TWI416656B - 夾緊機構 - Google Patents

Description

夾緊機構

本發明是關於將收容晶圓的FOUP固定在載台用的夾緊機構。

無塵室中，為了收容電子裝置用的晶圓進行搬運或保管，使用FOUP(Front Open Unified Pod)。並且，FOUP被固定在稱為FOUP載入機(或者裝載埠)的介面機構。並且，FOUP載入機中，使FOUP對接在對於半導體製造裝置內部掩蔽著連通口的埠門，密閉連通FOUP的內部與半導體裝置的內部，以FOUP及半導體製造裝置的內部為高淨化度，以其外側為低淨化無塵度，可藉此抑制無塵室的建設．運轉成本。

FOUP載入機中，有謀求對半導體內之異物微粒子的混入防止的必要。因此，藉著設置．固定有FOUP的載台從非對接位置移動到對接位置，可以使FOUP與埠門在密閉狀態下對接。並且，為了進行晶圓的進出，進行FOUP的蓋部及埠門的開關。並且，有藉著保持著FOUP與半導體裝置的密閉狀態程度的固定力，將FOUP預先固定在FOUP載入機的載台上的必要。關於以上的FOUP的固定，在SEMI(Semiconduetor Equipment and Naterials Internation)的規格中，有著針對FOUP載入機設置FOUP夾緊機構的規定，此外也有著針對FOUP底部的夾緊用凹 部的形狀、該夾緊機構所求得的夾緊力等的規定。並且以上述規格為依據的夾緊機構的例有(1)日本特開2003－297903號公報、(2)日本特開2005－129706號公報及(3)日本特開2004－140011號公報所揭示的技術已為人知。文獻(1)、(2)的技術中，將夾緊用的爪部鉤掛在FOUP底部的夾緊用凹部，並使得該爪部下降，將爪部推壓在FOUP載入機的載台上固定FOUP。

又，文獻(3)中，記載有可進行FOUP設置方向調整的FOUP載入機。該FOUP載入機中，在載台(連接板及容器搭載片)上形成缺口，該缺口之中配置著可旋轉．升降的筒狀部。該筒狀部的上端設置搭載著FOUP的搭載板。並且，設置在載台下方的支撐片內設有驅動筒狀部的馬達。根據以上的構成，可不須設置大的裝置(FOUP的操作用的握把)，可調整FOUP的設置方向，使得FOUP的取出口正對於半導體製造裝置。

設有FOUP載入機的無塵室中，可運用的空間極為重要，為了使其儘可能地擴大，期待著可對於載台的下方空間有效的活用。上述文獻(1)、(2)所揭示的夾緊機構為了驅動夾緊用的爪部，包含著汽缸與馬達等的致動器所構成。並且，以上的致動器是被設置在固定FOUP的載台下方空間。因此，載台的下方空間為該等的致動器等所佔有，而不能有效活用載台的下方空間。

又，如上述，文獻(1)、(2)所記載的夾緊機構由於佔有載台的下方空間，載台的下方不能設置上述的筒狀部或馬達。因此，不能運用如文獻(3)的技術。

另外，使用文獻(1)、(2)所記載夾緊機構的場合，將FOUP對接在埠門時，FOUP設置在載台之後，須進行(1)夾緊動作、(2)對接動作的兩階段斷座，而必須形成該兩階段量的循環時間。

因此，本發明的目的是提供可有效活用載台的下方空間的夾緊機構。

另外，本發明的其他目的是提供在對接動作中進行夾緊，藉此縮短循環時間的夾緊機構。

為了達成上述目的，本發明的夾緊機構是將可收容晶圓的FOUP固定在載台上，相對於基板處理裝置的連通口開關用的埠門，對接固定在上述載台的上述FOUP，使上述FOUP的內部與上述基板處理裝置的內部密閉連通的FOUP載入機的將上述FOUP固定在上述載台用的夾緊機構。並且，夾緊機構，具有：相對於FOUP載入機主體部的上部，設置可朝著形成上述對接的方向的對接方向及與該對接方向相反的非對接方向移動的板狀第1載台；相對於上述第1載台的上部，設置可朝著上述對接方向及上述非對接方向移動的板狀第2載台；藉著水平方向延伸且正交在上述對接方向及上述非對接方向的轉軸，可旋轉地支撐在上述第2載台上方的夾緊桿；使上述第2載台相對於上述第1載台朝著上述非對接方向移動而作用的第1構件 ；及第2構件。上述夾緊桿形成有朝著上述非對接方向突出的夾緊用爪部，上述第2構件相對於上述夾緊桿作用使上述夾緊用爪部朝下方向位移。上述FOUP的底部形成有定位用凹部，上述第1載台形成有嵌入該定位用凹部的定位用凸部，根據上述定位用凸部嵌入到上述定位用凹部，使上述第1載台及上述FOUP形成一體可移動的狀態。並且，上述夾緊用爪部被收容於形成在上述FOUP底部的夾緊用凹部，上述第2載台相對於上述第1載台朝著上述非對接方向移動，上述夾緊用爪部使上述夾緊用凹部的上述非對接方向側的內壁面朝著上述對接方向突出形成的被夾緊部從上方向下方推壓，將上述FOUP固定在上述載台上。

根據以上的構成，在載台(第1載台及第2載台)的下方，不設置汽缸或馬達等的致動器，即可夾緊FOUP，因此不會佔有載台的下方空間。因此，可有效活用載台的下方空間。又，在對接動作中進行夾緊，可獲得循環時間縮短的夾緊機構。

又，本發明所涉及的夾緊機構中，上述第1構件也可以是連接上述第2載台與上述第1載台的彈性構件。藉此，可以簡易構成第1構件。在此，彈性構件為可伸縮且高彈性的構件，具體而言相當於金屬彈簧(螺旋彈簧等)、樹脂彈簧、橡膠等。

又，本發明所涉及的夾緊機構也可以另外具備固定在上述FOUP載入機主體部，且限制上述第2載台朝著上述 非對接方向移動的止動件。藉此，FOUP從上方下降而設定時，夾緊用爪部可確實收容在夾緊用凹部的位置上可配置夾緊用爪部。

又，本發明所涉及的夾緊機構，更具備：設置在上述第1載台的第1接觸部與設置在上述第2載台，且相對於上述第1接觸部配置在上述對接方向側的第2接觸部，上述第1載台及上述FOUP朝著上述對接方向移動時，也可以藉上述第1接觸部推壓上述第2接觸部，使上述第1載台、上述FOUP及上述第2載台形成一體移動。根據上述，第1載台、FOUP及第2載台形成一體移動時，藉著第1接觸部對於第2接觸部的推壓，穩定第2載台的移動。又，第2載台移動時，可減輕施加在夾緊桿的負荷。

又，本發明所涉及的夾緊機構中，上述第2構件是設置在上述第2載台上部的彈性構件，上述夾緊桿上形成有朝著上述對接方向突出的凸部，上述第2構件也可以被夾持在上述凸部與上述第2載台之間，從上方向下方推壓上述凸部。藉此，可簡易構成第2構件。在此，彈性構件為可伸縮且具有高彈性的構件，具體而言，相當於金屬彈簧(螺旋彈簧等)、樹脂彈簧、橡膠等。

又，本發明所涉及的夾緊機構中，也可以在上述第2載台形成限制上述凸部朝上方向的位移量的限制部。藉此一構成，限制夾緊桿的傾斜，因此即使夾緊力大的場合，仍然可以使夾緊用爪部越過被夾緊部之上。

又，本發明所涉及的夾緊機構中，更具備可藉著朝水 平方向延伸且正交於上述對接方向及上述非對接方向的轉軸可自由旋轉支撐的滾子，該滾子也可以配置在上述夾緊用爪部的前端。藉此，在FOUP的夾緊時，夾緊用爪不可容易越過被夾緊部，容易形成夾緊。

又，本發明所涉及的夾緊機構中，上述第2載台與上述第1載台也可以經由沿著上述對接方向及上述非對接方向所設置的線性運動導件連接。因此，藉著簡易的構成，設置使第2載台可相對於第1載台的上部朝著對接方向及非對接方向移動。

為使本發明之目的、特徵及功效得以完備與明確化，參閱以下附圖更具體詳細說明如下。

以下，針對本發明的較佳實施形態，參閱圖示加以說明。

首先，使用第1圖及第2圖，針對包含本發明一實施形態所涉及夾緊機構的FOUP載入機的整體構成說明如下。第1圖、第2圖為本發明的一實施形態所涉及FOUP載入機的側面概略圖，第2圖為第1圖的A－A’箭頭方向上面概略圖。

(FOUP載入機)

本發明所涉及的FOUP載入機50是如第1圖表示，為連通FOUP(Front Open Unified Pod)2的內部與半導 體製造裝置(基板處理裝置)內部用的介面機構，FOUP2相對於FOUP載入機50被固定。並且，FOUP載入機50被設置在無塵室內。

FOUP載入機50中，FOUP載入機主體部50b上設置有載台51，載台51上固定設置著可收容複數晶圓9的FOUP2。此時，FOUP2藉著夾緊機構1的作用固定在載台51上。又，FOUP載入機包含設置在半導體製造裝置側的壁部50c，壁部50c形成有連通半導體製造裝置的連通口50h，並設置埠門50d來屏蔽連通口50h。載台51在設置FOUP2的狀態下，相對於FOUP載入部50b設置使FOUP2與埠門50d形成可朝著對接的方向(對接方向)及與此相反的方向(非對接方向)移動。在此，載台51是包含後述的載台底座(第1載台)及夾緊底座(第2載台)所構成。又，本實施形態所涉及的夾緊機構1是如後述包含載台1所構成。並且，FOUP載入機50相對於埠門50d使FOUP2對接，之後開放埠門50d及FOUP2的蓋部2d(後述)，藉此密閉連通FOUP2的內部與半導體製造裝置的內部。再者，FOUP2也可以收容一個晶圓。

接著，使用第1圖及第2圖針對FOUP2的構成說明如下。FOUP2是作為收容電子裝置用的晶圓9的搬運，或保管之用，包含框體2b，與可相對於框體開關的蓋部2d所構成。在此，FOUP2可運用於種種的基板的搬運及保管。並且，框體2安裝著蓋部2d的狀態下，防止對於FOUP2內部之異物微粒子的侵入及FOUP2內部的化學性 污染。又，框體2b的頂上部設有搬運用機器人等搬運FOUP2時作為把持用的把持部2z。另外，如第2圖表示，在FOUP2的底部形成有三處後述的定位用凹部2a。再者，第2圖為上面圖，原來的定位用凹部2a是位在FOUP2的底部，雖是在隱藏不能看見，但是第2圖是為了說明而加以圖示。另外，在FOUP2的底部如第1圖虛線所表示，設有夾緊用凹部2h。又，如第2圖的B－B’位置之剖面概略圖(省略表示剖面的斜線)的第5圖表示，在FOUP2中，形成有從夾緊用凹部2h的非對接方向側(參閱圖的箭頭方向)的內壁面朝著對接方向突出的被夾緊部2c。

(夾緊機構)

接著，一邊參閱第3圖，針對夾緊機構1說明如下。第3圖是表示第2圖的B－B’位置的放大剖面概略圖(省略表示剖面的斜線)。又，第3圖是省略FOUP2表示。在此，夾緊機構1包含載台51，載台51是包含載台底座(第1載台)3及夾緊底座(第2載台)4所構成。以下，針對各個詳細構成說明。

(載台底座)

載台底座3是形成板狀的構件，底部一體設有線性運動導件3g。又，FOUP載入機主體部50b的上部沿著對接方向及非對接方向設有軌道50r。並且，線性運動導件3g 與軌道50r彼此咬合，使線性運動導件3g沿著軌道50r移動。根據上述，載台底座3相對於FOUP載入機主體部50b的上部，設置可朝著對接方向及非對接方向移動。此外，線性運動導件也可以形成與載台底座不同的構件，安裝在載台底座上。

又，載台底座3的上部形成有定位用凸部3a。並且，如第5圖表示，在FOUP2設定在載台底座3的狀態下，定位用凸部3a嵌入到FOUP2的定位用凹部2a內。又，定位用凹部2a在第3圖中雖僅顯示1個，但是如第2圖表示，載台底座3的上部，對應FOUP2的3個定位用凹部2a的位置上，形成有3個定位用凸部3a。原來在上面圖的第2圖中，定位用凸部3a是位在隱藏不能看見的位置，但是第2圖是為了說明而加以圖示。並且，將定位用凸部3a嵌入定位用凹部2a，藉此使載台底座3及FOUP2形成一體移動的狀態。亦即，載台底座3在軌道50r上移動時，FOUP2與載台底座3一起移動。

又，載台底座3的上部，在軌道50r上設置載台底座3的狀態下，設有沿著對接方向及非對接方向的軌道3r。

(夾緊底座)

接著，一邊參照第3圖，針對夾緊底座4說明如下。夾緊底座4也是形成板狀的構件，底部一體設置線性運動導件4g。並且，線性運動導件4g與軌道3r彼此咬合，使線性運動導件4g沿著軌道3r移動。根據上述，夾緊底座 4形成相對於載台底座3的上部設置可朝著對接方向及非對接方向移動。又，使用以上的線性運動導件4g及軌道3r，可藉著簡易的構成，設置使夾緊底座4可相對於載台底座3的上部朝著對接方向及非對接方向移動。並且，線性運動導件也可以形成與夾緊底座不同的構件，安裝在夾緊底座上。

又，夾緊底座4的上部可旋轉地支撐著夾緊桿5a。具體而言，在夾緊底座4的上部形成有支撐部4c。藉著安裝在該支撐部4c的轉軸5c可旋轉地支撐著夾緊桿5a。在此，夾緊桿5a的轉軸5c是朝著水平方向延伸且正交於對接方向及非對接方向。亦即，轉軸5c是朝垂直於第3圖的紙面方向延伸，夾緊桿5a在第3圖中，形成可右旋轉及左旋轉地轉動。又，夾緊桿5a形成有朝著對接方向突出的夾緊用爪部5b。並在夾緊桿5a形成有朝著對接方向突出的凸部5d。另外，夾持在凸部5d與夾緊底座4之間的位置上，設有作為第2構件的螺旋彈簧5s。螺旋彈簧5s是如第3圖表示，使軸方向與上下方向一致且縮短的狀態下埋沒設置在夾緊底座4的上部。又，螺旋彈簧5s是包含螺旋彈簧與設置在其端部的軸狀推壓部5k所構成。螺旋彈簧5s利用朝著彈簧伸長方向的彈力，可對於向上方突出的推壓部5k賦予從上方向下方推壓的力所構成。並且，螺旋彈簧5s將凸部5d經常地從上方向下方推壓，藉以使夾緊桿5a賦予第3圖之右旋轉轉動的力。並且，其結果，形成螺旋彈簧5s相對於夾緊桿5a的作用使夾緊用 爪部5b向下方位移。又，藉螺栓4t將限制部4a固定設置在夾緊底座4上。將限制部4a的前端部分配置在凸部5d的上方以相對於凸部5d在上下方向容許預定的位移量，藉此限制朝凸部5d上方向的位移量，即夾緊桿5a的可旋轉角度。

在此，補充夾緊用爪部5b及凸部5d的突出方向，為了可旋轉地支撐夾緊桿5a，本實施形態中，藉著夾緊用爪部5b夾緊FOUP2的狀態下(參閱第6圖、第7圖)，突出形成在非對接方向及對接方向。又，本實施形態中，夾緊桿5a的可旋轉角度，即夾緊用爪部5b的可上下擺動寬幅是以螺旋彈簧5s最為縮短狀態的推壓部5k的位置及限制部4a前端部的位置來決定，因此其寬幅不大。因此，FOUP2在以夾緊機構1夾緊的狀態(第6圖、第7圖)與不夾緊FOUP2的狀態(第3圖~第5圖)的雙方，夾緊用爪部5b及凸部5d是位於夾緊桿5a分別朝著大致非對接方向及大致對接方向突出形成的狀態，與夾緊後的狀態比較，夾緊用爪部5b是朝向下方位移的方向傾斜(參閱第3圖~第5圖)。

又，夾緊底座4向下方突出形成有第2接觸部4b，載台底座3上設有第1接觸部3b。第1接觸部3b，包含：固定設置在載台底座3上的支架部3h與沿著對接方向及非對接方向朝支架部3h貫穿設置的支架3t。並且，調整螺栓3t的旋轉量，可以調整螺栓3t的突出高度。又，第2接觸部4b被配置在較第1接觸部3b更接近對接方向側 。並且，載台底座3及FOUP2朝對接方向移動時，第1接觸部3b推壓第2接觸部4b，藉以使載台底座3、FOUP2及夾緊底座4形成一體移動。在此，如第3圖~第5圖表示，FOUP2未被夾緊機構1所夾緊的狀態下，配置使第2接觸部4b與第1接觸部3b不接觸，如第6圖、第7圖表示，FOUP2藉著夾緊機構1夾緊的狀態下，第2接觸部4b與第1接觸部3b是形成接觸。並且，第2接觸部4b與第1接觸部3b接觸時的夾緊底座4與載台底座3的位置關係可藉著調整螺栓3t的旋轉量加以調整。

此外，在夾緊用爪部5b的前端經由朝平行於轉軸5c的方向延伸的轉軸5j，可旋轉地支撐著滾子5e。因此，滾子5e在第3圖中可右旋轉及左旋轉地轉動。

又，夾緊底座4設有連接部4f，載台底座3設有連接部3f，連接部4f與連接部3f是藉著第1構件的螺旋彈簧4s連接。亦即，夾緊底座4與載台底座3是藉著螺旋彈簧4s加以連接。並且，FOUP2在夾緊前的初期狀態，螺旋彈簧4s在伸長的狀態下，即受到朝縮短方向彈力的狀態設定。因此，螺旋彈簧4s使得夾緊底座4相對於載台底座3(即以載台底座3為基準表示的場合)作用朝著非對接方向移動。

又，FOUP載入機主體部50b的上部固定著止動件50s，在夾緊底座4形成有與止動件50s接觸的止動件接觸部4m。詳細雖如後述，但是止動件50s是作為限制夾緊底座4朝著非對接方向移動之用。藉此，夾緊底座4藉 著螺旋彈簧4s的作用，即使賦予載台底座3朝著非對接方向移動的力，在止動件50s的位置，由於止動件接觸部4m與止動件50s接觸，因此使得夾緊底座4不能移動至比止動件50s位置更接近非對接方向側。

在此，止動件50s，設置不與載台底座3接觸。為此，止動件50s在第3圖中虛線表示的部份是避免與載台底座3的接觸，並且迂迴形成可與夾緊底座4的止動件接觸部4m接觸。又，止動件不限於以上的形態，也可以設置貫穿設於載台底座的貫穿溝槽。又，止動件與夾緊底座4的位置關係不限於上述，例如也可以止動件不由下方，而是從側方、上方延伸，對於止動件與夾緊底座4的接觸位置，也可以不是在夾緊底座4的非對接方向側接觸。

又，止動件50s雖是直接固定在FOUP載入機主體部50b，但是不限於此一形態。止動件50s也可以固定設置在不相對於基部(設置FOUP載入機主體部50b的基部)移動之物(例如，載台底座3、夾緊底座4相對於設有FOUP載入機主體部50b的基部移動)，或固定在其他的位置上。

(夾緊動作)

接著，一邊參閱第4圖~第7圖，針對以上所構成的夾緊機構1的夾緊動作說明如下。第4圖~第7圖為第2圖B-B’位置的剖面概略圖，表示動作過程。又，第4圖~ 第7圖中，表示省略顯示剖面的斜線。

FOUP2被夾緊前的初期狀態中，螺旋彈簧4s是形成伸長的狀態，又，螺旋彈簧5s是形成縮短的狀態。並且，夾緊用爪部5b(與夾緊狀態比較)是朝著下方位移的方向傾斜。

首先，藉著未圖示的搬運用機器人，把持著FUOP2的把持部2z，朝著FOUP載入機50的夾緊機構1的上方搬運FOUP2。並且，藉著搬運用機器人的動作，使FOUP2朝著夾緊機構1的方向下降(參閱第4圖)。

並且，更使得FOUP2下降，將載台底座3的定位用突部3a嵌入FOUP2底部的定位用凹部2a(參閱第5圖(箭頭方向C))內。藉此，將FOUP2設定在載台底座3上，設定後，載台底座3及FOUP2形成一體移動。在此，如上述，夾緊底座4藉著螺旋彈簧4s賦予相對於載台底座3朝著非對接方向移動的力。另一方面，由於設有止動件50s，夾緊底座4不會較止動件50s的位置更朝著非對接方向移動。因此，FOUP2從上方下降設定到載台底座3上時，夾緊用爪部5b與被夾緊部2c不會接觸，在夾緊用爪部5b可收容在夾緊用凹部2h的位置上，可配置夾緊用爪部5b。因此，FOUP2的設定時，夾緊用爪部5b可確實被收容在夾緊用凹部2h內。

接著，藉搬運用機器人的動作，FOUP2與載台底座3朝著對接方向移動(參閱第5圖(箭頭D))。此時，夾緊底座4藉著螺旋彈簧4s的作用，對於載台底座3賦予 朝著非對接方向移動的力，但是藉著固定設置在FOUP2載入機主體部50b的止動件50s，限制朝著非對接方向的移動。因此，夾緊底座4靜止在止動件50s與止動件接觸部4m的接觸位置上，慬使得FOUP2及載台底座3朝著對接方向移動。此時，螺旋彈簧4s根據其彈性而縮短。並且，在此是採用彈性構件的螺旋彈簧4s，因此可簡易的構成形成第1構件。

如上述，夾緊動作時的初期狀態中，夾緊用爪部5b與(夾緊時)朝著非對接方向突出的狀態比較，形成朝下方位移的方向傾斜。並藉著限制部4a，限制凸部5d朝著上方的位移量。在此，藉著夾緊用爪部5b可確實地夾緊FOUP2，夾緊力大較為理想，並且夾緊用爪部5b的可旋轉角度較大較為理想(亦即，夾緊用爪部5b越是向下方位移越大越好)。但是，夾緊用爪部5b的可旋轉角度大的狀態下夾緊力一旦增大時，初期狀態下，夾緊用爪部5b會朝下方形成大的位移狀態。因此，從夾緊時該等接觸角度的觀點來看，夾緊用爪部5b跨越被夾緊部2c困難。

為此，設置限制部4a以藉此限制夾緊桿5a的傾斜，即使夾緊力大的場合，仍可以使夾緊用爪部5b跨在被夾緊部2c上。並且，限制部4a藉著高度不同的其他限制部的更換，或在限制部4a與夾緊底座4之間***另外準備的間隔件等，可以調整初期狀態的夾緊用爪部5b的傾斜。又，FOUP2朝著對接方向移動，夾緊用爪部5b跨越被夾緊部2c之上時，藉著滾子5e的作用，使夾緊用爪部5b 與被夾緊部2c順利接觸，因此夾緊用爪部可容易跨過被夾緊部2c，容易形成夾緊。又，在此採用彈性構件的螺旋彈簧5s，可獲得簡易構成的第2構件。

並且，被夾緊部2c之上跨過夾緊用爪部5b之後，夾緊底座4的位置在不變的狀態下，FOUP2及載台底座3更朝著對接方向移動。換言之，夾緊底座4相對於載台底座3朝著對接方向移動。並且，夾緊用爪部5b將被夾緊部2c從上方向下方推壓，藉以使FOUP2固定在載台51(載台底座3及夾緊底座4)上(參閱第6圖)。又，在此一時刻(參閱第6圖)第1接觸部3b與第2接觸部4b是形成接觸的狀態。

根據上述，載台51(載台底座及夾緊底座)的下方空間50u內，不設置汽缸或馬達等的致動器，可進行FOUP2的夾緊，因此不會佔有載台51的下方空間50u(參閱第1圖)。藉此，可有效活用載台51的下方空間50u，可有效活用FOUP2載入機主體部50b的內部空間50i。因此，例如也可以將夾緊機構1運用在上述文獻(3)中所記載的技術內。

又，不使用汽缸或馬達等的複雜機構的致動器，藉著彈性構件所賦予旋轉力的夾緊用爪部5b，採用可推壓被夾緊部2c的單純機構，藉此獲得製造．維持用之成本低的夾緊機構。

接著，藉搬運用機器人的動作，使FOUP2更朝著對接方向移動，到達對接位置，將FOUP2與埠門50d對接 (參閱第7圖)。此時，形成第1接觸部3b推壓第2接觸部4b。因此FOUP2朝對接方向移動時，隨之載台底座3也朝著對接方向移動，更隨著載台底座3夾緊底座4也朝著對接方向移動。其結果，載台底座3、FOUP2及夾緊底座形成一體移動。根據以上的構成，載台底座3、FOUP2及夾緊底座形成一體移動時，第1接觸部3b推壓第2接觸部4b，藉此穩定夾緊底座4的移動。在此”穩定”即是例如與夾緊底座4根據被夾緊部2c推壓夾緊桿5a而朝著對接方向移動的場合比較，夾緊底座4的穩定移動。因此，夾緊底座4的移動時，可減輕施予夾緊桿5a的負荷。

如上述，完成FOUP2的對接，隨後開放埠門50d及FOUP2的蓋部2d(後述)，密閉連通FOUP2的內部與半導體製造裝置的內部。並且，FOUP2內的晶圓(基板)9藉著未圖示的基板搬運機器人取出，搬運到半導體製造裝置內部的預定位置。

如上述，夾緊機構1中，在對接動作中進行FOUP2的夾緊。因此，與夾緊動作及對接動作分別進行的場合比較，可獲得循環時間短的夾緊機構。

(變形例)

接著，針對本發明所涉及夾緊機構的變形例，一邊參閱第8、9圖，一邊以上述實施形態不同的部份為中心說明如下。第8圖為第1變形例，第9圖為第2變形例的放 大剖面概略圖。再者，賦予符號200、204、204e、204c、205a、205b、205c、205d、205e、205s、300、304、304a、205a、305b、305c、305d、305e、305s的部份是上述的實施形態中，相當於賦予符號1、4、4a、4c、5a、5b、5c、5d、5e、5s、1、4、4a、5a、5b、5c、5d、5e、5s的部份。

首先，針對第1變形例涉及的夾緊機構200，如第8圖表示，與上述實施形態在夾緊桿的構造上不同。本變形例涉及的夾緊桿205a與上述實施形態不同，構成為線性。並且，夾緊桿205a藉著安裝在支撐部204c的轉軸可旋轉地被支撐著。根據以上形態的夾緊機構200也可以獲得與上述實施形態相同的效果。

又，針對第2變形例涉及的夾緊機構300，同樣如第9圖表示，與上述實施形態在在夾緊的構造上不同。本變形例所涉及的夾緊桿305a是與上述的實施形態不同，並非設置在夾緊底座上部的支撐部(4c、204c)，而是被支撐在夾緊桿304主體部的上部。並且，同樣地夾緊桿305a藉著轉軸305c可旋轉地被支撐著。根據以上形態的夾緊機構300也可以獲得與上述實施形態相同的效果。

以上，針對本發明的實施形態已作說明，但是本發明不僅限於上述的實施形態，在申請專利記載的範圍內可進行種種變更加以實施。

例如，上述的實施形態中，使用彈性構件作為第1、第2構件。並且，第1構件具有相對於第2載台賦予直線 移動力的功能，第2構件具有相對於夾緊桿賦予旋轉力的功能即可，該等可不限於彈性構件。例如，第1、第2構件也可以是電子控制的機構(馬達等)，或汽缸、油壓缸等。並且，彈性構件在上述實施形態雖是使用螺旋彈簧，但是在此的彈性構件，為可伸縮且高彈性的構件，不限於螺旋彈簧。因此也可以是樹脂彈簧、橡膠等。

以上之本發明較佳實施形態與圖式係僅作為本發明技術內容說明之用，並非用以限制本發明之權利範圍，因此在不脫離本發明之精神主旨的前提下可進行種種的變形與變更。

1、200、300‧‧‧夾緊機構

2‧‧‧FOUP

2a‧‧‧定位用凹部

2c‧‧‧被夾緊部

2w‧‧‧非對接方向側的內壁面

3‧‧‧載台底座(第1載台)

3a‧‧‧定位用凸部

3b‧‧‧第1接觸部

3r‧‧‧軌道

4‧‧‧夾緊底座(第2載台)

4a‧‧‧限制部

4b‧‧‧第2接觸部

4g‧‧‧線性運動導件

4s‧‧‧螺旋彈簧

5a‧‧‧夾緊桿

5b‧‧‧夾緊用爪部

5c‧‧‧轉軸(夾緊桿用)

5d‧‧‧凸部

5e‧‧‧滾子

5j‧‧‧轉軸(滾子用)

5s‧‧‧螺旋彈簧(第2構件)

9‧‧‧晶圓

50‧‧‧FOUP載入機

50b‧‧‧FOUP載入機主體部

50d‧‧‧埠門

50h‧‧‧連通口

50s‧‧‧止動件

51‧‧‧載台

第1圖為包含本發明之一實施形態所涉及夾緊機構的FOUP載入機的側面概略圖。

第2圖為第1圖的A－A’箭頭方向上面概略圖。

第3圖為第2圖的B－B’位置的放大剖面概略圖。

第4圖是表示FOUP搬運到夾緊機構上方的狀態，第2圖的B－B’位置的剖面概略圖。

第5圖是表示FOUP設定在載台底座的狀態，第2圖的B－B’位置的剖面概略圖。

第6圖是表示FOUP藉著夾緊機構夾緊的的狀態，第2圖的B－B’位置的剖面概略圖。

第7圖是表示FOUP相對於埠門呈對接的狀態，第2圖的B－B’位置的剖面概略圖。

第8圖是表示夾緊機構的第1變形例的放大剖面概略圖。

第9圖是表示夾緊機構的第2變形例的放大剖面概略圖。

1‧‧‧夾緊機構

2‧‧‧FOUP

2a‧‧‧定位用凹部

2c‧‧‧被夾緊部

2h‧‧‧凹部

2w‧‧‧非對接方向側的內壁面

3‧‧‧載台底座(第1載台)

3a‧‧‧定位用凸部

3b‧‧‧第1接觸部

3g‧‧‧導件

3r‧‧‧軌道

4‧‧‧夾緊底座(第2載台)

4a‧‧‧限制部

4b‧‧‧第2接觸部

4c‧‧‧支撐部

4g‧‧‧線性運動導件

4m‧‧‧止動件接觸部

4s‧‧‧螺旋彈簧

5a‧‧‧夾緊桿

5b‧‧‧夾緊用爪部

5c‧‧‧轉軸(夾緊桿用)

5d‧‧‧凸部

5e‧‧‧滾子

5k‧‧‧推壓部

5s‧‧‧螺旋彈簧(第2構件)

50b‧‧‧FOUP載入機主體部

50d‧‧‧埠門

50r‧‧‧軌道

50s‧‧‧止動件

51‧‧‧載台

Claims (8)

1. 一種夾緊機構，係將可收容晶圓的FOUP固定在載台上，相對於基板處理裝置內部的連通口開關用的埠門，對接固定在上述載台的上述FOUP，使上述FOUP的內部與上述基板處理裝置的內部密閉連通的FOUP載入機的將上述FOUP固定在上述載台用的夾緊機構，其特徵為，具有：對於FOUP載入機主體部的上部，設置可朝著形成上述對接的方向的對接方向及與該對接方向相反的非對接方向移動的板狀第1載台；對於上述第1載台的上部，設置可朝著上述對接方向及上述非對接方向移動的板狀第2載台；藉著水平方向延伸且正交在上述對接方向及上述非對接方向的轉軸，可旋轉地支撐在上述第2載台上部的夾緊桿；使上述第2載台相對於上述第1載台朝著上述非對接方向移動而作用的第1構件；及第2構件，上述夾緊桿形成有朝著上述非對接方向突出的夾緊用爪部，上述第2構件相對於上述夾緊桿作用使上述夾緊用爪部朝下方向位移，上述FOUP的底部形成有定位用凹部，上述第1載台形成有嵌入該定位用凹部的定位用凸部，根據上述定位用 凸部嵌入到上述定位用凹部，使上述第1載台及上述FOUP形成一體可移動的狀態，上述夾緊用爪部被收容於形成在上述FOUP底部的夾緊用凹部，上述第2載台相對於上述第1載台朝著上述非對接方向移動，使上述夾緊用爪部對從上述夾緊用凹部的上述非對接方向側的內壁面朝著上述對接方向突出形成的被夾緊部從上方向下方推壓，藉此將上述FOUP固定在上述載台上。
2. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，上述第1構件是連接上述第2載台與上述第1載台的彈性構件。
3. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，另外具備固定在上述FOUP載入機主體部，且限制上述第2載台朝著上述非對接方向移動的止動件。
4. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，更具備：設置在上述第1載台的第1接觸部，及設置在上述第2載台，且相對於上述第1接觸部配置在上述對接方向側的第2接觸部，上述第1載台及上述FOUP朝著上述對接方向移動時，藉上述第1接觸部推壓上述第2接觸部，使上述第1載台、上述FOUP及上述第2載台形成一體移動。
5. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，上述第2構件是設置在上述第2載台上部的彈性構件，上述夾緊桿上形成有朝著上述對接方向突出的凸部， 上述第2構件被夾持在上述凸部與上述第2載台之間，從下方向上方推壓上述凸部。
6. 如申請專利範圍第5項記載的夾緊機構，其中，在上述第2載台形成限制上述凸部朝上方向的位移量的限制部。
7. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，更具備藉著朝水平方向延伸且正交於上述對接方向及上述非對接方向的轉軸可旋轉支撐的滾子，該滾子是配置在上述夾緊用爪部的前端。
8. 如申請專利範圍第1項記載的夾緊機構，其中，上述第2載台與上述第1載台係經由沿著上述對接方向及上述非對接方向所設置的線性運動導件連接。