JP5548652B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
Y=rsinθ
ステージ上の基準直交座標(X′,Y′)を基準とした回転系のステージ移動量は、下記で与えられる。
θ′=π−θ
以上の各式を用いて、欠陥の座標の補正が行われる。
したがって、図7(b)に示すように、偏向範囲23を撮像範囲24を含むような大きさとして画像を得て、図7(c)に示すように回転させる。画像の回転方法は、電子ビームの走査方向を変える方法と、画像処理で回転させる方法とが可能である。
1d イオン源
1e 光源
2a,2b,2c 第一照射レンズ
2d 静電照射レンズ
3a,3b,3c,3e 制限絞り
3d イオン電流制限絞り
4a,4b,4c 第二照射レンズ
5a,5b,5c 検出器
5d イオン放出電子検出器
5e 光検出器
6a,6b,6c,6d 偏向器
7a,7b,7c 対物レンズ
7d 静電対物レンズ
8 ウエハ
9 駆動系
10 回転ステージ
11 一軸移動ステージ
12 真空容器
13 制御電極
14 光学顕微鏡
15 画像処理回路
16 信号処理回路
17 偏向制御回路
18 偏向駆動回路
19 計算機
20 ステージ制御回路
21 ステージ駆動回路
22 パターン
23 偏向範囲
24 撮像範囲
25 観察対象
Claims (3)
- 試料を搭載する回転ステージと、
該回転ステージを一軸方向へ移動させる一軸移動ステージと、
該一軸移動ステージを内蔵する真空室と、
前記試料へ光または荷電粒子ビームを照射して前記試料上の欠陥を検出する第一のカラムと、
該第一のカラムで検出された前記欠陥の座標に基づいて前記試料に荷電粒子ビームを照射し該欠陥を再検出する第二のカラムとを備え、
前記欠陥を検出する検出器の検出面の方向は、それぞれのカラムの中心へ向いており、
前記試料は観察対象面に凸形または凹形が存在するものであって、
前記第一のカラムで撮像された前記試料の画像と前記第二のカラムで撮像された前記試料の画像とが同じ向きになるように、前記回転ステージの回転量に基づいて決定された回転角度で、前記第一のカラムまたは前記第二のカラムで撮像した画像を回転させることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 試料を格納する真空容器と、
前記試料へ光または荷電粒子ビームを照射して前記試料を第一検出器からの画像信号に基づき撮像する第一のカラムと、
該第一のカラムで撮像された前記試料の画像に基づいて前記試料に荷電粒子ビームを照射し第二検出器からの画像信号に基づき前記撮像位置の画像の再撮像あるいは加工を行う第二のカラムとを備えた荷電粒子ビーム装置であって、
前記真空容器内に設けられ、前記試料を載置する回転ステージと、
前記真空容器内に設けられ、当該回転ステージを一軸移動させる一軸移動機構とを備え、
前記第一検出器の検出面の方向は、第一のカラムの中心へ向いており、
前記第二検出器の検出面の方向は、第二のカラムの中心へ向いており、
前記試料は観察対象面に凸形または凹形が存在するものであって、
前記第一のカラムで撮像された前記試料の画像と前記第二のカラムで撮像された前記試料の画像とが同じ向きになるように、前記回転ステージの回転量に基づいて決定された回転角度で、前記第一のカラムまたは前記第二のカラムで撮像した画像を回転させることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1または請求項2に記載の荷電粒子ビーム装置において、
前記凸形または凹形に対する前記第一のカラムに備えられた検出器の向きと前記凸形または凹形に対する前記第二のカラムに備えられた検出器の向きとが一致するように、前記第一のカラムに備えられた検出器と前記第二のカラムに備えられた検出器とが配置されていることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
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