JP2003243465A - ウエーハ用検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮
像カメラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全
部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして、
操作性を向上させるとともに、撮像精度を向上させ、欠
陥の抽出精度の向上を図る。 【解決手段】 円盤状のウエーハＷを回転可能に支持す
る支持部１０と、回転させられるウエーハＷの周端縁Ｓ
を連続的に撮像する周端縁撮像部４０と、周端縁Ｓを照
明する周端縁照明部４２と、ノッチＮを撮像するノッチ
撮像部５０と、ノッチＮを照明するノッチ照明部５２
と、周端縁撮像部４０及びノッチ撮像部５０で撮像した
撮像データを処理する制御部７０とを備え、周端縁撮像
部４０を、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向の異なる部
位を撮像する複数の撮像カメラ４１を配置して構成し、
ノッチ撮像部５０を、ノッチＮの厚さ方向の異なる部位
を撮像する複数の撮像カメラ５１を配置して構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状のウエーハ
の周端縁を撮像し、この撮像データに基づいてウエーハ
の検査を非破壊で行なうことができるようにしたウエー
ハ用検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のウエーハ用検査装置とし
ては、例えば、特開平８−１３６４６２号公報に掲載さ
れたものが知られている。このウエーハ用検査装置は、
図３４に示すように、円盤状のウエーハＷを回転可能に
支持する支持部１と、支持部１に支持されて回転させら
れるウエーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する撮像カメ
ラ２と、撮像カメラ２で撮像した撮像画像を表示するＣ
ＲＴ等のモニタ（図示せず）とを備えて構成されてい
る。撮像カメラ２は、ウエーハＷに対して前後左右に移
動可能に設けられているとともにウエーハＷの厚さ方向
に回動可能に設けられており、これらの移動により撮像
カメラの作動距離が調整される。そして、ウエーハＷを
回転させ撮像カメラ２を前後左右あるいは厚さ方向に回
動させてウエーハＷの周端縁Ｓをモニタに表示し、ウエ
ーハＷの周端縁Ｓにある欠陥の有無を観察するようにし
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のウエーハ用検査装置にあっては、ウエーハＷの周端
縁Ｓの内、撮像カメラ２の撮像方向に直角に対面する部
位の画像は明瞭であるが、撮像カメラ２の撮像方向に斜
めになってしまう部位の画像は不鮮明になり易く、その
ため、欠陥の抽出精度に劣っているという問題があっ
た。その理由は、例えば、図３４に示すように、ウエー
ハＷの周端縁Ｓが側面ＳＳ及び側面ＳＳに対して傾斜し
て面取りされた上面ＳＡ，下面ＳＢを有している場合に
は、撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させて
その撮像方向を、例えば、側面ＳＳに直角に対面させて
合わせると、上面ＳＡ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮
像方向に斜めになって撮像されることになるので、画像
が不鮮明になって撮像精度が悪くなるからである。

【０００４】また、ウエーハＷの側面ＳＳ，上面ＳＡ及
び下面ＳＢを夫々明瞭に撮像しようとすると、各面に合
わせてその都度撮像カメラ２の位置を移動させて各面に
撮像カメラ２の撮像方向を直角に対面させる調整を行な
わなければならないので、操作が煩雑になるという問題
もあった。更に、モニタでは、側面ＳＳ，上面ＳＡ及び
下面ＳＢを明瞭にして同時に見ることができないという
問題もあった。

【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
ので、ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮像カ
メラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全部を
明瞭にしかも同時に見ることができるようにして、操作
性を向上させるとともに、撮像精度を向上させ、欠陥の
抽出精度の向上を図ったウエーハ用検査装置を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため、本発明のウエーハ用検査装置は、円盤状のウエ
ーハを回転可能に支持する支持部と、該支持部に支持さ
れて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像す
る周端縁撮像部と、該周端縁撮像部で撮像した撮像デー
タを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置にお
いて、上記周端縁撮像部を、上記ウエーハの周端縁の厚
さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置
して構成している。これにより、ウエーハの検査を行な
うときは、ウエーハを支持部に支持して回転させ、この
状態で、周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場
合、周端縁撮像部は、ウエーハの周端縁の厚さ方向の異
なる部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているの
で、ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮像カメ
ラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全部を明
瞭にしかも同時に撮像でき、操作性が向上させられると
ともに、撮像精度が向上させられる。取り込まれた撮像
データは制御部に送出されて処理される。

【０００７】そして、必要に応じ、上記撮像カメラを上
記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するライン
センサで構成している。周端縁を狭い幅で撮像してこれ
を連続させるので、解像度が良く、撮像精度が向上させ
られる。また、必要に応じ、上記ウエーハの周端縁がウ
エーハの面に対して略直角な側面，該側面に対して傾斜
して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場
合、上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像
方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメ
ラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備えた構
成としている。ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも
同時に撮像でき、操作性が向上させられるとともに、撮
像精度が向上させられる。

【０００８】更に、必要に応じ、上記各撮像カメラを、
該各撮像カメラの撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同
じ位相位置を撮像し得るように配置した構成としてい
る。撮像カメラを集約できるので、装置がコンパクトに
なる。この場合、必要に応じ、上記ウエーハの周端縁を
照明する周端縁照明部を設け、該周端縁照明部を、上記
ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って
照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照
射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成すると
ともに、上記各撮像カメラが該周端縁照明部からの照明
光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置
した構成としている。これにより、周端縁を照明する周
端縁照明部は、ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定
の円弧に沿って照射面を形成し円弧の中心に向けて収束
するように照射光を放光し、各撮像カメラは、周端縁照
明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置
するように配置され、即ち、各撮像カメラは、Ｃ型の周
端縁照明部からの照明を正反射で受けるよう配置されて
いるので、周端縁の各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥
を良く撮像でき、この点でも撮像精度が向上させられ
る。

【０００９】また、必要に応じ、上記制御部を、撮像デ
ータ処理部と、ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し、上
記撮像データ処理部を、上記周端縁撮像部の複数の撮像
カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位
置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表
示手段を設けて構成している。これにより、周端面の面
の状況、特に欠陥部の状況が視認できる。この場合、複
数の撮像カメラでウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる
部位を撮像しているので、ウエーハの周端縁が面取りさ
れていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認すること
ができ、それだけ、検査精度が向上させられる。更に、
必要に応じ、上記撮像データ処理部を、上記周端縁表示
手段によって表示されたウエーハの周端縁の画像をウエ
ーハの周端縁の周方向に沿ってスクロールするスクロー
ル手段を設けて構成している。画像をスクロールするこ
とで、全周に亘って良く視認することができ、それだ
け、検査精度が向上させられる。

【００１０】更にまた、必要に応じ、上記撮像データ処
理部を、ウエーハの周端縁の画像データから基準にする
基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥
部として認識する欠陥部認識手段と、該欠陥部認識手段
が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座
標表示手段とを備えて構成している。欠陥部の位置を特
定できるので、それだけ、検査精度が向上させられる。
この場合、必要に応じ、上記欠陥部座標表示手段を、ウ
エーハの周端縁の周方向に沿う角度座標を表示する角度
座標表示機能と、ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う相
対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成
している。表示が確実になる。

【００１１】また、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識
する欠陥部形状認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認
識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段
を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので、それ
だけ、検査精度が向上させられる。この場合、上記欠陥
部形状認識手段を、予め定められたしきい値に基づいて
点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けし
て認識する機能を備えて構成したことが有効である。欠
陥の種類が分類されるので、認識が容易になる。また、
この場合、必要に応じ、上記各撮像カメラの撮像面毎
に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角
度単位で算出する欠陥分布算出手段を備えた構成として
いる。周端縁の欠陥の分布状態が分かるので、欠陥の発
生原因究明等に利用でき、それだけ、検査精度が向上さ
せられる。更に、この場合、必要に応じ、上記各撮像カ
メラの撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の
程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥ランク付け
手段を備えた構成としている。周端縁の欠陥の程度が分
かるので、欠陥の発生原因究明等に利用でき、それだ
け、検査精度が向上させられる。

【００１２】更にまた、必要に応じ、上記撮像データ処
理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を
算出する欠陥部面積算出手段と、該欠陥部面積算出手段
が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示
手段と、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接す
る外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算
出手段と、該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した
大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表
示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識で
き、それだけ、検査精度が向上させられる。また、必要
に応じ、上記撮像データ処理部を、上記欠陥部面積算出
手段が算出した欠陥部の面積と、欠陥部外接矩形大きさ
算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密
度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥部密度算出
手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠
陥部密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広が
りを認識でき、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００１３】更に、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を
算出する欠陥部輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段
が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠
陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝
度は欠陥の深さに対応することから、欠陥の奥行きを認
識でき、それだけ、検査精度が向上させられる。更にま
た、上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認
識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの良否を判定す
る良否判定手段と、該良否判定手段が判定した当該ウエ
ーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手
段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に
判定できるので、検査が容易になる。

【００１４】そして、必要に応じ、上記ウエーハの周端
縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノ
ッチがある場合、該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設
け、上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データ
を処理する機能を備えて構成し、上記ノッチ撮像部を、
上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮
像カメラを配置した構成としている。これにより、ウエ
ーハを支持部に支持して、ノッチ撮像部でノッチの画像
を取込む。ノッチ撮像部は、ノッチの厚さ方向の異なる
部位を撮像する複数の撮像カメラを備えているので、ノ
ッチが面取りされていても、撮像カメラの位置を逐一移
動させることなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に
撮像でき、操作性が向上させられるとともに、撮像精度
が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に
送出されて処理される。

【００１５】そして、必要に応じ、上記撮像カメラを面
状に撮像するエリアセンサで構成している。ウエーハを
回転させることなく、一時に撮像できる。そしてまた、
必要に応じ、上記ノッチがウエーハの面に対して略直角
な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び
下面を備えて構成された場合、上記撮像カメラを、上記
側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略
直角に対面させて夫々配置した構成としている。ノッチ
の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性が向上さ
せられるとともに、撮像精度が向上させられる。この場
合、必要に応じ、上記ノッチの底部の側面に対応した底
部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮
像カメラ，該底部の下面に対応した底部下面撮像カメ
ラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部
側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応
した他方側部側面撮像カメラを備えた構成としている。
ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性が
向上させられるとともに、撮像精度が向上させられる。

【００１６】また、必要に応じ、上記ノッチを照明する
ノッチ照明部を設け、該ノッチ照明部を、上記ノッチに
向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備え
て構成するとともに、上記各撮像カメラが該ノッチ照明
部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置す
るように配置した構成としている。ノッチ照明部からの
照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように
配置されているので、ノッチの各面を明瞭に撮像でき、
特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度が向上
させられる。更に、必要に応じ、上記ノッチを照明する
ノッチ照明部を設け、該ノッチ照明部を、上記ノッチに
向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体を備え
て構成するとともに、上記各撮像カメラが該ノッチ照明
部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置す
るように配置し、上記底部上面撮像カメラ及び底部下面
撮像カメラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中
央に臨むドーム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて
照射光を放光するドーム照射体と、上記底部側面撮像カ
メラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カ
メラの撮像面が臨むスリットを形成するように設けられ
た略平面状の照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射
光を放光する平面照射体とを備えて構成している。これ
により、ノッチを照明するノッチ照明部が、ドーム照射
体及び平面照射体を備え、ノッチを良く照明するととも
に、各撮像カメラは、ノッチ照明部からの照明光が反射
した反射光の明視野範囲に位置するように配置されてい
るので、ノッチの各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥を
良く撮像でき、この点でも撮像精度が向上させられる。

【００１７】そして、必要に応じ、上記制御部を、撮像
データ処理部と、ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し、
上記撮像データ処理部を、上記ノッチ撮像部の複数の撮
像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表
示するノッチ表示手段を設けて構成している。これによ
り、ノッチの面の状況、特に欠陥部の状況が視認でき
る。この場合、複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の
異なる部位を撮像しているので、ノッチが面取りされて
いても各面を明瞭にしかも各面同時に視認することがで
き、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００１８】また、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、上記表示部に表示される各撮像カメラに対応するノ
ッチの画像の最適画像範囲を、基準位置を基準にして設
定する画像範囲設定手段を備えて構成している。これに
より、画像データのデータ処理が、この範囲設定された
画像に基づいて行なわれる。そのため、より精度の良い
欠陥認識を行なうことができるようになる。この場合、
必要に応じ、上記基準位置を、各撮像カメラに対応して
ノッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像
し、該撮像画面の行列状の点に基づいて決定する構成と
している。これにより、ノッチ撮像部で基準ウエーハの
ノッチの画像を取込む。そして、ノッチ画像の焦点の合
っている（ピントの合っている）箇所を、基準ウエーハ
に付した行列状の点を目視により見て、この点の位置に
合わせて、最適範囲設定を行なう。そのため、行列状の
点で細かく範囲合わせを行なうことができ、範囲設定が
確実に行なわれる。

【００１９】また、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、ノッチの画像データから基準にする基準輝度に対し
て所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識す
る欠陥部認識手段と、該欠陥部認識手段が認識した欠陥
部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを
備えて構成している。欠陥部の位置を特定できるので、
それだけ、検査精度が向上させられる。このノッチの画
像処理においても、上記周端部と同様に上記撮像データ
処理部を構成することが望ましい。

【００２０】即ち、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の形状を認識
する欠陥部形状認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認
識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段
を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので、それ
だけ、検査精度が向上させられる。この場合、上記欠陥
部形状認識手段を、予め定められたしきい値に基づいて
点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けし
て認識する機能を備えて構成したことが有効である。欠
陥の種類が分類されるので、認識が容易になる。

【００２１】更にまた、必要に応じ、上記撮像データ処
理部を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の面積を
算出する欠陥部面積算出手段と、該欠陥部面積算出手段
が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示
手段と、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接す
る外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算
出手段と、該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した
大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表
示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識で
き、それだけ、検査精度が向上させられる。また、必要
に応じ、上記撮像データ処理部を、上記欠陥部面積算出
手段が算出した欠陥部の面積と、欠陥部外接矩形大きさ
算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠陥部の密
度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥部密度算出
手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠
陥部密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広が
りを認識でき、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００２２】更に、必要に応じ、上記撮像データ処理部
を、上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を
算出する欠陥部輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段
が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠
陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝
度は欠陥の深さに対応することから、欠陥の奥行きを認
識でき、それだけ、検査精度が向上させられる。更にま
た、上記撮像データ処理部を、上記欠陥部認識手段が認
識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの良否を判定す
る良否判定手段と、該良否判定手段が判定した当該ウエ
ーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良否表示手
段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に
判定できるので、検査が容易になる。

【００２３】そして、必要に応じ、上記支持部を、中心
軸を回転中心として回転可能に設けられ該中心軸を中心
とする円周上に上記ウエーハの周端縁を支承する複数の
支承フィンガを備えた支承盤と、該支承盤を回転させる
駆動部とを備えて構成している。ウエーハが支承フィン
ガに支承されるので、ウエーハの面を傷つける等悪影響
を及ぼす事態が防止される。この場合、必要に応じ、上
記支承フィンガを、上記中心軸側に向けて下に傾斜する
上記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成し
たことが有効である。ウエーハの周端縁を支承面で線支
持するようになるので、より一層ウエーハの面を傷つけ
る等悪影響を及ぼす事態が防止される。

【００２４】また、必要に応じ、上記支持部を、上記支
承盤の支承フィンガに支承されたウエーハの支承位置を
可変にする支承位置可変機構を備えて構成している。支
承位置を変えるので、支承フィンガのある撮像できない
ウエーハの部位を露出させて撮像できるようにすること
ができる。この場合、必要に応じ、上記支承位置可変機
構を、上記支承盤と同軸の中心軸を中心に相対回転可能
に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハ
の周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとと
もに該担持フィンガを上記支承盤の支承フィンガより上
位の位置であって該ウエーハを担持して持ち上げる担持
位置及び該支承フィンガより下位の位置であって該ウエ
ーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に
移動可能な担持盤と、該担持盤を上記担持位置及び受渡
位置の２位置に移動させる移動機構とを備えて構成して
いる。これにより、ウエーハの支承位置を変える際は、
受渡位置にある担持盤を担持位置に移動させ、支承盤に
支承されていたウエーハを担持盤の担持フィンガに担持
して持ち上げ、この持ち上げられている間に、支承盤を
回転させて支承盤の支承フィンガが別の角度位相位置に
位置させる。それから、担持盤を受渡位置に位置させて
ウエーハを支承フィンガに受け渡す。この場合、支承位
置を変えるので、先に撮像できなかった部位を露出させ
て撮像できるようにすることができる。また、ウエーハ
を担持盤の担持フィンガに担持させて持ち上げるので、
ウエーハに傷をつける等の悪影響を及ぼす事態が防止さ
れる。

【００２５】更に、必要に応じ、ウエーハの貯留部から
検査対象のウエーハを搬送して上記支持部の支承盤の支
承フィンガに該ウエーハを芯出しして支承させるウエー
ハ搬送部を備えた構成としている。これにより、支承盤
の支承フィンガに対してウエーハが芯出しされて支承さ
れるので、支承盤に対するウエーハの位置決め精度が高
くなり、その後の検査精度が向上させられる。この場
合、必要に応じ、上記ウエーハ搬送部を、該ウエーハの
周端縁に係合する係合部を備えるとともに該係合部を係
合させて該ウエーハを該ウエーハの面方向に挾持して把
持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２
位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成
し、上記係合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する
弾接体を設けた構成としている。把持ハンドは把持位置
において、その係合部をウエーハの周端縁に係合させ、
ウエーハをウエーハの面方向に挾持して把持する。この
把持により、係合部の弾接体がウエーハに弾接されるの
で、ウエーハが中央に求心させられ、支持部の支承盤の
支承フィンガに対してウエーハが容易に芯出しされる。
そして、必要に応じ、上記支持部に支持されて回転させ
られるウエーハの直径を計測する直径計測部を設けた構
成としている。ウエーハの直径検査が、欠陥検査と同時
に行われる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置について説明
する。図１乃至図１１に示す実施の形態に係るウエーハ
用検査装置が検査するウエーハＷは、図１２及び図１３
に示すように、円盤状に形成され、その周端縁Ｓが面取
り形成されている。ウエーハＷの周端縁Ｓは、ウエーハ
Ｗの面に対して略直角な側面ＳＳ，この側面ＳＳに対し
て傾斜して面取りされた上面ＳＡ及び下面ＳＢを備えて
構成されている。また、ウエーハＷの周端縁Ｓの所定部
位には、底部Ｎｔ，一方の側部Ｎａ及び他方の側部Ｎｂ
の両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチＮが形
成されている。このノッチＮにおいても、ウエーハＷの
面に対して略直角な側面ＳＳ，側面ＳＳに対して傾斜し
て面取りされた上面ＳＡ及び下面ＳＢを備えて構成され
ている。ウエーハＷの直径は例えば、３００ｍｍに設定
されている。

【００２７】実施の形態に係るウエーハ用検査装置の基
本的構成は、円盤状のウエーハＷを回転可能に支持する
支持部１０と、支持部１０に支持されて回転させられる
ウエーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する周端縁撮像部
４０と、ノッチＮを撮像するノッチ撮像部５０と、周端
縁撮像部４０で撮像した撮像データ及びノッチ撮像部５
０で撮像した撮像データを処理する制御部７０とを備え
て構成されている。

【００２８】支持部１０は、図１乃至図９及び図３３に
示すように、主には、図７乃至図９に示すように、基台
１１と、基台１１に中心軸１３ａを回転中心として回転
可能に設けられこの中心軸１３ａを中心とする円周上に
ウエーハＷの周端縁Ｓを支承する複数の支承フィンガ１
２を備えた支承盤１３と、この支承盤１３を回転させる
モータ１４及びベルト伝導機構１５からなる駆動部１６
とを備えて構成されている。支承盤１３の支承フィンガ
１２は、等角度関係で３つ設けられており、図９に示す
ように、中心軸１３ａ側に向けて下に傾斜するウエーハ
Ｗの周端縁Ｓを支承する支承面１７を備えて構成されて
いる。

【００２９】また、支持部１０は、支承盤１３の支承フ
ィンガ１２に支承されたウエーハＷの支承位置を可変に
する支承位置可変機構２０を備えて構成されている。支
承位置可変機構２０は、図１乃至図９及び図３３に示す
ように、主には、図７乃至図９に示すように、支承盤１
３と中心軸１３ａを中心に相対回転可能に設けられ支承
盤１３の中心軸１３ａを中心とする円周上にウエーハＷ
の周端縁Ｓを担持可能な複数（実施の形態では３つ）の
担持フィンガ２２を備えるとともに担持フィンガ２２を
支承盤１３の支承フィンガ１２より上位の位置であって
ウエーハＷを担持して持ち上げる担持位置Ｘａ（図３３
中（ｂ）（ｃ））及び支承フィンガ１２より下位の位置
であってウエーハＷを支承フィンガ１２に受け渡す受渡
位置Ｘｂ（図３３中（ａ）（ｄ））の２位置に移動可能
な担持盤２３と、担持盤２３を担持位置Ｘａ及び受渡位
置Ｘｂの２位置に移動させるエアシリンダ装置２４を有
した移動機構２５と備えて構成されている。そして、担
持位置Ｘａ（図３３中（ｂ））に位置している間に、支
承盤１３を回転させて支承フィンガ１２が別の角度位相
位置に位置するように回転せしめ（図３３中（ｃ））、
この位置で再び支承盤１３の支承フィンガ１２に支承せ
しめる（図３３（ｄ））ものである。担持フィンガ２２
も、中心軸１３ａ側に向けて下に傾斜するウエーハＷの
周端縁Ｓを支承する支承面２６を備えて構成されてい
る。

【００３０】また、実施の形態においては、ウエーハ搬
送部３０を備えている。ウエーハ搬送部３０は、図１，
図１０及び図１１に示すように、ウエーハＷの貯留部３
１から検査対象のウエーハＷを搬送して支持部１０の支
承盤１３の支承フィンガ１２にウエーハＷを芯出し（セ
ンタ出し）して支承させるものである。詳しくは、ウエ
ーハ搬送部３０は、ウエーハＷの周端縁Ｓに係合する夫
々２つずつの係合部３２を備えるとともにこの係合部３
２を係合させてウエーハＷをウエーハＷの面方向に挾持
して把持する把持位置Ｙａ及び該把持を解除する把持解
除位置Ｙｂの２位置に相対移動可能な一対の把持ハンド
３３，３３を備えて構成されている。３７は把持ハンド
３３を駆動するエアシリンダ装置である。係合部３２
は、図１１に示すように、ウエーハＷの周端縁部を支持
する支持面部３４と、ウエーハＷの周端縁Ｓの外側への
移動を規制する規制面部３５と、把持位置Ｙａでウエー
ハＷの周端縁Ｓに弾接する弾接体３６とを備えて構成さ
れている。弾接体３６は、ウエーハＷの周端縁Ｓに当接
する当接部材３６ａと、一端側に当接部材３６ａが取付
けられ他端側が規制面部３５に固定され、この当接部材
３６ａをウエーハＷに弾接させる板バネ３６ｂとから構
成されている。

【００３１】周端縁撮像部４０は、図１乃至図６，図１
４乃至図１６に示すように、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚
さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラ４１を
配置して構成されている。この撮像カメラ４１は、周端
縁Ｓの厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセン
サで構成されている。ここで、厚さ方向とは、ウエーハ
Ｗの円周方向に直交する円周方向に略沿う方向である。
ラインセンサは、例えば、１０２４ピクセルで約３３０
０μｍ幅の画像を取り込む。詳しくは、周端縁撮像部４
０は、ウエーハＷの周端縁Ｓの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び
下面ＳＢに対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面
させて夫々配置した側面用撮像カメラ４１（ＳＳ），上
面用撮像カメラ４１（ＳＡ）及び下面用撮像カメラ４１
（ＳＢ）を備えている。各撮像カメラ４１は、各撮像カ
メラ４１の撮像部位がウエーハＷの周端縁Ｓの同じ回転
位相位置を撮像し得るように配置されて取付台４４に取
付けられている。撮像カメラ４１が集約されているの
で、装置をコンパクトにすることができる。

【００３２】また、実施の形態では、図１乃至図６，図
１５及び図１６に示すように、ウエーハＷの周端縁Ｓを
照明する周端縁照明部４２が設けられている。この周端
縁照明部４２は、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向に沿
う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向
けて収束するように照射光を放光する光ファイバ４３の
集合体を備えてＣ型形状に構成されている。そして、各
撮像カメラ４１は、周端縁照明部４２からの照明光が反
射した反射光の明視野範囲に位置するように取付台４４
に取付けられて配置されている。即ち、ラインセンサか
らなる各撮像カメラ４１は、Ｃ型の周端縁照明部４２か
らの照明を正反射で受けるよう配置されている。より詳
しくは、例えば、上面用撮像カメラ４１（ＳＡ）及び下
面用撮像カメラ４１（ＳＢ）は、ウエーハＷの上下面が
水平方向に対し２０°〜３０°の角度を持つことを考慮
して、鉛直方向より２５°の向きに取り付けてある。こ
のような光学系で撮像が行なわれるので、図１６に示す
ように、ピット、あるいは突起など、正反射光が撮像カ
メラ４１に入射されない部分は暗くなり、後述の画像処
理で欠陥として抽出される。

【００３３】ノッチ撮像部５０は、図１乃至図６，図１
４に示すように、ノッチＮの厚さ方向の異なる部位を撮
像する複数の撮像カメラ５１を配置して構成されてい
る。この撮像カメラ５１は、面状に撮像するエリアセン
サで構成されている。詳しくは、ノッチ撮像部５０の撮
像カメラ５１は、ノッチＮの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下
面ＳＢに対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面さ
せて夫々配置されている。即ち、ノッチ撮像部５０は、
ノッチＮの底部Ｎｔの側面ＳＳに対応した底部側面撮像
カメラ５１（ＳＳ（Ｎｔ）），底部Ｎｔの上面ＳＡに対
応した底部上面撮像カメラ５１（ＳＡ（Ｎｔ）），底部
Ｎｔの下面ＳＢに対応した底部下面撮像カメラ５１（Ｓ
Ｂ（Ｎｔ）），ノッチＮの一方の側部Ｎａの側面ＳＳに
対応した一方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎ
ａ）），ノッチＮの他方の側部Ｎｂの側面ＳＳに対応し
た他方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎｂ））を備え
ている。

【００３４】また、実施の形態では、ノッチＮを照明す
るノッチ照明部５２が設けられている。このノッチ照明
部５２は、ノッチＮに向けて照射光を放光する発光ダイ
オードの集合体を備えて構成されており、各撮像カメラ
５１は、ノッチ照明部５２からの照明光が反射した反射
光の明視野範囲に位置するように配置されて取付台５３
に取付けられている。図２に示すように、ノッチ照明部
５２は、底部上面撮像カメラ５１（ＳＡ（Ｎｔ））及び
底部下面撮像カメラ５１（ＳＢ（Ｎｔ））に夫々設けら
れ各撮像カメラ５１の撮像面が中央に臨むドーム状の照
射面を形成しノッチＮに向けて照射光を放光するドーム
照射体５４と、底部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎ
ｔ）），一方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎａ））
及び他方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎｂ））の撮
像面が臨むスリット５５を形成するように設けられた略
平面状の照射面を一対有し上記ノッチＮに向けて照射光
を放光する平面照射体５６とを備えて構成されている。
即ち、ノッチＮを撮像する光学系は、拡散照明かつエリ
アカメラを使用しているため、通常の写真撮影と同様の
光学系となる。

【００３５】更に、実施の形態では、ウエーハＷの直径
を計測する直径測定部６０が設けられている。直径測定
部６０は、ウエーハＷの周端縁Ｓの位置を検知する一対
の光センサ６１を１８０°位相をずらせて相対向して設
け、検知した周端縁Ｓの位置から直径を計測するもので
ある。詳しくは、図２９に示すように、測定点はノッチ
Ｎの位置から約８°回転したところから測定を開始し、
１５°単位で測定をする。そして、例えば、ウエーハＷ
の直径はｍｍ単位で７桁の固定少数点値で測定する。

【００３６】次に、制御部７０について説明する。図１
に示すように、制御部７０は、撮像データ処理部７１
と、ＣＲＴ等の表示部７２とを備えて構成されている。
撮像データ処理部７１は、図１７に示すように、周端縁
撮像部４０の複数の撮像カメラ４１で撮像したウエーハ
Ｗの周端縁ＳをウエーハＷの角度位置の位相を合わせて
表示部７２に同時表示する周端縁表示手段７３を設けて
構成されている。図１８には、表示部７２の表示例を示
す。詳しくは、撮像カメラ４１（ラインセンサ）が、例
えば、１０２４ピクセルで約３３００μｍ幅の画像を取
り込むものである場合、例えば、この取り込み画像か
ら、３０４ピクセル（幅約１０００μｍ）の画像を切り
出して、この幅の分が表示される。また、撮像データ処
理部７１は、周端縁表示手段７３によって表示されたウ
エーハＷの周端縁Ｓの画像をウエーハＷの周端縁Ｓの周
方向に沿ってスクロールするスクロール手段７４を設け
て構成されている。これにより、図１８に示すように、
ウエーハＷの周端縁Ｓの画像がスクロールする。

【００３７】また、撮像データ処理部７１は、ノッチ撮
像部５０の複数の撮像カメラ５１で撮像したノッチＮの
画像を表示部７２に同時表示するノッチ表示手段７５を
設けて構成されている。図１９には、表示画面の一例を
示す。撮像データ処理部７１は、表示部７２に表示され
る各撮像カメラ５１に対応するノッチＮの画像の最適画
像範囲を、基準位置を基準にして設定する画像範囲設定
手段７６を備えて構成されている。基準位置は、図２０
及び図２１に示すように、基準ウエーハＷＫを用いて設
定される。基準ウエーハＷＫのノッチＮの上面ＳＡ及び
下面ＳＢには、数ミクロン等間隔の行列状の点のグルー
プで構成され表示部７２に表示される表示画面に対する
撮像部の位置を判別するための位置判別印７７が所定位
置に付されており、この位置判別印７７を目視により見
て、図中の設定画面において設定する。即ち、撮像カメ
ラ５１（エリアセンサ）によるノッチＮの画像では、焦
点の合っている（ピントの合っている）箇所が限定され
るところがあることから、範囲設定を行い、焦点の合っ
ていないところは、検出処理をしないようにしている。

【００３８】また、撮像データ処理部７１は、ウエーハ
Ｗの周端縁Ｓの画像データ及びノッチＮの画像データか
ら基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のある
エリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段８０と、
欠陥部認識手段８０が認識した欠陥部を表示部７２に座
標表示する欠陥部座標表示手段８１とを備えて構成され
ている。欠陥部座標表示手段８１は、ウエーハＷの周端
縁Ｓについてはその周方向に沿う角度座標を表示する角
度座標表示機能と、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向に
沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備え
て構成されている。詳しくは、ラインセンサは、例え
ば、１０２４ピクセルで約３３００μｍ幅の画像を取り
込むものである場合、例えば、この取り込み画像から、
３０４ピクセル（幅約１０００μｍ）の画像を切り出し
て欠陥抽出の処理を行なう。また、切り出した画像に対
して欠陥座標の基準位置（０の位置）を設定する。

【００３９】また、欠陥部座標表示手段８１は、ノッチ
Ｎについては画面毎に基準位置を設定し、その基準位置
から欠陥位置を表わす。詳しくは、基準位置は、画面左
上からのピクセル数で設定し、欠陥座標は、この基準位
置を原点として表わす。

【００４０】更に、撮像データ処理部７１は、欠陥部認
識手段８０が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形
状認識手段８２と、欠陥部形状認識手段８２が認識した
形状を表示部７２に表示する欠陥部形状表示手段８３と
を備えて構成されている。欠陥部形状認識手段８２は、
図２２に示すように、予め定められたしきい値に基づい
て点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分け
して認識する機能を備えて構成されている。詳しくは、
欠陥種類の分別は、図２３に示すように、欠陥の長さと
幅の比を見て、設定値以下であれば、線欠陥とする。ま
た、図２４に示すように、面積が設定値以上であれば、
面欠陥とし、設定値以下であれば、点欠陥とする。

【００４１】更にまた、撮像データ処理部７１は、欠陥
部認識手段８０が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥
部面積算出手段８４と、欠陥部面積算出手段８４が算出
した面積を表示部７２に表示する欠陥部面積表示手段８
５と、欠陥部認識手段８０が認識した欠陥部が外接する
外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出
手段８６と、欠陥部外接矩形大きさ算出手段８６が算出
した大きさを表示部７２に表示する欠陥部外接矩形大き
さ表示手段８７とを備えて構成されている。

【００４２】また、撮像データ処理部７１は、欠陥部面
積算出手段８４が算出した欠陥部の面積と、欠陥部外接
矩形大きさ算出手段８６が算出した外接矩形の大きさと
から欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段８９
と、欠陥部密度算出手段８９が算出した欠陥部の密度を
表示部７２に表示する欠陥部密度表示手段９０とを備え
て構成されている。更に、撮像データ処理部７１は、欠
陥部認識手段８０が認識した欠陥部の平均輝度を算出す
る欠陥部輝度算出手段９１と、欠陥部輝度算出手段９１
が算出した平均輝度を表示部７２に表示する欠陥部輝度
表示手段９２とを備えて構成されている。

【００４３】詳しくは、表示部７２には、図１８及び図
１９に示すように、ウエーハＷの以下の欠陥情報が表示
されることになる。 (1) 欠陥位置（図１８中１２０） 欠陥形状の重心位置が表示される。 (2) 欠陥座標（図１８中１２１） (3) 欠陥種類（図１８中１２２） 検出した欠陥は、次の様に分類する。 線欠陥：縦と横の長さが大きく異なるもの（判断のため
の縦横比設定） 面欠陥：面積が大きいもの 点欠陥：線欠陥、面欠陥以外 (4) 面積 欠陥の画素数が表示される（図１８中１２
３）。 (5) 長軸長、短軸長（図１８中１２４） 欠陥形状の長さと、幅の概略値が表される。これは、欠
陥形状の周囲長Ｐと面積Ａから、次の式が成り立つとし
て求められる。 形状長さをＬ、幅をＷとすると、周囲長Ｐは、Ｐ＝２＊
（Ｌ＋Ｗ）、面積Ａは、Ａ＝Ｌ＊Ｗとなる。 (6) 欠陥輝度（図１８中１２５） 欠陥の輝度値を表わす。輝度値は、欠陥の平均輝度にな
る。 (7) 欠陥密度（図１８中１２６） 検出した欠陥の外接矩形の面積と、欠陥面積との比を表
わす。

【００４４】更に、撮像データ処理部７１は、欠陥部認
識手段８０が認識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハ
Ｗの良否を判定するウエーハ良否判定手段９３と、ウエ
ーハ良否判定手段９３が判定した当該ウエーハＷの良否
を表示部７２に表示するウエーハ良否表示手段９４とを
備えて構成されている。即ち、予め定めた欠陥の条件、
例えば、欠陥の数，欠陥の大きさ等と実際の検査結果と
を比較して、許容範囲内であれば良とし、許容範囲外で
あれば否と判断し、表示画面の判定表示欄に判定結果を
「ＯＫ」または「ＮＯ」で表示する（図１８中１２
７）。

【００４５】また、撮像データ処理部７１は、上記種々
の欠陥の算出データに基づき、ウエーハＷの周端部の各
撮像カメラ４１の撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び
面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥
ランク付け手段１００を備えている。図２５に示す表の
ように、例えば、測定面毎に、ランク分けした各種欠陥
の個数を求め、各欠陥の面積でランク分けする。各ラン
クの設定値は、あらかじめ面積の最大値を設定してお
く。ランクは、例えば、１から１０までの範囲で任意に
設定できるようにしておく。ランク１が大きい欠陥の分
布値を表し、ランク１０が小さい欠陥の分布を表すこと
になる。

【００４６】更に、撮像データ処理部７１は、上記種々
の欠陥の算出データに基づき、ウエーハＷの周端部の各
撮像カメラ４１の撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び
面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算
出手段１０１を備えている。図２６に示すように、ラン
ク毎に、欠陥位置における個数の分布を設定角度単位で
求める。設定角度は、例えば、１０゜、１５゜、３０
゜、４５゜、６０゜、９０゜にする。分布は、指定角度
値までの個数を表す。例えば、１０゜単位の指定で９０
゜の欄では、８０゜〜９０゜の範囲の個数を示す。図２
６は１０゜単位指定の時の例である。

【００４７】そして、制御部７０では、これらの欠陥ラ
ンク付け手段１００及び欠陥分布算出手段１０１の結果
に基づいて、例えば、上記の表示部７２あるいはプリン
タ等で図２７及び図２８に示すような表を出力できるよ
うにしている。図２７は、測定面，欠陥種を指定して、
各ランクにおける欠陥個数の分布を表示したものであ
る。図２８は、測定面，ランクを指定して、欠陥種毎の
個数分布を表示したものである。これにより、円周上に
その度数分布を表示することにより、ウエーハの状態が
わかりやすく表わされる。即ち、周端縁Ｓの欠陥の分布
状態や欠陥の程度が分かるので、欠陥の発生原因究明等
に利用でき、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００４８】尚、撮像データ処理部７１においては、図
３２に示すように、ノッチＮと支承盤１３の支承フィン
ガ１２のある部位をマスク設定し、この部分は欠陥抽出
処理を行わないようにしている。そのため、ウエーハＷ
を支承位置可変機構２０により持ち直して、先に支承フ
ィンガ１２で邪魔されて撮像できなかった部位を露出さ
せて撮像できるようにしている。従って、ウエーハＷの
一周分の撮像データを２回取り込むことになり、各撮像
データ毎に、上記の表示及び欠陥情報処理等を行なうよ
うにしている。

【００４９】また、撮像データ処理部７１は、上記各撮
像カメラ４１，５１で撮像された画像データや各算出手
段等で算出された結果を検査したウエーハＷのＩＤ番号
に対応させて記憶して格納するデータ格納手段１０３を
有している。即ち、検査対象のウエーハＷには固有のＩ
Ｄ番号が付されており、図示外の読み取りセンサでこの
ＩＤ番号を読み取って、各データをこのＩＤ番号に対応
させて記憶しておく。このデータ格納手段１０３から必
要に応じてデータを読み出して上記の表示部７２やプリ
ンタ等に出力可能になっている。更に、制御部７０は、
直径測定部６０が計測した直径をＩＤ番号に対応させて
表示する直径表示手段１０４を備えている。図２９に示
すように、測定点はノッチＮ位置から約８°回転したと
ころから測定を開始し、１５°単位で測定をする。そし
て、例えば、ウエーハＷの直径はｍｍ単位で７桁の固定
少数点値で測定する。また、制御部７０は、直径良否判
定手段１０５を備えており、公差内であれば良とし、公
差外であれば不良とする。この良否判定結果は、表示部
７２に表示する（図示せず）。更にまた、表示部７２の
画像表示においては、拡大表示を行なうことができる。

【００５０】従って、この実施の形態に係るウエーハ用
検査装置によれば、予め、撮像カメラ５１の画像調整を
行なっておく。特に、図１９に示すノッチ画像の画像調
整を行なう。図３０に示すフローチャートを用いて説明
すると、この場合、後述のウエーハ搬送部３０により支
持部１０に基準ウエーハＷＫを支承し（１−１）、支承
盤１３を回転させノッチ撮像部５０で撮像する位置にノ
ッチＮを移動させノッチＮの位置合わせをして（１−
２）、ノッチ撮像部５０でノッチＮの画像を取込む（１
−３）。そして、表示部７２で拡大表示を行なって、ノ
ッチＮの画像の焦点の合っている（ピントの合ってい
る）箇所を、図２０及び図２１に示す基準ウエーハＷＫ
に付した位置判別印７７の行列状の点を目視により見
て、この点の位置に合わせて、図１９に示すように、表
示部７２で表示された範囲設定部１１０において、最適
範囲設定を行なう（１−４）。この場合、行列状の点で
細かく範囲合わせを行なうことができ、範囲設定が確実
に行なわれる。これにより、画像データのデータ処理
が、この範囲設定された画像に基づいて行なわれる。そ
のため、より精度の良い欠陥認識を行なうことができる
ようになる。

【００５１】次に、このように調整されたウエーハ用検
査装置を用いてウエーハＷの検査を行なうときは以下の
ようになる。図３１に示すフローチャートを用いて説明
する。先ず、検査対象のウエーハＷを支持部１０に搬送
する（２−１）。この搬送は、ウエーハ搬送部３０によ
りウエーハＷの貯留部３１から検査対象のウエーハＷを
把持ハンド３３で取出して行なう。この際、貯留部３１
の取出し位置では、図１０及び図１１に示すように、把
持ハンド３３は把持位置Ｙａに位置させられ、その係合
部３２をウエーハＷの周端縁Ｓに係合させ、ウエーハＷ
をウエーハＷの面方向に挾持して把持する。この把持に
より、図１１に示すように、係合部３２の当接部材３６
ａが板バネ３６ｂの弾性力によってウエーハＷに弾接さ
れるので、ウエーハＷが中央に求心させられ、支持部１
０の支承盤１３の支承フィンガ１２に対してウエーハＷ
が芯出しされる。そして、ウエーハＷを支持部１０の支
承盤１３に搬送し、図１及び図２，図７及び図９，図３
３（ａ）に示すように、所定位置で把持ハンド３３を把
持解除位置Ｙｂに位置させ、ウエーハＷの把持を解除し
て支承盤１３に支承する（２−２）。この場合、支承盤
１３の支承フィンガ１２に対してウエーハＷが芯出しさ
れているので、支承盤１３に対するウエーハＷの位置決
め精度が高くなり、その後の検査精度が向上させられ
る。また、ウエーハＷは支承フィンガ１２に支承され、
しかも、支承フィンガ１２の斜めの支承面１７で線支持
されるので、ウエーハＷの面を傷つける等悪影響を及ぼ
す事態が防止される。

【００５２】次に、図３２に示すように、支承盤１３を
回転させノッチ撮像部５０で撮像する位置にノッチＮを
移動させノッチＮの位置合わせをする（２−３）。この
状態で、ウエーハＷのＩＤ番号を図示外の読み取りセン
サで読み取る（２−４）。そして、ノッチ撮像部５０で
ノッチＮの画像を取込む（２−５）。取り込まれた撮像
データは撮像データ処理部７１に送出されて処理される
（２−６）。この場合、ノッチ撮像部５０は、図１，図
２及び図１４に示すように、ノッチＮの側面ＳＳ，上面
ＳＡ及び下面ＳＢに対応し各面に対して撮像方向を略直
角に対面させて夫々配置された撮像カメラ５１を備え、
即ち、ノッチＮの底部Ｎｔの側面ＳＳに対応した底部側
面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎｔ）），底部Ｎｔの上面Ｓ
Ａに対応した底部上面撮像カメラ５１（ＳＡ（Ｎ
ｔ）），底部Ｎｔの下面ＳＢに対応した底部下面撮像カ
メラ５１（ＳＢ（Ｎｔ）），ノッチＮの一方の側部Ｎａ
の側面ＳＳに対応した一方側部側面撮像カメラ５１（Ｓ
Ｓ（Ｎａ）），ノッチＮの他方の側部Ｎｂの側面ＳＳに
対応した他方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎｂ））
を備えているので、ノッチＮが面取りされていても、撮
像カメラ５１の位置を逐一移動させることなく、厚さ方
向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性が向上さ
せられるとともに、撮像精度が向上させられる。また、
撮像カメラ５１は、エリアセンサなので、ウエーハＷを
回転させることなく一時に撮像できる。また、この場
合、ノッチＮを照明するノッチ照明部５２が、ドーム照
射体５４及び平面照射体５６を備え、ノッチＮを良く照
明するとともに、各撮像カメラ５１は、ノッチ照明部５
２からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置す
るように配置されているので、ノッチＮの各面を明瞭に
撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像
精度が向上させられる。

【００５３】ウエーハＷのノッチＮの撮像が終了する
と、次に、周端縁Ｓの撮像が行なわれる。先ず、ウエー
ハＷを回転させて（２−７）、周端縁撮像部４０で周端
縁Ｓの画像を取込む（２−８）。取り込まれた撮像デー
タは撮像データ処理部７１に送出されて処理される（２
−９）。尚、撮像データ処理部７１においては、図３２
に示すように、ノッチＮと支承盤１３の支承フィンガ１
２のある部位をマスク設定し、この部分は欠陥抽出処理
を行わないようにしている。この場合、周端縁撮像部４
０は、図１，図２，図１４乃至図１６に示すように、ウ
エーハＷの周端縁Ｓの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢ
に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫
々配置した側面用撮像カメラ４１（ＳＳ），上面用撮像
カメラ４１（ＳＡ）及び下面用撮像カメラ４１（ＳＢ）
を備えているので、ウエーハＷの周端縁Ｓが面取りされ
ていても、撮像カメラ４１の位置を逐一移動させること
なく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき、操
作性が向上させられるとともに、撮像精度が向上させら
れる。また、撮像カメラ４１はラインセンサなので、周
端縁Ｓを狭い幅で撮像してこれを連続させるので、解像
度が良く、この点でも撮像精度が向上させられる。ま
た、この場合、周端縁Ｓを照明する周端縁照明部４２
は、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向に沿う所定の円弧
に沿って照射面を形成し円弧の中心に向けて収束するよ
うに照射光を放光し、各撮像カメラ４１は、周端縁照明
部４２からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位
置するように配置されているので、即ち、各撮像カメラ
４１は、Ｃ型の周端縁照明部４２からの照明を正反射で
受けるよう配置されているので、周端縁Ｓの各面を明瞭
に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮
像精度が向上させられる。

【００５４】次に、各撮像カメラ４１は支承盤１３の支
承フィンガ１２のある部位を撮像できないので、支承位
置可変機構２０により、支承盤１３の支承フィンガ１２
に支承されたウエーハＷの支承位置を変える（２−１
０）。これは、図３３（ａ）に示すように、受渡位置Ｘ
ｂにある担持盤２３を、図３３（ｂ）に示すように、担
持位置Ｘａに移動させる。これにより、支承盤１３に支
承されていたウエーハＷが、担持盤２３の担持フィンガ
２２に担持されて持ち上げられる。そして、図３３
（ｃ）に示すように、この持ち上げられている間に、支
承盤１３を回転させて支承盤１３の支承フィンガ１２を
別の角度位相位置に位置させる。それから、図３３
（ｄ）に示すように、担持盤２３を受渡位置Ｘｂに位置
させてウエーハＷを支承フィンガ１２に受け渡す。この
場合、支承位置を変えるので、先に撮像できなかった部
位を露出させて撮像できるようにすることができる。ま
た、ウエーハＷを担持盤２３の担持フィンガ２２に担持
させて持ち上げるので、ウエーハＷに傷をつける等の悪
影響を及ぼす事態が防止される。

【００５５】この状態で、再び、ウエーハＷを回転させ
て（２−１１）、周端縁撮像部４０で周端縁Ｓの画像を
取込む（２−１２）。取り込まれた撮像データは撮像デ
ータ処理部７１に送出されて処理される（２−１３）。
尚、撮像データ処理部７１においては、図３２に示すよ
うに、ノッチＮと支承盤１３の支承フィンガ１２のある
部位をマスク設定し、この部分は欠陥抽出処理を行わな
いようにしている。この場合も、周端縁撮像部４０は、
ウエーハＷの周端縁Ｓの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面Ｓ
Ｂに対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて
夫々配置した側面用撮像カメラ４１（ＳＳ），上面用撮
像カメラ４１（ＳＡ）及び下面用撮像カメラ４１（Ｓ
Ｂ）を備えているので、ウエーハＷの周端縁Ｓが面取り
されていても、撮像カメラ４１の位置を逐一移動させる
ことなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像で
き、操作性が向上させられるとともに、撮像精度が向上
させられる。また、この場合も、周端縁Ｓを照明する周
端縁照明部４２は、ウエーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向に
沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し円弧の中心に向
けて収束するように照射光を放光し、各撮像カメラ４１
は、周端縁照明部４２からの照明光が反射した反射光の
明視野範囲に位置するように配置されているので、即
ち、各撮像カメラ４１は、Ｃ型の周端縁照明部４２から
の照明を正反射で受けるよう配置されているので、周端
縁Ｓの各面を明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像で
き、この点でも撮像精度が向上させられる。

【００５６】それから、ウエーハＷの直径を直径測定部
６０で測定する（２−１５）。図２９に示すように、直
径測定部６０は、相対向して設けられた一対の光センサ
がウエーハＷの周端縁Ｓの位置を検知し、検知した周端
縁Ｓの位置から直径を計測する。測定点はノッチＮの位
置から約８°回転したところから測定を開始し、１５°
単位で測定をする。そして、例えば、ウエーハＷの直径
はｍｍ単位で７桁の固定少数点値で測定する。ウエーハ
Ｗの直径検査が欠陥検査と同時に行われるので、検査効
率が向上させられる。

【００５７】その後、ウエーハＷを取出し元のウエーハ
Ｗの貯留部３１に搬送する。この搬送は、ウエーハ搬送
部３０により支持部１０の支承盤１３上のウエーハＷを
把持ハンド３３で把持して取出し、貯留部３１に搬送す
る。そして、再び、ウエーハ搬送部３０によりウエーハ
Ｗの貯留部３１から次の検査対象のウエーハＷを把持ハ
ンド３３で取出して、支持部１０に搬送し、上記と同様
の処理を行なう。

【００５８】次に、制御部７０のデータ処理について説
明する。先ず、撮像データ処理部７１においては、図１
７に示すように、欠陥部認識手段８０が、ウエーハＷの
周端縁Ｓの画像データ及びノッチＮの画像データから基
準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリ
アを欠陥部として認識する。これにより、欠陥部形状認
識手段８２が、欠陥部認識手段８０が認識した欠陥部の
形状を認識する。この認識は、図２２乃至図２４に示す
ように、予め定められたしきい値に基づいて点欠陥部，
線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識す
る。また、欠陥部面積算出手段８４が、欠陥部認識手段
８０が認識した欠陥部の面積を算出し、欠陥部外接矩形
大きさ算出手段８６が、欠陥部認識手段８０が認識した
欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する。これに
基づいて、欠陥部密度算出手段８９が、欠陥部面積算出
手段８４が算出した欠陥部の面積と欠陥部外接矩形大き
さ算出手段８６が算出した外接矩形の大きさとから欠陥
部の密度を算出する。更に、欠陥部輝度算出手段９１が
欠陥部認識手段８０が認識した欠陥部の平均輝度を算出
する。

【００５９】更に、撮像データ処理部７１は、ウエーハ
良否判定手段９３が、欠陥部認識手段８０が認識した欠
陥部に基づいて、当該ウエーハＷの良否を判定する。判
定は、予め定めた欠陥の条件、例えば、欠陥の数，欠陥
の大きさ等と実際の検査結果とを比較して、許容範囲内
であれば良とし、許容範囲外であれば否と判断する。ま
た、撮像データ処理部７１のデータ格納手段１０３に、
各撮像カメラ４１，５１で撮像された画像データや各算
出手段等で算出された結果を検査したウエーハＷのＩＤ
番号に対応させて記憶して格納する。更に、直径良否判
定手段１０５により、ウエーハＷの直径が公差内である
か否かを判定し、あれば良とし、公差外であれば不良と
する。更にまた、欠陥ランク付け手段１００が種々の欠
陥の算出データに基づき、ウエーハＷの周端部の各撮像
カメラ４１の撮像面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠
陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする。また、
欠陥分布算出手段１０１が、種々の欠陥の算出データに
基づき、ウエーハＷの周端部の各撮像カメラ４１の撮像
面毎に、点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定
の角度単位で算出する。

【００６０】そして、これらの各データについての表示
が行なわれる（図３１（２−１６））。ウエーハＷのＩ
Ｄ番号を指定することにより、図１８に示すように、該
当するウエーハＷの周端縁Ｓに係る画面表示と、図１９
に示すように、該当するウエーハＷのノッチＮに係る画
面表示とを行なうことができる。先ず、図１８に示すよ
うに、ウエーハＷの周端縁Ｓに係る表示画面において
は、１回目の撮像に係るデータと、２回目の撮像に係る
データとを選択的に表示できる。ここでは、周端縁表示
手段７３が、周端縁撮像部４０の複数の撮像カメラ４１
で撮像したウエーハＷの周端縁ＳをウエーハＷの角度位
置の位相を合わせて表示部７２に同時表示する。このウ
エーハＷの周端縁Ｓの画像は、スクロール手段７４によ
って、ウエーハＷの周端縁Ｓの周方向に沿ってスクロー
ル可能になっている。詳しくは、ウエーハＷの周端縁Ｓ
の側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢに対応した画像が、
３つ揃うように並べて表示される。スクロールバー１１
１を操作すると、３つの画面が揃って移動する。また、
角度位置表示欄１１２に右端，左端，中央の角度位置が
表示される。

【００６１】このウエーハＷの周端縁Ｓの撮像画面によ
り、周端面の面の状況、特に欠陥部の状況が視認でき
る。この場合、各面に対して撮像方向を略直角に対面さ
せて夫々配置した側面用撮像カメラ４１（ＳＳ），上面
用撮像カメラ４１（ＳＡ）及び下面用撮像カメラ４１
（ＳＢ）によって撮像しているので、ウエーハＷの周端
縁Ｓが面取りされていても各面を明瞭に視認することが
でき、それだけ、検査精度が向上させられる。また、ス
クロールして画像を見ることができるので、全体に亘っ
て良く視認することができ、それだけ、検査精度が向上
させられる。また、各撮像カメラ４１は、Ｃ型の周端縁
照明部４２からの照明を正反射で受けるよう配置されて
いるので、周端縁Ｓを明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良
く撮像でき、この点でも各面を明瞭に視認することがで
き、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００６２】一方、図１９に示すように、ウエーハＷの
ノッチＮに係る表示画面においては、ノッチ表示手段７
５が、ノッチ撮像部５０の複数の撮像カメラ５１で撮像
したウエーハＷのノッチＮの画像を表示部７２に同時表
示する。詳しくは、ノッチＮの底部Ｎｔの側面ＳＳ，底
部Ｎｔの上面ＳＡ，底部Ｎｔの下面ＳＢ，ノッチＮの一
方の側部Ｎａ，Ｎｂの側面ＳＳ，ノッチＮの他方の側部
Ｎａ，Ｎｂの側面ＳＳに対応した画像が、表示される。
この場合、画像範囲設定手段７６によって、各撮像カメ
ラ５１に対応するノッチＮの画像の最適画像範囲が指定
されているので、各画像の相対位置関係が容易に分か
る。

【００６３】このノッチＮの撮像画面により、ノッチＮ
の面の状況、特に欠陥部の状況が視認できる。この場
合、ノッチＮの底部Ｎｔの側面ＳＳに対応した底部側面
撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎｔ）），底部Ｎｔの上面ＳＡ
に対応した底部上面撮像カメラ５１（ＳＡ（Ｎｔ）），
底部Ｎｔの下面ＳＢに対応した底部下面撮像カメラ５１
（ＳＢ（Ｎｔ）），ノッチＮの一方の側部Ｎａ，Ｎｂの
側面ＳＳに対応した一方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ
（Ｎａ）），ノッチＮの他方の側部Ｎａ，Ｎｂの側面Ｓ
Ｓに対応した他方側部側面撮像カメラ５１（ＳＳ（Ｎ
ｂ））によって撮像しているので、ノッチＮが面取りさ
れていても各面を明瞭に視認することができ、それだ
け、検査精度が向上させられる。また、各撮像カメラ５
１は、ノッチ照明部５２からの照明光が反射した反射光
の明視野範囲に位置するように配置されているので、ノ
ッチＮを明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、
この点でも各面を明瞭に視認することができ、それだ
け、検査精度が向上させられる。

【００６４】また、図１８に示すウエーハＷの周端縁Ｓ
に係る画面表示及び図１９に示すウエーハＷのノッチＮ
に係る画面表示に共通して、各種データ欄が設けられて
いる。先ず、欠陥部座標表示手段８１が欠陥部認識手段
８０が認識した欠陥部を表示部７２に座標表示する。欠
陥部座標表示手段８１は、ウエーハＷの周端縁Ｓについ
てはその周方向に沿う角度座標を表示するとともに、ウ
エーハＷの周端縁Ｓの厚さ方向に沿う相対位置を表示す
る。欠陥の位置を特定できるので、それだけ表示が確実
になり、検査精度も向上させられる。また、欠陥部座標
表示手段８１は、ノッチＮについては画面毎に基準位置
を設定し、その基準位置から欠陥位置を表わす。基準位
置は、画面左上からのピクセル数で設定され、欠陥座標
は、この基準位置を原点として表わされる。欠陥の位置
を特定できるので、それだけ表示が確実になり、検査精
度も向上させられる。

【００６５】更に、欠陥部形状表示手段８３が、欠陥部
形状認識手段８２が認識した形状を表示部７２に表示す
る。図１８及び図１９に示すように、点欠陥部，線欠陥
部及び面欠陥部のいずれかに区分けして表示する。欠陥
の形状が分かるので、それだけ検査精度が向上させられ
る。また、欠陥の種類が分類されるので、認識が容易に
なる。更にまた、欠陥部面積表示手段８５が、欠陥部面
積算出手段８４が算出した面積を表示部７２に表示す
る。欠陥の大きさが認識でき、それだけ、検査精度が向
上させられる。また、欠陥部外接矩形大きさ表示手段８
７が、欠陥部外接矩形大きさ算出手段８６が算出した大
きさを表示部７２に表示する。具体的には、欠陥形状の
長さ（長軸）と、幅（短軸）の概略値が表される。欠陥
の大きさが認識でき、それだけ、検査精度が向上させら
れる。そしてまた、欠陥部密度表示手段９０が、欠陥部
密度算出手段８９が算出した欠陥部の密度を表示部７２
に表示する。欠陥の広がりを認識でき、それだけ、検査
精度が向上させられる。また、欠陥部輝度表示手段９２
が、欠陥部輝度算出手段９１が算出した欠陥部の平均輝
度を表示部７２に表示する。欠陥の輝度は欠陥の深さに
対応することから、欠陥の奥行きを認識でき、それだ
け、検査精度が向上させられる。

【００６６】更に、ウエーハ良否表示手段９４が、ウエ
ーハ良否判定手段９３が判定したウエーハＷの良否を表
示部７２に表示する。判定が良ければ「ＯＫ」と表示さ
れ、悪ければ「ＮＯ」と表示される。ウエーハＷの良否
を自動的に判定できるので、検査が容易になる。更にま
た、直径表示手段１０４により、図示外の表示部７２に
直径測定部６０が計測した直径がＩＤ番号に対応させて
表示される。また、直径が公差内であれば良とし、公差
外であれば不良として、図示外の表示部７２に表示され
る。また、必要に応じ、欠陥ランク付け手段１００及び
欠陥分布算出手段１０１の結果に基づいて、例えば、表
示部７２あるいはプリンタ等で図２７及び図２８に示す
ような表を出力する。これにより、円周上にその度数分
布を表示することにより、ウエーハの状態がわかりやす
く表わされる。即ち、周端縁Ｓの欠陥の分布状態や欠陥
の程度が分かるので、欠陥の発生原因究明等に利用で
き、それだけ、検査精度が向上させられる。

【００６７】尚、上記実施の形態では、ノッチＮを有し
たウエーハＷを検査対象としているが、必ずしもこれに
限定されるものではなく、オリフラを有したウエーハＷ
にも適用できる。ただし、この場合には、ノッチ撮像部
５０をオリフラ撮像用に適宜変更する等すれば良い。尚
また、上記実施の形態では、撮像カメラ全部を使用して
撮像しているが、必ずしもこれに限定されるものではな
く、必要に応じて、１つあるいは２以上の適宜の数の撮
像カメラを使用して撮像することもでき、撮像条件に応
じて適宜変更して良い。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のウエーハ
用検査装置によれば、ウエーハの周端縁撮像部を、ウエ
ーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置して構成したので、複数の撮像カメラ
がウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する
ことから、ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮
像カメラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全
部を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向上させる
ことができるとともに、撮像精度を向上させることがで
きる。

【００６９】そして、撮像カメラをラインセンサで構成
した場合には、周端縁を狭い幅で撮像してこれを連続さ
せることができ、解像度が良く、撮像精度を向上させる
ことができる。また、ウエーハの周端縁がウエーハの面
に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜して面取
りされた上面及び下面を備えて構成された場合、側面，
上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に
対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像
カメラ及び下面用撮像カメラを備えた場合には、ウエー
ハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作
性を向上させることができるとともに、撮像精度を向上
させることができる。

【００７０】更に、各撮像カメラを、各撮像カメラの撮
像部位がウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得る
ように配置した場合には、撮像カメラを集約できるの
で、装置をコンパクトにすることができる。この構成に
おいて、ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部を設
け、この周端縁照明部を、ウエーハの周端縁の厚さ方向
に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心
に向けて収束するように照射光を放光する光ファイバの
集合体を備えて構成するとともに、各撮像カメラが周端
縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に
位置するように配置した場合には、各撮像カメラは、Ｃ
型の周端縁照明部からの照明を正反射で受けるよう配置
されているので、周端縁の各面を明瞭に撮像でき、特
に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度を向上さ
せることができる。

【００７１】また、制御部の撮像データ処理部を、周端
縁撮像部の複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端
縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて表示部に同時
表示する周端縁表示手段を設けて構成した場合には、周
端面の面の状況、特に欠陥部の状況を視認できる。特
に、複数の撮像カメラでウエーハの周端縁の厚さ方向の
異なる部位を撮像しているので、ウエーハの周端縁が面
取りされていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認す
ることができ、それだけ、検査精度を向上させることが
できる。更に、撮像データ処理部をウエーハの周端縁の
画像をスクロールするスクロール手段を設けて構成した
場合には、画像をスクロールすることで、全周に亘って
良く視認することができ、それだけ、検査精度を向上さ
せることができる。

【００７２】更にまた、撮像データ処理部を、所定以上
の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認
識手段と、この認識した欠陥部を表示部に座標表示する
欠陥部座標表示手段とを備えて構成した場合には、欠陥
部の位置を特定できるので、それだけ、検査精度を向上
させることができる。この場合、欠陥部座標表示手段
を、ウエーハの周端縁の周方向に沿う角度座標を表示す
る角度座標表示機能と、ウエーハの周端縁の厚さ方向に
沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備え
て構成した場合には、表示が確実になる。

【００７３】また、撮像データ処理部を、欠陥部認識手
段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手
段と、この形状を表示部に表示する欠陥部形状表示手段
とを備えて構成した場合には、欠陥の形状が分かるの
で、それだけ、検査精度を向上させることができる。こ
の場合、欠陥部形状認識手段を、予め定められたしきい
値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれ
かに区分けして認識する機能を備えて構成すれば、欠陥
の種類が分類されるので、認識を容易にすることができ
る。また、この場合、各撮像カメラの撮像面毎に、点欠
陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で
算出する欠陥分布算出手段を備えた構成とすれば、周端
縁の欠陥の分布状態が分かるので、欠陥の発生原因究明
等に利用でき、それだけ、検査精度を向上させることが
できる。更に、この場合、各撮像カメラの撮像面毎に、
点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単
位でランク付けする欠陥ランク付け手段を備えた構成と
すれば、周端縁の欠陥の程度が分かるので、欠陥の発生
原因究明等に利用でき、それだけ、検査精度を向上させ
ることができる。

【００７４】更にまた、撮像データ処理部を、欠陥部の
面積を算出する欠陥部面積算出手段と、この面積を表示
部に表示する欠陥部面積表示手段と、欠陥部が外接する
外接矩形の大きさを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出
手段と、この大きさを表示部に表示する欠陥部外接矩形
大きさ表示手段とを備えて構成した場合には、欠陥の大
きさを認識でき、それだけ、検査精度を向上させること
ができる。また、撮像データ処理部を、欠陥部の面積と
外接矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部
密度算出手段と、この欠陥部の密度を表示部に表示する
欠陥部密度表示手段とを備えて構成した場合には、欠陥
の広がりを認識でき、それだけ、検査精度を向上させる
ことができる。更に、撮像データ処理部を、欠陥部の平
均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と、この欠陥部の
平均輝度を表示部に表示する欠陥部輝度表示手段とを備
えて構成した場合には、欠陥部の輝度は欠陥の深さに対
応することから、欠陥の奥行きを認識でき、それだけ、
検査精度を向上させることができる。更にまた、撮像デ
ータ処理部を、ウエーハの良否を判定するウエーハ良否
判定手段と、このウエーハの良否を表示部に表示するウ
エーハ良否表示手段とを備えて構成した場合には、ウエ
ーハの良否を自動的に判定できるので、検査を容易にす
ることができる。

【００７５】そして、ウエーハの周端縁に底部及び両側
部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある場合、
ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け、このノッチ撮像
部を、ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置した構成とした場合には、複数の撮像
カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するの
で、ノッチが面取りされていても、撮像カメラの位置を
逐一移動させることなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも
同時に撮像でき、操作性を向上させることができるとと
もに、撮像精度を向上させることができる。

【００７６】また、撮像カメラを面状に撮像するエリア
センサで構成した場合には、ウエーハを回転させること
なく、一時に撮像できる。そしてまた、ノッチがウエー
ハの面に対して略直角な側面，この側面に対して傾斜し
て面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合、
撮像カメラを、側面，上面及び下面に対応し各面に対し
て撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成とし
た場合には、ノッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像で
き、操作性を向上させることができるとともに、撮像精
度を向上させることができる。この場合、ノッチの底部
の側面に対応した底部側面撮像カメラ，底部の上面に対
応した底部上面撮像カメラ，底部の下面に対応した底部
下面撮像カメラ，ノッチの一方の側部の側面に対応した
一方側部側面撮像カメラ，ノッチの他方の側部の側面に
対応した他方側部側面撮像カメラを備えた場合には、ノ
ッチの各面を明瞭にしかも同時に撮像でき、操作性を向
上させることができるとともに、撮像精度を向上させる
ことができる。

【００７７】また、ノッチを照明するノッチ照明部を設
け、ノッチ照明部を、ノッチに向けて照射光を放光する
発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに、各
撮像カメラがノッチ照明部からの照明光が反射した反射
光の明視野範囲に位置するように配置した場合には、ノ
ッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲
に位置するように配置されているので、ノッチの各面を
明瞭に撮像でき、特に、欠陥を良く撮像でき、この点で
も撮像精度を向上させることができる。更に、ノッチ照
明部を、底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに
夫々設けられ各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム
状の照射面を形成しノッチに向けて照射光を放光するド
ーム照射体と、底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像
カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリ
ットを形成するように設けられた略平面状の照射面を一
対有しノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを
備えて構成した場合には、ノッチを照明するノッチ照明
部が、ドーム照射体及び平面照射体を備え、ノッチを良
く照明するとともに、各撮像カメラは、ノッチ照明部か
らの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するよ
うに配置されているので、ノッチの各面を明瞭に撮像で
き、特に、欠陥を良く撮像でき、この点でも撮像精度を
向上させることができる。

【００７８】そして、制御部の撮像データ処理部を、ノ
ッチ撮像部の複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像
を表示部に同時表示するノッチ表示手段を設けて構成し
た場合には、ノッチの面の状況、特に欠陥部の状況が視
認できる。この場合、複数の撮像カメラでノッチの厚さ
方向の異なる部位を撮像しているので、ノッチが面取り
されていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認するこ
とができ、それだけ、検査精度を向上させることができ
る。また、撮像データ処理部を、表示部に表示される各
撮像カメラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を、
基準位置を基準にして設定する画像範囲設定手段を備え
て構成した場合には、画像データのデータ処理が、この
範囲設定された画像に基づいて行なわれる。そのため、
より精度の良い欠陥認識を行なうことができるようにな
る。この場合、基準位置を、各撮像カメラに対応してノ
ッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像
し、この撮像画面の行列状の点に基づいて決定すれば、
ノッチ撮像部で基準ウエーハのノッチの画像を取込み、
ノッチ画像の焦点の合っている（ピントの合っている）
箇所を、基準ウエーハに付した行列状の点を目視により
見て、この点の位置に合わせて、最適範囲設定を行なう
ことができ、そのため、行列状の点で細かく範囲合わせ
を行なうことができ、範囲設定を確実に行なうことがで
きるようになる。

【００７９】また、撮像データ処理部を、ノッチの撮像
画像において、所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部
として認識する欠陥部認識手段と、この欠陥部を表示部
に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成した
場合には、欠陥部の位置を特定できるので、それだけ、
検査精度を向上させることができる。そして、このノッ
チの画像処理においても、上記の周端部と同様に撮像デ
ータ処理部を構成すれば、同様の効果が得られる。即
ち、撮像データ処理部を、欠陥部形状認識手段が認識し
た形状を表示部に欠陥部形状表示手段で表示する構成に
した場合には、欠陥の形状が分かるので、それだけ、検
査精度を向上させることができる。この場合、欠陥部形
状認識手段を、予め定められたしきい値に基づいて点欠
陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認
識する機能を備えて構成すれば、欠陥の種類が分類され
るので、認識が容易になる。

【００８０】更にまた、撮像データ処理部を、欠陥部面
積算出手段が算出した欠陥部の面積を欠陥部面積表示手
段で表示部に表示し、欠陥部外接矩形大きさ算出手段が
算出した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを欠陥部外
接矩形大きさ表示手段で表示部に表示する構成にした場
合には、欠陥の大きさを認識でき、それだけ、検査精度
を向上させることができる。また、撮像データ処理部
を、欠陥部の面積と外接矩形の大きさとから欠陥部の密
度を算出する欠陥部密度算出手段と、この欠陥部の密度
を表示部に表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成
した場合には、欠陥の広がりを認識でき、それだけ、検
査精度を向上させることができる。更に、撮像データ処
理部を、欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝
度を欠陥部輝度表示手段で表示部に表示する構成とした
場合には、欠陥部の輝度は欠陥の深さに対応することか
ら、欠陥の奥行きを認識でき、それだけ、検査精度を向
上させることができる。更にまた、上記撮像データ処理
部を、ウエーハの良否を判定するウエーハ良否判定手段
と、このウエーハの良否を表示部に表示するウエーハ良
否表示手段とを備えて構成した場合には、ウエーハの良
否を自動的に判定できるので、検査が容易になる。

【００８１】そして、支持部を、中心軸を回転中心とし
て回転可能に設けられ中心軸を中心とする円周上にウエ
ーハの周端縁を支承する複数の支承フィンガを備えた支
承盤と、支承盤を回転させる駆動部とを備えて構成した
場合には、ウエーハが支承フィンガに支承されるので、
ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態を防止す
ることができる。この場合、支承フィンガを、中心軸側
に向けて下に傾斜するウエーハの周端縁を支承する支承
面を備えて構成すれば、ウエーハの周端縁を支承面で線
支持するようになるので、より一層ウエーハの面を傷つ
ける等悪影響を及ぼす事態を防止することができる。

【００８２】また、支持部を、ウエーハの支承位置を可
変にする支承位置可変機構を備えて構成した場合には、
支承位置を変えるので、支承フィンガのある撮像できな
いウエーハの部位を露出させて撮像できるようにするこ
とができる。この場合、支承位置可変機構を、担持フィ
ンガを支承盤の支承フィンガより上位の位置であってウ
エーハを担持して持ち上げる担持位置及び支承フィンガ
より下位の位置であってウエーハを支承フィンガに受け
渡す受渡位置の２位置に移動可能な担持盤と、担持盤を
担持位置及び受渡位置の２位置に移動させる移動機構と
を備えて構成した場合には、ウエーハの支承位置を変え
ることができるので、先に撮像できなかった部位を露出
させて撮像できるようにすることができる。また、ウエ
ーハを担持盤の担持フィンガに担持させて持ち上げるの
で、ウエーハに傷をつける等の悪影響を及ぼす事態を防
止することができる。

【００８３】更に、ウエーハの貯留部から検査対象のウ
エーハを搬送して支持部の支承盤の支承フィンガにウエ
ーハを芯出しして支承させるウエーハ搬送部を備えた場
合には、支承盤の支承フィンガに対してウエーハが芯出
しされて支承されるので、支承盤に対するウエーハの位
置決め精度が高くなり、その後の検査精度を向上させる
ことができる。この場合、ウエーハ搬送部を、ウエーハ
の周端縁に係合する係合部を係合させてウエーハを挾持
して把持する把持位置及び把持を解除する把持解除位置
の２位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構
成し、係合部に把持位置でウエーハに弾接する弾接体を
設けた構成とした場合には、係合部の弾接体がウエーハ
に弾接されるので、ウエーハが中央に求心させられ、支
持部の支承盤の支承フィンガに対してウエーハを容易に
芯出しすることができる。そして、支持部に支持されて
回転させられるウエーハの直径を計測する直径計測部を
設けた場合には、ウエーハの直径検査を欠陥検査と同時
に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す要部斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す正面図である。

【図４】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す左側面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す平面図である。

【図６】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
を示す背面図である。

【図７】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
の支持部を示す正面図である。

【図８】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
の支持部を示す平面図である。

【図９】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装置
の支持部において支承盤の支承フィンガを示す拡大図で
ある。

【図１０】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置のウエーハ搬送部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は
正面図である。

【図１１】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置のウエーハ搬送部の係合部を示す拡大斜視図である。

【図１２】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置が検査するウエーハの周端縁の構造を示す図である。

【図１３】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置が検査するウエーハのノッチの構造を示し、（ａ）は
平面図、（ｂ）は正面図である。

【図１４】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置のウエーハに対する撮像カメラの配置関係を示す図で
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

【図１５】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の周端縁撮像部と周端縁照明部との関係を示す斜視図
である。

【図１６】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の周端縁撮像部と周端縁照明部との関係を示す側面図
である。

【図１７】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置において制御部の撮像データ処理部の構成を示すブロ
ック図である。

【図１８】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の表示部における周端縁の撮像データ表示画面を示す
図である。

【図１９】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の表示部におけるノッチの撮像データ表示画面を示す
図である。

【図２０】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置においてノッチの撮像画像の位置調整用の基準ウエー
ハを示す図であり、（ａ）はノッチの平面図、（ｂ）は
ノッチの正面図である。

【図２１】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置においてノッチの撮像画像の位置調整用の基準ウエー
ハに付された行列状の点を示す図である。

【図２２】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥部形状認識手段が認識する欠陥の形態を示し、
（ａ）は点欠陥部、（ｂ）は線欠陥部、（ｃ）は面欠陥
部を示す図である。

【図２３】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥部形状認識手段が認識する線欠陥部の判断手法
を示す図である。

【図２４】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥部形状認識手段が認識する点欠陥部及び面欠陥
部の判断手法を示す図である。

【図２５】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥ランク付け手段の手法を示す表図である。

【図２６】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥分布算出手段の手法を示す表図である。

【図２７】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥ランク付け手段及び欠陥分布算出手段の結果を
ウエーハとの関係で表示する表示例を示す図である。

【図２８】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の欠陥ランク付け手段及び欠陥分布算出手段の結果を
ウエーハとの関係で表示する別の表示例を示す図であ
る。

【図２９】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の直径計測部のウエーハに対する計測手法を示す図で
ある。

【図３０】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置においてノッチの撮像画像の位置調整時の手順を示す
フローチャートである。

【図３１】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置においてウエーハの検査の手順を示すフローチャート
である。

【図３２】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の支持部でのウエーハの支持位置状態を示す図であ
る。

【図３３】本発明の実施の形態に係るウエーハ用検査装
置の支持部においてウエーハの支承位置を可変にする状
態を示す工程図である。

【図３４】従来のウエーハ用検査装置の一例を示す図で
ある。

【符号の説明】

Ｗ ウエーハ Ｓ 周端縁 ＳＳ 側面 ＳＡ 上面 ＳＢ 下面 Ｎ ノッチ Ｎｔ 底部 Ｎａ 側部 Ｎｂ 側部 １０ 支持部 １１ 基台 １２ 支承フィンガ １３ 支承盤 １３ａ 中心軸 １４ モータ １５ ベルト伝導機構 １６ 駆動部 １７ 支承面 ２０ 支承位置可変機構 ２２ 担持フィンガ Ｘａ 担持位置 Ｘｂ 受渡位置 ２３ 担持盤 ２４ エアシリンダ装置 ２５ 移動機構 ２６ 支承面 ３０ ウエーハ搬送部 ３１ 貯留部 ３２ 係合部 Ｙａ 把持位置 Ｙｂ 把持解除位置 ３３ 把持ハンド ３４ 支持面部 ３５ 規制面部 ３６ 弾接体 ３６ａ 当接部材 ３６ｂ 板バネ ３７ エアシリンダ装置 ４０ 周端縁撮像部 ４１ 撮像カメラ ４１（ＳＳ） 側面用撮像カメラ ４１（ＳＡ） 上面用撮像カメラ ４１（ＳＢ） 下面用撮像カメラ ４２ 周端縁照明部 ４３ 光ファイバ ５０ ノッチ撮像部 ５１ 撮像カメラ ５１（ＳＳ（Ｎｔ）） 底部側面撮像カメラ ５１（ＳＡ（Ｎｔ）） 底部上面撮像カメラ ５１（ＳＢ（Ｎｔ）） 底部下面撮像カメラ ５１（ＳＳ（Ｎａ）） 一方側部側面撮像カメラ ５１（ＳＳ（Ｎｂ）） 他方側部側面撮像カメラ ５２ ノッチ照明部 ５４ ドーム照射体 ５５ スリット ５６ 平面照射体 ６０ 直径測定部 ６１ 光センサ ７０ 制御部 ７１ 撮像データ処理部 ７２ 表示部 ７３ 周端縁表示手段 ７４ スクロール手段 ７５ ノッチ表示手段 ７６ 画像範囲設定手段 ７７ 位置判別印 ８０ 欠陥部認識手段 ８１ 欠陥部座標表示手段 ８２ 欠陥部形状認識手段 ８３ 欠陥部形状表示手段 ８４ 欠陥部面積算出手段 ８５ 欠陥部面積表示手段 ８６ 欠陥部外接矩形大きさ算出手段 ８７ 欠陥部外接矩形大きさ表示手段 ８９ 欠陥部密度算出手段 ９０ 欠陥部密度表示手段 ９１ 欠陥部輝度算出手段 ９２ 欠陥部輝度表示手段 ９３ ウエーハ良否判定手段 ９４ ウエーハ良否表示手段 １００ 欠陥ランク付け手段 １０１ 欠陥分布算出手段 １０３ データ格納手段 １０４ 直径表示手段 １０５ 直径良否判定手段 １１１ スクロールバー １１２ 角度位置表示欄 １２０ 欠陥位置 １２１ 欠陥座標 １２２ 欠陥種類 １２３ 面積 １２４ 長軸長、短軸長 １２５ 欠陥輝度 １２６ 欠陥密度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西風館 広幸 東京都中央区日本橋本町１丁目８番16号 本多エレクトロン株式会社内 (72)発明者 遊田 博明 東京都中央区日本橋本町１丁目８番16号 本多エレクトロン株式会社内 (72)発明者 田邊 淳 新潟県北蒲原郡聖籠町東港６−861−５ 新潟東芝セラミックス株式会社内 (72)発明者 磯貝 宏道 新潟県北蒲原郡聖籠町東港６−861−５ 新潟東芝セラミックス株式会社内 (72)発明者 泉妻 宏治 新潟県北蒲原郡聖籠町東港６−861−５ 新潟東芝セラミックス株式会社内 Ｆターム(参考） 4M106 AA01 BA04 CA38 DB01

Claims (40)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円盤状のウエーハを回転可能に支持する
   支持部と、該支持部に支持されて回転させられるウエー
   ハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と、該周端
   縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備
   えたウエーハ用検査装置において、 上記周端縁撮像部を、上記ウエーハの周端縁の厚さ方向
   の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構
   成したことを特徴とするウエーハ用検査装置。
2. 【請求項２】 上記撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向
   に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成したこ
   とを特徴とする請求項１記載のウエーハ用検査装置。
3. 【請求項３】 上記ウエーハの周端縁がウエーハの面に
   対して略直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りさ
   れた上面及び下面を備えて構成された場合、上記側面，
   上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に
   対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像
   カメラ及び下面用撮像カメラを備えたことを特徴とする
   請求項１または２記載のウエーハ用検査装置。
4. 【請求項４】 上記各撮像カメラを、該各撮像カメラの
   撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像
   し得るように配置したことを特徴とする請求項１，２ま
   たは３記載のウエーハ用検査装置。
5. 【請求項５】 上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁
   照明部を設け、該周端縁照明部を、上記ウエーハの周端
   縁の厚さ方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し
   該円弧の中心に向けて収束するように照射光を放光する
   光ファイバの集合体を備えて構成するとともに、上記各
   撮像カメラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反
   射光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴
   とする請求項４記載のウエーハ用検査装置。
6. 【請求項６】 上記制御部を、撮像データ処理部と、Ｃ
   ＲＴ等の表示部とを備えて構成し、上記撮像データ処理
   部を、上記周端縁撮像部の複数の撮像カメラで撮像した
   ウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせ
   て上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構
   成したことを特徴とする請求項１，２，３，４または５
   記載のウエーハ用検査装置。
7. 【請求項７】 上記撮像データ処理部を、上記周端縁表
   示手段によって表示されたウエーハの周端縁の画像をウ
   エーハの周端縁の周方向に沿ってスクロールするスクロ
   ール手段を設けて構成したことを特徴とする請求項６記
   載のウエーハ用検査装置。
8. 【請求項８】 上記撮像データ処理部を、ウエーハの周
   端縁の画像データから基準にする基準輝度に対して所定
   以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥
   部認識手段と、該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上
   記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて
   構成したことを特徴とする請求項６または７記載のウエ
   ーハ用検査装置。
9. 【請求項９】 上記欠陥部座標表示手段を、ウエーハの
   周端縁の周方向に沿う角度座標を表示する角度座標表示
   機能と、ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う相対位置を
   表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成したこと
   を特徴とする請求項８記載のウエーハ用検査装置。
10. 【請求項１０】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状
    認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上
    記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成し
    たことを特徴とする請求項８または９記載のウエーハ用
    検査装置。
11. 【請求項１１】 上記欠陥部形状認識手段を、予め定め
    られたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠
    陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成
    したことを特徴とする請求項１０記載のウエーハ用検査
    装置。
12. 【請求項１２】 上記各撮像カメラの撮像面毎に、点欠
    陥部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で
    算出する欠陥分布算出手段を備えたことを特徴とする請
    求項１１記載のウエーハ用検査装置。
13. 【請求項１３】 上記各撮像カメラの撮像面毎に、点欠
    陥部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位で
    ランク付けする欠陥ランク付け手段を備えたことを特徴
    とする請求項１２記載のウエーハ用検査装置。
14. 【請求項１４】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積
    算出手段と、該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上
    記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさ
    を算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と、該欠陥部
    外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部
    に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構
    成したことを特徴とする請求項８，９，１０，１１，１
    ２または１３記載のウエーハ用検査装置。
15. 【請求項１５】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    面積算出手段が算出した欠陥部の面積と、欠陥部外接矩
    形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから欠
    陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥部
    密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表
    示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成したことを特
    徴とする請求項１４記載のウエーハ用検査装置。
16. 【請求項１６】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部
    輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥
    部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手
    段とを備えて構成したことを特徴とする請求項８，９，
    １０，１１，１２，１３，１４または１５記載のウエー
    ハ用検査装置。
17. 【請求項１７】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの
    良否を判定する良否判定手段と、該良否判定手段が判定
    した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエー
    ハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請
    求項８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５また
    は１６記載のウエーハ用検査装置。
18. 【請求項１８】 上記ウエーハの周端縁に底部及び両側
    部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある場合、
    該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け、上記制御部に
    該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を
    備えて構成し、上記ノッチ撮像部を、上記ノッチの厚さ
    方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置し
    て構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，
    ５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，
    １５，１６または１７記載のウエーハ用検査装置。
19. 【請求項１９】 上記撮像カメラを面状に撮像するエリ
    アセンサで構成したことを特徴とする請求項１８記載の
    ウエーハ用検査装置。
20. 【請求項２０】 上記ノッチがウエーハの面に対して略
    直角な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面
    及び下面を備えて構成された場合、上記撮像カメラを、
    上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向
    を略直角に対面させて夫々配置したことを特徴とする請
    求項１８または１９記載のウエーハ用検査装置。
21. 【請求項２１】 上記ノッチの底部の側面に対応した底
    部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮
    像カメラ，該底部の下面に対応した底部下面撮像カメ
    ラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一方側部
    側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応
    した他方側部側面撮像カメラを備えたことを特徴とする
    請求項２０記載のウエーハ用検査装置。
22. 【請求項２２】 上記ノッチを照明するノッチ照明部を
    設け、該ノッチ照明部を、上記ノッチに向けて照射光を
    放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとと
    もに、上記各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光
    が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し
    たことを特徴とする請求項１８，１９，２０または２１
    記載のウエーハ用検査装置。
23. 【請求項２３】 上記ノッチを照明するノッチ照明部を
    設け、該ノッチ照明部を、上記ノッチに向けて照射光を
    放光する発光ダイオードの集合体を備えて構成するとと
    もに、上記各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光
    が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置
    し、上記底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに
    夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドー
    ム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて照射光を放光
    するドーム照射体と、上記底部側面撮像カメラ，一方側
    部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面
    が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の
    照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射光を放光する
    平面照射体とを備えて構成したことを特徴とする請求項
    ２１記載のウエーハ用検査装置。
24. 【請求項２４】 上記制御部を、撮像データ処理部と、
    ＣＲＴ等の表示部とを備えて構成し、上記撮像データ処
    理部を、上記ノッチ撮像部の複数の撮像カメラで撮像し
    たノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示
    手段を設けて構成したことを特徴とする請求項１８，１
    ９，２０，２１，２２または２３記載のウエーハ用検査
    装置。
25. 【請求項２５】 上記撮像データ処理部を、上記表示部
    に表示される各撮像カメラに対応するノッチの画像の最
    適画像範囲を、基準位置を基準にして設定する画像範囲
    設定手段を備えて構成したことを特徴とする請求項２４
    記載のウエーハ用検査装置。
26. 【請求項２６】 上記基準位置を、各撮像カメラに対応
    してノッチの表面に行列状の点を付した基準ウエーハを
    撮像し、該撮像画面の行列状の点に基づいて決定するこ
    とを特徴とする請求項２５記載のウエーハ用検査装置。
27. 【請求項２７】 上記撮像データ処理部を、ノッチの画
    像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝
    度差のあるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手
    段と、該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部
    に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成した
    ことを特徴とする請求項１８，１９，２０，２１，２
    ２，２３，２４，２５または２６記載のウエーハ用検査
    装置。
28. 【請求項２８】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状
    認識手段と、該欠陥部形状認識手段が認識した形状を上
    記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成し
    たことを特徴とする請求項２７記載のウエーハ用検査装
    置。
29. 【請求項２９】 上記欠陥部形状認識手段を、予め定め
    られたしきい値に基づいて点欠陥部，線欠陥部及び面欠
    陥部のいずれかに区分けして認識する機能を備えて構成
    したことを特徴とする請求項２８記載のウエーハ用検査
    装置。
30. 【請求項３０】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積
    算出手段と、該欠陥部面積算出手段が算出した面積を上
    記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさ
    を算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と、該欠陥部
    外接矩形大きさ算出手段が算出した大きさを上記表示部
    に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構
    成したことを特徴とする請求項２７，２８または２９記
    載のウエーハ用検査装置。
31. 【請求項３１】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    面積算出手段が算出した欠陥部の面積と上記欠陥部外接
    矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の大きさとから
    欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と、該欠陥
    部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に
    表示する欠陥部密度表示手段とを備えて構成したことを
    特徴とする請求項３０記載のウエーハ用検査装置。
32. 【請求項３２】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部
    輝度算出手段と、該欠陥部輝度算出手段が算出した欠陥
    部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手
    段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２７，２
    ８，２９，３０または３１記載のウエーハ用検査装置。
33. 【請求項３３】 上記撮像データ処理部を、上記欠陥部
    認識手段が認識した欠陥部に基づいて、当該ウエーハの
    良否を判定するウエーハ良否判定手段と、該ウエーハ良
    否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部
    に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したこ
    とを特徴とする請求項２７，２８，２９，３０，３１ま
    たは３２記載のウエーハ用検査装置。
34. 【請求項３４】 上記支持部を、中心軸を回転中心とし
    て回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上
    記ウエーハの周端縁を支承する複数の支承フィンガを備
    えた支承盤と、該支承盤を回転させる駆動部とを備えて
    構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，
    ６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１
    ５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２
    ３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３
    １，３２または３３記載のウエーハ用検査装置。
35. 【請求項３５】 上記支承フィンガを、上記中心軸側に
    向けて下に傾斜する上記ウエーハの周端縁を支承する支
    承面を備えて構成したことを特徴とする請求項３４記載
    のウエーハ用検査装置。
36. 【請求項３６】 上記支持部を、上記支承盤の支承フィ
    ンガに支承されたウエーハの支承位置を可変にする支承
    位置可変機構を備えて構成したことを特徴とする請求項
    ３４または３５記載のウエーハ用検査装置。
37. 【請求項３７】 上記支承位置可変機構を、上記支承盤
    と同軸の中心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心
    軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を担持可
    能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担持フィン
    ガを上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって
    該ウエーハを担持して持ち上げる担持位置及び該支承フ
    ィンガより下位の位置であって該ウエーハを上記支承フ
    ィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可能な担持盤
    と、該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移
    動させる移動機構とを備えて構成したことを特徴とする
    請求項３６記載のウエーハ用検査装置。
38. 【請求項３８】 ウエーハの貯留部から検査対象のウエ
    ーハを搬送して上記支持部の支承盤の支承フィンガに該
    ウエーハを芯出しして支承させるウエーハ搬送部を備え
    たことを特徴とする請求項３４，３５，３６または３７
    記載のウエーハ用検査装置。
39. 【請求項３９】 上記ウエーハ搬送部を、該ウエーハの
    周端縁に係合する係合部を備えるとともに該係合部を係
    合させて該ウエーハを該ウエーハの面方向に挾持して把
    持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２
    位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成
    し、上記係合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する
    弾接体を設けたことを特徴とする請求項３８記載のウエ
    ーハ用検査装置。
40. 【請求項４０】 上記支持部に支持されて回転させられ
    るウエーハの直径を計測する直径計測部を設けたことを
    特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，
    ９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１
    ７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２
    ５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２，３
    ３，３４，３５，３６，３７，３８または３９記載のウ
    エーハ用検査装置。