JP5020483B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
そのために以下の手段を行う。
1)イオンビームの光軸と電子ビームの光軸を交差させて、その交点付近に微小サンプルを搭載することにより、薄膜加工とSTEM分析とを、サンプルの向きを変えるだけで同じ搭載位置で行うことができる。従って、薄膜加工とSTEM分析とを、異なる装置で行う場合に比べて、薄膜加工の後であってSTEM分析を行うまでの間に、サンプルを別の搭載位置に移送する作業が不要となり、操作性が良くなる。
FIB:Focused Ion Beam 収束イオンビーム装置
SEM:Scanning Electron Microscope 走査電子顕微鏡
TEM: Transmission Electron Microscope 透過電子顕微鏡
STEM:Scanning Transmission Electron Microscope 走査透過電子顕微鏡
SIM:Scanning Ion Microscope 走査イオン顕微鏡
EDX:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy エネルギー分散型X線分光
MEMS:Micro Electro Mechanical Systems マイクロマシン
Claims (7)
- 電子ビームを発生する電子源及び該電子源を有する第1の光学系と、
前記電子ビームと交差するイオンビームを発生する位置に設けられたイオン源及び該イオン源を有する第2の光学系と、
前記電子ビームと前記イオンビームとが交差する位置又はその近傍の位置である第1の位置に微小試料を配置する第1の試料搭載手段と、
前記第1の位置よりも前記イオン源又は前記電子源のうちの少なくとも一方と反対側の位置である第2の位置に試料を配置する第2の試料搭載手段と、
前記第1の試料搭載手段を前記第1の位置から前記微小試料が前記電子ビーム又は前記イオンビームの通過を妨げない位置に移動させる第1の移動手段と、
前記第1の位置に配置された微小試料に前記電子ビーム又は前記イオンビームが照射されることにより得られる反射電子又は二次電子を検出する第1の荷電粒子検出器と、
前記第1の位置から前記電子ビーム又は前記イオンビームのいずれか一方のビームを直列的に前記第2の位置に導く第3の光学系と、
前記第2の位置に配置された試料に前記電子ビーム又は前記イオンビームが照射されることにより得られる反射電子又は二次電子を検出する第2の荷電粒子検出器と、
前記第1の移動手段により前記微小試料を前記第1の位置から移動させた際に、前記一方のビームと異なる他方のビームを前記第3の光学系に導く偏向器と、
を有し、
前記第1の光学系は、前記電子源から発生した前記電子ビームを前記第1の試料搭載手段の前記第1の位置に配置された前記微小試料に焦点を合わせる第1の対物レンズを備え、
前記第2の光学系は、前記イオン源から発生した前記イオンビームを前記第1の試料搭載手段の前記第1の位置に配置された前記微小試料に焦点を合わせる第2の対物レンズを備える
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記微小試料を前記電子ビームが透過する位置に配置されるSTEM検出器を備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の荷電粒子検出器により、SEM像又はSIM像を取得できることを特徴とする請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の試料搭載手段を、前記第1の位置と前記第2の位置との間を移動させる第2の移動手段を備えることを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の試料搭載手段に微小試料傾斜ステージを備えたことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記微小試料が前記試料を前記イオンビームにより加工して形成された試料であること
を特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。 - 電子ビームを発生する電子源と、
前記電子ビームと交差するイオンビームを発生する位置に設けられたイオン源と、
前記電子ビームと前記イオンビームとが交差する位置又はその近傍の位置である第1の位置に微小試料を配置する第1の試料搭載手段と、
前記第1の位置よりも前記イオン源又は前記電子源のうちの少なくとも一方と反対側の位置である第2の位置に試料を配置する第2の試料搭載手段と、
前記第1の試料搭載手段を前記第1の位置から前記微小試料が前記電子ビーム又は前記イオンビームの通過を妨げない位置に移動させる第1の移動手段と、
前記第1の位置からのビーム反射位置に配置される第1の荷電粒子検出器と、
前記第2の位置からのビーム反射位置に配置される第2の荷電粒子検出器と、
前記第1の移動手段により前記微小試料を前記第1の位置から移動させた際に、前記電子ビーム又は前記イオンビームのいずれか一方のビームを前記第2の位置に導く偏向器と、
を有し、
前記電子源を含む第1の光学系は、前記電子源から発生した前記電子ビームを前記第1の試料搭載手段の前記第1の位置に配置された前記微小試料に焦点を合わせる第1の対物レンズを備え、
前記イオン源を含む第2の光学系は、前記イオン源から発生した前記イオンビームを前記第1の試料搭載手段の前記第1の位置に配置された前記微小試料に焦点を合わせる第2の対物レンズを備える
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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