吸収するための
ばねが装着されていることを特徴とするロードポート装
置。 - 【請求項２１】 前記ウェハキャリアは、緩衝部材を介
して装着板に当接されることを特徴とする請求項２０に
記載のロードポート装置。
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|---|---|---|---|
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| JP11-181475 | 1999-06-28 | ||
| JP18147599 | 1999-06-28 | ||
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