JP2006252995A - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子銃3A,3B、集束レンズ4A,4B、偏向手段6A,6B、二次電子検出器7A,7Bを備えた2つの電子光学鏡筒1A,1Bが、回転ステージ9A,X方向移動用ステージ9B,Y方向移動用ステージ9Cから成るステージ9に載置される試料10が設けられる真空チャンバー15に設けられる。一方の鏡筒1Aは、該鏡筒からの電子ビームが、少なくとも試料側面の上側を走査出来る位置に、他方の鏡筒1Bは、電子ビームが、少なくとも試料側面の下側を走査出来る位置に、それぞれ設けられる。
【選択図】図4
Description
2…真空チャンバー
3,3A,3B…電子銃
4,4A,4B…集束レンズ
5,5A,5B…対物レンズ
6,6A,6B…偏向器
7,7A,7B,7A´,7B´…二次電子検出器
8…静電チャック
9…ステージ
9A…回転ステージ
9B…X方向移動用ステージ
9C…Y方向移動用ステージ
10…試料
11…制御装置
12,12A,12B…走査制御回路
13,13A,13B…増幅器
14…表示装置
15…真空チャンバー
20…二次電子検出器
30…X線検出器
Claims (14)
- 荷電粒子ビーム発生手段,該発生手段からのビームを試料上に集束させるための集束手段,及び前記発生手段からのビームで試料上を走査させるための偏向手段を備えた荷電粒子ビーム鏡筒が、内部に試料を載置するステージが設けられているチャンバーに少なくとも2本設けられた装置であって、荷電粒子ビームの照射により試料から発生した粒子の検出手段と、検出手段からの信号に基づいて少なくとも試料の一部分に関する像を表示する手段とを備えた荷電粒子ビーム装置において、一方の鏡筒は、該鏡筒からの荷電粒子ビームが、少なくとも試料側面の上側を走査出来る位置に、他方の鏡筒は、荷電粒子ビームが、少なくとも試料側面の下側を走査出来る位置に、それぞれ設けられている荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビーム発生手段,該発生手段からのビームを試料上に集束させるための集束手段,及び前記発生手段からのビームで試料上を走査させるための偏向手段を備えた荷電粒子ビーム鏡筒が、内部に試料を載置するステージが設けられているチャンバーに少なくとも2本設けられた装置であって、荷電粒子ビームの照射により試料から発生した粒子の検出手段と、検出手段からの信号に基づいて少なくとも試料の一部分に関する像を表示する手段とを備えた荷電粒子ビーム装置において、一方の鏡筒は、試料の表面と裏面の中間面の延長面より上方の位置に、他方の鏡筒は、前記延長面より下方の位置に、それぞれ設けられている荷電粒子ビーム装置。
- 検出手段は少なくとも二種類であって、一方は、二次電子検出器、他方はX線検出器である請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 検出手段は少なくとも二種類であって、一方は、反射電子検出器、他方はX線検出器である請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 各鏡筒内にそれぞれ荷電粒子検出手段が設けられている請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 各鏡筒外の近傍にそれぞれ荷電粒子検出手段が設けられている請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 各鏡筒内と各鏡筒外の近傍にそれぞれ荷電粒子検出手段が設けられている請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 各鏡筒の中間部に荷電粒子検出手段が設けられている請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 試料の裏面の一部がステージに支持されている請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- ステージは、試料を中心軸に垂直な面に沿って二次元方向に移動可能なステージから成る請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- ステージは、試料を中心軸に垂直な面に沿って回転させることが出来る回転ステージから成る請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置
- ステージは、試料を中心軸に垂直な面に沿って回転させることが出来る回転ステージと、試料を中心軸に垂直な面に沿って二次元方向に移動可能なステージとから成る請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- ステージは、試料を中心軸に垂直な面に対して傾けることが出来る傾斜ステージと、試料を中心軸に垂直な面に沿って二次元方向に移動可能なステージとから成る請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
- ステージは、試料を中心軸に垂直な面に沿って回転させることが出来る回転ステージと、試料を中心軸に垂直な面に対して傾けることが出来る傾斜ステージと、試料を中心軸に垂直な面に沿って二次元方向に移動可能なステージとから成る請求項1若しくは2記載の荷電粒子ビーム装置。
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