JP3933921B2 - 半導体ウェーハ保管用クリーンボックスパージ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェーハを内部に収納するクリーンボックスにおいて、半導体ウェーハを載せかえた際にクリーンボックス内を清浄な雰囲気でパージするための方法およびそれに使用する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス等に用いられるウェーハの製造は高清浄度が保証された環境下で行うことが必要であり、部屋全体が高清浄度に保たれたクリーンルーム内で行われることが一般的であった。しかし、大きな体積を占める部屋全体を高清浄度に保つには大きな設備投資と維持費を必要とし、また、一旦設備投資を行うと製造工程の変更に伴う部屋レイアウト変更の際に再度の大きな設備投資が必要となり不経済である。そこで近年では、部屋全体を高清浄度に保つことなく半導体ウェーハ処理装置の内部を微少環境空間(以下、ミニエンバイロンメント部と呼ぶ)として高清浄度に保つことで、部屋全体を高清浄度に保った時と同じ効果を得る手法が知られている(以下、このような処理装置をクリーン装置と呼ぶ)。
すなわち、前記半導体ウェーハ処理装置を製造が行われる部屋にレイアウトして、内部を高清浄度に保ったウェーハ保管容器(以下、クリーンボックスと呼ぶ)で当該クリーン装置間の搬送を行う。そして、外部から塵が侵入しないようにクリーンボックスを半導体ウェーハ処理装置に設けた所定のウェーハの出し入れ口に連結させて、このウェーハの出し入れ口を介してウェーハの受け渡しを行えば、製造が行われる部屋の清浄度を高くせずともウェーハが曝される環境をすべて高清浄度に保つことができるというものである。これにより部屋全体をクリーンルーム化した場合と同じ効果を得ることが可能となり、設備投資や維持費を削減して効率的な生産工程を実現できる。
【0003】
図7aを参照してクリーンボックスについて説明する。クリーンボックス11は下方向に開口を有する本体部11aと、本体部11aの該開口に嵌入されて該開口を下方から塞ぐ開閉蓋11bとを備えている。開閉蓋11bは一定の厚さを有しその外面と内面はほぼ平行である。その側面は本体部11aの内面に嵌入されてクリーンボックス11を密閉する。本体部11aは開閉蓋11bに対して鉛直方向に引き抜くことで分離することができる。開閉蓋11bの内面上には半導体ウェーハを格納する棚13を有している。クリーンボックス11は開閉蓋11bの外面を下方になるようにして水平に保った状態で移動し、任意の装置で作業が行われる場合には開閉蓋11bが下側になるように装置上に載置される。
開閉蓋11bの外面側には開閉蓋11bを本体部11aからの脱落を防止するためのラッチ機構が備えられている。このラッチ機構について図7bを参照して説明する。図7bは開閉蓋11bの内部のラッチ機構を示した図である。
ラッチ機構は開閉蓋11bのほぼ中心の位置に、開閉蓋11bに垂直な方向を中心軸として該中心軸まわりに回動可能に配置された円形の回転カム板101を備えている。回転カム板101の中央には回転カム板101に回転カム板101を回転させるための開閉装置と係合し、かつ回転カム板101を前記中心軸回りに回転させるための係合手段たる周孔101cが形成されている。係合手段たる周孔101cは開閉蓋11bの外面側に配置されている。周孔101cは回転カム板101の中心から所定の半径をもった円周の一部で一定の幅をもった溝状の孔である。また、さらに回転カム板101には2つのカム溝101aおよび101bが形成されている。ラッチ機構はまたスライド式のラッチ部材103およびラッチ部材104を含んでいる。ラッチ部材103およびラッチ部材104はガイド部材107およびガイド部材108により、それぞれ先端103aおよび先端104aを開閉蓋11bの側面から開閉蓋11bの面方向に沿ってそれぞれ反対方向に突出するように摺動可能に開閉蓋11bには配置されている。ラッチ部材103およびラッチ部材104には回転カム板101と垂直な方向にそれぞれカムピン105およびカムピン106が取り付けられている。カムピン105およびカムピン106はカム溝101aおよびカム溝101bに係合されている。これによりラッチ部材103およびラッチ部材104はカム溝101aおよびカム溝101bにガイドされて開閉蓋11bの面方向(図の上下方向)に開閉蓋11bの側面から突出しまたは引っ込むようにスライド可能である。
【0004】
カム溝101aおよび101bは周方向位置に応じて回転カム板101の中心からの距離が変化するような形状に形成されている。このカム形状により、回転カム板101を左回りに一杯に回転して図7に示された位置としたとき、それぞれのラッチ部材103およびラッチ部材104はその先端103aおよび先端104aが最も外側位置となるまでスライドする。開閉蓋11bが本体部11aに取り付けられている場合には、突出した先端部103aと先端部104aとが本体部11aに配置されているタブ(不図示)と重なり合うように係合して開閉蓋11bを本体部11aにラッチする。逆にその位置から回転カム板101を図の右回りに90度まで回転すると、ラッチ部材103およびラッチ部材104は最内側位置にスライドし図の二点鎖線の位置となる。この状態では、ラッチ部材103およびラッチ部材104のそれぞれの先端103aと先端104aとは開閉蓋11bの周囲より引っ込んでおり、本体部のタブ(不図示)には係合しない状態となる。
【0005】
従来、前記のようなクリーンボックス11では、クリーンボックス11の内部を高清浄度にするのみ、すなわち単位体積あたりの塵の量を低下させるのみでクリーンボックスの蓋を閉めて密封させ半導体ウェーハに塵のパーティクルが付着するのを防止していた。
しかし、近年の半導体の設計要求が0.25ミクロン以下になってくるとウェーハの膜厚のコントロールをオングストロームのオーダでコントロールしなければならなくなってくる。半導体ウェーハは空気に曝されるとその表面が酸化して自然酸化膜がウェーハの表面に形成される。従って、クリーンボックス内を高清浄度に保つのみではクリーンボックス11内に充満している空気で半導体ウェーハの表面が酸化されて自然酸化膜が形成されるという問題があった。このように自然酸化膜が半導体ウェーハ上に形成されるとその後の工程において半導体ウェーハの膜圧のコントロールが困難になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
半導体ウェーハの膜の酸化を防止する方法としてクリーンボックス内部の空気を窒素ガスでパージする方法がある。この方法の代表的な手法ではクリーンボックスに用意された窒素ガスによるパージ用の窒素ガス導入用入口ポートと出口ポートとを準備しておき、入口ポートから窒素ガスをクリーンボックス内部に導入して出口ポートから排出させる方法でクリーンボックス内部の空気、具体的には酸素の濃度を低下させるものである。この方法では、予め半導体ウェーハをクリーンボックスに載置してクリーンボックスを蓋で密閉した後に高清浄度の窒素ガスでパージするという複数の工程を必要とする。特にこれを装置で実現するためには複数の装置、すなわち半導体ウェーハの載せ換えを行うための装置(クリーンボックスオープナ)と、クリーンボックス窒素パージ装置とが別々に必要であった。また、汎用のクリーンボックスが使用できず、窒素パージ装置にあったクリーンボックスが必要となる。
そこで、半導体ウェーハをクリーンボックス内に載置すると共に窒素パージをも同時に実施することができる方法およびそれを実現することができる装置が望まれていた。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明では、下方に開口を有する本体部と、該開口を下方から塞ぎ、内面に半導体ウェーハの棚を有する開閉蓋とを備えるクリーンボックスの内部にガスをパージするパージ装置であって、該開閉蓋に係合して該開閉蓋を載置するためのテーブルと、該開口の縁の端部と接触して該本体部を支えるフランジ台と、該フランジ台の下方に配置され、該テーブルの側面を囲み、内面にガス導入口およびガス排出口とを有する壁部とを備え、該本体部と該フランジ台と該壁面と該テーブルとで密閉空間を作ることが可能であって、該壁部は該開閉蓋の内面が該ガス導入口および該ガス排出口より上側に位置するまで下降可能であって、該壁部は該開閉蓋の内面が該ガス導入口および該ガス排出口より下側に位置するまで上昇可能であることを特徴とするパージ装置により上記問題を解決する。即ち、これにより従来のクリーンボックスオープナとクリーンボックス窒素パージ装置とを一体化して一連の工程で処理をすることが可能となる。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1を参照して本願発明のクリーンボックスパージ装置1の実施の形態について説明する。図1は本願発明のクリーンボックスパージ装置1を示している。クリーンボックスパージ装置1は、昇降機構部21と、台座部22とで構成されている。昇降機構部21にはボールネジ24がその軸方向が鉛直方向となるように配置されていて、スライドブッシュ23が螺嵌されている。ボールネジ24の一端はサーボモータ25に連結されていてボールネジ24をボールネジ24の軸方向まわりに回転させることができる。スライドブッシュ23にはフランジ台2が昇降機構部1のボールネジ24の軸方向と垂直な方向に突出するようにほぼ水平に取り付けられている。
【0009】
台座部22は昇降機構部21から垂直に水平方向に張り出して装置全体を支持する構造である。台座部22の上面22aには四本の脚26が鉛直方向に取り付けられている。脚26の上端部にはテーブル受容部3が取り付けられている。フランジ台2の下面は通常の状態でテーブル受容部3の壁部3aの上端に当接する。そして、昇降機後部21によりフランジ台2の上面とテーブル4のほぼ上面が同一の高さとなるまでバネ27の付勢力に抗してテーブル受容部3を下降して移動させることが可能である。フランジ台2はフランジ台2の上面とテーブル4の上面がほぼ同一の高さとなっている位置を最下降点として設定されている。一方、フランジ台2は半導体ウェーハの取り替え作業を行うため開閉蓋11bを大きく持ち上げるため、本体部11の最も下側が前記半導体ウェーハの棚13の最上部より高い位置になるまで少なくとも上昇して移動することが可能であって、その上昇した移動が可能となる位置を最上昇点として設定している。クリーンボックス11はクリーンボックス2の開口が下側となるような状態でフランジ台2とテーブル4の上に載置される。
【0010】
次に、図2を参照して、フランジ台2とテーブル受容部3との構造について詳細に説明する。図2は図1の断面AAを示した図である。台座部22の上面22aにはテーブル支持脚29によりテーブル4が水平になるように固定されている。テーブル4はクリーンボックス11の開閉蓋11bとほぼ同じ形状で、かつほぼ大きさを有しており、テーブル4と開閉蓋11bの側面と壁部3aの内面とは形状および大きさともにほぼ合致している。そしてテーブル受容部3はテーブル受容部3の壁部3aの内面がテーブル4の側面と僅かな隙間のみをもってほぼ接するような状態で上昇または下降による移動をすることが可能である。従って、テーブル受容部3の壁部3aとテーブル4とでは少なくとも内部をガスでパージするために必要な程度の密閉状態を作ることが可能である。テーブル4の中央部にはクリーンボックス11の開閉蓋11bのラッチ機構の作動を喚起するための開閉機構30が配置されている。開閉機構30は鉛直方向を中心軸として回動可能なようにテーブル4内に取り付けられている。
図3を参照して開閉機構30について説明する。開閉機構はテーブル4と垂直な鉛直方向を中心軸として回転可能であって、テーブル4の下方に延びるロッド30aを備えている。テーブル4にはロッド30aの中心軸と同心であって円筒形状の開閉機構支持構造36が下方に向って取付いている。開閉機構支持構造36内にはロッド30aを回転可能に支持するためのベアリング37aおよび37bが配置されている。これにより、開閉機構30がロッド30aの軸回りに回転する。ロッド30aの下方の端部はロッド30aと同一の中心軸を回転軸とするラッチギア41に連結されている。開閉機構30の上面には係合手段と係合するためのピン31aとピン31bとがテーブル4から垂直に伸びるようにテーブル中心に対して点対称に配置されている。ピン31aとピン31bの間隔は開閉蓋11bの周孔101cの直径とほぼ合致し、開閉機構30を回転させるとピン31aとピン31bとが係合手段たる周孔101 c の壁面に当接して開閉蓋11bの回転カム板101を回転させる。続いて、図4(a)および図4(b)を参照してこの開閉機構の駆動部分について説明する。
【0011】
図4(a)はテーブル4の下側において、台座部22の上面22aを上側から見た図である。また、図4(b)は図2の右側からフランジ台2と台座部22を見た図である。台座部22にはテーブル4にクリーンボックス11を載置した場合にその一辺と平行となる方向に沿ってレール48が取り付けられている。レール48上にはラッチ用ラック42がレールに沿って摺動可能に取り付けられている。ラッチ用ラック42はラッチギア41と係合してラックアンドピニオン機構を形成している。台座部22にはモータ47が配置されていてモータ47はモータギア43を回転させる。モータギア43にはモータラック44が係合されていてラックアンドピニオン機構を形成している。台座部22上にはレール48と平行にフレームガイドレール49aとフレームガイドレール49bとが配置されいて、フレーム45は台座部22と平行に、かつフレームガイドレール49aとフレームガイドレール49bとに対し垂直方向に台座部22の上面22aからフランジ台2の高さ超えるまで長く延びた形状をしていて、フレームガイドレール49bにそって摺動可能に取り付けられている。モータラック44はフレーム45に取り付けられている。フレーム45の一の端部にはクリーンボックス押さえプッシャー46が台座部22の上面22aに対して鉛直方向上方向に延びるように取り付けられている。フレーム45にはラッチ用ラック42に当接し、ラッチ用ラック42をレールに沿って押すことが可能なラックプッシャー45aが取り付けられている。フランジ台2には、フランジ台2を貫通し、かつクリーンボックス押さえプッシャー46をフランジ台2と干渉すること無くフランジ台2の面方向に移動可能とするための長穴35が配置されている。
フランジ台2の上面にはクリーンボックス押え28が配置されている。クリーンボックス押さえ28はフランジ台2のテーブル4の対向する一辺であって長穴35が配置されている辺の周部にそれぞれ1個づつ計2個がクリーンボックス11の開口部が包絡する範囲外に配置されている。クリーンボックス押さえ28は、水平方向にテーブル4のレール48と同一の方向に沿って延在するように配置されたシャフト28bと、中空部を有し該中空部にシャフト28bを摺動可能に支持するシャフトガイド28cと、シャフト28bの一端に固定された中空部を有する円筒状のブラケット28hと、ブラケット28hの内部に格納されたバネ28fとを備えている。バネ28fはブラケット28hの中空部内にシャフト28bを軸方向に沿って配置されている。シャフトガイド28dの内面には螺旋状のガイド溝28eが穿設されている。ガイド溝28eはシャフト28bの中心軸方向と垂直方向に伸びる突起状のガイドピン28dと係合していて、シャフト28bが摺動してガイドピン28dがガイド溝28eに導かれることによりシャフト28bがガイド溝28eの螺旋形状に伴ってフランジ台2の外側から内側に向って回転する動作を行う。シャフト28bにはアーム28aが固定されていて、アーム28aはシャフト28bと共に回転する。アーム28aはバネが縮んでシャフト28bがシャフトガイド28c内に所定の長さだけ押し込まれた際に直立するように取り付けられている。ガイド溝28eの前記螺旋形状はシャフト28bが前記所定の長さだけ押し込まれ艇る状態からバネの力でシャフトガイド28cから外に向って伸び出すように移動する際に、直立していたアーム28aがほぼ水平となる転倒位置まで徐々にフランジ台2の外側から内側に回転しながら点灯するような形状である。これにより、アーム28aが該直立位置にある際にはクリーンボックス11がその開口部をフランジ台2の上面に当接させるまで鉛直方向に移動可能となる。 クリーンボックス11がフランジ台2の上面に載置された際にはアーム28aが該転倒位置まで回転し、アーム28aの先端がクリーンボックス11の本体部11aの縁部を鉛直方向下方に向かって押さえつけてクリーンボックス11を固定する。
【0012】
初期状態では、フレーム45はクリーンボックス押さえプッシャー46がシャフト28bに当接してシャフト28bがシャフトガイド28c内に完全に押し込まれている。この状態ではラックプッシャー45aはラッチ用ラック42に当接していない状態であって、フレーム45が移動してクリーンボックス押さえプッシャー46がシャフト28bの前記初期状態からシャフトガイド28c外へ徐々に伸び出すような移動を喚起せしめる。そして、所定の時間経過後(フレーム45が所定の距離だけ移動した後)にラックプッシャー45aはラッチ用ラック42に当接するようにラックプッシャー45aの位置が設定されている。ラッチ用ラック42はバネによりレール48の端部とつながっていて、シャフト28bがシャフトガイド28cから伸び出す方向と反対方向(シャフト28cが押し込まれる方向)に引っ張られるように付勢されている。
モータ47によりモータギア43を回転させると、フレーム45はモータラック44によりフレームガイドレール49aとフレームガイドレール49bにそってシャフト28bから離れる方向に摺動する。クリーンボックス押さえプッシャー46の移動に伴って、シャフト28bがバネの力で伸びながら回転を行い、このシャフト28bの回転と共にアーム28aが回転して転倒状態まで移動する。転倒状態まで移動したアーム28aはクリーンボックス11を固定する。その後フレーム45がさらに移動を続けると、ラックプッシャー45aがラッチ用ラック42に当接してラッチ用ラック42を押す。ラッチ用ラック42はバネ51に抗してレール48に沿って移動し、ラッチギア41とともに開閉機構30を回転させる。これにより回転カム板101の周孔101aと周孔101bに嵌入しているピン31aとピン31bが回転し、周孔101aと周孔101bの端部の壁面に当接して開閉蓋11bの回転カム板101を回転させる。回転カム板101の回転によってラッチ部材103およびラッチ部材104のそれぞれの先端103aと先端104aとは開閉蓋11bの周囲より引っ込んで本体部11aとの係合が解除されて開閉蓋11bが開放可能となる。
【0013】
台座部22の上面22aに取り付けられた脚26にはバネ27が脚26の周面に取り付けられていて、テーブル受容部3を鉛直方向上方に向って付勢している。テーブル受容部3はテーブル4の外面の外周部に当接可能な底面部3bと、底面部3bから鉛直方向に延びる壁部3aとを備えている。テーブル受容部3は壁部3aの内面がテーブル4の側面と開閉蓋11bの側面とほぼ接していて、テーブル4の側面と開閉蓋11bの側面とに沿って上昇または下降を行う。
底面部3bの上面にはその上面の外周部を囲むように溝が配置されている。この溝にはシール部材31が嵌めこまれている。シール部材31は任意の位置においてその断面の一部が底面部の上面より上側に位置するように嵌め込まれていて、底面部3bがテーブル4の外面に押し付けられることによりシール部材31が潰れてテーブル受容部3とテーブル4とで少なくとも内部を窒素ガスでパージするために必要な程度の密閉状態を作ることが可能である。
【0014】
フランジ台2はその下面を壁部3aの上側の端面に当接するように配置されている。フランジ台2の下面と壁部3aの上側の端面との間にはシール部材33が配置されていて、フランジ台2が下降してテーブル受容部3の壁部3aの上側の端面に押し付けられることによりフランジ台2とテーブル受容部3の壁部3aとで少なくとも内部を窒素ガスでパージするために必要な程度の密閉状態を作ることが可能である。
クリーンボックス11の本体部11aの開口部全周が密閉状態でフランジ台2に取付け可能なように、フランジ台2の上面には本体部11aの形状に合せて全周にわたってシール部材34が取り付けられている。そして、前記のクリーンボックス押え28が本体部11aをクリーンボックス11の本体部11aの開口部がシール部材34に当接した状態で本体部11aをフランジ台2に押し付けて固定する。これにより本体部11aとフランジ台2と少なくとも内部を窒素ガスでパージするために必要な程度の密閉状態を作ることが可能である。
そして最終的には、クリーンボックス11の本体部11aとフランジ台2とテーブル受容部3の壁部3aとテーブル4との間で少なくとも内部を窒素ガスでパージするために必要な程度の密閉空間が作られる。
【0015】
テーブル受容部3の下側には導入管9と排出管10とが対向するように辺の周部に連結されている。テーブル受容部3の壁部3a内には導入流路7と排出流路8とを備えていて、導入管9と排出管10はそれぞれ導入流路7と排出流路8につながっている。テーブル受容部3の互いに対向する内面にはパージ用のガスを導入するためのガス導入口5とガス排出口6とを備えていて、それぞれ導入流路7と排出流路8からテーブル受容部3の内部へのガスの導入または排出を行う。
【0016】
次に、図5を参照して、クリーンボックスパージ装置1の動作について説明する。図5(a),図5(b)および図5(c)はクリーンボックスパージ装置1の動作シーケンスを示した図である。
図5(a)は待機状態におけるクリーンボックスパージ装置1にクリーンボックス11を載置した直後の状態を示している。待機状態におけるクリーンボックスパージ装置1ではフランジ台2が昇降機構部21により最下降位置にある。この状態では、フランジ台2がテーブル受容部3を鉛直方向下方に押し付けていてバネ27が縮み、フランジ台2とテーブル4がほぼ同一の高さとなっている。半導体ウェーハの載せ換え作業を行う場合には、この状態で図5(a)のように、開閉蓋11bの回転カム板101cにピン31aとピン31bとが嵌入するようにテーブル4上に開閉蓋11bを下側にしてクリーンボックス11を載置する。このようにクリーンボックス11をテーブル4上に載置すると本体部11aの開口の縁部がシール部材34にちょうど当接してクリーンボックス11の内部を外界から遮断する準備ができる。
【0017】
続いて、図4に示したモータギア43を回転させてフレーム45を移動させクリーンボックス押さえプッシャー46がクリーンボックス押え28のシャフト28bを押して直立状態にあるアーム28aを転倒状態になるまで倒してクリーンボックス11の本体部11aを図5(b)のように固定する。さらにモータギア43が回転させるとラッチ用ギア41を所定角度たる回動可能角度(本実施例の場合には90度)分だけ回転するとピン31aおよびピン31bとが周孔101cの壁面に押して回転カム板101を回転させる。ラッチ部材103およびラッチ部材104のそれぞれの先端103aと先端104aとは開閉蓋11bの周囲より引っ込んで、本体部11aから解放される。ここからさらに、ラッチ用ギア41を回転カム板101の回動可能角度以上に回転させるように駆動すると、回転カム板101は周孔101cの内壁に阻まれて回転できないため、ピン31aとピン31bが周孔101cの内壁に押し付けられて固定される。これにより、開閉蓋11bがテーブル4に固定できる。
そしてこの状態から、フランジ台2を昇降機構部21により最上昇位置まで上昇して移動させる。するとフランジ台2の上昇による移動に伴って、バネ27が伸びてテーブル受容部3が徐々に上昇し移動する。やがて図5(c)に示すようにフランジ台2がテーブル受容部3と離れて上昇する。クリーンボックス11の本体部11aはクリーンボックス押え28により固定されているのでフランジ台2と共に上昇して移動し、最上昇位置まで移動した後に待機する。そして、半導体ウェーハの載せ換え作業を実施する。
【0018】
半導体ウェーハの載せ換え作業が終わった後に、図5(c)の状態から前記手順と逆の手順を行う、すなわちフランジ台2を下降して移動させる。フランジ台2がテーブル受容部3の壁部3aの上側の端面に接触するまで下降すると図2に示した状態となる。ここである程度フランジ台2をテーブル受容部3の上側の端面に押し付けるとフランジ台2とテーブル受容部3との間の密閉状態が確保され、クリーンボックス11の本体部11aとフランジ台2とテーブル受容部3と開閉蓋11bとの間で少なくとも内部を窒素ガスでパージするために必要な密閉空間が形成される。この状態では、ガス導入口5とガス排出口6よりも開閉蓋11bが下方向に位置し、ガス導入口5とガス排出口6が前記密閉空間と連通する状態(ガス導入口5とガス排出口6とが開いた状態)となる。ここで導入管9からパージすべきガス(たとえば、窒素ガスまたは乾燥空気)を導入し、排出管10から排気する。クリーンボックス11内に充満していた大気は所定の時間経過後に窒素ガスに置換される。置換後のガスの圧力は、外部からクリーンボックス11の内部への塵の侵入を防ぐために大気圧より高い0.05MPa〜0.15MPaとすることが望ましい。
所定量の窒素ガスに置き換わったことが確認された後に、フランジ台2をさらに下降させると、ガス導入口5とガス排出口6が開閉蓋11とテーブル4に遮られる。さらにフランジ台2を下降させると、ガス導入口5とガス排出口6が密閉空間との連通を断って密閉空間外に位置(ガス導入口5とガス排出口6とが閉じた状態)する。そして、開閉蓋11bが本体部11aの開口部に嵌入される。そこで、モータギア43を回転させて開閉蓋11bを本体部11aに固定し、クリーンボックス押さえ28を解放する。クリーンボックス11はテーブル4から取り外され次の工程に移ることができる。
【0019】
なお、ガス導入口5とガス排出口6は図6(a)のように長穴とすることができる。この場合には、密閉空間に窒素ガスを効率的に導入するために、導入管9から導入されたガスを一端衝突させるブロッケージ50を内部に配置するとよい。このようにすることにより、導入管9から導入されたガスは図6(a)に二点鎖線で示したように一旦ブロッケージ50でガス導入口5の穴の長手方向に拡散した上でガス導入口5から密閉空間内に導入されるので効率的である。
なお、ガス導入口5は図6(b)のように多数の穴の集合とすることもできる。この場合にはブロッケージを配置しなくても、各穴間の壁部にガスが衝突するので効率の良い拡散の効果が期待できる。
【0020】
テーブル4の上面に配置した開閉機構30のピン31aおよびピン31bの外周にはゴムライニングを施すことが望ましい。これにより、ゴムの摩擦によりピン31aおよびピン31bが開閉蓋11bの係合手段に強固に固定可能となる。たとえば、図2に示すように、クリーンボックス11の開閉蓋11bのシール部材11cがクリーンボックス11の本体部11aに余りに強固に張り付いてしまったような場合には、回転カム板101の回動可能角度以上に開閉機構30を回転させることによるピンの押圧力のみで開閉蓋11bを取り外すのが困難な場合があるが、ゴムライニングを施すことで開閉蓋11bを自然に取り外すことができる点で有利である。なお、本実施例では係合手段は周孔とし、ピンがこの係合手段に取付けられる形態としているが、回転カム板101と係合して回転カム板101を回転可能とし、かつ開閉蓋11bを固定することができる限り、形状は周孔とピンには限られない。たとえば単なる丸穴とピン形状とすることもできる。
【0021】
また前記実施の形態において、本明細書中における内部を窒素パージできる程度の密閉空間とはたとえば、窒素ガスをガス導入口5から内部に導入しガス排出口6から外部にガスを排出する工程において、開閉蓋11bを閉じる作業の間に内部の圧力を外部の圧力より高めに維持することができる程度の密閉状態をも意味する。従って、所定の時間だけ内部を真空に保つ程の高い密閉空間の状態を必ずしも意味するものではない。すなわち、ある程度の時間内において、内部の圧力が外部の圧力より高い状態を維持することができる程度の密閉状態をも含む概念である。内部の圧力が外部の圧力より高い状態を維持することができる程度の状態とは、空間の内部をパージ用のガスにより充満させている状態において、外部の圧力と同じになるまでは一定の時間を必要とする程度を保証することを意味する。少なくともこの程度の密閉性が確保されることにより、パージに必要となるガス量が減りまたパージに必要となる時間も削減される。
【0022】
なお、前記実施の形態においては、テーブル4が台座部22に固定され、テーブル受容部3の壁部3aが開閉蓋11bの内面が該ガス導入口および該ガス排出口より上側に位置するまで下降し、または壁部3aが開閉蓋11bの内面がガス導入口5およびガス排出口6より下側に位置するまで上昇することによりガス導入口5とガス排出口6とをそれぞれ密閉空間と連通を断つ(閉じる)または密閉空間と連通する(開く)ことを特徴としている。
しかし、テーブル4を台座部22に固定するのではなくモータなどによりテーブル4の昇降を可能とした上でテーブル受容部3とフランジ台2とを台座部22に固定し、テーブル4が開閉蓋11bの内面が該ガス導入口5および該ガス排出口6より上側に位置するまで上昇し、またはテーブル4が開閉蓋11bの内面がガス導入口5およびガス排出口6より下側に位置するまで下降することによりガス導入口5とガス排出口6とをそれぞれ密閉空間と連通を断つ(閉じる)または密閉空間と連通する(開く)ことにしても同様の効果を奏する。すなわち、テーブル受容部3の壁部3aまたはテーブル4が開閉蓋11bの内面がガス導入口5およびガス排出口6より上側に位置するまでそれぞれ相対的に移動可能であって、壁部3aまたはテーブル4が開閉蓋11aの内面がガス導入口5およびガス排出口6より下側に位置するまで相対的に移動可能であれば同様の効果を奏する。
【0023】
【発明の効果】
本発明により、以下の効果がある。
(1)クリーンボックスの開閉作業と窒素パージを一連で処理できるので高清浄度の確保をした上で、窒素パージをすることができる。特に、パージ作業中はパージ用のガスの導入口とガス排出口が開閉用蓋の上側に位置するので開閉蓋に付着した塵を半導体ウェーハ側に巻き上げることを防止することができる。
(2)クリーンボックスの開閉作業と窒素パージを一連で処理できるので、作業時間の短縮を図ることができる。
(3)クリーンボックスの開閉作業と窒素パージを一連で処理できるため、プログラム化が可能となる。また、これにより、フランジ台が下降して密閉空間をつくりあげてからの時間の管理が容易となる。
(4)従来の手法ではクリーンボックスの開閉装置と窒素パージ装置と2つの装置が必要であっとところ、本発明により同一の機械により両者の過程を処理することが可能となり、装置を単一化することができる、さらには設置面積の縮小化ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のクリーンボックスパージ装置の全体を示した図である。
【図2】本発明のクリーンボックスパージ装置におけるクリーンボックスが細緻された状態の断面を示した図である。
【図3】本発明のクリーンボックスパージ装置のテーブル部分の断面を示した図である。
【図4】本発明のクリーンボックスパージ装置のクリーンボックス開閉を開閉するための機構部を示した図である。ここで図4(a)はその上面を、図4(b)はその側面を示している。
【図5】本発明のクリーンボックスパージ装置の動作のシーケンスの概略を示した図である。ここで、図5(a)はクリーンボックスを載置した状態、図5(b)はクリーンボックスの本体部と開閉部とをそれぞれテーブルに固定した状態、図5(c)は本体部を開閉蓋から引き離した状態を示している。
【図6】本発明のクリーンボックスパージ装置のガス導入口の例を示した図である。ここで図6(a)は長穴型のガス導入口であり、図6(b)は多数孔型のガス導入口である。
【図7a】本発明のクリーンボックスを側面から見た断面を示した図である。
【図7b】本発明のクリーンボックスの開閉蓋を外側(下側)から見た図である。
【符号の説明】
1 クリーンボックスパージ装置
2 フランジ台
3 テーブル受容部
4 テーブル
5 ガス導入口
6 ガス排出口
7 導入流路
8 排出流路
9 導入管
10 排出管
11 クリーンボックス
11a 本体部
11b 開閉蓋
Claims (10)
- 内部に半導体ウェーハを格納可能であって、下方に開口を有する本体部と、該開口を下方から塞ぐための開閉蓋とを有するクリーンボックスの該内部にガスをパージするパージ装置であって、
該開閉蓋を載置可能なテーブルと、
内面の一部が該テーブルの側面より外側に位置するように配置され、該内面の一部にガス導入口およびガス排出口とを有し、該開口の縁と当接可能なフランジと該テーブルと共に該クリーンボックスの内部をパージするための密閉状態としうる壁部とを備え、
該壁部は、バネにより上方向に付勢され、
該壁部は、該開閉蓋の内面の高さが、該ガス導入口および該ガス排出口より上側になる位置と該ガス導入口および該ガス排出口より下側になる位置との間を、該バネの力により上昇し、該本体部の載置により該バネの力に抗して下降することが可能であることを特徴とするパージ装置。 - 請求項1に記載のパージ装置であって、
該フランジは、該本体部に固定可能であって、該壁部から分離可能であるとことを特徴とするパージ装置。 - 請求項1または2のいずれかに記載のパージ装置であって、
該パージ装置は、鉛直方向に沿って該本体部を上昇または下降させる昇降機構を備えることを特徴とするパージ装置。 - 請求項3に記載のパージ装置であって、
該フランジは、該昇降機構によって、上昇または下降することを特徴とするパージ装置。 - 請求項4に記載のパージ装置であって、前記本体部の載置は、該昇降機構が該本体部を鉛直方向に沿って下降させることにより実行されることを特徴とするパージ装置。
- 請求項4に記載のパージ装置であって、
該開閉蓋は、該開閉蓋の外面が該テーブルの上面と接するように該テーブルの上に載置され、
該昇降機構は、該本体部の開口の縁と当接する該フランジの面と該テーブルの上面とが同一の高さとなるまで、該本体部を下降することが可能であることを特徴とするパージ装置。 - 請求項4に記載のパージ装置であって、
該開閉蓋の上側には、該半導体ウェーハを格納するための棚を有し、
該昇降機構は、該本体部の開口の縁が該棚の最上部より高い位置になるまで、該本体部を上昇可能であることを特徴とするパージ装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載のパージ装置であって、
該パージ装置は、ガス導入口から導入されたガスを一端衝突させて拡散させるためのブロッケージを備えることを特徴とするパージ装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載のパージ装置であって、該開閉蓋は、該本体部と係合して該開口を塞ぐラッチ部材と、鉛直方向の中心軸まわりに回動可能であって、該中心軸から離れた位置に孔を有する回転カム板とを備え、
該ラッチ部材は、該回転カム板の所定角度の回転に連動して該本体部との係合を解除可能であり、
該テーブルは、該テーブルの面と垂直な方向の軸まわりに回動可能な開閉機構であって、該開閉蓋が該テーブル上の所定の位置に載置された際に該孔に挿入される位置に配置されるピンを有する開閉機構を備え、
該開閉蓋を該テーブル上の前記所定の位置に載置した状態で、該開閉機構が該所定角度だけ回転することにより、該回転カム板が該所定角度だけ回転して該ラッチ部材の該本体部との係合を解除し、さらに前記開閉機構が該回転カム板を該所定角度以上回転させるように駆動することにより、該ピンの表面が該孔の内壁面に押し付けられて該開閉蓋が該テーブルに固定されることを特徴とするパージ装置。 - 請求項9に記載のパージ装置であって、該ピンの表面はゴムで被覆されていることを特徴とするパージ装置。
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