JP2006339619A - 手動式smifオプナー - Google Patents
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Abstract
【課題】 SMIFポッド本体及びウエハーカセットを汚染させることなく、ウエハーカセットをSMIFポッド本体に出し入れし、SMIF蓋をロックおよびロック解除できる手動式SMIFオプナーを安価で提供する。
【解決手段】上下昇降ハンドル7によって操作する昇降ユニット10により駆動するSMIFポッド本体2を積載する上下昇降ベースプレート5とウエハーカセットを積載する固定台とSMIF蓋3をSMIFポッド本体2にロック及びロック解除するロック開閉レバーを有し、昇降ユニット10の上昇駆動に重量バランサー8を設けた。
【選択図】図1
【解決手段】上下昇降ハンドル7によって操作する昇降ユニット10により駆動するSMIFポッド本体2を積載する上下昇降ベースプレート5とウエハーカセットを積載する固定台とSMIF蓋3をSMIFポッド本体2にロック及びロック解除するロック開閉レバーを有し、昇降ユニット10の上昇駆動に重量バランサー8を設けた。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウエハー及び(又は)ウエハーカセットを貯蔵及び運搬するのに用いられる最小容積の密閉ポッドを手動で簡便に開閉できる装置に関する。
半導体ウエハーの貯蔵及び輸送中におけるパーティクルの付着は、半導体処理において非常に大きなダメージを与える場合がある。代表的な最新式の半導体処理において取り扱う大きさは、現在では0.5μm以下である。測定して0.1μm以上の大きさの汚染粒子は実質的に、1μmパターンの大きさの半導体デバイスの妨げとなる。技術動向としては、当然のことながら、半導体デバイスの加工上の寸法形状は更に小さくなっており、今日における研究開発現場では0.1μm以下になっている。
本発明に関わるヒューレット・パッカード社によって提案されたSMIF (Standard Mechanical Interface)システムの目的は、半導体製造プロセス全体を通じて半導体ウエハーの貯蔵及び輸送中における半導体ウエハーへのパーティクルの付着を減少させることにある。貯蔵及び輸送中、機械的に半導体ウエハーの周りのガス状媒体(例えば空気又は窒素)が半導体ウエハーに対して本質的に動かないようにすることにより、そして周囲環境からの粒子が直接的な半導体ウエハー環境に入らないようにすることによってある程度達成される。この目的に使用されるSMIFポッドの蓋の開閉ツールすなわちSMIFオプナーには従来、電動式による自動開閉が行われている。
SMIFシステムは3つの主要な構成要素、即ち(1)半導体ウエハー及び(又は)ウエハーカセットを貯蔵及び運搬するのに用いられる最小容積の密閉ポッド、(2)露出した半導体ウエハー及び(又は)ウエハーカセットを加工ツールの内部に受け渡しできるミニチュアクリーンスペース又はルーム(清浄空気で満たされる)を提供するために半導体加工ツール上に配置される入力/出力(I/O)ミニエンバイロンメント、(3)半導体ウエハー及び(又は)ウエハーカセットを半導体ウエハー又はカセットを粒子にさらさないでSMIFポッドとSMIFミニエンバイロンメントとの間で移送するためのインタフェースを有している。
従来の電動式自動開閉によるSMIFオプナーはSMIFドアの開閉のための昇降機構にはモータ駆動ボールネジまたはエアーシリンダー等を使用するため、SMIFポッド本体2の近傍に、これらモータ駆動ボールネジ等が存在することがあるため半導体ウエハーへの汚染源となり得る。
また、SMIFオプナーは、自動化された構成となるため構造自体も単純化はできず、製造コストも大きく高価なものとなり、SMIFオプナーの導入も価格面で困難なものとなっていた。
本発明は、これらの問題を全て解消し、手動操作によるものではあるが操作性に優れ、構造も簡単で、安価に入手できるSMIFオプナーを提供するものである。
また、SMIFオプナーは、自動化された構成となるため構造自体も単純化はできず、製造コストも大きく高価なものとなり、SMIFオプナーの導入も価格面で困難なものとなっていた。
本発明は、これらの問題を全て解消し、手動操作によるものではあるが操作性に優れ、構造も簡単で、安価に入手できるSMIFオプナーを提供するものである。
上下昇降ハンドルによって操作する昇降ユニットにより駆動するSMIFポッド本体を積載する上下昇降ベースプレートとSMIF蓋を積載する固定台とSMIF蓋をSMIFポッド本体にロック及びロック解除するロック開閉レバーを有し、昇降ユニットの昇降駆動に重量バランサーを設けたことを特徴とする。
本発明によるSMIFオプナーは手動操作によるためモータ駆動によるボールネジあるいはエアーシリンダー等を使用することなく、ウエハーカセットの存在する領域では、汚染源のない昇降ロッドのみがあるためSMIFポッド本体内及び半導体ウエハーが汚染されることはない。また、自動開閉のSMIFオプナーに比較して、構造自体も簡単になるため、製造コストも安価となり得る。重量バランサーを設けたことにより、上下昇降ベースプレートおよびウエハーカセットを内臓させたSMIFポッド本体を人手で楽に上下昇降ハンドルにより、上下駆動させることができる。
本発明の手動式SMIFオプナーを図面を参照して詳細に説明する。図1に本発明の外観図を示す。SMIFポッド本体2を上下昇降ベースプレート5に積載している状態を示す。SMIFポッド本体2にSMIF蓋3を脱着させるロック開閉レバー6と上下昇降ベースプレート5を上下動させる上下昇降ハンドル7を有する。
図2は、上下昇降ベースプレート5が最下限の位置にある状態を示す。人手により上下昇降ハンドル7を操作することにより、昇降ユニット10を介して上下昇降ベースプレート5を上下駆動することができる。また、SMIF蓋ロックの解除状態を示すものである。昇降ロッド9は、固定台4に積載されたSMIF蓋の存在する領域では非接触で、また、オイル等の汚染物がないため、SMIFポッド本体2内及びその中に収納された半導体ウエハーを汚染することはない(図1も参照のこと)。また図3は、SMIF蓋ロック状態を示すものである。
図4は、上下昇降ベースプレート5上に載せられたSMIFポッド本体2と固定台4上に載せられたSMIF蓋3の相対的関係の位置を示す図である。上下昇降ベースプレート5が昇降ユニット10により図3の状態から上昇し、それに伴ってSMIFポッド本体2が上昇する。固定台4に載せられたSMIF蓋3はその位置に留まるため、ウエハーカセット1の出し入れができるようになる。
また、SMIFポッド本体2及び上下昇降ベースプレート5を持ち上げる重量を緩和させるため重量バランサー8を設ける。重量バランサー8は、例えば、ワイヤーテンショナー、ガス・ダンパー、コイルバネまたは板バネで構成される。
図5はロック開閉レバー6による開閉機構の構造を示したものでロック開閉レバー6を左右に回転させることによりカム11を働かせSMIFポッド本体2へのSMIF蓋3のロック及びロック解除を行う。
ウエハーカセット1の収納方法について説明する。
(1)上下昇降ベースプレート5に載せたSMIFポッド本体2を上昇させた位置で、ウエハーカセット1をSMIF蓋3の上に載せる。
(2)上下昇降ハンドル7を手で降ろすことによりSMIFポッド本体2も併せて下降し、最下限の位置で固定台4にあるSMIF蓋3の上に載せられる。ここで、上下昇降ベースプレート5が上昇しないようにロックされている。
(3)ロック開閉レバー6によりSMIFポッド本体2にSMIF蓋3をロックする。
(4)組み合わされた状態のSMIFポッド本体2とSMIF蓋3を固定台4から手で取り出す。
(1)上下昇降ベースプレート5に載せたSMIFポッド本体2を上昇させた位置で、ウエハーカセット1をSMIF蓋3の上に載せる。
(2)上下昇降ハンドル7を手で降ろすことによりSMIFポッド本体2も併せて下降し、最下限の位置で固定台4にあるSMIF蓋3の上に載せられる。ここで、上下昇降ベースプレート5が上昇しないようにロックされている。
(3)ロック開閉レバー6によりSMIFポッド本体2にSMIF蓋3をロックする。
(4)組み合わされた状態のSMIFポッド本体2とSMIF蓋3を固定台4から手で取り出す。
ウエハーカセットを取り出し方法について説明する。
(1)ウエハーカセット1が収納され、組み合わされた状態のSMIFポッド本体2とSMIF蓋3を固定台4に置く。
(2)ロック開閉レバー6を回転させてSMIF蓋3のロックを外す。
(3)上下昇降ハンドル7を手で上昇させることにより、上下昇降ベースプレート5の上にあるSMIFポッド本体2のみが上昇し、最上限位置で停止する。ここで、上下昇降ベースプレート5は上下動作しないようにロックされている。
(4)ウエハーカセット1をSMIF蓋3から手で取り出す。
(1)ウエハーカセット1が収納され、組み合わされた状態のSMIFポッド本体2とSMIF蓋3を固定台4に置く。
(2)ロック開閉レバー6を回転させてSMIF蓋3のロックを外す。
(3)上下昇降ハンドル7を手で上昇させることにより、上下昇降ベースプレート5の上にあるSMIFポッド本体2のみが上昇し、最上限位置で停止する。ここで、上下昇降ベースプレート5は上下動作しないようにロックされている。
(4)ウエハーカセット1をSMIF蓋3から手で取り出す。
この本発明による手動式SMIFオプナーは、ウエハーカセットはもちろんSMIFポッド本体も汚染させることなく、手動で楽にウエハーカセットのSMIFポッド本体への出し入れ及びSMIF蓋の装着及び取り外しができる。
1 ウエハーカセット
2 SMIFポッド本体
3 SMIF蓋
4 固定台
5 上下昇降ベースプレート
6 ロック開閉レバー
7 上下昇降ハンドル
8 重量バランサー
9 昇降ロッド
10 昇降ユニット
11 カム
2 SMIFポッド本体
3 SMIF蓋
4 固定台
5 上下昇降ベースプレート
6 ロック開閉レバー
7 上下昇降ハンドル
8 重量バランサー
9 昇降ロッド
10 昇降ユニット
11 カム
Claims (1)
- 上下昇降ハンドルによって操作する昇降ユニットにより駆動するSMIFポッド本体を積載する上下昇降ベースプレートとSMIF蓋を積載する固定台とSMIF蓋をSMIFポッド本体にロック及びロック解除するロック開閉レバーを有し、昇降ユニットの上昇駆動に重量バランサーを設けたことを特徴とする手動式SMIFオプナー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005187293A JP2006339619A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 手動式smifオプナー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005187293A JP2006339619A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 手動式smifオプナー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006339619A true JP2006339619A (ja) | 2006-12-14 |
Family
ID=37559867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005187293A Pending JP2006339619A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 手動式smifオプナー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006339619A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011013061A1 (en) * | 2009-07-27 | 2011-02-03 | Lotus Systems | Batch processing system in an in-line facility |
JP2019160894A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 株式会社ジェーイーエル | 基板収納容器のロック解除機構 |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005187293A patent/JP2006339619A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011013061A1 (en) * | 2009-07-27 | 2011-02-03 | Lotus Systems | Batch processing system in an in-line facility |
JP2019160894A (ja) * | 2018-03-09 | 2019-09-19 | 株式会社ジェーイーエル | 基板収納容器のロック解除機構 |
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Legal Events
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A711 | Notification of change in applicant |
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