JPH05182626A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05182626A JPH05182626A JP3312199A JP31219991A JPH05182626A JP H05182626 A JPH05182626 A JP H05182626A JP 3312199 A JP3312199 A JP 3312199A JP 31219991 A JP31219991 A JP 31219991A JP H05182626 A JPH05182626 A JP H05182626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- backscattered electron
- objective lens
- detector
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は反射電子像を観察しながら大形
試料を傾斜させたり、Ｘ線検出を同時に行なうことにあ
る。 【構成】２個あるいは４個の反射電子検出器３および３
´を対物レンズ１の下部磁極片の両側それも試料傾斜軸
４と同一方向かつ対物レンズ１下面より上部に配置する
構成で、その反射電子検出器３および３´の固定ホルダ
にはＸ線検出用の穴もしくは切り欠きが設けられている
構成。
試料を傾斜させたり、Ｘ線検出を同時に行なうことにあ
る。 【構成】２個あるいは４個の反射電子検出器３および３
´を対物レンズ１の下部磁極片の両側それも試料傾斜軸
４と同一方向かつ対物レンズ１下面より上部に配置する
構成で、その反射電子検出器３および３´の固定ホルダ
にはＸ線検出用の穴もしくは切り欠きが設けられている
構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は反射電子検出装置を取り
付けた走査電子顕微鏡等に関する。
付けた走査電子顕微鏡等に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の反射電子検出装置は、対物レンズ
の下面に設置されており、大形試料を傾斜させた場合、
対物レンズの形状にかかわらず試料が反射電子検出器に
接触してしまうことや、反射電子検出と同時にＸ線検出
を行なう場合に反射電子検出器自体が障害物となり、Ｘ
線検出が不可となることなど性能の点で配慮がされてい
なかった。
の下面に設置されており、大形試料を傾斜させた場合、
対物レンズの形状にかかわらず試料が反射電子検出器に
接触してしまうことや、反射電子検出と同時にＸ線検出
を行なう場合に反射電子検出器自体が障害物となり、Ｘ
線検出が不可となることなど性能の点で配慮がされてい
なかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、走査
電子顕微鏡の反射電子検出時の試料移動範囲について配
慮されておらず、試料傾斜等を行なったときに、試料を
反射電子検出器から離す（作動距離を大きくする）か反
射電子検出器を対物レンズ下面位置から変更させなけれ
ばならない問題点があった。
電子顕微鏡の反射電子検出時の試料移動範囲について配
慮されておらず、試料傾斜等を行なったときに、試料を
反射電子検出器から離す（作動距離を大きくする）か反
射電子検出器を対物レンズ下面位置から変更させなけれ
ばならない問題点があった。
【０００４】また、上記従来技術は、反射電子検出器と
同時にＸ線検出器を取り付けた場合、反射電子検出器に
よってＸ線の取り出しが出来なくなり、Ｘ線取り出しの
場合、反射電子検出器を対物レンズ下面位置からの変
更、または試料を反射電子検出器から離さなければなら
ない（作動距離を大きくする）等の、問題点があった。
特に、大きい試料傾斜でも、高分解能観察をするためコ
ニカルレンズが実用化されているが、それに反射電子検
出器を挿入して反射電子像を見るときは、対物レンズ下
面の幅をこえてしまいコニカルレンズの目的が達成され
ない。
同時にＸ線検出器を取り付けた場合、反射電子検出器に
よってＸ線の取り出しが出来なくなり、Ｘ線取り出しの
場合、反射電子検出器を対物レンズ下面位置からの変
更、または試料を反射電子検出器から離さなければなら
ない（作動距離を大きくする）等の、問題点があった。
特に、大きい試料傾斜でも、高分解能観察をするためコ
ニカルレンズが実用化されているが、それに反射電子検
出器を挿入して反射電子像を見るときは、対物レンズ下
面の幅をこえてしまいコニカルレンズの目的が達成され
ない。
【０００５】従来の走査形電子顕微鏡と反射電子検出器
の組み合わせでは、図２に示すように、コニカル形対物
レンズ１の下極より下方に反射電子検出器２が配置さ
れ、その下方に試料２が配置されるようになっている。
この場合だと、反射電子検出器３を配置したままで、試
料２を試料傾斜軸４を中心にして傾斜させた場合、対物
レンズ１によって制限される前に反射電子検出器３に接
触してしまうという問題点がある。
の組み合わせでは、図２に示すように、コニカル形対物
レンズ１の下極より下方に反射電子検出器２が配置さ
れ、その下方に試料２が配置されるようになっている。
この場合だと、反射電子検出器３を配置したままで、試
料２を試料傾斜軸４を中心にして傾斜させた場合、対物
レンズ１によって制限される前に反射電子検出器３に接
触してしまうという問題点がある。
【０００６】また、Ｘ線検出器５を挿入し反射電子像観
察と同時にＸ線の検出を行なう場合、試料から発生した
Ｘ線の経路に反射電子検出器が配置されているため、Ｘ
線の検出ができない、このためＸ線検出を行なうには試
料を下げて作動距離を大きくしなければならないという
問題点があった。
察と同時にＸ線の検出を行なう場合、試料から発生した
Ｘ線の経路に反射電子検出器が配置されているため、Ｘ
線の検出ができない、このためＸ線検出を行なうには試
料を下げて作動距離を大きくしなければならないという
問題点があった。
【０００７】本発明の目的は、反射電子像の観察を行な
いながら、大形試料の傾斜観察およびＸ線検出を同時に
行なえるようにすることにある。
いながら、大形試料の傾斜観察およびＸ線検出を同時に
行なえるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的は、反射電子検
出器を試料傾斜軸と同一方向でかつ、対物レンズより上
部に配置することで達成される。
出器を試料傾斜軸と同一方向でかつ、対物レンズより上
部に配置することで達成される。
【０００９】また、反射電子検出器の固定ホルダにＸ線
検出用の穴もしくは切り欠き溝をもうけることで達成さ
れる。
検出用の穴もしくは切り欠き溝をもうけることで達成さ
れる。
【００１０】
【作用】本発明は、これらの問題点を解決しようとする
もので、反射電子検出器を常に対物レンズ近傍に配置し
たままで、試料を試料傾斜軸で対物レンズの制限範囲内
で移動（傾斜）させても、試料自体が反射電子検出器に
接触せず、かつ反射電子検出器を配置したままでもＸ線
検出が可能な装置を提供することを目的とする。対物レ
ンズの下部磁極片の両側、それも試料傾斜軸に沿って反
射電子検出器を２個あるいは４個対にして配置する。
もので、反射電子検出器を常に対物レンズ近傍に配置し
たままで、試料を試料傾斜軸で対物レンズの制限範囲内
で移動（傾斜）させても、試料自体が反射電子検出器に
接触せず、かつ反射電子検出器を配置したままでもＸ線
検出が可能な装置を提供することを目的とする。対物レ
ンズの下部磁極片の両側、それも試料傾斜軸に沿って反
射電子検出器を２個あるいは４個対にして配置する。
【００１１】これにより、大形の試料も試料ステージ上
では試料傾斜軸を中心にして傾斜するため、試料は対物
レンズの形状で制限される傾斜角範囲内で自由に動か
せ、かつ傾斜軸上方に固定された反射電子検出器に接触
しない。
では試料傾斜軸を中心にして傾斜するため、試料は対物
レンズの形状で制限される傾斜角範囲内で自由に動か
せ、かつ傾斜軸上方に固定された反射電子検出器に接触
しない。
【００１２】さらに、反射電子検出器を固定しているホ
ルダ等に穴や切り欠きを開けることで、その穴もしくは
切り欠きを通して試料から発生する特性Ｘ線を通すこと
が可能となり、反射電子検出器を取り付けたままでＸ線
分析が可能となる。
ルダ等に穴や切り欠きを開けることで、その穴もしくは
切り欠きを通して試料から発生する特性Ｘ線を通すこと
が可能となり、反射電子検出器を取り付けたままでＸ線
分析が可能となる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述
する。
する。
【００１４】図１ａおよびｂは、本発明の構成を示す概
略図である。
略図である。
【００１５】図１ａおよびｂに於いて、１は電子線を試
料上に収束させる対物レンズで、試料を大角度に傾斜さ
せるため、レンズの形状は、いわゆるコニカルレンズと
なっている。２は試料、３および３´は試料より反射さ
れた電子を検出する反射電子検出器で、試料の凹凸を検
出するため複数個配置され、それぞれは同図ｂに示され
るように試料傾斜軸４の方向から見て、対物レンズ１の
範囲内にあるように置かれている。このため試料２を傾
斜した場合においても対物レンズ１に接触する以前に反
射電子検出器３，３´に接触することはない。
料上に収束させる対物レンズで、試料を大角度に傾斜さ
せるため、レンズの形状は、いわゆるコニカルレンズと
なっている。２は試料、３および３´は試料より反射さ
れた電子を検出する反射電子検出器で、試料の凹凸を検
出するため複数個配置され、それぞれは同図ｂに示され
るように試料傾斜軸４の方向から見て、対物レンズ１の
範囲内にあるように置かれている。このため試料２を傾
斜した場合においても対物レンズ１に接触する以前に反
射電子検出器３，３´に接触することはない。
【００１６】また該反射電子検出器３，３´は、それぞ
れ同図ａに示すようにその検出面を試料の電子ビーム入
射点の方向に向けることにより効率のよい検出を行なう
ことができる。
れ同図ａに示すようにその検出面を試料の電子ビーム入
射点の方向に向けることにより効率のよい検出を行なう
ことができる。
【００１７】該反射電子検出器３、３´は、試料室外部
の操作で対物レンズ近傍より移動可能とさせるため、図
１ｂの７の方向つまり試料傾斜側ではない方向よりホル
ダ５が取りつけられている。ホルダ５それ自体がＸ線検
出器６のＸ線検出の遮蔽にならないよう図２ａ，ｂのよ
うにホルダ５の一部に穴を開けるか、切り欠け設ける構
造とした。図２ｂは、この穴を通してＸ線検出器が試料
近傍まで出し入れ可能なよう構成した例を示す。また穴
ではなくホルダ５自体を第３ｂのごとくＸ線取り出し方
向に、Ｘ線検出器の出し入れが可能なような切り欠けと
してもよい。
の操作で対物レンズ近傍より移動可能とさせるため、図
１ｂの７の方向つまり試料傾斜側ではない方向よりホル
ダ５が取りつけられている。ホルダ５それ自体がＸ線検
出器６のＸ線検出の遮蔽にならないよう図２ａ，ｂのよ
うにホルダ５の一部に穴を開けるか、切り欠け設ける構
造とした。図２ｂは、この穴を通してＸ線検出器が試料
近傍まで出し入れ可能なよう構成した例を示す。また穴
ではなくホルダ５自体を第３ｂのごとくＸ線取り出し方
向に、Ｘ線検出器の出し入れが可能なような切り欠けと
してもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明の効果として、性能の向上が挙げ
られる。
られる。
【００１９】実施例に示した構成を用いることで、反射
電子を検出しながら、つまり反射電子像を観察しながら
試料傾斜を行なうことを可能とする。また、反射電子を
検出しながらＸ線検出を行なうことも可能となり、実用
上効果が大きい。
電子を検出しながら、つまり反射電子像を観察しながら
試料傾斜を行なうことを可能とする。また、反射電子を
検出しながらＸ線検出を行なうことも可能となり、実用
上効果が大きい。
【図１】本発明の実施例に基づく走査電子顕微鏡の反射
電子検出器の構成図である。
電子検出器の構成図である。
【図２】同構成図である。
【図３】同構成図である。
１…対物レンズ、２…試料、３、３´…反射電子検出
器、４…試料傾斜軸、５…ホルダ、６…Ｘ線検出器、７
…試料が傾斜しない空間、８…電子線プローブ、９…反
射電子、１０…Ｘ線。
器、４…試料傾斜軸、５…ホルダ、６…Ｘ線検出器、７
…試料が傾斜しない空間、８…電子線プローブ、９…反
射電子、１０…Ｘ線。
Claims (3)
- 【請求項１】走査電子顕微鏡等の電子線を集束させるた
めの対物レンズの外部であって、試料傾斜軸の軸方向の
対物レンズ下面より上部に反射電子検出器を配置したこ
とを特徴とした走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、反射電子検出器を固定
するホルダーは、Ｘ線検出のための穴もしくは切り欠き
がある構造としたことを特徴とした走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】反射電子検出器の検出面が、試料の電子線
照射点に正対する向きに配置されたことを特徴とした請
求項１又は２記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3312199A JPH05182626A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3312199A JPH05182626A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182626A true JPH05182626A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18026404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3312199A Pending JPH05182626A (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182626A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006252995A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1991
- 1991-11-27 JP JP3312199A patent/JPH05182626A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006252995A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
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