JP2014143074A - 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、ブレードやディスクタイプといった円盤状試料の所望の外周面や側面部を、観察位置まで移動させ、所望の方向から観察することに関する。
【解決手段】
本発明は、ユーセントリックタイプの試料微動機構に、更に移動機構や回転機構を設け、これにブレードやディスクタイプといった円盤状試料を保持させることにより、当該円盤状試料の所望の外周面や側面部を観察位置まで移動させ、所望の方向とすることに関する。
本発明によれば、ブレードやディスクタイプといった円盤状試料の所望の外周面や側面部近傍を、所望の角度から観察や分析でき、観察や分析のための調整作業が容易となる。
【選択図】図3
Description
円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受けを前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有するものを開示する。
2 電子源
3 電子ビーム
4 コンデンサレンズ
5 偏向コイル
6 対物レンズ
7 電子光学鏡筒
8 試料
9 2次電子検出器
10 半導体検出器
11 試料微動装置
12 試料室
13 真空排気系
14 X線検出器
21 試料受け
22 スライド機構
23 球状軸受けをもつ筒体
24 駆動軸
25 駆動機構
26 垂直方向へ駆動可能な筒体
27 面板
28 Oリング
29 チルト軸
31 試料受けブロック
32 送りねじ
33 ガイド
34 スライド機構つまみ
35 SEMのビーム中心位置
36 平歯車
37 R軸ガイド
38 傘歯車
39 シャフト
40 ウォームギヤ
40a ねじ歯車
40b はす歯歯車
41 試料から発生したX線
51 チルトテーブル
52 XY軸移動機構
53 試料受け
54 R軸移動機構
55 チルト軸
56 T軸移動機構
57 Z移動機構
61 ステージモジュール
62 ステージモジュールベース
63 回転機構
64 回転シャフト
65 試料固定治具
66 試料受け取付機構
71 Zスライドホルダ
72 Zスライドホルダベース
73 Zスライド送りねじ
74 Zスライド回転機構
74a 駆動機構
74b ねじ歯車
74c はす歯歯車
75 試料台
76 試料受け取付機構
77 Zスライド送りガイド
Claims (20)
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受けを前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記サイドエントリー試料微動装置が、前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記サイドエントリー試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように当該試料受けを前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、
前記試料微動装置が、前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、
前記試料受け部と前記ベース部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項9記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記試料微動装置が、円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記当該試料受けを保持し、且つ、当該試料受けを前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項11記載の荷電粒子線装置において、
前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項11記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項13記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線装置に備えられた、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受けを前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
- 請求項15記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
- 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように当該試料受けを前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
- 請求項17記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
- 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記当該試料受けを保持し、且つ、当該試料受けを前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
- 請求項19記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
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JPWO2016121080A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-12-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリングのマスク位置調整方法、マスク位置を調整できる電子顕微鏡、試料ステージに搭載されるマスク調整装置、およびイオンミリング装置の試料マスク部品 |
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