WO2001022443A1 - Bobine d'inductance multicouche et procede de fabrication de ladite bobine d'inductance - Google Patents

Description

明 糸田 積層ィ ン ダク 夕 お よ びその製造方法 技術分野

本発明は、 移動通信機器等の高周波回路に使用 さ れる イ ン ダ ク タ に関 し、 特に、 小型化、 高周波化 を図 っ た積層イ ン ダク 夕 お よびその製造方法に関する も のであ る。 背景技術

図 1 4 ( a ) ， ( b ) に示すよ う に、 積層イ ン ダク タ 1 は プ リ ン ト 配線基板等に表面実装可能なチ ッ プ部品であ っ て、 チ ッ プ 両端に外部回路 との接続用 に端子電極 4， 5 を形成 し、 チ ッ プ 内部のコ ィ ル 3 の端部が外部 に引 き 出されて接続さ れる構成で め る 。 尚、 このコ イ ルは、 磁性体あ る いは非磁性体に よ る 電気 絶縁層 2 と導体パタ ーン を交互に積層 し、 各導体パタ ー ンの端 部を順次接続する こ と に よ り 積層方向に重畳 し た形で形成され て い る 。

そ して、 表面実装の際の端子電極 4 ， 5 の半田付け性はチ ッ プ部品の信頼性を大き く 左右す る も のであ る か ら 、 接着強度を 的確に確保する ため端子電極 4 , 5 は図示の よ う にチ ッ プ端面 を包み込む よ う に してチ ッ プ側面お よびチ ッ プ上下面に亘 り 箱 状に広 く 形成さ れて い る

と こ ろで、 こ の箱状の電極構造では、 その端部がコ イ ル 3 方 向 （チ ッ プの内側方向） に張 り 出 して い る ためコ ィ ノレ 3 と端子 電極 4 ， 5 が接近 し、 比較的電位差の大き い コ ィ ル部分 （図 1 4 ( b ) の右上 と左下の部分） と端子電極 4， 5 と の間に浮遊 容量 C が発生 し易 く 、 こ の浮遊容量 C が影響 して共振周波数が 思 う よ う に高ま ら ず、 且つ、 コ イ ルの Q値 も低下す る ため、 高 周波化が難 しい と い う 問題があ っ た。 特に、 近年、 P C や L A N等の普及に伴 っ て 2 G H z を越え る超高周波帯での需要 も 高 ま る 中で、 チ ッ プ型の積層ィ ン ダク 夕 において も 共振周波数の ア ッ プに よ る 更な る 高周波化が必須 と な っ て き て い る 。

ま た、 浮遊容量を低下さ せ る に は端子電極 4 ， 5 の張 り 出 し を極力小さ く 形成すれば良いが、 従来、 上記端子電極 4， 5 の 形成において は、 端子用のペース ト を所定の深さ に してチ ッ プ 端をデ ィ ッ プす る と い つ た複雑な方法 （ デ ィ ッ プ法） が採 ら れ て い る ため、 ペース 卜 の滲み等が原因 して高い寸法精度が得 ら れない こ と か ら 小さ な電極を形成する こ と が困難であ り 、 しか も 、 端子電極の張 り 出 し部分を小さ く す る と部品実装時の接着 強度が低下 して し ま う と い っ た別の弊害が発生す る 。

ま た、 デ ィ ッ プの際はチ ッ プを支持する 、 チ ッ プ自体の部分 が必要 と な る が、 チ ッ プサイ ズが 0 6 0 3 タ イ プ （ 0 . 6 m m X 0 . 3 m m X 0 . 3 m m ) と い っ た超小型サイ ズになる とチ ッ プ自体に支持部分を確保する余裕が殆 ど無 く な る ため、 超小 型化に対応する には上記のよ う な電極構造がネ ッ ク と な っ て い た。 こ の よ う に、 従来の積層イ ン ダク 夕 は近年の小型化、 薄型 化、 高速化に対応 して い く 上で、 性能面や信頼性の面、 あ る い は製造上の面で大き な問題を抱えて いた。 発明の開示

本発明は、 上記従来の問題を解消 し、 改良さ れたイ ンダク 夕 を提供する こ と を主た る 目的 と す る も ので あ る 。

本発明の別の 目的は、 コ イ ル と端子電極間の浮遊容量を低減 して高周波化を 図る こ と の可能な新規な イ ン ダク ト を提供する こ と で あ る 。 本発明の更に別の 目 的は、 チ ッ プ実装時の接着強度 を確保 し た超小型化対応の積層 ィ ン ダク 夕 を提供す る こ と であ る 。

更に、 本発明の別の 目 的は、 上記改良さ れた イ ン ダク 夕 を形 成する ための新規な製造方法 を提供す る こ と で あ る 。

本発明の第 1 の態様に よ れば、 電気絶縁層 と 導体パ タ ー ンが 交互に積層され、 各導体パ タ ーンの端部が順次接続さ れて 電気 絶縁層体 （ 2 ) 中 に積層方向 に重畳 し た コ イ ル （ 3 ) が形成さ れる と 共に、 当該コ イ ル （ 3 ) の始端お よび終端が引 き 出され て チ ッ プ両端の端子電極 （ 4 , 5 ) に接続さ れた積層 イ ン ダク 夕 （ 1 ) において、 前記端子電極を、 チ ッ プ側面 （ 1 c ) を除 き、 少な く と も 前記コ イ ルが接続さ れ る チ ッ プ端面 （ I d ) と チ ッ プ下面 （ l b ) に形成 し た イ ン ダク 夕 であ る 。

上記構成において、 前記端子電極 （ 4 , 5 ) を上記チ ッ プ端 面 とチ ッ プ下面だけでな く 、 チ ッ プ上下面 （ 1 a ， l b ) に も 形成 し たィ ン ダク 夕 と す る こ と がで き る 。

図 3 はチ ッ プの上面 と側面部分の端子電極を 無 く し た場合、 図 4 はチ ッ プ側面部分の端子電極を無 く し た場合であ る 。 本電 極構成では、 何れも従来型に比べコ イ ル と端子電極の張 り 出 し 部 との近接を少な く で き、 こ れに よ り コ イ ル と端子電極間の浮 遊容量が低減さ れる か ら 高周波化が図れる 。

本発明の第 2 の態様において、 チ ッ プ上下面 （ l a , l b ) の端子電極 （ 4 ， 5 ) は積層工程において形成す る よ う に した。

こ の よ う に、 コ イ ルを形成する 一連の積層工程の中でチ ッ プ 上下面の端子電極を形成す る こ と に よ り 、 従来行われて い たデ ィ ッ プ法に よ る端子電極形成工程は、 端子電極幅の寸法精度が 低 く 、 且つ設備が非常に高価であ つ たが、 本発明に よ り 電極べ —ス ト 塗布は接続導体が接続さ れる 面にのみに行 う だ けで良い た め、 ペース 卜 の回 り 込みに よ り 端子電極幅を制御す る高価な 装置を必要 と せず、 工程が容易に な り コ ス 卜 の低減化が図れる ま た、 本発明の第 3 の態様にお いて 、 チ ッ プ上面の端子電極 面をチ ッ プ下面の端子電極面 よ り 小さ く 形成 し た。

こ こ で、 電気特性の測定は、 チ ッ プ上面 に測定端子を 当てて 測定を行 う 方法が一般的であ る た め、 チ ッ プ上面の端子電極は その測定端子を 当て る に は好都合で あ る が、 そ の半面、 余分な 浮遊容量が発生する 。 そ こ で、 図 5 の よ う に チ ッ プ上面の端子 電極面をチ ッ プ下面 よ り 小さ く 形成す る こ と に よ り 、 上面電極 に よ る 測定端子の接触性を維持 し た ま ま、 浮遊容量の影響を 少 な く す る よ う に し た 。 こ れに よ り 共振周波数を高 く で き、 コ ィ ルの Q値 も 改善で き る 。

ま た、 本発明の第 4 の態様において、 コ イ ルの上端部が電気 絶縁物 と して非磁性体を使用 し方向性マー カーが必要な場合、 引 き 出される側のチ ッ プ上面の端子電極面 を も う 一方のチ ッ プ 上面の端子電極面よ り 大 き く 形成 し、 コ イ ル捲 き 出 し方向の 目 安 と し た。

所謂、 導体間の浮遊容量は両者の電位差が大 き いほ ど顕著で あ る か ら 、 チ ッ プ上面に端子電極を形成す る場合、 電位差の小 さ い引 出パ タ ー ンのあ る側の端子電極を電位差の大き い も う 一 方の端子電極よ り 大 き く して も 浮遊容量の増加は殆 ど無い。 図 6 はチ ッ プ上面に形成 し た左右端子電極の大 き さ の相違を示 し て い る 。 こ の よ う に、 チ ッ プ上面の端子電極の大き さ を変え る こ とで コ イ ルの卷出 し方向を判別で き る よ う に し た。 こ れに よ り 、 方向マーカ の形成工程が不要 と な り 工数の削減が図れる 。 し か も 、 上記 し た理由 に よ っ て コ イ ルの特性劣化は生 じない。 以上の説明で は、 チ ッ プ上面の端子電極 と コ イ ル間の浮遊容 量を減少さ せる も のであ る が、 チ ッ プ下面 と の間に は依然 と し て 浮遊容量が存在 して い る 。 こ れは、 実装時の接着強度を確保 す る た めチ ッ プ下面の端子電極の張 り 出 し を余 り 小さ く で き な か っ た た めであ る。

そ こ で、 本発明の別の態様では、 図 7 に示す よ う に、 端子電 極が小 さ く 浮遊容量の影響の少な いチ ッ プ上面に寄せて コ イ ル を形成 し、 チ ッ プ下面 と の距離を大 き く す る こ と に よ り 、 接着 強度を確保 し た大き な端子電極の ま ま で浮遊容量の低減を 図 つ た 。 即 ち、 本発明の第 5 の態様において、 コ ィ ノレ をチ ッ プの上 部に寄せて形成 し、 コ イ ル と チ ッ プ下面の端子電極 と の距離を 確保す る よ う に した。

ま た、 本発明の第 6 の態様では、 端子電極が非形成のチ ッ プ 側面に 向けて コ イ ル を広げて形成する と共に、 当該コ イ ルがチ ッ プ側面よ り 露出す る場合はその露出部分を絶縁処理 して構成 し た。

図 8 〜図 1 0 に示すよ う に、 端子電極が無 く 浮遊容量の発生 が少な いチ ッ プ側面方向 にコ イ ル を広げ、 コ イ ル面積を拡大す る こ と に よ り 、 共振周波数を高 く 維持 し た ま ま でイ ン ダク タ ン ス値 （ L値） を高 く す る こ と がで き る 。 ま た、 同 じ L値を 少な い巻き数で実現で き る か ら、 その分コ イ ル形成工程を 削減で き る 。

ま た、 コ イ ルを大幅に広げて そ の側部をチ ッ プ側面に露出さ せた場合は、 信頼性確保のた め露出部分を樹脂等で絶縁処理す る と良い。

さ ら に、 本発明の第 7 の態様 と して は、 新規な製造方法 を提 供す る も のであ り 、

電気絶縁層 （ 1 ) を 間 に介 し、 同一平面状に配置さ れた複数 の導体パタ ー ン を順次積層 して一度に複数個のコ イ ル （ 3 ) を 形成 し た積層 ブロ ッ ク （ 2 1 ) を形成 し、

当該積層 ブロ ッ ク （ 2 1 ) を前記コ イ ル （ 3 ) の引 出パ 夕 一 ンが露出す る 方向に切断 し て複数個の ブロ ッ ク チ ッ プ （ 2 2 ) を形成 し、

当該ブロ ッ ク チ ッ プ （ 2 2 ) の両切断面 （ 2 2 a , 2 2 b ) 側に導体層 （ 2 4 , 2 5 ) を形成 し、

その後、 当該 ブロ ッ ク チ ッ プ （ 2 2 ) を チ ッ プ単位に切断す る ステ ッ プを有する も ので あ る 。

上記方法では、 細長形状の ブロ ッ ク チ ッ プの状態で電極形成 を行う も のであ り 、 その際、 チ ッ プ支持部分を確保で き る こ と か ら、 超小型チ ッ プの電極形成に有効であ る 。 更に、 通常のデ ィ ッ プ法 と は異な り 、 側面の端子電極幅を制御する 必要はな く 上下面電極あ る いは下面電極に接続すれば よ い。

ま た、 本発明の第 8 の態様 におけ る新機構造の積層イ ン ダク 夕 は次の構成を有す る も ので あ る 。

即ち、 電気絶縁層 と導体パ タ ー ンが交互に積層され、 各導体 パター ンの端部が順次接続さ れて 電気絶縁層体 （ 2 ) 中に積層 方向に重畳 した コ イ ル （ 3 ) が形成さ れる と共に、 当該コ イ ル ( 3 ) の始端お よび終端が引 き 出 さ れてチ ッ プ両端の端子電極 ( 4 , 5 ) に接続さ れた積層イ ン ダク 夕 （ 1 ) で あ っ て、 前記端子電極が、 前記コ イ ルが接続さ れる チ ッ プ端面 と チ ッ プ下面に形成さ れ、

前記チ ッ プ端面の周 り の面に端子電極を形成す る 際の回 り 込 み導体層が形成さ れて い る こ と を特徴 と す る も のであ る 。

上記の回 り 込み導体層 に よ り 、 チ ッ プ端面の電極と チ ッ プ下 面の電極と の接続が よ り 確実 と な り 、 且つ測定時に上面回 り 込 み電極部に測定端子を 当 て る こ と が可能 と な る 。 こ の回 り 込み 導体層の被 り 量は小さ い方が良いが、 5 0 〜 1 0 0 〃 mと する のが好適であ る 。

ま た、 本発明の第 9 の態様 にお いて、 前記チ ッ プ下面の端子 電極は積層工程時に形成さ れ、 且つ、 チ ッ プ端面の端子電極は 焼成後、 各々チ ッ プの角取 り を行 っ た後に形成さ れる こ と を特 徴 と す る も ので あ る 。

上記の よ う に チ ッ プの角取 り を行 う こ と に よ り 、 チ ッ プ取 り 扱い時の引 つ かか り を防止で き る 。 ま た、 角取 り を行 っ て も 上 記回 り 込み導体層の被 り に よ り 、 チ ッ プ端面の電極 と チ ッ プ上 下面の電極は確実に接続される 。 図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明に係 る積層ィ ン ダク 夕 の内部構造を示す外観 透視図であ る 。

図 2 ( a ) 〜図 2 ( j ) は、 図 1 に示す積層イ ン ダク タ の製 造方法を示す工程図であ る 。

図 3 は本発明 に係 る積層イ ン ダク 夕 を示す図で、 図 3 ( a ) は外観斜視図、 図 3 ( b ) は側面図で あ る 。

図 4 は図 3 と は別の積層イ ン ダク 夕 を示す図で、 図 4 ( a ) は外観斜視図、 図 4 ( b ) は側面図で あ る 。

図 5 は本発明の一実施例に よ る端子電極の形状を示す積層ィ ン ダク 夕 の側断面図で あ る 。

図 6 は本発明の別の実施例に よ る構造を示す も のであ り 、 図 5 と は別の端子形状を示す積層ィ ン ダク 夕 の側断面図であ る 。 図 7 は本発明の更に別の実施例 に よ る構成で あ っ て、 コ イ ル の形成位置を示す積層ィ ン ダク 夕 の側断面図で あ る 。

図 8 は本発明の実施例 に よ る コ イ ルの形状を示す積層イ ン ダ ク タ の平透視図であ る 。

図 9 は図 8 と は別のコ イ ルの形状を示す図で、 図 9 ( a ) は 平透視図、 図 9 ( b ) は側断面図であ る 。

図 1 0 は図 9 と は別の コ イ ルの形状を示す平透視図であ る 。 図 1 1 ( a ) 〜図 1 1 ( i ) は積層イ ン ダク 夕 の ブロ ッ ク よ り チ ッ プを作製する 工程を示す図で あ る 。

図 1 2 は積層イ ン ダク 夕 の周波数特性を 示す図であ る 。

図 1 3 は電極形成時の導体の回 り 込みを示す図で、 図 1 3

( a ) は外観透視図、 図 1 3 ( b ) は要部側断面図で あ る 。

図 1 4 は従来の積層イ ン ダク 夕 ン ス を示す図で、 図 1 4

( a ) は外観斜視図、 図 1 4 ( b ) は側断面図であ る 。 発明 を実施す る ための最良の形態

以下、 図面に よ り 本発明の第 1 実施形態を説明する 。 尚、 説 明を簡略化す る ため、 以下の説明 において従来 と共通する 部分 について は同一の符号を用いた。

図 1 に示す よ う に、 本発明の積層イ ン ダク 夕 1 は、 磁性体あ る いは非磁性体よ り 成る 電気絶縁層 と 導体パタ ー ン を交互に積 層する と 共に、 積層 さ れた複数の導体パタ ー ン を各々接続 して 電気絶縁層体 2 中 に積層方向に重畳す る コ イ ル 3 を形成 し、 こ のコ イ ル 3 の両端をチ ッ プ両端の端子電極 4 , 5 に引 き 出 して 構成さ れた直方体状の積層チ ッ プであ る 。 こ こ で、 符号 6 は電 気絶縁層 に非磁性体を使用 し た場合のチ ッ プ上面に形成さ れた 方向マーカ であ る 。

本実施形態の コ イ ル構造は従来型 と ほぼ同 じであ る が、 チ ッ プ両端に形成 し た端子電極 4 , 5 の形状や構造が相違 して い る < 即ち、 従来型がチ ッ プ両端を包み込む よ う に して チ ッ プ側面 1 c お よびチ ッ プ上面 1 a お よび下面 1 b に亘つ て箱形の端子電 極 4 ， 5 を形成 して い る の に対 し、 本発明ではチ ッ プ側面 1 c の端子電極を無 く し た点において従来構造 と相違する も のであ る 。

以下、 図 2 の工程図に基づいて上記積層 イ ン ダク 夕 1 のコ ィ ル形成方法を説明する 。 尚、 コ イ ル形成方法 と して、 セ ラ ミ ツ ク ス を シ一 ト 上に形成 して行 う シ ー ト 積層法や電気絶縁層 と 内 部導体パ タ ー ン を全て ス ク リ ー ン 印刷 にて形成す る 印刷積層法 が知 ら れてお り 、 こ こ で は印刷積層法に よ り 行 う こ と と す る が 勿論シー ト 積層法に よ る形成 も 可能で あ る 。

印刷積層法に よれば、 図 2 ( a ) の よ う に、 最初に両端の端 子電極 4 b、 5 b を 印刷する 。 こ れはチ ッ プ下面部の端子電極 で あ る 。 次に、 図 2 ( b ) 〜図 2 ( h ) に示す従来通 り の印刷 積層工程を経て所定タ ー ン数の周 回 コ イ ル を形成 し た後、 図 2 ( i ) で、 チ ッ プ上面の端子電極 4 a， 5 a を 印刷 し、 最後に 図 2 ( ) で、 マーカ 6 を 印刷 し て終了す る 。 後述す る よ う に チ ッ プ下面のみの電極形成の場合は片方のみの印刷で良いか ら 図 2 ( i ) の工程は不要 と な る 。 尚、 導体ペース ト は接着強度 を持たせる ためガラ ス入 り を使用 す る と良い。

こ こ で、 上記 した従来方法に よ る コ イ ル形成の一例 を説明す れば、 先ず、 図 2 ( b ) で、 誘電体セ ラ ミ ッ ク ス 1 1 を所定の 厚さ に な る まで繰 り 返 し印刷 · 積層 し、 図 2 ( c ) で、 その上 に コ イ ルの始端を端子電極側 に引 き 出すた めの引出パタ ー ン 1 2 を印刷す る 。 次に、 図 2 ( d ) で、 その下半面を覆 う よ う に 誘電体セ ラ ミ ッ ク ス 1 1 を 印刷 し、 図 2 ( e ) で、 前記誘電体 セ ラ ミ ッ ク ス 1 1 で覆われずに露出 し た引 出パ タ ー ン 1 2 の左 端に接続する形で L 字形のコ イ ルパタ ーン 1 3 を印刷 し、 こ れ にて コ イ ルの半夕 一 ン分を形成す る 。 次に、 図 2 ( f ) で、 上 記接続部分を覆 う よ う に、 そ の （即ち、 図面の） 上半面に誘電 体セ ラ ミ ッ ク ス 1 1 を印刷 し、 図 2 ( g ) で、 露出 して い る コ ィ ルパ タ ー ン 1 3 の右端に接続す る形で新たな逆 L字形の コ ィ ルノ、'タ ー ン 1 4 を印刷 し、 コ イ ルの他方の半夕 一 ン分を形成す る 。 以降、 上記図 2 ( d ) 〜図 2 ( g ) と 同様の工程を繰 り 返 し て所定タ ー ン数の周回 コ ィ ルが形成で き る 。

以上の工程を経て複数の コ イ ルが一括形成さ れた積層 ブ口 ッ ク が形成さ れ、 こ れをチ ッ プ単位に切断 · 焼成 し た後、 各チ ッ プの両端面に端子電極 4 , 5 を形成 し、 焼 き付け ' メ ツ キ処理 を す る こ と に よ り 、 図 1 に示す積層イ ン ダク タ 1 が作製で き る こ の図ではチ ッ プ側面に全 く 電極が出て い ない よ う に書かれて い る が、 チ ッ プ単体に端子電極を作製 し た場合、 プ ロ セ ス に よ つ て は若干の電極の回 り 込みがあ る場合があ る 。

こ の よ う に、 本実施形態で は、 端子電極 4 , 5 の張 り 出 し部 分に 当 た る チ ッ プ上下面 （図 1 の l a , l b ) の電極部分 （以 下、 電極張出部 4 a、 5 a、 4 b、 5 b と い う ） を コ ィ ノレ 3 を 形成す る 際の積層工程において 印刷に よ り 形成する よ う に した ので、 コ イ ル端部が接続され る チ ッ プ両端部分の電極形成にお いて は、 従来の よ う に厚みの制御が難 し く 複雑なデ ィ ッ プ法に よ ら ず、 複数のチ ッ プを一列 に並べておいてス ク リ ー ン印刷、 ス タ ン プ印刷、 あ る いは、 ス パ ッ 夕、 蒸着あ る いは簡易的なデ ィ ッ プ法等様々 な方法で一括形成する こ と が可能 と な っ た。 こ れに よ り 、 安価で寸法精度の高い電極形成が実現で き る 。

更に、 0 6 0 3 タ イ プの よ う な超小型チ ッ プの場合は、 チ ッ プ自体を支持す る部分が殆 ど無い ため、 従来の よ う なデ ィ ッ プ 方式に よ る 電極形成は不向 き であ つ た が、 本実施形態では電極 形成に際 し、 上記 し た ス ク リ ー ン印刷、 ス タ ン プ印刷、 ス パ ッ 夕 、 蒸着等の方法を採用 する こ と に よ り 、 こ の よ う な超小型チ ッ プに も確実に対応す る こ と がで き る 。 要す る に、 チ ッ プ側面 の端子電極幅を精密に制御す る 必要が無 く 、 容易 に形成で き る のであ る 。

と こ ろで、 本発明では、 電極張出部 4 a、 5 a、 4 b、 5 b を印刷 に よ り 形成す る 方式で あ る た め、 印刷す る 電極パタ ー ン に よ っ て種々の電極構造を 自 由 に実現で き る 。 例えば、 図 4 ( a ) お よ び図 4 ( b ) の よ う にチ ッ プ上下面 l a , l b に コ の字形に電極形成す る構造の他、 図 3 ( a ) お よ び図 3 ( b ) の よ う にチ ッ プ下面 1 b のみに L字形に張 り 出 し部を形成する こ と も 簡単に行え る も のであ る 。 こ れ ら は何れも チ ッ プ側面 1 c 側に は端子電極 4 , 5 を形成 して いないか ら 、 従来型に比べ て コ イ ル 3 と電極張出端部 と の近接を極力少な く で き、 両者間 の浮遊容量を低減す る こ と がで き る 。 こ れに よ り 、 共振周波数 を高 く で き高周波化が図れる と共に、 コ イ ルの Q値も 高 く で き る 。

こ こ で、 上記 し た 図 3 ( a ) お よび図 3 ( b ) に示す本発明 品 と、 図 1 4 ( a ) お よび図 1 5 ( b ) に示す従来品 との周波 数特性を図 1 2 に示 し比較す る と、 符号 （ Y ) で示す本発明品 は符号 （ X ) で示す従来品に比べて共振周波数が高い値に推移 して い る こ と が判 っ た。 因みに、 L値が 1 O n H程度のチ ッ プ において、 従来品の共振周波数 f 0 は 3 . 7 G H z , 本発明品 の共振周波数 f 1 は 4 . 5 G H z であ っ た。

次に、 上記 し た本第 1 実施形態の応用例 を説明する 。

図 5 は図 4 ( a ) お よび図 4 ( b ) の変形例であ っ て、 チ ッ プ上面の電極張出部 4 a、 5 aのサイ ズをチ ッ プ下面の電極張 出部 4 b、 5 b よ り 小さ く し た電極構造を示 して い る 。

図 4 ( a ) お よび図 4 ( b ) の電極構造の よ う に、 チ ッ プ上 面 l a に電極張出部 4 a , 5 aが存在する と、 チ ッ プ実装時の 半田付け性を確認 し易い と い う メ リ ッ ト は有 る が、 その半面、 こ の部分で浮遊容量が発生する と い う デメ リ ッ ト も有 る。 そ こ で、 図 5 の よ う にチ ッ プ上面の電極張出部 4 a， 5 a を小さ く し、 コ イ ル 3 と の距離を確保する こ と に よ り 、 上記 し た半田付 け性確認のメ リ ッ ト を維持 し た ま ま 浮遊容量の影響を 少な く す る こ と がで き る 。

ま た、 図 6 は別の変形例で あ る 。 こ こ では、 コ イ ル 3 の上端 部が引 き 出さ れる側の電極張出部 4 a を も う 一方の電極張出部 5 a よ り 大 き く し、 その大 き さ の差を コ イ ル捲き 出 し方向の 目 安 と する こ と で、 図 2 ( j ) に示すマーカ 6 の作製工程を削除 す る よ う に した も ので あ る 。

所謂、 導体間の浮遊容量は両者の電位差が大 き いほ ど顕著で あ る か ら 、 電位差の小さ い引 き出 しパ タ ー ンのあ る端子電極 4 側はコ イ ル 3 が接近 して も 浮遊容量が発生 し難いか ら 電極張出 部 4 a を大き く 形成 し、 比較的電位差の大 きい も う 片方の電極 張出部 5 a は浮遊容量が発生 し易いか ら極力小さ く して コ イ ル 3 と の距離を確保す る構成と し た も のであ る 。 か よ う な構成で あれば、 浮遊容量の増加はないか ら コ イ ル 3 の特性劣化は生 じ ない。

と こ ろで、 上記 した実施形態は何れも チ ッ プ上面におけ る端 子電極 4 ， 5 と コ イ ル 3 との間の浮遊容量を減少する も のであ る が、 チ ッ プ下面の端子電極 4 , 5 と の間の浮遊容量は依然 と して存在 して い る 。 こ れは、 実装時の接着強度を確保する ため チ ッ プ下面の電極張出部 4 b 、 5 b を余 り 小さ く で き ない ため で あ る 。

こ の よ う な問題を解決する も の と して 図 7 に示す構成があ る c 図 7 は、 コ イ ル 3 の形成位置を極力チ ッ プの上部に寄せた構造 と して コ イ ル 3 とチ ッ プ下面の電極張出部 4 b 、 5 b と の距離 を確保する よ う に し た も のであ る 。 こ の場合、 チ ッ プ上面 と コ ィ ル 3 との距離は誘電体セ ラ ミ ッ ク ス 2 の破損等の問題を考慮 して 5 0 z m以上確保さ れて い る 。 尚、 こ の よ う なコ イ ル形成 位置の操作は図 2 ( b ) 〜図 2 ( h ) で説明 し た従来のコ イ ル 形成工程にて容易に行え る も ので あ る 。 コ イ ル形成順序 と して チ ッ プの上面を下 に して 上面か ら 積層 し、 積層数が少な い と こ ろ で コ イ ルを形成す る た めに、 積層数が多い場合よ り 厚みのバ ラ ツ キや凹凸 も 少な く 、 パタ ー ン精度の良好な 印刷が可能 と な る 。

本構成は、 コ イ ル 3 が接近す る チ ッ プ上面の電極張部 4 a、 5 a を極力小さ く して （ あ る いは、 張出部 4 a、 5 a を設けな く て も 良い） 浮遊量量の発生 を防止す る 一方、 チ ッ プ下面の電 極張出部 4 b、 5 b は大 き い ま ま に して、 接着強度を従来通 り に確保す る も のであ る 。

ま た、 別の例 と して、 図 8 〜図 1 0 は、 端子電極 4 ， 5 が無 く 浮遊容量の発生が少ないチ ッ プの側面方向に コ イ ル 3 を広げ コ イ ル面積 を拡大 し た も ので あ る 。 こ れに よ り 、 共振周波数を 高 く 維持 し た ま ま で高 L値を得 る こ と がで き る 。

こ こ で、 図 8 の場合は、 コ イ ル形状をチ ッ プ側面側のみに広 げ、 端子電極 4 , 5 側には近接 し ない よ う に し た構造であ る 。 ま た、 図 9 ( a ) お よび図 9 ( b ) の場合は、 コ イ ル形状を端 子電極 4 ， 5 側に も 広げて コ イ ル面積の更な る拡大を図 っ た構 造であ る 。 コ イ ル面積を拡大する こ と で 同 じ L 値を少ない巻き 数で実現す る こ と がで き る た め、 その分、 図 9 ( b ) に示すよ う に コ イ ル 3 をチ ッ プ上下方 向の 中央部に寄せて形成する こ と がで き、 コ イ ル 3 と 電極張出部 4 a、 4 b、 5 a、 5 b と の距 離を確保で き る か ら 、 コ イ ル 3 を端子電極側に広げて も 浮遊容 量の問題は発生 し な い。 ま た、 こ の構成は、 所定の L値を得る た めの コ イ ル形成工程数を少な く で き、 且つ、 L値のバラ ツ キ を抑え る こ と がで き る 。

図 1 0 の場合は、 コ イ ル 3 の側部がチ ッ プ側面に露出す る よ う に コ イ リレ 3 を大幅に広げた構造で あ る 。 こ の よ う に、 コ イ ル 3 の側部を露出 さ せ る こ と に よ り 、 更 に大 き な L 値を得る こ と がで き る 。 但 し、 こ の場合、 信頼性の面よ り 露出部分を樹脂等 で絶縁処理する 必要があ る 。

以上説明 し た 図 1 〜図 1 0 に示 し た本発明の実施形態は、 印 刷積層 して形成 し た プロ ッ ク を切断 して チ ッ プ単位 と し た後に 端子電極 4 ， 5 を形成す る も のであ っ た。 デ ィ ッ プやス タ ン プ 印刷等でチ ッ プ端面に電極を形成する 際、 図 1 3 に示すよ う に チ ッ プ端面の周 り の面に導体の回 り 込みに よ る 僅かな導体層 1 6 が形成さ れる が、 浮遊容量の問題やチ ッ プ端面の電極 4 ， 5 と電極張出部 4 b , 5 b と の接続性等を考慮 し、 回 り 込み導 体層 1 6 の被 り 量を 5 0〜 1 0 0 〃 m と して い る 。

チ ッ プは、 整列時、 あ る いはテー ピ ン グへの装填や取 り 出 し 時に引 つ かか ら ない よ う 、 端子電極を形成する 前にバ レル研磨 に よ っ て角取 り さ れる が、 上記 し た回 り 込み導体層 1 6 が電極 張出部 4 b， 5 b に少々被さ る こ と に よ っ て チ ッ プ端面の電極 4 ， 5 と電極張出部 4 b， 5 b と の接続は確実 と な る 。 こ の よ う に、 少 し回 り 込みを大 き く する こ と に よ り 、 下面端子電極 と の接続性を高め る と 共に、 測定機の構造上容易な上か ら 測定端 子を 当 て る 方法が可能 と な り 、 端子面や下面に測定端子を 当て る複雑な方法を採 ら な く て も 測定が可能 と な る 。

次に、 チ ッ プサイ ズが 0 6 0 3 タ イ プの よ う な超小型チ ッ プ の作製に対応す る別の電極形成法 と しての別の実施形態を図 1 1 のチ ッ プ作製工程に基づいて説明する。

先ず、 図 2 ( b ) 〜図 2 ( h ) で示 した従来の印刷工程を絰 て 図 1 1 ( a ) に示す複数の コ イ ルが同一面上に一括形成さ れ た積層 ブロ ッ ク 2 1 を形成す る 。

次に、 図 1 1 ( b ) で、 こ の積層 ブロ ッ ク 2 1 を コ ィ ノレ引 出 パ タ ー ンが露出す る 方向 に短冊状に切断 し、 複数個の細長形状 の ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 を形成す る 。 こ の際、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 に は後工程で分割 し易い よ う 、 図 1 1 ( c ) の よ う に、 チ ッ プ単位の切れ 目 2 3 を入れておいて も 良い。

その後、 図 1 1 ( d ) の よ う に、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 の一方 の切断面 2 2 a を端子用の導体ペース ト P にデ ィ ッ プ し、 図 1 1 ( e ) の よ う に、 チ ッ プ側面側 に回 り 込みを有する 導体層 2 4 を形成す る 。 こ の一連の導体層 2 4 はチ ッ プ化 し た時の片端 の端子電極 4 と な る 。 尚、 導体層 2 4 の形成はデ ィ ッ プ方式以 外にス ノ ッ 夕 や蒸着等で行っ て も 良い。 ス ノ ッ 夕 の場合は、 図 1 1 ( h ) の よ う に、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 を近づけて並べる と 導体の回 り 込みは少な く 、 電極張出部 4 a、 4 b の小さ な端子 電極 4 が形成で き、 図 1 1 ( i ) のよ う に、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 を離 して並べ る と 導体の回 り 込みが大 き く な り 、 電極張出部 4 a、 4 b の大 き な端子電極 4 が形成で き る こ と にな る 。 従つ て、 ス ノ ッ 夕 に よ る 電極形成では、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 の整列 間隔を調整す る こ と に よ り 電極張出部の大 き さ を或程度調整す る こ と がで き る 。

次に、 図 1 1 ( f ) で、 ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 の も う 一方の切 断面 2 2 b を前記同様にデ ィ ッ プ して 導体層 2 5 を形成 （ こ の 一連の導体層 2 5 はチ ッ プ化 し た時の も う 一方の端子電極 5 と な る ） し、 最後に、 図 1 1 ( g ) で、 こ の ブロ ッ ク チ ッ プ 2 2 を長手方向にチ ッ プ単位で切 り 出 し、 各々 チ ッ プを焼成 して積 層イ ン ダク 夕 1 を作製する 。 尚、 焼成は図 1 1 ( b ) の工程の 後で行 っ て も 良い。

上記方法は、 電極張出部 4 a , 5 a、 4 b、 5 b の寸法精度 が図 1 〜図 1 0 について説明 したチ ッ プを個々 に分離 して取 り 扱 う 実施形態の場合に比べて やや低下す る も の の、 取 り 扱 う チ ッ プの形状は横長であ る ため電極形成の際の支持部分を確保で き る こ と か ら極めて有効であ る 。 ま た、 図示 し ない が前記図

1 〜図 1 0 に示 し た実施形態の よ う に積層工程中で予め積層 ブ ロ ッ ク 2 1 の上下面に電極張出部が印刷さ れて い る場合は、 図 1 1 ( d ) 〜 （ f ) の工程で導体の回 り 込みを考慮せず、 導体 層 を各々切断面 2 2 a、 2 2 b のみに平面的に形成すれば良い ので、 電極張出部の寸法精度は高 く で き る 。 こ の方法は、 特に 超小型チ ッ プの電極形成に対 して 好適であ る 。

以上説明 し た よ う に、 本発明の第 1 の態様に よれば、 端子電 極はチ ッ プ端面 と チ ッ プ下面、 あ る いは、 チ ッ プ端面 と チ ッ プ 上下面にのみに形成 し、 チ ッ プ側面に は形成 し ない構造 と した ので、 コ イ ル と端子電極の近接部分を極力減 ら す こ と がで き、 浮遊容量を低減する こ と がで き る 。 こ れに よ り 、 共振周波数を 高 く で き高周波化が図れる 。 ま た、 コ イ ルの Q値 も 改善さ れる ま た、 本発明の第 2 の態様に よ れば、 チ ッ プ上下面の端子電 極はコ イ ル形成のための積層工程において形成す る よ う に した ので、 従来のデ ィ ッ プ法に よ る 電極形成工程で はない、 安価で 自 由度のあ る形成方法が可能 と な る 。

ま た、 本発明の第 3 の態様に よ れば、 チ ッ プ上面の端子電極 面をチ ッ プ下面の端子電極面 よ り 小さ く し たので、 コ イ ル と チ ッ プ上面の端子電極間の浮遊容量を少な く で き る 。 こ れに よ り 、 更な る 高周波化が図れる 。

ま た、 本発明の第 4 の態様に よ れば、 コ イ ルの上端部が引 き 出さ れる側のチ ッ プ上面の端子電極面を も う 一方のチ ッ プ上面 の端子電極面よ り 大 き く 形成 し たので、 方向マーカ は不要 と な り マーカ の形成工程 を無 く す こ と がで き る ので、 その分コ ス ト ダウ ンが図れる 。 しか も 、 係 る電極構造に して も 浮遊容量は増 カロ し な いか ら コ イ ルの特性劣化は無い。

ま た、 本発明の第 5 の態様 に よ れば、 コ イ ル をチ ッ プの上部 に寄せて形成 し、 コ イ ル とチ ッ プ下面の端子電極 と の距離を確 保する よ う に し たので、 チ ッ プ実装時の接着強度を十分確保 し た状態でなお且つ浮遊容量の低減が図れる 。

ま た、 本発明の第 6 の態様 に よ れば、 端子電極が形成さ れて な いチ ッ プ側面に向けて コ イ ルを広げたので、 共振周波数を高 く 維持 し た ま ま で L 値を高 く する こ と がで き る 。 ま た、 同 じ L 値を少ない巻き数で実現で き る か ら、 コ イ ル形成工程数を少な く で き コ ス ト ダウ ン が図れる と 共に、 L値のノ ラ ツ キ を抑え る こ と がで き る 。

ま た、 コ イ ルの側部がチ ッ プ側面に露出する よ う に大幅 に広 げた場合には、 露出部分を樹脂等で絶縁処理す る こ と に よ り 信 頼性を確保で き る 。

さ ら に、 本発明の第 7 の態様では、 複数個のコ イ ルを形成 し た積層 ブロ ッ ク を切断 して複数個の ブロ ッ ク チ ッ プを形成 し、 当該ブロ ッ ク チ ッ プの両切断面側 に端子電極を形成 し、 その後 . チ ッ プ単位に切断す る よ う に し た ので、 電極形成の際のチ ッ プ 支持部分を確保で き る こ とか ら 、 超小型チ ッ プの電極形成に有 効であ る 。

ま た、 本発明の第 8 の態様では、 電極形成時にチ ッ プ端面の 周 り の面に回 り 込み導体層が形成される こ と に よ り 、 チ ッ プ端 面の電極と電極張出部 と の接続は確実 と な る 。

ま た、 本発明の第 9 の態様では、 チ ッ プ端面の電極形成前に 各々チ ッ プの角取 り を行 う よ う に し たので、 チ ッ プ取 り 扱い時 の引 つ かか り を無 く し、 安定 し た実装が可能と な る 。 ま た、 角 取 り を行っ て も 上記回 り 込み導体層 に よ り 、 チ ッ プ端面の電極 と チ ッ プ上下面の電極 （張出電極） は確実に接続さ れる 。

Claims

言青 求 の 範 囲

1 . 電気絶縁層 と導体パター ン が交互に積層され、 各導体 パター ン の端部が順次接続されて電気絶縁層体 （ 2 ) 中に積層 方向に重畳 したコ イ ル （ 3 ) が形成される と共に、 当該コ イ ル ( 3 ) の始端および終端が引 き出されてチ ッ プ両端の端子電極 ( 4， 5 ) に接続された積層イ ン ダク タ （ 1 ) において、 前記 端子電極を、 チ ッ プ側面 （ 1 c ) を除き、 少な く と も前記コ ィ ルが接続される チ ッ プ端面 （ I d ) とチ ヅ プ下面 （ l b ) に形 成 したイ ンダク 夕。

2 . 前記端子電極 （ 4 , 5 ) を上記チ ッ プ端面とチ ッ プ下面 だけでな く 、 チ ッ プ上下面 （ 1 a， l b ) に も形成した請求項 1 の イ ンダク 夕。

3 . 上記チ ッ プ上下面の上記端子電極は積層工程で形成され る請求項 1 に記載の積層ィ ンダク 夕。

4 . 上記チ ッ プ上面の端子電極面を上記チ ッ プ下面の端子電 極面よ り 小さ く 形成 した請求項 1 に記載の積層ィ ンダク夕。

5 . 上記コイ ルの上端部が引 き出される側のチ ッ プ上面の端 子電極面を も う 一方のチ ッ プ上面の端子電極面よ り 大き く 形成 し、 コ イ ル捲き出 し方向の 目安と した こ と を特徵とする請求項 1 に載の積層ィ ンダク 夕、。

6 . 上記コイ ルを上記チ ヅ プの上部に寄せて形成し、 コ イ ル とチ ッ プ下面の端子電極との距離を確保する よ う に した請求項 1 の積層イ ンダク 夕。

7 . 上記端子電極が非形成のチ ッ プ側面方向にコイ ルを広げ て形成する と共に、 当該コ イ ルがチ ッ プ側面よ り露出する場合 は、 その露出部分を絶縁処理する こ と を特徴と する請求項 1 の 積層ィ ンダク 夕。

8 . 電気絶縁層 （ 1 ) を間に介 し、 同一平面状に配置された 複数の導体パタ ーン を順次積層 して一度に複数個のコ イ ル

( 3 ) を形成した積層ブロ ッ ク （ 2 1 ) を形成 し、

当該積層ブロ ッ ク （ 2 1 ) を前記コ イ ル （ 3 ) の引出パター ンが露出する方向に切断 して複数個のブロ ッ クチ ッ プ （ 2 2 ) を形成 し、

当該ブロ ッ ク チ ッ プ （ 2 2 ) の両切断面 （ 2 2 a， 2 2 b ) 側に導体層 （ 2 4 , 2 5 ) を形成 し、

その後、 当該ブロ ッ ク チ ッ プ （ 2 2 ) をチ ッ プ単位に切断す る積層ィ ンダク タの製造方法。

9 . 電気絶縁層 と導体パターンが交互に積層され、 各導体パ ターンの端部が順次接続されて電気絶縁層体 （ 2 ) 中に積層方 向に重畳したコ イ ル （ 3 ) が形成される と共に、 当該コイ ル ( 3 ) の始端お よび終端が引 き出されてチ ッ プ両端の端子電極 ( 4 , 5 ) に接続された積層イ ンダク タ （ 1 ) であって、 前記端子電極が、 前記コイ ルが接続されるチ ッ プ端面とチ ッ プ下面に形成さ れ、

前記チ ッ ブ端面の周 り の面に端子電極を形成する際の回 り 込 み導体層が形成されてい る積層ィ ンダク タ 。

1 0 . 前記チ ッ プ下面の端子電極は積層工程時に形成され、 且つ、 チ ッ プ端面の端子電極は焼成後、 各々チ ッ プの角取 り を 行った後に形成される請求項 9 に記載の積層イ ンダク 夕。

補正害の請求の範囲

[2001年 1 月 1 6日 （1 6. 01. 01 ) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 4, 5 及び 9は取り下げられた；出願当初の請求の範囲 1 ,2, 3, 6,7及び 1 0は補正された。

(2頁） ]

1 . (補正後） 電気絶緣層 と導体パターンが交互に積層 さ れ、 各導体パター ンの端部が順次接続されて電気絶縁層体 （ 2 ) 中 に積層方向に重畳したコ イ ル （ 3 ) が形成される と共に、 当該 コ イル （ 3 ) の始端および終端が引き出されてチ ッ プ両端の端 子電極 （ 4 , 5 ) に接続された積層イ ンダク タ （ 1 ) において、 前記端子電極が前記コ イ ルが接続されるチッ プ端面とチッ プ 下面に形成され、 前記各々端子電極の接続をチッ プ端面の端子 電極を形成する際の導体の回 り 込みによ り 形成されてい るィ ン ダク タ。

2 . (補正後） 前記端子電極 （ 4 , 5 ) を上記チ ッ プ端面とチ ッ プ下面だけでな く 、 チッ プ上下面 （ l a , l b ) に も形成し . チッ プ上面の端子電極の幅がチ ッ プ下面電極の幅よ り小さ く 形 成した請求項 1 の積層ィ ンダク タ。

3 . (補正後） 上記チッ プ上下面の上記端子電極は積層工程で 形成される請求項 1 又は 2 に記載の積層ィ ンダク 夕。

4. (削除）

5 . (削除）

6 . (補正後） 上記コ イ ルを上記チッ プの上部に寄せて形成し コイルとチッ プ下面の端子電極との距離を確保するよ う に した 請求項 1 、 2 又は 3 に記載の積層イ ンダク夕。

20 捕正された用紙 （条約第 ₁₉条）

7 . (補正後） 上記端子電極が非形成のチッ プ側面方向にコィ ルを広げて形成する と共に、 当該コイ ルがチッ プ側面よ り 露出 する場合は、 その露出部分を絶縁処理する こ と を特徴とする請 求項 1 、 2 ， 3 又は 6 に記載の積層イ ンダク タ。

8 . (削除）

9 . (削除）

1 0 . (補正後） 前記チッ プ下面の端子電極は積層工程時に 形成され、 且つ、 チッ プ端面の端子電極は焼成後、 各々 チッ プ の角取 り を行っ た後に形成される請求項 1 に記載の積層ィ ンダ ク タ。

21

補正された用紙 （条約第 19条）

条約 1 9条に基づく説明

請求の範囲の請求項 1 は、 請求項 9 の構成要素を加え、 引用 例と の相違を明確に した。 本発明は、 小型のチッ プでも容易に端子電極が形成でき、 電 気的特性の向上が得 られる効果がある。 請求項 2 は、 請求項 4 の構成要素を加えた。 請求項 1 0 は、 補正後の請求項 1 に従属させた